JP2002181714A - 薄板検査装置 - Google Patents

薄板検査装置

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JP2002181714A
JP2002181714A JP2000385118A JP2000385118A JP2002181714A JP 2002181714 A JP2002181714 A JP 2002181714A JP 2000385118 A JP2000385118 A JP 2000385118A JP 2000385118 A JP2000385118 A JP 2000385118A JP 2002181714 A JP2002181714 A JP 2002181714A
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plate
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JP2000385118A
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Tatsuo Fujiwara
Hiroki Hirose
Toshio Nakamura
Tomohiko Shioda
寿夫 中村
朋彦 塩田
宏樹 広瀬
達男 藤原
Original Assignee
Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd
石川島播磨重工業株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄板を傷付けることなく搬送でき、角度ずれ
を容易に修正でき、サイズ変化に容易に対応できる薄板
検査装置を提供する。 【解決手段】 定盤2上の検査ステーション3に、液晶
基板などの薄板4を搬送させて検査するための薄板検査
装置1において、薄板4の前端部5を把持して定盤2上
を移送するための薄板移送手段6と、検査ステーション
3前後の定盤2上に設けられ、移送される薄板4を空気
で浮上させるためのエアスライダ7と、検査ステーショ
ン3に設けられ、薄板4に対してエア吹き付けと吸引と
を同時に行って薄板4の浮上高さを調整するエアベアリ
ング8とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板などの薄
板を検査する薄板検査装置に関するものである。

【0002】

【従来の技術】液晶基板などの薄板を検査する薄板検査
装置としては、特開2000−9661号(特願平10
−130559号)公報記載のものが知られている。

【0003】図4に示すように、この薄板検査装置30
は、薄板4をスライド自在に載置するころ搬送部31
と、薄板4の1辺を把持してスライド移動させる把持テ
ーブル32と、スライド移動する薄板4を上方から撮像
するためのカメラ33とを有する。

【0004】把持テーブル32は、ころ搬送部31の一
側に沿って設けられており、薄板4の搬送方向の一側を
合わせて位置合わせするようになっている。

【0005】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この薄板検
査装置30は、ころ34の上に薄板4を載置するもので
あるため、搬送中に薄板4の表面を傷つけたり、乗り継
ぎ部で薄板4の先端がころ34に衝突する虞もあるとい
う課題があった。

【0006】また、把持テーブル32は、薄板4を把持
してスライド移動させるのみであるため、薄板4を把持
する際に薄板4の角度がずれていた場合、その角度ずれ
を修正できないという課題があった。

【0007】そして、薄板4の一側で位置合わせをする
ものであるため、薄板4のサイズが変わるたびに搬送ラ
インに対してワークセンタがオフセットしてしまい、セ
ンタ受渡しができないという課題があった。

【0008】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、薄板を傷付けることなく搬送でき、薄板のサイズ変
化に容易に対応できる薄板検査装置を提供することにあ
る。

【0009】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、定盤上の検査ステーションに、液晶基板な
どの薄板を搬送させて検査するための薄板検査装置にお
いて、複数サイズの薄板の前端部を把持して定盤上を移
送するための薄板移送手段と、検査ステーション前後の
定盤上に設けられ、移送される薄板を空気で浮上させる
ためのエアスライダと、検査ステーションに設けられ、
薄板に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板
の浮上高さを調整するエアベアリングとを備えたもので
ある。

【0010】薄板を空気で浮上させるものであるため、
薄板の表面に傷が付くのを防ぐことができ、薄板に対し
てエア吹き付けと吸引とを同時に行うため、薄板の浮上
高さを容易に調整できる。

【0011】検査ステーションには、光源が設けられ、
その上方に薄板を透過した光を撮像して薄板を検査する
ためのカメラが設けられ、上記エアベアリングは、光源
に対して移送方向の前後で、かつ薄板の幅方向に複数設
けられるものとするとよい。光源の前後で薄板の高さを
正確に合わせるため、カメラ12で焦点を結ぶ高さに薄
板4を正確に浮上させることができる。

【0012】そして、上記エアベアリングは二重の管か
らなり、外側の管でエアを吐出し、内側の管でエアを吸
引するよう形成され、吐出圧と吸引圧を調整して検査ス
テーションでの薄板の浮上高さを一定に調整するとよ
い。リング状の吐出噴流で囲まれる領域に負圧域を良好
に形成することができ、薄板を正確な高さに浮上させる
ことができる。

【0013】また、上記薄板移送手段は、上記定盤上を
走行する走行部と、該走行部に縦軸周り回動自在に支持
され薄板を把持し、かつ、薄板の角度を調整自在な把持
部とを備えて構成するとよい。

【0014】そして、上記定盤上には上記エアスライダ
とエアベアリングから吐出されたエアを逃がすための段
差溝を形成するとよい。噴射されるエアを段差溝を通じ
て排出することができ、圧気が薄板と定盤の間に溜まる
のを防ぐことができる。

【0015】また、上記段差溝の開口上縁部に上記薄板
の衝突を避けるためのテーパを形成するとよい。

【0016】

【発明の実施の形態】本発明の好適実施の形態を添付図
面に基づいて詳述する。

【0017】図1及び図2に示すように、薄板検査装置
1は、定盤2上の検査ステーション3に、液晶基板など
の薄板4を搬送させて検査するためのものであり、薄板
4の前端部5を把持して定盤2上を移送するための薄板
移送手段6と、検査ステーション3前後の定盤2上に設
けられ、移送される薄板4を空気で浮上させるためのエ
アスライダ7と、検査ステーション3に設けられ、薄板
4に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板4
の浮上高さを調整するエアベアリング8とからなる。

【0018】定盤2は矩形板状に形成されており、定盤
2上には薄板移送手段6を走行可能に案内するレール9
が設けられている。

【0019】また、定盤2の中央に位置する検査ステー
ション3には、定盤2上の薄板4に光を照射して透過さ
せるための光源10が設けられている。光源10は、定
盤2上に幅方向に延びて設けられている。

【0020】また、光源10の上方には、薄板4を透過
した光を撮像して薄板4を検査するためのカメラ12が
設けられている。カメラ12は、予め薄板4の浮上高さ
に焦点を合わせて固定されている。

【0021】薄板移送手段6は、定盤2上を走行するX
テーブルたる走行部14と、走行部14に縦軸周り回動
自在に設けられたΘテーブルたる旋回部15と、旋回部
15に設けられて薄板4を把持する把持部16とからな
る。

【0022】把持部16は、薄板4の前端部5を把持す
るようになっており、旋回部15を介して走行部14に
縦軸周り回動自在に支持されている。また、把持部16
は、旋回部15に対して昇降自在に設けられると共にロ
ープ17を介してカウンタウェイト18に連結されてお
り、ロープ17に吊られて薄板4と共に所定の高さまで
浮上するようになっている。

【0023】エアスライダ7は、薄板4の移送方向に長
い矩形板状のテーブル部19の上面に複数のエア吐出穴
20を形成してなるものを用いており、薄板4に多数の
エア噴流を当てて多数の点で支えるようになっている。
そして、エアスライダ7は、エアの吹き上げ力と薄板4
の重さとのバランスで薄板4を大凡一定の高さに浮上さ
せるようになっている。

【0024】検査ステーション3を挟んで前後に設けら
れるエアスライダ7は、それぞれ定盤2上に幅方向に複
数並べられて設けられており、エアスライダ7同士の間
に隙間を形成することで、定盤2上にエアスライダ7か
ら吐出されたエアを逃がすための段差溝21を形成する
ようになっている。そして、エアスライダ7は、検査ス
テーション3を挟んで前後対照に配置されており、段差
溝21を前後一直線状に結ぶようになっている。

【0025】また、エアスライダ7のエアベアリング8
に臨む側の上縁には、把持部16の昇降動によって薄板
4が衝突するのを防ぎつつ、薄板4を逃がすためのテー
パ22がそれぞれ形成されている。

【0026】図1、図2及び図3に示すように、エアベ
アリング8は、エアスライダの一種であり、エアを上方
から吸引する吸引口23と、エアを上方に吐出する吐出
口24とを有する。具体的には、エアベアリング8は、
二重の管25,26からなり、外側の管25でリング状
にエアを吐出し、内側の管26でエアを吸引するよう形
成されている。

【0027】そして、エアベアリング8は、薄板4にリ
ング状のエア噴流を当てて上向きの力を付与しつつ、そ
のリング内を負圧にして薄板4に下向きの力を付与する
ことでエア剛性を高め、吐出圧と吸引圧を調整すること
で検査ステーション3での薄板4の浮上高さを高い精度
で一定に調整するようになっている。

【0028】また、エアベアリング8は、光源10に対
して移送方向の前後で、かつ薄板4の幅方向に複数並べ
て設けられている。

【0029】具体的には、エアベアリング8は、それぞ
れ外側の管25の外径をエアスライダ7の幅とほぼ同じ
大きさに形成されており、検査ステーション3を挟んで
前後に並ぶエアベアリング8の間にそれぞれ配置されて
いる。このとき、エアベアリング8同士、又はエアベア
リング8とエアスライダ7は、それぞれ離間されて配置
されており、それぞれの間隙にエアを逃がすための段差
溝21を形成するようになっている。

【0030】そして、エアベアリング8のエアスライダ
7に臨む側の上縁には、把持部16の昇降動によって薄
板4が衝突するのを防ぎつつ、薄板4を逃がすためのテ
ーパ27がそれぞれ形成されている。

【0031】エアスライダ7とエアベアリング8は、そ
れぞれ薄板4を均等に浮上させるように分散して配置さ
れている。

【0032】次に作用を述べる。

【0033】定盤2上に薄板4が受け渡されると、まず
薄板移送手段6の把持部16に位置決めされた後、薄板
4の前端を把持する。

【0034】薄板4の角度ずれ量を検出し、角度ずれ矯
正後、検査を開始する。

【0035】この間、薄板4の下方に位置されるエアス
ライダ7からは常に一定圧のエアが上方へ向けて噴射さ
れており、薄板4はエアによって大凡一定の高さに浮上
されている。よって、薄板4は、把持部16に前端を把
持された状態で把持部16と共に浮上されている。

【0036】また、薄板4に当たったエアは、エアスラ
イダ7間の段差溝21を通じて排出されるため、薄板4
の下方に溜まり、薄板4が局部的に膨らむことはない。

【0037】薄板移送手段6の走行部14がレール9上
を走行すると、薄板4は検査ステーション3へ向けて引
かれて移動される。

【0038】薄板4は検査ステーション3に近づくと、
エアスライダ7上のエアからエアベアリング8上のエア
に乗り継がれる。このとき、把持部16は薄板4と共に
浮上しており、何らかの原因によって微小高さ昇降する
こともあり得るが、エアスライダ7のエアベアリング8
に臨む上端位置と、エアベアリング8のエアスライダ7
に臨む上端位置にはテーパ22,27が形成されている
ため、薄板4がエアベアリング8又はエアスライダ7に
衝突するのを防ぐことができ、万一接触するようなこと
があっても薄板4を円滑に逃がすことができる。

【0039】エアベアリング8では、薄板4にリング状
のエア噴流が当たって薄板4を上方に押しつつ、リング
状のエア噴流に囲まれる負圧域で薄板4を下方に引き、
これらエアによる押し引きのバランスで薄板4の浮上高
さは高い精度で所定の高さに合わされる。

【0040】薄板4が検査ステーション3に至ると、光
源10から光が発せられ、カメラ12によって薄板4を
透過した光の撮像が開始される。このとき、薄板4は、
高い精度で所定の高さに位置合わせされているため、カ
メラ12の焦点を高い精度で薄板4に合わせることがで
き、薄板4の検査を良好に行うことができる。

【0041】また、薄板4の前端が検査ステーション3
を通過した後、薄板4の前端側は更にエアベアリング8
上のエアに乗り継がれ、検査ステーション3の移送方向
前後で高さを合わされるため、薄板4は検査ステーショ
ン3において常に所定の高さに合わされながら移送され
る。

【0042】エアベアリング8から吐出されたエアは、
エアベアリング8同士の間と、エアベアリング8とエア
スライダ7の間とに形成された段差溝21を通じて円滑
に排出される。

【0043】このように、薄板4の前端部5を把持して
定盤2上を移送するための薄板移送手段6と、検査ステ
ーション3前後の定盤2上に設けられ、移送される薄板
4を空気で浮上させるためのエアスライダ7と、検査ス
テーション3に設けられ、薄板4に対してエア吹き付け
と吸引とを同時に行って薄板4の浮上高さを調整するエ
アベアリング8とを備えて薄板検査装置1を構成したた
め、薄板4を傷付けることなく搬送でき、薄板4を正確
に位置合わせすることができる。

【0044】そして、特に薄板4の前端部5のみを把持
するものであるため、容易に薄板4を位置決めすること
ができるので薄板4のサイズが様々に変化しても容易に
対応できる。

【0045】また、検査ステーション3には、光源10
が設けられ、その上方に薄板4を透過した光を撮像して
薄板4を検査するためのカメラ12が設けられ、エアベ
アリング8は、光源10に対して移送方向の前後で、か
つ薄板4の幅方向に複数設けられるものとしたため、カ
メラ12で焦点を結ぶ高さに薄板4を正確に浮上させる
ことができ、薄板4を正確に検査することができる。

【0046】そして、エアベアリング8を二重の管2
5,26からなるものとし、外側の管25でエアを吐出
し、内側の管26でエアを吸引するよう形成し、吐出圧
と吸引圧を調整して検査ステーション3での薄板4の浮
上高さを一定に調整するようにしたため、リング状の吐
出噴流で囲まれる領域に負圧域を良好に形成することが
でき、薄板4を高い精度で正確な高さに、かつ、容易に
浮上させることができる。

【0047】また、薄板移送手段6を、定盤2上を走行
する走行部14と、走行部14に縦軸周り回動自在に支
持され薄板4を把持し、かつ、薄板4の角度を調整自在
な把持部16とを備えて構成したため、薄板4の角度ず
れを容易に修正でき、かつ、ワークサイズが変わっても
同様の手順で容易に角度ずれを修正できる。

【0048】そして、定盤2上に上記エアスライダ7と
エアベアリング8から吐出されたエアを逃がすための段
差溝21を形成したため、エアスライダ7とエアベアリ
ング8から吐出されたエアを円滑に排出することがで
き、薄板4の浮上高さを一定に保持することができる。

【0049】また、段差溝21の開口上縁部に薄板4の
衝突を避けるためのテーパ22,27を形成したため、
エアスライダ7とエアベアリング8の間や、エアベアリ
ング8間の乗り継ぎ時に薄板4がエアスライダ7やエア
ベアリング8に衝突するのを防ぐことができる。

【0050】なお、本実施の形態においては、精度をさ
ほど必要としない検査ステーション3前後のエアスライ
ダに、矩形板状のテーブル部19の上面に複数のエア吐
出穴20を形成してなる安価なタイプのエアスライダ7
を用いるものとしたが、これに代えて上述のエアベアリ
ング8を用いるものとしてもよい。

【0051】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を奏する。 (1)薄板を傷付けることなく搬送できる。 (2)薄板の角度ずれを容易に修正できる。 (3)薄板のサイズ変化に容易に対応できる。

【図面の簡単な説明】

【図1】本発明の好適実施の形態を示す薄板検査装置の
平面図である。

【図2】図1の側面図である。

【図3】図2の要部拡大図である。

【図4】従来の薄板検査装置の概略平面図である。

【符号の説明】

1 薄板検査装置 2 定盤 3 検査ステーション 4 薄板 5 前端部 6 薄板移送手段 7 エアスライダ 8 エアベアリング 10 光源 12 カメラ 14 走行部 16 把持部 21 段差溝 22 テーパ 25 管 26 管 27 テーパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 寿夫 東京都江東区豊洲三丁目1番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 塩田 朋彦 東京都江東区豊洲三丁目1番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 Fターム(参考) 2G051 AA73 AC12 CA04 CB02 DA07

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 定盤上の検査ステーションに、液晶基板
    などの薄板を搬送させて検査するための薄板検査装置に
    おいて、複数サイズの薄板前端部を把持して定盤上を移
    送するための薄板移送手段と、検査ステーション前後の
    定盤上に設けられ、移送される薄板を空気で浮上させる
    ためのエアスライダと、検査ステーションに設けられ、
    薄板に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板
    の浮上高さを調整するエアベアリングとを備えたことを
    特徴とする薄板検査装置。
  2. 【請求項2】 検査ステーションには、光源と、その上
    方に薄板を透過した光を撮像して薄板を検査するための
    カメラとが設けられ、上記エアベアリングは、光源に対
    して移送方向の前後で、かつ薄板の幅方向に複数設けら
    れる請求項1記載の薄板検査装置。
  3. 【請求項3】 上記エアベアリングは二重の管からな
    り、外側の管でエアを吐出し、内側の管でエアを吸引す
    るよう形成され、吐出圧と吸引圧を調整して検査ステー
    ションでの薄板の浮上高さを一定に調整する請求項2記
    載の薄板検査装置。
  4. 【請求項4】 上記薄板移送手段は、上記定盤上を走行
    する走行部と、該走行部に縦軸周り回動自在に支持され
    薄板を把持し、かつ、薄板の角度を調整自在な把持部と
    を備えて構成される請求項1〜3いずれかに記載の薄板
    検査装置。
  5. 【請求項5】 上記定盤上には上記エアスライダとエア
    ベアリングから吐出されたエアを逃がすための段差溝が
    形成される請求項1〜4いずれかに記載の薄板検査装
    置。
  6. 【請求項6】 上記段差溝の開口上縁部に上記薄板の衝
    突を避けるためのテーパが形成される請求項5記載の薄
    板検査装置。
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