JPH1010180A

JPH1010180A - 液晶表示パネルの検査装置

Info

Publication number: JPH1010180A
Application number: JP8181696A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Hirai; 幸廣平井; Masashi Hasegawa; 昌志長谷川
Original assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1996-06-24
Filing date: 1996-06-24
Publication date: 1998-01-16
Anticipated expiration: 2016-06-24
Also published as: JP3673022B2

Abstract

(57)【要約】【課題】検査ステージによる液晶表示パネルの移動範
囲を大きくすることなく、検査ステージにおける液晶表
示パネルの移し換えをなくすことにある。【解決手段】検査装置は、液晶表示パネルを配置する
検査ステージと、検査用のプローブユニットを支持する
支持手段であって検査ステージが配置された支持手段と
を含む。支持手段は、プローブユニットを、これが液晶
表示パネルの検査のために配置される検査位置であって
検査ステージに対応する検査位置と、プローブユニット
が検査ステージへの液晶表示パネルの配置作業を妨げな
い退避位置とに選択的に移動可能に支持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
良否を検査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの検査装置の１つとし
て、液晶表示パネルの受渡しをする受渡しステーション
と、液晶表示パネルの点灯試験をする検査ステーション
とをフレームすなわち筐体に形成し、検査用のプローブ
ユニットを検査ステーションに取り外し可能に組み付
け、液晶表示パネルを検査ステージのワークテーブルに
載置し、検査ステージを液晶表示パネルとともに受渡し
ステーションと検査ステーションとに移動させる装置が
ある。

【０００３】この検査装置において、検査ステージを形
成する１つのステージ（Ｘステージ）は、液晶表示パネ
ルを受渡しステーションと検査ステーションとに選択的
に移動させるための搬送ステージと、液晶表示パネルの
運搬方向におけるアライメントのためのアライメントス
テージとを兼ねている。

【０００４】しかし、アライメントが一般に数ミクロン
以下の精度を要求されているから、搬送ステージも数ミ
クロン以下の精度を要求される。このため、搬送ステー
ジとアライメントステージとを兼ねた検査装置では、搬
送ステージを液晶表示パネルの搬送範囲全体にわたって
数ミクロン以下という高精度に維持しなければならない
から、高価になる。特に最近では、液晶表示パネルが大
型化しているから、そのような大型の液晶表示パネルの
検査に適用するためには、液晶表示パネルの搬送範囲を
大きくしなければならず、したがってさらに高価にな
る。

【０００５】液晶表示パネルの検査装置の他の１つとし
て、検査ステージを検査ステーションに配置し、液晶表
示パネルをアームにより受渡しステーションと検査ステ
ーションとに移動させる装置がある（特開平５−１３４
２２７号公報）。この検査装置によれば、液晶表示パネ
ルの搬送をアームにより行うから、検査ステージの移動
範囲を狭くすることができ、それだけ廉価になる。しか
し、この検査装置では、検査ステーションにおいて検査
ステージのワークテーブルと受渡し用のアームとの間で
液晶表示パネルの移し換えをしなければならないから、
移し換え時にワークテーブルに対する液晶表示パネルの
位置がずれることがあり、また移し換えの時間が無駄で
ある。

【０００６】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、検査ステー
ジによる液晶表示パネルの移動範囲を大きくすることな
く、検査ステージにおける液晶表示パネルの移し換えを
なくすことにある。

【０００７】

【解決手段、作用、効果】本発明の検査装置は、液晶表
示パネルを配置する検査ステージと、検査用のプローブ
ユニットを支持する支持手段であって検査ステージが配
置された支持手段とを含む。支持手段は、プローブユニ
ットを、これが液晶表示パネルの検査のために配置され
る検査位置であって検査ステージに対応する検査位置
と、プローブユニットが検査ステージへの液晶表示パネ
ルの配置作業を妨げない退避位置とに選択的に移動可能
に支持する。

【０００８】プローブユニットは、液晶表示パネルを検
査するときに検査位置へ移動され、液晶表示パネルを検
査ステージに配置するときおよび液晶表示パネルを検査
ステージから除去するときに退避位置へ移動される。こ
のため、プローブユニットが検査ステージに対する液晶
表示パネルの配置および除去の妨げにならないし、検査
ステージによる液晶表示パネルの移動範囲を狭い範囲に
制限することができる。

【０００９】本発明によれば、プローブユニットを検査
位置および退避位置へ選択的に移動可能に支持手段に支
持させたから、検査ステージによる液晶表示パネルの移
動範囲を狭くすることができるにもかかわらず、アーム
を用いて検査ステージに対する液晶表示パネルの移し換
えをする必要がない。

【００１０】退避位置を検査位置から検査ステージに配
置された液晶表示パネルと平行の水平方向へ離れた位置
とし、支持手段に、検査ステージが配置された筐体と、
該筐体に組み付けられかつプローブユニットを第１およ
び退避位置に選択的に移動可能に受けるガイドとを備え
ることができる。このようにすれば、プローブユニット
の移動が安定する。

【００１１】プローブユニットを手動で移動させてもよ
い。しかし、ユニット移動機構により、プローブユニッ
トをガイドに沿って検査位置および退避位置に選択的に
移動させることが好ましい。このようにすれば、プロー
ブユニットの移動が自動化され、検査効率が向上する。

【００１２】支持手段は、プローブユニットを傾斜した
状態または水平の状態に受けることができる。好ましい
実施例においては、支持手段は、さらに、検査ステージ
に対応する箇所に開口を有する平板を備え、検査位置お
よび退避位置は前記平板に形成されている。

【００１３】好ましい実施例においては、前記検査ステ
ージは、液晶表示パネルを傾斜した状態または水平の状
態に受けるワークテーブルと、該ワークテーブルを、液
晶表示パネルと直交する軸線の周りに角度的に回転させ
るとともに、液晶表示パネルの面内の直交する２方向お
よび前記軸線の方向へ３次元的に移動させるテーブル移
動機構すなわちアライメントステージとを備える。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１〜図６を参照するに、検査シ
ステム１０は、四角形の液晶表示体すなわち液晶表示パ
ネルの検査に用いる検査装置１２と、複数のプローブユ
ニット１４と、該プローブユニットを保管する保管庫１
６とを含む。図１においては、保管庫１６を図６におけ
る１−１線に沿って得た断面図として示す。

【００１５】液晶表示パネルは、四角形の隣り合う複数
の辺に対応する各端縁部に複数の電極を有するパネルで
ある。以下、液晶表示パネルおよび検査装置のいずれに
おいても、液晶表示パネルの長い端縁の方向（左右方
向）をＸ方向といい、液晶表示パネルの短い端縁の方向
をＹ方向といい、液晶表示パネルの表示面と直角の方向
をＺ方向という。

【００１６】検査装置１２は、フレームすなわち筐体２
０を含む。筐体２０は、アングル材のような複数の鋼材
と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられた複数
の板材により箱の形に形成されており、またキャスタの
ような複数の車輪２２により床上を移動可能に形成され
ている。筐体２０の前面上部は、傾斜した平板すなわち
ベースプレート２４により傾斜部とされている。

【００１７】ベースプレート２４は、液晶表示パネルの
受渡しに用いる四角形の開口２６をＸ方向における一方
側（図示の例では右方側）に有するとともに、開口２６
からＸ方向における他方側（図示の例では左方側）へ伸
びる帯状の開口２８をＸ方向における他方側（図示の例
では左方側）に有する。

【００１８】ベースプレート２４には、一対のガイド３
０が複数のねじ部材によりベースプレート２４の表側に
取り付けられている。両ガイド３０は、図示の例ではガ
イドレールであり、またプローブユニット１４をＸ方向
へ移動可能に受けるように開口２６，２８を間にしてＸ
方向へ平行に伸びている。両ガイド３０は、ガイドロッ
ド、ガイド溝等であってもよい。

【００１９】筐体２０内のうち、開口２６に対応する部
位は、液晶表示パネルの検査をする検査ステージ３２が
配置された検査ステーションとされている。図５に示す
ように、検査ステージ３２は、液晶表示パネルを傾斜し
た状態に受けるワークテーブル３４と、該ワークテーブ
ルを、液晶表示パネルと直交するＺ軸線の周りに角度的
に回転させるとともに、液晶表示パネルの面内の直交す
る２方向（Ｙ，Ｘ方向）およびＺ軸線の方向へ３次元的
に移動させるアライメントステージすなわちテーブル移
動機構を形成する４つのステージ３６，３８，４０，４
２を含む。

【００２０】ステージ３６，３８，４０および４２は、
それぞれ、Ｚ軸線の周りに角度的に回転させるθステー
ジ、ワークテーブル３４をＺ軸線の方向へ移動させるＺ
ステージ、ワークテーブル３４をＹ軸線の方向へ移動さ
れるＹステージ、および、ワークテーブル３４をＸ軸の
方向へ移動させるＸステージである。ワークテーブル３
４、θステージ３６、Ｚステージ３８およびＹステージ
４０は、それぞれ、ステージ３６，３８，４０および４
２に支持されている。

【００２１】検査ステージ３２は、長方形の基板４４の
一方の面にＸステージ４２において組み付けられてい
る。基板４４は、筐体２０内をＸ方向へ伸びかつワーク
テーブル３４が開口２６の側となるように、傾斜部を形
成するベースプレート２４に複数のポール４６により組
み付けられている。

【００２２】ワークテーブル３４は、液晶表示パネルを
傾斜した状態に受けかつ支持するように、ベースプレー
ト２４の側に開口する直方体状の箱の形をしており、ま
たその開口を形成する４つの端縁のうち、液晶表示パネ
ルの電極が形成された端縁部に対応する各端縁に溝４８
を有する。各溝４８は、液晶表示パネルの対応する端縁
部の裏面を真空吸着する真空チャックとして作用するよ
うにバキュームポンプのような図示しない真空源に連通
される。

【００２３】ワークテーブル３４内には、図示しないバ
ックライトユニットが液晶表示パネルを背面から照明す
るように収容されている。ワークテーブル３４には、液
晶表示パネルの粗い位置決めをするための一対の細長い
板状のストッパ５０が配置されている。ストッパ５０
は、それぞれ、溝４８が形成された隣り合う２つの端縁
の外側面に、一部がベースプレート２４の側に僅かに突
出した状態に複数のねじ部材により取り付けられてお
り、ワークテーブル３４ひいてはプローブユニット１４
に対する液晶表示パネルの粗い位置合せのために用いら
れる。

【００２４】プローブユニット１４は、長方形の板の形
をしたプローブベース５２と、１以上のねじ部材により
プローブベース５２に組み付けられたＬ字状の複数のプ
ローブブロック５４と、テレビカメラのような一対のア
ライメントカメラ５６と、複数の配線を有するフラット
ケーブル５８とを備える。

【００２５】プローブベース５２は、検査すべき液晶表
示パネルと相似形の長方形の開口６０を中央に有すると
ともに、ガイド３０をＸ方向へ相対的に移動可能に受け
入れる一対の溝６２を裏面に有する。このため、プロー
ブユニット１４は、検査ステージ３２に対応しかつ液晶
表示パネルの検査のために配置される検査位置と、プロ
ーブユニット１４が検査ステージ３２への液晶表示パネ
ルの配置作業を妨げない退避位置（待機位置）と、検査
装置１２と保管庫１６との間でプローブユニット１４の
受渡しをする受渡し位置とに選択的に移動可能である。
図示の例では、退避位置と受渡し位置とは同じ位置であ
るが、異なる位置であってもよい。

【００２６】各プローブブロック５４は、一端部が開口
６０を介してプローブベース５２の裏側に達するように
プローブベース５２の表側に組み付けられている。各プ
ローブブロック５４は、複数のプローブを一端部に有す
る。各プローブは、フラットケーブル５８の配線に接続
されている。

【００２７】各アライメントカメラ５６は、プローブユ
ニット１４が検査位置に移動されたとき、検査ステージ
３２の液晶表示パネルの位置合せマークを開口６０を介
して撮影するように、プローブベース５２に組み付けら
れている。アライメントカメラ５６の出力信号は、プロ
ーブユニット１４に対する液晶表示パネルの精密な位置
合せのために用いられる。

【００２８】フラットケーブル５８は、プローブベース
５２から開口２８を経て筐体２０内へ伸び、Ｘ方向への
プローブユニット１４の移動にともなって開口２８内を
移動する。開口２８は、筐体２０に対するフラットケー
ブル５８の移動を容易にする。

【００２９】検査装置１２は、また、プローブユニット
１４を傾斜した状態でガイド３０に沿ってＸ方向へ移動
させるユニット移動機構６４を含む、ユニット移動機構
６４は、筐体２０の上部に支持されており、また検査装
置１２に配置されたプローブユニット１４の上部に複数
のねじ部材６６により可動部６８を分離可能に連結され
る。ユニット移動機構６４は、検査装置１２におけるプ
ローブユニット１４の位置を感知する図示しない１以上
のセンサの出力信号を用いる図示しない制御装置により
制御されて、プローブユニット１４を、退避位置、受渡
し位置または検査位置へ移動させる。

【００３０】ユニット移動機構６４の可動部６８を移動
させる手段として、リニアモータ、シリンダ機構、回転
源と１以上の歯車とを用いた機構、回転源とピニオンと
ラックとを用いた機構、回転源とボールねじとを用いた
機構等、適宜な機構を用いることができる。

【００３１】保管庫１６は、フレームすなわち筐体７０
と、該筐体に受け入れられた複数の引き出し７２とを含
む。筐体７０は、アングル材のような複数の鋼材と、該
鋼材に複数のねじ部材により取り付けられた複数の板材
により形成されており、またキャスタのような複数の車
輪７４により床上を移動可能に形成されている。

【００３２】筐体７０は、それぞれがブローブユニット
１４を傾斜した状態に保管する複数の保管部７６を引き
出し７２の上方に有する。各保管部７６には、一対のガ
イド７８がブローブユニット１４を傾斜した状態でＸ方
向へ移動可能に受けるように配置されている。各保管部
７６の両ガイド７８は、検査装置１２の両ガイド３０に
対応されている。保管部７６に収納されたブローブユニ
ット１４は、図示しないストッパにより、移動不能に維
持される。

【００３３】各ガイド７８は、筐体７０に形成された傾
斜部に取り付けられている。筐体７０の傾斜部の傾斜角
度は筐体２０の傾斜部すなわちベースプレート２４のそ
れと同じであり、また保管庫１６のガイド７８の位置は
検査装置１２のガイド３０のそれと同じである。それゆ
えに、両ガイド７８は、検査装置１２の両ガイド３０と
同様に、ブローブユニット１４の溝６２に相対的移動可
能に受け入れられるようにＹ方向に間隔をおいてＸ方向
へ伸びる。

【００３４】各保管部７６の両ガイド７８は、保管庫１
６が検査装置１２の左端に図１に示すように配置された
とき、両ガイド７８の位置が対応する両ガイド３０の位
置と整合するように筐体７０に取り付けられている。こ
のため、各ブローブユニット１４は、両ガイド３０に支
持されたときと同じ傾斜状態に両ガイド７８に取り付け
られている。

【００３５】保管庫１６は、検査装置１２の側部に設け
られた突起８０を受け入れる複数の凹所８２を有する。
各凹所８２は、保管部７６に対応されている。保管庫１
６が検査装置１２の左端に図１に示すように配置された
とき、突起８０はいずれかの凹所８２に受け入れられ、
その凹所８２に対応する保管部７６のガイド７８は検査
装置１２のガイド３０と整合する。これにより、その保
管部７６に保管されているプローブユニット１４を検査
装置に移動させることができるし、検査装置１２に移さ
れているプローブユニット１４をその保管部７６に移動
させることができる。

【００３６】通常、１つのプローブユニット１４が検査
装置に装着されている。保管庫１６は、検査装置１２に
連結されていてもよいし、検査装置１２に連結されてい
なくてもよい。しかし、複数の検査装置１２が設置され
た検査設備の場合、保管庫１６を用いて１つの検査装置
１２でプローブユニット１４の交換をしている間、他の
検査装置１２で検査を実行するように、１つの保管庫１
６を複数の検査装置１２で共通に利用することが好まし
い。

【００３７】検査装置１２に装着されたプローブユニッ
ト１４は、ねじ部材６６によりユニット移動機構６４の
可動部６８に分離可能に連結されている。保管庫１６の
各保管部７６の両側面は、保管部７６へのプローブユニ
ット１４の出し入れを容易にするように、開放されてい
る。しかし、各保管部７６の両側面または一方の側面を
蓋により開放可能に閉鎖してもよい。

【００３８】検査時、先ず、検査ステージ３２が開口２
６を介して露出するように、検査装置１２に装着された
プローブユニット１４が図３に示す退避位置にユニット
移動機構６４により移動される。これにより、そのプロ
ーブユニット１４は、検査ステージ３２に対する液晶表
示パネルの配置および除去を妨げない。

【００３９】次いで、検査すべき液晶表示パネルが検査
ステージ３２に人手または機械により配置される。この
とき、液晶表示パネルは、隣り合う２つの縁部がストッ
パ５０に当接するように、ワークテーブル３４に配置さ
れる。これにより、液晶表示パネルは、ワークテーブル
３４に対して位置決められる。この位置決めは、液晶表
示パネルに形成されている各位置合せマークがアライメ
ントカメラ５６の視野に入るように位置決める一種の粗
い位置合せである。

【００４０】次いで、プローブユニット１４がユニット
移動機構６４により図４に示す検査位置に移動される。
これにより、プローブユニット１４は、検査ステージ３
２の斜め上方に移動され、検査ステージ３２にセットさ
れた液晶表示パネルを開口６０および２６を介してアラ
イメントカメラ５６により撮影可能になる。プローブユ
ニット１４が検査位置を越えてさらに右方へ移動するこ
とを阻止する１以上のストッパ、またはプローブユニッ
ト１４を検査位置に位置決める１以上のストッパを、筐
体２０、ベースプレート２４またはガイド３０に配置し
てもよい。

【００４１】次いで、プローブユニット１４に対する液
晶表示パネルの位置合せが行われる。この位置合せは、
液晶表示パネルをアライメントカメラ５６で撮影し、そ
の液晶表示パネルの各位置合せマークがアライメントカ
メラ５６の視野内の所定の位置になるように、ワークテ
ーブル３４をθ，ＹおよびＸのステージ３６，４０およ
び４２により変位させることにより行われる。これによ
り、液晶表示パネルは、位置合せマークがプローブユニ
ット１４に対し所定の位置関係となるように、位置決め
られる。

【００４２】次いで、ワークテーブル３４がＺステージ
３８によりプローブユニット１４の側へ移動される。こ
れにより、液晶表示パネルの端子がプローブユニット１
４のプローブに押圧され、液晶表示パネルへの通電が可
能になる。

【００４３】次いで、液晶表示パネルの検査が実行され
る。この検査は、たとえば、プローブユニット１４を介
して液晶表示パネルに通電することにより液晶表示パネ
ルを所定のパターンに点灯させ、作業者が点灯パターン
を目視することにより、または点灯パターンを他のテレ
ビカメラで撮影し、その画像信号を電気的に処理するこ
とにより、行われる。

【００４４】次いで、ワークテーブル３４がＺステージ
３８により斜め下方へ下げられる。これにより、検査ス
テージ３２上の液晶表示パネルがプローブユニット１４
から離される。

【００４５】次いで、プローブユニット１４がユニット
移動機構６４により退避位置へ移動され、液晶表示パネ
ルが検査ステージ３２から除去される。その後は上記工
程が繰り返される。

【００４６】プローブユニット１４の交換時、先ず、突
起８０を所定の凹所８２に嵌合させることにより、プロ
ーブユニット１４を収納していない空の保管部７６のガ
イド７８が検査装置１２のガイド３０と整合するよう
に、保管庫１６が検査装置１２に連結され、検査装置１
２側のプローブユニット１４が空の保管部７６に人手ま
たは機械により移動される。この作業は、検査装置１２
側のプローブユニット１４が検査装置１２からその側方
へ突出しない位置に維持された状態で行われ、また検査
装置１２側のプローブユニット１４を保管庫１６に収納
するだけの場合にも行われる。

【００４７】次いで、次のプローブユニットを収納して
いる保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガイド３
０と整合するように、保管庫１６が検査装置１２に連結
し直され、その保管部７６内のプローブユニット１４が
検査装置１２側に人手または機械により移動される。こ
の作業は、保管庫１６側のプローブユニット１４を検査
装置１２にセットするだけの場合にも行われる。

【００４８】プローブユニット１４を検査位置から待機
位置または受渡し位置におよびその逆に移動させると
き、プローブユニット１４をガイド３０に沿って移動さ
せればよいから、プローブユニットの移動が安定する。
同様に、検査装置１２と保管庫１６との間でプローブユ
ニット１４の受渡しをするとき、プローブユニット１４
をガイド３０，７８に沿って移動させればよいから、プ
ローブユニットの移動が安定するのみならず、プローブ
ユニット１４の受渡しが容易になる。

【００４９】プローブユニット１４を検査装置１２の側
から保管庫１６の側へおよびその逆に移動させるとき、
突起８０が所定の凹所８２に嵌合される。このため、検
査装置１２に対する保管庫１６の位置決めが容易であ
る。また、移し換え時、プローブユニット１４をガイド
３０，７６に沿って移動させるだけでよいから、プロー
ブユニット１４の移し換えを人手により行うとしても、
その移し換え作業が容易になる。

【００５０】検査システム１０によれば、プローブユニ
ット１４を検査位置と退避位置とに移動させるようにし
たから、検査ステージ３２による液晶表示パネルの移動
範囲を狭い範囲に制限することができ、その結果プロー
ブユニット１４が検査ステージ３２に対する液晶表示パ
ネルの配置および除去の妨げにならないこととあいまっ
て、検査ステージ３２による液晶表示パネルの移動範囲
を狭くすることができるにもかかわらず、従来装置のよ
うにアームを用いて検査ステージ３２に対する液晶表示
パネルの移し換えをする必要がない。また、プローブユ
ニットをユニット移動機構６４によりガイドに沿って移
動させるから、プローブユニット１４の移動が自動化さ
れ、検査効率が向上する。しかし、プローブユニット１
４を手動で移動させてもよい。

【００５１】図７〜図１０を参照するに、検査システム
１００で用いる保管庫１０２は、架台１０４と、該架台
に移動可能に載置された筐体１０６と、該筐体を架台１
０４に対して移動させる駆動機構１０８とを備える。し
かし、検査システム１００で用いる検査装置１２は、突
起８０の位置が異なる点を除いて、検査システム１０で
用いる装置と同じである。

【００５２】架台１０４は、キャスタのような複数の車
輪１１０により床上を移動可能に形成されており、また
筐体１０６のための一対のガイドレール１１２を上面に
有するとともに、検査装置１２に突起８０を受け入れる
一対の凹所８２を側部に有する。ガイドレール１１２
は、架台１０４の上面の左右方向に間隔をおいた位置を
前後方向へ平行に伸びる。

【００５３】筐体１０６は、引き出し７２およびそれら
の収納部、車輪７４、ならびに、凹所８２を備えていな
い代わりに、ガイドレール１１２に移動可能に嵌合され
る溝を有するガイド１１４を備えることを除いて、前記
した保管庫１６の筐体７０と同じである。

【００５４】駆動機構１０８は、架台１０４に収容され
た制御装置１１６により制御される。駆動機構１０８と
して、リニアモータ、シリンダ機構、回転源と１以上の
歯車とを用いた機構、回転源とピニオンとラックとを用
いた機構、回転源とボールねじとを用いた機構等、適宜
な機構を用いることができる。

【００５５】プローブユニット１４の交換時、先ず、保
管庫１００が突起８０を凹所８２に受け入れた状態に検
査装置１２に連結され、空の保管部７６のガイド７８が
検査装置１２のガイド３０と整合するように、筐体１０
６が駆動機構１０８により架台１０４に対して移動さ
れ、その後検査装置１２の側のプローブユニット１４が
空の保管部７６に手動によりまたは機械的に移動され
る。

【００５６】次いで、所定のプローブユニット１４を収
納している保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガ
イド３０と整合するように、筐体１０６が駆動機構１０
８により架台１０４に対して移動され、その後その保管
部７６内のプローブユニット１４が検査装置１２の側に
手動によりまたは機械的に移動される。

【００５７】架台１０４に対する筐体１０６の位置は、
手動により調整してもよいし、１以上のセンサを用いて
電気的に制御してもよい。

【００５８】図１１および図１２を参照するに、検査装
置１２０は、プローブユニット１４をベースプレート２
４の内側（裏側）に配置している点で検査装置１２と相
違する。プローブユニット１４は、筐体２０の上板の下
側に配置されたユニット移動機構６４により支持されて
いるとともに、ベースプレート２４の内側（裏側）に配
置された一対のガイド１２２とにより支持されている。

【００５９】検査装置１２０において、プローブユニッ
ト１４は、図１１に実線で示す検査位置と、図１１に２
点鎖線で示す退避位置（受渡し位置）とに選択的に移動
される。退避位置において、プローブユニット１４の一
部は、筐体２０から突出する。このため、筐体２０は、
プローブユニット１４の一部が突出することを許すとと
もに、プローブユニット１４を受渡しのために出し入れ
する開口を左側部に有する。

【００６０】上記の各実施例のように、プローブユニッ
ト１４をユニット移動機構６４により検査位置および退
避位置に選択的に移動させるならば、プローブユニット
の移動が自動化され、検査効率が向上する。しかし、プ
ローブユニットを手動で移動させてるようにしてもよ
い。また、突起を保管庫に設け、凹所を検査装置に設け
てもよい。さらに、プローブユニットを検査装置および
保管庫に水平の状態に支持するようにしてもよい。

【００６１】なお、フラットケーブル５８が一般に筐体
２０に配置された電気回路にコネクタにより分離可能に
接続されていることから、プローブユニット１４の交換
時には、フラットケーブルを電気回路から分離する作業
とフラットケーブルを電気回路に接続する作業とが行わ
れる。しかし、フラットケーブル５８がプローブユニッ
トに分離可能に接続されている場合には、プローブユニ
ットのフラットケーブルを、交換時に交換すべきプロー
ブユニットに対し分離する作業と接続する作業とを行っ
てもよい。

【００６２】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、長方形の隅角部に弧状または直線状
に切除した液晶表示パネルの検査装置にも適用すること
ができるし、四角形の液晶表示パネルのみならず、六角
形、八角形等の他の多角形の液晶表示パネルの検査装置
にも適用することができる。また、保管庫を必ずしも必
要ではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置を用いた検査システムの一実
施例を示す正面図であってプローブユニットを検査装置
から外しかつ保管庫の保管部を断面した図である。

【図２】図１の２−２線に沿って得た図である。

【図３】本発明の検査装置の一実施例を示す正面図であ
って検査装置に装着したプローブユニットを退避位置
（受渡し位置）へ移動させた状態の図である。

【図４】図３の検査装置の正面図であって検査装置に装
着したプローブユニットを検査位置へ移動させた状態の
図である。

【図５】図４の５−５線に沿って得たプローブユニット
近傍の断面図である。

【図６】図１の検査システムで用いる保管庫の一実施例
を示す右側面図である。

【図７】本発明の検査装置を用いた検査システムの他の
実施例を示す正面図であってプローブユニットを検査装
置から外しかつ保管庫の保管部を断面した図である。

【図８】図７の検査システムで用いる保管庫の一実施例
を示す右側面図である。

【図９】図７の検査システムの左側面図である。

【図１０】図７の検査システムの正面図であって検査装
置に装着したプローブユニットを退避位置（受渡し位
置）へ移動させた状態の図である。

【図１１】本発明の検査装置の他の実施例を示す正面図
であって検査装置に装着したプローブユニットを検査位
置へ移動させた状態の図である。

【図１２】図１１の検査装置におけるプローブユニット
近傍の断面図である。

【符号の説明】

１０，１００検査システム１２，１２０検査装置１４プローブユニット１６，１０２保管庫２０検査装置の筐体２４ベースプレート（傾斜部）２６，２８開口３０ガイド３２検査ステージ６４ユニット移動機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶表示パネルを配置する検査ステージ
と、検査用のプローブユニットを支持する支持手段であ
って前記検査ステージが配置された支持手段とを含み、
該支持手段は、前記プローブユニットを、該プローブユ
ニットが前記液晶表示パネルの検査のために配置される
第１の位置であって前記検査ステージに対応する検査位
置と、前記プローブユニットが前記検査ステージへの前
記液晶表示パネルの配置作業を妨げない退避位置とに選
択的に移動可能に支持する、液晶表示パネルの検査装
置。
【請求項２】前記退避位置は前記検査位置から前記検
査ステージに配置された液晶表示パネルと平行の水平方
向へ離れており、前記支持手段は、前記検査ステージが
配置された筐体と、該筐体に組み付けられかつ前記プロ
ーブユニットを前記検査位置および前記退避位置に選択
的に移動可能に受けるガイドとを備える、請求項１に記
載の検査装置。
【請求項３】前記支持手段は、さらに、前記プローブ
ユニットを前記ガイドに沿って前記第１および退避位置
に選択的に移動させるユニット移動機構を備える、請求
項２に記載の検査装置。
【請求項４】前記支持手段は、前記プローブユニット
を傾斜した状態または水平の状態に受ける、請求項１，
２または３に記載の検査装置。
【請求項５】前記支持手段は、さらに、前記検査ステ
ージに対応する箇所に開口を有する平板を備え、前記検
査位置および前記退避位置は前記平板に形成されてい
る、請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】前記検査ステージは、前記液晶表示パネ
ルを傾斜した状態または水平の状態に受けるワークテー
ブルと、該ワークテーブルを、前記液晶表示パネルと直
交する軸線の周りに角度的に回転させるとともに、前記
液晶表示パネルの面内の直交する２方向および前記軸線
の方向へ３次元的に移動させるテーブル移動機構とを備
える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査装置。