JP2014503121A - 基板操作装置及び方法 - Google Patents

Abstract

エンドエフェクタ用グリップ機構は、エフェクタ本体に連結されるように構成されたグリップ部材を含んでいる。エフェクタ本体に隣接する保持領域内に基板のような物体を保持できる係合位置まで係合経路に沿ってグリッパが移動可能となるように、グリップ部材のグリッパがグリップ部材の移動に基づいて移動可能となっている。１つ以上のグリップ機構を組み込んだ、物体を操作するためのエンドエフェクタ及び基板のような物体を操作する方法も開示される。

Description

関連出願に対する相互参照

この出願は、２０１１年１月５日に出願された米国仮出願第６１／４３０，０２９号の利益を主張し、その内容は本明細書に参照により組み込まれる。

本明細書で代表的に述べられる本発明の実施形態は、概して、基板を操作する装置及び方法に関するものである。より具体的には、本発明の実施形態は、テープフレーム基板を操作可能なエンドエフェクタ把持機構に関するものである。

基板ダイシングプロセス、ダイボンディングプロセス、基板の運送中や保管中に基板を支持するためにテープフレームアセンブリを使用することができる。典型的には、テープフレームアセンブリは、フレームと、フレームにわたって引き延ばされた支持フィルムとを含んでいる。基板（例えば半導体ウェハ）を支持フィルム上に載置して、接着材により所定の場所に維持することができる。その後、支持フィルム上に載置しつつ、基板を加工することができる。スループットを改善し、基板上に形成される素子のコストを低減するため、基板は一般的にサイズが大きくなってきている。基板が大きくなるにつれ、そのような基板を支持可能なフレームのサイズ及び重量も典型的に大きくなる。例えば、３００ｍｍのＳｉウェハを支持可能なテープフレームアセンブリは、少なくとも５００グラムの重さがあり得る。不運なことに、テープフレームアセンブリのサイズと重量が大きくなることにより、従来のエンドエフェクタ技術を用いてテープフレームアセンブリを保持し、解放し、移動し、あるいはその他の操作をしようとする際に問題が生じ得る。

一実施形態においては、エンドエフェクタ用グリップ機構は、エフェクタ本体に連結されるように構成されたグリップ部材を含むことができる。グリップ部材は、グリッパを含むことができ、エフェクタ本体の第１の端部からエフェクタ本体の第２の端部に向かって第１の方向に移動可能である。グリップ部材の第１の部分は、グリップ部材の第１の方向の移動に基づいて第１の移動経路に沿ってエフェクタ本体に対して移動可能である。グリップ機構は、グリップ部材に作用的に連結されるグリップガイドも含むことができる。グリップ部材の第１の方向の移動に基づいて、グリップ部材の第２の部分の第２の移動経路に沿った移動を案内するようにグリップガイドを構成することができる。さらに、第１及び第２の部分の第１及び第２の移動経路に沿った移動に基づいて、グリッパが第１の係合経路に沿って第１の係合位置まで移動できるように、前記グリップ部材及び前記グリップガイドを構成することができる。第１の係合経路は、エフェクタ本体の基部面からエフェクタ本体に隣接する保持領域に向かって延び得る。第１の係合位置では、保持領域内に配置された物体に係合するようにグリッパを構成することができる。

他の実施形態において、隣接する保持領域内に配置された基板を操作可能なエンドエフェクタは、エフェクタ本体と、上記で代表的に述べられたグリップ機構とを含むことができる。したがって、グリッパが第１の係合位置にあるときに、基板が保持領域内に保持可能となり得る。

他の実施形態において、隣接する保持領域内に配置された基板を操作可能なエンドエフェクタは、エフェクタ本体と、エフェクタ本体に連結され、第１の軸に沿って移動可能なグリップ部材とを含むことができる。エンドエフェクタは、さらに、グリップ部材の第１の軸に沿った移動に基づいて、第２の軸を中心として第１の係合位置までグリップ部材を回転するように構成されたグリップガイドを含むことができる。第２の軸は、第１の軸に対して０度より大きく１８０度未満の角度で配置することができる。基板が保持領域内で保持可能となるように、グリップ部材の移動に基づいて、グリッパが第１の係合経路に沿って第１の係合位置まで移動できるように、グリップ部材及びグリップガイドを構成することができる。

他の実施形態においては、基板を操作する方法は、エンドエフェクタを基板上に配置することを含み得る。エンドエフェクタのグリップ部材をエンドエフェクタ本体の第１の端部からエンドエフェクタ本体の第２の端部に向かって第１の方向に移動する。この実施形態において、グリップ部材を移動する際には、グリッパが第１の係合位置にあるときに基板を保持領域内に保持できるように、第１の係合経路に沿ってグリッパを第１の係合位置まで移動することができる。

図１及び図２は、それぞれ、一実施形態におけるグリップ機構を有するエンドエフェクタを模式的に示す上面図及び側面図である。 図１及び図２は、それぞれ、一実施形態におけるグリップ機構を有するエンドエフェクタを模式的に示す上面図及び側面図である。 図２Ａ及び図２Ｂは、ある実施形態における、図２に示されるIIA-IIA線に沿ったガイドポストの断面図である。 図２Ａ及び図２Ｂは、ある実施形態における、図２に示されるIIA-IIA線に沿ったガイドポストの断面図である。 図３は、一実施形態における、図１に示されるグリップ機構の一部を模式的に示す上面図である。 図４は、図３に示されるグリップ機構を模式的に示す側面図である。 図５は、図４に示される状態においてグリップ支持部内に位置するグリップ部材を模式的に示す側面図である。 図６及び図７は、図３〜図５に関して代表的に述べられたグリップ機構を用いてテープフレームアセンブリに係合する方法の一実施形態を模式的に示す側面図である。 図６及び図７は、図３〜図５に関して代表的に述べられたグリップ機構を用いてテープフレームアセンブリに係合する方法の一実施形態を模式的に示す側面図である。 図８は、図３〜図５に関して代表的に述べられたグリップ機構を用いてテープフレームアセンブリに係合する方法の他の実施形態を模式的に示す側面図である。 図９及び図１０は、それぞれ、一実施形態における複数のグリップ機構を有するエンドエフェクタを模式的に示す上面図及び側面図である。 図９及び図１０は、それぞれ、一実施形態における複数のグリップ機構を有するエンドエフェクタを模式的に示す上面図及び側面図である。 図１１は、基板カセットに挿入された、図９及び図１０に示されるエンドエフェクタを模式的に示す側面図である。

図示された実施形態の詳細な説明

以下、本発明の例示の実施形態が示されている添付図面を参照しながら本発明をより完全に説明する。しかしながら、本発明は多くの異なる形態で実施することができ、本明細書で述べる実施形態に限定されるものとして解釈すべきではない。むしろ、これらの実施形態は、本開示が、完全なものですべてを含み、本発明の範囲を当業者に十分に伝えるように提供されるものである。図面においては、理解しやすいように、層や領域のサイズや相対的なサイズが誇張されている場合がある。

本明細書では、第１、第２、第３などの用語は、種々の要素、構成要素、領域、セット、端部、経路などを説明するために使用され得るものであるが、これらの要素、構成要素、領域、セットはこれらの用語により限定されるべきではないことは理解できよう。これらの用語は、ある要素、構成要素、領域、セット、端部、経路などを他の要素、構成要素、領域、セット、端部、経路などと区別するためにのみ使用されるものである。したがって、以下に述べる第１の要素、構成要素、領域、セット、端部、経路などは、本明細書における教示から逸脱することなく、第２の要素、構成要素、領域、セット、端部、経路などと呼ぶこともできる。

本明細書で使用される用語は、特定の例示的実施形態を説明するためだけのものであり、本発明に対して限定するものとして意図されているものではない。本明細書で使用されているように、内容が明確にそうではないことを示している場合を除き、単数形は複数形を含むことを意図している。さらに、「備える」及び／又は「備えている」という用語は、本明細書で使用されている場合には、述べられた特徴、整数、ステップ、動作、要素、及び／又は構成要素の存在を特定するものであり、１つ以上の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、構成要素、端部、経路、及び／又はそのグループの存在又は追加を排除するものではないことは理解されよう。

図１及び図２は、それぞれ、一実施形態における、グリップ機構を有するエンドエフェクタを模式的に示す上面図及び側面図である。図２Ａ及び図２Ｂは、ある実施形態における、図２に示されるIIA−IIA線に沿ったガイドポストの断面図である。

図１及び図２を参照すると、エンドエフェクタ１００のようなエンドエフェクタは、基板１０４に隣接した保持領域内に配置された基板１０４を操作（例えば、保持、解放、移動など）するように構成することができる。本明細書における説明では、テープフレームアセンブリ１０６を介したエンドエフェクタ１００による間接的な基板１０４の操作について述べるが、直接（例えば、基板１０４がテープフレームアセンブリに支持されていない状態で）基板１０４を操作するようにエンドエフェクタ１００を構成することもできることは理解できよう。

図示された実施形態においては、基板１０４は、直径が１２５ｍｍ、１５０ｍｍ、２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍなどの半導体基板（例えば、シリコン基板）又はウェハである。しかしながら、他の実施形態において、基板１０４は、比較的薄く平坦で幅広な任意の物体（例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルにおいて見られるようなガラス基板）であってもよい。図示された実施形態においては、基板１０４は、例えば、フレーム１０８と、フレーム１０８に架かって基板１０４を支持する支持フィルム１１０とを含むテープフレームアセンブリ１０６上に保持される。一般に、基板１０４の上面１０４ａは、高さ方向においてフレーム１０８の上面１０８ａと支持フィルム１１０の上面１１０ａとの間にある。テープフレームアセンブリ１０６のようなテープフレームアセンブリは周知であり、これを基板ダイシングプロセス、ダイボンディングプロセス、基板１０４の運送中や保管中に基板１０４を支持するために使用することができる。エンドエフェクタ１００は、エフェクタ本体１１２と、１つ以上のガイドポスト１１４と、グリップ機構１１６とを含み得る。

エフェクタ本体１１２は、基板１０４の上面１０４ａに沿って延びるもので、第１の端部１１２ａ（本明細書では「基」端部ともいう）と、エフェクタ本体１１２の縦軸１１３（本明細書では「エフェクタ本体軸」ともいう）に沿って基端部１１２ａから離れた第２の端部１１２ｂ（本明細書では「末」端部ともいう）とを含んでいる。このエフェクタ本体１１２は、典型的には、基端部１１２ａがロボット（図示せず）により支持され、末端部１１２ｂが何にも支持されない片持ち体として設けられる。図示された実施形態では、エフェクタ本体１１２は基板１０４の上面１０４ａを縦断して延びる。

基板１０４の操作中にエンドエフェクタ１００に対してテープフレームアセンブリ１０６が適切に位置合わせされるのを確実にするために、各ガイドポスト１１４がフレーム１０８の一部（例えば、フレーム１０８の位置合わせノッチ１１４ａ）と係合するように構成することができる。図２及び図２Ａに最もよく示されているように、各ガイドポスト１１４は、エフェクタ本体１１２の下面２０２（本明細書では「基部面」ともいう）から下方に延びている。この下面２０２は、基板１０４及びテープフレームアセンブリ１０６のフレーム１０８に対向している。図２Ａに示されるように、各ガイドポスト１１４の表面は、第１のガイド面２０４と、第２のガイド面２０６と、第３のガイド面２０８とを含んでいてもよい。一般的に、第１及び第２のガイド面２０４、２０６は、フレーム１０８の移動を第３のガイド面２０８に向けてそらすように構成される。第１、第２、及び第３のガイド面２０４、２０６、２０８を任意の適切な方法で構成してもよいことは理解できよう。さらに、第２のガイド面２０６をなくして、第３のガイド面２０８を第１のガイド面２０４からエフェクタ本体１１２の下面２０２に向かって延びるようにしても（図２Ｂに代表的に示されている）、あるいはエフェクタ本体１１２の下面２０２まで完全に延びるようにしてもよい。上述したように構成することで、ガイドポスト１１４を用いて、基板１０４の操作中にエンドエフェクタ１００に対してテープフレームアセンブリ１０６を水平方向にも垂直方向にも確実に位置合わせすることができる。

グリップ機構１１６は、グリップ支持部１１８と、グリップ支持部１１８に連結されたグリップ部材１２０と、グリップ部材１２０を動かすように構成されたグリップアクチュエータ１２２（例えば、電気モータ、空気圧式アクチュエータ、油圧式アクチュエータ、リニアアクチュエータ、圧電アクチュエータ、電気活性ポリマーなど、あるいはこれらの組み合わせ）とを含み得る。代表的に図示されているように、グリップ支持部１１８は、エフェクタ本体軸１１３に沿って延び、エフェクタ本体軸１１３に対して位置合わせされている。しかしながら、他の実施形態において、グリップ支持部１１８は、エフェクタ本体軸１１３とは異なる方向に延びていてもよい。グリップ支持部１１８は、基板１０４及びフレーム１０８の直径又は最大幅に沿って延び、これに位置合わせされているものとして図示されているが、グリップ支持部１１８は、基板１０４及び／又はフレーム１０８の直径又は最大幅とは異なる方向に沿って延びていてもよいことは理解されよう。

グリップ部材１２０をグリップアクチュエータ１２２により動かす際には、グリップ部材１２０を係合位置や離脱位置といった１つ以上の位置に選択的に移動させることができる。グリップ部材１２０を係合位置に移動させる際には、エンドエフェクタ１００に隣接する保持領域（図示せず）内に配置されたフレーム１０８のエッジ又は他の周縁領域にグリップ部材１２０を係合（例えば物理的に接触）させることができる。グリップ部材１２０がフレーム１０８に係合すると、フレーム１０８は、図２Ａに代表的に示される矢印２１０により示される方向に動くことができ、グリップ支持部１１４に押しつけられる。このように、グリップ部材１２０がフレーム１０８に係合すると、フレームアセンブリ１０６（及び基板１０４）をエンドエフェクタ１００により操作することができる。グリップ部材１２０を離脱位置に移動させる際には、テープフレームアセンブリ１０６及び基板１０４がエンドエフェクタ１００から取り外せるように、グリップ部材１２０をフレーム１０８から離脱させる（例えば物理的に離す）ことができる。上記で代表的に述べたように構成することで、エンドエフェクタ１００を「上面グリップ」エンドエフェクタの一種として特徴付けることができる。

図３は、一実施形態における、図１に示されるグリップ機構の一部を模式的に示す平面図である。

図３を参照すると、グリップ支持部１１８は、第１の支持レール３０２と、第１のレール３０２から離間した第２の支持レール３０４とを含んでいる。第１の支持レール３０２及び第２の支持レール３０４は、エフェクタ本体１１２に連結されていてもよく、エフェクタ本体１１２の末端部１１２ｂから突出する端部３０２ａ及び３０４ａをそれぞれ有していてもよい。しかしながら、他の実施形態においては、第１の支持レール３０２及び第２の支持レール３０４の端部３０２ａ及び３０４ａの一方又は双方が、エフェクタ本体１１２の末端部１１２ｂから突出していなくてもよい。例えば、第１の支持レール３０２及び第２の支持レール３０４の端部３０２ａ及び３０４ａの一方又は双方は、エフェクタ本体１１２の末端部１１２ｂに対して同一平面上に（あるいは少なくとも実質的に同一平面上に）あってもよい。グリップ支持部１１８は、第１の支持レール３０２と第２の支持レール３０４を含むものとして図示されているが、第１の支持レール３０２と第２の支持レール３０４の一方をなくしてもよいことは理解できよう。一実施形態においては、第１の支持レール３０２及び第２の支持レール３０４は、それぞれ、エフェクタ本体１１２からは分離しているがエフェクタ本体１１２に連結される部材として設けられていてもよい。他の実施形態においては、第１の支持レール３０２と第２の支持レール３０４の一方又は双方をエフェクタ本体１１２と一体に形成してもよい。

一般的に、グリップ部材１２０は、第１の端部３０６ａと、第１の端部３０６ａの反対側の第２の端部３０６ｂとを有している。図示された実施形態においては、グリップ部材１２０は、第１の端部３０６ａが第２の端部３０６ｂに対して動かない、単一の実質的な剛体として設けられている。しかしながら、他の実施形態においては、可撓体として、あるいは回動可能に互いに連結された複数の剛体によりグリップ部材１２０を形成してもよい。グリップ部材１２０の第２の端部３０６ｂは、第１の支持レール３０２及び第２の支持レール３０４の端部３０２ａ及び３０４ａがそれぞれ突出する距離よりも短い距離だけエフェクタ本体１１２の末端部１１２ｂから突出しているように図示されているが、グリップ部材１２０の第２の端部３０６ｂが、第１の支持レール３０２及び第２の支持レール３０４の端部３０２ａ及び３０４ａがそれぞれ突出する距離以上にエフェクタ本体１１２の末端部１１２ｂから突出していてもよいことは理解できよう。

一般的に、グリップ部材１２０は、エフェクタ本体軸１１３に沿って延びる、矢印３１０で代表的に示される方向に沿ってグリップ支持部１１８に対して移動可能となっている。また、グリップ部材１２０は、エフェクタ本体１１２及びガイドポスト１１４に対して移動可能であってもよい。図示された実施形態においては、グリップ部材１２０をグリップアクチュエータ１２２に結合するために結合アーム３０８を設けてもよい。例えば、第１の端部３０６ａで結合アーム３０８をグリップ部材１２０に連結してもよい。したがって、結合アーム３０８を矢印３１０により示されるように左に（すなわち基端部１１２ａに向かって）、あるいは右に（すなわち末端部１１２ｂに向かって）動かすことにより、グリップアクチュエータ１２２がグリップ部材１２０を動かすようにしてもよい。結合アーム３０８を動かすと、一般的にグリップ部材１２０を左にも右にも動かすことができる。一実施形態において、結合アーム３０８は、例えば軸の位置を揃えた結合ピン３１２ａ及び３１２ｂ（本明細書ではこれらを総称して結合ピン３１２ともいう）により第１の端部３０６ａに回動可能に連結される。これにより、グリップ部材１２０及び結合アーム３０８は、結合ピン３１２の共通の軸を中心に互いに回動可能となっている。結合ピン３１２ａ及び３１２ｂは別個のものとして示されているが、結合アーム３０８を貫通する単一の結合ピンにより結合ピン３１２ａ及び３１２ｂを置き換えてもよいことは理解できよう。

図示された実施形態において、グリップ部材１２０は、第１のピン３１４ａ及び３１４ｂ（本明細書ではこれらを総称して「第１のピン３１４」ともいう）及び第２のピン３１６ａ及び３１６ｂ（本明細書ではこれらを総称して「第２のピン３１６」ともいう）によりグリップ支持部１１８に移動可能に結合される。第１のピン３１４はそれぞれグリップ部材１２０の第１の部分に連結され、第２のピン３１６はそれぞれグリップ部材１２０の第２の部分に連結される。以下でより詳細に述べるように、第１及び第２のピン３１４及び３１６はグリップ支持部１１８により支持されている。第１のピン３１４ａ及び３１４ｂは別個のピンとして図示されているが、グリップ部材１２０を貫通する単一の第１のピン３１４により第１のピン３１４ａ及び３１４ｂを置き換えてもよいことは理解できよう。同様に、第２のピン３１６ａ及び３１６ｂは別個のピンとして図示されているが、グリップ部材１２０を貫通する単一の第２のピン３１６により第２のピン３１６ａ及び３１６ｂを置き換えてもよいことは理解できよう。さらに、ピン３１２ａ及び３１６ａは別個のものとして図示されているが、グリップ部材１２０を貫通する単一のピンによりピン３１２ａ及び３１６ａを置き換えてもよいことは理解できよう。同様に、ピン３１２ｂ及び３１６ｂは別個のものとして図示されているが、グリップ部材１２０を貫通する単一のピンによりピン３１２ｂ及び３１６ｂを置き換えてもよいことは理解できよう。

図４は、図３に示されるグリップ機構を模式的に示す側面図である。図５は、図４に示される状態におけるグリップ支持部内に位置するグリップ部材を模式的に示す側面図である。

図４を参照すると、グリップ支持部１１８の第１の支持レール３０２は、スロット４０２（例えば「第１のスロット」）とスロット４０４（例えば「第２のスロット」）とを含んでいる。第１のスロット４０２及び第２のスロット４０４の一方又は双方は、第１の支持レール３０２を完全に貫通するものであってもよいし、あるいは第１の支持レール３０２の一部のみに延びるものであってもよい。しかしながら、一般的には、第１のスロット４０２は第１のピン３１４ａを収容するように構成され、第２のスロット４０４は第２のピン３１６ａを収容するように構成されている。一実施形態において、第１及び第２のピン３１４ａ及び３１６ａは、第１及び第２のスロット４０２及び４０４のそれぞれの内部でスライド可能となっている。第１のスロット４０２は第２のスロット４０４から分離しているものとして図示されているが、第１のスロット４０２が連続的に第２のスロット４０４まで延びていてもよいことは理解できよう。図示されてはいないが、第２の支持レール３０４は、第１のピン３１４ｂをスライド可能に収容するように構成された第１のスロット４０２のような第１のスロットと、第２のピン３１６ｂをスライド可能に収容するように構成された第２のスロット４０４のような第２のスロットとを含んでいてもよい。第１及び第２のピン３１４ａ及び３１６ａが第１及び第２のスロット４０２及び４０４のそれぞれの内部で移動するとき、グリップ部材１２０が第１の支持レール３０２及び第２の支持レール３０４に対して移動することができる。このように、第１及び第２の支持レール３０２及び３０４に形成された対応スロットの内部で第１及び第２のピン３１４及び３１６をスライド可能に収容することで、グリップ部材１２０をグリップ支持部１１８に対して移動可能に連結することができる。

それぞれの第１のピン３１４は第１のスロット４０２内でスライド可能に収容されているので、それぞれの第１のスロット４０２の形状は一般的に経路（本明細書では「移動経路」ともいう）を規定し、そこに収容された第１のピン３１４（及び第１のピン３１４が取り付けられたグリップ部材１２０の部分）は、この移動経路に沿って移動又はスライドすることができる。同様に、それぞれの第２のスロット４０４の形状は一般的にもう１つの移動経路を規定し、そこに収容された第２のピン３１６（及び第２のピン３１６が取り付けられたグリップ部材１２０の部分）は、この移動経路に沿って移動又はスライドすることができる。これにより、第１及び第２のスロット４０２及び４０４の相対的な形状、方向、及び位置、グリップ部材１２０に対する第１及び第２のピン３１４及び３１６の位置、及び第２のピン３１６に対する第１のピン３１４の位置に応じて、グリップ支持部１１８の第１及び第２の支持レール３０２及び３０４に対してグリップ部材１２０を移動させる（例えば並進運動、回転、又はそれらの組み合わせ）ことができる。グリップ支持部１１８に対してグリップ部材１２０が回転する実施形態においては、例えばエフェクタ本体軸１１３に対して０度より大きく１８０度未満の角度（例えば９０度）に配置された回転軸を中心としてグリップ部材１２０が回転可能とされる。グリップ支持部１１８に対してグリップ部材１２０が回転し並進運動する実施形態においては、（例えば矢印３１０により示される方向に沿って）その回転軸がそれ自身移動しつつ、グリップ部材１２０が上述のように回転可能とされる。上述したように構成されているので、第１及び第２のピン３１４及び３１６と第１及び第２のスロット４１２及び４０４は、グリップ支持部１１８に対するグリップ部材１２０の一般的な移動に基づいて、グリップ部材１２０の異なる部分の異なる移動経路に沿った移動を案内するように構成された「グリップガイド」としてまとめて考えることができる。

代表的に示されているように、第１のスロット４０２は、第１の部分４０２ａと、第２の部分４０２ｂと、第１の部分４０２ａから第２の部分４０２ｂに向けて連続的に延びる第３の部分４０２ｃとを含んでいてもよい。第１の部分４０２ａ、第２の部分４０２ｂ、及び第３の部分４０２ｃは異なる方向に沿って延びている。第１、第２及び第３の部分４０２ａ、４０２ｂ及び４０２ｃのそれぞれは（例えば、移動経路の直線部分を規定するように）直線的に示されているが、これらの部分４０２ａ、４０２ｂ及び４０２ｃの少なくとも１つを（例えば、移動経路の曲線部分を規定するように）曲線状にしてもよい。さらに、第１、第２及び第３の部分４０２ａ、４０２ｂ及び４０２ｃのそれぞれは異なる方向に延びるものとして示されているが、第１、第２及び第３の部分４０２ａ、４０２ｂ及び４０２ｃのうちの少なくとも１つが、第１、第２及び第３の部分４０２ａ、４０２ｂ及び４０２ｃのうちの他のものと平行に（すなわち同じ方向に）延びていてもよいことは理解できよう。最後に、第１のスロット４０２は、３つの部分４０２ａ、４０２ｂ及び４０２ｃを含むものとして示されているが、第１のスロット４０２がより多くの部分からなっていても、あるいはより少ない部分からなっていてもよいことは理解できよう。

代表的に示されているように、第２のスロット４０４は（例えば、まっすぐな移動経路を規定するように）直線状である。しかしながら、第１のスロット４０２に関して上記で述べたように、第２のスロット４０４が１つ以上の直線状又は曲線状の部分を含んでいてもよいことは理解できよう。第２のスロット４０４は、第１のスロット４０２の第３の部分４０２ｃと同じ方向に延びているように代表的に示されているが、第２のスロット４０４は任意の方向又は任意に組み合わされた方向に延びていてもよい。

次に、図４及び図５を参照すると、第１の支持レール３０２は下面４０６と上面４０８とを備えている。一実施形態では、この下面４０６は、エフェクタ本体１１２の下面２０２よりも上方又は下方にあってもよく、エフェクタ本体１１２の下面２０２と同一平面上にあってもよい。図示はされていないが、第２の支持レール３０４は、下面４０６のような下面と、上面４０８のような上面とを含んでいてもよい。第１及び第２の支持レール３０２及び３０４の下面４０６及び上面４０８は、グリップ支持部１１８の高さｈ１を規定している。一実施形態においては、グリップ支持部の高さｈ１は、約１０ｍｍ〜約４ｍｍの範囲内にあり得る。他の実施形態においては、グリップ支持部の高さｈ１は約６ｍｍであり得る。グリップ部材１２０がテープフレームアセンブリ１０６から離脱すると、グリップ部材１２０は、第１及び第２の支持レール３０２及び３０４の下面４０６と上面４０８の間に位置する。しかしながら、他の実施形態においては、グリップ部材１２０がテープフレームアセンブリ１０６から離脱した際に、グリップ部材１２０の任意の部分が第１及び第２の支持レール３０２及び３０４の少なくとも一方の下面の下方及び／又は上面４０８の上方に位置していてもよい。

図５を参照すると、グリップ部材１２０は、第２の端部３０６に配置されたグリッパ５０２を含んでいてもよい。グリッパ５０２は、グリップアクチュエータ１２２によってグリップ機構１２０が動かされたときに、テープフレームアセンブリ１０６のフレーム１０８に係合（例えば、物理的に接触）するように構成される１つ以上の係合面５０２ａを有していてもよい。一実施形態において、グリッパ５０２は、フレーム１０８の一部を内部に収容可能なグリップ空間５０６を規定するのを助けるオプションのリップ部５０４を含んでいてもよい。

図６及び図７は、図３から図５に関して代表的に述べたグリップ機構を用いてテープフレームアセンブリに係合させる方法の一実施形態を模式的に示す側面図である。

エンドエフェクタ１００に隣接する保持領域６０１内に配置されたテープフレームアセンブリ１０６のフレーム１０８に係合するようにグリップ部材１２０を動かすことができる。一実施形態においては、グリップアクチュエータ１２２を作動させて図６に示される矢印６０２により示される方向に結合アーム３０８を動かすことによってフレーム１０８に係合させることができる。結合アーム３０８を移動させる際に、グリップ部材１２０も矢印６０２に示される方向に移動される。グリップ部材１２０が移動するときに、各第１のスロット４０２の第１の部分４０２ａが、対応する第１のピン３１４の移動を第１のスロット４０２の第３の部分４０２ｃに向けて（例えば、矢印６０４により示される方向に沿って）案内する。同様に、各第２のスロット４０４は、対応する第２のピン３１６の移動を（例えば、矢印６０２により示される方向に沿って）案内する。第１及び第２のピン３１４及び３１６の動きが案内されることにより、グリップ部材１２０がグリップ支持部１１８に対して並進運動及び回転し、グリッパ５０２がエフェクタ本体１１２の下面２０２の下方（又は第１及び第２の支持レール３０２及び３０４の一方又は双方の下面の下方）に位置し、フレーム１０８から離間するように、（例えば、下面２０２からフレーム１０８に向かって延びる）第１の係合経路に沿って移動する。

図７を参照すると、矢印６０２によって示される方向に結合アーム３０８及びグリップ部材１２０をさらに移動させると、各第１のスロット４０２の第３の部分４０２ｃが、対応する第１のピン３１４の移動を第１のスロット４０２の第２の部分４０２ｂに向けて（例えば、矢印７０２により示される方向に）案内する。同様に、各第２のスロット４０４は、対応する第２のピン３１６の移動を（例えば、矢印６０２により示される方向に）案内し続ける。図示された実施形態においては、矢印７０２及び６０２は同じ方向を示している。しかしながら、矢印７０２及び６０２によって異なる方向を示すことができることは理解できよう。図示されたように第１及び第２のピン３１４及び３１６の移動が案内されることにより、グリッパ５０２がフレーム１０８に隣接する第１の係合位置までグリッパ５０２が第１の係合経路に沿って動きつづけるように、グリップ部材１２０はグリップ支持部１１８に対して並進運動をする。第１の係合位置では、フレーム１０８は、グリッパ５０２とガイドポスト１１４との間に位置している。一実施形態においては、グリッパ５０２が第１の係合位置にあるときに係合面５０２ａのうち１つ以上の面がフレーム１０８に接触するようにグリップ部材１２０を移動させることができる。他の実施形態においては、グリッパ５０２が第１の係合位置にあるときにグリッパ５０２の係合面５０２ａがフレーム１０８をガイドポスト１１４に押圧してその状態を維持するようにグリップ部材１２０を移動させることができる。

図８は、図３から図５に関して代表的に述べたグリップ機構を用いてテープフレームアセンブリに係合させる方法の他の実施形態を模式的に示す側面図である。

図８を参照すると、図７に示される第１の係合位置からフレーム１０８を離脱させる代わりに、結合アーム３０８及びグリップ部材１２０を矢印６０２により示される方向にさらに移動させて、各第１のスロット４０２の第２の部分４０２ｂが、対応する第１のピン３１４の移動を（例えば、矢印８０２により示される方向に）案内するようにしてもよい。同様に、各第２のスロット４０４は、対応する第２のピン３１６の移動を矢印６０２により示される方向に案内し続けることができる。図示されたように第１及び第２のピン３１４及び３１６の移動が案内されることにより、グリッパ５０２がフレーム１０８に隣接する第２の係合位置までグリッパ５０２が（例えば、第１の係合位置から下面２０２に向かって延びる）第２の係合経路に沿って動き、フレーム１０８のエッジ（例えば第１のエッジ）又は他の周縁部（例えば第１の周縁部）をグリッパ５０２によってエフェクタ本体１１２の下面２０２に向かって動かして押圧できるように、グリップ部材１２０はグリップ支持部１１８に対して並進運動をし、回転する。ガイドポスト１１４が図２Ａに関して述べたように設けられる場合には、フレーム１０８の他のエッジ（例えば第２のエッジ）又は他の周縁部（例えば第２の周縁部）を確実にエフェクタ本体１１２の下面２０２から離間させることができる。その結果、グリッパ５０２が第２の係合位置にあるときに、テープフレームアセンブリ１０６をエフェクタ本体１１２の下面２０２に対して確実にかつ繰り返して傾斜させることができる。しかしながら、ガイドポスト１１４が図２Ｂに関して述べたように設けられる場合には、フレーム１０８の第２のエッジ又は第２の周縁部をエフェクタ本体１１２の下面２０２に近接又は接触させることができる。

上述したように、グリップ部材１２０の第１及び第２の端部３０６ａ及び３０６ｂの移動が案内されることにより、グリッパ５０２を係合位置（例えば、図７に示される第１の係合位置又は図８に示される第２の係合位置）に移動させることができる。上述した説明から、さらに、フレーム１０８とおそらく基板１０４が、グリッパ５０２とエフェクタ本体１１２（及び／又はガイドポスト１１４）との間に位置して維持されるように、第１及び第２の係合位置のそれぞれが、エフェクタ本体１１２及びガイドポスト１１４に対して相対的に位置していることが理解できよう。グリッパが図７又は図８に代表的に示されるような第１又は第２の係合位置にあるときに上述のようにフレーム１０８が維持されると、グリップ部材１２０はテープフレームアセンブリ１０６に係合する。したがって、テープフレームアセンブリ１０６上に保持された基板（図示せず）をエンドエフェクタ１００によって操作することができる。グリップ部材１２０をフレーム１０８から離脱させるために、グリップアクチュエータ１２２を動作させて、グリッパ５０２が最終的に図６に示される位置に移動されるように、結合アーム３０８を矢印６０２により示される方向とは反対の方向に移動することができる。必要に応じて、さらにグリップアクチュエータ１２２を動作させて、グリッパ５０２が図５に示される位置に移動されるように、結合アーム３０８を矢印６０２により示される方向とは反対の方向に移動することができる。グリップ部材１２０がテープフレームアセンブリ１０６のフレーム１０８から離脱すると、基板（図示せず）をエンドエフェクタ１００から取り外すことができる。

図９及び図１０は、それぞれ、一実施形態における複数のグリップ機構を有するエンドエフェクタを模式的に示す上面図及び側面図である。

図９及び図１０を参照すると、エンドエフェクタ９００のようなエンドエフェクタは、テープフレームアセンブリ１０６のようなテープフレームアセンブリによって支持された基板１０４を操作（例えば、保持、解放、移動など）するように構成することができる。図９及び図１０に示される基板１０４及びテープフレームアセンブリ１０６は、図１及び図２に関して述べた基板１０４及びテープフレームアセンブリ１０６と同一であってもよいし、これらとは異なっていてもよい。しかしながら、上記説明から、直接（例えば、基板１０４がテープフレームアセンブリに支持されていない状態で）基板１０４を操作するようにエンドエフェクタ９００を構成してもよいことは理解できよう。エンドエフェクタ９００は、エフェクタ本体９１２と、１つ以上のガイドポスト９１４と、グリップ機構９１６ａ及び９１６ｂ（本明細書ではこれらを総称してグリップ機構９１６という）のような複数のグリップ機構とを含んでいてもよい。

一般的に、エフェクタ本体９１２は、基板１０４の主面のうちの１つの面に沿って延びるもので、基端部９１２ａと、エフェクタ本体９１２の軸９１３（本明細書では「エフェクタ本体軸」ともいう）に沿って基端部９１２ａから離れた末端部９１２ｂとを含んでいる。エフェクタ本体１１２と同様に、エフェクタ本体９１２は、基端部９１２ａがロボット（図示せず）により支持され、末端部９１２ｂが何にも支持されない片持ち体として設けることができる。図示された実施形態では、エフェクタ本体９１２は基板１０４の上面１０４ａを縦断して延びる。

エフェクタ本体９１２は、第１のエフェクタ本体部９０９と第２のエフェクタ本体部９１１とを含み得る。一般的に、第２のエフェクタ本体部９１１の上面は、第１のエフェクタ本体部９０９の上面に対して凹んでいる。したがって、エフェクタ本体９１２の第１のエフェクタ本体部９０９は第１の厚さｔ１を有していてもよく、エフェクタ本体９１２の第２のエフェクタ本体部９１１はｔ１より薄い第２の厚さｔ２を有していてもよい。（代表的に示されているように）第１の厚さｔ１は、グリップ支持部の高さｈ１より小さくすることができ、あるいは、グリップ支持部の高さｈ１以上にすることができる。一実施形態においては、第１の厚さｔ１を約１０ｍｍ〜約４ｍｍの範囲とすることができる。他の実施形態においては、第１の厚さｔ１を約６ｍｍにすることができる。一実施形態においては、第２の厚さｔ２を約５ｍｍ〜約１ｍｍの範囲とすることができる。他の実施形態においては、第２の厚さｔ２を約２ｍｍにすることができる。

基板１０４の操作中にテープフレームアセンブリ１０６がエンドエフェクタ１００に対して適切に位置合わせされるのを確実にするために、各ガイドポスト９１４がフレーム１０８の一部（例えば、フレーム１０８の位置合わせノッチ９１４ａ）と係合するように構成することができる。ガイドポスト９１４は、上述したガイドポスト１１４と同一であってもよく、あるいはこれらと異なるものであってもよい。

グリップ機構１１６に関して代表的に述べたように各グリップ機構９１６を設けて動作させてもよい。代表的に示されるように、各グリップ機構９１６のグリップ支持部１１８は、エフェクタ本体軸１１３に沿って延びているが、エフェクタ本体軸からはずれている。しかしながら、他の実施形態において、グリップ支持部１１８は、エフェクタ本体軸９１３とは異なる方向に延びていてもよい。代表的に示されているように、各グリップ機構９１６のグリップ支持部１１８は、基板１０４及びテープフレームアセンブリ１０６の直径又は最大幅に沿って延びているが、これからはずれている。しかしながら、他の実施形態においては、１つ以上のグリップ機構９１６のそれぞれのグリップ支持部１１８は、基板１０４及び／又はテープフレームアセンブリ１０６の直径又は最大幅とは異なる方向に沿って延びていてもよい。図示されてはいないが、各グリップ機構９１６のグリップ部材１２０は、基板１０４の操作中にテープフレームアセンブリ１０６がエンドエフェクタ９０に対して適切に位置合わせされるのを確実にするように、フレーム１０８に係合するように構成された位置合わせ特徴部を含んでいてもよい。

図１１は、基板カセットに挿入された図９及び図１０に示されるエンドエフェクタを示す側面図である。

図１１を参照すると、複数のテープフレームアセンブリ１０６（例えば、第１のテープフレームアセンブリ１０６ａ、第２のテープフレームアセンブリ１０６ｂ、及び第３のテープフレームアセンブリ１０６ｃ）を収容するように構成された棚システム１１０２を備えたカセット１１００にエンドエフェクタ９００を挿入することができる。図１１は３つのテープフレームアセンブリのみを示しているが、任意の数のテープフレームアセンブリ１０６を支持するように棚システム１１０２を構成してもよいことは理解できよう。カセット１１００内に収容可能なテープフレームアセンブリ１０６の数を増やすために、複数のテープフレームアセンブリ１０６を比較的小さいピッチ（例えば１０ｍｍ）で収容するように棚システム１１０２を構成することができる。このため、隣接するテープフレームアセンブリ１０６のフレーム１０８間の距離を約１０ｍｍ以下にすることができる。しかしながら、代表的に示されるように、各テープフレームアセンブリ１０６の支持フィルム１１０は、支持する基板（図示せず）の重量のために約３ｍｍたわむことがある。このため、あるテープフレームアセンブリ１０６（例えば第２のテープフレームアセンブリ１０６ｂ）の支持フィルム１１０と隣接するテープフレームアセンブリ１０６（例えば第３のテープフレームアセンブリ１０６ｃ）のフレーム１０８との間の距離が約７ｍｍ以下になり得る。

カセット１１００内に収容されたテープフレームアセンブリ１０６上に保持された基板を取り除くために、ロボット（図示せず）を操作してエンドエフェクタ（例えばエンドエフェクタ９００）をカセット１１００に（例えば第２のテープフレームアセンブリ１０６ｂと第３のテープフレームアセンブリ１０６ｃとの間に）挿入することができる。エンドエフェクタ９００の挿入の際には、第３のテープフレームアセンブリ１０６ｃのフレーム１０８の上にエフェクタ本体９１２が配置される。代表的に示されるように、第２のエフェクタ本体部９１１は、最大限にたわんだ第２のテープフレームアセンブリ１０６ｂの支持フィルム１１０の下方に配置され、第１のエフェクタ本体部９０９は、最大限にたわんだ第２のテープフレームアセンブリ１０６ｂの支持フィルム１１０の部分の背後に配置される。次に、第１及び第２のグリップ機構９１６ａ、９１６ｂのそれぞれのグリップ部材１２０は、（例えば、図５〜図８のいずれかに関して代表的に述べたような方法で）選択的に第３のテープフレームアセンブリ１０６ｃのフレーム１０８に係合するように作動される。第３のテープフレームアセンブリ１０６ｃのフレーム１０８に係合したときに、ロボットを動作させてカセット１１００からエンドエフェクタ９００を取り除くことができる。そして、第３のテープフレームアセンブリ１０６ｃに保持された基板は、所望の方法によりエンドエフェクタ９００を用いて操作することができる。上述した手順を逆の順番に行うことで、テープフレームアセンブリ１０６上に保持された基板をカセット１１００に挿入できることは理解できよう。

様々な装置及び方法について述べたが、本発明の実施形態は、多くの異なる形態で実現及び実施できることは理解できよう。例えば、エンドエフェクタは、エンドエフェクタ本体と、エフェクタ本体に対して移動可能なグリップ部材と、エフェクタ本体に連結されたガイドポストとを含んでいてもよい。グリップ部材及びガイドポストは、基板や基板を支持するテープフレームアセンブリなどの物体の異なる部分に係合するように構成される。グリップ部材が係合する物体の第１の部分が、ガイドポストが係合する物体の第２の部分よりもエフェクタ本体に近くなるように、グリップ部材及びガイドポストを構成することができる。

上記は、本発明の実施形態を説明するものであって、本発明を限定するものと解釈すべきではない。本発明のいくつかの例示的な実施形態について述べたが、本発明の新規な教示及び効果から実質的に逸脱することなくそれらの例示の実施形態の中で多くの改変が可能であることは、当業者であれば容易に理解できよう。したがって、それらすべての改変は、特許請求の範囲によって画定される本発明の範囲に含まれることを意図されているものである。その結果、上記は、本発明を説明するものであって、開示された本発明の特定の例示の実施形態に限定されるものと解釈すべきではなく、開示された例示の実施形態及び他の実施形態に対する改変は、添付した特許請求の範囲に含まれることを意図されているものであることは理解されよう。本発明は、以下の特許請求の範囲とこれに含まれるであろう均等物により画定される。

Claims (25)

1. 第１の端部と、前記第１の端部とは反対側の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部との間に延びる基部面とを有するエフェクタ本体を含むエンドエフェクタであって、前記基部面に隣接した保持領域内に配置された物体を操作可能なエンドエフェクタのためのグリップ機構であって、
   前記エフェクタ本体に連結されるように構成され、グリッパを含むグリップ部材を備え、前記グリップ部材は、前記第１の端部から前記第２の端部に向かって第１の方向に移動可能であり、前記グリップ部材の第１の部分は、前記グリップ部材の前記第１の方向の移動に基づいて第１の移動経路に沿って前記エフェクタ本体に対して移動可能であり、
   前記グリップ部材に作用的に連結されるグリップガイドを備え、前記グリップガイドは、前記グリップ部材の前記第１の方向の移動に基づいて、前記グリップ部材の第２の部分の第２の移動経路に沿った移動を案内するように構成され、
   前記第１及び第２の部分の前記第１及び第２の移動経路に沿った移動に基づいて、前記グリッパが第１の係合経路に沿って第１の係合位置まで移動できるように、前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成され、前記第１の係合経路は前記エフェクタ本体の前記基部面から前記保持領域に向かって延びており、
   前記第１の係合位置では、前記保持領域内に配置された物体に係合するように前記グリッパが構成されている、
   グリップ機構。
2. 前記グリップ部材の第１の部分は、前記グリップ部材の前記第２の部分に対して移動しない、請求項１のグリップ機構。
3. 前記グリッパが前記エフェクタ本体に対して並進運動できるように前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成される、請求項１のグリップ機構。
4. 前記グリッパが前記エフェクタ本体に対して回転できるように前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成される、請求項３のグリップ機構。
5. 前記グリッパが前記エフェクタ本体に対して回転できるように前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成される、請求項１のグリップ機構。
6. 前記グリッパは、前記グリップ部材が移動可能な前記第１の方向に対して０度より大きく１８０度未満の角度で配置された回転軸を中心として前記エフェクタ本体に対して回転可能である、請求項５のグリップ機構。
7. 前記第１の移動経路の少なくとも一部が、前記第２の移動経路の少なくとも一部と平行ではない、請求項１のグリップ機構。
8. 前記第１の移動経路の少なくとも一部が、前記第２の移動経路の少なくとも一部と平行である、請求項１のグリップ機構。
9. 前記第１の移動経路及び前記第２の移動経路の少なくとも一方が直線部を含んでいる、請求項１のグリップ機構。
10. 前記第２の移動経路は、異なる方向に延びる少なくとも２つの直線部を含んでいる、請求項９のグリップ機構。
11. 前記第１の移動経路及び前記第２の移動経路の少なくとも一方が曲線部を含んでいる、請求項１のグリップ機構。
12. 前記グリップガイドは、
    前記エフェクタ本体に連結されるように構成された第１の支持レールと、
    前記第１の支持レールに形成された第１のスロットと、
    前記グリップ部材の前記第２の部分に連結され、前記第１のスロット内にスライド可能に収容された第１のピンと、
    を備えた、請求項１のグリップ機構。
13. 前記グリップガイドは、
    前記第１の支持レールと離間した第２の支持レールと、
    前記第２の支持レールに形成された第３のスロットと、
    を備え、
    前記ガイド部材は前記第２の支持レールと前記第１の支持レールとの間に配置され、前記第１のピンは前記第３のスロット内にスライド可能に収容される、
    請求項１２のグリップ機構。
14. 前記グリップガイドは、さらに、
    前記第１の支持レールに形成された第２のスロットと、
    前記グリップ部材の前記第１の部分に連結され、前記第２のスロット内にスライド可能に収容された第２のピンと、
    を備えた、請求項１２のグリップ機構。
15. 前記第１及び第２の部分の前記第１及び第２の移動経路に沿った移動に基づいて、前記グリッパが第２の係合経路に沿って第２の係合位置まで移動できるように、前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成され、前記第２の係合経路は前記第１の係合位置から前記エフェクタ本体の前記基部面に向かって延びている、請求項１のグリップ機構。
16. 前記グリップ部材は、前記第２の端部から前記第１の端部に向かって第２の方向に移動可能であり、
    前記グリッパは、前記グリップ部材の前記第２の方向の移動に基づいて、前記保持領域内の係合された物体を離脱するように構成される、
    請求項１のグリップ機構。
17. 隣接する保持領域内に配置された基板を操作可能なエンドエフェクタであって、
    第１の端部と、前記第１の端部とは反対側の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部との間に延び、前記保持領域に隣接した基部面とを有するエフェクタ本体と、
    グリップ機構と、
    を備え、
    前記グリップ機構は、前記エフェクタ本体に連結され、グリッパを含むグリップ部材を備え、前記グリップ部材は、前記第１の端部から前記第２の端部に向かって第１の方向に移動可能であり、前記グリップ部材の第１の部分は、前記グリップ部材の前記第１の方向の移動に基づいて第１の移動経路に沿って前記エフェクタ本体に対して移動可能であり、
    前記グリップ機構は、前記グリップ部材に作用的に連結されるグリップガイドを備え、前記グリップガイドは、前記グリップ部材の前記第１の方向の移動に基づいて、前記グリップ部材の第２の部分の第２の移動経路に沿った移動を案内するように構成され、
    前記第１及び第２の部分の前記第１及び第２の移動経路に沿った移動に基づいて、前記グリッパが第１の係合経路に沿って第１の係合位置まで移動できるように、前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成され、前記係合経路は前記エフェクタ本体の前記基部面から前記保持領域に向かって延びており、
    前記グリッパが前記第１の係合位置にあるときに、基板が前記保持領域内に保持可能となっている、
    エンドエフェクタ。
18. さらに複数のグリップ機構を備えた、請求項１７のエンドエフェクタ。
19. 前記第１及び第２の部分の前記第１及び第２の移動経路に沿った移動に基づいて、前記グリッパが第２の係合経路に沿って第２の係合位置まで移動できるように、前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成され、前記第２の係合経路は前記第１の係合位置から前記エフェクタ本体の前記基部面に向かって延びている、請求項１７のエンドエフェクタ。
20. 前記グリッパが前記エフェクタ本体に対して並進運動できるか、前記エフェクタ本体に対して回転できるか、あるいはその両方が可能であるように前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成される、請求項１７のエンドエフェクタ。
21. 保持領域内に配置された基板を操作可能なエンドエフェクタであって、
    前記保持領域に隣接するエフェクタ本体と、
    前記エフェクタ本体に連結され、グリッパを含むグリップ部材を備えたグリップ部材であって、第１の軸に沿って移動可能なグリップ部材と、
    前記グリップ部材に作用的に連結されたグリップガイドであって、前記グリップ部材の前記第１の軸に沿った移動に基づいて、前記第１の軸に対して０度より大きく１８０度未満の角度で配置された第２の軸を中心として第１の係合位置まで前記グリップ部材を回転するように構成されたグリップガイドと、
    を備え、
    前記グリップ部材の移動に基づいて、前記グリッパが第１の係合経路に沿って第１の係合位置まで移動できるように、前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成され、前記係合経路は前記エフェクタ本体の前記基部面から前記保持領域に向かって延びており、
    前記グリッパが前記第１の係合位置にあるときに、基板が前記保持領域内に保持可能となっている、
    エンドエフェクタ。
22. 前記グリップ部材の移動に基づいて、前記グリッパが第２の係合経路に沿って第２の係合位置まで移動できるように、前記グリップ部材及び前記グリップガイドが構成され、前記第２の係合経路は前記第１の係合位置から前記エフェクタ本体の前記基部面に向かって延びている、請求項２１のエンドエフェクタ。
23. 基板を操作する方法であって、
    第１の端部と、前記第１の端部とは反対側の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部との間に延びるエフェクタ本体とを備えたエフェクタ本体と、
    前記エフェクタ本体に連結され、グリッパを備えたグリップ部材と、
    を含むエンドエフェクタを基板上に配置し、
    前記グリップ部材を前記第１の端部から前記第２の端部に向かって第１の方向に移動し、この移動の際には、
    前記エフェクタ本体の前記基部面から前記保持領域に向かって延びる第１の係合経路に沿って前記グリッパを第１の係合位置まで移動し、
    前記グリッパが前記第１の係合位置にあるときに、前記基板を前記保持領域内に保持する、
    方法。
24. 前記グリップ部材を前記第１の方向に移動する際に、さらに、
    前記第１の係合位置から前記エフェクタ本体の前記基部面に向かって延びる第２の係合経路に沿って前記グリッパを第２の係合位置まで移動する、
    請求項２３の方法。
25. さらに、前記保持領域から前記基板を解放する、請求項２３の方法。

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