JP3568008B2 - キャップ給送装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，半導体素子，水晶振動子等のチップを搭載収納したパッケージの開口部に金属製キャップを自動的にシーム接合するシーム接合機に適用して好適なキャップ給送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来，半導体素子，水晶振動子等のチップをパッケージに気密封止する方法として，マイクロパラレルシーム接合法が広く用いられている（特公平１−３８３７３号公報）。このシーム接合法は，図８及び図９〜図１０に示すように，セラミック基板１に金属製シームフレーム２をろう付けしてなるセラミック製（もしくは全体が金属製）の外囲器３の内部に，半導体素子等のチップ４を収納し，このチップ４をワイヤ５によって外リード６に電気的に接続した後，コバール（Ｆｅ−Ｎｉ合金），４２アロイ等からなる金属製キャップ（蓋板）７を外囲器３の開口部に被せ，キャップ７の対向する２辺，例えば長辺の一端縁部イに一対のテーパ付きローラ電極８ａ，８ｂを一定の加圧条件の下で接触させ，外囲器３を図９に示すように，矢印Ａ方向に移動させると同時にロ−ラ電極８ａ，８ｂにパルセーション通電（例えば，８Ｖ，１４０〜１８０Ａ）を行い，この時発生するジュール熱により長辺を溶融し外囲器３にキャップ７をシーム接合する。
【０００３】
長辺のシーム接合が終了すると，ローラ電極８ａ，８ｂを一旦上昇移動させて電極間隔を調整するとともに，図１０に示すように，外囲器３を水平面内において９０°回転させた後，再びローラ電極８ａ，８ｂを下降させて他の対向する２辺，即ち，短辺側２辺を同様にキャップ７をシーム接合し，もってチップ４を気密に封止するものである。なお，上記工程は空気中でも可能であるが，通常は酸化を防ぐためにドライボックスと称するチャンバ内で行われる。９は外囲器３が設置されているキャリアボードである。
【０００４】
このように，キャップ７はシーム接合機によって外囲器３にシーム接合されるものであるが，キャップ７の外囲器３への供給に際しては，従来，吸引手段によって吸引保持して搬送していた。
【０００５】
しかしながら，このような従来のシーム接合機におけるキャップ給送装置においては，吸引手段によりパーツフィーダに積層配置されているキャップを上から順に取り出す際に起こる現象として，複数枚のキャップが重なり合ったまま取り出されることがあった。これはキャップの材質がコバール，４２アロイ等のためキャップ自体が磁化して互いにくっついたり，湿気による表面張力により密着したりするためである。そして，一度に複数枚のキャップがシーム接合位置の外囲器３上に搬送された場合には，シーム接合を行うことが出来ず，その都度余分なキャップを取り除く必要があるため，シーム接合の作業能率が低いという問題があった。特に，シーム接合機においては，このような作業は窒素ガスの室を形成するグローブボックス内で行われるため，外部から手袋を通して行う作業となり，面倒である。
【０００６】
このような問題を解決するものとして，本出願人は，先に特開平６−２２４２３１号公報に開示された「キャップ給送装置」を提案した。
このキャップ給送装置は，上面に開放した複数個のキャップ７を積層収納する収納孔２７を一列に等間隔に設けたカセット本体２３Ａと，カセット本体２３Ａ内に上下動自在に配設され，キャップ７が載置される昇降板２８とを備えてなるカセット２３と，吸着ノズル３６を含みこの吸着ノズル３６によりカセット２３内に積層収納されているキャップ７を上から１枚ずつ順に吸着保持してカセット２３の収納孔２７の配列方向と平行に移送して外囲器３上に載置するキャップ搬送手段２５と，カセット２３内のキャップ７を取り出した際，吸着ノズル３６を振動させ，１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を分離落下させる加振手段３８とを設けたものである。
【０００７】
以下，この装置の詳細について説明する。
図５はこのキャップ給送装置を示す正面図，図６はこの装置の平面図，図７はカセットの昇降機構を示す斜視図である。
図５〜図７において，キャップ給送装置２０は，チャンバ内に前後に平行に設置された左右方向に長く延在する架台２１およびレール支柱２２を備え，架台２１には多数のキャップ７を収納するカセット２３及びキャップ７を位置決めするキャップセンタリング装置２４が配設され，レール支柱２２の上面には，カセット２３内のキャップ７を吸引保持して所定の位置，即ち，キャップセンタリング装置２４上に搬送載置するキャップ搬送手段２５を摺動自在に案内するガイドレール２６が配設されている。
【０００８】
カセット２３は，図７に示すように，直方体のブロック状に形成されており，例えば，５つの収納孔２７が上面に形成されたカセット本体２３Ａと，このカセット本体２３Ａの内部に昇降自在に配設され各収納孔２７内に積層収納されるキャップ７を共通に支持する昇降板２８とで構成されている。収納孔２７はキャップ７の搬送方向（図５の矢印Ｂ方向）に適宜間隔をおいて並設されている。カセット本体２３Ａの上面には，各収納孔２７を横切る溝２９が形成されており，この溝２９を挟んでカセット本体２３Ａの両側に各収納孔２７内に収納されている一番上，即ち，１枚目のキャップ７を検出する検出手段３０としての発光素子３０Ａと受光素子３０Ｂが配設されている（図７）。
【０００９】
図７において，３１Ａおよび３１Ｂは，昇降板２８に設けた一対の支持棒であり，架台２１の下部に設置された駆動モータ（図示せず）の出力軸が上下動されるねじ棒３２を形成し，その上端に軸方向の移動を阻止されて嵌装されたカラー３４を介して配設されたプレート３３に立設されている。制御部からの駆動信号によって駆動モータを正方向に間欠的に駆動すると，ねじ棒３２が回転して上昇移動するため，これと一体にプレート３３も上昇して昇降板２８を押し上げ，これにより収納孔２７内に積層収納されている一番上のキャップ７を検出手段３０による検出可能な位置，即ち，収納孔２７の上側開口部に移動させる。
【００１０】
図５及び図６において，キャップ搬送手段２５は，ガイドレール２６に沿って移動自在な可動フレーム３５と，カセット２３内のキャップ７を吸引保持する吸着ノズル３６とを備えている。可動フレーム３５は，側面視逆Ｌ字状に屈曲形成されることにより，架台２１の上方に延在する水平アーム部３５Ａと，下方に延在する垂直アーム部３５Ｂとを一体に備え，水平アーム部３５Ａの先端部に吸着ノズル３６がエアシリンダ３７によって昇降自在に配設され，真空ポンプ（図示せず）に配管されている。
【００１１】
３８は吸着ノズル３６がカセット２３のある１つの収納孔２７内の一番上のキャップ７を吸引保持した際，吸着ノズル３６を振動させる加振手段で，これにより吸着ノズル３６に吸着されている１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を収納孔２７に落下させる。この加振落下は，一枚目のキャップ７を吸着保持した後，ねじ棒３２の駆動モータを逆方向に駆動することによりカセット２３内に積層されたキャップ位置を下げ，キャップ７に密着したキャップとカセット２３内に積層されているキャップとの間に空隙（隙間）を設け，ここで，加振手段３８により加振し，密着した２枚目以降のキャップを振り落とす。このように，密着したキャップを収納孔２７内で振り落とすと，カセットの交換回数を減らすことができ，稼働率を上げることが出来る利点がある。
【００１２】
一方，可動フレーム３５の垂直アーム３５Ｂは，下面にガイドレール２６に摺動自在に嵌合する嵌合溝を有するスライダ３９と，ボールねじ４０に螺合するナット４１とを備えている。ボールねじ４０は，ガイドレール２６の上方に位置してレール支柱２２の両端に設けられた軸受４２に軸支されて配設されており，一端がカップリング装置４３を介して駆動モータ４４の出力軸４５に連結されている。
【００１３】
キャップ７の搬送に際しては，駆動モータ４４の駆動によってキャップ搬送手段２５を移動させて吸着ノズル３６をカセット２３の５つの収納孔２７のうち検出手段３０によってキャップ７の存在が検出された収納孔の上方で停止させ，エアシリンダ３７によって吸着ノズル３６を下降させると，吸着ノズル３６が当該収納孔２７内に収納されている一番上のキャップ７を吸引保持して取り出す。そして，加振装置３８による加振後，駆動モータ４４の駆動によりキャップ搬送手段２５を移動させ，吸着ノズル３６に保持されているキャップ７をキャップセンタリング装置２４上に載置する。
【００１４】
キャップ搬送手段２５によるカセット２３からのキャップ７の取り出しに際しては，カセット２３の各収納孔２７に収納されている最上段のキャップ７のうち２枚以上のキャップが取り出し位置にある場合，何番目の収納孔から順に取り出すかを予め制御部に記憶しておき，駆動モータ４４を駆動する。
【００１５】
図６において，キャップセンタリング装置２４は，キャップ搬送手段２５によって搬送されたキャップ７をブロック４６の互いに直交する２辺４７ａ，４７ｂに一対の押さえ爪４８，４９によって押し付けることにより，Ｘ，Ｙ方向の位置決めを行う。
そして，キャップセンタリング装置２４によって位置決めされたキャップ７はキャップ搬送手段２５とは別のキャップ搬送手段（図示せず）に受け渡され，シーム接合位置の外囲器３上に搬送設置され，一対のローラ電極により望ましくは仮止めされた後，上記したようにシーム接合される。
【００１６】
この装置によれば，キャップ搬送手段２５の吸着ノズル３６によってカセット２３内のキャップ７を吸引保持した際，加振手段３８によって吸着ノズル３６を振動させるように構成したので，吸着ノズル３６によって保持されている１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を振り落とすことが出来る。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，通常収納孔２７の内径とキャップ７外径との間隙は，最小にされているため，このような加振手段３８による方法では充分な加振が出来ず，１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を振り落とすことができないという問題があった。
【００１８】
又，カセット２３の移動方向とキャップ搬送手段２５の移動方向が同一直線上におかれているため，カセット７の複数のキャップ収納孔２７内のキャップ７のピックアップ方法が複雑となり，カセット２３の構造及び吸着保持のための制御方法が複雑となるという問題があった。
【００１９】
この発明は，上記したような従来の問題点に鑑みなされたもので，その目的とするところは，比較的簡単な構成でキャップ７を１枚ずつ確実に搬送することができ，シーム接合の作業能率を向上させるようにしたキャップ給送装置を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は，カセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持して移送し外囲器上に載置するキャップ給送装置において，吸着ノズルを含みこの吸着ノズルによりカセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持すべく昇降自在に支承されると共に，保持したキャップを移送し所定位置に載置するキャップ搬送手段と，このキャップ搬送手段の移送方向と直交方向に間欠移動され，上面に開放しキャップを積層収納する収納孔を該移動方向に平行に複数個有するカセットと，キャップ搬送手段の昇降軸線上を昇降し前記カセットの移動方向に直交して配置され，カセット内のキャップを昇降させるキャップ昇降手段と，キャップ搬送手段がキャップを吸着して所定距離上昇した時に，該キャップに側面から気体を吹き付けて１枚目のキャップに密着している２枚目以降のキャップを分離落下させる気体吹き付け手段とを設けたものである。
【００２１】
第２の発明は，カセットは収納孔の側面においてこの収納孔の底面下部から上面に至るスリットが設けられ，キャップ昇降手段は，スリットの収納孔の底面下部に挿抜し得る昇降爪を備え，この昇降爪を昇降手段によって昇降させるようにしたものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
この発明の実施例を，図１〜図４に基づいて詳細に説明する。
図１はこの発明の実施例を示す正面図，図２は図１の右側面図，図３は図１の要部背面図，図４はカセット５２の背面斜視図である。なお，従来例と同一のものは，同一名称，同一符号を付し，その説明を省略する。
【００２３】
図１〜図３において，５０はキャップ給送装置で，基台５１には，カセット５２を間欠的に駆動するためのカセット間欠駆動手段５３を支持する支柱５４とキャップ搬送手段５５を支持するための支柱５６とが立設されている。
カセット間欠駆動手段５３を支持する支柱５４の上面には，左右方向に長い架台５７が支持されており，この架台５７上には，カセット台５８に載置され，多数のキャップ５９を積層収納するカセット５２が，このカセット５２を間欠的に移動させるカセット間欠駆動手段５３を介して配設されているとともに，このカセット５２内に収納されているキャップ５９を昇降させるためのキャップ昇降手段６０を支持している支柱６１とが配設されている。
【００２４】
カセット５２は，図４に示すように，外形形状は直方体のブロック状に形成されており，内部にキャップ５９を積層収納するための収納孔６２が，底面下部から上面まで連通するとともに，例えば，カセット５２の搬送方向（図１の矢印Ｘ方向）に収納孔６２が５つ適宜間隔をおいて並設されている。さらに，カセット５２の上面には，各収納孔６２を横切る溝６３が形成されているとともに，背面側には，カセット５２の底面下部から上面まで収納孔６２の側面において連通するスリット６４が形成されている。従って，カセット５２の背面側では，背面側の溝６３とスリット６４とは収納孔６２を介して水平方向において連通している。
【００２５】
カセット５２の前後方向両側には，溝６３を挟んで収納孔６２内に収納されている一番上のキャップ，即ち，１枚目のキャップ５９を検出するためのキャップ検出手段６５として，発光素子６５Ａと受光素子６５Ｂとが一対として１箇所配設されている。
【００２６】
カセット５２を収納孔６２のピッチ分ずつ間欠的に移動させるカセット間欠駆動手段５３は，架台５７に配設されているガイドレ−ル６６とこのガイドレ−ル６６に摺動自在に配設されているスライダ６７とボールねじ６８と噛合するナット６９とを備えている。ボールねじ６８は，駆動モータ７０側の軸受７１と架台５７に立設されている軸受７２とに支持されているとともに，一端はカップリング装置７３を介してボールねじ６８を回転するための駆動モータ７０の出力軸に連結されている。
【００２７】
７４は初期位置を検出するための初期位置検出スイッチ，７５，７６はそれぞれ左限リミッタスイッチおよび右限リミッタスイッチで，いずれもカセット５２の左右方向の移動範囲を制限している。従って，左限リミッタスイッチ７５および右限リミッタスイッチ７６が配設されている範囲内において，カセット間欠駆動手段５３により，カセット５２は初期位置から矢印Ｘ方向へ収納孔６２のピッチ分ずつ間欠的に移動するように構成されている。
【００２８】
キャップ昇降手段６０は，キャップ昇降手段６０の支柱６１に取り付けられているガイドレール７７と，このガイドレール７７に沿って，図１〜図３に矢印Ｙで示すように，摺動自在に嵌合してキャップ搬送手段５５の昇降軸線と平行に昇降する摺動ブロック８０と，この摺動ブロック８０を昇降させるための駆動モータ７９と，この摺動ブロック８０にエアシリンダ８１を介して取り付けられているとともに，ガイドレール７７に沿って摺動ブロック８０と一体となって昇降し，エアシリンダ８１により図２に矢印Ｚで示すように，カセット５２の背面方向から前進後進する爪取り付けブロック８２とを備えており，カセット５２の移動方向に直交して配設されている。８１ａはエアシリンダ８１のエア供給口である。
【００２９】
さらに，キャップ昇降手段６０の駆動モータ７９の出力軸（図示せず）には，ピニオン（図示せず）が固定されているとともに，このピニオンと噛合し上端を摺動ブロック８０に固定したラック７８が摺動ブロック８０の昇降方向に平行に配設されている。従って，駆動モータ７９が駆動されると，摺動ブロック８０に固定されているエアシリンダ８１，爪取り付けブロック８２，昇降爪８４とがと一体となって，ガイドレール７７に沿って矢印Ｙ方向にキャップ５９の１枚分の厚さだけ昇降するように構成されている。
【００３０】
爪取り付けブロック８２には，図４に示すように，カセット５２の収納孔６２の底面に昇降自在に配設されている摺動子８３の係合孔８３ａと係脱自在に嵌合する昇降爪８４が取り付けられている。摺動ブロック８０，エアシリンダ８１，爪取り付けブロック８２と昇降爪８４と摺動子８３とは，摺動ブロック８０の昇降に伴って矢印Ｙで示すように昇降するとともに，昇降爪８４と爪取り付けブロック８２とは，エアシリンダ８１により，図２に矢印Ｚで示すように，カセット５２の背面側から前進後退して昇降爪８４がカセット５２の背面側からスリット６４内の摺動子８３の係合孔８３ａに挿抜するように構成されている。
【００３１】
８５，８６はそれぞれキャップ昇降手段６０の上限リミッタスイッチおよび下限リミッタスイッチで，摺動ブロック８０の昇降範囲の上限位置と下限位置とを規制している。８７，８８は，キャップ昇降手段６０の上限メカニカルストッパおよび下限メカニカルストッパである。キャップ昇降手段６０の支柱６１の頂部には，後述するキャップ搬送手段５５の吸着ノズル８９が，キャップ５９を吸着して所定距離上昇した時に，このキャップ５９の側面から気体を吹き付けるための気体吹き付け手段９０が配設されている。
【００３２】
気体吹き付け手段９０は，気体供給口取り付けブロック９１と，この気体供給口取り付けブロック９１に取り付けられている気体供給口９２およびこの気体供給口９２の先端に吸着ノズル８９に向けて固定されており，吸着ノズル８９に気体を吹き付けるための気体ノズル９３とが備えられている。
【００３３】
支柱５６の上面には，商工自在に支承されてカセット５２に積層収納されているキャップ５９を１枚ずつ順に吸着保持し，キャップセンタリング装置２４（図６）上に載置するキャップ搬送手段５５をカセット５２の移動方向とは直交方向に摺動自在に搬送するためのガイドレール９４が配設されている。
【００３４】
キャップ搬送手段５５は，ガイドレール９４に沿ってカセット５２の移動方向とは直交する方向に摺動自在な可動フレーム９５を備えている。この可動フレーム９５には，ガイドレール９４に摺動自在に嵌合するスライダ９６と，吸着ノズル８９を昇降させるエアシリンダ９７とを備えている。そして，キャップ搬送手段５５は，さらに，駆動モータ（図示せず）の駆動によって，吸着ノズル８９に保持されたキャップ５９をカセット５２の移動方向とは直交する方向に位置しているキャップセンタリング装置２４（図６）上に移送するためのボールねじ９８とこのボールねじ９８に噛合するナット９９とボールねじ９８の軸受部１００とを備えている。さらに，キャップ５９は他の搬送手段によりキャップセンタリング装置２４を介して外囲器３（図８）に移送される。本実施例においては，キャップ５９を一旦キャップセンタリング装置２４上に載置する構成としたが，直接外囲器３上に載置することも可能である。
【００３５】
１０１，１０２は，それぞれは上限リミッタスイッチおよび下限リミッタスイッチで，エアシリンダ９７による吸着ノズル８９の可動範囲を規制している。１０３はエアシリンダ９７のエア吸入口，１０４はエアシリンダ９７のエア供給口である。
【００３６】
次に，作用動作について説明する。
まず，カセット５２の各収納孔６２には，キャップ５９が積層収納されているとともに，爪取り付けブロック８２に取り付けられている昇降爪８４の先端部は，カセット５２の収納孔６２のスリット６４から外に出た位置となっている。キャップ搬送手段５５の可動フレーム９５は上昇し，従って，吸着ノズル８９は上昇した状態に位置決めされている。
【００３７】
そこで，駆動モータ７０が駆動すると，カセット間欠駆動手段５３が駆動される。この回転駆動力は，カップリング装置７３を介してボールねじ６８に伝達される。このボールねじ６８が回転すると，スライダ６７を介してカセット台５８が矢印Ｘで示す方向に移動し，カセット５２が吸着ノズル８９の真下まで移動してカセット５２は停止する。
【００３８】
吸着ノズル８９の真下に収納孔６２が位置決めされると，エアシリンダ８１がオンする。すると，爪取り付けブロック８２に取り付けられている昇降爪８４の先端部が，カセット５２の背面側からスリット６４の底面に配設されている摺動子８３の係合孔８３ａに挿入される。
【００３９】
次いで，駆動モータ７９が回転駆動され，ラック７８が駆動されて摺動ブロック８０と爪取り付けブロック８２とエアシリンダ８１と昇降爪８４とが一体となってガイドレール７７に沿ってキャップ５９の１個分の厚みだけ上昇する。キャップ５９がカセット５２の収納孔６２の所定位置に来たことがキャップ検出手段６５により検出されると，エアシリンダ９７が駆動され，吸着ノズル８９が下降して１番上のキャップ５９が吸着される。
【００４０】
次いで，この吸着ノズル８９が所定距離上昇すると，気体吹き付け手段９０の気体供給口９２から気体が気体ノズル９３に供給され，吸着ノズル８９に吸着されているキャップ５９の側面から気体が吹き付けられる。すると，吸着ノズル８９に吸着されている１枚目のキャップ５９に２枚目以降のキャップ５９が密着している場合には，２枚目以降のキャップは吹き付けられた気体によりふるい落とされ，そのまま収納孔６２内に落下する。
【００４１】
このようにして，１枚目のキャップ５９のみが吸着ノズル８９に保持された可動フレ−ム９５は，ガイドレール９４に沿ってカセット５２の進行方向とは直交する方向の所定位置，この場合は，キャップセンタリング装置２４（図６）へ移送される。次いで，キャップセンタリング装置２４に移送されたキャップ５９は，図６に示す従来例において説明したように，ブロック４６の互いに直交する２辺４７ａ，４７ｂに一対の押さえ爪４８，４９によって押し付けられることにより，Ｘ，Ｙ方向の位置決めが行われ，この位置決めされたキャップ５９は，キャップ搬送手段５５とは別のキャップ搬送手段（図示せず）に受け渡され，シーム接合位置の外囲器３上に搬送設置され，一対のローラ電極により仮止めされた後，上記したようにシーム接合される。
【００４２】
１枚目のキャップ５９をキャップセンタリング装置２４に移送した後，可動フレーム９５はもとの位置に復帰してカセット５２の収納孔６２の上に吸着ノズル８９が位置決めされる。同時に，駆動モータ７９によりラック７８が駆動され，摺動ブロック８０と爪取り付けブロック８２とエアシリンダ８１と昇降爪８４とが一体となってキャップ５９の１枚分の厚さだけ上昇する。従って，収納孔６２に積層収納されている他のキャップ５９は，昇降爪８４に押し上げられ，２枚目のキャップ５９が収納孔６２の一番上に現れる。
【００４３】
この時，収納孔６２のキャップ５９の位置は，キャップ検出手段６５の発光素子６５Ａおよび受光素子６５Ｂにより検出される。その結果，所定の位置にキャップ５９があることが確認されると，上記と同様な動作で２枚目のキャップ５９が搬送される。なお，この際，昇降爪８４を取り付けた爪取り付けブロック８２は，エアシリンダ８１によりカセット５２の背面方向から押圧されており，この状態は，最初の収納孔６２内のキャップ５９がすべて吸着ノズル８９によりキャップセンタリング装置２４に移送されるまで保持されている。
【００４４】
このようにして，最初の１つの収納孔６２に積層収納されているキャップ５９が，すべて吸着ノズル８９により１枚ずつキャップセンタリング装置２４に移送されると，溝６３を挟んで配設されている発光素子６５Ａと受光素子６５Ｂとにより，最初の収納孔６２にはキャップがないことが確認される。
【００４５】
すると，駆動モータ７９は逆回転して摺動ブロック８０と爪取り付けブロック８２とエアシリンダ８１と昇降爪８４とは一体としてガイドレール７７に沿って下降し，所定位置で停止するとともに，エアシリンダ８１が駆動されその軸が引っ込む。すると，昇降爪８４はカセット５２の収納孔６２に収納されている摺動子８３との係合口８３ａから抜きでてカセット５２の外に出る。
【００４６】一方，キャップ検出手段６５により収納孔６２内のキャップ５９がすべて搬送されたことが確認されると，カセット間欠駆動手段５３により，駆動モータ７０が駆動され，ボールねじ６８が回転して，カセット台５８とともにカセット５２が収納孔６２のピッチ分だけ矢印Ｙ方向に移動して，２番目の収納孔６２が吸着ノズル８９の真下に位置決めされる。そして，エアシリンダ８１により，前記と同様に昇降爪８４が，カセット５２の２番目の収納孔６２のスリット６４から進入して，摺動子８３の係合孔８３ａに挿入される。
【００４７】
このようにして，順々に１つずつ収納孔６２内のキャップ５９が，キャップセンタリング装置２４に搬送され，位置決めされ，キャップ搬送手段５５とは別のキャップ搬送手段（図示せず）に受け渡され，シーム接合位置の外囲器３上に搬送設置され，一対のローラ電極により仮止めされた後，上記したようにシーム接合される。
【００４８】
カセット５２の最後の収納孔６２に積層収納されているキャップ５９がすべて搬送処理されると駆動モータ７０が逆回転方向に駆動される。従って，ボールねじ６８が反対方向に回転するから，カセット台５８とともにカセット５２は，矢印Ｘと反対方向に後退する。初期位置に後退したことが初期位置検出スイッチ７４により検出されると，この初期位置検出スイッチ７４がオンして，カセット５２は停止する。そして，カセット５２の各収納孔６２には，新たなキャップ５９が積層収納される。
【００４９】
【発明の効果】
この発明は，カセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持して移送し外囲器上に載置するキャップ給送装置において，吸着ノズルを含みこの吸着ノズルによりカセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持すべく昇降自在に支承されると共に，保持したキャップを移送し所定位置に載置するキャップ搬送手段と，このキャップ搬送手段の移送方向と直交方向に間欠移動され，上面に開放しキャップを積層収納する収納孔を該移動方向に平行に複数個有するカセットと，キャップ搬送手段の昇降軸線上を昇降し前記カセットの移動方向に直交して配置され，カセット内のキャップを昇降させるキャップ昇降手段と，キャップ搬送手段がキャップを吸着して所定距離上昇した時に，該キャップに側面から気体を吹き付けて１枚目のキャップに密着している２枚目以降のキャップを分離落下させる気体吹き付け手段とを設けたので，個々の収納孔毎にキャップの取り出しが可能となり，１枚目のキャップを検出する手段をカセットの両側に各収納孔毎に設ける必要がなくなるとともに，従来のようにカセットの各収納孔に収納されている最上段のキャップを各収納孔毎に順に取り出す必要がないので，いずれの収納孔から取り出すかの制御も不要である。
【００５０】
その上，従来のように，収納孔毎に１枚ずつまんべんなくアクセスする必要もなくなるので，キャップ搬送に要する時間が大幅に短縮される。
【００５１】
又，この発明は，カセットは収納孔の側面においてこの収納孔の底面下部から上面に至るスリットが設けられ，キャップ昇降手段は，スリットの収納孔の底面下部に挿抜し得る昇降爪を備え，この昇降爪を昇降手段によって昇降させるようにし，従来の加振手段にかえて気体（窒素ガス等の不活性ガス）を吹き付けるので，カセットの収納孔の内径とキャップ外径との間隙が小さくても２枚目以降のキャップを確実にふるい落とすことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す正面図である。
【図２】この発明の実施例を示す右側面図である。
【図３】この発明の実施例を示す要部背面図である。
【図４】この発明の実施例を示すもので，カセット５２の背面側斜視図である。
【図５】従来例を示す正面図である。
【図６】従来例を示す平面図である。
【図７】従来例を示すもので，カセット７の斜視図である。
【図８】従来例を示す説明図である。
【図９】従来例を示す説明図である。
【図１０】従来例を示す説明図である。
【符号の説明】
５０ キャップ供給装置
５２ カセット
５３ カセット間欠駆動手段
５５ キャップ搬送手段
５９ キャップ
６０ キャップ昇降手段
６２ 収納孔
６４ スリット
８４ 昇降爪
８９ 吸着ノズル
９０ 気体吹き付け手段
【発明の属する技術分野】
この発明は，半導体素子，水晶振動子等のチップを搭載収納したパッケージの開口部に金属製キャップを自動的にシーム接合するシーム接合機に適用して好適なキャップ給送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来，半導体素子，水晶振動子等のチップをパッケージに気密封止する方法として，マイクロパラレルシーム接合法が広く用いられている（特公平１−３８３７３号公報）。このシーム接合法は，図８及び図９〜図１０に示すように，セラミック基板１に金属製シームフレーム２をろう付けしてなるセラミック製（もしくは全体が金属製）の外囲器３の内部に，半導体素子等のチップ４を収納し，このチップ４をワイヤ５によって外リード６に電気的に接続した後，コバール（Ｆｅ−Ｎｉ合金），４２アロイ等からなる金属製キャップ（蓋板）７を外囲器３の開口部に被せ，キャップ７の対向する２辺，例えば長辺の一端縁部イに一対のテーパ付きローラ電極８ａ，８ｂを一定の加圧条件の下で接触させ，外囲器３を図９に示すように，矢印Ａ方向に移動させると同時にロ−ラ電極８ａ，８ｂにパルセーション通電（例えば，８Ｖ，１４０〜１８０Ａ）を行い，この時発生するジュール熱により長辺を溶融し外囲器３にキャップ７をシーム接合する。
【０００３】
長辺のシーム接合が終了すると，ローラ電極８ａ，８ｂを一旦上昇移動させて電極間隔を調整するとともに，図１０に示すように，外囲器３を水平面内において９０°回転させた後，再びローラ電極８ａ，８ｂを下降させて他の対向する２辺，即ち，短辺側２辺を同様にキャップ７をシーム接合し，もってチップ４を気密に封止するものである。なお，上記工程は空気中でも可能であるが，通常は酸化を防ぐためにドライボックスと称するチャンバ内で行われる。９は外囲器３が設置されているキャリアボードである。
【０００４】
このように，キャップ７はシーム接合機によって外囲器３にシーム接合されるものであるが，キャップ７の外囲器３への供給に際しては，従来，吸引手段によって吸引保持して搬送していた。
【０００５】
しかしながら，このような従来のシーム接合機におけるキャップ給送装置においては，吸引手段によりパーツフィーダに積層配置されているキャップを上から順に取り出す際に起こる現象として，複数枚のキャップが重なり合ったまま取り出されることがあった。これはキャップの材質がコバール，４２アロイ等のためキャップ自体が磁化して互いにくっついたり，湿気による表面張力により密着したりするためである。そして，一度に複数枚のキャップがシーム接合位置の外囲器３上に搬送された場合には，シーム接合を行うことが出来ず，その都度余分なキャップを取り除く必要があるため，シーム接合の作業能率が低いという問題があった。特に，シーム接合機においては，このような作業は窒素ガスの室を形成するグローブボックス内で行われるため，外部から手袋を通して行う作業となり，面倒である。
【０００６】
このような問題を解決するものとして，本出願人は，先に特開平６−２２４２３１号公報に開示された「キャップ給送装置」を提案した。
このキャップ給送装置は，上面に開放した複数個のキャップ７を積層収納する収納孔２７を一列に等間隔に設けたカセット本体２３Ａと，カセット本体２３Ａ内に上下動自在に配設され，キャップ７が載置される昇降板２８とを備えてなるカセット２３と，吸着ノズル３６を含みこの吸着ノズル３６によりカセット２３内に積層収納されているキャップ７を上から１枚ずつ順に吸着保持してカセット２３の収納孔２７の配列方向と平行に移送して外囲器３上に載置するキャップ搬送手段２５と，カセット２３内のキャップ７を取り出した際，吸着ノズル３６を振動させ，１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を分離落下させる加振手段３８とを設けたものである。
【０００７】
以下，この装置の詳細について説明する。
図５はこのキャップ給送装置を示す正面図，図６はこの装置の平面図，図７はカセットの昇降機構を示す斜視図である。
図５〜図７において，キャップ給送装置２０は，チャンバ内に前後に平行に設置された左右方向に長く延在する架台２１およびレール支柱２２を備え，架台２１には多数のキャップ７を収納するカセット２３及びキャップ７を位置決めするキャップセンタリング装置２４が配設され，レール支柱２２の上面には，カセット２３内のキャップ７を吸引保持して所定の位置，即ち，キャップセンタリング装置２４上に搬送載置するキャップ搬送手段２５を摺動自在に案内するガイドレール２６が配設されている。
【０００８】
カセット２３は，図７に示すように，直方体のブロック状に形成されており，例えば，５つの収納孔２７が上面に形成されたカセット本体２３Ａと，このカセット本体２３Ａの内部に昇降自在に配設され各収納孔２７内に積層収納されるキャップ７を共通に支持する昇降板２８とで構成されている。収納孔２７はキャップ７の搬送方向（図５の矢印Ｂ方向）に適宜間隔をおいて並設されている。カセット本体２３Ａの上面には，各収納孔２７を横切る溝２９が形成されており，この溝２９を挟んでカセット本体２３Ａの両側に各収納孔２７内に収納されている一番上，即ち，１枚目のキャップ７を検出する検出手段３０としての発光素子３０Ａと受光素子３０Ｂが配設されている（図７）。
【０００９】
図７において，３１Ａおよび３１Ｂは，昇降板２８に設けた一対の支持棒であり，架台２１の下部に設置された駆動モータ（図示せず）の出力軸が上下動されるねじ棒３２を形成し，その上端に軸方向の移動を阻止されて嵌装されたカラー３４を介して配設されたプレート３３に立設されている。制御部からの駆動信号によって駆動モータを正方向に間欠的に駆動すると，ねじ棒３２が回転して上昇移動するため，これと一体にプレート３３も上昇して昇降板２８を押し上げ，これにより収納孔２７内に積層収納されている一番上のキャップ７を検出手段３０による検出可能な位置，即ち，収納孔２７の上側開口部に移動させる。
【００１０】
図５及び図６において，キャップ搬送手段２５は，ガイドレール２６に沿って移動自在な可動フレーム３５と，カセット２３内のキャップ７を吸引保持する吸着ノズル３６とを備えている。可動フレーム３５は，側面視逆Ｌ字状に屈曲形成されることにより，架台２１の上方に延在する水平アーム部３５Ａと，下方に延在する垂直アーム部３５Ｂとを一体に備え，水平アーム部３５Ａの先端部に吸着ノズル３６がエアシリンダ３７によって昇降自在に配設され，真空ポンプ（図示せず）に配管されている。
【００１１】
３８は吸着ノズル３６がカセット２３のある１つの収納孔２７内の一番上のキャップ７を吸引保持した際，吸着ノズル３６を振動させる加振手段で，これにより吸着ノズル３６に吸着されている１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を収納孔２７に落下させる。この加振落下は，一枚目のキャップ７を吸着保持した後，ねじ棒３２の駆動モータを逆方向に駆動することによりカセット２３内に積層されたキャップ位置を下げ，キャップ７に密着したキャップとカセット２３内に積層されているキャップとの間に空隙（隙間）を設け，ここで，加振手段３８により加振し，密着した２枚目以降のキャップを振り落とす。このように，密着したキャップを収納孔２７内で振り落とすと，カセットの交換回数を減らすことができ，稼働率を上げることが出来る利点がある。
【００１２】
一方，可動フレーム３５の垂直アーム３５Ｂは，下面にガイドレール２６に摺動自在に嵌合する嵌合溝を有するスライダ３９と，ボールねじ４０に螺合するナット４１とを備えている。ボールねじ４０は，ガイドレール２６の上方に位置してレール支柱２２の両端に設けられた軸受４２に軸支されて配設されており，一端がカップリング装置４３を介して駆動モータ４４の出力軸４５に連結されている。
【００１３】
キャップ７の搬送に際しては，駆動モータ４４の駆動によってキャップ搬送手段２５を移動させて吸着ノズル３６をカセット２３の５つの収納孔２７のうち検出手段３０によってキャップ７の存在が検出された収納孔の上方で停止させ，エアシリンダ３７によって吸着ノズル３６を下降させると，吸着ノズル３６が当該収納孔２７内に収納されている一番上のキャップ７を吸引保持して取り出す。そして，加振装置３８による加振後，駆動モータ４４の駆動によりキャップ搬送手段２５を移動させ，吸着ノズル３６に保持されているキャップ７をキャップセンタリング装置２４上に載置する。
【００１４】
キャップ搬送手段２５によるカセット２３からのキャップ７の取り出しに際しては，カセット２３の各収納孔２７に収納されている最上段のキャップ７のうち２枚以上のキャップが取り出し位置にある場合，何番目の収納孔から順に取り出すかを予め制御部に記憶しておき，駆動モータ４４を駆動する。
【００１５】
図６において，キャップセンタリング装置２４は，キャップ搬送手段２５によって搬送されたキャップ７をブロック４６の互いに直交する２辺４７ａ，４７ｂに一対の押さえ爪４８，４９によって押し付けることにより，Ｘ，Ｙ方向の位置決めを行う。
そして，キャップセンタリング装置２４によって位置決めされたキャップ７はキャップ搬送手段２５とは別のキャップ搬送手段（図示せず）に受け渡され，シーム接合位置の外囲器３上に搬送設置され，一対のローラ電極により望ましくは仮止めされた後，上記したようにシーム接合される。
【００１６】
この装置によれば，キャップ搬送手段２５の吸着ノズル３６によってカセット２３内のキャップ７を吸引保持した際，加振手段３８によって吸着ノズル３６を振動させるように構成したので，吸着ノズル３６によって保持されている１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を振り落とすことが出来る。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，通常収納孔２７の内径とキャップ７外径との間隙は，最小にされているため，このような加振手段３８による方法では充分な加振が出来ず，１枚目のキャップ７に密着している２枚目以降のキャップ７を振り落とすことができないという問題があった。
【００１８】
又，カセット２３の移動方向とキャップ搬送手段２５の移動方向が同一直線上におかれているため，カセット７の複数のキャップ収納孔２７内のキャップ７のピックアップ方法が複雑となり，カセット２３の構造及び吸着保持のための制御方法が複雑となるという問題があった。
【００１９】
この発明は，上記したような従来の問題点に鑑みなされたもので，その目的とするところは，比較的簡単な構成でキャップ７を１枚ずつ確実に搬送することができ，シーム接合の作業能率を向上させるようにしたキャップ給送装置を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は，カセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持して移送し外囲器上に載置するキャップ給送装置において，吸着ノズルを含みこの吸着ノズルによりカセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持すべく昇降自在に支承されると共に，保持したキャップを移送し所定位置に載置するキャップ搬送手段と，このキャップ搬送手段の移送方向と直交方向に間欠移動され，上面に開放しキャップを積層収納する収納孔を該移動方向に平行に複数個有するカセットと，キャップ搬送手段の昇降軸線上を昇降し前記カセットの移動方向に直交して配置され，カセット内のキャップを昇降させるキャップ昇降手段と，キャップ搬送手段がキャップを吸着して所定距離上昇した時に，該キャップに側面から気体を吹き付けて１枚目のキャップに密着している２枚目以降のキャップを分離落下させる気体吹き付け手段とを設けたものである。
【００２１】
第２の発明は，カセットは収納孔の側面においてこの収納孔の底面下部から上面に至るスリットが設けられ，キャップ昇降手段は，スリットの収納孔の底面下部に挿抜し得る昇降爪を備え，この昇降爪を昇降手段によって昇降させるようにしたものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
この発明の実施例を，図１〜図４に基づいて詳細に説明する。
図１はこの発明の実施例を示す正面図，図２は図１の右側面図，図３は図１の要部背面図，図４はカセット５２の背面斜視図である。なお，従来例と同一のものは，同一名称，同一符号を付し，その説明を省略する。
【００２３】
図１〜図３において，５０はキャップ給送装置で，基台５１には，カセット５２を間欠的に駆動するためのカセット間欠駆動手段５３を支持する支柱５４とキャップ搬送手段５５を支持するための支柱５６とが立設されている。
カセット間欠駆動手段５３を支持する支柱５４の上面には，左右方向に長い架台５７が支持されており，この架台５７上には，カセット台５８に載置され，多数のキャップ５９を積層収納するカセット５２が，このカセット５２を間欠的に移動させるカセット間欠駆動手段５３を介して配設されているとともに，このカセット５２内に収納されているキャップ５９を昇降させるためのキャップ昇降手段６０を支持している支柱６１とが配設されている。
【００２４】
カセット５２は，図４に示すように，外形形状は直方体のブロック状に形成されており，内部にキャップ５９を積層収納するための収納孔６２が，底面下部から上面まで連通するとともに，例えば，カセット５２の搬送方向（図１の矢印Ｘ方向）に収納孔６２が５つ適宜間隔をおいて並設されている。さらに，カセット５２の上面には，各収納孔６２を横切る溝６３が形成されているとともに，背面側には，カセット５２の底面下部から上面まで収納孔６２の側面において連通するスリット６４が形成されている。従って，カセット５２の背面側では，背面側の溝６３とスリット６４とは収納孔６２を介して水平方向において連通している。
【００２５】
カセット５２の前後方向両側には，溝６３を挟んで収納孔６２内に収納されている一番上のキャップ，即ち，１枚目のキャップ５９を検出するためのキャップ検出手段６５として，発光素子６５Ａと受光素子６５Ｂとが一対として１箇所配設されている。
【００２６】
カセット５２を収納孔６２のピッチ分ずつ間欠的に移動させるカセット間欠駆動手段５３は，架台５７に配設されているガイドレ−ル６６とこのガイドレ−ル６６に摺動自在に配設されているスライダ６７とボールねじ６８と噛合するナット６９とを備えている。ボールねじ６８は，駆動モータ７０側の軸受７１と架台５７に立設されている軸受７２とに支持されているとともに，一端はカップリング装置７３を介してボールねじ６８を回転するための駆動モータ７０の出力軸に連結されている。
【００２７】
７４は初期位置を検出するための初期位置検出スイッチ，７５，７６はそれぞれ左限リミッタスイッチおよび右限リミッタスイッチで，いずれもカセット５２の左右方向の移動範囲を制限している。従って，左限リミッタスイッチ７５および右限リミッタスイッチ７６が配設されている範囲内において，カセット間欠駆動手段５３により，カセット５２は初期位置から矢印Ｘ方向へ収納孔６２のピッチ分ずつ間欠的に移動するように構成されている。
【００２８】
キャップ昇降手段６０は，キャップ昇降手段６０の支柱６１に取り付けられているガイドレール７７と，このガイドレール７７に沿って，図１〜図３に矢印Ｙで示すように，摺動自在に嵌合してキャップ搬送手段５５の昇降軸線と平行に昇降する摺動ブロック８０と，この摺動ブロック８０を昇降させるための駆動モータ７９と，この摺動ブロック８０にエアシリンダ８１を介して取り付けられているとともに，ガイドレール７７に沿って摺動ブロック８０と一体となって昇降し，エアシリンダ８１により図２に矢印Ｚで示すように，カセット５２の背面方向から前進後進する爪取り付けブロック８２とを備えており，カセット５２の移動方向に直交して配設されている。８１ａはエアシリンダ８１のエア供給口である。
【００２９】
さらに，キャップ昇降手段６０の駆動モータ７９の出力軸（図示せず）には，ピニオン（図示せず）が固定されているとともに，このピニオンと噛合し上端を摺動ブロック８０に固定したラック７８が摺動ブロック８０の昇降方向に平行に配設されている。従って，駆動モータ７９が駆動されると，摺動ブロック８０に固定されているエアシリンダ８１，爪取り付けブロック８２，昇降爪８４とがと一体となって，ガイドレール７７に沿って矢印Ｙ方向にキャップ５９の１枚分の厚さだけ昇降するように構成されている。
【００３０】
爪取り付けブロック８２には，図４に示すように，カセット５２の収納孔６２の底面に昇降自在に配設されている摺動子８３の係合孔８３ａと係脱自在に嵌合する昇降爪８４が取り付けられている。摺動ブロック８０，エアシリンダ８１，爪取り付けブロック８２と昇降爪８４と摺動子８３とは，摺動ブロック８０の昇降に伴って矢印Ｙで示すように昇降するとともに，昇降爪８４と爪取り付けブロック８２とは，エアシリンダ８１により，図２に矢印Ｚで示すように，カセット５２の背面側から前進後退して昇降爪８４がカセット５２の背面側からスリット６４内の摺動子８３の係合孔８３ａに挿抜するように構成されている。
【００３１】
８５，８６はそれぞれキャップ昇降手段６０の上限リミッタスイッチおよび下限リミッタスイッチで，摺動ブロック８０の昇降範囲の上限位置と下限位置とを規制している。８７，８８は，キャップ昇降手段６０の上限メカニカルストッパおよび下限メカニカルストッパである。キャップ昇降手段６０の支柱６１の頂部には，後述するキャップ搬送手段５５の吸着ノズル８９が，キャップ５９を吸着して所定距離上昇した時に，このキャップ５９の側面から気体を吹き付けるための気体吹き付け手段９０が配設されている。
【００３２】
気体吹き付け手段９０は，気体供給口取り付けブロック９１と，この気体供給口取り付けブロック９１に取り付けられている気体供給口９２およびこの気体供給口９２の先端に吸着ノズル８９に向けて固定されており，吸着ノズル８９に気体を吹き付けるための気体ノズル９３とが備えられている。
【００３３】
支柱５６の上面には，商工自在に支承されてカセット５２に積層収納されているキャップ５９を１枚ずつ順に吸着保持し，キャップセンタリング装置２４（図６）上に載置するキャップ搬送手段５５をカセット５２の移動方向とは直交方向に摺動自在に搬送するためのガイドレール９４が配設されている。
【００３４】
キャップ搬送手段５５は，ガイドレール９４に沿ってカセット５２の移動方向とは直交する方向に摺動自在な可動フレーム９５を備えている。この可動フレーム９５には，ガイドレール９４に摺動自在に嵌合するスライダ９６と，吸着ノズル８９を昇降させるエアシリンダ９７とを備えている。そして，キャップ搬送手段５５は，さらに，駆動モータ（図示せず）の駆動によって，吸着ノズル８９に保持されたキャップ５９をカセット５２の移動方向とは直交する方向に位置しているキャップセンタリング装置２４（図６）上に移送するためのボールねじ９８とこのボールねじ９８に噛合するナット９９とボールねじ９８の軸受部１００とを備えている。さらに，キャップ５９は他の搬送手段によりキャップセンタリング装置２４を介して外囲器３（図８）に移送される。本実施例においては，キャップ５９を一旦キャップセンタリング装置２４上に載置する構成としたが，直接外囲器３上に載置することも可能である。
【００３５】
１０１，１０２は，それぞれは上限リミッタスイッチおよび下限リミッタスイッチで，エアシリンダ９７による吸着ノズル８９の可動範囲を規制している。１０３はエアシリンダ９７のエア吸入口，１０４はエアシリンダ９７のエア供給口である。
【００３６】
次に，作用動作について説明する。
まず，カセット５２の各収納孔６２には，キャップ５９が積層収納されているとともに，爪取り付けブロック８２に取り付けられている昇降爪８４の先端部は，カセット５２の収納孔６２のスリット６４から外に出た位置となっている。キャップ搬送手段５５の可動フレーム９５は上昇し，従って，吸着ノズル８９は上昇した状態に位置決めされている。
【００３７】
そこで，駆動モータ７０が駆動すると，カセット間欠駆動手段５３が駆動される。この回転駆動力は，カップリング装置７３を介してボールねじ６８に伝達される。このボールねじ６８が回転すると，スライダ６７を介してカセット台５８が矢印Ｘで示す方向に移動し，カセット５２が吸着ノズル８９の真下まで移動してカセット５２は停止する。
【００３８】
吸着ノズル８９の真下に収納孔６２が位置決めされると，エアシリンダ８１がオンする。すると，爪取り付けブロック８２に取り付けられている昇降爪８４の先端部が，カセット５２の背面側からスリット６４の底面に配設されている摺動子８３の係合孔８３ａに挿入される。
【００３９】
次いで，駆動モータ７９が回転駆動され，ラック７８が駆動されて摺動ブロック８０と爪取り付けブロック８２とエアシリンダ８１と昇降爪８４とが一体となってガイドレール７７に沿ってキャップ５９の１個分の厚みだけ上昇する。キャップ５９がカセット５２の収納孔６２の所定位置に来たことがキャップ検出手段６５により検出されると，エアシリンダ９７が駆動され，吸着ノズル８９が下降して１番上のキャップ５９が吸着される。
【００４０】
次いで，この吸着ノズル８９が所定距離上昇すると，気体吹き付け手段９０の気体供給口９２から気体が気体ノズル９３に供給され，吸着ノズル８９に吸着されているキャップ５９の側面から気体が吹き付けられる。すると，吸着ノズル８９に吸着されている１枚目のキャップ５９に２枚目以降のキャップ５９が密着している場合には，２枚目以降のキャップは吹き付けられた気体によりふるい落とされ，そのまま収納孔６２内に落下する。
【００４１】
このようにして，１枚目のキャップ５９のみが吸着ノズル８９に保持された可動フレ−ム９５は，ガイドレール９４に沿ってカセット５２の進行方向とは直交する方向の所定位置，この場合は，キャップセンタリング装置２４（図６）へ移送される。次いで，キャップセンタリング装置２４に移送されたキャップ５９は，図６に示す従来例において説明したように，ブロック４６の互いに直交する２辺４７ａ，４７ｂに一対の押さえ爪４８，４９によって押し付けられることにより，Ｘ，Ｙ方向の位置決めが行われ，この位置決めされたキャップ５９は，キャップ搬送手段５５とは別のキャップ搬送手段（図示せず）に受け渡され，シーム接合位置の外囲器３上に搬送設置され，一対のローラ電極により仮止めされた後，上記したようにシーム接合される。
【００４２】
１枚目のキャップ５９をキャップセンタリング装置２４に移送した後，可動フレーム９５はもとの位置に復帰してカセット５２の収納孔６２の上に吸着ノズル８９が位置決めされる。同時に，駆動モータ７９によりラック７８が駆動され，摺動ブロック８０と爪取り付けブロック８２とエアシリンダ８１と昇降爪８４とが一体となってキャップ５９の１枚分の厚さだけ上昇する。従って，収納孔６２に積層収納されている他のキャップ５９は，昇降爪８４に押し上げられ，２枚目のキャップ５９が収納孔６２の一番上に現れる。
【００４３】
この時，収納孔６２のキャップ５９の位置は，キャップ検出手段６５の発光素子６５Ａおよび受光素子６５Ｂにより検出される。その結果，所定の位置にキャップ５９があることが確認されると，上記と同様な動作で２枚目のキャップ５９が搬送される。なお，この際，昇降爪８４を取り付けた爪取り付けブロック８２は，エアシリンダ８１によりカセット５２の背面方向から押圧されており，この状態は，最初の収納孔６２内のキャップ５９がすべて吸着ノズル８９によりキャップセンタリング装置２４に移送されるまで保持されている。
【００４４】
このようにして，最初の１つの収納孔６２に積層収納されているキャップ５９が，すべて吸着ノズル８９により１枚ずつキャップセンタリング装置２４に移送されると，溝６３を挟んで配設されている発光素子６５Ａと受光素子６５Ｂとにより，最初の収納孔６２にはキャップがないことが確認される。
【００４５】
すると，駆動モータ７９は逆回転して摺動ブロック８０と爪取り付けブロック８２とエアシリンダ８１と昇降爪８４とは一体としてガイドレール７７に沿って下降し，所定位置で停止するとともに，エアシリンダ８１が駆動されその軸が引っ込む。すると，昇降爪８４はカセット５２の収納孔６２に収納されている摺動子８３との係合口８３ａから抜きでてカセット５２の外に出る。
【００４６】一方，キャップ検出手段６５により収納孔６２内のキャップ５９がすべて搬送されたことが確認されると，カセット間欠駆動手段５３により，駆動モータ７０が駆動され，ボールねじ６８が回転して，カセット台５８とともにカセット５２が収納孔６２のピッチ分だけ矢印Ｙ方向に移動して，２番目の収納孔６２が吸着ノズル８９の真下に位置決めされる。そして，エアシリンダ８１により，前記と同様に昇降爪８４が，カセット５２の２番目の収納孔６２のスリット６４から進入して，摺動子８３の係合孔８３ａに挿入される。
【００４７】
このようにして，順々に１つずつ収納孔６２内のキャップ５９が，キャップセンタリング装置２４に搬送され，位置決めされ，キャップ搬送手段５５とは別のキャップ搬送手段（図示せず）に受け渡され，シーム接合位置の外囲器３上に搬送設置され，一対のローラ電極により仮止めされた後，上記したようにシーム接合される。
【００４８】
カセット５２の最後の収納孔６２に積層収納されているキャップ５９がすべて搬送処理されると駆動モータ７０が逆回転方向に駆動される。従って，ボールねじ６８が反対方向に回転するから，カセット台５８とともにカセット５２は，矢印Ｘと反対方向に後退する。初期位置に後退したことが初期位置検出スイッチ７４により検出されると，この初期位置検出スイッチ７４がオンして，カセット５２は停止する。そして，カセット５２の各収納孔６２には，新たなキャップ５９が積層収納される。
【００４９】
【発明の効果】
この発明は，カセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持して移送し外囲器上に載置するキャップ給送装置において，吸着ノズルを含みこの吸着ノズルによりカセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持すべく昇降自在に支承されると共に，保持したキャップを移送し所定位置に載置するキャップ搬送手段と，このキャップ搬送手段の移送方向と直交方向に間欠移動され，上面に開放しキャップを積層収納する収納孔を該移動方向に平行に複数個有するカセットと，キャップ搬送手段の昇降軸線上を昇降し前記カセットの移動方向に直交して配置され，カセット内のキャップを昇降させるキャップ昇降手段と，キャップ搬送手段がキャップを吸着して所定距離上昇した時に，該キャップに側面から気体を吹き付けて１枚目のキャップに密着している２枚目以降のキャップを分離落下させる気体吹き付け手段とを設けたので，個々の収納孔毎にキャップの取り出しが可能となり，１枚目のキャップを検出する手段をカセットの両側に各収納孔毎に設ける必要がなくなるとともに，従来のようにカセットの各収納孔に収納されている最上段のキャップを各収納孔毎に順に取り出す必要がないので，いずれの収納孔から取り出すかの制御も不要である。
【００５０】
その上，従来のように，収納孔毎に１枚ずつまんべんなくアクセスする必要もなくなるので，キャップ搬送に要する時間が大幅に短縮される。
【００５１】
又，この発明は，カセットは収納孔の側面においてこの収納孔の底面下部から上面に至るスリットが設けられ，キャップ昇降手段は，スリットの収納孔の底面下部に挿抜し得る昇降爪を備え，この昇降爪を昇降手段によって昇降させるようにし，従来の加振手段にかえて気体（窒素ガス等の不活性ガス）を吹き付けるので，カセットの収納孔の内径とキャップ外径との間隙が小さくても２枚目以降のキャップを確実にふるい落とすことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す正面図である。
【図２】この発明の実施例を示す右側面図である。
【図３】この発明の実施例を示す要部背面図である。
【図４】この発明の実施例を示すもので，カセット５２の背面側斜視図である。
【図５】従来例を示す正面図である。
【図６】従来例を示す平面図である。
【図７】従来例を示すもので，カセット７の斜視図である。
【図８】従来例を示す説明図である。
【図９】従来例を示す説明図である。
【図１０】従来例を示す説明図である。
【符号の説明】
５０ キャップ供給装置
５２ カセット
５３ カセット間欠駆動手段
５５ キャップ搬送手段
５９ キャップ
６０ キャップ昇降手段
６２ 収納孔
６４ スリット
８４ 昇降爪
８９ 吸着ノズル
９０ 気体吹き付け手段
Claims (2)
- カセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持して移送し所定位置に載置するキャップ供給装置において，
吸着ノズルを含みこの吸着ノズルによりカセット内に積層収納されているキャップを上から１枚ずつ順に吸着保持すべく昇降自在に支承されると共に，保持したキャップを移送し外囲器上に載置するキャップ搬送手段と，
このキャップ搬送手段の移送方向と直交方向に間欠移動され，上面に開放し前記キャップを積層収納する収納孔を該移動方向に平行に複数個有するカセットと，
前記キャップ搬送手段の昇降軸線上を昇降し前記カセットの移動方向に直交して配置され，前記カセット内のキャップを昇降させるキャップ昇降手段と，
前記キャップ搬送手段がキャップを吸着して所定距離上昇した時に，該キャップに側面から気体を吹き付けて１枚目のキャップに密着している２枚目以降のキャップを分離落下させる気体吹き付け手段と
を備えたことを特徴とするキャップ給送装置。 - 前記カセットは前記収納孔の側面においてこの収納孔の底面下部から上面に至るスリットが設けられ，前記キャップ昇降手段は，前記スリットの前記収納孔底面下部に挿抜し得る昇降爪を備え，
この昇降爪を前記キャップ昇降手段によって昇降させること
を特徴とする請求項１に記載のキャップ給送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17060396A JP3568008B2 (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | キャップ給送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17060396A JP3568008B2 (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | キャップ給送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09330938A JPH09330938A (ja) | 1997-12-22 |
| JP3568008B2 true JP3568008B2 (ja) | 2004-09-22 |
Family
ID=15907921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17060396A Expired - Lifetime JP3568008B2 (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | キャップ給送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3568008B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109238583B (zh) * | 2018-07-12 | 2020-09-25 | 余柳婵 | 一种压力开关气密性智能检测机器人工作站 |
-
1996
- 1996-06-10 JP JP17060396A patent/JP3568008B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09330938A (ja) | 1997-12-22 |
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