JP2002305229A - 表示用基板の受け渡し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 基板を斜めに維持した状態で検査する装
置に適用することができることができるにもかかわら
ず、装置が簡略化することにある。 【解決手段】 表示用基板１２の受け渡し装置７２は、
複数の基板１２をその厚さ方向に間隔をおいて収容可能
のカセット１４を支持するカセット支持機構７０であっ
て、カセット１４に収容される基板１２が斜めとなる状
態にカセット１４を斜めに支持可能のカセット支持機構
７０と、カセット支持機構７０に斜めに支持されたカセ
ット１４に対し基板１２を斜めの状態で受け渡する基板
受け渡し機構７２とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示基板のよ
うな表示用基板の検査装置に用いられる表示用基板の受
け渡し装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示基板のような表示用基板は、製
造、検査等の過程において、保管、搬送、加工処理等の
取り扱いを容易にする目的でカセットに収納されてい
る。カセットは、複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔
をおいて収容すると共に、各基板の少なくとも長手方向
又は幅方向の端部を支持する。

【０００３】基板の良否の検査においては、未検査の基
板をカセットから１枚ずつ取り出して検査し、検査済み
の基板を元のカセット又は他のカセットに収納する受け
渡しが受け渡しロボットのような受け渡し装置により行
われている。カセットに対する基板の受け渡しは、受け
渡し装置の受け渡しアームを、カセットにその開口を介
して出し入れすることにより行われる。

【０００４】そのような受け渡し装置を用いる点灯検査
装置において、カセットから引き出された基板は、検査
ステージに搬送されてその検査ステージで良否を検査さ
れる。基板の受け渡しは、未検査の基板をカセットから
取り出すときと、検査済みの基板を元のカセット又は他
のカセットに収納するときとに行われる。

【０００５】

【解決しようとする課題】この種の受け渡し装置の１つ
として、基板が水平又は垂直となる状態にカセットを維
持し、その状態で受け渡しアームにより基板を受け渡す
ものがある。しかし、そのような受け渡し装置では、基
板を検査ステージに斜めに維持させた状態で検査する装
置に適用することができないし、受け渡し装置が複雑か
つ大型化して高価になる。

【０００６】本発明の目的は、基板を斜めに維持した状
態で検査する装置に適用することができるにもかかわら
ず、装置が簡略化することにある。

【０００７】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係る表示用基板の
受け渡し装置は、複数の基板をその厚さ方向に間隔をお
いて収容可能のカセットを支持するカセット支持機構で
あって前記カセットに収容される基板が斜めとなる状態
に前記カセットを斜めに支持可能のカセット支持機構
と、前記カセット支持機構に斜めに支持された前記カセ
ットに対し基板を斜めの状態で受け渡する基板受け渡し
機構とを含む。

【０００８】基板を水平面に対し傾斜させた斜めの状態
でカセットに対し受け渡す装置は、基板を水平又は垂直
の状態で受け渡し、その後基板を斜めに変更する装置に
比べ、装置の構造が簡略化し、廉価になる。それゆえ
に、本発明によれば、基板を斜めの状態で検査する装置
に適用することができることができるにもかかわらず、
装置が簡略化する。

【０００９】前記カセット支持機構は、前記カセットを
支持するカセット設置台と、前記カセット内の基板が斜
めとなる姿勢と垂直となる姿勢とに前記カセット設置台
を選択的に変位させる姿勢変更機構とを備えることがで
きる。そのようにすれば、カセット内の基板が垂直とな
る状態でカセットをカセット設置台に対し着脱すること
ができるから、基板を斜めの状態で受け渡すにもかかわ
らず、カセット設置台に対するカセットの着脱作業が容
易になる。

【００１０】前記カセット支持機構は、さらに、前記カ
セットを前記カセット設置台に対し着脱するカセット着
脱位置と前記基板受け渡し機構が前記カセットに対し基
板の受け渡しをする基板受け渡し位置とに前記カセット
設置台を選択的に移動させるステージ移動機構を備える
ことができる。そのようにすれば、基板の受け渡し位置
と異なる箇所でカセットをカセット設置台に着脱するこ
とができるから、カセット設置台に対するカセットの着
脱作業がより容易になる。また、カセットをそのなかの
基板が垂直となる状態にカセット設置台に設置した状態
で、カセット設置台を移動させることができるから、基
板を斜めの状態で受け渡すにもかかわらず、カセット設
置台の移動時にカセット内の基板を損傷するおそれがな
い。

【００１１】前記基板受け渡し機構は、基板を前記カセ
ットに対し受け渡す受け渡しアームと、該受け渡しアー
ムを前記カセット内の基板が傾斜する方向へ移動させる
第１の駆動機構と、前記受け渡しアームを前記カセット
に対し進退させる第２の駆動機構とを備えることができ
る。そのようにすれば、受け渡しアームに複雑な動きを
させることなく、基板の受け渡しが行われる。

【００１２】前記基板受け渡し機構は、さらに、前記受
け渡しアームに受けられている基板を前記受け渡しアー
ムに対して位置決める位置決め機構を備えることができ
る。そのようにすれば、基板が受け渡しアームに安全に
維持される。

【００１３】前記位置決め機構は、前記第１及び第２の
駆動機構による前記受け渡しアームの移動方向と直交す
る第３の方向に間隔をおいた一対の基板ガイドであって
前記第３の方向において相寄り相離れる方向へ移動可能
の基板ガイドを備えることができる。そのようにすれ
ば、受け渡しアームに受けられた基板を基板ガイド間に
位置させた状態で、基板ガイドを相寄る方向へ移動させ
ることにより、基板が受け渡しアームに対して位置決め
られ、受け渡しアームに対する基板の位置決めが容易に
かつ確実に行われる。

【００１４】前記位置決め機構は、さらに、前記基板ガ
イドを支持すると共に前記第３の方向へ同期して逆に移
動させるガイド移動機構を備えることができる。そのよ
うにすれば、受け渡しアームに対する基板の位置決めが
自動的に行われる。

【００１５】前記カセット設置台は前記姿勢変更機構を
介して前記ステージ移動機構に支持されており、前記ス
テージ移動機構は前記姿勢変更機構を前記カセット設置
台と共に前記カセット着脱位置と前記基板受け渡し位置
とに移動させてもよい。また、前記受け渡しアームは前
記第２の駆動機構を介して前記第１の駆動機構に支持さ
れており、前記第１の駆動機構は前記第２の駆動機構を
前記受け渡しアームと共に前記カセットに対して進退さ
せてもよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１及び図２を参照するに、検査
装置１０は、複数の基板１２をそれらの厚さ方向に間隔
をおいて収容可能のカセット１４を用いて、基板１２を
斜め前方及び上方に傾斜させた状態でその基板１２の点
灯検査をする装置として用いられる。

【００１７】基板１２は、液晶表示パネルや有機ＥＬ(e
lectroluminescense)のような表示用パネルや、表示用
パネルの製造に用いるガラス基板等、短冊状の平板状被
検査体である。そのような基板１２として、携帯電話用
の表示パネルのような小型のセルを複数個一体的に備え
るいわゆる複数個取りの基板をあげることができる。し
かし、本発明は、基板が単一のセルやパネルからなる場
合にも適用することができる。

【００１８】カセット１４は、図３に示すように、上下
に開放した矩形のフレーム２０内に基板１２の配列方向
に伸びる一対の基板受け２２を平行に配置している。各
基板受け２２は、基板１２の長手方向の端部を受け入れ
る複数のスロット２４を基板受け２２の長手方向に所定
の配置ピッチで間隔をおいて形成し、スロット２４の下
端を長い板状の底部２６により塞いでいる。

【００１９】各スロット２４は、相手の基板受け２２側
に開放していると共に、上方に開放されている。両基板
受け２２は、スロット２４が対向する状態に、フレーム
２０に組み付けられている。各基板受け２２は、各スロ
ット２４に連通する穴２８（図４参照）を底２６に有し
ている。各穴２８は、これがスロット２４に連通するか
ら、カセット１４への基板１２の配置箇所に対応されて
いる。

【００２０】検査装置１０は、本体フレーム３０の前面
側の上部を斜め上向きの複数の傾斜面３２とし、そのう
ち左右方向における中央に位置する傾斜面３２に位置合
わせや検査すべき基板１２の観察等に用いられる光学顕
微鏡３４と、プローブユニット３６と、操作パネル３８
とを配置している。各傾斜面３２は、水平面に対し４５
度の角度を有している。

【００２１】本体フレーム３０の内部は、左右方向にお
ける中央に位置する測定領域４４と、未検査の基板１２
を収納したカセット１４を検査装置に配置するローダ領
域４６と、検査済みの基板１２を収納したカセット１４
を検査装置１０から取り出すアンローダ領域４８とに分
けられている。ローダ領域４６とアンローダ領域４８と
は、測定領域４４に対し互いに左右方向の反対側に位置
されている。

【００２２】測定領域４４に対応する中央の傾斜面３２
は、操作パネル３８の分だけローダ領域４６及びアンロ
ーダ領域４８に対応する傾斜面３２及び３２より凹まさ
れている。同様に、本体フレーム３０の前面のうち、測
定領域４４に対応する箇所は、操作パネル３８の分だけ
ローダ領域４６及びアンローダ領域４８に対応する箇所
より凹まされている。

【００２３】本体フレーム３０は、カセット１４を検査
装置に１０に対して着脱するための開口５０及び５２を
それぞれローダ領域４６及びアンローダ領域４８の前側
の部分に有していると共に、検査済みの基板を収納する
カセットを目視する確認窓５４をアンローダ領域４８の
傾斜面３２に有している。確認窓５４と同様の確認窓を
ローダ領域４６に形成してもよい。

【００２４】プローブユニット３６は、それぞれが複数
の接触子を備えた複数のプローブブロック４０を矩形の
板の形をした基板４２に接触子が一列となる状態に装着
している。接触子は、検査時に、基板１２の幅方向にお
ける一方の縁部に形成された帯状の電極に押圧されて電
気的に接続される。プローブユニット３６は、本体フレ
ーム３０の開口を介して本体フレーム３０内を目視する
開口５６を測定領域４４に有している。

【００２５】本体フレーム３０内の測定領域４４には、
基板１２の点灯検査のための測定ステージ５８が基板１
２を本体フレーム３０の傾斜面３２と平行の前及び上向
きに水平面に対し４５度傾斜した斜めの状態に受けてそ
の状態に支持するように、配置されている。測定ステー
ジ５８は、受けた基板１２をこれと平行な互いに直交す
る２方向及び基板１２に垂直の方向の三次元的に移動さ
せると共に、基板１２と垂直な方向へ移動させる。

【００２６】本体フレーム３０内には、また、基板１２
を斜め前方及び上方に傾斜させた状態でカセット１４に
対して受け渡す受け渡し装置６０がローダ領域４６及び
アンローダ領域４８の各々に配置されていると共に、未
検査の基板１２をローダ領域４６側の受け渡し装置６０
から測定ステージ５８に搬送すると共に、検査済みの基
板１２を測定ステージ５８からアンローダ領域４８側の
受け渡し装置６０に搬送する搬送装置６２とが配置され
ている。

【００２７】ローダ領域４６側の受け渡し装置とアンロ
ーダ領域４８側の受け渡し装置とは、互いに逆の動作を
行うのみで、同じ構造を有する。それゆえに、図におい
ては、ローダ領域４６側の受け渡し装置６０を示すのみ
で、アンローダ領域４８側の受け渡し装置を示していな
い。

【００２８】搬送装置６２は、基板１２を真空的に吸着
して搬送する一対の搬送アーム６４と、両搬送アーム６
４を移動させる搬送アーム駆動機構６６とを備えてい
る。両搬送アーム６４は、基板１２を真空的に吸着する
吸着パッド６８を備えている。

【００２９】一方の搬送アーム６４は未検査の基板１２
をローダ領域４６側の受け渡し装置６０から測定ステー
ジ５８に搬送するアームであり、他方の搬送アームは検
査済みの基板１２を測定ステージ５８からアンローダ領
域４８側の受け渡し装置に搬送するアームである。他方
の搬送アーム６４は、一方の搬送アーム６４と同じ構造
を有するが、図示されていない。

【００３０】各受け渡し装置６０は、カセット１４を着
脱可能に支持するカセット支持機構７０と、基板１２を
カセット支持機構７０に支持されたカセット１４に対し
出し入れする基板受け渡し機構７２とを含む。

【００３１】図４から図６に示すように、カセット支持
機構７０は、本体フレーム３０に組み付けられた板状の
固定ベース１３０と、固定ベース１３０に第１及び第２
の位置に移動可能に受けられた可動ベース１３２と、カ
セット１４を受けるように可動ベース１３２に支持され
たカセット設置台（カセットステージ）１３４と、カセ
ット設置台１３４を可動ベース１３２に対し水平方向へ
伸びる軸線の周りに角度的に回転させるエアーシリンダ
１３６と、第１の可動ベース位置におけるカセット１４
の下方に配置された一対のセンサ１３８と、両センサ１
３８を第１の位置におけるカセット１４に対して同期し
て移動させるセンサ移動機構１４０と、基板１２の撓み
を防止する撓み防止機構１４２とを含む。

【００３２】固定ベース１３０は、第１の可動ベース位
置から第２の可動ベース位置まで伸びている。第１の可
動ベース位置は、カセット１４に対する基板１２の受け
渡しを行ういわゆる基板受け渡し位置であり、図２及び
図５に示す位置である。これに対し、第２の可動ベース
位置は、カセット設置台１３４に対するカセット１４の
受け渡しを行ういわゆるカセット受け渡し位置であり、
図２において第１の位置に対し右方の位置である。カセ
ット設置台１３４がカセット受け渡し位置にある状態を
図１，図９及び図１０に示す。

【００３３】可動ベース１３２は、基板受け渡し位置か
らカセット受け渡し位置まで平行に伸びる状態に固定ベ
ース１３０に組み付けられた一対のガイドレール１４４
と、各ガイドレール１４４に滑動可能に組み付けられた
複数のリニアガイド１４６とを介して、固定ベース１３
０に支持されており、また下面においてリニアガイド１
４６に組み付けられている。

【００３４】カセット設置台１３４は、板状の支持台１
４８を後に説明するように可動ベース１３２に支持さ
せ、カセット１４を載せる板状のフリーステージ１５０
を支持台１４８にこれと平行の面内で二次元的に移動可
能に載せている。

【００３５】フリーステージ１５０は、可動ベース１３
２の移動方向に長い長方形の形状と、基板１２の長さ寸
法より小さい幅寸法とを有しており、また支持台１４８
の上に間隔をおいて取り付けられた複数のボール１５２
を介して支持台１４８の中央に配置されている。

【００３６】カセット１４は、収容している基板１２の
配列方向が可動ベース１３２の移動方向（Ｘ方向）とな
るように、カセット受け渡し位置においてフリーステー
ジ１５０に載置される。この際、カセット１４は、矩形
の支持台１４８の各辺に対応する箇所に組み付けられた
１以上のガイド１５４により、カセット設置台１３４上
の所定の位置に案内される。

【００３７】フリーステージ１５０に載せられたカセッ
ト１４は、矩形の支持台１４８の隣り合う２つの辺に対
応する箇所に組み付けられた１以上のプッシャ１５６に
より、対向する辺に配置されたガイド１５４に向けて押
される。これにより、カセット１４は、フリーステージ
１５０と共に支持台１４８に対し支持台１４８と平行な
面内で二次元的に移動されて、所定のガイド１５４に接
触し、カセット設置台１３４に対して位置決められる。
プッシャ１５６は、エアーシリンダのような駆動源１５
８により移動される。

【００３８】カセット設置台１３４に対するカセット１
４の移動は、フリーステージ１５０が支持台１４８に対
しボール１５２を介して移動することにより達成され
る。このため、カセット設置台１３４に対するカセット
１４の移動が円滑になる。

【００３９】支持台１４８の先端部（図５において左端
部）は可動ベース１３２から上方へ伸びる複数の支柱１
６０の上部に枢軸ピン１６２により組み付けられ、支持
体１４８の中央部がエアーシリンダ１３６のピストンロ
ッドに枢軸ピン１６４により結合されている。これによ
り、カセット設置台１３４は可動ベース１３２に支持さ
れている。枢軸ピン１６２，１６４は、可動ベース１３
２の移動方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向へ平行に伸び
ている。

【００４０】エアーシリンダ１３６は、可動ベース１３
２から上方へ伸びるように、シリンダにおいて可動ベー
ス１３２に枢軸ピン１６６により連結されている。枢軸
ピン１６６は、枢軸ピン１６２，１６４と平行にＹ方向
へ伸びている。このため、カセット設置台１３４は、エ
アーシリンダ１３６の伸縮により、支持台１４８が水平
となる水平状態と、支持台１４８が水平線に対し４５度
傾斜する傾斜状態とに選択的に変位される。エアーシリ
ンダ１３６は、カセット１４内の基板１２が斜めとなる
姿勢と垂直となる姿勢とにカセット設置台１３４を選択
的に変位させる姿勢変更機構として作用する。

【００４１】各センサ１３８は、レーザ光のような光線
を用いる光学的センサであり、光線をカセット設置台１
３４上のカセット１４の底にほぼ垂直に照射してカセッ
ト１４からの反射光を受光するように、基板受け渡し位
置におけるカセット１４内の基板１２の長手方向の端部
下方に配置されている。

【００４２】センサ１３８は、受光した反射光の急激な
変化を検出することにより、カセット１４の穴２８を感
知する。支持台１４８は、センサ１３８からの光線及び
センサ１３８に向かう反射光の通過を許す一対の長穴１
６８を有する。各長穴１６８は、可動ベース１３２の移
動方向に長い。

【００４３】センサ移動機構１４０は、基板受け渡し位
置におけるカセット１４内の基板１２の長手方向におけ
る中央に位置するように可動ベース１３２に設置された
逆転可能のモータ１７０と、このモータ１７０の回転軸
に結合されたリードスクリュー１７２と、リードスクリ
ュー１７２に螺合されたリードナット１７４（図５参
照）と、リードナット１７４から基板１２の長手方向に
及び互いに逆方向へ伸びる一対の取り付けバー１７６
と、可動ベース１３２の移動方向への各取り付けバー１
７６の移動を案内するガイド機構１７８とを備える。

【００４４】リードスクリュー１７２は可動ベース１３
２の移動方向に伸びており、各センサ１３８は取り付け
バー１７６の先端部に取り付けられている。このため、
モータ１７０が回転されると、センサ１３８は支持台１
４８の下側を可動ベース１３２の移動方向へ移動され
る。ガイド機構１７８は、可動ベース１３２に取り付け
られたガイドレールと、該レールに滑動可能に結合され
たリニアガイドとを用いることができる。

【００４５】一方の取り付けバー１７６には、ターゲッ
ト１８０が片持ち梁状に取り付けられている。ターゲッ
ト１８０は、先端を基板受け渡し機構７２に感知される
ように、可動ベース１３２及びカセット設置台１３４か
ら前方（図５において左方）へ突出している。

【００４６】撓み防止機構１４２は、支持台１４８とフ
リーステージ１５０との間を可動ベース１３２の移動方
向（Ｘ方向）へ伸びる棒状又は板状の長尺部材１８２
と、長尺部材１８２にこれの長手方向（Ｘ方向）に間隔
をおいて一列に組み付けられた棒状又は板状の複数の受
け部材１８４と、受け部材１８４を第１及び第２の受け
部材位置に選択的に回転移動させるように長尺部材１８
２を角度的回転可能に支持する一対のブラケット１８６
と、長尺部材１８２の後端部（図５において右端部）に
組み付けられたハンドル１８８とを含む。

【００４７】受け部材１８４は、カセット１４内の基板
１２の収容ピッチと同じピッチで、及び、長尺部材１８
２から半径方向へ平行に伸びる状態に、長尺部材１８２
の外周に装着されている。ブラケット１８６は、長尺部
材１８２が基板受け２２の間の中央に対応する箇所をＸ
方向へ伸び、かつ受け部材１８４が隣り合う基板１２間
を上下方向（Ｚ方向）へ伸びるように、支持台１４８に
装着されている。

【００４８】第１の受け部材位置は受け部材１８４がカ
セット１４内を伸びる位置であり、第２の受け部材位置
は受け部材１８４がカセット１４の外に位置する位置で
ある。このため、フリーステージ１５０は、受け部材１
８４がカセット１４内に出入りする開口１９０を有して
いる。

【００４９】可動ベース１３２は、ベース駆動機構１９
２によりカセット受け渡し位置に移動される。ベース駆
動機構１９２は、エアーシリンダのような直線運動アク
チュエータを用いる機構であってもよいし、電動機のよ
うな回転運動アクチュエータを用いる機構であってもよ
い。しかし、可動ベース１３２を手動で基板受け渡し位
置とカセット受け渡し位置とに選択的に移動させてもよ
い。

【００５０】図２に示すように、基板受け渡し機構７２
は、図２においてカセット支持機構７０の左方（後側）
に配置されており、カセット１４が傾斜された状態にお
いて基板１２をカセット１４に対して受け渡す。

【００５１】図７及び図８に示すように、基板受け渡し
機構７２は、基板１２をカセット１４に対して受け渡す
コ字状の受け渡しアーム２０２と、受け渡しアーム２０
２をこれに受けている基板１２に垂直の第１の方向へ移
動させる第１の駆動機構２０４と、受け渡しアーム２０
２をこれに受けている基板１２と平行な面内で第１の方
向に垂直の第２の方向へ移動させてカセット設置台１０
０上のカセット１４に対し進退させる第２の移動機構２
０６と、受け渡しアーム２０２に受けている基板１２を
受け渡しアーム２０２に対して位置決める位置決め機構
２０８とを含む。

【００５２】受け渡しアーム２０２の先端（カセット設
置台１３４側の端部）は斜め上方に曲げられており、こ
れにより基板１２を斜め上向きの先端部に受ける。受け
渡しアーム２０２は、後に説明するように水平線に対し
４５度に傾斜されたカセット設置台１３４に支持された
カセット１４内の基板１２をその基板１２と平行に受け
渡すように、第２の駆動機構２０６に支持されている。

【００５３】第１の駆動機構２０４は、水平面に対し４
５度傾斜した状態に本体フレーム装着された板状のベー
ス２１０に組み付けられている。第２の駆動機構２０６
は、第１の駆動機構２０４に支持されていると共に、第
１の駆動機構２０４により第１の方向へ移動される。

【００５４】位置決め機構２０８は、第１の駆動機構２
０４による受け渡しアーム２０２の移動方向（第１の方
向）に間隔をおいて第１及び第２の駆動機構２０４及び
２０６による受け渡しアーム２０２の移動方向（第１及
び第２の方向）と直交する第３の方向に伸びる一対のガ
イドレール２１２と、各ガイドに滑動可能に組み付けら
れたリニアガイド２１４と、各リニアガイド２１４から
斜め上方に伸びる支柱２１６と、各支柱２１６の上面に
装着された基板ガイド２１８と、第２の方向に間隔をお
いて第３の方向へ伸びる状態にリニアガイド２１４に組
み付けられた一対のラック２２０と、両ラック２２０と
噛合するピニオン２２２と、一方のリニアガイド２１４
を第３の方向に移動させるエアーシリンダ２２４とを含
む。

【００５５】両ガイドレール２１２はベース２１０に設
置されており、ピニオン２２２は第１の方向へ伸びる軸
線の周りに回転可能にベース２１０に支持されている。
両ラック２２０は、その歯を対向させており、またピニ
オン２２２の反対側に噛合されている。

【００５６】図示の例では、ラック２２０、ピニオン２
２２及びエアーシリンダは、リニアガイド２１４を第３
の方向へ同期して逆に移動させるガイド駆動機構として
作用する、しかし、ガイド駆動機構はピニオン２２２を
回転させる電動機を用いた機構のように、他の機構であ
ってもよい。

【００５７】位置決め機構２０８は、一方のリニアガイ
ド２１４がエアーシリンダ２２４により第３の方向にお
ける一方に移動されると、両リニアガイド２１４が相離
れる方向へ移動され、他方に移動されると、両リニアガ
イド２１４が相寄る方向へ移動される。これにより、両
支柱２１６及び両基板ガイド２１８が相寄り相離れる方
向へ移動される。

【００５８】基板受け渡し機構７２は、また、カセット
設置台１００が基板受け渡し位置に位置するとき、カセ
ット支持機構７０のターゲット１８０の先端を感知する
センサ２２６を備えている。センサ２２６は、光線をタ
ーゲット１８０に指向させ、ターゲット１８０の先端か
らの反射光を受光する光学的センサであり、第２の駆動
機構２０６に組み付けられている。

【００５９】次に、受け渡し装置６０がローダ領域４６
側専用の装置として検査装置１０に用いられる場合の動
作について説明する。

【００６０】先ず、カセット設置台１３４が水平に維持
された状態で、可動ベース１３２がベース駆動機構１９
２によりカセット受け渡し位置に移動され、カセット設
置台１３４に対するカセット１４の交換が行われる（図
９及び図１０参照）。このカセット交換の間、長尺部材
１８２は、図４及び図６に実線で示すように、受け部材
１８４がカセット１４の外をＹ方向へ伸びる第２の受け
部材位置に維持されている。

【００６１】このカセット交換作業は、カセット設置台
１３４上の空のカセット１４をカセット設置台１３４か
ら除去し、未検査の基板を収容しているカセット１４を
カセット設置台１３４に設置することにより、行われ
る。新たなカセット１４は、内部の基板１２がＸ方向に
間隔をおいてＹ方向へ伸び、さらに垂直となるように、
カセット設置台１３４に載せられる。

【００６２】カセット１４の交換時、カセット１４内の
基板１２が垂直となる状態でカセット１４をカセット設
置台１３４に対し着脱することができるから、基板１２
を斜めの状態で受け渡すにもかかわらず、カセット設置
台１３４に対するカセット１４の着脱作業が容易にな
る。また、基板１２の受け渡し位置と異なる箇所でカセ
ット１４をカセット設置台１３４に着脱することができ
るから、カセット設置台１３４に対するカセット１４の
着脱作業がより容易になる。

【００６３】この時点までに、基板受け渡し機構７２の
受け渡しアーム２０２は、第１及び第２の方向における
待機位置に維持されている。受け渡しアーム２０２の待
機位置は、第１の方向における適宜な位置とすることが
できる。

【００６４】次いで、カセット支持機構７０の可動ベー
ス１３２が基板受け渡し位置に向けて移動される（図１
０参照）。カセット設置台１３４をカセット受け渡し位
置から基板受け渡し位置に移動させる際、カセット１４
をそのなかの基板１２が垂直となる状態にカセット設置
台１３４に設置した状態で、カセット設置台１３４を移
動させることができるから、基板１２を斜めの状態で受
け渡すにもかかわらず、カセット設置台１３４の移動時
にカセット内の基板を損傷するおそれがない。

【００６５】次いで、可動ベース１３２が基板受け渡し
位置に移動された状態において両センサ１３８が、セン
サ移動機構１４０により可動ベース１３２の移動方向へ
移動されて図４に示すように所定の穴２８、例えば最先
端（図４における左方端）に位置する穴２８を感知する
位置に停止される（図１１参照）。これにより、カセッ
ト支持機構７０におけるカセットの位置決めが行われ
る。

【００６６】この時点までに、作業者が撓み防止機構１
４２のハンドル１８８を操作することにより長尺部材１
８２がほぼ９０度回転移動されて、図４に２点鎖線で示
しかつ図５に実線で示すように、受け部材１８４がカセ
ット１４内に移動されて隣り合う基板１２の間をＺ方向
へ伸びる第１の受け部材位置に移動される。

【００６７】次いで、基板受け渡し機構７２のセンサ２
２６がターゲット１８０の先端を感知するまで、基板受
け渡し機構７２の受け渡しアーム２０２が第１の駆動機
構２０４により第１の方向における所定の高さレベルま
で下げられて、基板受け渡し機構７２に対するカセット
１４の位置が認識される（図１１参照）。これにより、
受け渡しアーム２０２とカセット１４との位置決めが行
われ、受け渡しアーム２０２は、カセット１４内の基板
１２、例えば最先端に位置する基板１２を引き出すこと
ができる位置に下げられる。

【００６８】次いで、図５に２点鎖線で示しかつ図１２
に実線で示すように、エアーシリンダ１３６が伸張され
て、カセット設置台１３４が水平線に対し４５度の状態
に傾斜される。カセット設置台１３４が傾斜されると、
カセット１４内の基板１２は、カセット１４による支持
位置間おいて自重により下方に撓む。

【００６９】しかし、カセット設置台１３４が傾斜され
ると、基板１２がカセット１４による被支持部間の中央
部において受け部材１８４に接触して受け部材１８４に
支持されるから、基板１２は大きく撓むことを防止され
る。特に、カセット支持機構７０においては、基板１２
の長手方向中央部が受け部材１８４に接触するから、基
板１２の撓みは小さい。

【００７０】次いで、図１２に示すように、基板受け渡
し機構７２の受け渡しアーム２０２が斜めのカセット１
４内に一回出し入れされて、カセット１４内の基板１２
が受け渡しアーム２０２によりカセット１４から引き出
される。

【００７１】基板１２の受け渡し時、受け渡しアーム２
０２は、その先端部を引き出すべき基板１２の下側に挿
入され、次いで第１の駆動機構２０４によりわずかに第
１の方向に上昇される。これにより、引き出すべき基板
１２が受け渡しアーム２０２に受けられる。その後、受
け渡しアーム２０２は、第２の駆動機構２０６によりカ
セット１４から後退される。このため、受け渡しアーム
２０２に複雑な動きをさせることなく、基板１２の受け
渡しが行われる。

【００７２】基板１２の受け渡しは、受け渡しアーム２
０２を撓み防止機構１４２と反対側からカセット１４に
出し入れすることにより、行われる。この受け渡しの
際、基板１２の撓みが上記のように小さいから、基板１
２がカセット１４に対する受け渡しアーム２０２の出し
入れの妨げにならない。

【００７３】受け渡しアーム２０２は、第２の方向にお
ける基板１２の下端縁を先端に係止させた状態に、基板
１２を先端部上側に斜めに受ける。これにより、受け渡
しアーム２０２からの基板１２の脱落が防止される。

【００７４】次いで、基板受け渡し機構７２の基板ガイ
ド２１８が第３の方向に大きく離された状態で、受けて
いる基板１２が第１の方向における基板ガイド２１８の
高さ位置となるように、受け渡しアーム２０２が第１の
駆動機構２０４により第１の方向に下げられる（図１３
参照）。

【００７５】上記の状態で、両基板ガイド２１８が受け
渡しアーム２０２に受けられている基板１２をわずかに
押す位置まで、基板ガイド２１８がエアーシリンダ２２
４により相寄る方向へ移動される（図１３参照）。これ
により、基板１２が受け渡しアーム２０２に対しずれて
いても、その基板１２は、受け渡しアーム２０２に対し
て第３の方向へ移動されて位置決められて、受け渡しア
ーム２０２に安全に受けられる。

【００７６】この時点までに、搬送装置６２の搬送アー
ム６４が受け渡しアーム２０２から基板１２を受け取る
待機位置に移動され、その位置に維持されている。

【００７７】次いで、図１４に示すように、受け渡しア
ーム２０２が第１の駆動機構２０４により第２の駆動機
構２０６と共に第１の方向に上昇されて、受けている基
板１２を搬送装置６２の搬送アーム６４に引き渡す。基
板１２の引き渡しは、受け渡しアーム２０２を第１の方
向に上昇させて、基板１２を吸着パッド６８に真空的に
吸着させ、その後次の基板１２を引き出す待機位置に受
け渡しアーム２０２を第１の方向に下降させることによ
り行われる。

【００７８】次いで、図１５に示すように、搬送アーム
６４が測定領域４４に移動されて、基板１２を測定ステ
ージ５８の上方に移動させ、測定ステージ５８が第１の
方向に上昇されて、基板１２が搬送アーム６４から測定
ステージ５８に渡される。

【００７９】搬送アーム６４から測定ステージ５８への
基板１２の受け渡しは、搬送アームによる基板１２の吸
着を中止して基板１２を搬送アーム６４から解放し、そ
れの代わりに基板１２を測定ステージ５８に真空的に吸
着することにより、行われる。

【００８０】次いで、搬送アーム６４が待機位置に戻さ
れ、測定ステージ５８に対する基板１２の位置決めが行
われる。この位置決めは、基板１２に形成されているア
ライメントマークが光学顕微鏡３４又は図示されていな
いＣＣＤビデオカメラの視野内の所定の位置となるよう
に、アライメントマークを光学顕微鏡３４により確認し
つつ、測定ステージ５８によりこれに受けている基板１
２をこれと平行な面内で二次元的に移動させることによ
り、行われる。

【００８１】次いで、図１６に示すように、基板１２が
測定ステージ５８により第１の方向に上昇されて、基板
１２の電極がプローブユニット３６の接触子に押圧され
る。この状態で、基板１２に通電されて、その基板１２
の目視点灯検査が行われる。

【００８２】全ての基板１２がカセット１４から引き出
されると、エアーシリンダ１３６が収縮されて、カセッ
ト設置台１３４が水平の状態に戻され、次いで可動ステ
ージ３２がカセット受け渡し位置に移動されて、カセッ
トの交換が行われる。

【００８３】アンローダ領域４８側の搬送アームは、検
査済みの基板を測定ステージから受け取ってアンローダ
領域４８に搬送し、その基板をアンローダ領域４８側の
受け渡しアームに渡す。アンローダ領域４８側の受け渡
しアームは、搬送アームから受け取った基板をカセット
設置台により斜めに維持されたカセットに渡す。アンロ
ーダ領域４８側における搬送カセットの交換は、カセッ
ト設置台を基板受け渡し位置からカセット受け渡し位置
に移動させ、その位置で未検査の基板を収容したカセッ
トをカセット設置台から取り外し、その代わりに空のカ
セットをカセット設置台に設置することにより行われ
る。

【００８４】受け渡し装置６０によれば、基板を水平面
に対し傾斜させた斜めの状態でカセットに対し受け渡す
から、基板を水平又は垂直の状態で受け渡し、その後基
板を斜めに変更する装置に比べ、装置の構造が簡略化
し、廉価になる。

【００８５】本発明は上記実施例に限定されない。例え
ば、本発明は、ローダ領域側専用の装置やアンローダ領
域側専用の装置のみならず、ローダ側兼アンローダ側兼
用の装置としても用いることができる。この場合、カセ
ット設置台１３４から除去されるカセット１４は検査済
みの基板を収容したカセットであり、カセット設置台１
３４に新たに設置されるカセット１４は未検査の基板を
収容しているカセットである。

【００８６】本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種
々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る受け渡し装置を備えた検査装置の
一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１に示す検査装置における受け渡し装置、搬
送装置及び測定ステージの一実施例を示す図である。

【図３】カセットの一実施例を示す斜視図である。

【図４】本発明に係る受け渡し装置におけるカセット支
持機構の一実施例を示す図である。

【図５】図１における５−５線に沿って得た断面図であ
る。

【図６】図４に示すカセット支持機構の平面図である。

【図７】本発明に係る受け渡し装置における基板受け渡
し機構の一実施例を示す図である。

【図８】図７における矢印８の方向から見た図である。

【図９】図１に示す検査装置におけるカセットの交換動
作を説明するための図である。

【図１０】図９に続く交換動作を説明するための図であ
る。

【図１１】図１０の動作に続く及び受け渡しアームの位
置決め動作を説明するための図である。

【図１２】図１１の動作に続く基板の引き出し動作を説
明するための図である。

【図１３】図１２の動作に続く基板の位置決め動作を説
明するための図である。

【図１４】図１３の動作に続く基板の引き渡し動作を説
明するための図である。

【図１５】図１４の動作に続く基板の搬送及び受け渡し
動作を説明するための図である。

【図１６】図１５に続く測定動作を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１０ 検査装置 １２ 基板 １４ カセット ３６ プローブユニット ５８ 測定ステージ ６０ 受け渡し装置 ６２ 搬送装置 ６４ 搬送アーム ７０ カセット支持機構 ７２ 基板受け渡し機構 １３０ 固定ベース １３２ 可動ベース １３４ カセット設置台 １３６ エアーシリンダ（姿勢変更機構） １４２ 撓み防止機構 ２０２ 受け渡しアーム ２０４，２０６ 第１及び第２の駆動機構 ２０８ 位置決め機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 豪文 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 5F031 CA05 DA01 FA02 FA03 FA07 FA11 FA12 FA14 FA18 FA22 GA05 GA15 GA24 GA35 GA46 GA48 GA49 GA60 HA13 HA53 HA58 JA02 JA04 JA06 JA13 JA14 JA17 JA22 JA23 JA38 KA06 KA10 LA12 LA14 LA15 MA33

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板をその厚さ方向に間隔をおい
   て収容可能のカセットを支持するカセット支持機構であ
   って前記カセットに収容される基板が斜めとなる状態に
   前記カセットを斜めに支持可能のカセット支持機構と、 前記カセット支持機構に斜めに支持された前記カセット
   に対し基板を斜めの状態で受け渡する基板受け渡し機構
   とを含む、表示用基板の受け渡し装置。
2. 【請求項２】 前記カセット支持機構は、前記カセット
   を支持するカセット設置台と、前記カセット内の基板が
   斜めとなる姿勢と垂直となる姿勢とに前記カセット設置
   台を選択的に変位させる姿勢変更機構とを備える、請求
   項１に記載の受け渡し装置。
3. 【請求項３】 前記カセット支持機構は、さらに、前記
   カセットを前記カセット設置台に対し着脱するカセット
   着脱位置と前記基板受け渡し機構が前記カセットに対し
   基板の受け渡しをする基板受け渡し位置とに前記カセッ
   ト設置台を選択的に移動させるステージ移動機構を備え
   る、請求項２に記載の受け渡し装置。
4. 【請求項４】 前記基板受け渡し機構は、基板を前記カ
   セットに対し受け渡す受け渡しアームと、該受け渡しア
   ームを前記カセット内の基板が傾斜している方向へ移動
   させる第１の駆動機構と、前記受け渡しアームを前記カ
   セットに対し進退させる第２の駆動機構とを備える、請
   求項１から３のいずれか１項に記載の受け渡し装置。
5. 【請求項５】 前記基板受け渡し機構は、さらに、前記
   受け渡しアームに受けられている基板を前記受け渡しア
   ームに対して位置決める位置決め機構を備える、請求項
   ４に記載の受け渡し装置。
6. 【請求項６】 前記位置決め機構は、前記第１及び第２
   の駆動機構による前記受け渡しアームの移動方向と直交
   する第３の方向に間隔をおいた一対の基板ガイドであっ
   て前記第３の方向において相寄り相離れる方向へ移動可
   能の基板ガイドを備える、請求項７に記載の受け渡し装
   置。
7. 【請求項７】 前記位置決め機構は、さらに、前記基板
   ガイドを支持すると共に前記第３の方向へ同期して逆に
   移動させるガイド移動機構を備える、請求項６に記載の
   受け渡し装置。