KR100482866B1 - 웨이퍼링의 공급반송장치 - Google Patents

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KR100482866B1 KR10-2002-0023204A KR20020023204A KR100482866B1 KR 100482866 B1 KR100482866 B1 KR 100482866B1 KR 20020023204 A KR20020023204 A KR 20020023204A KR 100482866 B1 KR100482866 B1 KR 100482866B1
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Abstract

다이본딩에 의한 본딩중에 사용을 마친 웨이퍼링의 웨이퍼 시트의 수축동작을 행할 수 있고, 또한 장치 및 제어 시스템이 간소화되고, 장치의 저렴화 및 소형화가 도모된다.
웨이퍼링(3)을 수납한 매거진(10), 웨이퍼링(3)을 유지하는 지그 홀더(5), 사용을 마친 웨이퍼링(3)의 웨이퍼 시트를 수축시키는 드라이어(30), 웨이퍼링(3)을 지지하는 웨이퍼 지지홈이 상하로 2개 설치된 버퍼부(21)와, 척부(15)의 상부 및 하부에 설치되어 웨이퍼링(3)을 미는 웨이퍼링 밀기부재(31)을 가지고, 척부(15)는 버퍼부(21)의 한쪽의 웨이퍼 지지홈에 대응해서 설치되고, 웨이퍼 밀기 부재(31)는 버퍼부(21)의 다른쪽의 웨이퍼 지지홈에 대응해서 설치되어 있다.

Description

웨이퍼링의 공급반송장치{APPARATUS FOR FEEDING AND RETURNING WAFER RING}
본 발명은 웨이퍼링의 공급반송장치에 관한다.
본딩 장치에 있어서의 웨이퍼링의 공급 반송장치는 일반적으로 웨이퍼링을 일정 피치로 수납하는 매거진과 이 매거진을 상하이동시키는 엘리베이터와 매거진에 수납된 웨이퍼링을 한개씩 반송해서 지그홀더에 공급함과 동시에 다이 픽업된 후의 사용을 마친 웨이퍼링을 매거진이 비어져 있는 수납부에 반송하는 웨이퍼링 반송수단을 구비하고 있다. 더욱이 웨이퍼링에는 웨이퍼 시트의 외주부가 부착되고, 웨이퍼 시트에는 종횡으로 분할되어 다이로 이루어진 웨이퍼가 점착되어 있다.
지그 홀더에 공급된 웨이퍼링은 다이끼리의 간격을 넓히기 위해 웨이퍼 시트가 확장기에 의해 당겨서 펴진다. 이 때문에 상기 사용을 마친 웨이퍼링의 웨이퍼 시트는 이완된 상태에 있다. 여기서, 사용을 마친 웨이퍼링을 그대로 매거진에 반송하면, 매거진에 수납되어 있는 인접한 상 또는 하의 웨이퍼링을 간섭하기 때문에, 매거진에 반송하기 전에 웨이퍼 시트에 온풍을 뿜어서 그 웨이퍼 시트를 수축시키는 것이 행해진다.
이와 같이, 웨이퍼 시트에 온풍을 뿜고, 그 웨이퍼 시트를 수축시킨 후에 매거진으로 돌려보내고, 그 후 매거진으로부터 다음 웨이퍼링을 꺼내기 때문에 시간이 낭비되었었다. 이와 같은 문제를 해결하는 것으로서, 예를들어 일본국 특개2000-277545호 공보에 나타난 바와 같이 다이본딩 시트의 수축동작을 행하고, 다이 본딩장치의 가동율의 향상을 도모할 수 있는 것이 제안되어 있다.
상기 종래기술은 사용을 마친 웨이퍼링의 웨이퍼 시트의 수축을 위해, 매거진의 측방의 상방에 설치되고 상부대기장 승강부에서 상하이동되는 본딩 프레임 상부 대기부와, 매거진의 전방측에서 그 매거진으로부터 웨이퍼링을 꺼내는 높이의 하방으로 배설된 하부 웨이퍼 대기장과, 이 하부 웨이퍼대기장의 웨이퍼링을 매거진으로 돌려보내는 하부 X축 핸드를 X축방향으로 이동시키는 하부 X축 슬라이더 기구를 필요로 하기 때문에, 장치가 복잡해지고, 고가가 되는 동시에 대형화된다.
또한, 이 동작은 웨이퍼링을 상부 X축 핸드에서 지지해서 지그 홀더로부터 떼어내고, 핫 플레이트 상부대기부에서 대기시킨다. 다음에 핫 플레이트 상부대기부를 하강시켜서 웨이퍼링을 핫 플레이트상에 놓음과 동시에 매거진을 하강시켜서 핫 플레이트를 하부 웨이퍼 대기장의 높이로 정지시킨다. 또한 매거진을 상승시켜서 빈 원래의 수납부를 하부 웨이퍼 대기장의 높이로 한다. 그리고, 핫 플레이트에서 가열한 웨이퍼 시트가 수축한 웨이퍼링을 하부 X축 핸드에서 매거진의 소정의 수납부에 수납한다. 이와 같이 상당히 많은 동작을 필요로 하기 때문에 제어 시스템이 복잡해진다.
본 발명의 과제는 다이 본딩 장치에 의한 본딩중에 사용을 마친 웨이퍼링의 웨이퍼 시트의 수축동작을 행할 수 있고, 또한 장치 및 제어 시스템이 간소화하고, 장치의 저렴화 및 소형화가 도모되는 웨이퍼링의 공급반송장치를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 수단은 웨이퍼링을 일정 피치로 수납해서 엘리베이터에 재치해서 상하로 이동시키는 매거진과, 웨이퍼링을 유지하는 매거진의 전방의 교환위치와 픽업 위치에서 이동시키는 지그 홀더와, 매거진의 전방 근방에 설치되어 상방을 향해 열풍을 뿜어내는 드라이어와, 웨이퍼링을 지지하는 웨이퍼 지지홈이 상하로 2개 설치된 버퍼부를 가지고, 매거진의 상방 및 전방으로 이동되는 버퍼 기구와, 상기 한쪽의 웨이퍼 지지홈에 대응해서 설치되고 웨이퍼링을 처킹해서 반송하는 척부 및 다른 쪽의 웨이퍼 지지홈에 대응해서 설치되고 웨이퍼링을 미는 웨이퍼 밀기 부재를 가진 웨이퍼 트랜스퍼 기구를 구비하고, 지그 홀더가 지그 홀더가 픽업 위치로 이동하고 있을 때에, 매거진 내의 미사용 웨이퍼링을 상기 척부로 처킹해서 꺼내서 상기 버퍼부의 한쪽의 웨이퍼 지지홈에 지지시키고, 지그 홀더가 교환위치로 이동했을 때에, 그 지그 홀더에 유지된 사용을 마친 웨이퍼링을 상기 웨이퍼 밀기 부재로 밀어서 상기 버퍼부의 다른쪽의 웨이퍼 지지홈에 지지시키고, 버퍼부내의 상기 미사용 웨이퍼링을 상기 척부로 처킹해서 상기 지그 홀더에 유지시키고, 상기 지그 홀더가 픽업위치로 이동하고 있을 때에, 상기 버퍼부가 상기 드라이어의 전방으로 이동한 후, 상기 웨이퍼 밀기 부재가 버퍼부내의 사용을 마친 웨이퍼링을 밀어서 그 사용을 마친 웨이퍼링을 상기 매거진의 빈 수납부에 수납시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시형태를 도면을 따라 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 리드 프레임(1)은 가이드 레일(2)로 가이드되어서 도시하지 않은 프레임 피더로 간헐적으로 이송된다. 웨이퍼링(3)에는 웨이퍼 시트의 외주부가 부착되고, 웨이퍼 시트에는 종횡으로 분할되어 다이(4a)로 이루어진 웨이퍼(4)가 점착되어 있다. 웨이퍼링(3)은 지그 홀더(5)에 위치결정되어 고정되어 있고, 지그 홀더(5)는 XY테이블(6)에 의해 XY축방향으로 이동되고, 또한 도시하지 않은 상하 이동수단으로 상하이동된다. 다이(4a)는 본딩장치(7)에 의해 1개씩 픽업되어, 리드 프레임(1)에 본딩된다. 이상은 주지된 구조이기 때문에 이 이상의 설명은 생략한다. 더욱이 리드 프레임(1)은 기판, 테이프등이여도 된다.
웨이퍼링(3)을 일정 피치로 축적하는 형으로 수납한 매거진(10)은 도시하지 않은 엘리베이터에 의해 상하이동된다. 이 매거진(10)내의 웨이퍼링(3)을 꺼내고 반송하기 위한 웨이퍼 트랜스퍼 기구(11)를 가진다. 웨이퍼 트랜스퍼 기구(11)는 X축 방향으로 뻗어서 배설된 가이드 레일(12)에 슬라이더(13)가 미끄럼자유롭게 끼워 넣어져 있고, 슬라이더(13)에는 트랜스퍼 아암(14)이 고정되어 있다. 트랜스퍼 아암(14)은 도시하지 않은 트랜스퍼 구동수단으로 가이드 레일(12)을 따라 이동된다. 트랜스퍼 아암(14)에는 웨이퍼링(3)을 처킹하는 척부(15)가 설치되어 있다. 도시하지는 않았지만, 척부(15)가 웨이퍼링(3)을 처킹해서 지그 홀더(5)부를 통과할 수 있도록 지그 홀더(5)에는 홈이 설치되어 있다.
더욱이 매거진(10), 이 매거진(10)을 상하이동시키는 엘리베이터, 웨이퍼 트랜스퍼 기구(11)는 예를들어 일본국 특개평 10-107128호 공보와 거의 유사한 구조이다. 그러나 엘리베이터 및 웨이퍼 트랜스퍼 기구(11)의 작용은 후술하는 바와 같이 차이가 있다.
본 발명의 실시형태에 있어서는 매거진(10)의 상방에는 버퍼기구(20)가 배설되어 있다. 버퍼 기구(20)는 도 2에 도시한 바와 같이 대향해서 X축 방향으로 뻗은 한쌍의 버퍼부(21)와 이 한쌍의 버퍼부(21)의 상면에 고정된 연결부재(22)로 이루어져 있다. 한쌍의 버퍼부(21)의 대향면에는 각각 웨이퍼링(3)의 양측단부를 지지하는 2대의 상단 및 하단의 웨이퍼 지지홈(21a, 21b)이 평행하게 형성되어 있다. 연결부재(22)는 지지 아암(23)의 상단에 고정되고, 지지 아암(23)의 하단부는 상기 가이드 레일(12)에 미끄럼자유롭게 끼워넣어져 있는 슬라이더(24)에 고정되어 있다. 지지 아암(23)은 도시하지 않은 버퍼구동수단 슬라이더(12)에 따라 이동된다.
매거진(10)의 전방근방에는 도 1에 도시한 바와 같이 상방을 향해 온풍을 뿜어내는 드라이어(30)가 배설되어 있다. 또한 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 기구(11)의 척부(15)의 상부에는 웨이퍼링(3)을 미는 웨이퍼 밀기부재(31)가 설치되어 있다.
다음으로, 도 3 내지 도 5에 도시한 동작설명도, 도 6 및 도 7에 도시한 플로우차트에 따라 작용을 설명한다. 도 3(a) 내지 도 3(h)의 고정은 매거진(10)내의 웨이퍼링(3(3A,3B...))을 1개씩 버퍼(21)의 하단의 웨이퍼 지지홈(21b)에 지지시키는 공정을 나타낸다. 이 공정은 지그 홀더(5)에 웨이퍼링(3)이 유지되어 있을 때, 지그 홀더(5)가 픽업위치로 이동해서 본딩동작과 평행하게 행해진다.
도 3(a)의 경우에는, 장치를 시동시켜서 매거진(10)으로부터 최초의 웨이퍼링(3A)을 꺼내는 경우를 도시한다. 지그 홀더(5)는 XY테이블(6)이 구동되어 매거진(10)의 전방의 교환위치로 이동된다(스텝 S1). 이어서 도 3(b)에 도시한 바와 같이, 버퍼부(21)가 좌우 방향으로 이동한다(스텝 S2). 이어서 도 3(c)에 도시한 바와 같이, 매거진(10)이 상승되고, 매거진(10)내의 최상의 웨이퍼링(3A)이 척부(15)에 대응한 높이로 상승되는(스텝 S3) 것과 동시에 도 3(d)에 도시한 바와 같이, 척부(15)가 매거진(10)의 전방부에 위치하도록 좌우 방향으로 이동된다(스텝 S4).
다음에 도 3(e)에 도시한 바와 같이, 매거진(10)의 후방에 배설된 도시하지 않은 푸셔가 작동해서 웨이퍼링(3A)을 밀고, 척부(15)가 웨이퍼링(3A)을 처킹한다(스텝 S5). 이어서 도 3(f)에 도시된 바와 같이 척부(15)가 좌우방향으로 이동해서 매거진(10)에 의해 웨이퍼링(3A)을 꺼내고, 그 웨이퍼링(3A)의 양 측부를 하단의 웨이퍼 지지홈(21b)에 위치시킨다.(스텝 S6). 더욱이 10a는 웨이퍼링(3A)의 수납부를 나타낸다. 이어서 도 3(g)이 도시한 바와 같이, 척부(15)가 열려서 웨이퍼링(3A)을 놓고, 그 웨이퍼링(3A)을 하단의 웨이퍼 지지홈(21b)에 재치해서, 퇴피위치(우방향)로 이동하는(스텝 S7)것과 동시에, 매거진(10)이 하강한다(스텝 S8). 이어서 도 3(h)에 도시한 바와 같이 버퍼부(21)가 매거진(10)의 상방으로 위치하도록 우방행으로 이동한다(스텝 S9).
다음으로 지그홀더(5)에 웨이퍼링(3(3A, 3B...)이 세트되어 있는가 여부를 판단한다(스텝 S10). 도 3(h)의 경우에는 지그홀더(5)에 웨이퍼링(3)은 세트되어 있지 않기 때문에 도 4(a)에 도시된 바와 같이, 지그 홀더(5)가 웨이퍼링(3A)의 공급높이로 상승한다(스텝 S11). 계속해서 도 4(b)에 도시된 바와 같이, 척부(15)가 버퍼부(21)를 향해서 좌우 방향으로 이동해서 웨이퍼링(3A)을 처킹한다(스텝 S12). 이어서 도 4(c)에 도시된 바와 같이 척부(15)가 우방향으로 이동한다(스텝 S13). 웨이퍼링(3A)이 지그홀더(5)의 소정위치로 이동하면 척부(15)가 열리고, 그 척부(15)는 퇴피위치로 이동한다(스텝 S14). 이에 따라, 도 4(d)에 도시한 바와 같이, 웨이퍼링(3A)은 지그 홀더(5)에 재치된다.
다음으로 도 4(e)에 도시된 바와 같이, 지그홀더(5)는 하강하고, 웨이퍼링(3A)이 지그홀더(5)의 확장기로 확장됨과 동시에 위치결정되어 고정된다. 그리고, 도 1에 도시하는 XY테이블(6)이 구동하고 지그홀더(5)는 픽업위치로 이동된다(스텝 S15). 다음으로 본딩장치(7)에 의해 웨이퍼링(3A)의 다이(4a)가 1개씩 픽업되어서 리드 프레임(1)에서 본딩된다(스텝 S16).
이 본딩 작업중에, 매거진(10)에 웨이퍼링(3)이 있고, 버퍼(21)에 웨이퍼링(3)이 미공급인가 여부를 판단한다(스텝 S17). 도 4(e)의 경우에는 버퍼부(21)에 웨이퍼링(3)은 없기 때문에, 상기 스텝 S2로 이동한다. 즉, 도 3(b)부터 도 3(h)까지 도시된 공정에 의해, 다음 웨이퍼링(3B)을 도 4(f)에 도시한 바와 같이 하단의 웨이퍼 지지홈(21b)에 재치한다. 웨이퍼링(3A)의 양품의 다이(4a)가 모두 픽업되고, 또한 버퍼부(21)에 웨이퍼링(3B)이 공급되어 있으면, XY테이블(6)이 구동해서 지그 홀더(5)는 매거진(10)의 전방의 교환위치로 이동한다(스텝 S18).
다음에 도 4(f)에 도시한 바와 같이, 지그 홀더(5)는 상단의 웨이퍼 지지홈(21a)에 대응하는 배출높이로 상승한다(스텝 S19). 계속해서 도 4(g)에 도시된 바와 같이, 척부(15)가 버퍼부(21)의 전방부에 위치하도록 좌방향으로 이동한다(스텝 S20). 이로써 지그 홀더(5)상의 사용을 마친 웨이퍼링(3A)은 척부(15)의 상방의 웨이퍼 밀기부재(31)에 의해 밀려져, 상단의 웨이퍼 지지홈(21a)에 재치됨과 동시에, 척부(15)는 웨이퍼링(3B)에 대응한다. 이어서 도 4(h)에 도시된 바와 같이, 지그홀더(5)는 웨이퍼링(3B)이 공급되는 높이로 하강됨과 동시에, 척부(15)가 웨이퍼링(3B)을 처킹한다(스텝 S21).
다음에 도 5(a)에 도시된 바와 같이, 척부(15)가 우방향으로 이동한다(스텝 S22). 웨이퍼링(3B)이 지그홀더(5)의 소정위치로 이동하면 척부(15)가 열리고, 그 척부(15) 퇴피위치로 이동한다(스텝 S23). 이로써, 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 웨이퍼링(3B)은 지그홀더(5)에 재치된다. 다음에 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 지그홀더(5)는 하강해서, 웨이퍼링(3B)이 지그홀더(5)의 확장기에서 확장됨과 동시에 위치결정되어 고정된다. 그리고, 도 1에 도시한 XY 테이블(6)이 구동하고, 지그홀더(5)의 픽업 위치로 이동된다(스텝 S24). 다음으로, 본딩 장치(7)에 의해 웨이퍼링(3B)의 다이(4a)가 1개씩 픽업되어서 리드 프레임에서 본딩된다.(스텝 S25)
이 도5 (a)부터 도 5(c)(스텝 S22부터 스텝 S24)의 고정은 도 4(c)로부터 도 4(e)(스텝 S13로부터 스텝 S15)의 공정과 같다.
웨이퍼링(3B)의 다이(4a)의 본딩동작중에 도 5(d) 내지 도 5(h)에 도시하는 공정에 의해 웨이퍼링(3A)의 웨이퍼 시트의 수축, 웨이퍼링(3A)을 매거진(10)의 원래의 수납부(10a)에 수납하는 동작이 행해진다. 우선, 도 5(d)에 도시된 바와 같이, 버퍼부(21)가 전진해서 히트 위치로 이동하고, 드라이어(30)의 열풍으로 히트 업된다(스텝 S26). 다음으로, 도 5(e)에 도시된 바와 같이, 버퍼부(21)가 우방향으로 이동해서 매거진(10)의 상방이 이격된다(스텝 S27). 계속해서, 도 5(f)에 도시된 바와 같이, 매거진(10)이 상승하고, 그 매거진(10)의 수납부(10a)가 웨이퍼링(3A)에 대응하는 수납위치로 이동한다(스텝 S28). 이어서 도 5(g)에 도시한 바와 같이, 척부(15)가 매거진(10)의 전방부에 위치하도록 좌방향으로 이동하고, 웨이퍼 밀기부재(31)에 의해 웨이퍼링(3A)을 밀고, 그 웨이퍼링(3A)을 매거진(10)의 수납부(10a)에 수납한다(스텝 S29).
다음으로 매거진(10)에 웨이퍼링(3)이 있는가 판단한다(스텝 S30). 매거진(10)에 웨이퍼링(3)이 있는 경우에는 도 5(h)에 도시된 바와 같이, 매거진(10)이 공급위치로 상승하고, 웨이퍼링(3C)이 척부(15)에 대응한다(스텝 S31). 그리고, 도 6에 도시하는 스텝 S5로 이동해서 상기한 공정을 행한다. 매거진(10)에 웨이퍼링(3)이 없는 경우에는 매거진(10)의 교환이 행해진다(스텝 S32). 그리고, 도 6의 스텝 S1으로 가서, 상술한 공정이 행해진다.
더욱이, 상기 실시형태에 있어서는 상단의 웨이퍼 지지홈(21a)을 사용을 마친 웨이퍼링(3)의 지지부로 하고, 하단의 웨이퍼 지지홈(21b)을 미사용된 웨이퍼링(3)의 지지부로 하지만, 역으로 상단의 웨이퍼 지지홈(21a)을 미사용된 웨이퍼링(3)의 지지부로하고, 하단의 웨이퍼 지지홈(21b)을 사용을 마친 웨이퍼링(3)의 지지부로 해도 된다. 이 경우에는 척부(15)를 상단의 웨이퍼 지지홈(21a)에 대응시키고, 웨이퍼 밀기 부재(31)를 하단의 웨이퍼 지지홈(21b)에 대응시킨다. 이와 같이, 종래의 웨이퍼링의 공급반송장치가 가진 매거진(10)을 상하이동시키는 엘리베이터 및 웨이퍼 트랜스퍼 기구(11)에 버퍼부(21)를 가진 버퍼기구(20) 및 웨이퍼 밀기부재(31)를 부가한 구조에 의해 이루어지기 때문에 장치가 대폭으로 간소화되고, 장치의 저렴화 및 소형화가 도모된다.
매거진(10)내의 미사용 웨이퍼링(3)을 버퍼부(21)에 지지시키는 공정은 버퍼부(21)의 전진(도 3(b)), 매거진(10)의 상승(도 3(c)), 척부(15)와 웨이퍼 밀기부재(31)의 전진 후퇴(도 3(d)~(e)), 버퍼부(21)의 후퇴(도 3(h))에 의해 행해진다.
또한 지그홀더(5)에 유지된 사용을 마친 웨이퍼링(3)의 버퍼부(21)로의 수수공정은 교환 위치로 이동된 지그홀더(5)의 상승(도 4(f)), 버퍼부(21)와 웨이퍼 밀기부재(31)의 전진(도 4(g))에 의해 행해진다. 버퍼부(21)의 미사용 웨이퍼링(3)의 지그홀더(5)로의 수수의 공정은 상기 동작후의 척부(15)와 웨이퍼 밀기부재(31)의 후퇴(도 4(h)), 도 5(a), (b)에 의해 행해진다.
더욱이, 사용을 마친 웨이퍼링(3)의 웨이퍼 시트를 수축시켜서 매거진(10)의 빈 수납부에 수납시키는 공정은 버퍼부(21)가 드라이어(30)의 상방으로 전진(도 5(d), (e)), 매거진(10)의 상승(도 5(f)), 척부(15)와 웨이퍼 밀기부재(31)의 전진(도 5(g))에 의해 행해진다.
이와 같이, 각 공정은 버퍼부(21), 척부(15)와 웨이퍼 밀기부재(31), 매거진(10) 및 지그 홀더(5)의 작은 기구부의 동작의 조합으로 행해지기 때문에 제어 시스템의 간소화가 도모된다.
본 발명은 종래의 웨이퍼링의 공급반송장치가 가진 매거진을 상하이동시키는 엘리베이터 및 웨이퍼 트랜스퍼 기구에, 웨이퍼링을 지지하는 2대의 상단 및 하단의 웨이퍼 지지홈을 설치한 버퍼부를 가진 버퍼 기구 및 사용을 마친 웨이퍼링을 웨이퍼 지지홈으로 눌러 넣는 웨이퍼 밀기 부재를 부가한 구조에 의해 이루어지기 때문에 장치가 대폭으로 간소화되고, 장치의 저렴화 및 소형화가 도모된다. 또한, 상술한 기구 및 부재의 이동의 조합의 이동에 의해 매거진내의 미사용된 웨이퍼링을 버퍼부의 한쪽의 웨이퍼 지지홈에 지지시키고, 지구홀더에 보관된 사용을 마친 웨이퍼링을 버퍼부의 다른쪽의 웨이퍼 지지홈에 지지시키고, 버퍼부내의 상기 미사용 웨이퍼를 상기 지그 홀더에 유지시키고, 버퍼부의 사용을 마친 웨이퍼링을 웨이퍼 시트를 수축시켜서 매거진의 빈 수납부에 수납시키는 각 공정을 행하기 때문에, 제어 시스템의 간소화가 도모된다.
도 1은 본발명의 웨이퍼링의 공급반송장치의 일 실시예의 형태를 도시한 사시설명도,
도 2는 웨이퍼 트랜스퍼 기구 및 버퍼 기부부분의 사시설명도,
도 3의 (a) 내지 (h)는 동작설명도,
도 4의 (a) 내지 (h)는 도 3에 이어지는 동작설명도,
도 5의 (a) 내지 (h)는 도 4에 이어지는 동작설명도,
도 6은 플로우 차트.
도 7은 도 6에 이어지는 플로우 차트.
(부호의 설명)
1 리드 프레임 2 가이드 레일
3(3A, 3B, 3C....) 웨이퍼링 4 웨이퍼
5 지그 홀더 6 XY 테이블
7 본딩장치 10 매거진
11 웨이퍼 트랜스퍼 기구 12 가이드 레일
13 슬라이더 14 트랜스퍼 아암
15 척부 20 버퍼 기구
21 버퍼부 21a 상단 웨이퍼 지지홈
21b 하단 웨이퍼 지지홈 22 연결부재
23 지지 아암 24 슬라이더
30 드라이어 31 웨이퍼 밀기부재

Claims (1)

  1. 웨이퍼링을 일정 피치로 수납해서 엘리베이터에 재치되어 상하로 이동하는 매거진과, 웨이퍼링을 유지해서 매거진의 전방의 교환위치와 픽업 위치로 이동되는 지그홀더와, 매거진의 전방 근방에 설치되어 상방을 향해 열풍을 뿜어내는 드라이어와, 웨이퍼링을 지지하는 웨이퍼 지지홈이 상하로 2개 설치된 버퍼부를 가지고, 매거진의 상방 및 전방으로 이동되는 버퍼 기구와, 상기 한쪽의 웨이퍼 지지홈에 대응해서 설치되고 웨이퍼링을 처킹해서 반송하는 척부 및 다른 쪽의 웨이퍼 지지홈에 대응해서 설치되고 웨이퍼링을 미는 웨이퍼 밀기 부재를 가진 웨이퍼 트랜스퍼 기구를 구비하고,
    지그 홀더가 픽업 위치로 이동하고 있을 때에, 매거진 내의 미사용 웨이퍼링을 상기 척부로 처킹해서 꺼내서 상기 버퍼부의 한쪽의 웨이퍼 지지홈에 지지시키고, 지그 홀더가 교환위치로 이동했을 때에, 그 지그 홀더에 유지된 사용을 마친 웨이퍼링을 상기 웨이퍼 밀기 부재로 밀어서 상기 버퍼부의 다른쪽의 웨이퍼 지지홈에 지지시키고, 버퍼부내의 상기 미사용 웨이퍼링을 상기 척부로 처킹해서 상기 지그 홀더에 유지시키고, 상기 지그 홀더가 픽업위치로 이동하고 있을 때에, 상기 버퍼부가 상기 드라이어의 전방으로 이동한 후, 상기 웨이퍼 밀기 부재가 버퍼부내의 사용을 마친 웨이퍼링을 밀어서 그 사용을 마친 웨이퍼링을 상기 매거진의 빈 수납부에 수납시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링의 공급 반송장치.
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