JP4258714B2

JP4258714B2 - 搬送装置

Info

Publication number: JP4258714B2
Application number: JP2003281678A
Authority: JP
Inventors: 淑照池畑; 隆佳大野; 雄一森本
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2003-07-29
Filing date: 2003-07-29
Publication date: 2009-04-30
Anticipated expiration: 2023-07-29
Also published as: JP2005047676A

Description

本発明は、搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と備えた搬送手段が、搬送方向に複数並べて設けられ、それら複数の搬送手段の運転を制御する制御手段が設けられている搬送装置に関する。

上記のような搬送装置は、液晶用のガラス基板などの搬送物を搬送方向に複数並べられている複数の搬送手段にて搬送するものであり、搬送手段の夫々において、送風式支持手段にて非接触状態で支持されている搬送物に対して、推進力付与手段にて、例えば、搬送物の両端部や搬送物の下端部などの搬送物の一部を接触支持して推進力を付与することにより、搬送方向の上流側に位置する搬送手段から搬送方向の下流側に位置する搬送手段に搬送物を乗り移らせながら搬送するものである。

従来の搬送装置では、搬送する際の搬送物の姿勢が、例えば、水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送するものと、縦姿勢またはそれに近い姿勢で搬送するものとがあるので、それぞれについて説明する。
まず、水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送物を搬送する従来の搬送装置について説明すると、送風式支持手段が、水平姿勢またはほぼ水平姿勢となっている搬送物に対して、その搬送物の下面部のうち、両側端部の間に位置する中間部に向けて空気を送風するように構成され、推進力付与手段が、水平姿勢またはほぼ水平姿勢となっている搬送物の両端部を接触支持して推進力を付与する駆動回転体を備えて構成されている。
このような送風式支持手段と推進力付与手段とを備えた搬送手段が搬送方向に隣接する状態で複数並べられ、制御手段が、搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段およびその乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送手段について、送風式支持手段と推進力付与手段とを作動させることにより、水平姿勢またはほぼ水平姿勢の搬送物を乗移対象の搬送手段に乗り移らせるようにしている（例えば、特許文献１参照。）。

次に、縦姿勢またはそれに近い姿勢で搬送物を搬送する従来の搬送装置について説明すると、送風式支持手段が、縦姿勢またはそれに近い姿勢となっている搬送物に対して、その搬送物の下面部のうち、両側端部の間に位置する中間部に向けて空気を送風するように構成され、推進力付与手段が、縦姿勢またはそれに近い姿勢となっている搬送物の下端部を接触支持して推進力を付与する駆動回転体を備えて構成されている。
このような送風式支持手段と推進力付与手段とを備えた搬送手段が搬送方向に隣接する状態で複数並べられ、制御手段が、搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段およびその乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送手段について、送風式支持手段と推進力付与手段とを作動させることにより、縦姿勢またはそれに近い姿勢の搬送物を乗移対象の搬送手段に乗り移らせるようにしている（例えば、特許文献２参照。）。

特開２００２−３２１８２０号公報特開２００２−３０８４２３号公報

上記特許文献１および特許文献２における搬送装置では、制御手段が、乗移対象の搬送手段およびその乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送手段について、単に、送風式支持手段と推進力付与手段とを作動させているだけであるので、乗移対象の搬送手段において、乗り移る搬送物を非接触状態で支持できずに、搬送物が乗移対象の搬送手段などと接触して損傷する虞がある。

説明を加えると、送風式支持手段においては、その作動を開始してから、搬送物の下面部に向けて送風する空気の送風量が、すぐに搬送物を非接触状態で支持できるような量になるわけではなく、作動開始から搬送物を非接触状態に支持できるまでに時間がかかることになる。
したがって、上記特許文献１および特許文献２の搬送装置において、例えば、制御手段が、乗移対象の搬送手段について、搬送物が乗り移る乗移タイミングに送風式支持手段の作動を開始することが考えられるが、この場合には、送風式支持手段の作動開始から搬送物が乗り移るまでの時間が短くて、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持できないことになる。

本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、搬送手段間で搬送物を乗り移らせて搬送する際に、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態で支持することができる搬送装置を提供する点にある。

この目的を達成するために、本発明にかかる搬送装置の第１特徴構成は、搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と備えた搬送手段が、搬送方向に複数並べて設けられ、それら複数の搬送手段の運転を制御する制御手段が設けられている搬送装置において、
前記送風式支持手段は、送風ファンを備えて、除塵フィルタを通して前記搬送物の下面部に向けて清浄空気を送風するように構成され、かつ、前記送風ファンの作動状態を切り換えることにより、前記搬送物の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を前記搬送物を非接触状態で支持する支持用送風量とする支持作動状態と、前記搬送物の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を前記支持用送風量よりも小さい小用設定送風量とする小用作動状態とに変更自在に構成され、前記制御手段は、運転対象の搬送手段については、前記送風式支持手段を小用作動状態にて作動させ、かつ、前記搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段については、前記搬送物が乗り移る乗移タイミングよりも以前に、前記送風式支持手段にて前記搬送物を非接触状態で支持することができる状態にするように前記送風ファンの作動状態を切り換えて前記送風式支持手段の作動状態を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている点にある。

すなわち、制御手段は、乗移対象の搬送手段については、乗移タイミングよりも以前に、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態で支持することができる状態にするように、乗移タイミングよりも以前に送風式支持手段の作動を開始することができることになる。
したがって、乗移対象の搬送手段について、送風式支持手段の作動開始から搬送物が乗り移るまでの時間を長くすることができ、その間に、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持することができる状態となる。
以上のことから、乗移対象の搬送手段において、実際に搬送物が乗り移るまでに、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態で支持することができることとなって、搬送手段間で搬送物を乗り移らせて搬送する際に、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態で支持することができる搬送装置を提供できるに至った。

本発明にかかる搬送装置の第２特徴構成は、前記制御手段が、前記乗移対象の搬送手段については、その乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する前記搬送手段に前記搬送物が乗り移る上流側乗移タイミングにおいて、前記送風式支持手段にて前記搬送物を非接触状態で支持することができる状態に移行させるように前記送風式支持手段の作動状態を制御するように構成されている点にある。

すなわち、制御手段が、乗移対象の搬送手段については、上流側乗移タイミングにおいて、送風式支持手段を作動開始させることができるので、エネルギー消費量の増大を防止しながらも、送風式支持手段にて乗り移る搬送物を非接触状態で支持することができるタイミングに、送風式支持手段を作動開始させることができることになる。

説明を加えると、乗移対象の搬送手段において、送風式支持手段の作動開始タイミングを、乗移タイミングよりも早くすればするほど、送風式支持手段を作動させる時間が長くなり、エネルギー消費量の増大を招くことになる。
逆に、乗移対象の搬送手段において、送風式支持手段の作動開始タイミングを、乗移タイミングに近づければ近づけるほど、送風式支持手段の作動開始から搬送物が乗り移るまでの時間が短くなり、搬送物を非接触状態で支持できない可能性が生じることになる。
そこで、乗移対象の搬送手段において、送風式支持手段の作動開始タイミングを、上流側乗移タイミングとすることにより、エネルギー消費量の増大を防止しながらも、送風式支持手段にて乗り移る搬送物を非接触状態で支持することができるタイミングに、送風式支持手段を作動開始させることができることになる。

したがって、送風式支持手段を的確なタイミングにて作動開始させることができることとなって、省エネルギー化を図りながらも、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態で支持することができることになる。

本発明にかかる搬送装置を図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕
この搬送装置は、図１〜図３および図１０に示すように、液晶用のガラス基板などの板状体を搬送物として搬送するものであり、搬送手段としての搬送ユニット１の複数と、それら複数の搬送ユニット１の運転を制御する制御手段としての制御部Ｈと、その制御部Ｈに対して制御情報を指令する人為操作式の指令部Ｓなどを備えて構成されている。
そして、搬送ユニット１の夫々は、ガラス基板２を水平姿勢またはほぼ水平姿勢にて搬送するように構成されている。

ちなみに、図１は、搬送装置の斜視図であり、図２は、搬送装置の縦断正面図であり、図３は、搬送装置の要部の縦断拡大正面図である。

前記搬送ユニット１は、図１〜図３に示すように、ガラス基板２の搬送方向に沿って隣接する状態で並べて設けられ、搬送方向の上流側に位置する搬送ユニット１から搬送方向の下流側に位置する搬送ユニット１にガラス基板２を乗り移らせて、複数の搬送ユニット１にて搬送装置の上流端部から下流端部までガラス基板２を搬送するように構成されている。

また、搬送ユニット１は、上下２段になるように並設され、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１とにおける搬送方向については、逆方向でも、同じ方向でもよく、適宜変更が可能である。
例えば、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１との搬送方向を逆方向とした場合には、上側の搬送ユニット１にて搬送されたガラス基板２を下側の搬送ユニット１にて戻すようにして、ガラス基板２に対して同じ工程を行ったり、不良なガラス基板２を元に戻すように構成されている。

前記搬送ユニット１は、図２〜図４に示すように、搬送物２の下面部に向けて空気を送風して、搬送物２を非接触状態で支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持される搬送物２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４とを備えて構成されている。
また、搬送ユニット１は、図１１に示すように、その搬送経路上にガラス基板２が存在するか否かを検出する在物センサＴを備えて構成されている。

そして、在物センサＴは、投光部からの光が受光部にて受光されなければ、搬送経路上にガラス基板２が存在することを検出し、投光部からの光が受光部にて受光されると、搬送経路上にガラス基板２が存在しないことを検出するように構成されている。
また、在物センサＴは、その数や設置箇所などについては適宜変更が可能であり、搬送経路上にガラス基板２が存在するか否かを検出できるものであればよい。
ちなみに、図４は、搬送ユニット１の縦断側面図であり、図１１は、複数の搬送ユニット１を平面図で示した搬送装置の概略構成図である。

前記送風式支持手段３は、図２〜図４に示すように、塵埃を除去する除塵フィルタ５と、その除塵フィルタ５を通してガラス基板２の下面部に向けて清浄空気を送風する送風ファン６とを備えて構成されている。
そして、送風式支持手段３は、一つの除塵フィルタ５と一つの送風ファン６とを一体的に組付けたファンフィルタユニット７の複数から構成され、それら複数のファンフィルタユニット７の上部には、ガラス基板２の下面部に向けて送風される清浄空気の整風を行う多孔板状の整風板８が設けられている。
説明を加えると、ファンフィルタユニット７は、図５および図６に示すように、ガラス基板２の搬送方向に直交する横幅方向の中間箇所で間隔を隔てる状態で左右に一つずつ設けられ、さらに、ガラス基板２の搬送方向にも間隔を隔てる状態で、例えば、３つを並べて設けられており、合計６つ設けられている。
ちなみに、図５は、搬送ユニット１の上方を開放した状態での斜視図であり、図６は、搬送ユニット１の平面図である。

そして、一つの搬送ユニット１には、６つのファンフィルタユニット７からなる送風式支持手段３が設けられ、６つのファンフィルタユニット７の上方を覆うように１枚の整風板８が配設されている。
また、送風ファン６は、図２および図３に示すように、その設置箇所よりも下方側の空気を吸引してその空気を上方に位置する除塵フィルタ５に向けて送風するように構成されている。

このようにして、送風式支持手段３は、除塵フィルタ５を通過した清浄空気を、整風板８にて整風された状態で、ガラス基板２の搬送方向に直交する横幅方向の両端部の間の中間部に向けて送風して、ガラス基板２の横幅方向の中間部を非接触状態にて支持するように構成されている。

前記搬送ユニット１において、図２および図４〜図６に示すように、ガラス基板２の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所、および、ガラス基板２の搬送方向の中央側の間隔を隔てた箇所には、清浄空気を下方に排気する通気路９が形成されている。

説明を加えると、６つのファンフィルタユニット７同士の間には、隙間が空けられているので、その隙間を利用して、ファンフィルタユニット７の厚み方向に同幅で連通する通気路９が形成されている。
ちなみに、整風板８のうち、通気路９の上方に位置する箇所には、孔部が形成され、通気路９が、その孔部を通して供給される清浄空気を下方側に案内して下方に排気するように構成されている。

このように、通気路９を、ガラス基板２の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所、および、ガラス基板２の搬送方向の中央側の間隔を隔てた箇所に設けることにより、ガラス基板２の横幅方向の中間箇所や搬送方向の中央側に清浄空気が溜まることなく、通気路９を通して下方に排気されるように構成されている。
そして、清浄空気の溜まりがないことにより、ガラス基板２が上方側に湾曲することなく、ガラス基板２を水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送することができることになる。

前記推進力付与手段４は、図２および図７に示すように、ガラス基板２の横幅方向の両端部を接触支持する駆動ローラ１４と、その駆動ローラ１４を伝導軸１５を介して駆動させるための電動モータ１６とから構成されている。
ちなみに、図７は、搬送ユニット１の縦断側面図であり、左右一対設けられている推進力付与手段４のうちの一方側を示している。

説明を加えると、駆動ローラ１４は、ガラス基板２の搬送方向に間隔を隔てて複数設けられ、伝導軸１５は、搬送方向に複数本並べる状態でカップリング１７によって連動連結されている。
そして、電動モータ１６は、その出力ギア１６ａが伝導軸１５に備えられた平歯車１８ａと噛み合うように設けられ、電動モータ１６の作動により伝導軸１５が回転駆動するように構成されている。
また、ガラス基板２の搬送方向において、複数の駆動ローラ１４の配設箇所に対応する位置に出力軸１９が設けられ、図８および図９に示すように、この出力軸１９の一端部に駆動ローラ１４が設けられている。
そして、駆動ローラ１４は、出力軸１９と一体回転するように設けられ、出力軸１９の他端部には、伝導軸１５に備えられた平歯車１８と噛み合う入力ギア２０が設けられている。
ちなみに、図８は、搬送ユニット１の横幅方向の端部における縦断正面図であり、図９は、搬送ユニット１の横幅方向の端部における縦断側面図である。

このようにして、電動モータ１６の作動により伝導軸１５を回転駆動させ、その伝導軸１５の回転駆動により、伝導軸１５の平歯車１８と入力ギア２０とを咬合させて出力軸１９を回転させて、駆動ローラ１４を回転させるように構成されている。
そして、電動モータ１６の作動により駆動ローラ１４を回転させて、その駆動ローラ１４にて、ガラス基板２の横幅方向の両端部を接触状態で支持しながら、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。
また、ガラス基板２は、駆動ローラ１４における大径部１４ａにて横幅方向での位置ずれを規制しながら搬送方向に沿って搬送されるように構成されている。

前記搬送ユニット１の枠体１０は、図３および図４に示すように、複数のファンフィルタユニット７を載置支持する長方形状のユニット用枠体１１と、そのユニット用枠体１１の両側脇に配設される左右一対の収納用枠体１２とから構成されている。

前記ユニット用枠体１１は、底面側に配置される平板状のユニット用底面体１１ａと、そのユニット用底面体１１ａの両端部から連なり上方に向かう側壁部１１ｂと、その側壁部１１ｂの間の上方を覆うユニット用カバー体１１ｃとから構成され、側壁部１１ｂについては、収納用枠体１２にて兼用するように構成されている。
そして、ユニット用枠体１１の内部空間が、複数のファンフィルタユニット７からなる送風式支持手段３とガラス基板２とが収納される搬送空間Ａとして構成され、ユニット用枠体１１が、搬送空間Ａを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆うように構成されている。
また、ユニット用底面体１１ａには、送風ファン６の下方に位置する箇所に外部空気を搬送空間Ａに導入する空気導入口１３が形成されている。

そして、送風ファン６の作動により、搬送空間Ａの空気を吸引して、その吸引した空気を除塵フィルタ５と整風板８を通してガラス基板２の下面部に向けて清浄空気を送風して、搬送空間Ａ内の空気を循環させるように構成されている。
また、送風ファン６の作動により、外部空気が空気導入口１３から搬送空間Ａ内に導入して、搬送空間Ａ内を加圧し、搬送空間Ａ内において循環する空気の一部をユニット用枠体１１と収納フレーム枠体１２との隙間などから外部に排出して、搬送空間Ａ内で循環される空気の一部を外部空気と交換するように構成されている。

前記収納用枠体１２は、側面視がコ字状の収納用フレーム１２ａと、その収納用フレーム１２ａにおける側方の開口部を閉塞する収納用カバー体１２ｂとから構成されている。
そして、収納用枠体１２の内部空間が、電動モータ１６や伝導軸１５などの駆動機構を収納する収納空間Ｂとして構成され、収納用枠体１２が、収納空間Ｂを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆うように構成されている。

また、収納空間Ｂには、ファンフィルタユニット７と同様に送風機能および除塵機構を備えたサブファンフィルタユニット２１が設けられている。
そして、ガラス基板２の搬送方向におけるサブファンフィルタユニット２１の配設箇所において、収納用フレーム１２ａの下面部には、収納空間Ｂ内の空気を外部に排気する外部排出口２２が形成され、収納用フレーム１２ａの側面部には、搬送空間Ａと収納空間Ｂとを連通する空気排出口２３が形成されている。

このようにして、サブファンフィルタユニット２１の作動により、搬送空間Ａの空気の一部が収納空間Ｂに排出され、収納空間Ｂ内の空気が、サブファンフィルタ２１の作動により吸引されて、サブファンフィルタ２１により除塵された空気が、外部排出口２２を通して外部に排気されるように構成されている。

前記搬送ユニット１は、上下２段になるように配置されており、図２に示すように、上側の搬送ユニット１が、下側の搬送ユニット１の上方を開放するように、横側部の一端側を支点にして上方側に揺動操作自在に構成されている。
説明を加えると、上側の搬送ユニット１における枠体１０は、揺動軸芯Ｐ周りに揺動自在に枢支され、上側の搬送ユニット１における枠体１０を揺動軸芯Ｐ周りに上方側に揺動することにより、下側の搬送ユニット１における枠体１０の上方を開放するように構成されている。

そして、下側の搬送ユニット１についてメンテナンス作業を行う際には、上側の搬送ユニット１を揺動操作したのち、下側の搬送ユニット１における枠体１０において、ユニット用枠体１１のユニット用カバー体１１ｃを外すことにより、下側の搬送ユニット１における搬送空間Ａを開放して、搬送空間Ａのメンテナンス作業を可能とするように構成されている。
また、上側の搬送ユニット１についてメンテナンス作業を行う際には、ユニット用枠体１１のユニット用カバー体１１ｃを外すことにより、上側の搬送ユニット１における搬送空間Ａを開放して、搬送空間Ａのメンテナンス作業を行うように構成されている。

ちなみに、搬送ユニット１における収納空間Ｂについてメンテナンス作業を行う際には、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１のどちらについても、収納用枠体１２の収納用カバー体１２ｂを取り外すことにより、収納空間Ｂを開放して、収納空間Ｂのメンテナンス作業を行うように構成されている。

前記制御部Ｈは、図１０に示すように、指令部Ｓからの指令に基づいて、複数の搬送ユニット１の夫々について、運転を制御するように構成されている。
そして、制御部Ｈは、搬送ユニット１の運転状態においては、電動モータ１６、ファンフィルタユニット７、および、サブファンフィルタユニット２１を作動させることにより、ガラス基板２を非接触状態で支持して搬送するように構成されている。

前記ファンフィルタユニット７は、送風ファン６の作動状態を切り換えることにより、ガラス基板２の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量をガラス基板２を非接触状態で支持する支持用送風量とする支持作動状態と、ガラス基板２の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を支持用送風量よりも小さい小用設定送風量とする小用作動状態とに変更自在に構成されている。
すなわち、複数のファンフィルタユニット７からなる送風式支持手段３は、除塵フィルタ５を通してガラス基板２の下面部に向けて清浄空気を送風するように構成され、かつ、支持作動状態と小用作動状態とに変更自在に構成されている。

そして、制御部Ｈは、複数の搬送ユニット１を運転させるに当たって、ガラス基板２が乗り移る乗移対象の搬送ユニット１については、ガラス基板２が乗り移る乗移タイミングよりも以前に、送風式支持手段３にてガラス基板２を非接触状態で支持することができる状態にするように送風式支持手段３の作動状態を制御するように構成されている。

説明を加えると、制御部Ｈは、運転対象の搬送ユニット１については、送風式支持手段３を小用作動状態にて作動させ、かつ、乗移対象の搬送ユニット１については、乗移タイミングよりも以前に、送風式支持手段３を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている。
そして、制御手段Ｈは、乗移対象の搬送ユニット１については、その乗移対象の搬送ユニット１よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送ユニット１にガラス基板２が乗り移る上流側乗移タイミングにおいて、送風式支持手段３にてガラス基板２を非接触状態で支持することができる状態に移行させるように、送風式支持手段３を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている。

ちなみに、上流側乗移タイミングの検出については、乗移対象の搬送ユニット１よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送ユニット１にガラス基板２が乗り移るように、電動モータ１６を作動させることにより、上流側乗移タイミングを検出するようにしている。
また、上流側乗移タイミングについては、送風式支持手段３の作動状態を変更するために要する時間やガラス基板２の搬送速度などに基づいて、上流側乗移タイミングに送風式支持手段３を小用作動状態から支持作動状態に変更することによって、乗移タイミングには、乗移対象の搬送ユニット１において、乗り移るガラス基板２を非接触状態で支持できるようなタイミングになるように設定されている。

以下、制御部Ｈによる複数の搬送ユニット１についての制御動作において、ファンフィルタユニット７および電動モータ１６の動作について具体的に説明を加える。
ちなみに、サブファンフィルタユニット２１の動作については、電動モータ１６が作動状態である搬送ユニット１において、サブファンフィルタユニット２１を作動させたり、あるいは、すべての搬送ユニット１において、サブファンフィルタユニット２１を作動させるなど、適宜変更が可能である。

まず、制御部Ｈは、搬送方向に並べられている複数の搬送ユニット１のすべてを運転対象の搬送ユニット１として、その運転対象の搬送ユニット１については、ファンフィルタユニット７を小用作動状態にて作動させる。
そして、制御部Ｈは、乗移対象の搬送ユニット１については、乗移タイミングよりも以前の上流側乗移タイミングにて、ファンフィルタユニット７を小用作動状態から支持作動状態に切り換えるように作動状態を変更するとともに、搬送経路上にガラス基板２が存在する搬送ユニット１とその搬送ユニット１の一つ下流側に位置する搬送ユニット１については、電動モータ１６を作動させる。

このようにして、乗移対象の搬送ユニット１については、実際にガラス基板２が乗り移る乗移タイミングよりも以前の上流側乗移タイミングに、送風式支持手段３にてガラス基板を非接触状態で支持することができるようにして、送風式支持手段３にてガラス基板２を非接触状態で支持しながら、搬送ユニット１間でガラス基板２を乗り移らせて搬送するようにしている。

そして、上流側乗移タイミングについては、乗移対象の搬送ユニット１よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送ユニット１にガラス基板２が乗り移るように電動モータ１６を作動開始させたタイミングとしている。

また、指令部Ｓにて運転開始が指令された当初には、制御部Ｈが、搬送方向の最も上流側に位置する搬送ユニット１およびその搬送ユニット１よりも一つ下流側に位置する搬送ユニット１については、ファンフィルタユニット７を支持作動状態にて作動させ、かつ、それ以外の搬送ユニット１については、ファンフィルタユニット７を小用作動状態にて作動させる。
このような作動状態において、移載装置などによって、搬送方向の最も上流側に位置する乗移対象の搬送ユニットの搬送経路上にガラス基板２を移載させて、ガラス基板２を搬送装置に導入させる。

そして、ガラス基板２が導入されると、制御部Ｈは、在物センサＴの検出情報に基づいて、搬送方向の最も上流側に位置する搬送ユニット１の搬送経路上にガラス基板２が存在することを検出することにより、搬送方向の最も上流側に位置する搬送ユニット１およびその搬送ユニット１よりも一つ下流側に位置する搬送ユニット１について、電動モータ１６を作動させて、ガラス基板２を、搬送方向の最も上流側に位置する搬送ユニット１からその搬送ユニット１よりも一つ下流側に位置する搬送ユニット１に乗り移させる。

以上のようにして、ファンフィルタユニット７および電動モータ１６の作動状態を制御することにより、搬送方向の上流側に位置する搬送ユニット１から搬送方向の下流側に位置する搬送ユニット１にガラス基板２を非接触状態で支持して乗り移らせながら、複数の搬送ユニット１にて搬送装置の上流端部から下流端部までガラス基板２を搬送するように構成されている。

前記複数の搬送ユニット１において、ファンフィルタユニット７および電動モータ１６の動作については、いずれの搬送ユニット１も同様の動作を行うので、図１１に示すように、搬送方向に並べられている複数の搬送ユニット１のうち、ある３つを取り挙げて、図１２のフローチャートに基づいて説明を加える。

ちなみに、図１１において、搬送方向の最も上流側に位置する搬送ユニット１を上流側の搬送ユニット１ａとし、その上流側の搬送ユニット１ａよりも一つ下流側に位置する搬送ユニット１を中間の搬送ユニット１ｂとし、その中間の搬送ユニット１ｂよりも一つ下流側に位置する搬送ユニット１を下流側の搬送ユニット１ｃとして説明する。

まず、図１１に示すように、上流側の搬送ユニット１ａの搬送経路上にガラス基板２が存在し、下流側の搬送ユニット１ｃが乗移対象の搬送ユニットであるので、上流側の搬送ユニット１ａ、中間の搬送ユニット１ｂ、および、下流側の搬送ユニット１ｃにおけるファンフィルタユニット７などの動作については、前提動作状態となる（ステップ１）。
この前提動作状態では、上流側の搬送ユニット１ａにおける在物センサＴにてガラス基板２の存在を検出し、上流側の搬送ユニット１ａおよび中間の搬送ユニット１ｂにおけるファンフィルタユニット７が送風ファン６を支持作動状態で作動させており、下流側の搬送ユニット１ｃにおけるファンフィルタユニット７が送風ファン６を小用作動状態で作動させている。

そして、この前提動作状態において、制御部Ｈは、上流側の搬送ユニット１ａおよび中間の搬送ユニット１ｂにおける電動モータ１６を作動開始させて、ガラス基板２を上流側の搬送ユニット１ａから中間の搬送ユニット１ｂに乗り移らせる（ステップ２）。
このようにして、上流側の搬送ユニット１ａおよび中間の搬送ユニット１ｂにおける電動モータ１６を作動開始させることにより、上流側乗移タイミングであると検出して、乗移対象である下流側の搬送ユニット１ｃにおけるファンフィルタユニット７を小用作動状態から支持作動状態に変更させる（ステップ３，４）。
その後、制御部Ｈは、中間の搬送ユニット１ｂにおける在物センサＴにてガラス基板２が存在することを検出すると、上流側の搬送ユニット１ａにおけるファンフィルタユニット７を支持作動状態から小用作動状態に変更する（ステップ５，６）。

〔第２実施形態〕
この第２実施形態は、上記第１実施形態において搬送する搬送物の姿勢の別実施形態を示すものであり、以下、その点を中心に図面に基づいて説明を加える。
ちなみに、その他の構成については、上記第１実施形態と同様であるので、同符号を記すなどにより、その詳細な説明は省略する。

縦姿勢用搬送ユニット２４は、図１３および図１４に示すように、ガラス基板２の搬送方向に複数並べて設けられ、搬送物としてのガラス基板２を縦姿勢に近い姿勢で搬送するように構成され、搬送手段として作用するように構成されている。
そして、縦姿勢用搬送ユニット２４は、縦姿勢に近い姿勢で設けられている縦姿勢用送風式支持手段２５と、縦姿勢に近い姿勢で設けられている縦姿勢用推進力付与手段２６とを備えて構成されている。
ちなみに、この第２実施形態では、ガラス基板２が、縦姿勢に近い姿勢で搬送されるので、縦姿勢用搬送ユニット２４が存在する側がガラス基板２の下面部となる。

前記縦姿勢用送風式支持手段２６は、縦姿勢に近い姿勢で搬送されるガラス基板２の下面部に向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持するように構成されている。
ちなみに、この縦姿勢用送風式支持手段２６は、上記第１実施形態における送風式支持手段３と同様に、除塵フィルタ５と送風ファン６とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット７ａにて構成され、このファンフィルタユニット７ａは、上下に並ぶ２つの送風ファン６と一つの除塵フィルタ５とを一体的に組み付けている。
また、ファンフィルタユニット７ａからの清浄空気を整風する整風板８も設けられている。

そして、縦姿勢用推進力付与手段２６は、ガラス基板２の一端部を接触支持しながら推進力を付与するタイミングベルト２７を備えて、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。
説明を加えると、縦姿勢用推進力付与手段２６は、搬送下手側に位置して電動式モータ２８によって回転する駆動輪２９と、搬送上手側に位置する回転自在な従動輪３０と、これら駆動輪２９と従動輪３０とに亘って巻回するタイミングベルト２７とを備えて構成されている。
そして、タイミングベルト２７は、その送り経路部分を内周面側から内支持輪３１にて支持され、その戻り経路部分を外周面側から外支持輪３２にて支持されている。

また、縦姿勢用送風式支持手段２５とガラス基板２の搬送経路とが収納される搬送空間Ｃを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆う搬送ケース３４が設けられている。

前記制御部Ｈは、上記第１実施形態と同様に、指令部Ｓからの指令に基づいて、複数の縦姿勢用搬送ユニット２４の夫々について、運転を制御するように構成されている。
そして、制御部Ｈは、縦姿勢用搬送ユニット２４の運転状態においては、電動式モータ２８、および、ファンフィルタユニット７ａを作動させることにより、ガラス基板２を非接触状態で支持して搬送するように構成されている。
また、縦姿勢用送風式支持手段２６についても、上記第１実施形態と同様に、ファンフィルタユニット７ａが、ガラス基板２の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を支持用送風量とする支持作動状態と、ガラス基板２の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を小用設定送風量とする小用作動状態とに変更自在に構成されている。

そして、制御部Ｈは、上記第１実施形態と同様に、複数の縦姿勢用搬送ユニット２４を運転させるに当たって、運転対象の縦姿勢用搬送ユニット２４については、縦姿勢用送風式支持手段２６を小用作動状態にて作動させ、かつ、乗移対象の縦姿勢用搬送ユニット２４については、乗移タイミングよりも以前である上流側乗移タイミングに、縦姿勢用送風式支持手段２６を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている。

ちなみに、この第２実施形態では、サブファンフィルタ２１が設けられていないので、制御ブロック図としては、図１０において、サブファンフィル２１を省略し、電動モータ１６を電動式モータ２８に変更する。

〔別実施形態〕
（１）上記第１および第２実施形態では、制御部Ｈが、乗移対象の搬送ユニット１および縦姿勢用搬送ユニット２４については、乗移タイミングよりも以前の上流側乗移タイミングにおいて、ファンフィルタユニット７，７ａを小用作動状態から支持作動状態に変更するようにしているが、乗移対象の搬送ユニット１および縦姿勢用搬送ユニット２４について、ファンフィルタユニット７，７ａを小用作動状態から支持作動状態に変更するタイミングは、乗移タイミングよりも以前であればよく、例えば、上流側乗移タイミングよりも以前のタイミングでもよい。

（３）上記第１および第２実施形態では、乗移対象の搬送ユニット１よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送ユニット１にガラス基板２が乗り移るように、電動モータ１６を作動させることにより、上流側乗移タイミングであることを検出しているが、例えば、乗移対象の搬送ユニット１よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送ユニット１にガラス基板２が乗り移ることを検出するセンサなどを設けて、このセンサにてガラス基板２が乗り移ることを検出することにより、上流側乗移タイミングであることを検出するようにしてもよい。

（４）上記第１および第２実施形態では、運転対象の搬送ユニット１をすべての搬送ユニット１としているが、例えば、ガラス基板２が搬送経路上に存在する搬送ユニット１と、その搬送ユニットよりも搬送方向の下流側に隣接する２つの搬送ユニット１とを運転対象の搬送ユニットとして、複数の搬送ユニット１の一部を運転対象の搬送ユニットとしてもよく、運転対象の搬送ユニットをどのように設定するかについては適宜変更が可能である。

（５）上記第１実施形態では、収納用フレーム１２ａの側面部に、搬送空間Ａと収納空間Ｂとを連通する空気排出口２３が形成されているが、この空気排出口２３を形成せずに、搬送空間Ａと収納空間Ｂとを連通しないように構成して実施することも可能である。

（６）上記第１および第２実施形態では、除塵フィルタ５と送風ファン６とを一体的に組付けたファンフィルタユニット７，７ａを例示したが、必ずしも除塵フィルタ５と送風ファン６とを一体的に取り付ける必要はなく、例えば、送風ファン６にて送風される空気を除塵フィルタ６に案内する案内路などを設けて、除塵フィルタ５と送風ファン６とを別体にて構成して実施することも可能である。

（７）上記第１および第２実施形態では、搬送物としてガラス基板２を例示したが、その他の板状体や円盤状体など各種の物品を適応することが可能である。

第１実施形態における搬送装置の一部を省略した斜視図第１実施形態における搬送装置の縦断正面図第１実施形態における搬送装置の縦断拡大正面図第１実施形態における搬送装置の縦断側面図第１実施形態における搬送ユニットの斜視図第１実施形態における搬送ユニットの平面図第１実施形態における推進力付与手段を示す搬送装置の縦断側面図第１実施形態における推進力付与手段の要部を示す縦断正面図第１実施形態における推進力付与手段の要部を示す縦断側面図第１実施形態における搬送装置の制御ブロック図第１実施形態における搬送装置の概略を示す図第１実施形態における搬送装置のフローチャート第２実施形態における搬送装置の一部を省略した斜視図第２実施形態における搬送装置の一部切欠側面図

符号の説明

１搬送手段
２搬送物
３送風式支持手段
４推進力付与手段
５除塵フィルタ
Ｈ制御手段

Claims

搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と備えた搬送手段が、搬送方向に複数並べて設けられ、
それら複数の搬送手段の運転を制御する制御手段が設けられている搬送装置であって、
前記送風式支持手段は、送風ファンを備えて、除塵フィルタを通して前記搬送物の下面部に向けて清浄空気を送風するように構成され、かつ、前記送風ファンの作動状態を切り換えることにより、前記搬送物の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を前記搬送物を非接触状態で支持する支持用送風量とする支持作動状態と、前記搬送物の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を前記支持用送風量よりも小さい小用設定送風量とする小用作動状態とに変更自在に構成され、
前記制御手段は、運転対象の搬送手段については、前記送風式支持手段を小用作動状態にて作動させ、かつ、前記搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段については、前記搬送物が乗り移る乗移タイミングよりも以前に、前記送風式支持手段にて前記搬送物を非接触状態で支持することができる状態にするように前記送風ファンの作動状態を切り換えて前記送風式支持手段の作動状態を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている搬送装置。
前記制御手段は、前記乗移対象の搬送手段については、その乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する前記搬送手段に前記搬送物が乗り移る上流側乗移タイミングにおいて、前記送風式支持手段にて前記搬送物を非接触状態で支持することができる状態に移行させるように前記送風式支持手段の作動状態を制御するように構成されている請求項１に記載の搬送装置。