JPH06329252A - 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置Info
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- JPH06329252A JPH06329252A JP13961293A JP13961293A JPH06329252A JP H06329252 A JPH06329252 A JP H06329252A JP 13961293 A JP13961293 A JP 13961293A JP 13961293 A JP13961293 A JP 13961293A JP H06329252 A JPH06329252 A JP H06329252A
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- fingers
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の搬出に要する時間を短縮する。
【構成】 ハンド１は基板１０に向って開閉する５個の
フィンガ１１〜１５を有し、各フィンガ１１〜１５の下
端には底面支持片１７ａ〜１７ｅが設けられ、その上方
には、垂直方向に移動自在であり、バネ１８ｂによって
所定の高さに付勢された位置決めロール１９ａ〜１９ｅ
が保持されている。各フィンガ１１〜１５を閉じること
で位置決めロール１９ａ〜１９ｅを基板の外周縁に当接
したうえでハンド１０を上昇させると、各底面支持片１
７ａ〜１７ｅが基板１０の下面１０ａに当接されてこれ
を持上げる。各位置決めロール１９ａ〜１９ｅは基板１
０の重さによって下降し、各底面支持片１７ａ〜１７ｅ
とともに基板を支持する。
フィンガ１１〜１５を有し、各フィンガ１１〜１５の下
端には底面支持片１７ａ〜１７ｅが設けられ、その上方
には、垂直方向に移動自在であり、バネ１８ｂによって
所定の高さに付勢された位置決めロール１９ａ〜１９ｅ
が保持されている。各フィンガ１１〜１５を閉じること
で位置決めロール１９ａ〜１９ｅを基板の外周縁に当接
したうえでハンド１０を上昇させると、各底面支持片１
７ａ〜１７ｅが基板１０の下面１０ａに当接されてこれ
を持上げる。各位置決めロール１９ａ〜１９ｅは基板１
０の重さによって下降し、各底面支持片１７ａ〜１７ｅ
とともに基板を支持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等にお
いてマスクやウエハ等の基板を搬送する基板搬送ハンド
およびこれを備えた基板搬送装置に関するものである。
いてマスクやウエハ等の基板を搬送する基板搬送ハンド
およびこれを備えた基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置等においては、フォトマ
スクやセラミック基板（以下、「基板」という。）を露
光装置等に搬送し、所定の位置に位置決めする高精度の
基板搬送装置が必要である。
スクやセラミック基板（以下、「基板」という。）を露
光装置等に搬送し、所定の位置に位置決めする高精度の
基板搬送装置が必要である。
【０００３】従来の基板搬送装置は、図７に示すよう
に、方形の基板５０の３方の側縁５１〜５３に対してそ
れぞれ進退自在な３個のフィンガ１１１〜１１３と、基
板５０の残りの側縁５４（図示せず）に対して進退自在
な一対のフィンガ１１４，１１５を有するハンド１０１
を有し、各フィンガ１１１〜１１５の図示下端には図示
上向きの吸着パッド１１７ａ〜１１７ｅ（フィンガ１１
４，１１５の吸着パッド１１７ｄ，１１７ｅは図９に示
す）が設けられている。ハンド１０１は、各フィンガ１
１１〜１１５を開閉することでこれらを基板５０の側縁
５１〜５４に向かって進退させ、各吸着パッド１１７ａ
〜１１７ｅによって基板５０の図示下面５０ａを吸着
し、これを台盤１２０から持上げて目的地へ搬送する。
各フィンガ１１１〜１１５は、吸着パッド１１７ａ〜１
１７ｅの図示上方に位置決めロール１１９ａ〜１１９ｅ
（フィンガ１１４，１１５の位置決めロール１１９ｄ，
１１９ｅは図９に示す）を回転自在に支持しており、図
８に示すように、各フィンガ１１１〜１１５の位置決め
ロール１１９ａ〜１１９ｅをそれぞれ基板５０の側縁５
１〜５４に向って前進させ、これらに当接することによ
って基板５０の水平方向の位置決めを行う。このように
位置決めを行ったのちに、ハンド１０１を上昇させ、図
９に示すように、各フィンガ１１１〜１１５の吸着パッ
ド１１７ａ〜１１７ｅを基板５０の下面５０ａに当接さ
せて基板５０を台盤１２０から持上げる。
に、方形の基板５０の３方の側縁５１〜５３に対してそ
れぞれ進退自在な３個のフィンガ１１１〜１１３と、基
板５０の残りの側縁５４（図示せず）に対して進退自在
な一対のフィンガ１１４，１１５を有するハンド１０１
を有し、各フィンガ１１１〜１１５の図示下端には図示
上向きの吸着パッド１１７ａ〜１１７ｅ（フィンガ１１
４，１１５の吸着パッド１１７ｄ，１１７ｅは図９に示
す）が設けられている。ハンド１０１は、各フィンガ１
１１〜１１５を開閉することでこれらを基板５０の側縁
５１〜５４に向かって進退させ、各吸着パッド１１７ａ
〜１１７ｅによって基板５０の図示下面５０ａを吸着
し、これを台盤１２０から持上げて目的地へ搬送する。
各フィンガ１１１〜１１５は、吸着パッド１１７ａ〜１
１７ｅの図示上方に位置決めロール１１９ａ〜１１９ｅ
（フィンガ１１４，１１５の位置決めロール１１９ｄ，
１１９ｅは図９に示す）を回転自在に支持しており、図
８に示すように、各フィンガ１１１〜１１５の位置決め
ロール１１９ａ〜１１９ｅをそれぞれ基板５０の側縁５
１〜５４に向って前進させ、これらに当接することによ
って基板５０の水平方向の位置決めを行う。このように
位置決めを行ったのちに、ハンド１０１を上昇させ、図
９に示すように、各フィンガ１１１〜１１５の吸着パッ
ド１１７ａ〜１１７ｅを基板５０の下面５０ａに当接さ
せて基板５０を台盤１２０から持上げる。
【０００４】台盤１２０に載置された基板５０をハンド
１０１によって持上げる手順は、図１０に示すように、
ステップＳ０１で各フィンガ１１１〜１１５を開き、ハ
ンド１０１を下降させて各フィンガ１１１〜１１５の位
置決めロール１１９ａ〜１１９ｅを基板５０の側縁５１
〜５４とほぼ同じ高さに位置させる（ステップＳ０
２）。次いで各フィンガ１１１〜１１５を基板５０の側
縁５１〜５４に向って前進させ、各位置決めロール１１
９ａ〜１１９ｅを当接して、基板５０の水平方向の位置
決めを行う（ステップＳ０３）。各フィンガ１１１〜１
１５を基板５０の側縁５１〜５４から遠ざけたのち（ス
テップＳ０４）、ハンド１０１を上昇させ、各フィンガ
１１１〜１１５の位置決めロール１１９ａ〜１１９ｅが
基板５０に接触するおそれのない高さに位置させたうえ
で（ステップＳ０５）、再び、各フィンガ１１１〜１１
５を基板５０の側縁５１〜５４に接近させ（ステップＳ
０６）、続いてハンド１０１を上昇させて各フィンガ１
１１〜１１５の吸着パッド１１７ａ〜１１７ｅを基板５
０の下面５０ａに当接し（ステップＳ０７）、これを吸
着させる（ステップＳ０８）。ひき続きハンド１０１を
上昇させることで基板５０を台盤１２０から持上げたの
ち（ステップＳ０９）、ハンド１０１を回動させ、目的
地へ移動させる。
１０１によって持上げる手順は、図１０に示すように、
ステップＳ０１で各フィンガ１１１〜１１５を開き、ハ
ンド１０１を下降させて各フィンガ１１１〜１１５の位
置決めロール１１９ａ〜１１９ｅを基板５０の側縁５１
〜５４とほぼ同じ高さに位置させる（ステップＳ０
２）。次いで各フィンガ１１１〜１１５を基板５０の側
縁５１〜５４に向って前進させ、各位置決めロール１１
９ａ〜１１９ｅを当接して、基板５０の水平方向の位置
決めを行う（ステップＳ０３）。各フィンガ１１１〜１
１５を基板５０の側縁５１〜５４から遠ざけたのち（ス
テップＳ０４）、ハンド１０１を上昇させ、各フィンガ
１１１〜１１５の位置決めロール１１９ａ〜１１９ｅが
基板５０に接触するおそれのない高さに位置させたうえ
で（ステップＳ０５）、再び、各フィンガ１１１〜１１
５を基板５０の側縁５１〜５４に接近させ（ステップＳ
０６）、続いてハンド１０１を上昇させて各フィンガ１
１１〜１１５の吸着パッド１１７ａ〜１１７ｅを基板５
０の下面５０ａに当接し（ステップＳ０７）、これを吸
着させる（ステップＳ０８）。ひき続きハンド１０１を
上昇させることで基板５０を台盤１２０から持上げたの
ち（ステップＳ０９）、ハンド１０１を回動させ、目的
地へ移動させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、位置決めロールによっ
て基板の水平方向の位置決めを行ったうえでこれを吸着
パッドに吸着し、台盤から持上げるまでにフィンガを２
度開閉する必要があるため、搬出作業に要する時間を短
縮することが難しい。加えて、吸着パッドに基板を吸着
したままで搬送しなければならず、吸着用の配管等がハ
ンドの小形化、軽量化を障げる。また、吸着パッドを吸
着させるために基板の下面に大きなスペースを必要と
し、両面に回路パターンを有する基板の搬送には適さな
い。さらに、各フィンガの位置決めロールと吸着パッド
の間に基板の厚さ以上の離間距離を必要とするため、各
フィンガが長く、その結果、ハンドが大形化する。
の技術によれば、前述のように、位置決めロールによっ
て基板の水平方向の位置決めを行ったうえでこれを吸着
パッドに吸着し、台盤から持上げるまでにフィンガを２
度開閉する必要があるため、搬出作業に要する時間を短
縮することが難しい。加えて、吸着パッドに基板を吸着
したままで搬送しなければならず、吸着用の配管等がハ
ンドの小形化、軽量化を障げる。また、吸着パッドを吸
着させるために基板の下面に大きなスペースを必要と
し、両面に回路パターンを有する基板の搬送には適さな
い。さらに、各フィンガの位置決めロールと吸着パッド
の間に基板の厚さ以上の離間距離を必要とするため、各
フィンガが長く、その結果、ハンドが大形化する。
【０００６】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、基板を位置決めして台盤
から持上げるまでのフィンガの開閉動作が１回ですみ、
従って、基板の搬出に要する時間を大幅に短縮できると
ともに、吸着パッドを必要としないために小型化が容易
である基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置
を提供することを目的とするものである。
に鑑みてなされたものであり、基板を位置決めして台盤
から持上げるまでのフィンガの開閉動作が１回ですみ、
従って、基板の搬出に要する時間を大幅に短縮できると
ともに、吸着パッドを必要としないために小型化が容易
である基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置
を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の基板搬送ハンドは、水平方向に開閉自在で
ある複数の把持部材と、これらを保持する本体からな
り、各把持部材が、これと一体である支持手段と、該支
持手段に対して垂直方向に接近離間自在である当接手段
と、該当接手段を前記支持手段から垂直方向上向きに所
定距離だけ離間した位置に付勢する付勢手段を有し、前
記支持手段が前記当接手段によって位置決めされた基板
の下に突出するように配設されていることを特徴とす
る。
めに本発明の基板搬送ハンドは、水平方向に開閉自在で
ある複数の把持部材と、これらを保持する本体からな
り、各把持部材が、これと一体である支持手段と、該支
持手段に対して垂直方向に接近離間自在である当接手段
と、該当接手段を前記支持手段から垂直方向上向きに所
定距離だけ離間した位置に付勢する付勢手段を有し、前
記支持手段が前記当接手段によって位置決めされた基板
の下に突出するように配設されていることを特徴とす
る。
【０００８】また、本発明の基板搬送装置は、上記の基
板搬送ハンドと、これを水平方向に往復自在に支持する
水平支持手段と、該水平支持手段を回動させる回動手段
と、該回動手段を垂直方向に移動させる垂直駆動手段か
らなることを特徴とする。
板搬送ハンドと、これを水平方向に往復自在に支持する
水平支持手段と、該水平支持手段を回動させる回動手段
と、該回動手段を垂直方向に移動させる垂直駆動手段か
らなることを特徴とする。
【０００９】
【作用】各把持部材を台盤上の基板の外周面に向って水
平方向に前進させ、該外周面に各当接手段を当接して基
板を位置決めしたのちに基板搬送ハンドを上昇させ、支
持手段によって基板の下面を支持させてこれを台盤から
持上げる。把持部材の上昇とともに、当接手段は基板の
外周面に当接されたまま基板の重さによって支持手段に
対して相対的に下降する。搬送中の基板は、その外周面
と下面をそれぞれ当接手段と支持手段によって堅固に保
持され、位置ずれや脱落等のおそれがないため、吸着パ
ッドを必要としない。
平方向に前進させ、該外周面に各当接手段を当接して基
板を位置決めしたのちに基板搬送ハンドを上昇させ、支
持手段によって基板の下面を支持させてこれを台盤から
持上げる。把持部材の上昇とともに、当接手段は基板の
外周面に当接されたまま基板の重さによって支持手段に
対して相対的に下降する。搬送中の基板は、その外周面
と下面をそれぞれ当接手段と支持手段によって堅固に保
持され、位置ずれや脱落等のおそれがないため、吸着パ
ッドを必要としない。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１１】図１は一実施例を示すもので、本実施例の
基板搬送装置は、基板１０を把持するための５個の把持
部材であるフィンガ１１〜１５を有する基板搬送ハンド
であるハンド１と、これを摺動自在に支持する水平支持
手段である水平アーム２と、水平アーム２を所定の垂直
軸（以下、「Ｚ軸」という。）のまわりに回動させる回
動手段である回転装置３と、水平アーム２と回転装置３
を支持し、これらをＺ軸方向へ往復移動させる垂直駆動
手段である垂直駆動装置４と、これを支持する支持台５
からなり、ハンド１は、垂直駆動装置４によって垂直方
向へ移動され、また、水平アーム２を回転装置３によっ
て回動させるとともにハンド１を図示しない水平駆動装
置によって水平アーム２に沿って移動させることによっ
て、所定の範囲内で水平方向の任意の位置に移動自在で
ある。
基板搬送装置は、基板１０を把持するための５個の把持
部材であるフィンガ１１〜１５を有する基板搬送ハンド
であるハンド１と、これを摺動自在に支持する水平支持
手段である水平アーム２と、水平アーム２を所定の垂直
軸（以下、「Ｚ軸」という。）のまわりに回動させる回
動手段である回転装置３と、水平アーム２と回転装置３
を支持し、これらをＺ軸方向へ往復移動させる垂直駆動
手段である垂直駆動装置４と、これを支持する支持台５
からなり、ハンド１は、垂直駆動装置４によって垂直方
向へ移動され、また、水平アーム２を回転装置３によっ
て回動させるとともにハンド１を図示しない水平駆動装
置によって水平アーム２に沿って移動させることによっ
て、所定の範囲内で水平方向の任意の位置に移動自在で
ある。
【００１２】ハンド１は、図２に示すように、平板状の
支持板１６ａとその両端に一体的に設けられた一対の垂
直板１６ｂ，１６ｃからなる本体１６を有する。各フィ
ンガ１１〜１５は、支持板１６ａの上面に摺動自在に支
持されたスライダ１１ａ〜１５ａに一体的に結合されて
おり、第１のフィンガ１１のスライダ１１ａは、シリン
ダ１１ｂによって、水平面内で直交する２軸のうちの一
方（以下、「Ｘ軸」という。）に沿って往復移動され、
第２のフィンガ１２のスライダ１２ａは、シリンダ１２
ｂによって、前記２軸のうちの他方（以下、「Ｙ軸」と
いう。）に沿って往復移動され、第３のフィンガ１３の
スライダ１３ａは、アクチュエータ１６ｄによって駆動
される無端ベルト１６ｅによってＸ軸に沿って往復移動
され、第４および第５のフィンガ１４，１５に結合され
たスライダ１４ａ，１５ａは連結部１４ｂによって一体
的に連結されており、無端ベルト１６ｅによってＹ軸に
沿って往復移動される。すなわち、第３〜第５のフィン
ガ１３〜１５は、アクチュエータ１６ｄの駆動により本
体１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の中央に向って同時に
前進あるいは後退し、第１および第２のフィンガ１１，
１２はそれぞれシリンダ１１ｂ，１２ｂの駆動によって
本体１６の前記中央に向って前進あるいは後退するよう
に構成されている。なお、第１のフィンガ１１、第２の
フィンガ１２、第４のフィンガ１４、第５のフィンガ１
５はそれぞれ支持板１６ａの開口１６ｆ，１６ｇ，１６
ｈ，１６ｉを通って支持板１６ａの下方へ垂下されてい
る。
支持板１６ａとその両端に一体的に設けられた一対の垂
直板１６ｂ，１６ｃからなる本体１６を有する。各フィ
ンガ１１〜１５は、支持板１６ａの上面に摺動自在に支
持されたスライダ１１ａ〜１５ａに一体的に結合されて
おり、第１のフィンガ１１のスライダ１１ａは、シリン
ダ１１ｂによって、水平面内で直交する２軸のうちの一
方（以下、「Ｘ軸」という。）に沿って往復移動され、
第２のフィンガ１２のスライダ１２ａは、シリンダ１２
ｂによって、前記２軸のうちの他方（以下、「Ｙ軸」と
いう。）に沿って往復移動され、第３のフィンガ１３の
スライダ１３ａは、アクチュエータ１６ｄによって駆動
される無端ベルト１６ｅによってＸ軸に沿って往復移動
され、第４および第５のフィンガ１４，１５に結合され
たスライダ１４ａ，１５ａは連結部１４ｂによって一体
的に連結されており、無端ベルト１６ｅによってＹ軸に
沿って往復移動される。すなわち、第３〜第５のフィン
ガ１３〜１５は、アクチュエータ１６ｄの駆動により本
体１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の中央に向って同時に
前進あるいは後退し、第１および第２のフィンガ１１，
１２はそれぞれシリンダ１１ｂ，１２ｂの駆動によって
本体１６の前記中央に向って前進あるいは後退するよう
に構成されている。なお、第１のフィンガ１１、第２の
フィンガ１２、第４のフィンガ１４、第５のフィンガ１
５はそれぞれ支持板１６ａの開口１６ｆ，１６ｇ，１６
ｈ，１６ｉを通って支持板１６ａの下方へ垂下されてい
る。
【００１３】各フィンガ１１〜１５の下端には、図３に
示すように、本体１６の中央に向って水平方向に突出す
る支持手段である底面支持片１７ａ〜１７ｅが設けられ
ており、これらは、後述するように各フィンガ１１〜１
５が閉じたうえで本体１６が上昇したときに基板１０の
図示下面１０ａに当接される。また、各フィンガ１１〜
１５はこれと一体である直動ガイド１８を有し、直動ガ
イド１８はロール支持部材１８ａを垂直方向に摺動自在
に支持しており、各フィンガ１１〜１５のロール支持部
材１８ａの下端には当接手段である位置決めロール１９
ａ〜１９ｅが転動自在に支持されている。なお、各フィ
ンガ１１〜１５のロール支持部材１８ａは付勢手段であ
るバネ１８ｂによって上向きに付勢され、これによって
直動ガイド１８から突出する図示しないストッパの下面
に押圧されることで直動ガイド１８と一体化されてい
る。
示すように、本体１６の中央に向って水平方向に突出す
る支持手段である底面支持片１７ａ〜１７ｅが設けられ
ており、これらは、後述するように各フィンガ１１〜１
５が閉じたうえで本体１６が上昇したときに基板１０の
図示下面１０ａに当接される。また、各フィンガ１１〜
１５はこれと一体である直動ガイド１８を有し、直動ガ
イド１８はロール支持部材１８ａを垂直方向に摺動自在
に支持しており、各フィンガ１１〜１５のロール支持部
材１８ａの下端には当接手段である位置決めロール１９
ａ〜１９ｅが転動自在に支持されている。なお、各フィ
ンガ１１〜１５のロール支持部材１８ａは付勢手段であ
るバネ１８ｂによって上向きに付勢され、これによって
直動ガイド１８から突出する図示しないストッパの下面
に押圧されることで直動ガイド１８と一体化されてい
る。
【００１４】台盤２０に載置された基板１０をハンド１
によって持上げて所定の目的地へ搬送する手順は以下の
通りである。
によって持上げて所定の目的地へ搬送する手順は以下の
通りである。
【００１５】まず各フィンガ１１〜１５を図３に示すよ
うにハンド１の中央から後退させた状態で基板１０の上
方から下降させ、基板１０の外周面である各側縁に位置
決めロール１９ａ〜１９ｅを対向させる。次いでアクチ
ュエータ１６ｄを駆動して第３〜第５のフィンガ１３〜
１５をハンド１の中央よりのそれぞれの所定の位置まで
前進させ、続いてシリンダ１１ｂ，１２ｂを駆動して第
１，第２のフィンガ１１，１２を前進させることで、基
板１０の各側縁に位置決めロール１９ａ〜１９ｅを当接
して、基板１０の水平方向の位置決めを行う（図４に示
す）。この後、垂直駆動装置４を駆動してハンド１を上
昇させると、図５に示すように、基板１０の下面１０ａ
に各フィンガ１１〜１５の底面支持片１７ａ〜１７ｅが
当接される。ひき続きハンド１を上昇させることで基板
１０を台盤２０から持上げると、各位置決めロール１９
ａ〜１９ｅは基板１０の周縁に当接されたまま基板１０
の重さによって底面支持片１７ａ〜１７ｅに対してわず
かに下降する。このとき、ロール支持部材１８ａは直動
ガイド１８に沿って下降し、前述のストッパの下面から
離れる。ハンド１は、このようにして台盤２０から持上
げた基板１０を底面支持片１７ａ〜１７ｅと位置決めロ
ール１９ａ〜１９ｅによって堅固に保持して目的地へ搬
送する。
うにハンド１の中央から後退させた状態で基板１０の上
方から下降させ、基板１０の外周面である各側縁に位置
決めロール１９ａ〜１９ｅを対向させる。次いでアクチ
ュエータ１６ｄを駆動して第３〜第５のフィンガ１３〜
１５をハンド１の中央よりのそれぞれの所定の位置まで
前進させ、続いてシリンダ１１ｂ，１２ｂを駆動して第
１，第２のフィンガ１１，１２を前進させることで、基
板１０の各側縁に位置決めロール１９ａ〜１９ｅを当接
して、基板１０の水平方向の位置決めを行う（図４に示
す）。この後、垂直駆動装置４を駆動してハンド１を上
昇させると、図５に示すように、基板１０の下面１０ａ
に各フィンガ１１〜１５の底面支持片１７ａ〜１７ｅが
当接される。ひき続きハンド１を上昇させることで基板
１０を台盤２０から持上げると、各位置決めロール１９
ａ〜１９ｅは基板１０の周縁に当接されたまま基板１０
の重さによって底面支持片１７ａ〜１７ｅに対してわず
かに下降する。このとき、ロール支持部材１８ａは直動
ガイド１８に沿って下降し、前述のストッパの下面から
離れる。ハンド１は、このようにして台盤２０から持上
げた基板１０を底面支持片１７ａ〜１７ｅと位置決めロ
ール１９ａ〜１９ｅによって堅固に保持して目的地へ搬
送する。
【００１６】すなわち、台盤２０上の基板１０をハンド
１によって持上げる操作は、図６に示すように、ステッ
プ１で各フィンガ１１〜１５を開き、ステップ２でハン
ド１を下降させ、ステップ３で各フィンガ１１〜１５を
閉じて位置決めロール１９ａ〜１９ｅによる基板１０の
位置決めを行い、ステップ４でハンド１を上昇させるこ
とによって完了し、この間、フィンガ１１〜１５を開閉
する動作は一回ですむ。本実施例によれば、ハンドによ
って基板を把持して持上げるための動作が極めて簡単で
あるうえに、吸着パッドを必要としないためにハンドの
小形化および軽量化が容易であり、また、搬送中の基板
を位置決めロールと底面支持片の両方で保持するため、
各底面支持片と基板の接触面積が小さくても基板が脱落
したり、位置ずれを起すおそれはない。従って、両面に
回路パターンをもつ基板の搬送にも好適である。加え
て、位置決めロールと底面支持片を近接して配置するこ
とができるため、フィンガの長さを大幅に短縮できる。
１によって持上げる操作は、図６に示すように、ステッ
プ１で各フィンガ１１〜１５を開き、ステップ２でハン
ド１を下降させ、ステップ３で各フィンガ１１〜１５を
閉じて位置決めロール１９ａ〜１９ｅによる基板１０の
位置決めを行い、ステップ４でハンド１を上昇させるこ
とによって完了し、この間、フィンガ１１〜１５を開閉
する動作は一回ですむ。本実施例によれば、ハンドによ
って基板を把持して持上げるための動作が極めて簡単で
あるうえに、吸着パッドを必要としないためにハンドの
小形化および軽量化が容易であり、また、搬送中の基板
を位置決めロールと底面支持片の両方で保持するため、
各底面支持片と基板の接触面積が小さくても基板が脱落
したり、位置ずれを起すおそれはない。従って、両面に
回路パターンをもつ基板の搬送にも好適である。加え
て、位置決めロールと底面支持片を近接して配置するこ
とができるため、フィンガの長さを大幅に短縮できる。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、以下に記載するような効果を奏する。
ので、以下に記載するような効果を奏する。
【００１８】基板を位置決めして台盤から持上げるまで
のフィンガの開閉動作が１回ですみ、従って、基板の搬
送に要する時間を大幅に短縮できる。加えて、吸着パッ
ドを必要とせず、ハンドの小形化が容易である。
のフィンガの開閉動作が１回ですみ、従って、基板の搬
送に要する時間を大幅に短縮できる。加えて、吸着パッ
ドを必要とせず、ハンドの小形化が容易である。
【図１】一実施例を示す立面図である。
【図２】本実施例のハンドを示す部分平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線からみた部分立面図である。
【図４】本実施例のハンドの各位置決めロールを基板に
当接した状態を示す部分立面図である。
当接した状態を示す部分立面図である。
【図５】本実施例のハンドによって基板を持上げた状態
を示す部分立面図である。
を示す部分立面図である。
【図６】本実施例のハンドによって基板を持上げる手順
を示すシーケンス図である。
を示すシーケンス図である。
【図７】従来のハンドを、これによって基板を持上げる
前の状態で示す立面図である。
前の状態で示す立面図である。
【図８】図７のハンドによって基板の位置決めを行った
状態を示す立面図である。
状態を示す立面図である。
【図９】図７のハンドによって基板を持上げた状態を示
す立面図である。
す立面図である。
【図１０】図７のハンドによって基板を持上げる手順を
示すシーケンス図である。
示すシーケンス図である。
１ ハンド ２ 水平アーム ３ 回転装置 ４ 垂直駆動装置 １１〜１５ 第１〜第５のフィンガ １７ａ〜１７ｅ 底面支持片 １８ 直動ガイド １８ａ ロール支持部材 １８ｂ バネ １９ａ〜１９ｅ 位置決めロール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ Ｇ
Claims (2)
- 【請求項１】 水平方向に開閉自在である複数の把持部
材と、これらを保持する本体からなり、各把持部材が、
これと一体である支持手段と、該支持手段に対して垂直
方向に接近離間自在である当接手段と、該当接手段を前
記支持手段から垂直方向上向きに所定距離だけ離間した
位置に付勢する付勢手段を有し、前記支持手段が前記当
接手段によって位置決めされた基板の下に突出するよう
に配設されていることを特徴とする基板搬送ハンド。 - 【請求項２】 請求項１記載の基板搬送ハンドと、これ
を水平方向に往復自在に支持する水平支持手段と、該水
平支持手段を回動させる回動手段と、該回動手段を垂直
方向に移動させる垂直駆動手段からなる基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13961293A JP3173918B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13961293A JP3173918B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06329252A true JPH06329252A (ja) | 1994-11-29 |
| JP3173918B2 JP3173918B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=15249349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13961293A Expired - Fee Related JP3173918B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3173918B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100419985C (zh) * | 2005-07-25 | 2008-09-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板搬送装置 |
| WO2010016505A1 (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-11 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 試料搬送機構 |
| US8178638B2 (en) | 2006-08-08 | 2012-05-15 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Poly(meth)acrylamides and poly(meth)acrylates containing fluorinated amide |
| JP2014503121A (ja) * | 2011-01-05 | 2014-02-06 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 基板操作装置及び方法 |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP13961293A patent/JP3173918B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100419985C (zh) * | 2005-07-25 | 2008-09-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板搬送装置 |
| US8178638B2 (en) | 2006-08-08 | 2012-05-15 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Poly(meth)acrylamides and poly(meth)acrylates containing fluorinated amide |
| WO2010016505A1 (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-11 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 試料搬送機構 |
| JP2010040804A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料搬送機構 |
| US8585112B2 (en) | 2008-08-06 | 2013-11-19 | Hitachi High-Technologies Corporation | Sample conveying mechanism |
| JP2014503121A (ja) * | 2011-01-05 | 2014-02-06 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 基板操作装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3173918B2 (ja) | 2001-06-04 |
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