JP3013848B1 - 大型基板デバイス搬送用のハンドリングユニット - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 大型基板を用いたデバイスを安全に高速搬送
して生産性を向上させ、ＰＤＰモジュールの測定におい
てフレキ基板の矯正を行いポゴプローブピンへのコンタ
クトを確実に行えるハンドリングユニットを提供する。 【解決手段】 ＰＤＰモジュールデバイスなどの大型基
板を用いたデバイスの高速搬送を行う上でデバイスの外
れおよび落下防止を防ぐために、デバイスを吸着機構４
ｃ〜４ｆでの吸着後にデバイスの両サイド固定するクラ
ンプ機構２ａ〜２ｄを設け、同時にデバイス下面よりの
サポート機構３ａ、３ｂを設けることによりデバイスの
高速搬送時の外れおよび落下を防止ができ、またフレキ
基板１ｂの曲がりおよび反り矯正を行うフレキ基板押え
機構５ａ〜５ｃと受け渡しの相手方にフレキ基板の固定
を行う吸着ステージを設けることにより測定ジグへの挿
入がスムーズに行え測定ユニットへの受け渡しも確実に
行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大型基板を用いた
デバイス用のハンドリングユニットに関し、特にＰＤＰ
モジュールデバイス（以下ＰＤＰモジュールと称す）用
のハンドリングユニットの構成ならびにデバイスフレキ
基板の矯正構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のハンドリングユニットの
ハンドリングシステムは、例えば特開昭６２−１５７１
３０号公報に示される様に、真空ノズルが上下動しデバ
イスを吸着後、Ｘ．Ｙ軸方向の往復動により定位置にデ
バイスの搬送が行われていた。

【０００３】図７は従来のハンドリングユニットの一例
の構造を示す斜視図である。搬送レール１７にガイドさ
れて走行するハンドリングユニット１１０は、デバイス
を吸着する吸着ノズル１４ｄを有し、吸着ノズル１４ｄ
が取り付けられる吸着ノズル取付ホルダ１４ｃと、吸着
ノズル取付ホルダ１４ｃをスライドさせる吸着スライダ
１４ｂと、吸着スライダ１４ｂを上下させる吸着上下シ
リンダ１４ａと、保持したデバイスを回転させるデバイ
ス回転モータ１６とを備え、吸着ノズル１４ｄには吸着
パッド１４ｅが設けられ、バキュームノズル１４ｆより
真空引きされる。

【０００４】次に動作を説明する。目的のデバイスの上
に搬送レール１７にてハンドリングユニット１１０が移
動し、吸着上下シリンダ１４ａの作動により吸着スライ
ダ１４ｂに付いている吸着ノズル取付ホルダ１４ｃが下
降し、デバイスの部品搭載基板１１ａの上面に吸着ノズ
ル１４ｄの吸着パッド１４ｅが接触し、バキュームノズ
ル１４ｆより真空引きが行われることにより部品搭載基
板１１ａの吸着が行はれる。また吸着後吸着上下シリン
ダ１４ａが作動してデバイスは上昇し搬送レール１７に
ガイドされてハンドリングユニット１１０は所定の搬送
先に移動する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術の第１の問
題点は、例えばＰＤＰモジュールのような外形が大きく
また重量が重いデバイスの搬送時に、吸着のみで高速搬
送を行った場合には、時にデバイスがハンドリングユニ
ットから外れ、そのための落下が生じ、搬送異常により
装置停止をおこすことである。

【０００６】図８はＰＤＰモジュールデバイスの上面図
である。デバイスの外れの理由は、図８に示すようにＰ
ＤＰモジュールデバイスは外形が大きく、また上部のＩ
Ｃチップの放熱用にアルミ放熱板を使用しているために
重量が重く、一方真空吸着によるハンドリングでは吸着
力に限界があるため、高速搬送時においてデバイスの外
れおよび落下が生じるからである。

【０００７】例えばＱＦＰタイプパッケージおよびＰＤ
Ｐモジュールの代表的な重量はＱＦＰで約６ｇ、ＰＤＰ
モジュールで３５ｇとなっており、ＰＤＰモジュールが
ＱＦＰと比べると約６倍重い。

【０００８】第２の問題点は、例えばＰＤＰモジュール
には外部との配線接続用に入力側、出力側の２種類のフ
レキ基板が装備されており、デバイスの測定時において
出力フレキ基板を所定の形状で固定しないと測定できな
いが、時に搬送時に自重と衝撃によりフレキ基板が変形
し測定ユニットに正常に装着できないことである。

【０００９】その理由は、特に出力フレキ基板は形状も
大きいので曲がりおよび反りが大きく、フレキ基板の測
定ジグへの挿入時にフレキ基板端面が測定ジグのコンタ
クト部に当たり、フレキ基板の曲がりおよび破損が生
じ、測定ポゴコンタクトピンへのコンタクトを正確に行
えず測定ができなくなくなるためである。

【００１０】本発明の第１の目的は、大型基板を用いた
デバイスを安全に高速搬送し生産性を向上するための、
ハンドリングユニットを提供することにある。

【００１１】本発明の第２の目的は、ＰＤＰモジュール
の測定においてフレキ基板の矯正を行いポゴプローブピ
ンへのコンタクトを確実に行えるハンドリングユニット
を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の大型基板デバイ
ス搬送用のハンドリングユニットは、大型基板を用いた
デバイスを保持し搬送レールを用いて所望の位置間を高
速で搬送するハンドリングユニットであって、第１の態
様では、大型基板を用いたデバイスを吸着する真空吸着
機構と、吸着されたそのデバイスの側面に当接してその
デバイスを固定するクランプ機構とを備える。

【００１３】第２の態様では、大型基板を用いたデバイ
スを吸着する真空吸着機構と、吸着されたそのデバイス
の下面に当接してそのデバイスを固定するサポート機構
とを備える。

【００１４】第３の態様では、大型基板を用いたデバイ
スを吸着する真空吸着機構と、吸着されたそのデバイス
の側面に当接してそのデバイスを固定するクランプ機構
と、吸着されたそのデバイスの下面に当接してそのデバ
イスを固定するサポート機構とを備える。

【００１５】第４の態様では、デバイスは外部との配線
接続のためのフレキ基板を有しており、そのハンドリン
グユニットは、デバイスを吸着する真空吸着機構と、フ
レキ基板の変形矯正のためのプレス機構とを備える。

【００１６】第５の態様では、デバイスは外部との配線
接続のためのフレキ基板を有しており、そのハンドリン
グユニットは、デバイスを吸着する真空吸着機構と、吸
着されたそのデバイスの側面に当接してそのデバイスを
固定するクランプ機構と、吸着されたそのデバイスの下
面に当接してそのデバイスを固定するサポート機構と、
フレキ基板の変形矯正のためのプレス機構とを備える。

【００１７】そのクランプ機構は、デバイスを側面から
保持するクランプと、そのクランプを開閉するクランプ
開閉シリンダと、クランプと一体となってそのクランプ
をスライドさせるクランプスライダと、そのクランプス
ライダを上下させるクランプ上下シリンダとから構成さ
れ、サポート機構はデバイスを下面から支持するサポー
トと、そのサポートをクランプと連動させて開閉するた
めのサポート開閉スプリングとから構成されてもよく、
フレキ基板押え機構は、デバイスのフレキ基板の変形を
矯正するために受け取りユニットのステージにそのフレ
キ基板を押圧するためのフレキ基板押えゴムと、そのフ
レキ基板押えゴムを取り付けるゴム取付ホルダと、その
ゴム取付ホルダを作動させるフレキ押えシリンダとから
構成されてもよい。

【００１８】また、大型基板を用いたデバイスが、ＰＤ
Ｐモジュールデバイスであってもよい。

【００１９】本発明のハンドリングユニットはデバイス
の部品搭載基板の上面を吸着ノズルで吸着を行い、部品
搭載基板が上昇後クランプで部品搭載基板の両サイドを
クランプし、かつ下面をサポートすることにより部品搭
載基板は固定され、搬送レールでの定位置への高速搬送
ができる。またデバイスを測定ユニットに供給するため
の挿入ユニットへの受け渡しにおいて、フレキ基板の曲
がりおよび反りを矯正することができるフレキ基板押え
を設けることによりフレキ基板の曲がりおよび反りは矯
正され、デバイスを挿入ユニットに正確に挿入でき、挿
入ユニットのフレキ吸着ステージに容易に吸着すること
ができる。これらにより測定ジグへの挿入が確実に行え
測定ステージへの受け渡しが確実にでき、フレキ基板と
ポゴコンタクトピンとのコンタクトが確実に行え正確に
測定ができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実施
の形態のハンドリングユニットの斜視図であり、図２は
本発明の実施の形態のハンドリングユニットの正面図で
あり、図３は本発明の実施の形態のハンドリングユニッ
トの側面図である。

【００２１】図１〜図３を参照すると、搬送レール７に
ガイドされ不図示の走行機構で高速移動する本発明のハ
ンドリングユニット１０は、搬送レール７の下部にある
デバイス回転モータ６の下に配置された、デバイスを吸
着パッド４ｅで吸着するための吸着機構４およびデバイ
スをクランプ２ｄで側面から保持するためのクランプ機
構２と、クランプ機構２の脇に配置され、デバイスをサ
ポート３ｂで下面から保持するためのサポート機構３お
よびデバイスのフレキ基板１ｂの変形をフレキ基板押え
ゴム５ｃにより受け渡し先のステージとの間で矯正する
ためのフレキ基板押え機構５とを備えている。

【００２２】図４は本発明の実施の形態のハンドリング
ユニットと測定ジグへの挿入ユニットとの関係を示す正
面図であり、図５は本発明の実施の形態のハンドリング
ユニットと測定ジグの挿入ユニットとの関係を示す側面
図である。

【００２３】デバイスの性能を測定する場合には、デバ
イスをハンドリングユニット１０から挿入ユニット８に
移載し、挿入ユニット８を測定ユニット１００の測定ジ
グに挿入してデバイスを測定ジグに移載して、測定ユニ
ット１００で測定する。

【００２４】測定ジグへの挿入ユニット８は、スライダ
吸着パッド８ｂと、スライダ吸着パッド８ｂが設けられ
たスライダステージ８ａと、フレキ基板を吸着し、ハン
ドリングユニット１０のフレキ基板押え機構５でフレキ
基板が矯正されるベースとなるフレキ吸着ステージ８ｃ
と、バキュームユニット９とから構成されている。

【００２５】次に本発明のハンドリングユニット１０の
動作について図１〜図５を参照し、挿入ユニット８への
デバイス受け渡しを例として詳細に説明する。挿入ユニ
ット８によりデバイスは測定ユニット１００の測定ジグ
へ移載されるまず、本発明のハンドリングユニット１０
の挿入ユニット８までの高速搬送におけるハンドリング
動作について説明する。予めトレーにセットされたデバ
イスの真上にハンドリングユニット１０が搬送レール７
にガイドされて移動する。次にデバイスの方向を検知し
回転モータ６にてデバイス吸着方向を決定し、吸着機構
４を用いて吸着パッド４ｅを下降させてデバイスに接触
させデバイスを吸着して上昇させる。次にクランプ機構
２によりデバイスの両サイドをクランプ２ｄにて固定
し、また同時にサポート機構３によりデバイス下面をサ
ポート３ｂにて支持する。これによりデバイスの側面は
クランプ２ｄで、また下面はサポート３ｂで固定された
状態になるので高速搬送においてもデバイスの脱落の危
険がなくなる。

【００２６】次に挿入ユニット８を介した本発明のハン
ドリングユニット１０の測定ユニット１００へのデバイ
ス移載動作と、フレキ基板の矯正動作について説明す
る。

【００２７】デバイスを保持したハンドリングユニット
１０は搬送レール７で高速搬送され、図４．図５に示す
挿入ユニット８のスライダステージ８ａの上に移動し、
クランプ機構２によりデバイスを下降させスライダステ
ージ８ａにセットし、デバイスの部品搭載基板１ａの裏
面をスライダステージ８ａのスライダ吸着パッド８ａで
吸着しスライダステージ８ａに固定する、次にフレキ基
板押え機構５のフレキ基板押えゴム５ｃにて出力フレキ
基板１ｂを挿入ユニット８のフレキ吸着ステージ８ｃの
上面に押えながら矯正を行って、フレキ吸着ステージ８
ｃに吸着させる。これにより出力フレキ基板１ｂの曲が
りが矯正され、測定ユニット１００の測定電極であるポ
ゴプローブピンに正確にコンタクトできるようになる。

【００２８】ここでは、ＰＤＰデバイスについて説明し
たがＰＤＰデバイスに限定されるものではなく本発明の
ハンドリングユニットは大型の基板を用いたデバイスの
高速搬送に広く用いられる。

【００２９】また、クランプ機構とサポート機構を共に
備えたハンドリングユニットについて説明したが、搬送
するデバイスの形状や重量等の条件によってクランプ機
構のみを備えても、サポート機構のみを備えてもよい。

【００３０】さらに、フレキ基板押え機構は出力フレキ
基板を対象として説明したが、入力フレキ基板に対して
も設けられてよく、変形の少ないフレキ基板を有するデ
バイスの場合は省略してもよい。またデバイスの形状や
重量によっては真空吸着機構のみを有するハンドリング
ユニットに配設してもよい。本実施の形態では測定ユニ
ットへの受け渡しの際にフレキ基板の矯正を行うことと
したが、必要に応じその他のユニットへの受け渡しの際
に実行するようにしてもよい。

【００３１】次に本発明の具体的な実施例について図１
〜図６を参照して詳細に説明する。図６はＰＤＰデバイ
スの測定ユニットの側面図である。

【００３２】図１〜図３を参照すると、搬送レール７に
ガイドされ不図示の走行機構で高速移動する本発明のハ
ンドリングユニット１０は、搬送レール７の下部にある
デバイス回転モータ６の下に配置された吸着機構４およ
びクランプ機構２と、クランプ機構２の脇に配置された
サポート機構３およびフレキ基板押え機構５とを備えて
いる。

【００３３】吸着機構４はデバイスを吸着する吸着ノズ
ル４ｄを有し、吸着ノズル４ｄが取り付けられる吸着ノ
ズル取付ホルダ４ｃと、吸着ノズル取付ホルダ４ｃをス
ライドさせる吸着スライダ４ｂと、吸着スライダ４ｂを
上下させる吸着上下シリンダ４ａとを備え、吸着ノズル
４ｄには吸着パッド４ｅが設けられ、バキュームノズル
４ｆより真空引きされる。クランプ機構２はデバイスを
側面から保持するクランプ２ｄと、クランプ２ｄを開閉
するクランプ開閉シリンダ２ｃと、クランプ２ｄと一体
となってクランプ２ｄをスライドさせるクランプスライ
ダ２ｂと、そのクランプスライダ２ｂを上下させるクラ
ンプ上下シリンダ２ａとから構成され、フレキ基板押え
機構５はデバイスのフレキ基板の変形を矯正するための
フレキ基板押えゴム５ｃと、フレキ基板押えゴム５ｃを
取り付けるゴム取付ホルダ５ｂと、ゴム取付ホルダ５ｂ
を作動させる出力フレキ押えシリンダ５ａとから構成さ
れる。

【００３４】図４、図５を参照すると、測定ユニット１
００の測定ジグへデバイスを挿入する挿入ユニット８
は、デバイスの部品搭載基板１ａを下から保持するスラ
イダステージ８ａと、スライダステージ８ａに配設され
てデバイスの部品搭載基板１ａを下から吸着するスライ
ダ吸着パッド８ｂと、出力フレキ基板１ｂを保持しハン
ドリングユニット１０のフレキ基板押えゴム５ｃとの間
でフレキ基板の変形を矯正するフレキ吸着ステージ８ｃ
と、スライダ吸着パッド８ｂとフレキ吸着ステージ８ｃ
とから吸着のための真空引きを行うバキュームユニット
９とから構成される。

【００３５】図６を参照すると測定ユニット１００は測
定ユニット取付ホルダ１０ａ、Ｘ軸測定ステージ１０
ｂ、Ｙ軸測定ステージ１０ｃ、θ軸測定ステージ１０
ｄ、Ｚ軸測定ステージ１０ｅ、測定クランプ開閉シリン
ダ１０ｆ、測定クランプ１０ｇ、測定バキュームノズル
１０ｈ、測定フレキ基板ステージ１０ｉ、ならびに測定
部であるコンタクトシリンダ１１ａ、測定フレキ基板押
え１１ｂ、ポゴプローブピン１１ｃから構成される。

【００３６】次に本発明のハンドリングユニット１０の
動作の実施例について、挿入ユニット８を用いた測定ユ
ニット１００へのデバイス移載動作とフレキ基板の矯正
動作とについて図１〜図６および図８を参照して詳細に
説明する。

【００３７】先ず、本発明のハンドリングユニット１０
の挿入ユニット８までの高速搬送におけるハンドリング
動作について説明する。

【００３８】予めトレーにセットされたデバイスの頭上
に搬送レール７にガイドされてハンドリングユニット１
０が移動する、次にデバイスの方向を検知し回転モータ
６にてデバイス吸着方向を決め、吸着上下シリンダ４ａ
を動作させることにより吸着スライダ４ｂに取り付けら
れた吸着ノズルホルダ４ｃが下降し、吸着ノズルホルダ
４ｃに取り付けられた吸着ノズル４ｄの先端に付いてい
る吸着パッド４ｅがデバイスの部品搭載基板１ａの表面
に接触した状態でバキュームノズル４ｆより真空引きし
てデバイスを吸着パッド４ｅに吸着して上下シリンダ４
ａにより上昇させる。吸着パッド４ｅは部品搭載基板１
ａの部品の配置されている位置を避けて配置されてい
る。

【００３９】次にデバイスの上昇後クランプ開閉シリン
ダ２ｃを動作させることによってデバイスの両サイドを
クランプ２ｄにてクランプ固定し、同時にサポート開閉
スプリング３ａの動作によってサポート３ｂを閉じてデ
バイスを下面から支え、デバイスの側面をクランプ２ｄ
で、また下面をサポート３ｂで固定した状態で搬送レー
ル７のガイドにより所定の位置、この場合は挿入ユニッ
ト８のスライダステージ８ａ上へ高速搬送を行う。

【００４０】次に挿入ユニット８を介した本発明のハン
ドリングユニット１０の測定ユニット１００へのデバイ
ス移載動作とフレキ基板の矯正動作について説明する。

【００４１】デバイスを保持したハンドリングユニット
１０が搬送レール７にガイドされて高速搬送され、図
４、図５の挿入ユニット８のスライダステージ８ａの上
に移動すると、回転モータ６でスライダステージ８ａに
合わせてデバイスの方向を決め、デバイスを吸着パッド
４ｅによる吸着から開放し、クランプ上下シリンダ２ａ
を動作させてデバイスを下降させてスライダステージ８
ａにセットし、デバイスの部品搭載基板１ａの裏面をス
ライダステージ８ａのスライダ吸着パッド８ａよりバキ
ュームセット９で真空引きし部品搭載基板１ａを吸着し
てスライダステージ８ａに固定する。

【００４２】部品搭載基板１ａの吸着後所定の遅延時間
経過後に出力フレキ押えシリンダ５ａが動作することに
よってゴム取付ホルダ５ｂが下降して先端に付いている
フレキ基板押えゴム５ｃにて出力フレキ基板１ｂをその
下面に接触しているフレキ吸着ステージ８ｃに押え付け
ることによって曲がりや反りの矯正を行って、フレキ吸
着ステージ８ｃにバキュームセット９により吸着し固定
する。これにより出力フレキ基板１ｂの曲がりや反りが
矯正され、図６に示される測定ユニット１００の測定電
極であるポゴプローブピン１１ｃに正確にコンタクトで
きるようになる。

【００４３】次にクランプ開閉シリンダ２ｃが動作して
クランプ２ｄとサポート３ｂを部品搭載基板１ａから開
放し、クランプ上下シリンダ２ａの動作によりクランプ
は上昇し、ハンドリングユニット１０は次の搬送動作に
入ることが可能になる。スライダステージ８ａに固定さ
れたデバイスは挿入ユニット８の移動により図６の測定
ユニット１００の測定ジグへ挿入される。

【００４４】測定ユニット１００では、Ｚ軸測定ステー
ジ１０ｅの動作により測定クランプ１０ｇが下降し、挿
入ユニット８上の部品搭載基板１ａの両サイドを測定ク
ランプ開閉シリンダ１０ｆの動作により測定クランプ１
０ｇにより固定し、出力フレキ基板１ｂは測定フレキ基
板ステージ１０ｉに測定バキュームノズル１０ｈより真
空引きして固定される。ここで挿入ユニット８はスライ
ダ吸着パッド８ｂおよびフレキ吸着ステージ８ｃをデバ
イスから開放して測定ユニット１００から退避する。固
定されたデバイスはＸ軸測定ステージ１０ｂ、Ｙ軸測定
ステージ１０ｃ、θ軸測定ステージ１０ｄの動作により
デバイスのアラインメントが行われ、アライメント後Ｚ
軸測定ステージ１０ｅの動作によりポゴプローブピン１
１ｃへ向けて下降し、コンタクトシリンダ１１ａが動作
して測定フレキ基板押え１１ｂが下降し、出力フレキ基
板１ｂおよび入力フレキ基板１ｃを均一にプレスしフレ
キ基板とポゴプローブピン１１ｃとのコンタクトを行い
自動測定を行う。

【００４５】

【発明の効果】第１の効果は、本発明のハンドリングユ
ニットでは、外形が大きくかつ重量が重いデバイス、例
えばＰＤＰモジュールデバイスを確実に定位置まで高速
搬送を行うことができることである。

【００４６】その理由は、ハンドリングユニットに吸着
機構．クランプ機構．サポート機構を設けることでＰＤ
Ｐモジュールデバイスなどの固定を行うことにより外形
が大きくかつ重量が重いデバイスを高速での搬送を行っ
ても外れや落下がなくなるためである。

【００４７】第２の効果は、本発明のハンドリングユニ
ットではデバイスの出力フレキ基板の曲がりおよび反り
への対応ができ、測定ジグへの挿入および測定ユニット
への受け渡しが確実に行われることにより正確にポゴプ
ローブピンへのコンタクトできることである。

【００４８】その理由は、出力フレキ基板の押え機構が
設けられていることにより、出力フレキ基板の曲がりお
よび反りが矯正されるので挿入ユニットのフレキ基板吸
着ステージへの固定が確実に行え、測定ジグへの挿入お
よび測定ユニットへの受け渡しが確実に行えるためであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のハンドリングユニットの
斜視図である。

【図２】本発明の実施の形態のハンドリングユニットの
正面図である。

【図３】本発明の実施の形態のハンドリングユニットの
側面図である。

【図４】本発明の実施の形態のハンドリングユニットと
測定ジグへの挿入ユニットとの関係を示す正面図であ
る。

【図５】本発明の実施の形態のハンドリングユニットと
測定ジグの挿入ユニットとの関係を示す側面図である。

【図６】ＰＤＰデバイスの測定ユニットの側面図であ
る。

【図７】従来のハンドリングユニットの一例の構造を示
す斜視図である。

【図８】ＰＤＰモジュールデバイスの上面図である。

【符号の説明】

１ａ 部品搭載基板 １ｂ 出力フレキ基板 １ｃ 入力フレキ基板 ２ クランプ機構 ２ａ クランプ上下シリンダ ２ｂ クランプスライダ ２ｃ クランプ開閉シリンダ ２ｄ クランプ ３ サポート機構 ３ａ サポート開閉スプリング ３ｂ サポート ４ 吸着機構 ４ａ、１４ａ 吸着上下シリンダ ４ｂ、１４ｂ 吸着スライダ ４ｃ、１４ｃ 吸着ノズル取付ホルダ ４ｄ、１４ｄ 吸着ノズル ４ｅ、１４ｅ 吸着パッド ４ｆ、１４ｆ バキュームノズル ５ フレキ基板押え機構 ５ａ 出力フレキ押えシリンダ ５ｂ ゴム取付ホルダ ５ｃ フレキ基板押えゴム ６ デバイス回転モータ ７ 搬送レール ８ 挿入ユニット ８ａ スライダステージ ８ｂ スライダ吸着パッド ８ｃ フレキ吸着ステージ ９ バキュームユニット １０、１１０ ハンドリングユニット １０ａ 測定ユニット取付ホルダ １０ｂ Ｘ軸測定ステージ １０ｃ Ｙ軸測定ステージ １０ｄ θ軸測定ステージ １０ｅ Ｚ軸測定ステージ １０ｆ 測定クランプ開閉シリンダ １０ｇ 測定クランプ １０ｈ 測定バキュームノズル １０ｉ 測定フレキ基板ステージ １１ａ コンタクトシリンダ １１ｂ 測定フレキ基板押え １１ｃ ポゴプローブピン １００ 測定ユニット

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 大型基板を用いたデバイスを保持し搬送
   レールを用いて所望の位置間を高速で搬送するハンドリ
   ングユニットであって、 前記大型基板を用いたデバイスを吸着する真空吸着機構
   と、 吸着された該デバイスの側面に当接して該デバイスを固
   定するクランプ機構とを備えたことを特徴とする大型基
   板デバイス搬送用のハンドリングユニット。
2. 【請求項２】 大型基板を用いたデバイスを保持し搬送
   レールを用いて所望の位置間を高速で搬送するハンドリ
   ングユニットであって、 前記大型基板を用いたデバイスを吸着する真空吸着機構
   と、 吸着された該デバイスの下面に当接して該デバイスを固
   定するサポート機構とを備えたことを特徴とする大型基
   板デバイス搬送用のハンドリングユニット。
3. 【請求項３】 大型基板を用いたデバイスを保持し搬送
   レールを用いて所望の位置間を高速で搬送するハンドリ
   ングユニットであって、 前記大型基板を用いたデバイスを吸着する真空吸着機構
   と、 吸着された該デバイスの側面に当接して該デバイスを固
   定するクランプ機構と、 吸着された該デバイスの下面に当接して該デバイスを固
   定するサポート機構とを備えたことを特徴とする大型基
   板デバイス搬送用のハンドリングユニット。
4. 【請求項４】 大型基板を用いたデバイスを保持し搬送
   レールを用いて所望の位置間を高速で搬送するハンドリ
   ングユニットであって、前記デバイスは外部との配線接
   続のためのフレキ基板を有しており、 該ハンドリングユニットは、デバイスを吸着する真空吸
   着機構と、 前記フレキ基板の変形矯正のためのプレス機構とを備え
   たことを特徴とする大型基板デバイス搬送用のハンドリ
   ングユニット。
5. 【請求項５】 大型基板を用いたデバイスを保持し搬送
   レールを用いて所望の位置間を高速で搬送するハンドリ
   ングユニットであって、前記デバイスは外部との配線接
   続のためのフレキ基板を有しており、 該ハンドリングユニットは、デバイスを吸着する真空吸
   着機構と、 吸着された該デバイスの側面に当接して該デバイスを固
   定するクランプ機構と、 吸着された該デバイスの下面に当接して該デバイスを固
   定するサポート機構と、 前記フレキ基板の変形矯正のためのプレス機構とを備え
   たことを特徴とする大型基板デバイス搬送用のハンドリ
   ングユニット。
6. 【請求項６】 前記クランプ機構は、前記デバイスを側
   面から保持するクランプと、該クランプを開閉するクラ
   ンプ開閉シリンダと、前記クランプと一体となって該ク
   ランプをスライドさせるクランプスライダと、該クラン
   プスライダを上下させるクランプ上下シリンダとから構
   成され、前記サポート機構はデバイスを下面から支持す
   るサポートと、該サポートを前記クランプと連動させて
   開閉するためのサポート開閉スプリングとから構成され
   る請求項３または請求項５に記載の大型基板デバイス搬
   送用のハンドリングユニット。
7. 【請求項７】 前記フレキ基板押え機構は、前記デバイ
   スの前記フレキ基板の変形を矯正するために受け取りユ
   ニットのステージに該フレキ基板を押圧するためのフレ
   キ基板押えゴムと、該フレキ基板押えゴムを取り付ける
   ゴム取付ホルダと、該ゴム取付ホルダを作動させるフレ
   キ押えシリンダとから構成される請求項４または請求項
   ５に記載の大型基板デバイス搬送用のハンドリングユニ
   ット。
8. 【請求項８】 前記大型基板を用いたデバイスが、ＰＤ
   Ｐモジュールデバイスである請求項１から請求項７のい
   ずれか１項に記載の大型基板デバイス搬送用のハンドリ
   ングユニット。