JP4244007B2

JP4244007B2 - 搬送装置

Info

Publication number: JP4244007B2
Application number: JP2003385479A
Authority: JP
Inventors: 淑照池畑; 隆佳大野; 雄一森本
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2003-11-14
Filing date: 2003-11-14
Publication date: 2009-03-25
Anticipated expiration: 2023-11-14
Also published as: JP2005145651A

Description

本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置に関するものである。

かかる搬送装置は、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持し、推進力付与手段にて搬送方向での推進力を接触状態で搬送物に付与するように構成されているものであり、例えば、搬送物として液晶用のガラス基板を搬送する場合では、ガラス基板における製品化される部分を送風式支持手段にて非接触状態に支持し、ガラス基板における製品化する際にカットされる部分を前記推進力付与手段にて推進力を接触状態で付与するというように、搬送物における接触支持が好ましくない部分を支持しながら接触状態で推進力を付与して搬送物を確実に搬送するのに適している。

そして、主搬送姿勢で搬送物を搬送するメイン搬送部と、主搬送姿勢から縦軸芯周りに所定角度回転させた副搬送姿勢で搬送物を搬送するサブ搬送部とを備えて、例えば、搬送物をメイン搬送部にて主搬送姿勢で搬送し、その搬送した搬送物をサブ搬送部にて副搬送姿勢で搬送する場合では、メイン搬送部からサブ搬送部に移載する際に搬送物の姿勢を主搬送姿勢から副搬送姿勢に切り換える必要がある。
そこで、搬送物を支持する送風式支持手段を回転板に片持ち状に支持させて移載用搬送部を構成し、その移載用搬送部をメイン搬送部とサブ搬送部との接続箇所に設け、移載用搬送部に備えさせた送風式支持手段を昇降操作並びに回転板の中心に位置する縦軸芯周りに回転操作して、メイン搬送部からサブ搬送部に移載する際に搬送物の姿勢を主搬送姿勢から副搬送姿勢に切り換えるものがあった（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０００−６２９５１号公報

しかし、この構成の搬送装置では、搬送物の姿勢を主搬送姿勢から副搬送姿勢に切り換える際に、その搬送物を支持する送風式支持手段を回転板の中心に位置する縦軸芯周りに回転操作するものであるため、搬送物の姿勢を主搬送姿勢や副搬送姿勢に切り換える際に大きな動力が必要となる不利がある。

本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであって、搬送物の姿勢を主搬送姿勢や副搬送姿勢に切り換える際に大きな動力が必要でない搬送装置を提供する点にある。

本願発明の搬送装置は、ガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢でガラス基板を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持されたガラス基板の下面に接触してガラス基板に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記搬送部として、ガラス基板を主搬送姿勢で搬送する主搬送部、ガラス基板を主搬送姿勢から縦軸芯周りに所定角度回転させた副搬送姿勢で搬送する副搬送部、及び、前記主搬送部と前記副搬送部との接続箇所に位置して、前記主搬送部との間並びに前記副搬送部との間でガラス基板を搬送する中継搬送部が設けられ、前記中継搬送部が、それが備える、前記推進力付与手段と前記送風式支持手段との相対昇降により、ガラス基板を前記推進力付与手段に接触させる搬送用状態とガラス基板を前記推進力付与手段に対して非接触状態とする回転用状態とに切り換えて、前記搬送用状態においては、前記推進力付与手段による推進力により前記主搬送部との間並びに前記副搬送部との間でガラス基板を搬送し、且つ、前記回転用状態においては、ガラス基板を縦軸芯周りで回転させるために備えさせた姿勢変更手段によりガラス基板に回転力を付与してガラス基板を前記主搬送姿勢と前記副搬送姿勢とに切り換えられるように構成され、前記姿勢変更手段が、ガラス基板の下面を吸着保持自在な吸着部を縦軸芯周りに回転操作自在に且つ昇降操作自在に備えて、前記回転用状態においては前記ガラス基板を前記吸着部にて吸着保持して回転させ、且つ、前記搬送用状態においては前記搬送部に対する前記吸着部の接触を解除させるように構成されている点を特徴とする。

すなわち、中継搬送部は、搬送用状態に切り換えることによりガラス基板が推進力付与手段に対して接触状態となり、推進力付与手段にて付与される推進力にて主搬送姿勢のガラス基板を主搬送部との間で搬送することができ、且つ、推進力付与手段にて付与される推進力にて副搬送姿勢のガラス基板を副搬送部との間で搬送することができる。そして、回転用状態に切り換えることによりガラス基板が推進力付与手段に対して非接触状態となり、姿勢変更手段にて付与される回転力にてガラス基板を主搬送姿勢と副搬送姿勢に切り換えることができる。

つまり、推進力付与手段と送風式支持手段とを相対昇降させて中継搬送部を搬送用状態から回転用状態に切り換え、送風式支持手段にて支持されているガラス基板に対して姿勢変更手段にて回転力を付与してガラス基板を主搬送姿勢と副搬送姿勢とに切り換えるように構成されている。よって、姿勢を切り換える際のガラス基板は送風式支持手段にて非接触状態で支持されているため、ガラス基板の姿勢を主搬送姿勢と副搬送姿勢とに切り換える際には、ガラス基板に対して姿勢変更手段にて微小な回転力を付与するだけでよくなり、もって、ガラス基板の姿勢を主搬送姿勢や副搬送姿勢に切り換える際に大きな動力が必要でない搬送装置を提供することができるに至った。

また、回転用状態においてはガラス基板を吸着部にて吸着保持してその吸着部を回転操作することによりガラス基板に回転力を付与して、ガラス基板を回転させてガラス基板の姿勢を主搬送姿勢と副搬送姿勢に切り換えることができ、搬送用状態においては、ガラス基板に対する吸着部の接触が解除されているため、吸着部に邪魔されることなくガラス基板を搬送することができる。

そして、送風式支持手段、推進力付与手段及び姿勢変更手段がいずれもガラス基板の下面に作用するように構成されており、送風式支持手段、推進力付与手段及び姿勢変更手段を上下に分散されることなく搬送されるガラス基板の下方にまとめて配設することができるので、搬送装置を上下方向にコンパクトに構成することができる。

第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記中継搬送部に、ガラス基板に横側方から接当することにより、前記主搬送姿勢或いは前記副搬送姿勢からずれたガラス基板の姿勢を前記主搬送姿勢或いは前記副搬送姿勢に修正する姿勢修正手段を設けてある点を特徴とする。

すなわち、姿勢変更手段にてガラス基板の姿勢を切り換えた後にその姿勢が主搬送姿勢或いは副搬送姿勢からずれていたとしても、姿勢修正手段がガラス基板の横側方から接当することによりガラス基板の姿勢を主搬送姿勢或いは副搬送姿勢に修正することができ、ガラス基板の姿勢を主搬送部或いは副搬送部に適した姿勢で搬出することができる。

第３特徴構成は、上記第１又は第２特徴構成に加えて、前記中継搬送部が、前記送風式支持手段を、前記主搬送部に備えさせる送風式支持手段及び前記副搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さでガラス基板を支持する高さで設け、前記推進力付与手段を、前記搬送用状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段及び前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さでガラス基板を接触支持する上方位置となり、且つ、前記回転用状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段及び前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置となるように昇降操作自在に設けるように構成されている点を特徴とする。

すなわち、送風式支持手段の昇降操作により、推進力付与手段を昇降操作することなく搬送用状態と回転用状態とに切り換えることができるので、主搬送部と副搬送部と中継搬送部とに夫々備えさせた推進力付与手段の高さ関係は搬送用状態でも回転用状態でも変化せず、前記夫々に備えさせた推進力付与手段を一連の伝動構造に構成することができるので、推進力付与手段の伝動構造の複雑化を抑制することができる。

第４特徴構成は、上記第１から第３のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記ガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている点を特徴とする。

すなわち、送風手段と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送方向に並べて備えるだけで、搬送されるガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給してガラス基板を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。

以下、本発明に係る搬送装置を搬送物として液晶用の矩形状のガラス基板を搬送するように構成した場合について図面に基づいて説明する。

図１に示すように、搬送装置Ｈは、ガラス基板２をその長手方向を搬送方向に沿う主搬送姿勢で搬送する主搬送部５ａ、ガラス基板２を主搬送姿勢から縦軸芯周りに所定角度の９０°回転させた副搬送姿勢で搬送する副搬送部５ｂ、及び、主搬送部５ａと副搬送部５ｂとの接続箇所に位置して、主搬送部５ａとの間並びに副搬送部５ｂとの間でガラス基板２を搬送する中継搬送部５ｃが搬送部として設けられている。

そして、図２、図７に示すように、各搬送部は、非接触状態で支持する送風式支持手段３と接触状態で支持する推進力付与手段４とでガラス基板２を支持し、その支持されたガラス基板２に搬送方向の推進力を推進力付与手段４にて付与してガラス基板２を搬送方向に搬送するように構成され、これら送風式支持手段３や推進力付与手段４が収納ケース７に収納されている。
また、主搬送部５ａは、主搬送ユニットを１つ或いは複数を並べて構成されており、副搬送部５ｂは、副搬送ユニットを１つ或いは複数を並べて構成されており、中継搬送部５ｃは、１つの中継搬送ユニットにて構成されている。つまり、搬送装置Ｈは、主搬送ユニットと副搬送ユニットと中継搬送ユニットとを組み合わせて構成されている。

中継搬送部５ｃについて説明する。
図２、図３に示すように、中継搬送部５ｃは、中継搬送部５ｃに備えさせた送風式支持手段３と、ガラス基板２に搬送方向の推進力を付与する中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４と、ガラス基板２を主搬送姿勢と副搬送姿勢とに切り換える姿勢変更手段６と、ガラス基板２の姿勢のずれを修正する姿勢修正手段４１と、これら送風式支持手段３、推進力付与手段４、姿勢変更手段６並びに姿勢修正手段４１を収納する中継搬送部５ｃに備えられたケース体７とを備えて構成されている。

図３に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略矩形状のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９に連結固定された側壁１０と、両側の側壁１０にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。
前記ユニット用枠体９は、図４、図５に示すように、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を導入する空気導入口１１を備えた略矩形で板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。

中継搬送部５ｃに備えられた前記送風式支持手段３について説明すると、図４に示すように、前記送風式支持手段３は、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する複数個のファンフィルタユニット（送風ユニットの一例）１４と、このファンフィルタユニット１４に載置支持されてガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う整風板１５とを備えて構成されている。ファンフィルタユニット１４は、前記支持枠部分９ａに連結固定されており、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風ファン１３（送風手段の一例）とを一体的に組み付けて構成されている。

そして、送風式支持手段４は、ファンフィルタユニット１４を前後方向に２つ並べ、横幅方向に３つ並べた計６つのファンフィルタユニットを備えている。そして、横幅方向に並ぶ２つのファンフィルタユニットは横向きに設けられており、送風式支持手段４の中心部に前記姿勢変更手段６が昇降可能な空間が形成されている。また、前記整風板１５には、前記姿勢変更手段６が送風式支持手段３より上方に突出可能なように形成された変更手段用孔１５ｃが形成されている。
尚、整風板１５には、変更手段用孔１５ｃ以外に、パンチングにより形成された通気孔１５ａや前記推進力付与手段４が送風式支持手段３より上方に突出可能なように形成された付与手段用孔１５ｂ、姿勢修正手段４１の一部が入り込む凹部１５ｄが形成されている。

次に、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４について説明する。図２、図３に示すように、前記推進力付与手段４は、ガラス基板２における横幅方向の両端部を接触支持する一対のベルト式推進力付与部（推進力付与部の一例）４ａを備えて両側駆動式に構成されている。この一対のベルト式推進力付与部４ａは、図３に示すように、ファンフィルタユニット１４を横幅方向に３つ並べることにより形成される２つの前後方向の隙間に振り分けて設けられており、横幅の狭い主搬送姿勢のガラス基板２を支持する場合は、ガラス基板２の両端部の中央寄りを支持し、横幅の狭い副搬送姿勢のガラス基板２を支持する場合は、ガラス基板２の両端部の外端寄りを支持するように構成されている。

ベルト式推進力付与手段４ａのそれぞれは、図６に示すように、搬送方向の上手側に位置して電動式の駆動モータ３３によって回転する駆動輪３４と、搬送上手側に位置する回転自在な従動輪３５と、これら駆動輪３４と従動輪３５とに亘って巻回し、ガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する前記タイミングベルト３６と、タイミングベルト３６における送り経路部分を内周面側から支持する内支持輪３７と、これらを支持する支持枠４０とから構成されている。

そして、図４、図６に示すように、支持枠４０には、ベルト式推進力付与部４ａを昇降操作するための電動式の昇降用モータ３９が設けられており、この昇降用モータ３９の出力ギヤ３９ａと、ファンフィルタユニット１４の側面に形成されたギヤ溝１４ａとが噛み合わされている。従って、推進手段用モータ３９を正逆方向に駆動回転させることによって、ベルト式推進力付与部４ａが昇降操作されることとなる。

次に、姿勢変更手段６について説明する。図５に示すように、姿勢変更手段６はユニット用枠体９に載置支持されており、回転部１８の上面にはガラス基板２の下面を吸着保持自在な複数の吸着パット１９（吸着部の一例）が、縦軸芯周りに回転操作自在に且つ昇降操作自在に備えられている。
つまり、姿勢変更手段６は、図３に示すように、ユニット用枠体９に載置支持されて内装されたシリンダ機構１７ａにて上下方向に伸縮自在に構成された伸縮部１７と、この伸縮部１７の上端部に設けられて内装された回転用モータ１８ａにて回転自在な回転部１８と、前記吸着パット１９とで構成されている。よって、回転部１８が回転することにより吸着パット１９が回転操作され、伸縮部１７が伸縮することにより吸着パット１９が昇降操作されるように構成されている。
そして、ガラス基板２を吸着保持した状態で吸着パット１９を回転操作することによりガラス基板２に回転力を付与してガラス基板２を前記主搬送姿勢と前記副搬送姿勢とに切り換えられるように構成されている。

次に、前記姿勢修正手段４１について説明する。図４に示すように、姿勢修正手段４１は、中継搬送部５ａの内外方向に移動自在な一対の接当機構４２にて構成され、この一対の接当機構４２が、ガラス基板２の斜に対向する角部に横側方から挟み込んだ状態で接当するように構成されている。そして、修正機構４２は、ガラス基板２の前後方向の一方の側面と左右方向の一方の側面とにそれぞれ接当可能な一対の押し部材４３と、一対の押し部材４３を連結支持する本体部４４と、本体部４４を前記内外方向に移動操作する駆動部４５とで構成されている。
よって、駆動機構４５により本体部４４を前記内外方向に移動させて、計４つの押し部材４３にてガラス基板２を横側方から挟み込むように接当させることにより、副搬送姿勢からずれたガラス基板２の姿勢を副搬送姿勢に修正するように構成されている。

次に、主搬送部５ａ並びに副搬送部５ｂについて説明するが、主搬送部５ａと副搬送部５ｂとは横幅が異なる点以外は略同様に構成されているので、主搬送部５ａについて説明し副搬送部５ｂの説明は省略する。また、尚、中継搬送部５ｃと同様に構成されるものについては、中継搬送部５ｃと同じ符号を付け、説明は省略する。
前記主搬送部５ａについて説明すると、図７に示すように、主搬送部５ａは、主搬送部５ａに備えられた送風式支持手段３と、ガラス基板２に搬送方向の推進力を付与する主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納する主搬送部５ａに備えられたケース体７とを備えて構成されている。

図７に示すように、主搬送部５ａに備えられた前記ケース体７は、前記ユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の両側に搬送方向に沿って固定状態で備えた収納フレーム８と、両側の収納フレーム８にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。
前記収納フレーム８のそれぞれは、図１０に示すように、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成され、収納フレーム８の下壁８ｂには、図８に示すように、収納フレーム内の空気を外部に排出する外部排出口２１を備えている。そして、外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納フレーム８内の空気が清浄されて外部に排出されるように構成されている。

主搬送部５ａに備えられた前記送風式支持手段３について説明すると、図８に示すように、送風式支持手段４は、複数の前記ファンフィルタユニット１４と前記整風板１５とを備えて構成され、ファンフィルタユニット１４を前後方向に２つ、横幅方向にも２つの計４つ備えて構成されている。
そして、整風板１５には、パンチングにより形成された通気孔１５ａが形成されており、前記付与手段用孔１５ｂや変更手段用孔１５ｃ、凹部１５ｄは形成されていない。

次に、主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４について説明する。図１、図７に示すように、前記推進力付与手段４は、ガラス基板２における横幅方向の両端部を接触支持する一対のローラ式推進力付与部（推進力付与部の一例）４ｂを備えて両側駆動式に構成され、一対のローラ式推進力付与部４ｂは前記一対の収納フレーム８に振り分けて備えられている。
ローラ式推進力付与部４ｂのそれぞれは、図９〜１１に示すように、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は収納フレーム８内に配備されており、前記出力軸２６は、収納フレーム８から突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納フレーム８から突出する部分にはガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する前記駆動ローラ２４が備えられており、この駆動ローラ２４には、図４、図８に示すように、ガラス基板２の横幅方向の両端部の側面に接当して、ガラス基板２の横幅方向への移動を受け止める大径部２４ａが備えられている。

主搬送部、副搬送部及び中継搬送部における送風式支持手段や推進力付与手段の高さ関係を説明すると、図１２に示すように、主搬送部５ａに備えさせた送風式支持手段３と副搬送部５ｂに備えさせた送風式支持手段３と中継搬送部５ｃに備えさせた送風式支持手段３とは、同じ又は略同じ高さで搬送物を支持するように設けられている。
そして、中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４は、主搬送部５ａに備えさせる推進力付与手段４及び副搬送部５ｂに備えさせる推進力付与手段４と同じ又は略同じ高さでガラス基板２を接触支持する上方位置や、主搬送部５ａに備えさせる推進力付与手段４及び副搬送部５ｂに備えさせる推進力付与手段４より下方に位置する下方位置とに昇降操作自在に設けられている。

そして、搬送装置Ｈには、ガラス基板の存否を検出する図示しない検出センサや、この検出結果に基づいて推進力付与手段４、姿勢変更手段６及び姿勢修正手段４１の作動を制御する図示しない制御手段が備えられている。

次に、中継搬送部５ｃにおける搬送物の搬送姿勢の切り換えについて説明する。
前述した通り、中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４は昇降操作自在に構成されており、図１２に示すように、中継搬送部５ｃは、推進力付与手段４を前記上方位置に上昇させることによりガラス基板２を推進力付与手段４に接触させる搬送用状態となり、推進力付与手段４を前記下方位置に下降させることにより、ガラス基板２を推進力付与手段４に対して非接触状態とする回転用状態となるように構成されている。
そして、搬送用状態においては、推進力付与手段４による推進力により、主搬送部５ａからガラス基板２を搬入するように主搬送部５ａとの間で搬送し、その搬入したガラス基板２を副搬送部５ｂに搬出するように副搬送部５ｂとの間で搬送物を搬送し、且つ、回転用状態においては、ガラス基板２を縦軸芯周りで回転させるために備えさせた前記姿勢変更手段６によりガラス基板２に回転力を付与してガラス基板２を主搬送姿勢から副搬送姿勢に切り換えられるように構成されている。

主搬送部５ａから主搬送姿勢で搬入したガラス基板を副搬送姿勢に切り換えて副搬送部５ｂに搬出する際の中継搬送部の動作について説明する。
まず、図１２（イ）に示すように、推進力付与手段４を上昇位置に上昇させてガラス基板２を送風式支持手段３と推進力付与手段４とで支持する前記搬送用状態とする。この状態では、姿勢変更手段６を吸着パット１９が搬送されるガラス基板２に対して接触を解除するように下降させておき、姿勢修正手段４１を搬送されるガラス基板２と接当しないように前記内外方向での外方に移動させて退避させておく。この状態で主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４と中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与して、中継搬送部５ｃの所定の位置まで搬送されたことが前記検出センサにて検出されるとこれら推進力付与手段４の作動を停止させる。

その後、図１２（ロ）に示すように、推進力付与手段４を前記下降位置に下降させてガラス基板２を送風式支持手段３のみで非接触状態で支持する回転用状態とする。そして、姿勢変更手段６が、伸縮部１７を伸長させて吸着パット１９を上昇させ、この吸着パット１９にてガラス基板２の下面２ｃを吸着保持し、回転部１８を回転させてガラス基板２を主搬送姿勢から副搬送姿勢に姿勢変更させる。その後、吸着パット１９による吸着保持を解除し、伸縮部１７を短縮させて吸着パット１９を下降させ、吸着パット１９のガラス基板２に対する接触を解除する。
そして、姿勢修正手段４１が、接当機構４２を前記内外方向での内方に移動させてガラス基板２の斜に向かい合う角部に横側方から挟み込む状態で接当させ、副搬送姿勢からずれているガラス基板２の姿勢を副搬送姿勢に修正させる。

そして、ガラス基板２の姿勢を副搬送姿勢に切り換えた後、推進力付与手段４を前記上方位置に上昇させて前記搬送用状態とし、姿勢修正手段４１を搬送されるガラス基板２と接当しないように前記内外方向での外方に移動させて退避させる。
この状態で中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４と副搬送部５ｂに備えさせた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に搬送方向の推進力を付与して、ガラス基板２を副搬送部５ｂに搬出する。

〔別実施の形態〕
（１）上記実施の形態では、主搬送部５ａと副搬送部５ｂとを別々に構成したが、１つの搬送部で主搬送部と副搬送部とを兼用するように構成してもよい。
つまり、例えば、図１４に示すように、副搬送部として、ガラス基板２を主搬送姿勢並びに副搬送姿勢で搬送する主搬送部と副搬送部とを兼用する兼用搬送部５ｄを備えてもよい。

兼用搬送部５ｄについて説明すると、図１５に示すように、兼用搬送部５ｃは、兼用搬送部５ｄに備えさせた前記送風式支持手段３と、ガラス基板２に搬送方向の推進力を付与する兼用搬送部５ｄに備えさせた前記推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納する中継搬送部５ｃに備えられたケース体７とを備えて構成されている。尚、他の搬送部と同様に構成されるものについては、他の搬送部と同じ符号を付け、説明は省略する。

専用搬送部５ｄに備えさせた推進力付与手段４について説明すると、ガラス基板２に主搬送部５ａと同じ方向となる主搬送方向の推進力を付与する一対の主推進力付与部４Ｂと、ガラス基板２に中継搬送部５ｃと同じ方向となる副搬送方向の推進力を付与する一対の副推進力付与部４Ａとで構成されており、主推進力付与部４Ｂは、前記ローラ式推進力付与部４ｂと同様に構成され、副推進力付与部４Ａは、前記ベルト式推進力付与部４ａと同様に構成されている。

図１５に示すように、一対の主推進力付与部４Ｂは、副搬送方向下手側の主推進力付与部４Ｂが昇降操作自在に構成され、一対の副推進力付与部４Ａは、両方が昇降操作自在に構成されている。
そして、兼用搬送部５ｄは、主推進力付与部４Ｂの片方を上昇操作し、副推進力付与部４Ａの両方を下降操作して、送風式支持手段３にて非接触状態で支持されるガラス基板２の下面２ａを一対の主推進力付与部４Ｂにて接触支持する主搬送状態として、搬送上手側の主搬送部５ａからガラス基板２を搬入、並びに、その搬入したガラス基板２を搬送下手側の主搬送部５ｂに搬出を行う。主推進力付与部４Ｂの片方を下降操作し、副推進力付与部４Ａの両方を上昇操作して、送風式支持手段３にて非接触状態で支持されるガラス基板２の下面２ａを一対の副推進力付与部４Ａにて接触支持する副搬送状態として、前記搬入したガラス基板２を搬送下手側の副搬送部５ｂに搬出を行う。
従って、兼用搬送部５ｄは、主搬送状態では主搬送部として機能し、副搬送状態では副搬送部として機能する。

（２）上記各実施の形態では、搬送用状態と回転用状態とに切り換えを、推進力付与手段４を昇降操作することにより切り換えられるように構成したが、送風式支持手段３を昇降操作することにより切り換えられるように構成してもよく、また、送風式支持手段３と推進力付与手段４との両方を昇降操作することにより切り換えられるように構成してもよい。

（３）上記各実施の形態では、中継搬送部５ａを、主搬送部５ａからガラス基板２を搬入し、その搬入したガラス基板２を副搬送部５ｂに搬出する、或いは、兼用搬送部（副搬送部）からガラス基板２を搬入し、その搬入したガラス基板２を主搬送部５ａに搬入するように構成したが、補助推進手段６を、ガラス基板２を副搬送方向の正逆方向に推進力を付与可能に構成して、上記した搬送の両方を行えるように構成してもよい。

（４）上記各実施の形態では、主搬送部に備えさえた推進力付与手段は、ローラ式推進力付与部にて構成し、中継搬送部に備えさせた推進力付与手段は、ベルト式推進力付与部にて構成したが、主搬送部に備えさえた推進力付与手段を、ベルト式推進力付与部にて構成したり、中継搬送部に備えさせた推進力付与手段を、ローラ式推進力付与部にて構成する等、各推進力付与部はベルト式とローラ式とのうちのどちらを採用して構成してもよい。

（５）上記各実施の形態では、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に組付けたファンフィルタユニット１４を例示したが、必ずしも除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に取り付ける必要はなく、送風ファン１３にて送風される空気を除塵フィルタ１２に案内する案内路などを設けて、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを別体にて構成して実施することも可能である。

（６）ガラス基板２の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。

搬送装置の平面図中継搬送部の斜視図中継搬送部の正面図中継搬送部の一部拡大正面図中継搬送部の側面図ベルト式推進力付与部の側面図主搬送部の斜視図主搬送部の正面図ローラ式推進力付与部の側面図ローラ式推進力付与部の正面図ローラ式推進力付与部の一部拡大側面図搬送用状態と回転用状態とを示す側面図別実施の形態（１）の搬送装置の平面図兼用搬送部の斜視図主搬送状態と副搬送状態とを示す正面図

符号の説明

２ガラス基板
２ａ下面
３送風式支持手段
４推進力付与手段
５ａ主搬送部
５ｂ副搬送部
５ｃ中継搬送部
６姿勢変更手段
１２除塵フィルタ
１３送風ファン（送風手段）
１４ファンフィルタユニット（送風ユニット）
１９吸着パット（吸着部）
４１姿勢修正手段

Claims

ガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢でガラス基板を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持されたガラス基板の下面に接触してガラス基板に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置であって、
前記搬送部として、ガラス基板を主搬送姿勢で搬送する主搬送部、ガラス基板を主搬送姿勢から縦軸芯周りに所定角度回転させた副搬送姿勢で搬送する副搬送部、及び、前記主搬送部と前記副搬送部との接続箇所に位置して、前記主搬送部との間並びに前記副搬送部との間でガラス基板を搬送する中継搬送部が設けられ、
前記中継搬送部が、それが備える、前記推進力付与手段と前記送風式支持手段との相対昇降により、ガラス基板を前記推進力付与手段に接触させる搬送用状態とガラス基板を前記推進力付与手段に対して非接触状態とする回転用状態とに切り換えて、前記搬送用状態においては、前記推進力付与手段による推進力により前記主搬送部との間並びに前記副搬送部との間でガラス基板を搬送し、且つ、前記回転用状態においては、ガラス基板を縦軸芯周りで回転させるために備えさせた姿勢変更手段によりガラス基板に回転力を付与してガラス基板を前記主搬送姿勢と前記副搬送姿勢とに切り換えられるように構成され、
前記姿勢変更手段が、ガラス基板の下面を吸着保持自在な吸着部を縦軸芯周りに回転操作自在に且つ昇降操作自在に備えて、前記回転用状態においては前記ガラス基板を前記吸着部にて吸着保持して回転させ、且つ、前記搬送用状態においては前記搬送部に対する前記吸着部の接触を解除させるように構成されている搬送装置。
前記中継搬送部に、ガラス基板に横側方から接当することにより、前記主搬送姿勢或いは前記副搬送姿勢からずれたガラス基板の姿勢を前記主搬送姿勢或いは前記副搬送姿勢に修正する姿勢修正手段を設けてある請求項１記載の搬送装置。
前記中継搬送部が、
前記送風式支持手段を、前記主搬送部に備えさせる送風式支持手段及び前記副搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さでガラス基板を支持する高さで設け、
前記推進力付与手段を、前記搬送用状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段及び前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さでガラス基板を接触支持する上方位置となり、且つ、前記回転用状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段及び前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置となるように昇降操作自在に設けるように構成されている請求項１又は２記載の搬送装置。
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記ガラス基板の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。