JP2002261144A - 基板の受け渡し方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 基板を垂直の状態で受け渡すにもかかわら
ず、アームからの基板の落下を防止することにある。 【解決手段】 基板１２の受け渡し方法及び装置１８
は、複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔をおいて垂直
に収納可能のカセット１４とアーム９６との間で基板を
受け渡す際に、基板の一方の面をアームに吸着させ、基
板の少なくとも上部がカセットから突出している状態に
おいて落下防止部材１０２を基板の他方の面の上部が落
下防止部材に当接可能におくことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示基板のよ
うな基板の検査装置に用いられる、基板の受け渡し方法
及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示基板のような基板は、製造、検
査等の過程において、保管、搬送、加工処理等の取り扱
いを容易にする目的でカセットに収納されている。この
ため、基板の良否の検査においては、未検査の基板をカ
セットから１枚ずつ取り出して検査し、検査済みの基板
を元のカセット又は他のカセットに収納する受け渡しが
受け渡しロボットのような受け渡し装置により行われて
いる。

【０００３】この種のカセットの１つとして、短冊状の
形状を有する複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔をお
いて垂直に収納する縦型カセットがある。この種の縦型
カセットは、一般に、短冊状の基板の端部を受け入れる
複数のスロットを有する一対の基板受けを上方に開口す
る箱状のフレーム内に対向して配置している。スロット
は、基板受けの長手方向に間隔をおいており、対向する
基板受けの側及び上方に開放している。

【０００４】各基板は、長手方向の各端部をスロットに
受け入れられて、カセットに垂直の状態に配置される。
このため、カセットには、複数の基板がそれらの厚さ方
向に間隔をおいて垂直状態に維持される。カセット内の
基板を取り出すとき及び基板をカセットに収納すると
き、基板は、受け渡し用のハンドすなわちアームに垂直
に支持された状態で、カセットに対し上方又は下方へ移
動される。

【０００５】

【解決しようとする課題】しかし、基板を垂直の状態で
アームに支持し、その状態で基板をカセットに対して移
動させると、アームに支持されている基板が倒れてアー
ムから落下することがある。これを防止するには、検査
装置の受け渡し部を基板が傾斜するようにカセットを受
ける構造にしなければならないし、アームを斜めに移動
させる構造にしなければならないから、受け渡し部及び
アームが複雑化する。

【０００６】本発明の目的は、基板を垂直の状態で受け
渡すにもかかわらず、アームからの基板の落下を防止す
ることにある。

【０００７】

【解決手段、作用及び効果】本発明は、複数の基板をそ
れらの厚さ方向に間隔をおいて垂直に収納可能のカセッ
トとアームとの間で基板を受け渡す方法及び装置に適用
される。

【０００８】本発明に係る受け渡し方法は、前記基板の
一方の面を前記アームに吸着させ、前記基板の少なくと
も上部が前記カセットから突出している状態において落
下防止部材を前記基板の他方の面の上部が前記落下防止
部材に当接可能におくことを含む。

【０００９】本発明に係る他の受け渡し方法は、前記ア
ームと前記カセットとを相対的に移動させて前記アーム
を前記カセット内に挿入し、前記基板の一方の面を前記
アームに吸着させ、その状態で前記アームと前記カセッ
トとを相対的に移動させて前記基板を前記カセットに対
し上昇させ、前記基板の少なくとも上部が前記カセット
から突出したとき落下防止部材を前記基板の他方の面が
前記落下防止部材に当接可能におくことを含む。

【００１０】本発明に係るさらに他の受け渡し方法は、
前記基板の一方の面を前記アームに吸着しかつ落下防止
部材を前記基板の他方の面がその上部において前記落下
防止部材に当接可能に維持した状態で前記アームと前記
カセットとを相対的に移動させて前記アームを前記基板
内に挿入し、前記基板の下部が前記カセット内に入れら
れたときから前記基板の上部が前記カセットに入れられ
るまでの間に前記落下防止部材を前記基板の他方の面が
前記落下防止部材に当接不能におくことを含む。

【００１１】本発明に係る受け渡し装置は、上下方向へ
伸びる１以上のアームであって下端部に前記基板の一方
の面を吸着する吸着部を有するアームと、前記アームと
前記カセットとを上下方向へ相対的に移動させる上下移
動機構と、前記アームに対し前記基板の他方の面が当接
可能の位置と当接不能の位置とに変位可能の落下防止部
材とを含む。

【００１２】基板は、その一方の面をアームの下端部に
吸着された状態でカセットの出し入れされる。また、落
下防止部材は、カセット内の基板をアームによりカセッ
トから取り出すときは、基板がカセット内を上昇する途
中において基板の他方の面が当接可能におかれ、基板を
カセットに収納するときは、最初は基板の他方の面の上
部が当接可能におかれるが、基板がカセット内を下降す
る途中において基板の他方の面の上部が当接不能におか
れる。

【００１３】それゆえに、本発明によれば、基板を垂直
の状態で受け渡すにもかかわらず、落下防止部材をカセ
ット内に入れることなく、アームからの基板の落下を防
止することができる。

【００１４】前記アームを上下方向へ延在させ、前記ア
ームの下端部を前記基板の下端縁を受けるべくＬ字状に
曲げることができる。基板がアームの曲げられた下端に
支持されるから、アームによる基板の支持が安定化す
る。

【００１５】受け渡し装置は、さらに、前記アームを水
平方向へ移動させる水平移動機構を含むことができる。
そのようにすれば、アームを基板搬送用のアームとして
も利用することができる。

【００１６】前記アームを前記上下移動機構に支持させ
て前記上下移動機構により移動させることができる。そ
のようにすれば、カセットを上下移動機構に支持させて
その上下移動機構により移動させる場合に比べ、上下移
動機構の構造が簡略化する。

【００１７】受け渡し装置は、さらに、前記アームを前
記上下移動機構に組み付ける回動アームを含み、前記回
動アームは、前記アームが前記基板を垂直に支持する位
置と水平に支持する位置とに回動可能に前記上下移動機
構に組み付けられていてもよい。そのようにすれば、ア
ームによる基板の支持がより安定化する。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１から図８において、表示用パ
ネルの検査装置１０は、複数の基板１２をそれらの厚さ
方向に間隔をおいて垂直の状態に収容可能のカセット１
４の位置を検出する位置検出装置１６と、基板１２を収
容可能のカセット１４に対し出し入れする受け渡し装置
１８とを含む。

【００１９】基板１２は、液晶表示パネルや有機ＥＬ(e
lectroluminescense)のような表示用パネルや、表示用
パネルの製造に用いるガラス基板等、短冊状の平板状被
検査体である。そのような基板１２として、携帯電話用
の表示パネルのような小型のセルを複数個一体的に備え
るいわゆる複数個取りの基板をあげることができる。し
かし、本発明は、基板が単一のセルからなる場合にも適
用することができる。

【００２０】カセット１４は、上下に開放した矩形のフ
レーム２０内に基板１２の配列方向に伸びる一対の基板
受け２２を平行に配置している。各基板受け２２は、基
板１２の長手方向の端部を受け入れるように所定の配置
ピッチで長手方向に間隔をおいて形成された複数のスロ
ット２４と、スロット２４の下端を塞ぐ長い板状の底２
６とを備える。

【００２１】各スロット２４は、相手の基板受け２２側
に開放していると共に、上方に開放されている。両基板
受け２２は、スロット２４が対向する状態に、フレーム
２０に組み付けられている。各基板受け２２は、各スロ
ット２４に連通する穴２８を底２６に有している。各穴
２８は、これがスロット２４に連通するから、カセット
１４への基板１２の配置箇所に対応されている。

【００２２】位置検出装置１６は、カセット１４を載せ
た状態で第１及び第２の位置に移動させるカセットステ
ージ３０と、第１の位置におけるカセット１４の下方に
配置された一対のセンサ３２と、両センサ３２を第１の
位置におけるカセット１４に対して同期して移動させる
移動機構３４とを含む。受け渡し装置１８は、第１の位
置においてカセット１４に対し基板１２の受け渡しをす
る。

【００２３】第１の位置は、カセット１４に対する基板
１２の受け渡しを行ういわゆる基板受け渡し位置であ
り、図２に示す位置である。これに対し、第２の位置
は、カセットステージ３０に対するカセット１４の受け
渡しを行ういわゆるカセット受け渡し位置であり、図２
において第１の位置に対し右方の位置である。

【００２４】カセットステージ３０は、第１の位置から
第２の位置に平行に伸びる一対のガイドレール３８を検
査装置のフレーム４０に組み付け、各ガイドレール３８
の第１及び第２の位置側の各端部にストッパ４２を組み
付け、板状の移動台４４を両ガイドレール３８にそれら
の長手方向へ移動可能に配置し、カセット１４を載せる
板状のフリーステージ４６を移動台４４にこれと平行の
面内で二次元的に移動可能に載せている。

【００２５】移動台４４は、ガイドレール３８に滑動可
能に嵌合された複数のリニアガイド４８により、両ガイ
ドレール３８に結合されている。フリーステージ４６
は、移動台４４の移動方向に長い長方形の形状と、基板
１２の長さ寸法より小さい幅寸法とを有しており、また
移動台４４の上に間隔をおいて取り付けられた複数のボ
ール５０を介して移動台４４の中央に配置されている。

【００２６】カセット１４は、収容している基板１２の
配列方向がカセットステージ３０の移動方向となるよう
に、第２の位置においてフリーステージ４６に載置され
る。この際、カセット１４は、移動台４４の矩形の各辺
に対応する箇所に組み付けられた１以上のガイド５２に
より、カセットステージ３０上の所定の載置位置に案内
される。

【００２７】フリーステージ４６に載せられたカセット
１４は、移動台４４の矩形の隣り合う２つの辺に対応す
る箇所に組み付けられた１以上のプッシャ５４により、
対向する辺に配置されたガイド５２に向けて押される
（図５及び図６参照）。これにより、カセット１４は、
フリーステージ４６と共に移動台４４に対し移動台４４
の移動面と平行な面内で二次元的に移動されて、所定の
ガイド５２に接触し、カセットステージ３０に対して位
置決められる。プッシャ５４は、エアシリンダのような
駆動源５６により移動される。

【００２８】カセットステージ３０に対するカセット１
４の移動は、フリーステージ４６が移動台４４に対して
移動することにより達成される。このため、カセットス
テージ３０に対するカセット１４の移動が円滑になる。
カセット１４がカセットステージ３０に載置されると、
移動台４４は手動により又は自動的に第１の位置へ移動
される。

【００２９】移動台４４は、第１の位置側のストッパ４
２に当接した状態に第１の位置に停止され、また第２の
位置側のストッパ（図示せず）に当接した状態に第２の
位置に停止される。これにより、第１及び第２の位置の
いずれにおいても、検査装置に対する移動台４４の位置
決めがストッパにより行われる。このため、ストッパは
検査装置に対する移動台４４の位置決めをする機能を有
する。

【００３０】各センサ３２は、レーザ光のような光線を
用いる光学的センサであり、光線をカセットステージ３
０上のカセット１４の底にほぼ垂直に照射してカセット
１４からの反射光を受光するように、第１の位置におけ
るカセット１４内の基板１２の長手方向の端部下方に配
置されている。

【００３１】センサ３２は、受光した反射光の急激な変
化を検出することにより、カセット１４の穴２８を感知
する。移動台４４は、センサ３２からの光線及びセンサ
３２に向かう反射光の通過を許す一対の長穴５８を有す
る。各長穴５８は、移動台４４の移動方向に長い。

【００３２】移動機構３４は、第１の位置におけるカセ
ット１４内の基板の長手方向における中央に位置するよ
うにフレーム４０に設置された逆転可能のモータ６０
と、このモータ６０の回転軸に結合されたリードスクリ
ュー６２と、リードスクリュー６２に螺合されたリード
ナット６４と、リードナット６４から基板１２の長手方
向に及び互いに逆の方向へ伸びる一対の取り付けバー６
６と、移動台４４の移動方向への各取り付けバー６６の
移動を案内するガイド６８とを備える。

【００３３】リードスクリュー６２は移動台４４の移動
方向に伸びており、各センサ３２は取り付けバー６６の
先端部に取り付けられている。このため、モータ６０が
回転されると、センサ３２は移動台４４の下側を移動台
４４の移動方向へ移動される。

【００３４】一方の取り付けバー６６には、ターゲット
７０が片持ち梁状に取り付けられている。ターゲット７
０は、先端を受け渡し装置１８に感知されるように、カ
セットステージ３０から前方（図２において左方）へ突
出している。

【００３５】受け渡し装置１８は、下方に開放する門型
のスライダ７２を検査装置のフレームに組み付けられた
支持体７４に一対のガイド７６により移動台４４の移動
方向へ移動可能に組み付け、リードスクリュー７８をこ
れが移動台４４の移動方向へ伸びる状態に支持体７４に
回転可能に支持させ、リードスクリュー７８に螺合され
たリードナット８０をスライダ７２に結合させている。

【００３６】リードスクリュー７８は、逆転可能のモー
タ８１により回転される。これにより、リードナット８
０が移動台４４の移動方向へ移動されて、スライダ７２
が同じ方向へ移動される。

【００３７】スライダ７２には、ターゲット感知器８２
がターゲット７０の先端をカセットステージ３０の上方
から感知するように組み付けられている。ターゲット感
知器８２は、レーザ光のような光線をターゲット７０に
向けて指向させてターゲット７０からの反射光を検出
し、受光した反射光の急激な変化を検出することによ
り、ターゲット７０の先端を感知する。

【００３８】スライダ７２には、また、門型をした昇降
体８４が一対のガイド８６により上下動可能に組み付け
られている。昇降体８４は、スライダ７２に設置された
モータ８８と、モータ８８の回転軸に結合されたリード
スクリュー９０と、リードスクリュー９０に螺合されか
つ昇降体８４に組み付けられたリードナット９２とを備
える昇降機構により昇降される。

【００３９】昇降体８４には、門型をした回動アーム９
４が組み付けられている。回動アーム９４には、基板１
２の長手方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる一対の搬
送アーム９６と、基板１２の長手方向に間隔をおいて上
下方向へ伸びる一対のエアーシリンダ９８とが組み付け
られている。エアーシリンダ９８は、搬送アーム９６よ
りも移動台４４の移動方向前方（図２において左方）に
位置されている。

【００４０】各搬送アーム９６は、基板１２の下端縁を
受けるように下端部においてＬ字状に曲げられており、
また基板１２の一方の面を吸着する吸着パッド１００を
下端部に有する。各エアーシリンダ９８は、搬送アーム
９６に受けられている基板１２が倒れて落下することを
防止する落下防止パッド１０２を下端部に有する。

【００４１】落下防止パッド１０２は、通常はパッド１
０２の下端と搬送アーム９６の下端との間の間隔が基板
１２の幅寸法より大きい高さ位置に上昇されており、落
下防止機能を発揮すべきときに下降されて所定の高さ位
置に維持される。各ガイド６８、各ガイド７６及び各ガ
イド８６は、いずれも、リニアガイドとガイドレールと
を含む市販のガイド機構を用いることができる。

【００４２】カセット１４に対する基板１２の受け渡し
時、図１及び図２に示すように、カセットステージ３０
の移動体４４がストッパすなわちストッパ４２に当接さ
れた状態で、両センサ３２が移動機構３４により移動体
４４の移動方向へ移動されて、所定の穴２８、例えば最
先端（図２における左方端）に位置する穴２８を感知す
る位置に停止される。

【００４３】これにより、ターゲット７０の先端が受け
渡し装置１８に対するカセット１４の位置を表すことに
なる。このとき、両センサ３２が基板１２の長手方向に
離れた穴２８を感知しているから、ターゲット７０の先
端は受け渡し装置１８に対するカセット１４の位置を正
確に表す。

【００４４】次いで、上記状態で、図１及び図２に示す
ように、スライダ７２がモータ８１により移動体４４の
移動方向に移動されて、ターゲット７０の先端を感知す
る位置に停止され、そのときのスライダ７２の位置が受
け渡し装置１８に対するカセットの原点位置とされる。
これにより、受け渡し装置１８に対するカセット１４の
位置が検出される。

【００４５】次いで、受け渡し装置１８によるカセット
１４からの基板１２の取り出しが行われる。この作業
は、以下のように実行される。

【００４６】先ず、搬送アーム９６が所定の基板１２、
例えば図９に示すように最後部の基板１２の上方に位置
するように、スライダ７２がモータ８１により所定量移
動され、その状態で搬送アーム９６及びエアーシリンダ
９８がモータ８８により下降される。これにより、搬送
アーム９６は、図１０に示すように曲げられた下端が基
板１２より下方となるまで下端部をカセット１４内の基
板１２の後方に挿入される。

【００４７】搬送アーム９６がその下端部に基板１２の
下端縁を受けることができる位置まで下降されると、吸
着パッド１００が図示しない真空装置に連結されて、基
板１２の一方の面の下端部を真空的に吸着する。この
際、モータ８１や図示しない他の機構等の適宜な手段に
より、搬送アーム９６を吸着すべき基板１２に接近させ
てもよい。基板１２の下端縁は搬送アーム９６の下端部
の前方に曲げられた箇所に載せられる。

【００４８】吸着パッド１００による基板１２の被吸着
箇所は、基板１２の一方の面の下端部である必要はな
く、一方の面の適宜な位置、例えば上下方向における中
央部とすることができる。

【００４９】上記のように基板１２を吸着パッド１００
に吸着した状態で、搬送アーム９６及びエアーシリンダ
９８がモータ８８により上昇される。これにより、搬送
アーム９６に把持された基板１２がカセット１４内を上
昇される。

【００５０】図１１に示すように、吸着された基板１２
の上部がカセット１４から上方に突出した状態に搬送ア
ーム９６及びエアーシリンダ９８が上昇されると、落下
防止パッド１０２が搬送アーム９６に受けられている基
板１２に当接可能にエアーシリンダ９８により下降され
て、基板１２の前方に位置する。これにより、その基板
１２が倒れても、その基板１２はその他方の面、特にそ
の上部において落下防止パッド１０２に当接して搬送ア
ーム９６からの落下を防止される。

【００５１】次いで、図１２に示すように、上記状態
で、搬送アーム９６及びエアーシリンダ９８がモータ８
８によりさらに所定の高さ位置まで上昇され、その状態
でスライダ７２がモータ８１により図１２において左方
（前方）へ移動される。これにより、搬送アーム９６に
受けられている基板１２はアライメントステージ、検査
ステージ等、所定の機器１０４の上方に搬送される。

【００５２】次いで、図１３に示すように、回動アーム
９４が時計方向へ９０度回転される。これにより、搬送
アーム９６に支持されている基板１２は、その姿勢を垂
直の状態から水平の状態に変更される。しかし、基板１
２を機器１０４の上方に搬送する過程で、回動アーム９
４を回転させて、基板１２の姿勢を水平の状態に変更さ
せてもよい。

【００５３】次いで、搬送アーム９６及びエアーシリン
ダ９８がモータ８８により下降されて、搬送アーム９６
に支持されている基板１２が機器１０４に渡される。こ
の際、吸着パッド１０２は、エアーシリンダ９８により
基板１２と対向しない位置に後退されている。

【００５４】その後、受け渡し装置１８は、カセット１
４内の次の基板１２の処理のために元の位置及び状態に
戻される。

【００５５】上記の作業、特に基板１２の取り出しに関
する作業は、基板１２毎に行われる。

【００５６】カセット１４が空になると、カセットステ
ージ３０が第２の位置に戻され、その位置においてカセ
ットの交換が行われる。しかし、処理した基板を元のカ
セット１４に戻し、全ての基板１２の処理が終了したこ
とにより、カセット交換を行うようにしてもよい。

【００５７】基板１２を受け渡し装置１８により空のカ
セット１４に移すときは、機器１０４上の基板を受け渡
し装置１８に受け、その基板を受け渡し装置１８により
カセット１４に移すように、上記と逆の作業が行われ
る。

【００５８】上記のように基板１２がその一方の面の下
部を搬送アーム９６に吸着された状態でカセット内を上
昇又は下降される途中において、落下防止パッド１０２
を基板１２の他方の面の上部が当接可能の状態におくな
らば、基板１２を垂直の状態で受け渡すにもかかわら
ず、搬送アーム９６からの基板１２の落下を防止するこ
とができるし、落下防止パッド１０２をカセット１４内
に入れる必要がない。

【００５９】しかし、受け渡し時に落下防止パッド１０
２をカセット１４内に入れる構造にすると、落下防止パ
ッド１０２を挿入できるように、カセット１４内の基板
１２の収納ピッチ及び隣り合う基板１２の間隔を大きく
しなければならないから、カセット１４の基板収納可能
数が少なくなる。

【００６０】本発明は、表示用基板の検査装置における
受け渡し技術のみならず、他の平板状の基板の受け渡し
技術にも適用することができる。センサ３２やターゲッ
ト感知器８２は、光線を用いるもののみならず、ビデオ
カメラとその出力信号を処理する画像処理回路とを備え
たもの等、他の手段を用いてもよい。

【００６１】本発明は、上記実施例に限定されない。例
えば、位置検出時にセンサをカセットに対して移動させ
る代わりに、カセットをセンサに対して移動させてもよ
い。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る受け渡し装置を備えた検査装置の
一実施例を示す図である。

【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図であ
る。

【図３】図１に示す検査装置におけるカセットステージ
の平面図であってカセットを載せた状態を示す図であ
る。

【図４】図１に示す検査装置におけるカセットステージ
の平面図であってカセットを除去した状態を示す図であ
る。

【図５】図３及び図４における５−５線に沿って得た断
面図である。

【図６】図３及び図４における６−６線に沿って得た断
面図である。

【図７】吸着パッド及び落下防止パッド近傍の拡大図で
ある。

【図８】カセットの一実施例を示す斜視図である。

【図９】搬送アームをカセットからの基板取り出し位置
に移動させた状態を示す図である。

【図１０】搬送アームをカセットに挿入した状態を示す
図である。

【図１１】基板をカセットから取り出す工程を示す図で
ある。

【図１２】基板をカセットから取り出した状態を示す図
である。

【図１３】基板を機器の上方に搬送した状態を示す図で
ある。

【符号の説明】

１０ 検査装置 １２ 基板 １４ カセット １６ 位置検出装置 １８ 受け渡し装置 ３２ センサ ３４ センサの移動機構 ４０ 検査装置のフレーム ７０ ターゲット ７２ スライダ ７４ 支持体 ７６，８６ ガイド ７８，９０ リードスクリュー ８０，９２ リードナット ８１，８８ モータ ８２ ターゲット感知器 ８４ 昇降体 ９６ 搬送アーム ９８ エアーシリンダ １００ 吸着パッド １０２ 落下防止パッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｆターム(参考） 2H088 FA11 FA17 FA24 MA20 3C007 AS03 BS02 BT01 CV04 CW05 DS03 ES17 EV05 FS01 FT02 FT11 FU00 FU02 KS03 KV12 KX05 KX19 NS09 NS12 NS17 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA11 FA13 FA18 GA06 GA15 GA24 MA33 PA30

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔を
   おいて垂直に収納可能のカセットとアームとの間で基板
   を受け渡す方法であって、 前記基板の一方の面を前記アームに吸着し、前記基板の
   少なくとも上部が前記カセットから突出している状態に
   おいて落下防止部材を前記基板の他方の面が前記落下防
   止部材に当接可能におくことを含む、基板の受け渡し方
   法。
2. 【請求項２】 複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔を
   おいて垂直に収納したカセットから基板をアームにより
   取り出す受け渡し方法であって、 前記アームと前記カセットとを相対的に移動させて前記
   アームを前記カセット内に挿入し、前記基板の一方の面
   を前記アームに吸着し、その状態で前記アームと前記カ
   セットとを相対的に移動させて前記基板を前記カセット
   に対し上昇させ、前記基板の少なくとも上部が前記カセ
   ットから突出したとき落下防止部材を前記基板の他方の
   面が前記落下防止部材に当接可能におくことを含む、基
   板の受け渡し方法。
3. 【請求項３】 複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔を
   おいて垂直に収納可能のカセットに基板をアームにより
   収納する受け渡し方法であって、 前記基板の一方の面を前記アームに吸着しかつ落下防止
   部材を前記基板の他方の面が前記落下防止部材に当接可
   能に維持した状態で前記アームと前記カセットとを相対
   的に移動させて前記アームを前記基板内に挿入し、前記
   基板の下部が前記カセット内に入れられたときから前記
   基板の上部が前記カセットに入れられるまでの間に前記
   落下防止部材を前記基板の他方の面がその上部において
   前記落下防止部材に当接不能におくことを含む、基板の
   受け渡し方法。
4. 【請求項４】 複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔を
   おいて垂直に収納可能のカセットに対し基板を受け渡す
   装置であって、 前記基板の一方の面を吸着する吸着部を有するアーム
   と、 前記アームと前記カセットとを上下方向へ相対的に移動
   させる上下移動機構と、 前記アームに対し前記基板の他方の面が当接可能の位置
   と当接不能の位置とに変位可能の落下防止部材とを含
   む、基板の受け渡し装置。
5. 【請求項５】 前記アームは上下方向へ伸びており、前
   記アームの下端部は前記基板の下端縁を受けるべくＬ字
   状に曲げられている、請求項１に記載の受け渡し装置。
6. 【請求項６】 さらに、前記アームを水平方向へ移動さ
   せる水平移動機構を含む、請求項４又は５に記載の受け
   渡し装置。
7. 【請求項７】 前記アームは前記上下移動機構に支持さ
   れて前記上下移動機構により移動される、請求項４，５
   又は６に記載の受け渡し装置。
8. 【請求項８】 前記アームを前記上下移動機構に組み付
   ける回動アームを含み、前記回動アームは、前記アーム
   が前記基板を垂直に支持する位置と水平に支持する位置
   とに回動可能に前記上下移動機構に組み付けられてい
   る、請求項４から７のいずれか１項に記載の受け渡し装
   置。