JP4214468B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが設けられている搬送装置に関する。

上記のような搬送装置は、液晶用のガラス基板などの搬送物を搬送するためのものであり、送風式支持手段にて非接触状態で支持されている搬送物に対して、推進力付与手段にて、例えば、搬送物の両端部や搬送物の下端部などの搬送物の一部を接触支持しながら推進力を付与することにより、搬送物を搬送するものである。

そして、従来の搬送装置では、搬送物を搬送する際の姿勢が、例えば、水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送するものと、縦姿勢またはそれに近い姿勢で搬送するものとがあるので、それぞれについて説明する。
まず、水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送物を搬送する従来の搬送装置について説明すると、送風式支持手段が、水平姿勢またはほぼ水平姿勢となっている搬送物に対して、その搬送物の下面部のうち、両側端部の間に位置する中間部に向けて空気を送風するように構成され、推進力付与手段が、水平姿勢またはほぼ水平姿勢となっている搬送物の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回転体を備えて構成されている。
そして、送風式支持手段は、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を搬送物を非接触状態で支持する支持用送風量の一定として、送風式支持手段および推進力付与手段を作動させることにより、水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送物を搬送するようにしている（例えば、特許文献１参照。）。

次に、縦姿勢またはそれに近い姿勢で搬送物を搬送する従来の搬送装置について説明すると、送風式支持手段が、縦姿勢またはそれに近い姿勢となっている搬送物に対して、その搬送物の下面部のうち、両側端部の間に位置する中間部に向けて空気を送風するように構成され、推進力付与手段が、縦姿勢またはそれに近い姿勢となっている搬送物の下端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回転体を備えて構成されている。
そして、送風式支持手段は、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を搬送物を非接触状態で支持する支持用送風量の一定として、送風式支持手段および推進力付与手段を作動させることにより、縦姿勢またはそれに近い姿勢で搬送物を搬送するようにしている（例えば、特許文献２参照。）。

特開２００２−３２１８２０号公報 特開２００２−３０８４２３号公報

上記特許文献１および特許文献２における搬送装置では、送風式支持手段が、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を支持用送風量の一定としているので、搬送物を非接触状態で支持させるためだけに、送風式支持手段を使用するものとなっている。
したがって、従来の搬送装置では、搬送物を非接触状態で支持しながら搬送することしかできず、使い勝手の悪いものとなっている。

本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、使い勝手の向上を図ることができる搬送装置を提供する点にある。

この目的を達成するために、本発明にかかる搬送装置の第１特徴構成は、搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが設けられている搬送装置において、
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面部に向けて清浄空気を送風する送風手段とを備えて構成され、前記送風手段が、前記搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を、前記搬送物を非接触状態で支持する支持用送風量とその支持用送風量とは異なる送風量とに変更自在に構成され、運転指令スイッチからの指令に基づいて、前記搬送物の下面に向けて送風する空気の送風量が前記支持用送風量となるように前記送風手段を作動させ且つ前記推進力付与手段を作動させる状態と、前記搬送物の下面に向けて送風する空気の送風量が前記異なる送風量となるように前記送風手段を作動させ且つ前記推進力付与手段を作動停止させる状態とに変更すべく、前記送風手段並びに前記推進力付与手段の作動を制御する制御部が備えられている点にある。

すなわち、送風式支持手段は、除塵フィルタを通して搬送物の下面部に向けて清浄空気を送風する送風手段を備えているので、送風手段にて送風される清浄空気にて搬送物への塵や埃の付着を防止しながら、搬送物を非接触状態で搬送することができることになる。
そして、送風手段は、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を、支持用送風量だけでなく、その支持用送風量とは異なる送風量にも変更することができるので、送風手段を、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が支持用送風量とは異なる送風量になるように作動させることにより、搬送物を非接触状態で支持させるための用途だけでなく、その他の用途にも、送風式支持手段を使用することができることになる。

説明を加えると、例えば、送風手段を、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が支持用送風量よりも小さい小用設定送風量になるように作動させることにより、送風手段を作動させるために必要となるエネルギー量を極力小さくしながら、搬送物の搬送経路上に清浄空気を送風して、搬送物の搬送経路上に塵や埃などが浮遊するのを防止することができることになる。
したがって、搬送経路上に塵や埃などが浮遊するのを防止するための用途にも、送風式支持手段を使用することができることになる。

また、例えば、送風手段を、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が支持用送風量よりも大きい大用設定送風量になるように作動させることにより、搬送物の搬送経路上に送風量の大きい空気を送風して、搬送経路上に蓄積している塵や埃などの異物を吹き飛ばすことができることになる。
したがって、搬送経路上を清掃するための用途にも、送風式支持手段を使用することができることになる。

以上のことから、搬送装置の用途として、搬送物を非接触状態で支持しながら搬送するという用途だけでなく、例えば、搬送経路上に塵や埃などが浮遊するのを防止したり、あるいは、搬送経路上に蓄積している塵や埃などの異物を吹き飛ばすなど他の用途も実現することができることとなって、使い勝手の向上を図ることができる搬送装置を提供できるに至った。

本発明にかかる搬送装置の第２特徴構成は、前記送風手段が、前記搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を前記支持用送風量よりも小さい小用設定送風量に変更自在に構成されている点にある。

すなわち、送風手段が、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を、支持用送風量と小用設定送風量とに変更自在に構成されているので、上述の第１特徴構成において例示した如く、送風手段を、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が小用設定送風量になるように作動させることにより、送風手段を作動させるために必要となるエネルギー量を極力小さくしながら、搬送物の搬送経路上に清浄空気を送風して、搬送物の搬送経路上に塵や埃などが浮遊するのを防止することができることになる。
したがって、搬送装置の用途として、搬送物を非接触状態で支持しながら搬送するという用途だけでなく、搬送経路上に塵や埃などが浮遊するのを防止するという用途も実現することができ、使い勝手の向上を図ることができることになる。

本発明にかかる搬送装置の第３特徴構成は、前記送風手段が、前記搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を前記支持用送風量よりも大きい大用設定送風量に変更自在に構成されている点にある。

すなわち、送風手段が、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を、支持用送風量と大用設定送風量とに変更自在に構成されているので、上述の第１特徴構成において例示した如く、送風手段を、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が大用設定送風量になるように作動させることにより、搬送物の搬送経路上に送風量の大きい空気を送風して、搬送経路上に蓄積している塵や埃などの異物を吹き飛ばすことができることになる。
したがって、搬送装置の用途として、搬送物を非接触状態で支持しながら搬送するという用途だけでなく、搬送経路上に蓄積している塵や埃などの異物を吹き飛ばす用途も実現することができ、使い勝手の向上を図ることができることになる。

本発明にかかる搬送装置の第４特徴構成は、前記送風式支持手段と前記搬送物の搬送経路とが収納される搬送空間を密閉状態またはほぼ密閉状態に覆う搬送ケースが設けられている点にある。

すなわち、送風式支持手段と搬送経路とが収納される搬送空間が、搬送ケースにて密閉状態またはほぼ密閉状態に覆われているので、送風式支持手段にて清浄空気を送風することにより、搬送空間内を清浄空気で満たすことができ、搬送空間内を塵や埃が存在しないクリーンな状態とすることができることになる。
そして、搬送物を搬送しない場合には、第２特徴構成で述べた如く、送風手段を、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が小用設定送風量になるように作動させることにより、送風手段を作動させるために必要となるエネルギー量を極力小さくしながら、搬送空間内を清浄空気で満たしている状態を維持することができることになる。
したがって、省エネルギー化を図りながら、搬送空間内をクリーンな状態に維持することができることになる。

そして、搬送空間内をクリーンな状態に維持しておくことによって、搬送物を搬送する当初から、クリーンな状態である搬送空間内において、搬送物を搬送することができ、搬送物への塵や埃などの付着を的確に防止することができることになる。

また、メンテナンスなどにより搬送ケースを開放した後においては、第３特徴構成で述べた如く、送風手段を、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が大用設定送風量になるように作動させることにより、搬送物の搬送経路上に送風量の大きい清浄空気を送風して、搬送経路上に蓄積している塵や埃などの異物を吹き飛ばしたり、搬送空間内を極力早く清浄空気で満たすことができることになる。
したがって、メンテナンスなどにより搬送ケースを開放した後に、極力早く搬送空間内をクリーンな状態にすることができ、メンテナンス作業などのために搬送物の搬送を停止している時間の短縮を図り、メンテナンス作業の容易化を図ることができることになる。

本発明にかかる搬送装置を図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕
この搬送装置は、図１〜図３および図１０に示すように、液晶用のガラス基板などの板状体を搬送物として搬送するものであり、複数の搬送ユニット１と、それら複数の搬送ユニット１の運転を制御する制御部Ｈと、その制御部Ｈに対して制御情報を指令する運転指令スイッチＳなどを備えて構成されている。
そして、搬送ユニット１は、ガラス基板２を水平姿勢またはほぼ水平姿勢にて搬送するように構成されている。

ちなみに、図１は、搬送装置の斜視図であり、図２は、搬送装置の縦断正面図であり、図３は、搬送装置の要部の縦断拡大正面図である。

前記搬送ユニット１は、図１〜図３に示すように、ガラス基板２の搬送方向に並ぶ状態で、上下２段になるように並設され、搬送上手側に位置する搬送ユニット１から搬送下手側に位置する搬送ユニット１にガラス基板２を搬送して、複数の搬送ユニット１にて搬送装置の上流端部から下流端部までガラス基板２を搬送するように構成されている。

ちなみに、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１とにおける搬送方向については、逆方向でも、同じ方向でもよく、適宜変更が可能である。
例えば、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１との搬送方向を逆方向とした場合には、上側の搬送ユニット１にて搬送されたガラス基板２を下側の搬送ユニット１にて戻すようにして、ガラス基板２に対して同じ工程を行ったり、不良なガラス基板２を元に戻すように構成されている。

前記搬送ユニット１は、図２〜図４に示すように、搬送物２の下面部に向けて空気を送風して、搬送物２を非接触状態で支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持される搬送物２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４とを備えて構成されている。
前記送風式支持手段３は、塵埃を除去する除塵フィルタ５と、その除塵フィルタ５を通してガラス基板２の下面部に向けて清浄空気を送風する送風ファン６とを備えて構成され、送風ファン６が送風手段として作用するように構成されている。
ちなみに、図４は、搬送ユニット１の縦断側面図である。

そして、送風式支持手段３は、一つの除塵フィルタ５と一つの送風ファン６とを一体的に組付けたファンフィルタユニット７の複数から構成され、それら複数のファンフィルタユニット７の上部には、ガラス基板２の下面部に向けて送風される清浄空気の整風を行う多孔板状の整風板８が設けられている。
説明を加えると、ファンフィルタユニット７は、図５および図６に示すように、ガラス基板２の搬送方向に直交する横幅方向の中間箇所で間隔を隔てる状態で左右に一つずつ設けられ、さらに、ガラス基板２の搬送方向にも間隔を隔てる状態で、例えば、３つを並べて設けられており、合計６つ設けられている。
ちなみに、図５は、搬送ユニット１の上方を開放した状態での斜視図であり、図６は、搬送ユニット１の平面図である。

このようにして、一つの搬送ユニット１には、６つのファンフィルタユニット７からなる送風式支持手段３が設けられ、６つのファンフィルタユニット７の上方を覆うように１枚の整風板８が配設されている。

また、送風ファン６は、図２および図３に示すように、その設置箇所よりも下方側の空気を吸引してその空気を上方に位置する除塵フィルタ５に向けて送風するように構成されている。
そして、除塵フィルタ５を通過した清浄空気が、整風板８にて整風された状態で、ガラス基板２の搬送方向に直交する横幅方向の両端部の間の中間部に向けて送風され、ガラス基板２の横幅方向の中間部を支持するように構成されている。

前記搬送ユニット１において、図２および図４〜図６に示すように、ガラス基板２の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所、および、ガラス基板２の搬送方向の中央側の間隔を隔てた箇所には、清浄空気を下方に排気する通気路９が形成されている。

説明を加えると、６つのファンフィルタユニット７同士の間には、隙間が空けられているので、その隙間を利用して、ファンフィルタユニット７の厚み方向に同幅で連通する通気路９が形成されている。
ちなみに、整風板８のうち、通気路９の上方に位置する箇所には、孔部が形成され、通気路９が、その孔部を通して供給される清浄空気を下方側に案内して下方に排気するように構成されている。

このように、通気路９を、ガラス基板２の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所、および、ガラス基板２の搬送方向の中央側の間隔を隔てた箇所に設けることにより、ガラス基板２の横幅方向の中間箇所や搬送方向の中央側に清浄空気が溜まることなく、通気路９を通して下方に排気されるように構成されている。
そして、清浄空気の溜まりがないことにより、ガラス基板２が上方側に湾曲することなく、ガラス基板２を水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送することができることになる。

前記推進力付与手段３は、図２および図７に示すように、ガラス基板２の横幅方向の両端部を接触支持する駆動ローラ１４と、その駆動ローラ１４を伝導軸１５を介して駆動させるための電動モータ１６とから構成されている。
ちなみに、図７は、搬送ユニット１の縦断側面図であり、左右一対設けられている推進力付与手段３のうちの一方側を示している。

説明を加えると、駆動ローラ１４は、ガラス基板２の搬送方向に間隔を隔てて複数設けられ、伝導軸１５は、搬送方向に複数本並べる状態でカップリング１７によって連動連結されている。
そして、電動モータ１６は、その出力ギア１６ａが伝導軸１５に備えられた平歯車１８ａと噛み合うように設けられ、電動モータ１６の作動により伝導軸１５が回転駆動するように構成されている。
また、ガラス基板２の搬送方向において、複数の駆動ローラ１４の配設箇所に対応する位置に出力軸１９が設けられ、図８および図９に示すように、この出力軸１９の一端部に駆動ローラ１４が設けられている。
そして、駆動ローラ１４は、出力軸１９と一体回転するように設けられ、出力軸１９の他端部には、伝導軸１５に備えられた平歯車１８と噛み合う入力ギア２０が設けられている。
ちなみに、図８は、搬送ユニット１の横幅方向の端部における縦断正面図であり、図９は、搬送ユニット１の横幅方向の端部における縦断側面図である。

このようにして、電動モータ１６の作動により伝導軸１５を回転駆動させ、その伝導軸１５の回転駆動により、伝導軸１５の平歯車１８と入力ギア２０とを咬合させて出力軸１９を回転させて、駆動ローラ１４を回転させるように構成されている。
そして、電動モータ１６の作動により駆動ローラ１４を回転させて、その駆動ローラ１４にて、ガラス基板２の横幅方向の両端部を接触状態で支持しながら、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。
また、ガラス基板２は、駆動ローラ１４における大径部１４ａにて横幅方向での位置ずれを規制しながら搬送方向に沿って搬送されるように構成されている。

前記搬送ユニット１の枠体１０は、図３および図４に示すように、複数のファンフィルタユニット７を載置支持する長方形状のユニット用枠体１１と、そのユニット用枠体１１の両側脇に配設される左右一対の収納用枠体１２とから構成されている。

前記ユニット用枠体１１は、底面側に配置される平板状のユニット用底面体１１ａと、そのユニット用底面体１１ａの両端部から連なり上方に向かう側壁部１１ｂと、その側壁部１１ｂの間の上方を覆うユニット用カバー体１１ｃとから構成され、側壁部１１ｂについては、収納用枠体１２にて兼用するように構成されている。
そして、ユニット用枠体１１の内部空間が、複数のファンフィルタユニット７からなる送風式支持手段３とガラス基板２とが収納される搬送空間Ａとして構成されている。
このようにして、ユニット用枠体１１が、搬送空間Ａを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆うように構成されて、搬送ケースとして作用するように構成されている。
また、ユニット用底面体１１ａには、送風ファン６の下方に位置する箇所に外部空気を搬送空間Ａに導入する空気導入口１３が形成されている。

そして、送風ファン６の作動により、搬送空間Ａの空気を吸引して、その吸引した空気を除塵フィルタ５と整風板８を通してガラス基板２の下面部に向けて清浄空気を送風して、搬送空間Ａ内の空気を循環させるように構成されている。
また、送風ファン６の作動により、外部空気が空気導入口１３から搬送空間Ａ内に導入して、搬送空間Ａ内を加圧し、搬送空間Ａ内において循環する空気の一部をユニット用枠体１１と収納フレーム枠体１２との隙間などから外部に排出して、搬送空間Ａ内で循環される空気の一部を外部空気と交換するように構成されている。

前記収納用枠体１２は、側面視がコ字状の収納用フレーム１２ａと、その収納用フレーム１２ａにおける側方の開口部を閉塞する収納用カバー体１２ｂとから構成されている。
そして、収納用枠体１２の内部空間が、電動モータ１６や伝導軸１５などの駆動機構を収納する収納空間Ｂとして構成され、収納用枠体１２が、収納空間Ｂを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆うように構成されている。

また、収納空間Ｂには、ファンフィルタユニット７と同様に送風機能および除塵機構を備えたサブファンフィルタユニット２１が設けられている。
そして、ガラス基板２の搬送方向におけるサブファンフィルタユニット２１の配設箇所において、収納用フレーム１２ａの下面部には、収納空間Ｂ内の空気を外部に排気する外部排出口２２が形成され、収納用フレーム１２ａの側面部には、搬送空間Ａと収納空間Ｂとを連通する空気排出口２３が形成されている。

このようにして、サブファンフィルタユニット２１の作動により、搬送空間Ａの空気の一部が収納空間Ｂに排出され、収納空間Ｂ内の空気が、サブファンフィルタ２１の作動により吸引されて、サブファンフィルタ２１により除塵された空気が、外部排出口２２を通して外部に排気されるように構成されている。

前記搬送ユニット１は、上下２段になるように配置されており、図２に示すように、上側の搬送ユニット１が、下側の搬送ユニット１の上方を開放するように、横側部の一端側を支点にして上方側に揺動操作自在に構成されている。
説明を加えると、上側の搬送ユニット１における枠体１０は、揺動軸芯Ｐ周りに揺動自在に枢支され、上側の搬送ユニット１における枠体１０を揺動軸芯Ｐ周りに上方側に揺動することにより、下側の搬送ユニット１における枠体１０の上方を開放するように構成されている。

そして、下側の搬送ユニット１についてメンテナンス作業を行う際には、上側の搬送ユニット１を揺動操作したのち、下側の搬送ユニット１における枠体１０において、ユニット用枠体１１のユニット用カバー体１１ｃを外すことにより、下側の搬送ユニット１における搬送空間Ａを開放して、搬送空間Ａのメンテナンス作業を可能とするように構成されている。
また、上側の搬送ユニット１についてメンテナンス作業を行う際には、ユニット用枠体１１のユニット用カバー体１１ｃを外すことにより、上側の搬送ユニット１における搬送空間Ａを開放して、搬送空間Ａのメンテナンス作業を行うように構成されている。

ちなみに、搬送ユニット１における収納空間Ｂについてメンテナンス作業を行う際には、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１のどちらについても、収納用枠体１２の収納用カバー体１２ｂを取り外すことにより、収納空間Ｂを開放して、収納空間Ｂのメンテナンス作業を行うように構成されている。

前記制御部Ｈは、図１０に示すように、運転指令スイッチＳからの指令に基づいて、複数の搬送ユニット１の夫々について、電動モータ１６の作動開始および作動停止、ファンフィルタユニット７の作動状態、および、サブファンフィルタユニット２１の作動開始および作動停止を制御するように構成されている。

前記ファンフィルタユニット７における送風ファン６は、ガラス基板２の下面部に向けて送風する空気の送風量を、ガラス基板２を非接触状態で支持する支持用送風量とその支持用送風量とは異なる送風量とに変更自在に構成されている。
そして、制御部Ｈは、運転指令スイッチＳからの指令に基づいて、ガラス基板２の下面部に向けて送風する空気の送風量を支持用送風量とそれとは異なる送風量に変更するように構成されている。

説明を加えると、送風ファン６が、支持用送風量と、支持用送風量よりも小さい小用設定送風量と、支持用送風量よりも大きい大用設定送風量との複数段の送風量に変更自在に構成されている。
そして、制御部Ｈは、運転指令スイッチＳにて搬送開始が指令されると、電動モータ１６およびサブファンフィルタユニット２１を作動させるとともに、ガラス基板２の下面部に向けて送風する空気の送風量が支持用送風量となるように送風ファン６を作動させるように構成されている。

また、制御部Ｈは、運転指令スイッチＳなどにより小風量運転が指令されると、電動モータ１６を作動させずに、ガラス基板２の下面部に向けて送風する空気の送風量が小用設定風量になるように送風ファン６を作動させるように構成されている。
ちなみに、この場合には、サブファンフィルタユニット２１を作動させても、作動させなくても、どちらでもよい。

さらに、制御部Ｈは、運転指令スイッチＳなどにより大風量運転が指令されると、電動モータ１６を作動させずに、ガラス基板２の下面部に向けて送風する空気の送風量が大用設定風量になるように送風ファン６を作動させるように構成されている。
ちなみに、この場合には、サブファンフィルタユニット２１を作動させても、作動させなくても、どちらでもよい。

そして、運転指令スイッチＳは、複数の搬送ユニット１に対して各別に指令することが可能であり、複数の搬送ユニット１のすべてに同様の指令をしたり、各別に異なる指令をすることが可能である。
また、上述の送風ファン６に対する指令については、複数の搬送ユニット１のすべてに同様の指令を行うように構成され、すべての搬送ユニット１について、送風ファン６が同様の動作を行うように構成されている。

〔第２実施形態〕
この第２実施形態は、上記第１実施形態において搬送する搬送物の姿勢の別実施形態を示すものであり、以下、その点を中心に図面に基づいて説明を加える。
ちなみに、その他の構成については、上記第１実施形態と同様であるので、同符号を記すなどにより、その詳細な説明は省略する。

前記縦姿勢用搬送ユニット２４は、図１１および図１２に示すように、ガラス基板２の搬送方向に複数並べて設けられ、搬送物としてのガラス基板２を縦姿勢に近い姿勢で搬送するように構成されている。
そして、縦姿勢用搬送ユニット２４は、縦姿勢に近い姿勢で設けられている縦姿勢用送風式支持手段２５と、縦姿勢に近い姿勢で設けられている縦姿勢用推進力付与手段２６とを備えて構成されている。
ちなみに、この第２実施形態では、ガラス基板２が、縦姿勢に近い姿勢で搬送されるので、縦姿勢用搬送ユニット２４が存在する側がガラス基板２の下面部となる。

前記縦姿勢用送風式支持手段２６は、縦姿勢に近い姿勢で搬送されるガラス基板２の下面部に向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持するように構成されている。
ちなみに、この縦姿勢用送風式支持手段２６は、上記第１実施形態における送風式支持手段３と同様に、除塵フィルタ５と送風ファン６とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット７ａにて構成され、このファンフィルタユニット７ａは、上下に並ぶ２つの送風ファン６と一つの除塵フィルタ５とを一体的に組み付けている。
また、ファンフィルタユニット７ａからの清浄空気を整風する整風板８も設けられている。

そして、縦姿勢用推進力付与手段２６は、ガラス基板２の一端部を接触支持しながら推進力を付与するタイミングベルト２７を備えて、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。
説明を加えると、縦姿勢用推進力付与手段２６は、搬送下手側に位置して電動式モータ２８によって回転する駆動輪２９と、搬送上手側に位置する回転自在な従動輪３０と、これら駆動輪２９と従動輪３０とに亘って巻回するタイミングベルト２７とを備えて構成されている。
そして、タイミングベルト２７は、その送り経路部分を内周面側から内支持輪３１にて支持され、その戻り経路部分を外周面側から外支持輪３２にて支持されている。

また、縦姿勢用送風式支持手段２５とガラス基板２の搬送経路とが収納される搬送空間Ｃを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆う搬送ケース３４が設けられている。

前記送風ファン６については、上記第１実施形態と同様に、支持用送風量と、支持用送風量よりも小さい小用設定送風量と、支持用送風量よりも大きい大用設定送風量との複数段の送風量に変更自在に構成されている。
そして、制御部Ｈは、運転指令スイッチＳからの指令に基づいて、複数の搬送ユニット１の夫々について、電動式モータ２８の作動開始および作動停止、および、ファンフィルタユニット７ａの作動状態を制御するように構成されている。

ちなみに、この第２実施形態では、サブファンフィルタ２１が設けられていないので、制御ブロック図としては、図１０において、サブファンフィル２１を省略し、電動モータ１６を電動式モータ２８に変更する。
そして、制御部Ｈは、運転指令スイッチＳからの指令に基づいて、ファンフィルタユニット７ａにおける送風ファン６を、支持用送風量と小用設定送風量と大用設定送風量のいずれかにて作動させるように構成されている。

〔別実施形態〕
（１）上記第１および第２実施形態では、送風ファン６が、ガラス基板２の下面部に向けて送風する空気の送風量を、支持用送風量と小用設定送風量と大用設定送風量との３段階に変更自在に構成されているが、送風ファン６の送風量の調整については、支持用送風量以外の送風量に調整できるものであればよく、調整可能な送風量の数については適宜変更が可能である。

（２）上記第１実施形態では、送風式支持手段３と搬送経路とが収納される搬送空間Ａを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆うユニット用枠体１１が設けられているが、例えば、搬送空間Ａの上部を開放する状態で覆う枠体を設けて実施することも可能であり、搬送空間Ａを開放するように構成して実施することも可能である。

（３）上記第２実施形態では、縦姿勢用送風式支持手段２５と搬送経路とが収納される搬送空間Ｃを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆う搬送ケース３４が設けられているが、例えば、搬送空間Ｃの上部を開放する状態で覆う枠体を設けて実施することも可能であり、搬送空間Ｃを開放するように構成して実施することも可能である。

（４）上記第１実施形態では、収納用フレーム１２ａの側面部に、搬送空間Ａと収納空間Ｂとを連通する空気排出口２３が形成されているが、この空気排出口２３を形成せずに、搬送空間Ａと収納空間Ｂとを連通しないように構成して実施することも可能である。

（５）上記第１実施形態では、通気路９を、ガラス基板２の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所、および、ガラス基板２の搬送方向の中央側の間隔を隔てた箇所の両方に設けているが、例えば、通気路９を、ガラス基板２の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所にのみ設けて実施することも可能であり、また、通気路９を設けずに実施することも可能である。

（６）上記第１および第２実施形態では、除塵フィルタ５と送風ファン６とを一体的に組付けたファンフィルタユニット７，７ａを例示したが、必ずしも除塵フィルタ５と送風ファン６とを一体的に取り付ける必要はなく、例えば、送風ファン６にて送風される空気を除塵フィルタ６に案内する案内路などを設けて、除塵フィルタ５と送風ファン６とを別体にて構成して実施することも可能である。

（７）上記第１および第２実施形態では、搬送物としてガラス基板２を例示したが、その他の板状体や円盤状体など各種の物品を適応することが可能である。

第１実施形態における搬送装置の一部を省略した斜視図 第１実施形態における搬送装置の縦断正面図 第１実施形態における搬送装置の縦断拡大正面図 第１実施形態における搬送装置の縦断側面図 第１実施形態における搬送ユニットの斜視図 第１実施形態における搬送ユニットの平面図 第１実施形態における推進力付与手段を示す搬送装置の縦断側面図 第１実施形態における推進力付与手段の要部を示す縦断正面図 第１実施形態における推進力付与手段の要部を示す縦断側面図 第１実施形態における搬送装置の制御ブロック図 第２実施形態における搬送装置の一部を省略した斜視図 第２実施形態における搬送装置の一部切欠側面図

符号の説明

２ 搬送物
３ 送風式支持手段
４ 推進力付与手段
５ 除塵フィルタ
６ 送風手段
１１，３４ 搬送ケース

Claims (4)

1. 搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが設けられている搬送装置であって、
   前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面部に向けて清浄空気を送風する送風手段とを備えて構成され、
   前記送風手段が、前記搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を、前記搬送物を非接触状態で支持する支持用送風量とその支持用送風量とは異なる送風量とに変更自在に構成され、
   運転指令スイッチからの指令に基づいて、前記搬送物の下面に向けて送風する空気の送風量が前記支持用送風量となるように前記送風手段を作動させ且つ前記推進力付与手段を作動させる状態と、前記搬送物の下面に向けて送風する空気の送風量が前記異なる送風量となるように前記送風手段を作動させ且つ前記推進力付与手段を作動停止させる状態とに変更すべく、前記送風手段並びに前記推進力付与手段の作動を制御する制御部が備えられている搬送装置。
2. 前記送風手段が、前記搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を前記支持用送風量よりも小さい小用設定送風量に変更自在に構成されている請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記送風手段が、前記搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量を前記支持用送風量よりも大きい大用設定送風量に変更自在に構成されている請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記送風式支持手段と前記搬送物の搬送経路とが収納される搬送空間を密閉状態またはほぼ密閉状態に覆う搬送ケースが設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。

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