JP4752858B2 - 板状体搬送装置及びその制御方法 - Google Patents
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Description
2 搬送ユニット
3,3A,3B 制御装置(制御手段)
4 天板
5 孔
6,6A 噴出吸引装置(噴出手段、吸引手段)
7,7A,7B,7C 位置センサ(位置検出手段)
8,8A ファン
13 ファン本体
14 流路
16 フィルタ
17 第1シャッタ群
18 第2シャッタ群
19 ブロア
Claims (7)
- 板状体の搬送路を形成する天板を備え、前記天板に形成された複数の孔から流体を噴出して前記板状体の少なくとも一部分を浮上させる板状体搬送装置において、
前記天板の複数の孔から搬送路側に流体を噴出させる噴出手段と、
前記天板の複数の孔から搬送路側とは反対側に流体を吸引させる吸引手段と、
前記板状体の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在すると判断した場合に、前記噴出手段を作動させ、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在しないと判断した場合に、前記吸引手段を作動させる制御手段とを備えたことを特徴とする板状体搬送装置。 - 請求項1記載の板状体搬送装置において、前記制御手段は、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在しないと判断した場合に、前記吸引手段を間欠的に作動させることを特徴とする板状体搬送装置。
- 請求項1記載の板状体搬送装置において、前記制御手段は、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在せず且つ前記板状体が前記天板に到達する前の所定の位置に到達していないと判断した場合に、前記噴出手段及び前記吸引手段をともに停止させ、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在せず且つ前記板状体が前記天板に到達する前の所定の位置に到達したと判断した場合に、前記吸引手段を作動させることを特徴とする板状体搬送装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の板状体搬送装置において、前記吸引手段によって吸引された流体が前記天板の複数の孔を通過する平均流速は、前記噴出手段によって噴出された流体が前記天板の複数の孔を通過する平均流速より速いことを特徴とする板状体搬送装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の板状体搬送装置において、前記噴出手段及び前記吸引手段は、共通の流体機械で構成されており、前記制御手段は、前記流体機械の駆動回転方向を切り替えることで前記噴出手段及び前記吸引手段を選択的に作動させることを特徴とする板状体搬送装置。
- 請求項5記載の板状体搬送装置において、前記流体機械の本体と前記天板との間の流路に設けられ流体中の異物を除去するフィルタと、前記フィルタの流体機械本体側表面の一部領域を閉塞可能な可動式の第1シャッタ群と、前記第1シャッタ群で閉塞不能な前記フィルタの流体機械本体側表面の残りの領域に対し流路断面位置が同じとなる前記フィルタの天板側表面の一部領域を閉塞可能な可動式の第2シャッタ群とを備え、前記噴出手段が作動する場合は前記第1シャッタ群が閉塞されて前記第2シャッタ群が開放され、前記吸引手段が作動する場合は前記第2シャッタ群が閉塞されて前記第1シャッタ群が開放されるように構成したことを特徴とする搬送装置。
- 板状体の搬送路を形成する天板に形成された複数の孔から流体を噴出して、前記板状体の少なくとも一部分を浮上させる搬送装置の制御方法において、
前記板状体の位置を検出し、その検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在すると判断した場合に、前記天板の複数の孔から搬送路側に流体を噴出させ、前記天板上に前記板状体が存在しないと判断した場合に、前記天板の複数の孔から搬送路側とは反対側に流体を吸引させることを特徴とする搬送装置の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008103857A JP4752858B2 (ja) | 2008-04-11 | 2008-04-11 | 板状体搬送装置及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008103857A JP4752858B2 (ja) | 2008-04-11 | 2008-04-11 | 板状体搬送装置及びその制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009256002A JP2009256002A (ja) | 2009-11-05 |
JP4752858B2 true JP4752858B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=41383960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008103857A Expired - Fee Related JP4752858B2 (ja) | 2008-04-11 | 2008-04-11 | 板状体搬送装置及びその制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4752858B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011102308A1 (ja) * | 2010-02-19 | 2011-08-25 | シャープ株式会社 | 搬送ローラ及び基板搬送装置 |
JP5549311B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-07-16 | 株式会社Ihi | 浮上搬送装置及び方向転換装置 |
JP5615164B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2014-10-29 | テソン エンジニアリング カンパニー リミテッド | エア供給装置 |
JP5952666B2 (ja) * | 2012-07-13 | 2016-07-13 | 株式会社ハーモテック | 非接触搬送装置 |
JP6086476B2 (ja) * | 2012-12-13 | 2017-03-01 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板浮上装置 |
JP7102177B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2022-07-19 | ヤマハ発動機株式会社 | 基板検出装置及び基板処理装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07228342A (ja) * | 1994-02-17 | 1995-08-29 | Hitachi Ltd | 気流搬送装置およびその制御方法 |
JP2000006072A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-01-11 | Nissin Electric Co Ltd | 基板ハンドリング方法 |
JP2001239487A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-04 | Nippei Toyama Corp | ウェーハの搬送装置における真空保持装置および真空保持解除方法 |
JP2002308425A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Nano System Kk | 板形状物搬送装置 |
JP4251279B2 (ja) * | 2003-04-14 | 2009-04-08 | 株式会社ダイフク | 板状体搬送装置 |
JP2007204278A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Asahi Kosan Kk | 基板浮上搬送装置 |
-
2008
- 2008-04-11 JP JP2008103857A patent/JP4752858B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009256002A (ja) | 2009-11-05 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110414 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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