JP2010040804A - 試料搬送機構 - Google Patents
試料搬送機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010040804A JP2010040804A JP2008202602A JP2008202602A JP2010040804A JP 2010040804 A JP2010040804 A JP 2010040804A JP 2008202602 A JP2008202602 A JP 2008202602A JP 2008202602 A JP2008202602 A JP 2008202602A JP 2010040804 A JP2010040804 A JP 2010040804A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- photomask
- arms
- hanging
- suspension
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2007—Holding mechanisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20221—Translation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
本発明は、特にフォトマスクに代表される試料のダメージのリスクを最小化することを目的とする試料搬送機構の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料を吊り下げるように保持する試料保持機構を備えた試料搬送機構について、試料を吊り下げるためのフランジ等の突出部より、試料のパターン面に近い部分(突出部が設けられた吊り下げ部を保持するアーム部、或いはアーム部及び突出部よりパターン表面側に位置する吊り下げ部)を離間するように構成した。これにより、パターン面と搬送機構を構成する部材との間の接触リスクを抑制することが可能となる。
【選択図】図4
Description
2 マスク搬送用ロボット
3 マスククランプ機構ユニット
4 ロードポート
5 SMIFポッド
6 ストッカー
8 ロードロック室
9 試料室
10 駆動機構
11 センターアーム
12,13,22,23 アーム
15 吊り下げ部
16 吊り下げ部(2)
17 フォトマスク
18 レジスト
19 保護金具
21 センターアーム
24 クランプガイド
35 イオナイザ
50 電子顕微鏡鏡体
51 試料ステージ上
52 マスクホルダ
701 フランジ
Claims (9)
- 表面にパターン面を有する試料を保持して搬送する試料搬送機構において、
前記試料を保持する試料保持機構を移送する移送機構を備え、
当該試料保持機構は、
前記試料を吊り下げる吊り下げ部をその下部に複数備えた一対のアームと、
当該一対のアームに備えられた吊り下げ部を、前記試料に近接、或いは離間させるように移動させる駆動部を備え、
前記吊り下げ部は、当該吊り下げ部を前記試料に近接させたときに、前記パターン面に垂直な方向から見て、前記試料の下部に位置するように形成される突出部を備え、前記アーム、或いは当該アーム及び前記パターン面側に位置する吊り下げ部は、当該突出部に対して、前記試料から離間して形成されることを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項1において、
前記試料保持機構は、前記一対のアームによって支持される前記試料の辺以外の辺を支持する吊り下げ部を備えたセンターアームを備えていることを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項2において、
前記センターアームによって支持される第1の吊り下げ部と、
前記一対のアームの一方に支持されると共に、前記第1の吊り下げ部に支持される辺の対辺と、当該対辺に隣接する辺とをそれぞれ支持する第2の吊り下げ部、及び第3の吊り下げ部と、
前記一対のアームの他方に支持されると共に、前記第1の吊り下げ部に支持される辺の対辺と、当該対辺に隣接する辺であって、前記第3の吊り下げ部に支持される辺の対辺とをそれぞれ支持する第4の吊り下げ部及び第5の吊り下げ部を備えたことを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項3において、
前記駆動部は、前記第2,第3の吊り下げ部、及び前記第4,第5の吊り下げ部を、前記パターン面と平行な方向であって、前記各辺に対し、斜めの方向に、移動させることを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項4において、
前記駆動部は、前記第2,第3,第4、及び第5の吊り下げ部を、前記各辺に対し、45度の方向に移動させることを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項1において、
前記吊り下げ部は、前記試料の下方に位置させるフランジを備えていることを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項1において、
前記吊り下げ部の前記試料側部との接触部の高さ方向の距離は、前記試料の厚さの2分の1以下となるように構成されていることを特徴とする試料搬送機構。 - 表面にパターン面を有する矩形の板状体であるフォトマスクを保持して搬送するフォトマスク搬送機構において、前記フォトマスクを保持する保持機構を備え、
当該保持機構は、
前記フォトマスクを吊り下げる吊り下げ部を、その下部に2以上備えた一対のアームと、
当該アームを前記矩形の辺に対し、前記パターン面に平行な方向であって、前記矩形の各辺に対し斜めの方向に、前記アームを移動させる駆動部と、
当該駆動部によって移動されると共に、前記一対のアームに備えられた吊り下げ部によって支持される辺以外の辺を吊り下げる吊り下げ部を備えたセンターアームを備え、
前記一対のアームに取り付けられた2つの吊り下げ部は、それぞれ前記矩形の異なる辺を支持する位置に取り付けられ、前記一対のアームとセンターアームに取り付けられた前記吊り下げ部によって、前記矩形の4辺全てを支持することを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項8において、
前記駆動部は、前記一対のアームに備えられた吊り下げ部を、前記フォトマスクの前記各辺に対し、45度の方向に移動させることを特徴とする試料搬送機構。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008202602A JP5111285B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | 試料搬送機構 |
US13/057,602 US8585112B2 (en) | 2008-08-06 | 2009-07-29 | Sample conveying mechanism |
PCT/JP2009/063836 WO2010016505A1 (ja) | 2008-08-06 | 2009-07-29 | 試料搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008202602A JP5111285B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | 試料搬送機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010040804A true JP2010040804A (ja) | 2010-02-18 |
JP5111285B2 JP5111285B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=41663723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008202602A Expired - Fee Related JP5111285B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | 試料搬送機構 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8585112B2 (ja) |
JP (1) | JP5111285B2 (ja) |
WO (1) | WO2010016505A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130021650A (ko) * | 2011-08-23 | 2013-03-06 | 세메스 주식회사 | 포토 마스크 반송 장치 |
JP2016051761A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 株式会社Screenホールディングス | 搬送装置および基板処理装置 |
KR20190063685A (ko) * | 2017-11-30 | 2019-06-10 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 |
KR20210008134A (ko) * | 2017-11-30 | 2021-01-20 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 및 이송 방법 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102130033B (zh) * | 2005-07-08 | 2014-05-14 | 交叉自动控制公司 | 工件支撑结构及其使用设备 |
JP5111285B2 (ja) | 2008-08-06 | 2013-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料搬送機構 |
US8567837B2 (en) * | 2010-11-24 | 2013-10-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Reconfigurable guide pin design for centering wafers having different sizes |
JP2012243335A (ja) * | 2011-05-17 | 2012-12-10 | Sony Corp | ディスク搬送装置及びディスクストレージシステム |
US20150090295A1 (en) * | 2013-09-28 | 2015-04-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for a mask inverter |
KR102617773B1 (ko) * | 2017-06-01 | 2023-12-22 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 입자 제거 장치 및 관련 시스템 |
US10930542B2 (en) * | 2018-02-15 | 2021-02-23 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for handling various sized substrates |
CN111324017A (zh) * | 2018-12-17 | 2020-06-23 | 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 | 掩模机械手及掩模传输方法 |
EP4318543A1 (en) * | 2022-08-02 | 2024-02-07 | Leica Mikrosysteme GmbH | Sample holder for holding a sample carrier, handling tool and corresponding methods |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6322427A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-29 | Canon Inc | 搬送装置 |
JPH06329252A (ja) * | 1993-05-18 | 1994-11-29 | Canon Inc | 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 |
JPH10233434A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-02 | Hitachi Ltd | 静電吸着体と静電吸着装置 |
JPH10264071A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-10-06 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置 |
JP2003100844A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Ebara Corp | 四辺形基板反転装置及び四辺形基板洗浄ユニット |
JP2005091862A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネルの検査装置 |
JP2005183549A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移載装置 |
JP2006510559A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-30 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板支持用エンドエフェクタ・アセンブリ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5761487A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-13 | Fujitsu Fanuc Ltd | Hand for industrial robot |
US4999671A (en) | 1986-07-11 | 1991-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Reticle conveying device |
US5106138A (en) * | 1989-06-05 | 1992-04-21 | Hewlett-Packard Company | Linear tweezers |
US5100502A (en) * | 1990-03-19 | 1992-03-31 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor wafer transfer in processing systems |
JP3367065B2 (ja) * | 1996-08-13 | 2003-01-14 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置におけるワーク搬送装置 |
US6828772B1 (en) * | 2000-06-14 | 2004-12-07 | Micron Technology, Inc. | Rotating gripper wafer flipper |
US6507474B1 (en) | 2000-06-19 | 2003-01-14 | Advanced Micro Devices, Inc. | Using localized ionizer to reduce electrostatic charge from wafer and mask |
US7562923B2 (en) * | 2004-02-09 | 2009-07-21 | Mirae Corporation | Tray transferring apparatus with gripper mechanism |
JP5111285B2 (ja) | 2008-08-06 | 2013-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料搬送機構 |
US8322766B1 (en) * | 2011-11-02 | 2012-12-04 | Gintech Energy Corporation | Wafer gripper |
-
2008
- 2008-08-06 JP JP2008202602A patent/JP5111285B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-07-29 WO PCT/JP2009/063836 patent/WO2010016505A1/ja active Application Filing
- 2009-07-29 US US13/057,602 patent/US8585112B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6322427A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-29 | Canon Inc | 搬送装置 |
JPH06329252A (ja) * | 1993-05-18 | 1994-11-29 | Canon Inc | 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 |
JPH10233434A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-02 | Hitachi Ltd | 静電吸着体と静電吸着装置 |
JPH10264071A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-10-06 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置 |
JP2003100844A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Ebara Corp | 四辺形基板反転装置及び四辺形基板洗浄ユニット |
JP2006510559A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-30 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板支持用エンドエフェクタ・アセンブリ |
JP2005091862A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネルの検査装置 |
JP2005183549A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移載装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130021650A (ko) * | 2011-08-23 | 2013-03-06 | 세메스 주식회사 | 포토 마스크 반송 장치 |
KR101870665B1 (ko) * | 2011-08-23 | 2018-06-26 | 세메스 주식회사 | 포토 마스크 반송 장치 |
JP2016051761A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 株式会社Screenホールディングス | 搬送装置および基板処理装置 |
KR20190063685A (ko) * | 2017-11-30 | 2019-06-10 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 |
KR102204959B1 (ko) * | 2017-11-30 | 2021-01-19 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 |
KR20210008134A (ko) * | 2017-11-30 | 2021-01-20 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 및 이송 방법 |
KR102319038B1 (ko) * | 2017-11-30 | 2021-10-29 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 및 이송 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110142578A1 (en) | 2011-06-16 |
US8585112B2 (en) | 2013-11-19 |
WO2010016505A1 (ja) | 2010-02-11 |
JP5111285B2 (ja) | 2013-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5111285B2 (ja) | 試料搬送機構 | |
JP6325518B2 (ja) | Euvレチクル検査ツールにおけるレチクルの取り扱い装置及び方法 | |
JP6486140B2 (ja) | 搬送ハンド、リソグラフィ装置及び被搬送物を搬送する方法 | |
TW200304051A (en) | System and method for using a two part cover for protecting a reticle | |
KR20160018410A (ko) | 접합 장치, 접합 시스템, 접합 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
TW201338014A (zh) | 基板處理系統、基板運送方法及電腦記憶媒體 | |
US6900878B2 (en) | Reticle-holding pods and methods for holding thin, circular reticles, and reticle-handling systems utilizing same | |
JP4023690B2 (ja) | レチクルの運動学的位置合わせのための方法及び装置 | |
JP6596288B2 (ja) | 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム | |
KR20160018411A (ko) | 접합 장치, 접합 시스템, 접합 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
US20100236405A1 (en) | Substrate transfer device and substrate transfer method | |
JP5702263B2 (ja) | 基板処理システム、基板搬送方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP2011014630A (ja) | 基板カバー着脱機構、基板カバー着脱方法および描画装置 | |
JP6002112B2 (ja) | 基板の欠陥分析装置、基板処理システム、基板の欠陥分析方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
US20230375945A1 (en) | Workpiece support | |
US20080217534A1 (en) | Scanning Electron Microscope | |
KR102388390B1 (ko) | 로드 포트 유닛, 이를 포함하는 저장 장치 및 배기 방법 | |
JPS62219509A (ja) | 真空装置内の基板搬送機構 | |
US6854948B1 (en) | Stage with two substrate buffer station | |
JP2012103638A (ja) | ペリクルハンドリング治具 | |
JP2007324169A (ja) | 搬送アーム、基板搬送装置及び基板検査装置 | |
JP2010150027A (ja) | 吸着ハンド及びこれを用いたウェーハ搬送装置 | |
KR20070080525A (ko) | 기판 이송장치 | |
JP2011090950A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2004342471A (ja) | ウエハホルダおよび電子顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120820 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120911 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121009 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5111285 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |