JP2008085025A - 基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板収納容器1を搭載する搭載装置40と、搭載装置40に搭載された基板収納容器1に対して基板Wを給排する多関節ロボット50とを備え、基板収納容器1を、複数枚の基板Wを整列収納する容器本体2と、この容器本体2の開口正面部8を開閉する着脱自在の蓋体とから構成し、容器本体2の底部には複数の位置決め具6を配列する。また、搭載装置40を、基板収納容器1を搭載する上下方向に回転可能なテーブル41と、基板収納容器1を搭載したテーブル41を上方向に傾斜させ、基板収納容器1の開口正面部8を多関節ロボット50側の斜め上方向に向ける駆動機構47とから構成する。
【選択図】 図1
Description
搭載装置は、基板収納容器を搭載する上下方向に回転可能なテーブルと、この基板収納容器を搭載したテーブルを上方向に傾斜させ、基板収納容器の開口部を給排装置側の上方向に向ける駆動機構とを含んでなることを特徴としている。
また、搭載装置のテーブルを、駆動機構の駆動に基づき基板収納容器を搭載した状態で上方向に傾斜する底板と、この底板に立て設けられて基板収納容器の容器本体に接触する壁とから形成し、底板に、容器本体の複数の位置決め具にそれぞれ干渉して位置決めする複数の位置決めピンを設けることが好ましい。
また、容器本体の天井にフランジを設け、テーブルの壁には、容器本体のフランジに接触して位置決めする位置決め体を設けることができる。
また、被覆体に設けられ、回転プレートの回転に基づき被覆体の周壁から出没可能に突出させた複数の係止体を容器本体の開口部内周に引っかけることにより被覆体を施錠閉鎖する施錠機構を備えることもできる。
すると、テーブルの底板が上昇して基板収納容器とその基板とを斜め上方向に傾斜させ、基板収納容器の開口部が斜め上方向に指向する。こうして基板収納容器の開口部が斜め上方向を向き、給排装置に対向すると、給排装置が作動し、傾いた基板が給排装置に給排される。
また、容器本体の天井にフランジを設け、テーブルの壁に、容器本体のフランジに接触して位置決めする位置決め体を設ければ、傾斜した基板収納容器が下降して位置ずれするのを防ぐことができる。
1A 基板収納容器
2 容器本体
2A 容器本体
3 背面壁
5 ボトムプレート(底部)
6 位置決め具
7 フランジ
8 開口正面部(開口部)
11 ベース板
12 支柱
20 蓋体(被覆体)
20A カバー体(被覆体)
21 筐体
23 施錠機構
29 カバープレート
40 搭載装置
41 テーブル
42 底板
43 ストッパ壁(壁)
45 位置決めピン
46 位置決め片(位置決め体)
47 駆動機構
48 エアシリンダ
50 多関節ロボット(給排装置)
54 ハンド
W 基板
Claims (5)
- 搭載装置に搭載された基板収納容器に基板を給排装置により給排する基板の取り扱い装置であって、
搭載装置は、基板収納容器を搭載する上下方向に回転可能なテーブルと、この基板収納容器を搭載したテーブルを上方向に傾斜させ、基板収納容器の開口部を給排装置側の上方向に向ける駆動機構とを含んでなることを特徴とする基板の取り扱い装置。 - 基板収納容器を、基板を収納する容器本体と、この容器本体の少なくとも開口部を覆う着脱自在の被覆体とから構成し、容器本体の底部に複数の位置決め具を配列した請求項1記載の基板の取り扱い装置。
- 搭載装置のテーブルを、駆動機構の駆動に基づき基板収納容器を搭載した状態で上方向に傾斜する底板と、この底板に立て設けられて基板収納容器の容器本体に接触する壁とから形成し、底板に、容器本体の複数の位置決め具にそれぞれ干渉して位置決めする複数の位置決めピンを設けた請求項2記載の基板の取り扱い装置。
- 容器本体の天井にフランジを設け、テーブルの壁には、容器本体のフランジに接触して位置決めする位置決め体を設けた請求項3記載の基板の取り扱い装置。
- 請求項1ないし4いずれかに記載の基板の取り扱い装置を用い、基板収納容器に対し基板を給排することを特徴とする基板の取り扱い方法。
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