JP2002308425A - 板形状物搬送装置 - Google Patents
板形状物搬送装置Info
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- JP2002308425A JP2002308425A JP2001159691A JP2001159691A JP2002308425A JP 2002308425 A JP2002308425 A JP 2002308425A JP 2001159691 A JP2001159691 A JP 2001159691A JP 2001159691 A JP2001159691 A JP 2001159691A JP 2002308425 A JP2002308425 A JP 2002308425A
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Abstract
(57)【要約】
［課題］プリント基板等の板状の物を傷つけずに搬送
し、反りを矯正し、正確に位置決め出来る搬送装置を提
供する。 ［解決手段］搬送対象の下部から空気を噴出することに
より、非接触で搬送し、搬送後、空気を吸引することに
より、搬送対象を固定すると同時に反りを矯正すること
を特徴とする。
し、反りを矯正し、正確に位置決め出来る搬送装置を提
供する。 ［解決手段］搬送対象の下部から空気を噴出することに
より、非接触で搬送し、搬送後、空気を吸引することに
より、搬送対象を固定すると同時に反りを矯正すること
を特徴とする。
Description
【 ００１】［発明の属する技術分野］本発明は、プリ
ント基板等の板形状物の搬送装置に関する物である
ント基板等の板形状物の搬送装置に関する物である
【 ００２】［従来の技術］従来、基板等を搬送する際
にベルト搬送方式が用いられてきたが、近年プリント基
板の高精度化にともなって、基盤は薄く、基板の位置合
せ精度も、画像処理による欠陥検査装置の出現により非
常に高精度を要求されるようになってきた。この様な状
況下にあって、最早、従来のベルト搬送方式では、技術
的に無理が生じてきた。基板の厚みが０．３ｍｍ程度の
非常に薄い基板の場合、基板が反ることは避けられない
が、搬送装置には、これを矯正し反りを直し、画像処理
等の欠陥検出装置のかけることが必要になるが、従来の
ベルト搬送方式では技術的に難しい。また、基板の高精
度化に伴い、搬送時に基板に傷つけることは、絶対避け
る必要があるが、ベルト搬送方式等の基板との接触によ
り搬送する方式では、基板に損傷を与えることは、ある
程度は避けられない。
にベルト搬送方式が用いられてきたが、近年プリント基
板の高精度化にともなって、基盤は薄く、基板の位置合
せ精度も、画像処理による欠陥検査装置の出現により非
常に高精度を要求されるようになってきた。この様な状
況下にあって、最早、従来のベルト搬送方式では、技術
的に無理が生じてきた。基板の厚みが０．３ｍｍ程度の
非常に薄い基板の場合、基板が反ることは避けられない
が、搬送装置には、これを矯正し反りを直し、画像処理
等の欠陥検出装置のかけることが必要になるが、従来の
ベルト搬送方式では技術的に難しい。また、基板の高精
度化に伴い、搬送時に基板に傷つけることは、絶対避け
る必要があるが、ベルト搬送方式等の基板との接触によ
り搬送する方式では、基板に損傷を与えることは、ある
程度は避けられない。
【 ００３】［発明が解決しようとする課題］本発明
は、この様な問題を解決するためになされたもので、本
発明を使用することにより、基板に損傷を与えることな
く搬送ができ、また、搬送後の正確な位置せ、基板の反
りの矯正も可能で、この技術の開発により始めて、正確
な画像処理が可能になり、精度の高い欠陥検出装置が可
能になった。
は、この様な問題を解決するためになされたもので、本
発明を使用することにより、基板に損傷を与えることな
く搬送ができ、また、搬送後の正確な位置せ、基板の反
りの矯正も可能で、この技術の開発により始めて、正確
な画像処理が可能になり、精度の高い欠陥検出装置が可
能になった。
【 ００４】［課題を解決するための手段］上記の様な
問題を解決するためには、非接触搬送となるが、本発明
では空気の境界層を利用することによりこの問題を解決
した。基板等の搬送対象物の下部から空気を噴出し、空
気の境界層を作ることにより、基板を浮遊させ基板を搬
送することにより、基板を傷つけずに搬送可能となる。
また、搬送後の基板の固定は、逆に空気を吸引すること
により、基板との間に負圧状態を作り出すことにより行
う。この様にすることにより、基板は、吸引面に引っ張
られ、基板の反りを矯正することが出来る。また、基板
を搬送する時、基板の下部から噴出する空気の方向を斜
めにし、搬送方向に向けることにより搬送推力を得るこ
とも出来る。また、基板の搬送方向と平行に設けられた
ガイドから、空気を搬送方向に噴出することにより搬送
推力を得ることも出来る。この他、基板の後方から空気
を噴出しても、搬送推力を得ることも出来る。この様な
方法により搬送された基板は、当て板に当てることによ
り位置合せが行われる。この時、当て板のサイドエッジ
から空気を吸引し、基板のエッジと当て板サイドエッジ
との間に負圧を作ることにより、当て板に搬送対象物を
確実に接触させ、正確に位置合せを行うことが出来る。
この方法は、また、当て板に基板があたった時に基板が
バウンドする不具合も解決できることが、実験により確
認できている。上記のような手段により、本発明では、
基板等の板形状物を損傷無く搬送し、正確に位置決めを
し、反りを矯正して固定する搬送装置を実現した。
問題を解決するためには、非接触搬送となるが、本発明
では空気の境界層を利用することによりこの問題を解決
した。基板等の搬送対象物の下部から空気を噴出し、空
気の境界層を作ることにより、基板を浮遊させ基板を搬
送することにより、基板を傷つけずに搬送可能となる。
また、搬送後の基板の固定は、逆に空気を吸引すること
により、基板との間に負圧状態を作り出すことにより行
う。この様にすることにより、基板は、吸引面に引っ張
られ、基板の反りを矯正することが出来る。また、基板
を搬送する時、基板の下部から噴出する空気の方向を斜
めにし、搬送方向に向けることにより搬送推力を得るこ
とも出来る。また、基板の搬送方向と平行に設けられた
ガイドから、空気を搬送方向に噴出することにより搬送
推力を得ることも出来る。この他、基板の後方から空気
を噴出しても、搬送推力を得ることも出来る。この様な
方法により搬送された基板は、当て板に当てることによ
り位置合せが行われる。この時、当て板のサイドエッジ
から空気を吸引し、基板のエッジと当て板サイドエッジ
との間に負圧を作ることにより、当て板に搬送対象物を
確実に接触させ、正確に位置合せを行うことが出来る。
この方法は、また、当て板に基板があたった時に基板が
バウンドする不具合も解決できることが、実験により確
認できている。上記のような手段により、本発明では、
基板等の板形状物を損傷無く搬送し、正確に位置決めを
し、反りを矯正して固定する搬送装置を実現した。
【 ０００５】［発明の実施の形態］図１は、本発明の
搬送装置の一例を表したもので、基板（３）を搬送する
ための搬送ベース（１）と、 基板（３）の搬送をガイ
ドするためのガイド１（７）とガイド２（９）と搬送完
了した基板（３）の位置を決めるための当て板（４）よ
り構成されている。基板（３）を搬送する時は、搬送ベ
ース（１）の噴出、吸引口（２）から空気が噴出し、
基板（３）を浮遊させ、ガイド１（７）の噴出、吸引口
（８）、及びガイド２（９）の噴出口（１０）から空気
が基板の進行方向に対し斜めに噴出している。この空気
の流れ方向ベクトルの基板（３）の進行方向成分が、基
板（３）を進行方向に移動させる推力となり、基盤
（３）を当て板（４）まで搬送する。当て板（４）の吸
引口（５）からは空気が吸い込まれており、基板（３）
が当て板（４）にあたった時、この吸引力により、基板
（３）は当て板（４）に密着される。同時にガイド１
（７）の噴出、吸引口（８）は空気の噴出を停止し、逆
に空気を吸引する。この吸引力により、基板（３）はガ
イド１（７）に密着される。基板（３）の当て板
（４）、ガイド１（７）への密着が完了すると、搬送ベ
ース（１）の噴出、吸引口（２）からの空気の噴出は停
止し、逆に空気を吸引し、基盤（３）と搬送ベース
（１）の間に負圧状態をつくり、基板（３）を搬送ベー
スに密着させ、基板の反りを矯正すると共に、基板
（３）を固定する。ガイド２（９）からの空気の噴出は
この時点で停止する。図２、図３は搬送ベース（１）の
一例で、図２は平面図で、図３は側面図である。搬送ベ
ース（１）には、搬送ベース噴出、吸引口（２）があい
ており、ここから空気を噴出、吸引する。搬送ベース噴
出、吸引口（２）は搬送ベース噴出、吸引サブヘッダー
（１２）を通じ、搬送ベース噴出、吸引メインヘッダー
（１１）につながっており、このヘッダーがブロアー等
に接続される。図２、図３の搬送ベース噴出、吸引口
（２）は搬送ベース（１）の面に対し垂直にあいている
が、これを斜め方向にあけることにより、基板を搬送す
る時に、基板を浮かせると共に、搬送推力も得ることが
出来る。図４、図５は当て板（４）の一例で、図４は平
面図、図５は側面図を表している。当て板吸引口（５）
は、当て板吸引ヘッダー（１３）につながっており、こ
のヘッダーは真空ブロアーに接続される。図６、図７は
ガイドの一例で、図６は平面図、図７は側面図を表して
いる。ガイド１噴出、吸引口（８）は、ガイド１噴出、
吸引ヘッダーにつながっており、のヘッダーが真空ブロ
アーやコンプレッサーに接続されてる。ガイド１噴出、
吸引口は、基板の搬送方向に対し、斜め方向を向いてい
る。このため、空気の噴出方向は、基板の進行方向に対
し斜めになる。この空気の流れ方向ベクトルの基板の進
行方向成分が、基板を進行方向に移動させる推力とな
る。ガイド２も、ガイド１と同様な構造を持っている。
搬送装置の一例を表したもので、基板（３）を搬送する
ための搬送ベース（１）と、 基板（３）の搬送をガイ
ドするためのガイド１（７）とガイド２（９）と搬送完
了した基板（３）の位置を決めるための当て板（４）よ
り構成されている。基板（３）を搬送する時は、搬送ベ
ース（１）の噴出、吸引口（２）から空気が噴出し、
基板（３）を浮遊させ、ガイド１（７）の噴出、吸引口
（８）、及びガイド２（９）の噴出口（１０）から空気
が基板の進行方向に対し斜めに噴出している。この空気
の流れ方向ベクトルの基板（３）の進行方向成分が、基
板（３）を進行方向に移動させる推力となり、基盤
（３）を当て板（４）まで搬送する。当て板（４）の吸
引口（５）からは空気が吸い込まれており、基板（３）
が当て板（４）にあたった時、この吸引力により、基板
（３）は当て板（４）に密着される。同時にガイド１
（７）の噴出、吸引口（８）は空気の噴出を停止し、逆
に空気を吸引する。この吸引力により、基板（３）はガ
イド１（７）に密着される。基板（３）の当て板
（４）、ガイド１（７）への密着が完了すると、搬送ベ
ース（１）の噴出、吸引口（２）からの空気の噴出は停
止し、逆に空気を吸引し、基盤（３）と搬送ベース
（１）の間に負圧状態をつくり、基板（３）を搬送ベー
スに密着させ、基板の反りを矯正すると共に、基板
（３）を固定する。ガイド２（９）からの空気の噴出は
この時点で停止する。図２、図３は搬送ベース（１）の
一例で、図２は平面図で、図３は側面図である。搬送ベ
ース（１）には、搬送ベース噴出、吸引口（２）があい
ており、ここから空気を噴出、吸引する。搬送ベース噴
出、吸引口（２）は搬送ベース噴出、吸引サブヘッダー
（１２）を通じ、搬送ベース噴出、吸引メインヘッダー
（１１）につながっており、このヘッダーがブロアー等
に接続される。図２、図３の搬送ベース噴出、吸引口
（２）は搬送ベース（１）の面に対し垂直にあいている
が、これを斜め方向にあけることにより、基板を搬送す
る時に、基板を浮かせると共に、搬送推力も得ることが
出来る。図４、図５は当て板（４）の一例で、図４は平
面図、図５は側面図を表している。当て板吸引口（５）
は、当て板吸引ヘッダー（１３）につながっており、こ
のヘッダーは真空ブロアーに接続される。図６、図７は
ガイドの一例で、図６は平面図、図７は側面図を表して
いる。ガイド１噴出、吸引口（８）は、ガイド１噴出、
吸引ヘッダーにつながっており、のヘッダーが真空ブロ
アーやコンプレッサーに接続されてる。ガイド１噴出、
吸引口は、基板の搬送方向に対し、斜め方向を向いてい
る。このため、空気の噴出方向は、基板の進行方向に対
し斜めになる。この空気の流れ方向ベクトルの基板の進
行方向成分が、基板を進行方向に移動させる推力とな
る。ガイド２も、ガイド１と同様な構造を持っている。
【 ００６】［発明の効果］本発明を使用することによ
り、従来難しかった薄い基板の搬送と位置合せが可能に
なり、画像処理等を」利用した検査装置を現実化した。
り、従来難しかった薄い基板の搬送と位置合せが可能に
なり、画像処理等を」利用した検査装置を現実化した。
【図１】本発明の構成の一例を表す。
【図２】本発明の搬送ベースの正面図の一例を表す。
【図３】本発明の搬送ベースの側面図の一例を表す。
【図４】本発明の当て板の正面図の一例を表す。
【図５】本発明の当て板の側面図の一例を表す。
【図６】本発明のガイドの正面図の一例を表す。
【図７】本発明のガイドの側面図の一例を表す。
１は搬送ベース ２は搬送ベース噴出、吸引口 ３は基板 ４は当て板 ５は当て板吸引口 ７はガイド１ ８はガイド１噴出、吸引口 ９はガイド２ １０はガイド２噴出口 １１は搬送ベース噴出、吸引メインヘッダー １２は搬送ベース噴出、吸引サブヘッダー １３は当て板吸引ヘッダー １４はガイド１噴出、吸引ヘッダー
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年７月２日（２００１．７．２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【図３】
【図４】
【図１】
【図５】
【図６】
【図７】
Claims (5)
- 【請求項１】プリント基板等の板状の物を搬送し固定す
る装置において、搬送対象の下部から空気を噴出する複
数の穴と空気を吸引する複数の穴を有し、搬送する時は
空気を噴出することにより搬送対象物を浮遊させ、固定
する時は空気を吸引することにより搬送物との間に負圧
状態を作り出すことにより固定することを特徴とする板
形状物搬送装置。 - 【請求項２】搬送対象物のサイドから空気を噴出するこ
とを特徴とする板形状物搬送装置。 - 【請求項３】搬送対象物のサイドから搬送方向に対し斜
め方向に空気を噴出すことを特徴とする板形状物搬送装
置。 - 【請求項４】搬送対象物の後方から空気を噴出すること
を特徴とする板形状物搬送装置。 - 【請求項５】搬送された搬送対象物の位置を当て板にに
より位置合せを行う時に、当て板のサイドエッジから空
気を吸引し、搬送対象物のエッジと当て板サイドエッジ
との間に負圧を作ることにより、当て板に搬送対象物を
確実に接触させ位置合せを行うことを特徴とする板形状
所物搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001159691A JP2002308425A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 板形状物搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001159691A JP2002308425A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 板形状物搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002308425A true JP2002308425A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=19003226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001159691A Pending JP2002308425A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 板形状物搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002308425A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005067899A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Samsung Electronics Co Ltd | 搬送システム |
| WO2006070999A1 (en) * | 2004-12-30 | 2006-07-06 | Z. Tec. Co. Ltd. | Glass panel floating and conveying apparatus |
| JP2007238288A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Seiko Epson Corp | ワーク搬送装置 |
| JP2009256002A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-11-05 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 板状体搬送装置及びその制御方法 |
-
2001
- 2001-04-19 JP JP2001159691A patent/JP2002308425A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005067899A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Samsung Electronics Co Ltd | 搬送システム |
| WO2006070999A1 (en) * | 2004-12-30 | 2006-07-06 | Z. Tec. Co. Ltd. | Glass panel floating and conveying apparatus |
| JP2007238288A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Seiko Epson Corp | ワーク搬送装置 |
| JP4595841B2 (ja) * | 2006-03-09 | 2010-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | ワーク搬送装置 |
| JP2009256002A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-11-05 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 板状体搬送装置及びその制御方法 |
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