JP2005091862A - 表示用パネルの検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置は、矩形の表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージに対するパネルの搬送をする搬送装置36とを含む。搬送装置36は、パネルをX方向における両縁部及びY方向における両縁部において解除可能に支持して搬送する一対のキャリア62、64を備えている。各キャリア62、64は一対のXホルダ94が取り付けられた一対のXアーム88と、一対のYホルダ96が取り付けられた一対のYアーム90とを備えている。両Xホルダ94及びYホルダ96は、それぞれ、X方向におけるパネルの縁部及びY方向におけるパネルの縁部に当接することにより、共同してそのパネルを支持するため、X方向中央領域におけるパネルの湾曲及びY方向中央領域におけるパネルの湾曲が相互に防止される。
【選択図】図4
Description
12 表示用パネル
18 本体ベース
24 受け渡しステージ
28 検査ステージ
30 プローブカード
36 搬送装置
38 チャックトップ
60 フレーム
62,64 キャリア
66,68 キャリア移動機構
72,74,84 ガイドレール
76,78,86 ガイド
80 キャリアベース
82 支持アーム
88 Xアーム
90 Yアーム
98 結合手段
94 Xホルダ
96 Yホルダ
100 ボールねじ
104 キャリア用モータ
106 X移動機構
108 Y移動機構
110 X駆動源
112,114 プーリ
116 無端ベルト
120 Y駆動源
122 ボールねじ
124 ナット
130,140,150 ホルダ
Claims (10)
- 矩形の表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージに対する前記パネルの搬送をする搬送装置とを含み、
前記搬送装置は、前記パネルをX方向における両縁部及びY方向における両縁部において解除可能に支持して搬送する少なくとも1つのキャリアを含む、表示用パネルの検査装置。 - 前記キャリアは、前記X方向における各縁部のY方向に間隔をおいた複数箇所及び前記Y方向における各縁部のX方向に間隔をおいた複数箇所に当接して前記パネルを解除可能に支持して搬送する、請求項1に記載の検査装置。
- 前記キャリアは、前記パネルの前記X方向における縁部を支持するXホルダと、前記パネルの前記Y方向における縁部を支持するYホルダと、前記XホルダをX方向へ移動させるX移動機構と、前記YホルダをY方向へ移動させるY移動機構とを含む、請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記キャリアは、前記パネルの前記X方向における両縁部のY方向に間隔をおいた複数箇所を支持すべく複数のXホルダを含むと共に、前記パネルの前記Y方向における両縁部のX方向に間隔をおいた複数箇所を支持すべく複数のYホルダとを含む、請求項3に記載の検査装置。
- 前記キャリアは、さらに、前記Xホルダが取り付けられたXアームであって前記X移動機構によりX方向へ移動されるXアームと、前記Yホルダが取り付けられたYアームであって前記Y移動機構によりY方向へ移動されるYアームとを含む、請求項3又は4に記載の検査装置。
- 前記X移動機構及び前記Y移動機構の一方は、他方に支持されている、請求項5に記載の検査装置。
- 前記X移動機構及び前記Y移動機構の一方は、第1の駆動源と、該第1の駆動源により回転される第1のプーリと、該第1のプーリからX方向及びY方向の他方に間隔をおいた第2のプーリと、前記第1及び第2のプーリに掛けられたベルトであって前記Xアーム及び前記Yアームの一方が連結されたベルトとを含み、
前記X移動機構及び前記Y移動機構の他方は、第2の駆動源と、該第2の駆動源により回転されるボールねじであってY方向及びX方向の一方へ伸びて、Y方向及びX方向の一方における2カ所に逆向きのねじ部を有するボールねじと、各ねじ部に螺合するナットであって前記Xアーム及び前記Yアームの他方に連結されたナットとを含む、請求項5又は6に記載の検査装置。 - さらに、前記検査ステージからX方向に間隔をおいたパネルセット部を含み、前記キャリアは、前記検査ステージと前記パネルセット部とに対し前記表示用パネルの受け渡しをする、請求項1から7のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記搬送装置は、2つの前記キャリアを含む、請求項8に記載の検査装置。
- 前記搬送装置は、さらに、前記両キャリアを個々に移動可能に支持する支持台と、両キャリアを個々に移動させる2つのキャリア駆動機構とを含む、請求項7,8又は9に記載の検査装置。
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