JP2002334916A - ウェーハリングの供給返送装置 - Google Patents
ウェーハリングの供給返送装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ダイボンディング装置によるボンディング中に
使用済のウェーハリングのウェーハシートの収縮動作を
行うことができ、かつ装置及び制御系が簡素化し、装置
の低廉化及び小型化が図れる。 【解決手段】ウェーハリング３を収納したマガジン１
０、ウェーハリング３を保持する治具ホルダ５、使用済
のウェーハリング３のウェーハシートを収縮させるドラ
イヤ３０、ウェーハリング３をチャックして搬送するチ
ャック部１５の他に、ウェーハリング３を支持するウェ
ーハ支持溝が上下に２個設けられたバッファ部２１と、
チャック部１５の上部又は下部に設けられウェーハリン
グ３を押すウェーハ押し部材３１を有し、チャック部１
５はバッファ部２１の一方のウェーハ支持溝に対応して
設けられ、ウェーハ押し部材３１はバッファ部２１の他
方のウェーハ支持溝に対応して設けられている。
使用済のウェーハリングのウェーハシートの収縮動作を
行うことができ、かつ装置及び制御系が簡素化し、装置
の低廉化及び小型化が図れる。 【解決手段】ウェーハリング３を収納したマガジン１
０、ウェーハリング３を保持する治具ホルダ５、使用済
のウェーハリング３のウェーハシートを収縮させるドラ
イヤ３０、ウェーハリング３をチャックして搬送するチ
ャック部１５の他に、ウェーハリング３を支持するウェ
ーハ支持溝が上下に２個設けられたバッファ部２１と、
チャック部１５の上部又は下部に設けられウェーハリン
グ３を押すウェーハ押し部材３１を有し、チャック部１
５はバッファ部２１の一方のウェーハ支持溝に対応して
設けられ、ウェーハ押し部材３１はバッファ部２１の他
方のウェーハ支持溝に対応して設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハリングの
供給返送装置に関する。
供給返送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイボンディング装置におけるウェーハ
リングの供給返送装置は、一般的にウェーハリングを一
定ピッチで収納するマガジンと、このマガジンを上下動
させるエレベータと、マガジンに収納されたウェーハリ
ングを１個ずつ搬送して治具ホルダに供給すると共に、
ダイがピックアップされた後の使用済のウェーハリング
をマガジンの空になっている収納部に返送するウェーハ
リング搬送手段とを備えている。なお、ウェーハリング
には、ウェーハシートの外周部が取付けられ、ウェーハ
シートには縦横に分割されてダイとなったウェーハが貼
り付けられている。
リングの供給返送装置は、一般的にウェーハリングを一
定ピッチで収納するマガジンと、このマガジンを上下動
させるエレベータと、マガジンに収納されたウェーハリ
ングを１個ずつ搬送して治具ホルダに供給すると共に、
ダイがピックアップされた後の使用済のウェーハリング
をマガジンの空になっている収納部に返送するウェーハ
リング搬送手段とを備えている。なお、ウェーハリング
には、ウェーハシートの外周部が取付けられ、ウェーハ
シートには縦横に分割されてダイとなったウェーハが貼
り付けられている。
【０００３】治具ホルダに供給されたウェーハリング
は、ダイ同士の間隔を拡げるために、ウェーハシートが
拡張器により引き伸ばされる。このため、前記使用済の
ウェーハリングのウェーハシートは弛んだ状態にある。
そこで、使用済のウェーハリングをそのままマガジンに
返送すると、マガジンに収納されている隣接する上又は
下のウェーハリングと干渉するので、マガジンに返送す
る前に、ウェーハシートに温風を吹き付けて該ウェーハ
シートを収縮させることが行なわれている。
は、ダイ同士の間隔を拡げるために、ウェーハシートが
拡張器により引き伸ばされる。このため、前記使用済の
ウェーハリングのウェーハシートは弛んだ状態にある。
そこで、使用済のウェーハリングをそのままマガジンに
返送すると、マガジンに収納されている隣接する上又は
下のウェーハリングと干渉するので、マガジンに返送す
る前に、ウェーハシートに温風を吹き付けて該ウェーハ
シートを収縮させることが行なわれている。
【０００４】このように、ウェーハシートに温風を吹き
付け、該ウェーハシートを収縮させてからマガジンに戻
し、その後マガジンより次のウェーハリングを取り出す
ので、時間の無駄があった。このような問題を解決する
ものとして、例えば特開２０００−２７７５４５号公報
に示すように、ダイボンディング装置によるボンディン
グ中に使用済のウェーハリングのウェーハシートの収縮
動作を行い、ダイボンディング装置の稼働率の向上を図
ったものが提案されている。
付け、該ウェーハシートを収縮させてからマガジンに戻
し、その後マガジンより次のウェーハリングを取り出す
ので、時間の無駄があった。このような問題を解決する
ものとして、例えば特開２０００−２７７５４５号公報
に示すように、ダイボンディング装置によるボンディン
グ中に使用済のウェーハリングのウェーハシートの収縮
動作を行い、ダイボンディング装置の稼働率の向上を図
ったものが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、使用
済のウェーハリングのウェーハシートの収縮のために、
マガジンの側方の上方に設けられ、上部待機場昇降部で
上下動させられるホットプレート上部待機部と、マガジ
ンの前方側で該マガジンよりウェーハリングを取り出す
高さの下方に配設された下部ウェーハ待機場と、この下
部ウェーハ待機場のウェーハリングをマガジンに戻す下
部Ｘ軸ハンドをＸ軸方向に移動させる下部Ｘ軸スライダ
機構とを必要とする。このように多くの機構部を必要と
するので、装置が複雑で高価となると共に、大型化す
る。
済のウェーハリングのウェーハシートの収縮のために、
マガジンの側方の上方に設けられ、上部待機場昇降部で
上下動させられるホットプレート上部待機部と、マガジ
ンの前方側で該マガジンよりウェーハリングを取り出す
高さの下方に配設された下部ウェーハ待機場と、この下
部ウェーハ待機場のウェーハリングをマガジンに戻す下
部Ｘ軸ハンドをＸ軸方向に移動させる下部Ｘ軸スライダ
機構とを必要とする。このように多くの機構部を必要と
するので、装置が複雑で高価となると共に、大型化す
る。
【０００６】またその動作は、ウェーハリングを上部Ｘ
軸ハンドで保持して治具ホルダより取外し、ホットプレ
ート上部待機部にて待機させる。次にホットプレート上
部待機部を下降させてウェーハリングをホットプレート
上に置くと共に、マガジンを下降させてホットプレート
を下部ウェーハ待機場の高さで停止させる。またマガジ
ンを上昇させて空の元の収納部を下部ウェーハ待機場の
高さにする。そして、ホットプレートで加熱してウェー
ハシートが収縮したウェーハリングを下部Ｘ軸ハンドで
マガジンの所定の収納部に収納する。このように、非常
に多くの動作を必要とするので、制御系が複雑となる。
軸ハンドで保持して治具ホルダより取外し、ホットプレ
ート上部待機部にて待機させる。次にホットプレート上
部待機部を下降させてウェーハリングをホットプレート
上に置くと共に、マガジンを下降させてホットプレート
を下部ウェーハ待機場の高さで停止させる。またマガジ
ンを上昇させて空の元の収納部を下部ウェーハ待機場の
高さにする。そして、ホットプレートで加熱してウェー
ハシートが収縮したウェーハリングを下部Ｘ軸ハンドで
マガジンの所定の収納部に収納する。このように、非常
に多くの動作を必要とするので、制御系が複雑となる。
【０００７】本発明の課題は、ダイボンディング装置に
よるボンディング中に使用済のウェーハリングのウェー
ハシートの収縮動作を行うことができ、かつ装置及び制
御系が簡素化し、装置の低廉化及び小型化が図れるウェ
ーハリングの供給返送装置を提供することにある。
よるボンディング中に使用済のウェーハリングのウェー
ハシートの収縮動作を行うことができ、かつ装置及び制
御系が簡素化し、装置の低廉化及び小型化が図れるウェ
ーハリングの供給返送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、ウェーハリングを一定ピッチで収納
しエレベータに載置されて上下動するマガジンと、ウェ
ーハリングを保持してマガジンの前方の交換位置とピッ
クアップ位置に移動させられる治具ホルダと、マガジン
の前方近傍に設けられ上方に向けて熱風を吹き出すドラ
イヤと、ウェーハリングを支持するウェーハ支持溝が上
下に２個設けられたバッファ部を有し、マガジンの上方
及び前方に移動させられるバッファ機構と、前記一方の
ウェーハ支持溝に対応して設けられ、ウェーハリングを
チャックして搬送するチャック部及び他方のウェーハ支
持溝に対応して設けられ、ウェーハリングを押すウェー
ハ押し部材を有するウェーハトランスファ機構とを備
え、治具ホルダがピックアップ位置に移動している時
に、マガジン内の未使用のウェーハリングを前記チャッ
ク部でチャックして取り出して前記バッファ部の一方の
ウェーハ支持溝に支持させ、治具ホルダが交換位置に移
動した時に、該治具ホルダに保持された使用済のウェー
ハリングを前記ウェーハ押し部材で押して前記バッファ
部の他方のウェーハ支持溝に支持させ、バッファ部内の
前記未使用のウェーハリングを前記チャック部でチャッ
クして前記治具ホルダに保持させ、治具ホルダがピック
アップ位置に移動している時に、前記バッファ部が前記
ドライヤの前方に移動した後、前記チャック部がバッフ
ァ部内の使用済のウェーハリングをチャックして該使用
済のウェーハリングを前記マガジンの空の収納部に収納
させることを特徴とする。
の本発明の手段は、ウェーハリングを一定ピッチで収納
しエレベータに載置されて上下動するマガジンと、ウェ
ーハリングを保持してマガジンの前方の交換位置とピッ
クアップ位置に移動させられる治具ホルダと、マガジン
の前方近傍に設けられ上方に向けて熱風を吹き出すドラ
イヤと、ウェーハリングを支持するウェーハ支持溝が上
下に２個設けられたバッファ部を有し、マガジンの上方
及び前方に移動させられるバッファ機構と、前記一方の
ウェーハ支持溝に対応して設けられ、ウェーハリングを
チャックして搬送するチャック部及び他方のウェーハ支
持溝に対応して設けられ、ウェーハリングを押すウェー
ハ押し部材を有するウェーハトランスファ機構とを備
え、治具ホルダがピックアップ位置に移動している時
に、マガジン内の未使用のウェーハリングを前記チャッ
ク部でチャックして取り出して前記バッファ部の一方の
ウェーハ支持溝に支持させ、治具ホルダが交換位置に移
動した時に、該治具ホルダに保持された使用済のウェー
ハリングを前記ウェーハ押し部材で押して前記バッファ
部の他方のウェーハ支持溝に支持させ、バッファ部内の
前記未使用のウェーハリングを前記チャック部でチャッ
クして前記治具ホルダに保持させ、治具ホルダがピック
アップ位置に移動している時に、前記バッファ部が前記
ドライヤの前方に移動した後、前記チャック部がバッフ
ァ部内の使用済のウェーハリングをチャックして該使用
済のウェーハリングを前記マガジンの空の収納部に収納
させることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図に従っ
て説明する。図１に示すように、リードフレーム１は、
ガイドレール２にガイドされ、図示しないフレームフィ
ーダで間欠的に移送される。ウェーハリング３には、ウ
ェーハシートの外周部が取付けられ、ウェーハシートに
は縦横に分割されてダイ４ａとなったウェーハ４が貼り
付けられている。ウェーハリング３は、治具ホルダ５に
位置決め固定されており、治具ホルダ５は、ＸＹテーブ
ル６によりＸＹ軸方向に移動させられ、また図示しない
上下駆動手段で上下動させられる。ダイ４ａは、ボンデ
ィング装置７により１個ずつピックアップされ、リード
フレーム１にボンディングされる。以上は周知の構造で
あるので、これ以上の説明は省略する。なお、リードフ
レーム１は、基板、テープ等でもよい。
て説明する。図１に示すように、リードフレーム１は、
ガイドレール２にガイドされ、図示しないフレームフィ
ーダで間欠的に移送される。ウェーハリング３には、ウ
ェーハシートの外周部が取付けられ、ウェーハシートに
は縦横に分割されてダイ４ａとなったウェーハ４が貼り
付けられている。ウェーハリング３は、治具ホルダ５に
位置決め固定されており、治具ホルダ５は、ＸＹテーブ
ル６によりＸＹ軸方向に移動させられ、また図示しない
上下駆動手段で上下動させられる。ダイ４ａは、ボンデ
ィング装置７により１個ずつピックアップされ、リード
フレーム１にボンディングされる。以上は周知の構造で
あるので、これ以上の説明は省略する。なお、リードフ
レーム１は、基板、テープ等でもよい。
【００１０】ウェーハリング３を一定ピッチで積層する
形で収納したマガジン１０は、図示しないエレベータに
よって上下駆動される。このマガジン１０内のウェーハ
リング３を取り出し及び返送するためのウェーハトラン
スファ機構１１を有する。ウェーハトランスファ機構１
１は、Ｘ軸方向に伸びて配設されたガイドレール１２に
スライダ１３が摺動自在に嵌挿されており、スライダ１
３にはトランスファアーム１４が固定されている。トラ
ンスファアーム１４は、図示しないトランスファ駆動手
段でガイドレール１２に沿って移動させられる。トラン
スファアーム１４にはウェーハリング３をチャックする
チャック部１５が設けられている。図示しないが、チャ
ック部１５がウェーハリング３をチャックして治具ホル
ダ５部を通過できるように、治具ホルダ５には溝が設け
られている。
形で収納したマガジン１０は、図示しないエレベータに
よって上下駆動される。このマガジン１０内のウェーハ
リング３を取り出し及び返送するためのウェーハトラン
スファ機構１１を有する。ウェーハトランスファ機構１
１は、Ｘ軸方向に伸びて配設されたガイドレール１２に
スライダ１３が摺動自在に嵌挿されており、スライダ１
３にはトランスファアーム１４が固定されている。トラ
ンスファアーム１４は、図示しないトランスファ駆動手
段でガイドレール１２に沿って移動させられる。トラン
スファアーム１４にはウェーハリング３をチャックする
チャック部１５が設けられている。図示しないが、チャ
ック部１５がウェーハリング３をチャックして治具ホル
ダ５部を通過できるように、治具ホルダ５には溝が設け
られている。
【００１１】なお、マガジン１０、このマガジン１０を
上下動させるエレベータ、ウェーハトランスファ機構１
１は、例えば特開平１０−１０７１２８号公報とほぼ類
似した構造である。しかし、エレベータ及びウェーハト
ランスファ機構１１の作用は後記するように異なってい
る。
上下動させるエレベータ、ウェーハトランスファ機構１
１は、例えば特開平１０−１０７１２８号公報とほぼ類
似した構造である。しかし、エレベータ及びウェーハト
ランスファ機構１１の作用は後記するように異なってい
る。
【００１２】本実施の形態においては、マガジン１０の
上方には、バッファ機構２０が配設されている。バッフ
ァ機構２０は、図２に示すように、相対向してＸ軸方向
に伸びた一対のバッファ部２１と、この一対のバッファ
部２１の上面に固定された連結部材２２とからなってい
る。一対のバッファ部２１の対向面には、それぞれウェ
ーハリング３の両側端部を支持する２個の上段及び下段
のウェーハ支持溝２１ａ、２１ｂが平行に形成されてい
る。連結部材２２は支持アーム２３の上端に固定され、
支持アーム２３の下端部は、前記ガイドレール１２に摺
動自在に嵌挿されたスライダ２４に固定されている。支
持アーム２３は図示しないバッファ駆動手段でガイドレ
ール１２に沿って移動させられる。
上方には、バッファ機構２０が配設されている。バッフ
ァ機構２０は、図２に示すように、相対向してＸ軸方向
に伸びた一対のバッファ部２１と、この一対のバッファ
部２１の上面に固定された連結部材２２とからなってい
る。一対のバッファ部２１の対向面には、それぞれウェ
ーハリング３の両側端部を支持する２個の上段及び下段
のウェーハ支持溝２１ａ、２１ｂが平行に形成されてい
る。連結部材２２は支持アーム２３の上端に固定され、
支持アーム２３の下端部は、前記ガイドレール１２に摺
動自在に嵌挿されたスライダ２４に固定されている。支
持アーム２３は図示しないバッファ駆動手段でガイドレ
ール１２に沿って移動させられる。
【００１３】マガジン１０の前方近傍には、図１に示す
ように、上方に向けて温風を吹き出すドライヤ３０が配
設されている。また図２に示すように、前記ウェーハト
ランスファ機構１１のチャック部１５の上部には、ウェ
ーハリング３を押すウェーハ押し部材３１が設けられて
いる。
ように、上方に向けて温風を吹き出すドライヤ３０が配
設されている。また図２に示すように、前記ウェーハト
ランスファ機構１１のチャック部１５の上部には、ウェ
ーハリング３を押すウェーハ押し部材３１が設けられて
いる。
【００１４】次に図３乃至図５に示す動作説明図、図６
及び図７に示すフローチャートに従って作用を説明す
る。図３（ａ）から図３（ｈ）の工程は、マガジン１０
内のウェーハリング３（３Ａ、３Ｂ・・・）を１個ずつ
バッファ２１の下段のウェーハ支持溝２１ｂに支持させ
る工程を示す。この工程は、治具ホルダ５にウェーハリ
ング３が保持されている時、治具ホルダ５がピックアッ
プ位置に移動してボンディング動作と平行して行なわれ
る。
及び図７に示すフローチャートに従って作用を説明す
る。図３（ａ）から図３（ｈ）の工程は、マガジン１０
内のウェーハリング３（３Ａ、３Ｂ・・・）を１個ずつ
バッファ２１の下段のウェーハ支持溝２１ｂに支持させ
る工程を示す。この工程は、治具ホルダ５にウェーハリ
ング３が保持されている時、治具ホルダ５がピックアッ
プ位置に移動してボンディング動作と平行して行なわれ
る。
【００１５】図３（ａ）の場合は、装置を始動させマガ
ジン１０より最初のウェーハリング３Ａを取り出す場合
を示す。治具ホルダ５は、ＸＹテーブル６が駆動してマ
ガジン１０の前方の交換位置に移動する（ステップＳ
１）。次に図３（ｂ）に示すように、バッファ部２１が
右方向に移動する（ステップＳ２）。続いて図３（ｃ）
に示すように、マガジン１０が上昇させられ、マガジン
１０内の最上のウェーハリング３Ａがチャック部１５に
対応した高さに上昇させられる（ステップＳ３）と共
に、図３（ｄ）に示すように、チャック部１５がマガジ
ン１０の前方部に位置するように左方向に移動する（ス
テップＳ４）。
ジン１０より最初のウェーハリング３Ａを取り出す場合
を示す。治具ホルダ５は、ＸＹテーブル６が駆動してマ
ガジン１０の前方の交換位置に移動する（ステップＳ
１）。次に図３（ｂ）に示すように、バッファ部２１が
右方向に移動する（ステップＳ２）。続いて図３（ｃ）
に示すように、マガジン１０が上昇させられ、マガジン
１０内の最上のウェーハリング３Ａがチャック部１５に
対応した高さに上昇させられる（ステップＳ３）と共
に、図３（ｄ）に示すように、チャック部１５がマガジ
ン１０の前方部に位置するように左方向に移動する（ス
テップＳ４）。
【００１６】次に図３（ｅ）に示すように、マガジン１
０の後方に配設された図示しないプッシャが作動してウ
ェーハリング３Ａを押し、チャック部１５がウェーハリ
ング３Ａをチャックする（ステップＳ５）。続いて図３
（ｆ）に示すように、チャック部１５が右方向に移動し
てマガジン１０よりウェーハリング３Ａを取り出し、該
ウェーハリング３Ａの両側部を下段のウェーハ支持溝２
１ｂに位置させる（ステップＳ６）。なお、１０ａはウ
ェーハリング３Ａの収納部を示す。次に図３（ｇ）に示
すように、チャック部１５が開いてウェーハリング３Ａ
を放し、該ウェーハリング３Ａを下段のウェーハ支持溝
２１ｂに載置し、退避位置（右方向）に移動する（ステ
ップＳ７）と共に、マガジン１０が下降する（ステップ
Ｓ８）。続いて図３（ｈ）に示すように、バッファ部２
１がマガジン１０の上方に位置するように左方向に移動
する（ステップＳ９）。
０の後方に配設された図示しないプッシャが作動してウ
ェーハリング３Ａを押し、チャック部１５がウェーハリ
ング３Ａをチャックする（ステップＳ５）。続いて図３
（ｆ）に示すように、チャック部１５が右方向に移動し
てマガジン１０よりウェーハリング３Ａを取り出し、該
ウェーハリング３Ａの両側部を下段のウェーハ支持溝２
１ｂに位置させる（ステップＳ６）。なお、１０ａはウ
ェーハリング３Ａの収納部を示す。次に図３（ｇ）に示
すように、チャック部１５が開いてウェーハリング３Ａ
を放し、該ウェーハリング３Ａを下段のウェーハ支持溝
２１ｂに載置し、退避位置（右方向）に移動する（ステ
ップＳ７）と共に、マガジン１０が下降する（ステップ
Ｓ８）。続いて図３（ｈ）に示すように、バッファ部２
１がマガジン１０の上方に位置するように左方向に移動
する（ステップＳ９）。
【００１７】次に治具ホルダ５にウェーハリング３（３
Ａ、３Ｂ・・・）がセットされているか否かを判断する
（ステップＳ１０）。図３（ｈ）の場合には、治具ホル
ダ５にウェーハリング３はセットされていないので、図
４（ａ）に示すように、治具ホルダ５がウェーハリング
３Ａの供給高さに上昇する（ステップＳ１１）。続いて
図４（ｂ）に示すように、チャック部１５がバッファ部
２１に向けて左方向に移動してウェーハリング３Ａをチ
ャックする（ステップＳ１２）。次に図４（ｃ）に示す
ように、チャック部１５が右方向に移動する（ステップ
Ｓ１３）。ウェーハリング３Ａが治具ホルダ５の所定位
置に移動するとチャック部１５が開き、該チャック部１
５は退避位置に移動する（ステップＳ１４）。これによ
り、図４（ｄ）に示すように、ウェーハリング３Ａは治
具ホルダ５に載置される。
Ａ、３Ｂ・・・）がセットされているか否かを判断する
（ステップＳ１０）。図３（ｈ）の場合には、治具ホル
ダ５にウェーハリング３はセットされていないので、図
４（ａ）に示すように、治具ホルダ５がウェーハリング
３Ａの供給高さに上昇する（ステップＳ１１）。続いて
図４（ｂ）に示すように、チャック部１５がバッファ部
２１に向けて左方向に移動してウェーハリング３Ａをチ
ャックする（ステップＳ１２）。次に図４（ｃ）に示す
ように、チャック部１５が右方向に移動する（ステップ
Ｓ１３）。ウェーハリング３Ａが治具ホルダ５の所定位
置に移動するとチャック部１５が開き、該チャック部１
５は退避位置に移動する（ステップＳ１４）。これによ
り、図４（ｄ）に示すように、ウェーハリング３Ａは治
具ホルダ５に載置される。
【００１８】次に図４（ｅ）に示すように、治具ホルダ
５は下降し、ウェーハリング３Ａが治具ホルダ５の拡張
器で拡張されると共に、位置決め固定される。そして、
図１に示すＸＹテーブル６が駆動して治具ホルダ５はピ
ックアップ位置に移動させられる（ステップＳ１５）。
次にボンディング装置７によりウェーハリング３Ａのダ
イ４ａが１個ずつピックアップされ、リードフレーム１
にボンディングされる（ステップＳ１６）。
５は下降し、ウェーハリング３Ａが治具ホルダ５の拡張
器で拡張されると共に、位置決め固定される。そして、
図１に示すＸＹテーブル６が駆動して治具ホルダ５はピ
ックアップ位置に移動させられる（ステップＳ１５）。
次にボンディング装置７によりウェーハリング３Ａのダ
イ４ａが１個ずつピックアップされ、リードフレーム１
にボンディングされる（ステップＳ１６）。
【００１９】このボンディング動作中に、マガジン１０
にウェーハリング３が有り、バッファ部２１にウェーハ
リング３が未供給か否か判断される（ステップＳ１
７）。図４（ｅ）の場合にはバッファ部２１にウェーハ
リング３は無いので、前記ステップＳ２に移る。即ち、
図３（ｂ）から図３（ｈ）に示す工程により、次のウェ
ーハリング３Ｂを図４（ｆ）に示すように、下段のウェ
ーハ支持溝２１ｂに載置する。ウェーハリング３Ａの良
品のダイ４ａが全てピックアップされ、またバッファ部
２１にウェーハリング３Ｂに供給されていると、ＸＹテ
ーブル６が駆動して治具ホルダ５はマガジン１０の前方
の交換位置に移動する（ステップＳ１８）。
にウェーハリング３が有り、バッファ部２１にウェーハ
リング３が未供給か否か判断される（ステップＳ１
７）。図４（ｅ）の場合にはバッファ部２１にウェーハ
リング３は無いので、前記ステップＳ２に移る。即ち、
図３（ｂ）から図３（ｈ）に示す工程により、次のウェ
ーハリング３Ｂを図４（ｆ）に示すように、下段のウェ
ーハ支持溝２１ｂに載置する。ウェーハリング３Ａの良
品のダイ４ａが全てピックアップされ、またバッファ部
２１にウェーハリング３Ｂに供給されていると、ＸＹテ
ーブル６が駆動して治具ホルダ５はマガジン１０の前方
の交換位置に移動する（ステップＳ１８）。
【００２０】次に図４（ｆ）に示すように、治具ホルダ
５は上段のウェーハ支持溝２１ａに対応する排出高さに
上昇する（ステップＳ１９）。続いて図４（ｇ）に示す
ように、チャック部１５がバッファ部２１の前方部に位
置するように左方向に移動する（ステップＳ２０）。こ
れにより、治具ホルダ５上の使用済のウェーハリング３
Ａはチャック部１５の上方のウェーハ押し部材３１によ
って押され、上段のウェーハ支持溝２１ａに載置される
と共に、チャック部１５はウェーハリング３Ｂに対応す
る。次に図４（ｈ）に示すように、治具ホルダ５はウェ
ーハリング３Ｂが供給される高さに下降すると共に、チ
ャック部１５がウェーハリング３Ｂをチャックする（ス
テップＳ２１）。
５は上段のウェーハ支持溝２１ａに対応する排出高さに
上昇する（ステップＳ１９）。続いて図４（ｇ）に示す
ように、チャック部１５がバッファ部２１の前方部に位
置するように左方向に移動する（ステップＳ２０）。こ
れにより、治具ホルダ５上の使用済のウェーハリング３
Ａはチャック部１５の上方のウェーハ押し部材３１によ
って押され、上段のウェーハ支持溝２１ａに載置される
と共に、チャック部１５はウェーハリング３Ｂに対応す
る。次に図４（ｈ）に示すように、治具ホルダ５はウェ
ーハリング３Ｂが供給される高さに下降すると共に、チ
ャック部１５がウェーハリング３Ｂをチャックする（ス
テップＳ２１）。
【００２１】次に図５（ａ）に示すように、チャック部
１５が右方向に移動する（ステップＳ２２）。ウェーハ
リング３Ｂが治具ホルダ５の所定位置に移動するとチャ
ック部１５が開き、該チャック部１５は退避位置に移動
する（ステップＳ２３）。これにより、図５（ｂ）に示
すように、ウェーハリング３Ｂは治具ホルダ５に載置さ
れる。次に図５（ｃ）に示すように、治具ホルダ５は下
降し、ウェーハリング３Ｂが治具ホルダ５の拡張器で拡
張されると共に、位置決め固定される。そして、図１に
示すＸＹテーブル６が駆動して治具ホルダ５はピックア
ップ位置に移動させられる（ステップＳ２４）。次にボ
ンディング装置７によりウェーハリング３Ｂのダイ４ａ
が１個ずつピックアップされ、リードフレーム１にボン
ディングされる（ステップＳ２５）。
１５が右方向に移動する（ステップＳ２２）。ウェーハ
リング３Ｂが治具ホルダ５の所定位置に移動するとチャ
ック部１５が開き、該チャック部１５は退避位置に移動
する（ステップＳ２３）。これにより、図５（ｂ）に示
すように、ウェーハリング３Ｂは治具ホルダ５に載置さ
れる。次に図５（ｃ）に示すように、治具ホルダ５は下
降し、ウェーハリング３Ｂが治具ホルダ５の拡張器で拡
張されると共に、位置決め固定される。そして、図１に
示すＸＹテーブル６が駆動して治具ホルダ５はピックア
ップ位置に移動させられる（ステップＳ２４）。次にボ
ンディング装置７によりウェーハリング３Ｂのダイ４ａ
が１個ずつピックアップされ、リードフレーム１にボン
ディングされる（ステップＳ２５）。
【００２２】この図５（ａ）から図５（ｃ）（ステップ
Ｓ２２からステップＳ２４）の工程は、図４（ｃ）から
図４（ｅ）（ステップＳ１３からステップＳ１５）の工
程と同じである。
Ｓ２２からステップＳ２４）の工程は、図４（ｃ）から
図４（ｅ）（ステップＳ１３からステップＳ１５）の工
程と同じである。
【００２３】ウェーハリング３Ｂのダイ４ａのボンディ
ング動作中に図５（ｄ）乃至図５（ｈ）に示す工程によ
り、ウェーハリング３Ａのウェーハシートの収縮、ウェ
ーハリング３Ａをマガジン１０の元の収納部１０ａに収
納する動作が行なわれる。まず、図５（ｄ）に示すよう
に、バッファ部２１が前進してヒート位置に移動し、ド
ライヤ３０の熱風でヒートアップされる（ステップＳ２
６）。次に図５（ｅ）に示すように、バッファ部２１が
右方向に移動してマガジン１０の上方が離れる（ステッ
プＳ２７）。続いて図５（ｆ）に示すように、マガジン
１０が上昇し、該マガジン１０の収納部１０ａがウェー
ハリング３Ａに対応する収納位置に移動する（ステップ
Ｓ２８）。次に図５（ｇ）に示すように、チャック部１
５がマガジン１０の前方部に位置するように左方向に移
動し、ウェーハ押し部材３１によってウェーハリング３
Ａを押し、該ウェーハリング３Ａをマガジン１０の収納
部１０ａに収納する（ステップＳ２９）。
ング動作中に図５（ｄ）乃至図５（ｈ）に示す工程によ
り、ウェーハリング３Ａのウェーハシートの収縮、ウェ
ーハリング３Ａをマガジン１０の元の収納部１０ａに収
納する動作が行なわれる。まず、図５（ｄ）に示すよう
に、バッファ部２１が前進してヒート位置に移動し、ド
ライヤ３０の熱風でヒートアップされる（ステップＳ２
６）。次に図５（ｅ）に示すように、バッファ部２１が
右方向に移動してマガジン１０の上方が離れる（ステッ
プＳ２７）。続いて図５（ｆ）に示すように、マガジン
１０が上昇し、該マガジン１０の収納部１０ａがウェー
ハリング３Ａに対応する収納位置に移動する（ステップ
Ｓ２８）。次に図５（ｇ）に示すように、チャック部１
５がマガジン１０の前方部に位置するように左方向に移
動し、ウェーハ押し部材３１によってウェーハリング３
Ａを押し、該ウェーハリング３Ａをマガジン１０の収納
部１０ａに収納する（ステップＳ２９）。
【００２４】次にマガジン１０にウェーハリング３が有
るか判断する（ステップＳ３０）。マガジン１０にウェ
ーハリング３が有る場合には、図５（ｈ）に示すよう
に、マガジン１０が供給位置に上昇し、ウェーハリング
３Ｃがチャック部１５に対応する（ステップＳ３１）。
そして、図６に示すステップＳ５に移り、前記した工程
を行なう。マガジン１０にウェーハリング３がない場合
には、マガジン１０の交換が行なわれる（ステップＳ３
２）。そして、図６のステップＳ１に移り、前記した工
程が行なわれる。
るか判断する（ステップＳ３０）。マガジン１０にウェ
ーハリング３が有る場合には、図５（ｈ）に示すよう
に、マガジン１０が供給位置に上昇し、ウェーハリング
３Ｃがチャック部１５に対応する（ステップＳ３１）。
そして、図６に示すステップＳ５に移り、前記した工程
を行なう。マガジン１０にウェーハリング３がない場合
には、マガジン１０の交換が行なわれる（ステップＳ３
２）。そして、図６のステップＳ１に移り、前記した工
程が行なわれる。
【００２５】なお、上記実施の形態においては、上段の
ウェーハ支持溝２１ａを使用済のウェーハリング３の支
持部とし、下段のウェーハ支持溝２１ｂを未使用のウェ
ーハリング３の支持部としたが、逆に上段のウェーハ支
持溝２１ａを未使用のウェーハリング３の支持部とし、
下段のウェーハ支持溝２１ｂを使用済のウェーハリング
３の支持部としてもよい。この場合には、チャック部１
５を上段のウェーハ支持溝２１ａに対応させ、ウェーハ
押し部材３１を下段のウェーハ支持溝２１ｂに対応させ
る。
ウェーハ支持溝２１ａを使用済のウェーハリング３の支
持部とし、下段のウェーハ支持溝２１ｂを未使用のウェ
ーハリング３の支持部としたが、逆に上段のウェーハ支
持溝２１ａを未使用のウェーハリング３の支持部とし、
下段のウェーハ支持溝２１ｂを使用済のウェーハリング
３の支持部としてもよい。この場合には、チャック部１
５を上段のウェーハ支持溝２１ａに対応させ、ウェーハ
押し部材３１を下段のウェーハ支持溝２１ｂに対応させ
る。
【００２６】このように、従来のウェーハリングの供給
返送装置が有したマガジン１０を上下動させるエレベー
タ及びウェーハトランスファ機構１１に、バッファ部２
１を有するバッファ機構２０及びウェーハ押し部材３１
を付加した構造よりなるので、装置が大幅に簡素化さ
れ、装置の低廉化及び小型化が図れる。
返送装置が有したマガジン１０を上下動させるエレベー
タ及びウェーハトランスファ機構１１に、バッファ部２
１を有するバッファ機構２０及びウェーハ押し部材３１
を付加した構造よりなるので、装置が大幅に簡素化さ
れ、装置の低廉化及び小型化が図れる。
【００２７】マガジン１０内の未使用のウェーハリング
３をバッファ部２１に支持させる工程は、バッファ部２
１の前進（図３（ｂ））、マガジン１０の上昇（図３
（ｃ））、チャック部１５とウェーハ押し部材３１の前
進後退（図３（ｄ）〜（ｅ））、バッファ部２１の後退
（図３（ｈ））により行なえる。
３をバッファ部２１に支持させる工程は、バッファ部２
１の前進（図３（ｂ））、マガジン１０の上昇（図３
（ｃ））、チャック部１５とウェーハ押し部材３１の前
進後退（図３（ｄ）〜（ｅ））、バッファ部２１の後退
（図３（ｈ））により行なえる。
【００２８】また治具ホルダ５に保持された使用済のウ
ェーハリング３のバッファ部２１への受渡しの工程は、
交換位置に移動した治具ホルダ５の上昇（図４
（ｆ））、バッファ部２１とウェーハ押し部材３１の前
進（図４（ｇ））によって行なえる。バッファ部２１の
未使用のウェーハリング３の治具ホルダ５への受渡しの
工程は、前記動作後のチャック部１５とウェーハ押し部
材３１の後退（図４（ｈ）、図５（ａ）（ｂ））によっ
て行なえる。
ェーハリング３のバッファ部２１への受渡しの工程は、
交換位置に移動した治具ホルダ５の上昇（図４
（ｆ））、バッファ部２１とウェーハ押し部材３１の前
進（図４（ｇ））によって行なえる。バッファ部２１の
未使用のウェーハリング３の治具ホルダ５への受渡しの
工程は、前記動作後のチャック部１５とウェーハ押し部
材３１の後退（図４（ｈ）、図５（ａ）（ｂ））によっ
て行なえる。
【００２９】更に、使用済のウェーハリング３のウェー
ハシートを収縮させてマガジン１０の空の収納部に収納
させる工程は、バッファ部２１がドライヤ３０の上方に
前進（図５（ｄ）（ｅ））、マガジン１０の上昇（図５
（ｆ））、チャック部１５とウェーハ押し部材３１の前
進（図５（ｇ））によって行なえる。
ハシートを収縮させてマガジン１０の空の収納部に収納
させる工程は、バッファ部２１がドライヤ３０の上方に
前進（図５（ｄ）（ｅ））、マガジン１０の上昇（図５
（ｆ））、チャック部１５とウェーハ押し部材３１の前
進（図５（ｇ））によって行なえる。
【００３０】このように、各工程は、バッファ部２１、
チャック部１５とウェーハ押し部材３１、マガジン１０
及び治具ホルダ５の少ない機構部の動作の組み合わせで
行なえるので、制御系の簡素化が図れる。
チャック部１５とウェーハ押し部材３１、マガジン１０
及び治具ホルダ５の少ない機構部の動作の組み合わせで
行なえるので、制御系の簡素化が図れる。
【００３１】
【発明の効果】本発明は、従来のウェーハリングの供給
返送装置が有したマガジンを上下動させるエレベータ及
びウェーハトランスファ機構に、ウェーハリングを支持
する２個の上段及び下段のウェーハ支持溝を設けたバッ
ファ部を有するバッファ機構及び使用済のウェーハリン
グをウェーハ支持溝に押し込むウェーハ押し部材を付加
した構造よりなるので、装置が大幅に簡素化され、装置
の低廉化及び小型化が図れる。また前記した機構及び部
材の移動の組み合わせの移動によって、マガジン内の未
使用のウェーハリングをバッファ部の一方のウェーハ支
持溝に支持させ、治具ホルダに保持された使用済のウェ
ーハリングをバッファ部の他方のウェーハ支持溝に支持
させ、バッファ部内の前記未使用のウェーハリングを前
記治具ホルダに保持させ、バッファ部の使用済のウェー
ハリングをウェーハシートを収縮させてマガジンの空の
収納部に収納させる各工程を行なうので、制御系の簡素
化が図れる。
返送装置が有したマガジンを上下動させるエレベータ及
びウェーハトランスファ機構に、ウェーハリングを支持
する２個の上段及び下段のウェーハ支持溝を設けたバッ
ファ部を有するバッファ機構及び使用済のウェーハリン
グをウェーハ支持溝に押し込むウェーハ押し部材を付加
した構造よりなるので、装置が大幅に簡素化され、装置
の低廉化及び小型化が図れる。また前記した機構及び部
材の移動の組み合わせの移動によって、マガジン内の未
使用のウェーハリングをバッファ部の一方のウェーハ支
持溝に支持させ、治具ホルダに保持された使用済のウェ
ーハリングをバッファ部の他方のウェーハ支持溝に支持
させ、バッファ部内の前記未使用のウェーハリングを前
記治具ホルダに保持させ、バッファ部の使用済のウェー
ハリングをウェーハシートを収縮させてマガジンの空の
収納部に収納させる各工程を行なうので、制御系の簡素
化が図れる。
【図１】本発明のウェーハリングの供給返送装置の一実
施の形態を示す斜視説明図である。
施の形態を示す斜視説明図である。
【図２】ウェーハトランスファ機構及びバッファ機構部
分の斜視説明図である。
分の斜視説明図である。
【図３】（ａ）乃至（ｈ）は動作説明図である。
【図４】（ａ）乃至（ｈ）は図３の続きの動作説明図で
ある。
ある。
【図５】（ａ）乃至（ｈ）は図４の続きの動作説明図で
ある。
ある。
【図６】フローチャート図である。
【図７】図６の続きのフローチャート図である。
１ リードフレーム ２ ガイドレール ３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ・・・） ウェーハリング ４ ウェーハ ５ 治具ホルダ ６ ＸＹテーブル ７ ボンディング装置 １０ マガジン １１ ウェーハトランスファ機構 １２ ガイドレール １３ スライダ １４ トランスファアーム １５ チャック部 ２０ バッファ機構 ２１ バッファ部 ２１ａ 上段のウェーハ支持溝 ２１ｂ 下段のウェーハ支持溝 ２２ 連結部材 ２３ 支持アーム ２４ スライダ ３０ ドライヤ ３１ ウェーハ押し部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 安 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA13 FA01 FA05 FA07 FA15 GA06 GA12 GA55 MA35 PA02 5F047 FA90
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハリングを一定ピッチで収納しエ
レベータに載置されて上下動するマガジンと、ウェーハ
リングを保持してマガジンの前方の交換位置とピックア
ップ位置に移動させられる治具ホルダと、マガジンの前
方近傍に設けられ上方に向けて熱風を吹き出すドライヤ
と、ウェーハリングを支持するウェーハ支持溝が上下に
２個設けられたバッファ部を有し、マガジンの上方及び
前方に移動させられるバッファ機構と、前記一方のウェ
ーハ支持溝に対応して設けられ、ウェーハリングをチャ
ックして搬送するチャック部及び他方のウェーハ支持溝
に対応して設けられ、ウェーハリングを押すウェーハ押
し部材を有するウェーハトランスファ機構とを備え、 治具ホルダがピックアップ位置に移動している時に、マ
ガジン内の未使用のウェーハリングを前記チャック部で
チャックして取り出して前記バッファ部の一方のウェー
ハ支持溝に支持させ、治具ホルダが交換位置に移動した
時に、該治具ホルダに保持された使用済のウェーハリン
グを前記ウェーハ押し部材で押して前記バッファ部の他
方のウェーハ支持溝に支持させ、バッファ部内の前記未
使用のウェーハリングを前記チャック部でチャックして
前記治具ホルダに保持させ、治具ホルダがピックアップ
位置に移動している時に、前記バッファ部が前記ドライ
ヤの前方に移動した後、前記チャック部がバッファ部内
の使用済のウェーハリングをチャックして該使用済のウ
ェーハリングを前記マガジンの空の収納部に収納させる
ことを特徴とするウェーハリングの供給返送装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001137878A JP4190161B2 (ja) | 2001-05-08 | 2001-05-08 | ウェーハリングの供給返送装置 |
| TW091106488A TW536763B (en) | 2001-05-08 | 2002-04-01 | Device for supplying and returning wafer ring |
| KR10-2002-0023204A KR100482866B1 (ko) | 2001-05-08 | 2002-04-27 | 웨이퍼링의 공급반송장치 |
| US10/141,405 US6722840B2 (en) | 2001-05-08 | 2002-05-08 | Wafer ring supplying and returning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001137878A JP4190161B2 (ja) | 2001-05-08 | 2001-05-08 | ウェーハリングの供給返送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002334916A true JP2002334916A (ja) | 2002-11-22 |
| JP4190161B2 JP4190161B2 (ja) | 2008-12-03 |
Family
ID=18984901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001137878A Expired - Fee Related JP4190161B2 (ja) | 2001-05-08 | 2001-05-08 | ウェーハリングの供給返送装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6722840B2 (ja) |
| JP (1) | JP4190161B2 (ja) |
| KR (1) | KR100482866B1 (ja) |
| TW (1) | TW536763B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2017228561A (ja) * | 2016-06-20 | 2017-12-28 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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| JP5718921B2 (ja) | 2009-08-27 | 2015-05-13 | マクアリスター テクノロジーズ エルエルシー | 複数のドライバ及び／又はイオン化制御を備える燃焼室における燃料給気の形状設定 |
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| EP2510213A4 (en) | 2009-12-07 | 2014-07-23 | Mcalister Technologies Llc | ADAPTIVE CONTROL SYSTEM FOR FUEL INJECTORS AND IGNITION DEVICES |
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