KR101142809B1 - 반송 장치 - Google Patents

Abstract

복수 개의 반송 수단 내의 하나의 반송 수단을 다른 반송 수단의 반송 상태에 따라 제어할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 반송물(2)의 하면부를 향해서 공기를 송풍하여 반송물(2)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 그 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비한 반송 수단(1)이 반송 방향으로 복수 개 나열되고, 이들 복수 개의 반송 수단(1)의 운전을 제어하는 제어 수단(H)이 설치되어 있는 반송 장치에 있어서, 제어 수단(H)은 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단(1)이 운전 상태인 반송 수단(1)에 대해서는 운전 개시를 허용하고, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단(1)이 비운전 상태인 반송 수단(1)에 대해서는 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있다.

Description

반송 장치{TRANSPORTING APPARATUS}

본 발명은 반송물의 하면부를 향해서 공기를 송풍하여, 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 그 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 상기 반송물에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비한 반송 수단이 반송 방향으로 복수 개 나열되고, 이들 복수 개의 반송 수단의 운전을 제어하는 제어 수단이 설치되어 있는 반송 장치에 관한 것이다.

상기와 같은 반송 장치는 액정용 유리 기판 등의 반송물을 반송 방향으로 복수 개 나열되어 있는 복수 개의 반송 수단에 의해 반송한다. 반송 수단의 각각에 있어서, 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지되어 있는 반송물에 대하여, 추진력 부여 수단에 의해, 예를 들면, 반송물의 양 단부나 반송물의 하단부 등의 반송물의 일부를 접촉 지지하여 추진력을 부여함으로써, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 수단으로부터 반송 방향의 하류 측에 위치하는 반송 수단에 반송물을 환승시킴으로써 반송한다.

그리고, 종래의 반송 장치에서는 반송물을 반송할 때의 자세가 예를 들면, 수평 자세 또는 대량 수평 자세로 반송하는 것과, 세로 자세 또는 그에 가까운 자세로 반송하는 것이 있기 때문에, 각각에 대하여 설명한다.

먼저, 수평 자세 또는 대량 수평 자세로 반송물을 반송하는 종래의 반송 장치에 대하여 설명하면, 송풍식 지지 수단이 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 되어 있는 반송물에 대하여, 그 반송물의 하면부 중, 양측 단부의 사이에 위치하는 중간부를 향해서 공기를 송풍한다. 추진력 부여 수단은 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 되어 있는 반송물의 양 단부를 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하여 구성되어 있다.

그리고, 이러한 송풍식 지지 수단과 추진력 부여 수단을 구비한 반송 수단이 반송 방향으로 인접하는 상태로 복수 개 나열되고, 제어 수단이 운전 개시의 명령 등에 따라서 반송 수단의 운전을 개시함으로써, 수평 자세 또는 대략 수평 자세의 반송물을 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 환승시킨다(예를 들면, 일본 특허공개 제2002-321820호 공보 참조).

다음에, 세로 자세 또는 그에 가까운 자세로 반송물을 반송하는 종래의 반송 장치에 대하여 설명하면, 송풍식 지지 수단이 세로 자세 또는 그에 가까운 자세로 되어 있는 반송물에 대하여, 그 반송물의 하면부 중, 양측 단부의 사이에 위치하는 중간부를 향해서 공기를 송풍하도록 구성되고, 추진력 부여 수단이 세로 자세 또는 그에 가까운 자세로 되어 있는 반송물의 하단부를 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하고 있다.

그리고, 이러한 송풍식 지지 수단과 추진력 부여 수단을 구비한 반송 수단이 반송 방향으로 인접하는 상태로 복수 개 나열되고, 제어 수단이 운전 개시의 명령 등에 따라서 반송 수단의 운전을 개시함으로써, 세로 자세 또는 그에 가까운 자세의 반송물을 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 환승시킨다(예를 들면, 일본 특허공개 제2002-308423호 공보 참조).

상기 2개의 문헌에서의 반송 장치에서는 제어 수단이 단순히 운전 개시의 명령 등에 따라서 반송 수단의 운전을 개시하고 있을 뿐이기 때문에, 특정한 반송 수단이 다른 반송 수단의 상태에 관계없이 제어되기 때문에, 문제가 발생할 가능성이 있다.

예를 들면, 종래의 반송 장치에서는 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단이, 환승되고자 하는 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 없는 경우에도, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 수단의 운전을 개시시킬 우려가 있다. 따라서, 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 없고, 반송물이 반송 수단 등과 접촉하여, 반송물의 손상을 초래할 우려가 있었다.

또, 종래의 반송 장치에서는 제어 수단이, 환승 대상의 반송 수단 및 그 환승 대상의 반송 수단보다도 반송 방향의 상류 측에 인접하는 반송 수단에 대해, 단지 송풍식 지지 수단과 추진력 부여 수단을 작동시키고 있을 뿐이기 때문에, 환승 대상의 반송 수단에 있어서, 환승되는 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없어서, 반송물이 환승 대상의 반송 수단 등과 접촉하여 손상될 우려가 있다. 즉, 송풍식 지지 수단이 그 작동을 개시한 후, 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량이 반드시 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 양이 되는 것은 아니고, 작동 개시로부터 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있을 때까지 시간이 걸리게 된다.

따라서, 종래의 반송 장치에 있어서, 예를 들면, 제어 수단이 환승 대상의 반송 수단에 대해, 반송물이 환승되는 환승 타이밍에 송풍식 지지 수단의 작동을 개시하는 것이 고려되지만, 이 경우에는 송풍식 지지 수단의 작동 개시로부터 반송물이 환승되기까지의 시간이 짧고, 송풍식 지지 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없게 된다.

본 발명은 이러한 점에 착안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 복수 개의 반송 수단 내의 특정한 반송 수단을 제어하기 위해, 다른 반송 수단의 반송 상태에 따라 행함으로써, 상기와 같은 문제를 해결할 수 있는 반송 장치를 제공함에 있다.

이 목적을 달성하기 위해, 일태양에 의하면, 반송물의 하면부를 향해서 공기를 송풍하여, 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 그 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 상기 반송물에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비한 반송 수단이 반송 방향으로 복수 개 나열되고, 이들 복수 개의 반송 수단의 운전을 제어하는 제어 수단이 설치되어 있는 반송 장치로서, 상기 제어 수단은 상기 복수 개의 반송 수단 내의 최소한 하나의 반송 수단의 반송 상태에 따라, 상기 복수 개의 반송 수단 내의 다른 반송 수단의 상태를 제어하도록 구성되어 있다. 이러한 구성에 의해, 복수 개의 반송 수단 전체에 대하여 동일한 제어명령을 보내는 것이 아니라, 특정한 반송 수단의 제어를 다른 반송 수단의 반송 상태에 따라 제어하고, 보다 상황에 따른 제어를 행함으로써, 가능성이 있는 문제를 회피할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

일태양에 의하면, 상기 하나의 반송 수단과 상기 다른 반송 수단은 인접하는 2개의 반송 수단의 반송 방향 하류 측 반송 수단과, 상류 측 반송 수단이며, 상기 제어 수단은 상기 하류 측 반송 수단이 운전 상태인 경우, 상기 상류 측 반송 수단의 운전 개시를 허용하고, 상기 하류 측 반송 수단이 비운전 상태인 경우, 상기 상류 측 반송 수단의 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있다.

이러한 구성에서는, 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 없는 반송 수단에 대하여, 반송물을 환승시키는 것을 방지할 수 있기 때문에, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 사태에 빠지는 것을 방지할 수 있게 된다.

따라서, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단이 운전 상태인지 비운전 상태인지에 따라 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 경우에만, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 수단의 운전을 개시시킬 수 있게 되어, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송하면서, 복수 개의 반송 수단 사이에서 반송물을 환승시켜 반송할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있게 된다.

일태양에 의하면, 상기 복수 개의 반송 수단의 각각에 대해 개별적으로 운전 개시를 명령하는 인위 조작식의 운전 명령 수단이 설치되고,

상기 제어 수단은 상기 하류 측 반송 수단이 운전 상태인 경우, 상기 운전 명령 수단에 의해 상기 상류 측 반송 수단에 대하여 운전 개시가 명령되면, 상기 상류 측 반송 수단의 운전을 개시하고, 상기 하류 측 반송 수단이 비운전 상태인 경우, 상기 운전 명령 수단에 의해 상기 상류 측 반송 수단에 대하여 운전 개시가 명령되더라도, 상기 상류 측 반송 수단의 운전의 개시를 금지하도록 구성되어 있다.

즉, 복수 개의 반송 수단의 각각에 대해 별개로 운전 개시를 명령하는 인위 조작식의 운전 명령 수단이 설치되어 있기 때문에, 그 운전 명령 수단에 의해 반송 수단의 일부에 대하여만 운전 개시를 명령할 수 있어, 반송 수단의 일부만 운전을 개시시킬 수 있게 된다.

그리고, 고장 등에 의해 반송물이 복수 개의 반송 수단의 도중에서 멈춰 버린 경우에는 반송 수단의 일부를 운전 개시시켜, 도중에서 멈추어 있는 반송물을 반송종단부 등 반송물을 인출 가능한 개소까지 반송시킬 수 있게 된다.

따라서, 반송물이 복수 개의 반송 수단의 도중에서 멈추더라도, 그 반송물을 제거하도록 반송 수단의 일부만 운전시킬 수 있고, 또한 반송 수단의 일부나 하나씩을 운전시켜, 유지보수작업을 행하는 것도 가능해져, 유용성의 향상을 도모할 수 있게 된다.

그리고, 인위 조작식의 운전 명령 수단에 의해 복수 개의 반송 수단의 각각에 대해 개별적으로 운전 개시를 명령할 수 있기 때문에, 조작자의 실수 등에 의해, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단이 비운전 상태인 반송 수단에 대하여, 잘못된 운전 개시를 명령하여 버리는 경우가 있다.

이러한 경우에도, 제1항의 특징에 있는 대로, 제어 수단이 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단이 비운전 상태인 반송 수단에 대하여는 운전 개시를 금지하기 때문에, 운전 명령 수단에 의해 잘못된 운전 개시를 명령하더라도, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 사태에 빠지는 것을 방지할 수 있게 된다.

따라서, 유용성의 향상을 꾀하면서도, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송하면서, 복수 개의 반송 수단 사이에서 반송물을 환승시켜 반송할 수 있게 된다.

일태양에 의하면, 상기 반송 수단은 그 반송 경로 상에 상기 반송물이 존재하는지 여부를 검출하는 반송물 검출 수단을 구비하고 있고,

상기 제어 수단은 상기 하류 측 반송 수단이 비운전 상태인 경우, 상기 상류 측 반송 장치의 상기 반송물 검출 수단이 상기 반송물의 존재를 검출하면, 상기 상류 측 반송 수단의 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있다.

즉, 실제로 반송 경로 상에 반송물이 존재하여, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 물품을 환승시키면, 그 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 없는 사태에 빠지는 반송 수단에 대해서만, 그 운전 개시를 금지시킬 수 있게 된다.

따라서, 반송 경로 상에 반송물이 존재하는지 여부도 감안하여, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 사태에 빠질 우려가 없는 반송 수단에 대해서도 운전 개시를 금지시켜 버리는 것을 방지하여, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 사태에 빠지는 것을 정확하게 방지할 수 있게 된다.

일태양에 의하면, 상기 하나의 반송 수단과 상기 다른 반송 수단은 인접하는 2개의 반송 수단의 반송 방향 상류 측 반송 수단과 하류 측 반송 수단이며, 상기 제어 수단은 상기 상류 측 반송 수단에서의 상기 반송물이 상기 하류 측 반송 수단에 환승되는 환승 타이밍 이전에, 상기 하류 측 반송 수단의 상기 송풍식 지지 수단에 의해 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 상태로 하도록, 상기 하류 측 반송 수단의 상기 송풍식 지지 수단의 작동 상태를 제어하도록 구성되어 있다.

이러한 구성에 의해, 환승 대상의 반송 수단의 송풍식 지지 수단의 작동 개시로부터 반송물이 환승되기까지의 시간을 길게 할 수가 있고, 그 사이에 송풍식 지지 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 상태가 된다.

일태양에 의하면, 상기 제어 수단은 상기 상류 측 반송 수단에 상기 반송물이 환승되는 상류 측 환승 타이밍에 있어서, 상기 하류 측 반송 수단의 상기 송풍식 지지 수단에 의해 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 상태로 이행시키도록, 상기 하류 측 반송 수단의 상기 송풍식 지지 수단의 작동 상태를 제어하도록 구성되어 있다.

즉, 제어 수단이 상류 측 환승 타이밍에 있어서, 송풍식 지지 수단의 작동을 개시시킬 수 있기 때문에, 에너지 소비량의 증대를 방지하면서도, 송풍식 지지 수단에 의해 환승되는 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 타이밍에, 송풍식 지지 수단의 작동을 개시시킬 수 있게 된다.

설명을 추가하면, 환승 대상의 반송 수단에 있어서, 송풍식 지지 수단의 작동 개시 타이밍을 환승 타이밍보다 빨리 하면 할수록, 송풍식 지지 수단을 작동시키는 시간이 길어져, 에너지 소비량의 증대를 초래하게 된다. 반대로, 환승 대상의 반송 수단에 있어서, 송풍식 지지 수단의 작동 개시 타이밍을 환승 타이밍에 근접시키면 근접시킬수록, 송풍식 지지 수단의 작동 개시로부터 반송물이 환승되기까지의 시간이 짧아져, 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 가능성이 생기게 된다.

따라서, 환승 대상의 반송 수단에 있어서, 송풍식 지지 수단의 작동 개시 타이밍을 상류 측 환승 타이밍으로 함으로써, 에너지 소비량의 증대를 방지하면서도, 송풍식 지지 수단에 의해, 환승되는 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 타이밍에, 송풍식 지지 수단의 작동을 개시시킬 수 있게 된다.

따라서, 송풍식 지지 수단을 정확한 타이밍으로 작동 개시시킬 수 있게 되어, 에너지 절감을 꾀하면서도, 송풍식 지지 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있게 된다.

일태양에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단은 제진(除塵) 필터를 통해서 상기 반송물의 하면부를 향해서 청정 공기를 송풍하도록 구성되고, 또한 상기 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 청정 공기의 송풍량을 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 지지용 송풍량으로 하는 지지 작동 상태와 상기 지지용 송풍량보다도 작은 송풍량으로 하는 약풍 상태로 변경 가능하게 구성되고, 상기 제어 수단은 상기 환승 타이밍 이전에, 상기 하류 측 반송 수단의 상기 송풍식 지지 수단을 운전 개시의 상태인 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경하도록 구성되어 있는 점에 있다.

즉, 제어 수단이 운전 대상의 반송 수단의 송풍식 지지 수단을 약풍 작동 상태로 작동시킴으로써, 송풍식 지지 수단에 의해 송풍되는 청정 공기로 반송물에의 먼지의 부착을 방지할 수 있게 된다.

또한, 제어 수단이 환승 대상의 반송 수단에 대해서는 환승 타이밍보다 이전에, 송풍식 지지 수단을 약풍 작동 상태로부터 지지 작동 상태로 변경함으로써, 송풍식 지지 수단의 작동 개시로부터 반송물이 환승되기까지의 시간을 길게 하여, 송풍식 지지 수단에 의해 환승되는 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있게 된다.

따라서, 반송물에의 먼지의 부착을 방지할 수 있으면서도, 그 반송물을 환승 대상의 반송 수단에 환승시켜 반송할 때에, 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지할 수 있게 되어, 예를 들면, 액정용 유리 기판 등, 비접촉 상태로 지지할 뿐 아니라, 먼지의 부착을 방지하는 것도 요구되는 반송물이라도, 정확하게 반송할 수 있는 것이 되어, 반송 장치로서 유용한 것으로 된다.

본 발명에 의하면, 복수 개의 반송 수단 전체에 대하여 동일한 제어명령을 보내는 것이 아니라, 특정한 반송 수단의 제어를 다른 반송 수단의 반송 상태에 따라 제어하고, 보다 상황에 따른 제어를 행함으로써, 가능성이 있는 문제를 회피할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

본 발명에 의하면, 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 없는 반송 수단에 대하여, 반송물을 환승시키는 것을 방지할 수 있기 때문에, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 사태에 빠지는 것을 방지할 수 있게 된다. 따라서, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단이 운전 상태인지 비운전 상태인지에 따라 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 경우에만, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 수단의 운전을 개시시킬 수 있게 되어, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송하면서, 복수 개의 반송 수단 사이에서 반송물을 환승시켜 반송할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있게 된다.

본 발명에 의하면, 복수 개의 반송 수단의 각각에 대해 별개로 운전 개시를 명령하는 인위 조작식의 운전 명령 수단이 설치되어 있기 때문에, 그 운전 명령 수단에 의해 반송 수단의 일부에 대하여만 운전 개시를 명령할 수 있어, 반송 수단의 일부만 운전을 개시시킬 수 있게 된다. 그리고, 고장 등에 의해 반송물이 복수 개의 반송 수단의 도중에서 멈춰 버린 경우에는 반송 수단의 일부를 운전 개시시켜, 도중에서 멈추어 있는 반송물을 반송종단부 등 반송물을 인출 가능한 개소까지 반송시킬 수 있게 된다. 따라서, 반송물이 복수 개의 반송 수단의 도중에서 멈추더라도, 그 반송물을 제거하도록 반송 수단의 일부만 운전시킬 수 있고, 또한 반송 수단의 일부나 하나씩을 운전시켜, 유지보수작업을 행하는 것도 가능해져, 유용성의 향상을 도모할 수 있게 된다.

본 발명에 의하면, 실제로 반송 경로 상에 반송물이 존재하여, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 물품을 환승시키면, 그 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 없는 사태에 빠지는 반송 수단에 대해서만, 그 운전 개시를 금지시킬 수 있게 된다. 따라서, 반송 경로 상에 반송물이 존재하는지 여부도 감안하여, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 사태에 빠질 우려가 없는 반송 수단에 대해서도 운전 개시를 금지시켜 버리는 것을 방지하여, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 없는 사태에 빠지는 것을 정확하게 방지할 수 있게 된다.

본 발명에 의하면, 환승 대상의 반송 수단의 송풍식 지지 수단의 작동 개시로부터 반송물이 환승되기까지의 시간을 길게 할 수가 있고, 그 사이에 송풍식 지지 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 상태가 된다.

본 발명에 의하면, 제어 수단이 상류 측 환승 타이밍에 있어서, 송풍식 지지 수단의 작동을 개시시킬 수 있기 때문에, 에너지 소비량의 증대를 방지하면서도, 송풍식 지지 수단에 의해 환승되는 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 타이밍에, 송풍식 지지 수단의 작동을 개시시킬 수 있게 된다. 따라서, 환승 대상의 반송 수단에 있어서, 송풍식 지지 수단의 작동 개시 타이밍을 상류 측 환승 타이밍으로 함으로써, 에너지 소비량의 증대를 방지하면서도, 송풍식 지지 수단에 의해 환승되는 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 타이밍에, 송풍식 지지 수단의 작동을 개시시킬 수 있게 된다. 따라서, 송풍식 지지 수단을 정확한 타이밍으로 작동 개시시킬 수 있게 되어, 에너지 절감을 꾀하면서도, 송풍식 지지 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있게 된다.

본 발명에 의하면, 제어 수단이 운전 대상의 반송 수단의 송풍식 지지 수단을 약풍 작동 상태로 작동시킴으로써, 송풍식 지지 수단에 의해 송풍되는 청정 공기로 반송물에의 먼지의 부착을 방지할 수 있게 된다. 또한, 제어 수단이 환승 대상의 반송 수단에 대해서는 환승 타이밍보다 이전에, 송풍식 지지 수단을 약풍 작동 상태로부터 지지 작동 상태로 변경함으로써, 송풍식 지지 수단의 작동 개시로부터 반송물이 환승되기까지의 시간을 길게 하여, 송풍식 지지 수단에 의해 환승되는 반송물을 비접촉 상태로 지지할 수 있게 된다. 따라서, 반송물에의 먼지의 부착을 방지할 수 있으면서도, 그 반송물을 환승 대상의 반송 수단에 환승시켜 반송할 때에, 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지할 수 있게 되어, 예를 들면, 액정용 유리 기판 등, 비접촉 상태로 지지할 뿐 아니라, 먼지의 부착을 방지하는 것도 요구되는 반송물이라도, 정확하게 반송할 수 있는 것이 되어, 반송 장치로서 유용한 것으로 된다.

도 1은 제1 실시예에서의 반송 장치의 일부를 생략한 사시도이다.
도 2는 제1 실시예에서의 반송 장치의 종단정면도이다.
도 3은 제1 실시예에서의 반송 장치의 종단확대정면도이다.
도 4는 제1 실시예에서의 반송 장치의 종단측면도이다.
도 5는 제1 실시예에서의 반송 유닛의 사시도이다.
도 6은 제1 실시예에서의 반송 유닛의 평면도이다.
도 7은 제1 실시예에서의 추진력 부여 수단을 나타내는 반송 장치의 종단측면도이다.
도 8은 제1 실시예에서의 추진력 부여 수단의 주요부를 나타내는 종단정면도이다.
도 9는 제1 실시예에서의 추진력 부여 수단의 주요부를 나타내는 종단측면도이다.
도 10은 제1 실시예에서의 반송 장치의 제어 블록도이다.
도 11은 제1 실시예에서의 반송 장치의 개략을 도시한 도면이다.
도 12는 제1 실시예에서의 수동 운전의 플로차트이다.
도 13은 제2 실시예에서의 반송 장치의 개략을 도시한 도면이다.
도 14는 제2 실시예에서의 반송 장치의 플로차트이다.
도 15는 제3 실시예에서의 반송 장치의 일부를 생략한 사시도이다.
도 16은 제3 실시예에서의 반송 장치의 일부절제측면도이다.
도 17은 다른 실시예에서의 반송 장치의 플로차트이다.

본 발명에 따른 반송 장치를 도면에 따라 설명한다. 이하의 실시예에서는 반송물의 예로써 유리 기판을 사용하지만 이것에 한정되지 않는다. 이하에 기재되는 복수 개의 실시예의 특징은 모순이 발생하지 않은 한, 조합하는 것이 가능하고, 그와 같은 조합은 본 발명의 일부로서 고려된다.

[제1 실시예]

도 1～도 3 및 도 10에 도시한 바와 같이, 이 반송 장치는 액정용 유리 기판 등의 판형체를 반송물로서 반송하는 것이며, 복수 개의 반송 유닛(1)(반송 수단)과, 이들 복수 개의 반송 유닛(1)의 운전을 제어하는 제어 수단으로서의 제어부(H)와, 그 제어부(H)에 대하여 제어정보를 명령하는 인위 조작식의 지령부(S) 등을 구비하고 있다.

그리고, 반송 수단인 반송 유닛(1)의 각각은 유리 기판(2)을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로써 반송한다.

상기 반송 유닛(1)은 도 1～도 3에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)의 반송 방향을 따라 인접하는 상태로 나열되고, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1)으로부터 반송 방향의 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)을 환승시킴으로써, 유리 기판(2)을 반송한다.

또, 반송 유닛(1)은 상하 2단이 되도록 병설되어, 상측의 반송 유닛(1)과 하측의 반송 유닛(1)에 있어서의 반송 방향으로 대해서는 역방향이어도 되고, 동일 방향이어도 된다. 예를 들면, 상측의 반송 유닛(1)과 하측의 반송 유닛(1)의 반송 방향을 역방향으로 한 경우에는 상측의 반송 유닛(1)에 의해 반송된 유리 기판(2)을 하측의 반송 유닛(1)에 의해 되돌리도록 하여, 유리 기판(2)에 대하여 동일한 공정을 행하거나, 불량인 유리 기판(2)을 되돌리도록 하는 것이 가능하다.

도 1～도 4에 도시한 바와 같이, 반송 유닛(1)은 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 공기를 송풍하여, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과, 그 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)을 구비한다.

또, 반송 유닛(1)은 도 11에 도시한 바와 같이, 그 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는지 여부를 검출하는 검출수단으로서의 재물 센서(T)를 구비하고 있다. 이 재물 센서(T)는 투광부로부터의 광이 수광부에 수광되지 않으면, 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는 것을 검출하고, 투광부로부터의 광이 수광부에 수광되면, 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하지 않는 것을 검출한다. 또, 재물 센서(T)는 그 수나 설치개소 등에 대해서는 적절하게 변경이 가능하여, 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는지 여부를 검출할 수 있는 것이면 된다.

도 2～도 4에 도시한 바와 같이, 상기 송풍식 지지 수단(3)은 먼지를 제거하는 제진 필터(5)와, 그 제진 필터(5)를 통해서 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 청정 공기를 송풍하는 송풍팬(6)을 구비하고 있다. 그리고, 송풍식 지지 수단(3)은 하나의 제진 필터(5)와 하나의 송풍팬(6)을 일체로 조립한 팬필터 유닛(7)이 복수 개로 구성되고, 이들 복수 개의 팬필터 유닛(7)의 상부에는 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍되는 청정 공기의 정류를 행하는 다공판형의 정류판(8)이 설치되어 있다. 이들 제진 필터(5), 송풍팬(6), 및 정류판(8)은 하우징에 지지되어 있다. 설명을 추가하면, 팬필터 유닛(7)은 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)의 반송 방향에 직교하는 가로 폭 방향의 중간 개소에서 간격을 두는 상태로 좌우에 하나씩 설치되고, 또한 유리 기판(2)의 반송 방향으로도 간격을 두는 상태로, 예를 들면 3개가 나란히 형성되어 있으며, 합계 6개 설치되어 있다.

그리고, 하나의 반송 유닛(1)에는 6개의 팬필터 유닛(7)으로 이루어지는 송풍식 지지 수단(3)이 설치되고, 6개의 팬필터 유닛(7)의 상부를 덮도록 1매의 정류판(8)이 설치되어 있다.

또, 송풍팬(6)은 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 그 설치 개소보다도 하방 측 공기를 흡인하여 그 공기를 상방에 위치하는 제진 필터(5)를 향해서 송풍하도록 구성되어 있다.

이와 같이 하여, 송풍식 지지 수단(3)은 제진 필터(5)를 통과한 청정 공기를 정류판(8)에 의해 정류된 상태에서 유리 기판(2)의 반송 방향으로 직교하는 가로 폭 방향의 양 단부의 사이의 중간부를 향해서 송풍하여, 유리 기판(2)의 가로 폭 방향의 중간부를 비접촉 상태로써 지지하도록 구성되어 있다.

상기 반송 유닛(1)에 있어서, 도 2 및 도 4～도 6에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)의 반송 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 중간 개소, 및 유리 기판(2)의 반송 방향의 중앙 측의 간격을 둔 개소에는 청정 공기를 하방으로 배기하는 통기로(9)가 형성되어 있다. 설명을 추가하면, 6개의 팬필터 유닛(7) 사이에는 간극이 있기 때문에, 그 간극을 이용하여, 팬필터 유닛(7)의 두께 방향으로, 서로 연통되는 통기로(9)가 형성되어 있다. 정류판(8)의 통기로(9) 상방에 위치하는 개소에는 구멍부가 형성되고, 통기로(9)가 그 구멍부를 통해서 공급되는 청정 공기를 하방 측으로 안내하여 하방으로 배기한다. 이와 같이 통기로(9)를 유리 기판(2)의 반송 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 중간 개소, 및 유리 기판(2)의 반송 방향의 중앙 측의 간격을 둔 개소에 설치함으로써, 유리 기판(2)의 가로 폭 방향의 중간 개소나 반송 방향의 중앙 측에 청정 공기가 머물지 않고, 통기로(9)를 통해서 하방으로 배기되도록 구성되어 있다. 그리고, 청정 공기가 머물지 않음으로써, 유리 기판(2)이 상방 측으로 만곡되지 않고, 유리 기판(2)을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송할 수 있게 된다.

상기 추진력 부여 수단(3)은 도 2 및 도 7에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)의 가로 폭 방향의 양 단부를 접촉 지지하는 구동롤러(14)와, 그 구동롤러(14)를 전달 축(15)을 통하여 구동시키기 위한 전동모터(16)로 구성되어 있다. 도 7은 반송 유닛(1)의 종단측면도이며, 좌우 한 쌍 설치되어 있는 추진력 부여 수단(3) 중 한쪽을 나타내고 있다.

설명을 추가하면, 구동롤러(14)는 유리 기판(2)의 반송 방향으로 간격을 두어 복수 개 설치되고, 전달 축(15)은 반송 방향으로 복수 개 정렬시키는 상태로 커플링(17)에 의해서 연동되도록 연결되어 있다. 전동모터(16)는 그 출력기어(16a)가 전달 축(15)에 구비된 평치차(18a)와 맞물리도록 설치되고, 전동모터(16)의 작동에 의해 전달 축(15)이 회전 구동한다. 유리 기판(2)의 반송 방향으로 있어, 복수 개의 구동롤러(14)의 설치 개소에 대응하는 위치에 출력 축(19)이 설치되고, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 이 출력 축(19)의 일 단부에 구동롤러(14)가 설치되어 있다. 구동롤러(14)는 출력 축(19)과 일체로 회전하도록 설치되고, 출력 축(19)의 타 단부에는 전달 축(15)에 구비된 평치차(18)와 맞물리는 입력기어(20)가 설치되어 있다.

이와 같이 하여, 전동모터(16)의 작동에 의해 전달 축(15)을 회전 구동시키고, 그 전달 축(15)의 회전 구동에 의해, 전달 축(15)의 평치차(18)와 입력기어(20)를 맞물려 출력 축(19)을 회전시켜, 구동롤러(14)를 회전시키도록 구성되어 있다. 그리고, 전동모터(16)의 작동에 의해 구동롤러(14)를 회전시켜, 그 구동롤러(14)로써, 유리 기판(2)의 가로 폭 방향의 양 단부를 접촉 상태로 지지하면서, 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여한다. 구동롤러(14)의 대직경부(14a)는 유리 기판(2)의 가로 폭 방향에서의 위치 어긋남을 규제한다.

상기 반송 유닛(1)의 프레임(10)은 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 복수 개의 팬필터 유닛(7)을 탑재 지지하는 장방 형상의 유닛용 프레임(11)과, 그 유닛용 프레임(11)의 양 측부에 설치되는 좌우 한 쌍의 수납용 프레임(12)으로 구성되어 있다.

상기 유닛용 프레임(11)은 저면 측에 배치되는 평판형의 저면체(11a)와, 그 저면체(11a)의 양 단부와 연결하여, 상방으로 향하는 측벽부(11b)와, 그 측벽부(11b)의 사이의 상부를 덮는 유닛용 커버체(11c)로 구성된다. 측벽부(11b)는 수납용 프레임(12)과 공통이다.

그리고, 유닛용 프레임(11)의 내부 공간이 복수 개의 팬필터 유닛(7)으로 이루어지는 송풍식 지지 수단(3)과 유리 기판(2)이 수납되는 반송공간(A)으로서 구성되고, 유닛용 프레임(11)이 반송공간(A)을 밀폐상태 또는 대략 밀폐상태로 덮도록 구성되어 있다. 저면체(11a)에는 송풍팬(6)의 하방에 위치하는 개소에 외부공기를 반송공간(A)에 도입하는 공기도입구(13)가 형성되어 있다. 송풍팬(6)의 작동에 의해, 반송공간(A)의 공기를 흡인하고, 그 흡인한 공기를 제진 필터(5)와 정류판(8)을 통해서 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 청정 공기를 송풍하여, 반송공간(A) 내의 공기를 순환시키도록 구성되어 있다. 송풍팬(6)의 작동에 의해 외부공기가 공기도입구(13)로부터 반송공간(A) 내에 도입되어 반송공간(A) 내를 가압하고, 반송공간(A) 내에서 순환되는 공기의 일부를 유닛용 프레임(11)과 수납프레임(12)의 간극 등으로부터 외부로 배출하여, 반송공간(A) 내에서 순환되는 공기의 일부가 외부공기와 교환된다.

상기 수납용 프레임(12)은 측면에서 보아 C자형인 수납용 프레임(12a)과, 그 수납용 프레임(12a)의 옆쪽 개구부를 폐쇄하는 수납용 커버체(12b)를 가진다. 그리고, 수납용 프레임(12)의 내부 공간이 전동모터(16)나 전달 축(15) 등의 구동 기구를 수납하는 수납공간(B)으로서 구성되고, 수납용 프레임(12)이 수납공간(B)을 밀폐상태 또는 대략 밀폐상태로 덮도록 구성되어 있다. 수납공간(B)에는 팬필터 유닛(7)과 같이 송풍기능 및 제진기구를 구비한 서브팬필터 유닛(sub-fan-filter unit)(21)이 설치되어 있다. 유리 기판(2)의 반송 방향에서의 서브팬필터 유닛(21)의 설치 개소에 있어서, 수납용 프레임(12a)의 하면부에는 수납공간(B) 내의 공기를 외부에 배기하는 외부배출구(22)가 형성되고, 수납용 프레임(12a)의 측면부에는 반송공간(A)과 수납공간(B)이 연통되는 공기배출구(23)가 형성되어 있다.

이와 같이 하여, 서브팬필터 유닛(21)의 작동에 의해, 반송공간(A)의 공기의 일부가 수납공간(B)에 배출되고, 수납공간(B) 내의 공기가 서브팬필터(21)의 작동에 의해 흡인되어, 서브팬필터(21)에 의해 제진된 공기가 외부배출구(22)를 통해서 외부에 배기된다.

상기 반송 유닛(1)은 상하 2단이 되도록 배치되어 있고, 도 2에 도시한 바와 같이, 상측의 반송 유닛(1)이 하측의 반송 유닛(1)의 상방을 개방하도록, 횡 방향 측부의 일단 측을 지지점으로 하여 상방 측으로 요동 조작 가능하게 구성되어 있다. 설명을 추가하면, 상측의 반송 유닛(1)의 프레임(10)은 요동축심(P) 주위에 요동 가능하게 지지되고, 상방 측으로 요동함으로써, 하측의 반송 유닛(1)의 프레임(10)의 상방을 개방할 수 있다. 그리고, 하측의 반송 유닛(1)에 대해 유지보수작업을 행할 때는 상측의 반송 유닛(1)을 요동 조작한 후, 하측의 반송 유닛(1)의 프레임(10)에서 커버체(11c)를 분리함으로써, 하측 반송 유닛(1)의 반송공간(A)을 개방할 수 있다. 또, 상측의 반송 유닛(1)에 대해 유지보수작업을 행할 때는 커버체(11c)를 분리함으로써 상측 반송 유닛(1)의 반송공간(A)을 개방할 수 있다. 반송 유닛(1)의 수납공간(B)에 대해 유지보수작업을 행할 때는 상측의 반송 유닛(1)과 하측의 반송 유닛(1) 어느 쪽에 대해서도, 수납용 프레임(12)의 수납용 커버체(12b)를 분리함으로써 수납공간(B)을 개방할 수 있다.

상기 제어부(H)는 도 10에 도시한 바와 같이, 지령부(S)로부터의 명령에 따라, 복수 개의 반송 유닛(1) 각각의 운전 개시 및 운전 정지를 제어한다. 구체적으로는, 제어부(H)는 전동모터(16), 팬필터 유닛(7), 및 서브팬필터 유닛(21)을 작동 개시함으로써 반송 유닛(1)의 운전을 개시시킨다. 반대로, 제어부(H)는 전동모터(16), 팬필터 유닛(7), 및 서브팬필터 유닛(21)을 작동 정지시켜서 반송 유닛(1)의 운전을 정지시킨다. 제어부(H)는 반송 유닛(1)의 운전 상태에 있어서는 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하여 반송하도록 구성되어 있다.

상기 지령부(S)는 자동 운전과 수동 운전을 전환하는 인위 조작식의 운전 전환 스위치(S1), 수동 운전에 있어서 복수 개의 반송 유닛(1)에 대하여 개별적으로 운전 개시 및 운전 정지를 명령하는 인위 조작식의 운전 명령 스위치군(S2) 등을 구비하여 구성되어 있다. 운전 명령 스위치군(S2)에는 도 11에 도시한 바와 같이, 반송 방향으로 정렬시켜지는 반송 유닛(1)의 수와 동일한 수의 운전 명령 스위치가 설치되어, 운전 명령 스위치와 반송 유닛(1)이 1대1로 대응되어 있다.

그리고, 제어부(H)는 운전 전환 스위치(S1)로써 자동 운전이 명령되면, 모든 반송 유닛(1)을 운전 대상으로 삼아, 전동모터(16) 및 서브팬필터 유닛(21)을 작동시키는 동시에, 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량이 지지용 송풍량이 되도록 송풍팬(6)을 작동시키도록 구성되어 있다.

이와 같이 하여, 자동 운전에서는 모든 반송 유닛(1)을 운전시켜, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1)으로부터 반송 방향의 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)을 환승시키면서, 상류 단부로부터 하류 단부까지 유리 기판(2)을 반송하도록 구성되어 있다.

자동 운전에서의 제어부(H)의 동작에 대해서는, 복수 개의 반송 유닛(1)의 일부만이 동시에 운전 상태가 되도록, 복수 개의 반송 유닛(1)을 제어하는 것도 가능하다. 복수 개의 반송 유닛(1)의 일부만이 동시에 운전 상태가 되도록 복수 개의 반송 유닛(1)을 제어하는 경우에는, 예를 들면 재물 센서(T)의 검출정보에 따라, 유리 기판(2)이 어떤 반송 유닛(1)의 반송 경로 상에 존재하는가에 따라 운전을 개시시키는 반송 유닛(1) 및 운전 정지시키는 반송 유닛(1)을 선택하여, 그 선택된 반송 유닛(1)을 운전 개시 및 운전 정지시킬 수 있다.

또, 제어부(H)는 운전 전환 스위치(S1)로써 수동 운전이 명령되면, 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령된 반송 유닛(1)만을 운전 대상으로 삼아, 전동모터(16), 서브팬필터 유닛(21), 및 송풍팬(6)을 작동시키도록 구성되어 있다. 이와 같이 하여, 수동 운전에서는 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령된 반송 유닛(1)만을 운전시켜, 그 운전되는 반송 유닛(1)에 의해 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하여 반송하도록 구성되어 있다.

그리고, 제어부(H)는 수동 운전에서는 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령된 반송 유닛(1)에 대해, 단순히 운전을 개시시키는 것이 아니라, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 운전 상태인 지 여부에 따라, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 환승되는 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 있는 경우에만 운전 개시시키도록 구성되어 있다. 따라서, 이 제1 실시예에서는 하류 측 반송 유닛(1)의 반송 상태(운전 상태)에 따라 상류 측 반송 유닛(1)의 상태가 제어된다.

특정의 반송 수단이 운전 상태인지 아닌지를 판단하는 방법은 몇 가지 있다. 예를 들면, 특정의 반송 수단에 운전 개시 지시가 행해진 경우, 즉 운전 명령 스위치가 ON인 경우, 또는 다른 방법으로 제어부(H)에서 운전 개시 지시가 행해진 경우, 운전 개시 신호가 보내진 반송 수단은 운전 상태에 있다고 판단할 수 있다. 또, 송풍식 지지 수단(3)과 추진력 부여 수단(4)에 설치된 센서로부터의 신호에 따라 반송 수단이 운전 상태에 있는지 어떤지를 판단하는 것도 가능하다. 이 센서로는 송풍팬(6)의 회전을 감지하는 센서나 전동모터(16) 부근에 설치된 회전센서 등의 당업자에 알려져 있는 센서를 이용하는 것이 가능하다.

제어부(H)는 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 운전 상태인 경우, 그 상류 측 반송 유닛(1)에 대해서는 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령되면 운전 개시를 허용한다. 그러나, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태인 경우, 그 상류 측 반송 유닛(1)에 대해서는 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령되더라도 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있다.

또, 제어부(H)는 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태인 반송 유닛(1)에 대해서는 단순히 운전의 개시를 금지하는 것이 아니라, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태인 반송 유닛(1)에 있어서, 재물 센서(T)에서 유리 기판(2)의 존재를 검출하면 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있다. 구체적으로 설명하면, 제어부(H)는 반송 방향의 가장 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 대해서는, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 존재하지 않기 때문에, 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령되면 무조건 운전을 개시시키도록 구성되어 있다.

그리고, 반송 방향의 가장 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1) 이외의 반송 유닛(1)에 대해서는 제어부(H)는 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 운전 상태이거나, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태이더라도, 재물 센서(T)에서 유리 기판(2)의 존재를 검출하지 않고 있으면 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령되면 운전을 개시시킨다.

또, 제어부(H)는 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태이고, 또한 인접하는 상류 측 반송 유닛(1)의 재물 센서(T)에서 유리 기판(2)의 존재를 검출하면, 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령되더라도 운전의 개시를 금지한다.

반송 방향의 가장 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1) 이외의 반송 유닛(1)에 대한 운전 개시 및 운전 정지에 대해서는 어느 반송 유닛(1)도 동일한 동작을 행하기 때문에, 도 11에 도시한 바와 같이, 반송 방향으로 정렬되어 있는 복수 개의 반송 유닛(1) 중 특정한 2개를 예로 들어, 도 12의 플로차트에 따라 설명한다. 도 11에 있어서, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1)을 상류 측 반송 유닛(1a)으로 하고, 반송 방향의 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)을 하류 측 반송 유닛(1b)으로 하여, 운전 명령 스위치군(S2) 중, 상류 측 반송 유닛(1a)에 대하여 운전 개시를 명령하는 운전 명령 스위치를 운전 명령 스위치(SW1)로 하고, 하류 측 반송 유닛(1b)에 대하여 운전 개시를 명령하는 운전 명령 스위치를 운전 명령 스위치(SW2)로 하여 설명한다.

먼저, 제어부(H)는 상류 측 반송 유닛(1a)에 대하여, 운전 명령 스위치(SW1)로써 운전 개시가 명령되면, 하류 측 반송 유닛(1b)이 운전 상태인지 여부를 판별하여, 하류 측 반송 유닛(1b)이 운전 상태이면 상류 측 반송 유닛(1a)의 운전을 개시시킨다(스텝 1～3).

그리고, 제어부(H)는 하류 측 반송 유닛(1b)이 비운전 상태이며, 상류 측 반송 유닛(1a)에서 재물 센서(T)가 유리 기판(2)의 존재를 검출하면, 상류 측 반송 유닛(1a)의 운전 개시를 금지시킨다(스텝 2, 4, 5).

또, 제어부(H)는 하류 측 반송 유닛(1b)이 비운전 상태이더라도, 상류 측 반송 유닛(1a)에서 재물 센서(T)가 유리 기판(2)의 존재를 검출하지 않고 있으면, 상류 측 반송 유닛(1a)의 운전을 개시시킨다(스텝 2, 4, 3).

상기 제어부(H)는 상류 측 반송 유닛(1a)의 운전을 개시시킨 상태에서 하류 측 반송 유닛(1b)에서 재물 센서(T)가 유리 기판(2)의 존재를 검출하면, 상류 측 반송 유닛(1a) 및 하류 측 반송 유닛(1b)의 운전을 정지한다(스텝 6, 7).

[제2 실시예]

다음에 다른 실시예에 의한 제어부(H)에 대하여 설명한다. 이 실시예에서는 이하에 설명되는 제어부(H)의 작동을 제외하고, 반송 장치의 구조 자체는 제1 실시예에 개시되어 있는 것과 동일하기 때문에, 이에 관한 상세한 설명은 생략한다.

본 실시예에서의 상기 제어부(H) 역시 도 10에 도시한 바와 같이, 지령부(S)에서의 명령에 따라, 복수 개의 반송 유닛(1) 각각의 운전을 제어한다. 제어부(H)는 반송 유닛(1)의 운전 상태에 있어서는 전동모터(16), 팬필터 유닛(7), 및 서브팬필터 유닛(21)을 작동시킴으로써, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하여 반송한다.

상기 팬필터 유닛(7)은 송풍팬(6)의 작동 상태를 전환함으로써, 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 청정 공기의 송풍량을 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하는 지지용 송풍량으로 하는 지지 작동 상태와, 지지용 송풍량보다도 작은 송풍량으로 하는 약풍 상태로 변경 가능하게 구성되어 있다.

즉, 복수 개의 팬필터 유닛(7)으로 이루어지는 송풍식 지지 수단(3)은 제진 필터(5)를 통해서 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 청정 공기를 송풍하도록 구성되고, 또한 지지 작동 상태와 약풍 상태로 변경 가능하게 구성되어 있다.

제어부(H)는 복수 개의 반송 유닛(1)을 운전시킬 때에, 유리 기판(2)이 환승되는 환승 대상의 반송 유닛(1)에 대해서는 유리 기판(2)의 환승 타이밍 이전에, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 상태로 하도록 송풍식 지지 수단(3)의 작동 상태를 제어한다. 따라서, 제2 실시예에서는 상류 측 반송 유닛(1)의 반송 상태에 따라 하류 측 반송 유닛(1)의 상태가 제어된다. 여기서는 환승 대상의 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)이 환승되도록, 이 반송 유닛(1)의 전동모터(16)를 작동시키는 시점이 환승 타이밍으로서 설정되어 있다.

즉, 제어부(H)는 송풍식 지지 수단(3)을 약풍 상태로 작동시키고, 환승 대상의 반송 유닛(1)에 대해서는 상기 환승 타이밍 이전에, 송풍식 지지 수단(3)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경한다. 보다 바람직하게는, 제어부(H)는 환승 대상의 반송 유닛(1)에 대해서는 그 환승 대상의 반송 유닛(1)보다도 반송 방향의 상류 측에 인접하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)이 환승되는 상류 측 환승 타이밍에 있어서, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지할 수 있는 상태로 이행시키도록, 송풍식 지지 수단(3)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경하는 것이 바람직하다.

환승 대상의 반송 유닛(1)보다도 반송 방향의 상류 측에 인접하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)이 환승되도록, 상류 측 반송 유닛(1)의 전동모터(16)를 작동시킬 때가 상류 측 환승 타이밍으로서 검출된다. 상류 측 환승 타이밍은 송풍식 지지 수단(3)의 작동 상태를 변경하기 위해서 요구되는 시간이나 유리 기판(2)의 반송속도 등에 근거하여, 상류 측 환승 타이밍에 송풍식 지지 수단(3)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경함으로써, 환승 대상의 반송 유닛(1)이 환승되는 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지할 수 있도록 설정되어 있다.

이하, 제어부(H)에 의한 복수 개의 반송 유닛(1)의 제어동작에서의 팬필터 유닛(7) 및 전동모터(16)의 동작에 대해 구체적으로 설명한다.

먼저, 제어부(H)는 반송 방향으로 정렬되어 있는 복수 개의 반송 유닛(1)의 모든 팬필터 유닛(7)을 약풍 상태로 작동시킨다. 그리고, 제어부(H)는 환승 대상의 반송 유닛(1)에 대해서는 환승 타이밍 이전의 상류 측 환승 타이밍으로, 팬필터 유닛(7)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 전환하도록 작동 상태를 변경하는 동시에, 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는 반송 유닛(1)과 그 반송 유닛(1)의 하나 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 대해 전동모터(16)를 작동시킨다.

이와 같이 하여, 환승 대상의 반송 유닛(1)에 대해서는 실제로 유리 기판(2)이 환승되는 환승 타이밍 이전의 상류 측 환승 타이밍에, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지할 수 있도록 하여, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하면서, 반송 유닛(1) 사이에서 유리 기판(2)을 환승시켜 반송하도록 하고 있다.

그리고, 상류 측 환승 타이밍에 대해서는 환승 대상의 반송 유닛(1)보다도 반송 방향의 상류 측에 인접하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)이 환승되도록 전동모터(16)의 작동을 개시시킨 타이밍으로 하고 있다.

또, 지령부(S)에서 운전 개시가 명령된 당초에는 제어부(H)가 반송 방향의 가장 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1) 및 그 반송 유닛(1)보다도 하나 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 대해서는 팬필터 유닛(7)을 지지 작동 상태로 작동시키고, 또한 그 이외의 반송 유닛(1)에 대해서는 팬필터 유닛(7)을 약풍 상태로 작동시킨다.

이러한 작동 상태에 있어서, 탑재 장치에 의해 반송 방향의 가장 상류 측에 위치하는 환승 대상의 반송 유닛의 반송 경로 상에 유리 기판(2)을 탑재하여, 유리 기판(2)을 반송 장치에 도입시킨다.

그리고, 유리 기판(2)이 도입되면, 제어부(H)는 재물 센서(T)의 검출정보에 따라, 반송 방향의 가장 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1)의 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는 것을 검출함으로써, 반송 방향의 가장 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1) 및 그 반송 유닛(1)보다도 하나 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 대해 전동모터(16)를 작동시켜, 유리 기판(2)을 반송 방향의 가장 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1)으로부터 그 반송 유닛(1)보다도 하나 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 환승되도록 한다.

이상과 같이 하여, 팬필터 유닛(7) 및 전동모터(16)의 작동 상태를 제어함으로써, 반송 방향의 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1)으로부터 반송 방향의 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하여 환승시키면서, 복수 개의 반송 유닛(1)에 의해 반송 장치의 상류 단부로부터 하류 단부까지 유리 기판(2)을 반송한다.

상기 복수 개의 반송 유닛(1)에 있어서, 팬필터 유닛(7) 및 전동모터(16)의 동작에 대해서는 어느 반송 유닛(1)도 동일한 동작을 행하기 때문에, 도 13에 도시한 바와 같이, 반송 방향으로 정렬되어 있는 복수 개의 반송 유닛(1) 중 특정한 3개를 예로 들어, 도 14의 플로차트에 따라 설명을 한다. 도 13에서는 반송 방향의 가장 상류 측에 위치하는 반송 유닛(1)을 상류 측 반송 유닛(1a)으로 하고, 그 상류 측 반송 유닛(1a)보다도 하나 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)을 중간의 반송 유닛(1b)으로 하고, 그 중간의 반송 유닛(1b)보다도 하나 하류 측에 위치하는 반송 유닛(1)을 하류 측 반송 유닛(1c)으로서 설명한다.

먼저, 상류 측 반송 유닛(1a)의 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하지만, 유리 기판(2)이 아직 재물 센서(T)의 지점에 도달하지 않고 있는 경우, 상류 측 반송 유닛(1a)의 팬필터 유닛(7)의 송풍팬(6)은 지지 작동 상태이며, 중간의 반송 유닛(1b)과 하류 측 반송 유닛(1c)의 송풍팬(6)은 약풍 상태이다. 이것이 전제되는 동작 상태이다(스텝 1).

다음에, 상류 측 반송 유닛(1a)에서의 재물 센서(T)에서 유리 기판(2)의 존재가 검출되면(스텝 2), 상류 측 반송 유닛(1a)의 송풍팬(6) 외에, 중간의 반송 유닛(1b)의 송풍팬(6)도 지지 작동 상태로 작동되고, 하류 측 반송 유닛(1c)의 송풍팬(6)은 약풍 상태이다. 그리고, 제어부(H)는 중간의 반송 유닛(1b)에서의 전동모터(16)를 작동 개시시켜, 유리 기판(2)을 상류 측 반송 유닛(1a)에서 중간의 반송 유닛(1b)에 환승되게 한다(스텝 3). 중간의 반송 유닛(1b)에서의 전동모터(16)를 작동 개시시킴으로써, 상류 측 환승 타이밍이 검출되고, 환승 대상인 하류 측 반송 유닛(1c)에서의 팬필터 유닛(7)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경시킨다(스텝 4). 스텝 2에서의 재물 센서(T)에 의한 유리 기판(2)의 존재의 검출로부터 스텝 3의 중간의 반송 유닛(1b)에서의 전동모터(16)의 작동 개시까지의 시간은 간격을 두어도 좋지만, 재물 센서(T)가 유리 기판(2)의 검출을 행했을 때에 전동모터(16)의 작동을 개시할 수도 있다.

그 후, 제어부(H)는 중간의 반송 유닛(1b)에서의 재물 센서(T)가 유리 기판(2)이 존재하는 것을 검출하면, 상류 측 반송 유닛(1a)에서의 팬필터 유닛(7)을 지지 작동 상태로부터 약풍 상태로 변경한다(스텝 5, 6).

서브팬필터 유닛(21)의 동작에 대해서는 전동모터(16)가 작동 상태인 반송 유닛(1)에서 서브팬필터 유닛(21)을 작동시키거나, 또는 모든 반송 유닛(1)에서 서브팬필터 유닛(21)을 작동시키는 등, 적절한 변경이 가능하다.

[제3 실시예]

이 제3 실시예는 상기 제1 실시예와 제2 실시예에 있어서 반송하는 반송물의 자세의 다른 실시예를 나타내는 것이며, 이하, 그 점을 중심으로 도면에 따라 설명한다. 기타 구성에 대해서는, 상기 제1 실시예와 동일하므로 동일한 부호를 기재하는 등에 의해 그 상세한 설명은 생략한다.

세로 자세용 반송 유닛(24)은, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)의 반송 방향으로 복수 개 나열되고, 반송물로서의 유리 기판(2)을 세로 자세에 가까운 자세로 반송하도록 구성되어 반송 수단으로서 작용하도록 구성되어 있다.

그리고, 세로 자세용 반송 유닛(24)은 세로 자세에 가까운 자세로 설치되어 있는 세로 자세용 송풍식 지지 수단(25)과, 세로 자세에 가까운 자세로 설치되어 있는 세로 자세용 추진력 부여 수단(26)을 구비하여 구성되어 있다.

이와 관련하여, 이 제3 실시예에서는 유리 기판(2)이 세로 자세에 가까운 자세로 반송되기 때문에, 세로 자세용 반송 유닛(24)이 존재하는 쪽이 유리 기판(2)의 하면부가 된다.

상기 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)은 세로 자세에 가까운 자세로 반송되는 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 청정 공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하도록 구성되어 있다.

이와 관련하여, 이 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)은 상기 제1 실시예에서의 송풍식 지지 수단(3)과 같이 제진 필터(5)와 송풍팬(6)을 일체로 조립한 팬필터 유닛(7a)으로 구성되고, 이 팬필터 유닛(7a)은 상하로 정렬되는 2개의 송풍팬(6)과 하나의 제진 필터(5)를 일체로 조립하고 있다.

또, 팬필터 유닛(7a)에서의 청정 공기를 정류하는 정류판(8)도 설치되어 있다.

그리고, 세로 자세용 추진력 부여 수단(26)은 유리 기판(2)의 일 단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 타이밍벨트(27)를 구비하여, 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하도록 구성되어 있다.

설명을 추가하면, 세로 자세용 추진력 부여 수단(26)은 반송 아래쪽에 위치하여 전동식 모터(28)에 의해서 회전하는 구동륜(29)과, 반송 위쪽에 위치하는 회전식 종동륜(30)과, 이들 구동륜(29)과 종동륜(30)에 걸쳐 감기는 타이밍벨트(27)를 구비하여 구성되어 있다.

그리고, 타이밍벨트(27)는 그 이송 경로 부분을 내주면 측으로부터 내측 지지륜(31)에 의해 지지되고, 그 귀환 경로 부분을 외주면 측으로부터 외측 지지륜(32)에 의해 지지되어 있다.

또, 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)과 유리 기판(2)의 반송 경로가 수납되는 반송공간(C)을 밀폐상태 또는 대략 밀폐상태로 덮는 반송케이스(34)가 설치되어 있다.

또, 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)에 대해서도, 상기 제1 실시예와 같이 팬필터 유닛(7a)이 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 청정 공기의 송풍량을 지지용 송풍량으로 하는 지지 작동 상태와, 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 청정 공기의 송풍량을 적게 하는 약풍 상태로 변경 가능하게 구성되어 있다.

상기 제어부(H)를 상기 제1 실시예와 같이 지령부(S)로부터의 명령에 따라, 복수 개의 세로 자세용 반송 유닛(24) 각각에 대해 운전 개시 및 운전 정지를 제어하여, 자동 운전 및 수동 운전을 행하도록 구성하는 것이 가능하다. 그리고, 제어부(H)는 세로 자세용 반송 유닛(24)의 운전 상태에 있어서는 전동식 모터(28), 및 팬필터 유닛(7a)을 작동시킴으로써, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하여 반송하도록 구성되어 있다.

또, 제어부(H)를 상기 제1 실시예와 같이 수동 운전에서는 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령된 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해 단순히 운전을 개시시키는 것이 아니라, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이 운전 상태인지 여부에 따라 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이, 환승되는 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하여 반송할 수 있는 경우에만 운전을 개시시키도록 구성하는 것이 가능하다.

그 경우, 제어부(H)를 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이 운전 상태인 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 운전 개시를 허용하고, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이 비운전 상태인 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 운전 개시를 금지하도록 구성한다.

그리고, 제어부(H)는 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이 운전 상태인 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령되면 운전을 개시하고, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이 비운전 상태인 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 운전 명령 스위치군(S2)에 의해 운전 개시가 명령되더라도 운전의 개시를 금지하도록 구성한다.

또, 상기 제2 실시예와 같이 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이 비운전 상태인 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 단순히 운전의 개시를 금지하는 것이 아니라, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 세로 자세용 반송 유닛(24)이 운전 상태인 세로 자세용 반송 유닛(24)에 있어서, 재물 센서(T)에서 유리 기판(2)의 존재를 검출하면 운전 개시를 금지하도록, 제어부(H)를 구성할 수도 있다.

그리고, 복수 개의 세로 자세용 반송 유닛(24)을 운전시키는 것에 있어서, 운전 대상의 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)을 약풍 상태로써 작동시키고, 또한 환승 대상의 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 환승 타이밍 이전인 상류 측 환승 타이밍에, 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경하도록, 제어부(H)를 구성한다.

이 제3 실시예에서는 서브팬필터(21)가 설치되어 있지 않기 때문에, 제어 블럭도는 도 10에 있어서, 서브팬필터(21)를 생략하고, 전동모터(16)를 전동식 모터(28)로 변경한다.

[또 다른 실시예]

(1) 상기 제1 실시예 및 제3 실시예에서는 제어부(H)가 수동 운전에 있어서만, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)(제3 실시예에서는 세로 자세용 반송 유닛(24))이 운전 상태인 반송 유닛(1)에 대해서는 운전 개시를 허용하고, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태인 반송 유닛(1)에 대해서는 운전 개시를 금지하도록 하고 있다. 그러나, 수동 운전과 자동 운전의 양쪽에서, 또는 자동 운전에 있어서만, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 운전 상태인 반송 유닛(1)에 대해서는 운전 개시를 허용하고, 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태인 반송 유닛(1)에 대해서는 운전 개시를 금지하도록 하여 실시하는 것도 가능하다.

(2) 상기 제1 실시예 및 제3 실시예에서는 제어부(H)가 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)(제3 실시예에서는 세로 자세용 반송 유닛(24))이 비운전 상태인 반송 유닛(1)에 있어서, 재물 센서(T)에서 유리 기판(2)의 존재를 검출하면 운전 개시를 금지하도록 하고 있지만, 재물 센서(T)에서 유리 기판(2)의 존재를 검출하고 있는 지 여부에 관계없이 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)이 비운전 상태인 반송 유닛(1)의 전체에 대해 운전 개시를 금지하도록 하여 실시하는 것도 가능하다. 이 경우에는 재물 센서(T)를 설치하거나 설치하지 않더라도 된다.

(3) 상기 제2 실시예 및 제3 실시예에서는 제어부(H)가 환승 타이밍 이전의 상류 측 환승 타이밍에 있어서, 팬필터 유닛(7, 7a)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경하도록 하고 있지만, 환승 대상의 반송 유닛(1) 및 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해 팬필터 유닛(7, 7a)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경하는 타이밍은 환승 타이밍 이전이면 되고, 예를 들면 상류 측 환승 타이밍 이전의 타이밍이어도 된다. 어느 쪽이든, 상류 측 환승 타이밍은 송풍식 지지 수단(3)의 작동 상태를 변경하기 위해서 요구되는 시간이나 유리 기판(2)의 반송 속도 등을 고려하여, 환승 대상의 반송 유닛(1)이 환승되는 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지할 수 있도록 충분한 시간이 부여되는 것이 바람직하다.

(4) 상기 제2 및 제3 실시예에서는 제어부(H)가 송풍식 지지 수단(3) 및 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)을 약풍 상태로 작동시키고, 또한 환승 대상의 반송 유닛(1) 및 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 환승 타이밍 이전에, 송풍식 지지 수단(3) 및 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)을 약풍 상태로부터 지지 작동 상태로 변경하도록 하고 있지만, 예를 들면, 제어부(H)가 운전 대상의 반송 유닛(1) 및 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 송풍식 지지 수단(3) 및 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)을 작동 정지상태로 유지시키고, 또한 환승 대상의 반송 유닛(1) 및 세로 자세용 반송 유닛(24)에 대해서는 환승 타이밍 이전에, 송풍식 지지 수단(3) 및 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)을 지지 작동 상태가 되도록 작동 개시시키도록 할 수도 있다.

이와 관련하여, 이 경우에는 송풍식 지지 수단(3) 및 세로 자세용 송풍식 지지 수단(26)을 지지 작동 상태만으로 작동시켜, 약풍 상태와 지지 작동 상태로 변경 가능하게 구성하지 않더라도 된다.

(5) 상기 제2 실시예 및 제3 실시예에서는 환승 대상의 반송 유닛(1)보다도 반송 방향의 상류 측에 인접하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)이 환승되도록 전동모터(16)를 작동시킴으로써, 상류 측 환승 타이밍인 것을 검출하고 있지만, 예를 들면, 환승 대상의 반송 유닛(1)보다도 반송 방향의 상류 측에 인접하는 반송 유닛(1)에 유리 기판(2)이 환승되는 것을 검출하는 센서 등을 설치하여, 이 센서로써 유리 기판(2)이 환승되는 것을 검출함으로써, 상류 측 환승 타이밍인 것을 검출하도록 할 수도 있다. 도 17에서는 도 14에서 나타내는 플로차트보다 한층 일반적인 플로차트를 나타내고 있다.

(6) 상기 제2 실시예 및 제3 실시예에서는 운전 대상을 모든 반송 유닛(1)으로 하고 있지만, 예를 들면, 유리 기판(2)이 반송 경로 상에 존재하는 반송 유닛(1)과, 그 반송 유닛보다도 반송 방향의 하류 측에 인접하는 반송 유닛(1)의 2개를 운전 대상의 반송 유닛으로 해도 되고, 즉 복수 개의 반송 유닛(1)의 일부를 운전 대상의 반송 유닛으로 해도 되고, 운전 대상의 반송 유닛을 어떻게 설정하느냐에 관해서는 적절하게 변경이 가능하다.

(7) 상기 제1 실시예에서는 수납용 프레임(12a)의 측면부에, 반송공간(A)과 수납공간(B)을 연통하는 공기배출구(23)가 형성되어 있지만, 이 공기배출구(23)를 형성하지 않아, 반송공간(A)과 수납공간(B)을 연통하지 않도록 구성하여 실시하는 것도 가능하다.

(8) 상기 제1 실시예 및 제3 실시예에서는 제진 필터(5)와 송풍팬(6)을 일체로 조립한 팬필터 유닛(7, 7a)을 예시했지만, 반드시 제진 필터(5)와 송풍팬(6)을 일체로 장착할 필요는 없고, 예를 들면, 송풍팬(6)에 의해 송풍되는 공기를 제진 필터(5)로 안내하는 안내로 등을 설치하여, 제진 필터(5)와 송풍팬(6)을 별개로 구성하여 실시하는 것도 가능하다.

(9) 상기 제1 실시예 및 제3 실시예에서는 반송물로서 유리 기판(2)을 예시했지만, 기타 판형체나 원반형체 등 각종 물품에 적용하는 것이 가능하다.

(10) 운전 개시를 명령하는 인위 조작식의 운전 명령 수단으로서 스위치 대신 회전식 노브나 터치패널을 이용할 수도 있다.

Claims (2)

1. 반송물의 하면부를 향해서 공기를 송풍하여, 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단, 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 상기 반송물에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비한 반송 수단이 상기 반송 방향으로 복수 개 나열되어 있고, 상기 복수 개의 반송 수단의 운전을 제어하는 제어 수단을 구비한 반송 장치로서,
   상기 복수의 반송 수단 중 하나의 반송 수단과 다른 하나의 반송 수단은, 인접하는 2개의 반송 수단으로서 각각 반송 방향에서 하류 측 반송 수단과 상류 측 반송 수단이며,
   상기 제어 수단은, 상기 하류 측 반송 수단이 운전 상태인 경우에 상기 상류 측 반송 수단의 운전 개시를 허용하고, 상기 하류 측 반송 수단이 비운전 상태인 경우에 상기 상류 측 반송 수단의 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있고,
   상기 복수 개의 반송 수단의 각각에 대해 개별적으로 운전 개시를 명령하는 인위 조작식의 운전 명령 수단을 구비하며,
   상기 제어 수단은 상기 하류 측 반송 수단이 운전 상태인 경우에는 상기 운전 명령 수단에 의해 상기 상류 측 반송 수단에 대하여 운전 개시가 명령되면 상기 상류 측 반송 수단의 운전을 개시하고, 상기 하류 측 반송 수단이 비운전 상태인 경우에는 상기 운전 명령 수단에 의해 상기 상류 측 반송 수단에 대하여 운전 개시가 명령되더라도 상기 상류 측 반송 수단의 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있으며,
   상기 반송 수단이 그 반송 경로 상에 상기 반송물이 존재하는지 여부를 검출하는 반송물 검출 수단을 구비하고 있고,
   상기 제어 수단은 상기 하류 측 반송 수단이 비운전 상태인 경우에 상기 상류 측 반송 장치의 상기 반송물 검출 수단이 상기 반송물의 존재를 검출하면 상기 상류 측 반송 수단의 운전 개시를 금지하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 복수 개의 반송 수단 중, 모든 반송 수단을 운전 대상으로 하는 자동 운전과, 상기 운전 명령 수단에 의해 운전 개시가 명령된 반송 수단을 운전 대상으로 하는 수동 운전을 전환시키는 인위 조작식의 운전 전환 스위치를 더 구비하고,
   상기 제어 수단은, 상기 운전 전환 스위치에 의해 상기 수동 운전이 명령되어 있는 때, 상기 운전 명령 수단에 의해 상기 상류측 반송 수단에 대하여 운전 개시가 명령되면 상기 상류측 반송 수단의 운전을 개시하고, 상기 하류측 반송 수단이 비운전 상태인 경우에는 상기 운전 명령 수단에 의해 상기 상류측 반송 수단에 대하여 운전 개시가 명령되어도 상기 상류측 반송 수단의 운전에 개시를 금지시키는, 반송 장치.

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