JPS60189297A - テ−プからチツプを取り出す方法 - Google Patents
テ−プからチツプを取り出す方法Info
- Publication number
- JPS60189297A JPS60189297A JP59042854A JP4285484A JPS60189297A JP S60189297 A JPS60189297 A JP S60189297A JP 59042854 A JP59042854 A JP 59042854A JP 4285484 A JP4285484 A JP 4285484A JP S60189297 A JPS60189297 A JP S60189297A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- chip
- chips
- reel
- push
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、チップボンダ又はチップ位置決め位置にチッ
プを供給するために、良品チップが収納されたテープよ
りチップを取り出す方法に関する。
プを供給するために、良品チップが収納されたテープよ
りチップを取り出す方法に関する。
（発明の背景）
チップボンダにおいては、稼動率向上のため、例えば特
開昭５８−２２０４４１号公報ζこ示すように、ウニＩ
・から良品チップを識別して一旦トレーに詰め換えるこ
とが行われている。しかしながら、かかる方法は、１個
のトレーに詰めるチップの数が少なく、チップボンダに
トレーを頻繁ｌこセットしなければならなく、作業能率
が悪い。またトレー駆動装置の振動でチップがトレーよ
り飛び出すことがある。またトレーがかさばったり、ト
レーを長時間外部環境ｌこざらしておくとごみ等が付着
したりし、保管上（ご難点があった。
開昭５８−２２０４４１号公報ζこ示すように、ウニＩ
・から良品チップを識別して一旦トレーに詰め換えるこ
とが行われている。しかしながら、かかる方法は、１個
のトレーに詰めるチップの数が少なく、チップボンダに
トレーを頻繁ｌこセットしなければならなく、作業能率
が悪い。またトレー駆動装置の振動でチップがトレーよ
り飛び出すことがある。またトレーがかさばったり、ト
レーを長時間外部環境ｌこざらしておくとごみ等が付着
したりし、保管上（ご難点があった。
このような欠点は、フープ状のテープに等間隔に凹部を
設け、この凹部に良品チップを収納することによって解
消する。
設け、この凹部に良品チップを収納することによって解
消する。
しかしながら、かかる方法は凹部の深さをチップの厚さ
より大きくとる必要があるので、コレットでチップを側
面からはさみ込んで取り出すことは困難である。またチ
ップが凹部の側壁に接触している場合は、なおさらコレ
ットの進入は難しくなる。
より大きくとる必要があるので、コレットでチップを側
面からはさみ込んで取り出すことは困難である。またチ
ップが凹部の側壁に接触している場合は、なおさらコレ
ットの進入は難しくなる。
（発明の目的）
本発明の目的は、容易にチップを取り出すことができる
テープからチップを取り出す方法を提供することにある
。
テープからチップを取り出す方法を提供することにある
。
（発明の実施例）
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明の方法の前工程で用いるチップテーピン
グ装置の一実施例を示す概略構成斜視図、第２図は第１
図のテープリール手段の正面図、第３図は第２図の要部
拡大断面図である。本装置は大別して、縦横複数ζこ分
割されたチップをピックアップ位置に駆動するためのウ
ェハリング駆動手段１０と、良品チップを収納するテー
プリール手段３０と、ウェハリング駆動手段１０よりテ
ープリール手段３０のテープに良品チップを詰めるチッ
プピックアップ手段５０と、ウェハリング駆動手段１０
にセットされたチップを識別するチップ識別装置６０と
により構成されている。
グ装置の一実施例を示す概略構成斜視図、第２図は第１
図のテープリール手段の正面図、第３図は第２図の要部
拡大断面図である。本装置は大別して、縦横複数ζこ分
割されたチップをピックアップ位置に駆動するためのウ
ェハリング駆動手段１０と、良品チップを収納するテー
プリール手段３０と、ウェハリング駆動手段１０よりテ
ープリール手段３０のテープに良品チップを詰めるチッ
プピックアップ手段５０と、ウェハリング駆動手段１０
にセットされたチップを識別するチップ識別装置６０と
により構成されている。
この手段１０は、特開昭５８−２２０４４１号公報に開
示されたウェハリング駆動手段と同じ構成よりなる。
示されたウェハリング駆動手段と同じ構成よりなる。
ウェハリングホルダ１１はＸ方向駆動用モータ１２によ
ってＸ方向に駆動されるＸテーブル１３ｆ（固定されて
おり、Ｘテーブル１３はＹ方向駆動用モータ１４によっ
てＹ方向に駆動されるＹテーブル１５ｆこ摺動自在に搭
載されている。即ち、Ｘテーブル１３とＹテーブル１５
によってＸＹテーブルを構成している。前記ウェハリン
グホルダ１１には、ウェハリング１６を位置決め固定す
るために、２本のピン１７．１８と爪１９とが設けられ
、爪１９はウェハリング１６をピン１７．１８４こ押付
けるように図示しないばねで付勢されている。
ってＸ方向に駆動されるＸテーブル１３ｆ（固定されて
おり、Ｘテーブル１３はＹ方向駆動用モータ１４によっ
てＹ方向に駆動されるＹテーブル１５ｆこ摺動自在に搭
載されている。即ち、Ｘテーブル１３とＹテーブル１５
によってＸＹテーブルを構成している。前記ウェハリン
グホルダ１１には、ウェハリング１６を位置決め固定す
るために、２本のピン１７．１８と爪１９とが設けられ
、爪１９はウェハリング１６をピン１７．１８４こ押付
けるように図示しないばねで付勢されている。
前記ウェハリング１６には縦横複数に等間隔にウェハが
分割されたチップ２０が粘着シート上に貼付けられその
粘着シートが取付けられている。
分割されたチップ２０が粘着シート上に貼付けられその
粘着シートが取付けられている。
テープリール手段３０（第１図乃至第３図参照）良品チ
ップ２０を収納するフープ状のテープ３１は、チップ２
０より十分小さな穴３２ａが等間隔に明けられた主テー
プ３２と、この主テープ３２の上面ζこ貼り合せられチ
ップ２０が十分大る大きさの穴３３ａが前記穴３２ａに
対応した部分に明けられた補助テープ３３とより構成さ
れている。
ップ２０を収納するフープ状のテープ３１は、チップ２
０より十分小さな穴３２ａが等間隔に明けられた主テー
プ３２と、この主テープ３２の上面ζこ貼り合せられチ
ップ２０が十分大る大きさの穴３３ａが前記穴３２ａに
対応した部分に明けられた補助テープ３３とより構成さ
れている。
かかる構成よりなるテープ３１は架台３４に回転自在に
支承された空リール３５に巻回されており、架台３６に
回転自在に支承され図示しない駆動手段で間欠的に駆動
させられる充填リール３７に巻取られる。前記両リール
３５．３７間にはテープ３１を水平にガイドするガイド
ローラ３８．３９が回転自在に配設されている。また充
填リール３７の上方にはフープ状のテープ上面カバー４
０を巻回したカバーリール４１が架台４２４こ回転自在
に配設されており、充填リール３７の近傍に回転自在に
配設されたガイドローラ４３を通って前記テープ３１の
上面ｌこ重ね合せられて前記充填リール３７に巻取られ
るようになっている。
支承された空リール３５に巻回されており、架台３６に
回転自在に支承され図示しない駆動手段で間欠的に駆動
させられる充填リール３７に巻取られる。前記両リール
３５．３７間にはテープ３１を水平にガイドするガイド
ローラ３８．３９が回転自在に配設されている。また充
填リール３７の上方にはフープ状のテープ上面カバー４
０を巻回したカバーリール４１が架台４２４こ回転自在
に配設されており、充填リール３７の近傍に回転自在に
配設されたガイドローラ４３を通って前記テープ３１の
上面ｌこ重ね合せられて前記充填リール３７に巻取られ
るようになっている。
この手段５０は、特開昭５８−２２０４４１号公報に開
示されたチップピックアップ手段と同じ構成よりなる。
示されたチップピックアップ手段と同じ構成よりなる。
チップ２０を吸着移送する移送コレット５１はコレット
アーム５２の一端に固定されており、コレットアーム５
２の他端はスタンド５３に上下動及び旋回可能に設けら
れた上下回転軸５４に固定されている。上下回転軸５４
の上下動及び旋回は図示しない機構によって行われる。
アーム５２の一端に固定されており、コレットアーム５
２の他端はスタンド５３に上下動及び旋回可能に設けら
れた上下回転軸５４に固定されている。上下回転軸５４
の上下動及び旋回は図示しない機構によって行われる。
また前記ウェハリング１６の下方には前記チップ２０を
突き上げる突上げ針５５が設けられ、この突上げ針５５
はガイド５６に沿って図示しない駆動手段で上下動させ
られる。
突き上げる突上げ針５５が設けられ、この突上げ針５５
はガイド５６に沿って図示しない駆動手段で上下動させ
られる。
前記突上げ針５５の真上上方にはチップ２ｏの良、不良
を判定するための検出カメラ６１が配設されており、こ
の検出カメラ６１は架台６２に固定されている。
を判定するための検出カメラ６１が配設されており、こ
の検出カメラ６１は架台６２に固定されている。
次にかから構成される装置の作動について説明する。ウ
ェハリンク駆動手段１ｏのＸＹテーブル１３．１５の移
動によってピックアップされツブ２０の良、不良が識別
される。チップ２ｏが不良であると、再びＸＹテーブル
１３．１５が駆動して次のチップ２０がチップピックア
ップ位置に位置決めされ、チップ２０の良、不良が識別
される。
ェハリンク駆動手段１ｏのＸＹテーブル１３．１５の移
動によってピックアップされツブ２０の良、不良が識別
される。チップ２ｏが不良であると、再びＸＹテーブル
１３．１５が駆動して次のチップ２０がチップピックア
ップ位置に位置決めされ、チップ２０の良、不良が識別
される。
識別されたチップ２０が良品であると、上下回転軸５４
が下降及び上昇し、ウェハリング１６上のチップ２０を
移送コレット５１により真空吸着してピックアップする
。続いて上下回転軸５４が回転して移送コレット５１に
吸着されたチップ２゜はテープ３１の穴３３ａの上方の
所定位置に位置する。そして、上下回転軸５４が下降し
、移送コレット５１の真空が切れると、チップ２０はテ
ープ３１の穴３３ａ内に載置される。その後上下回転軸
５４は上昇及び前記と逆方向ζこ回転し、移送コレット
５１はウェハリング１６上のチップピックアップ位置の
上方に位置する。
が下降及び上昇し、ウェハリング１６上のチップ２０を
移送コレット５１により真空吸着してピックアップする
。続いて上下回転軸５４が回転して移送コレット５１に
吸着されたチップ２゜はテープ３１の穴３３ａの上方の
所定位置に位置する。そして、上下回転軸５４が下降し
、移送コレット５１の真空が切れると、チップ２０はテ
ープ３１の穴３３ａ内に載置される。その後上下回転軸
５４は上昇及び前記と逆方向ζこ回転し、移送コレット
５１はウェハリング１６上のチップピックアップ位置の
上方に位置する。
前記のようｌこウェハリング１６上より移送コレット５
１４こよって良品チップ２０がピックアップされる毎ｌ
こ前記したようにＸＹテーブル１３．１５が駆動してチ
ップ２０の良、不良がカメラ６１によって識別される。
１４こよって良品チップ２０がピックアップされる毎ｌ
こ前記したようにＸＹテーブル１３．１５が駆動してチ
ップ２０の良、不良がカメラ６１によって識別される。
またテープ３１に良品チップ２０が収納し終る毎に充填
リール３７は穴３３ａのピッチ間隔だけ間欠的に駆動さ
れ、良品チップ２０が収納されたテープ３１は上面にテ
ープ上面カバー４０が重ね合せられ、充填リール３７に
巻取られる。
リール３７は穴３３ａのピッチ間隔だけ間欠的に駆動さ
れ、良品チップ２０が収納されたテープ３１は上面にテ
ープ上面カバー４０が重ね合せられ、充填リール３７に
巻取られる。
このように、良品チップ２０をテープ３１に収納して充
填リール３７に巻取るので、非常に多くの良品チップ２
０を収容できる。従って、かさばらなく、またごみ等の
付着もなく、管理上優れていると共に、次の工程におけ
るチップボンダにおいては、前記のように多数の良品チ
ップ２０が収容されたテープ３１を巻回した充填リール
３７をセットして使用できるので、チップボンダの稼動
率が一層向上する。
填リール３７に巻取るので、非常に多くの良品チップ２
０を収容できる。従って、かさばらなく、またごみ等の
付着もなく、管理上優れていると共に、次の工程におけ
るチップボンダにおいては、前記のように多数の良品チ
ップ２０が収容されたテープ３１を巻回した充填リール
３７をセットして使用できるので、チップボンダの稼動
率が一層向上する。
第４図は前記のように良品チップ２０が収納されたテー
プ３１を巻回した充填リール３７よりテープ３１を巻戻
し、テープ３１よりチップ２０を取り出し、チップボン
ダ又はチップ位置決め位置に移送する本発明になるチッ
プを取り出す方法を示す斜視図、第５図は第４図の要部
断面図を示す。
プ３１を巻回した充填リール３７よりテープ３１を巻戻
し、テープ３１よりチップ２０を取り出し、チップボン
ダ又はチップ位置決め位置に移送する本発明になるチッ
プを取り出す方法を示す斜視図、第５図は第４図の要部
断面図を示す。
充填リール３７は架台７１に回転自在に支承されており
、充填リール３７４こ巻回され良品チップ２０を収納し
たテープ３１は、架台７２に回転自在に支承され図示し
ない駆動手段で間欠的に駆動されるテープ巻取りリール
７３に巻取られる。前記両リール３７．７３間にはテー
プ３１を水平にガイドするガイドローラ７４．７５が回
転自在に配設されている。また前記ガイドローラ７４の
上方で充填リール３７寄りζこは前記テープ巻取リリー
ル７３と同期して図示しない駆動手段で間欠的に駆動さ
れるテープ上面カバー巻取りリール７６が架台７７に回
転自在に配役されている。また前記ガイドローラ７４．
７５間でテープ３１の下方には、テープ３１の穴３２ａ
を通して上下動すると共ｌこ、真空引きされる押し上げ
棒７８が配設され、この押し上げ棒７８の上方には、上
下及びＸＹ方向に駆動されると共に、開閉するコレット
チャック７９が配設されている。
、充填リール３７４こ巻回され良品チップ２０を収納し
たテープ３１は、架台７２に回転自在に支承され図示し
ない駆動手段で間欠的に駆動されるテープ巻取りリール
７３に巻取られる。前記両リール３７．７３間にはテー
プ３１を水平にガイドするガイドローラ７４．７５が回
転自在に配設されている。また前記ガイドローラ７４の
上方で充填リール３７寄りζこは前記テープ巻取リリー
ル７３と同期して図示しない駆動手段で間欠的に駆動さ
れるテープ上面カバー巻取りリール７６が架台７７に回
転自在に配役されている。また前記ガイドローラ７４．
７５間でテープ３１の下方には、テープ３１の穴３２ａ
を通して上下動すると共ｌこ、真空引きされる押し上げ
棒７８が配設され、この押し上げ棒７８の上方には、上
下及びＸＹ方向に駆動されると共に、開閉するコレット
チャック７９が配設されている。
次に作動について説明する。テープ上面カバー巻取りリ
ール７６及びテープ巻取りリール７３が間欠的に駆動さ
れると、テープ上面カバー巻取りリール７６によってテ
ープ上面カバー４０が巻取られ、チップ２０が露出する
と共に、テープ３１はテープ巻取リリール７３に一定量
巻取られ、テープ３１の穴３２ａが押し上げ俸７８の上
方ζこ位置する。次に押し上げ棒７８が穴３２ａを通し
て上昇し、チップ２０を真空吸着して２点鎖線で示すよ
うにテープ３１の上方に押し上げる。この場合、チップ
２０は押し上げ棒７８の上面に吸着されているので、位
置ずれしなく、水平姿勢を保っている。この状態でコレ
ットチャック７９が開いたまま下降し、続いてコレット
チャック７９が閉じ、チップ２０をチャックする。また
同時に押し上げ棒７８の真空が切れる。その後、コレッ
トチャック７９は上昇及びＸＹ方向に移動してボンディ
ング位置又はチップ位置決め位置にチップ２０を移送す
る。また同時に押し上げ棒７８はテープ３１の下方ζこ
移動する。以後、テープ３１が間欠的に移送されて穴３
２ａが押し上げ棒７８の上方に位置する毎に上記動作を
繰返す。
ール７６及びテープ巻取りリール７３が間欠的に駆動さ
れると、テープ上面カバー巻取りリール７６によってテ
ープ上面カバー４０が巻取られ、チップ２０が露出する
と共に、テープ３１はテープ巻取リリール７３に一定量
巻取られ、テープ３１の穴３２ａが押し上げ俸７８の上
方ζこ位置する。次に押し上げ棒７８が穴３２ａを通し
て上昇し、チップ２０を真空吸着して２点鎖線で示すよ
うにテープ３１の上方に押し上げる。この場合、チップ
２０は押し上げ棒７８の上面に吸着されているので、位
置ずれしなく、水平姿勢を保っている。この状態でコレ
ットチャック７９が開いたまま下降し、続いてコレット
チャック７９が閉じ、チップ２０をチャックする。また
同時に押し上げ棒７８の真空が切れる。その後、コレッ
トチャック７９は上昇及びＸＹ方向に移動してボンディ
ング位置又はチップ位置決め位置にチップ２０を移送す
る。また同時に押し上げ棒７８はテープ３１の下方ζこ
移動する。以後、テープ３１が間欠的に移送されて穴３
２ａが押し上げ棒７８の上方に位置する毎に上記動作を
繰返す。
このように、テープ３１の下方より押し上げ棒７８で穴
３２ａを通してチップ２０を真空吸着してテープ３１の
上方に押し上げると、チップ２０は押し上げ棒７８の上
面にならい水平姿勢を保ち、その後テープ３１の上方に
配設されたコレットチャック７９でチップ２０をチャッ
クするので、コレットチャック７９は穴３３ａに進入さ
せる必要はなく、チップ２０を容易にチャックできる。
３２ａを通してチップ２０を真空吸着してテープ３１の
上方に押し上げると、チップ２０は押し上げ棒７８の上
面にならい水平姿勢を保ち、その後テープ３１の上方に
配設されたコレットチャック７９でチップ２０をチャッ
クするので、コレットチャック７９は穴３３ａに進入さ
せる必要はなく、チップ２０を容易にチャックできる。
またコレットチャック７９でチャックすることにより、
角錐コレットでチップ２０を吸着するよりはチップ２０
の割れ、欠けの発生が少ない。
角錐コレットでチップ２０を吸着するよりはチップ２０
の割れ、欠けの発生が少ない。
（発明の効果）
以上の説明から明らかなようＥこ、本発明によれば、テ
ープからチップを容易に取り出すことができると共に、
チップの割れ、欠けが防止される。
ープからチップを容易に取り出すことができると共に、
チップの割れ、欠けが防止される。
第１図は本発明の前工程で用いるチップテーピング装置
の一実施例を示す概略構成斜視図、第２図は第１図のテ
ープリール手段の正面図、第３図は第２図の要部拡大断
面図、第４図は本発明になるテープからチップを取り出
す方法の一実施例を示す概略構成斜視図、第５図は第４
図の要部断面図である。 ２０・・・チップ、３１・・・テープ、３２ａ、３３ａ
・・・穴、 ３７・・・充填リール、７３・・・テープ
巻取リリール、 ７８・・・押し上げ棒、７９・・・コ
レットチャック。 第１図 × 第２図 第３図
の一実施例を示す概略構成斜視図、第２図は第１図のテ
ープリール手段の正面図、第３図は第２図の要部拡大断
面図、第４図は本発明になるテープからチップを取り出
す方法の一実施例を示す概略構成斜視図、第５図は第４
図の要部断面図である。 ２０・・・チップ、３１・・・テープ、３２ａ、３３ａ
・・・穴、 ３７・・・充填リール、７３・・・テープ
巻取リリール、 ７８・・・押し上げ棒、７９・・・コ
レットチャック。 第１図 × 第２図 第３図
Claims (1)
- 等間隔に設けられた凹部の底面にチップより小さな穴を
設けておき、前記凹部にチップが収納されたテープを水
平状態で間欠的に移送し、テープの停止中に前記テープ
の下方より上下動可能な押し上げ棒で前記穴を通して前
記チップを真空吸着してテープの上方に押し上げ、その
後テープの上方に配設されたコレットチャックなどで前
記押し上げられたチップをチャックすることを特徴とす
るテープからチップを取り出す方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042854A JPS60189297A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | テ−プからチツプを取り出す方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042854A JPS60189297A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | テ−プからチツプを取り出す方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60189297A true JPS60189297A (ja) | 1985-09-26 |
Family
ID=12647601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59042854A Pending JPS60189297A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | テ−プからチツプを取り出す方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60189297A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01155693A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品供給方法 |
| JPH01160093A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| JPH02188997A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品取出し方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55163900A (en) * | 1979-06-08 | 1980-12-20 | Sanyo Electric Co | Electronic part series and method of automatically supplying same |
| JPS5827399A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-18 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | 素子送給方法及び装置 |
-
1984
- 1984-03-08 JP JP59042854A patent/JPS60189297A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55163900A (en) * | 1979-06-08 | 1980-12-20 | Sanyo Electric Co | Electronic part series and method of automatically supplying same |
| JPS5827399A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-18 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | 素子送給方法及び装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH01160093A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| JPH02188997A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品取出し方法 |
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