JPS6010747A - 自動チツプ付装置 - Google Patents
自動チツプ付装置Info
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- JPS6010747A JPS6010747A JP11909083A JP11909083A JPS6010747A JP S6010747 A JPS6010747 A JP S6010747A JP 11909083 A JP11909083 A JP 11909083A JP 11909083 A JP11909083 A JP 11909083A JP S6010747 A JPS6010747 A JP S6010747A
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- chip
- chips
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- trays
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１１発明の技術分野
本発明は自動チップ付装置、詳しくは自動チップ付装置
においてチップトレーから半導体チップを取り出し移載
するチップ供給装置に関する。
においてチップトレーから半導体チップを取り出し移載
するチップ供給装置に関する。
（１）
（２）技術の背景
今日半導体装置の製造においてはその大部分の工程が自
動化され、例えばウェハから切り離されたチップをリー
ドフレームにグイ付けする工程は自動チップ付装置によ
り自動化されている。
動化され、例えばウェハから切り離されたチップをリー
ドフレームにグイ付けする工程は自動チップ付装置によ
り自動化されている。
第１図は上記自動チップ付装置要部の斜視図で、同図を
参照すると多数のチップが置かれているチップトレーｌ
を複数枚（図では９枚）配置したトレー配置台（ｘ−ｙ
テーブル）８が２本の平行したレール２の上←置かれ、
トレー配置台８は図示せぬ駆動装置によりレール２に沿
って矢印ａで示すＸ方向に移動可能であり、また矢印す
で示すＸ方向への移動も可能なように構成されている。
参照すると多数のチップが置かれているチップトレーｌ
を複数枚（図では９枚）配置したトレー配置台（ｘ−ｙ
テーブル）８が２本の平行したレール２の上←置かれ、
トレー配置台８は図示せぬ駆動装置によりレール２に沿
って矢印ａで示すＸ方向に移動可能であり、また矢印す
で示すＸ方向への移動も可能なように構成されている。
なお上記Ｘ方向への移動は図示せぬ別の駆動装置により
レール２が固定されている基台９のＸ方向への移動によ
って行われる。
レール２が固定されている基台９のＸ方向への移動によ
って行われる。
他方、符号３で示す装置はチップを吸着運搬するコレッ
トで、コレット３は破線Ｃおよびｅで示す垂直方向およ
び実線ｄに代表される水平方向への動きができ、これら
の動きは図示せぬ駆動装置（２） により制御される。
トで、コレット３は破線Ｃおよびｅで示す垂直方向およ
び実線ｄに代表される水平方向への動きができ、これら
の動きは図示せぬ駆動装置（２） により制御される。
以上説明した機構（以下チップ供給装置点記す）におい
て、チップトレー１上にあるチップは、トレー配置台８
のＸ方向および基台９のｙ方向の移動によりコレット降
下位置にチップトレー１が位置ぎめされた後、破線Ｃに
沿って下降したコレット３によって１個ずつ吸着される
。
て、チップトレー１上にあるチップは、トレー配置台８
のＸ方向および基台９のｙ方向の移動によりコレット降
下位置にチップトレー１が位置ぎめされた後、破線Ｃに
沿って下降したコレット３によって１個ずつ吸着される
。
次いでコレット３の上昇および水平方向への移動により
、チップ５は先ず中間テーブル４上に移載される。中間
テーブル４は、次工程であるリードフレーム７へのチッ
プ５のグイ付けのために位置合せを行う装置である。こ
の位置合せ後は図示せぬ別の機構により再びコレット３
でチップ５を吸着し、次いでリードフレーム上に移動し
てグイ付けを行い、かくしてチップトレー１上のチップ
は自動的にリードフレーム７にグイ付けされる。
、チップ５は先ず中間テーブル４上に移載される。中間
テーブル４は、次工程であるリードフレーム７へのチッ
プ５のグイ付けのために位置合せを行う装置である。こ
の位置合せ後は図示せぬ別の機構により再びコレット３
でチップ５を吸着し、次いでリードフレーム上に移動し
てグイ付けを行い、かくしてチップトレー１上のチップ
は自動的にリードフレーム７にグイ付けされる。
（３）従来技術と問題点
ところで、上記チップ供給装置の運用はオペレータによ
って行われている。オペレータの監視の下で、チップト
レー１のチップは順次コレット３（３） により取り去られ、例えば上述した如くリードフレーム
７にグイ付けされていく。そしてトレイ配置台８上のチ
ップトレー１にあるすべてのチップの供給が終了したと
きは、オペレータがチップ自動付機の運転を停止し、チ
ップトレー１を交換しなければならない。
って行われている。オペレータの監視の下で、チップト
レー１のチップは順次コレット３（３） により取り去られ、例えば上述した如くリードフレーム
７にグイ付けされていく。そしてトレイ配置台８上のチ
ップトレー１にあるすべてのチップの供給が終了したと
きは、オペレータがチップ自動付機の運転を停止し、チ
ップトレー１を交換しなければならない。
上述した従来技術における問題点は、トレー配置台８に
配置しうるチップトレー１の数が少ないために、上記チ
ップトレー１の交換操作を頻繁に行わなければならない
ことにあり、その結果オペレータの作業効率が低下し、
生産性が低かった。
配置しうるチップトレー１の数が少ないために、上記チ
ップトレー１の交換操作を頻繁に行わなければならない
ことにあり、その結果オペレータの作業効率が低下し、
生産性が低かった。
なおトレー配置台８上にはチップトレー１の他にチップ
をテープにはりつけ、このテープを拡張したリングを置
くこともあるが、このリングを用いてもチップトレー１
の場合と同様の問題がある。
をテープにはりつけ、このテープを拡張したリングを置
くこともあるが、このリングを用いてもチップトレー１
の場合と同様の問題がある。
（４）発明の目的
本発明は上記従来の問題点に鑑み、チップトレーの交換
回数を少なくし、かつ交換時に装置の運転を停止するこ
となくオペレータの作業性が向上した自動チップ付装置
の提供を目的とする。
回数を少なくし、かつ交換時に装置の運転を停止するこ
となくオペレータの作業性が向上した自動チップ付装置
の提供を目的とする。
書
（４）
＋５＞発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、半導体チップを収容
する複数のチップトレーを 収納するトレーマガジン、
当該トレーマガジンの昇降を行い、所望の位置に停止す
る手段、該停止しているトレーマガジンからチップトレ
ーを押し出す手段および押し出されたチップトレーをト
レーマガジン内へ収納する手段を具備し、上記押し出し
手段によって押し出されたチップトレーから半導体チッ
プをすべて供給した後、上記収納手段によりチップトレ
ーを収納し、順次他のチップトレーに対しても同様の操
作を行うチップ供給機構を有することを特徴とする自動
チップ付装置を提供することによって達成され、また上
記トレーマガジンを複数配設した自動チップ付装置を提
供することによっても同様に達成される。・ （６）発明の実施例 以下本発明実施例を図面により説明する。
する複数のチップトレーを 収納するトレーマガジン、
当該トレーマガジンの昇降を行い、所望の位置に停止す
る手段、該停止しているトレーマガジンからチップトレ
ーを押し出す手段および押し出されたチップトレーをト
レーマガジン内へ収納する手段を具備し、上記押し出し
手段によって押し出されたチップトレーから半導体チッ
プをすべて供給した後、上記収納手段によりチップトレ
ーを収納し、順次他のチップトレーに対しても同様の操
作を行うチップ供給機構を有することを特徴とする自動
チップ付装置を提供することによって達成され、また上
記トレーマガジンを複数配設した自動チップ付装置を提
供することによっても同様に達成される。・ （６）発明の実施例 以下本発明実施例を図面により説明する。
第２図は本発明実施例を説明するための自動チップ付装
置主要部の斜視図、第３図は当該チップ（５） 付装置の側面図である。
置主要部の斜視図、第３図は当該チップ（５） 付装置の側面図である。
両図を参照すると、符号１１はチップトレー、１２は前
記チップトレー１１を縦方向並列に収納するトレーマガ
ジン、１５はモーター１６によって上下するエレベータ
で、当該エレベータ１５の昇降によりトレーマガジン１
２が矢印ｆで示す方向に上下する。
記チップトレー１１を縦方向並列に収納するトレーマガ
ジン、１５はモーター１６によって上下するエレベータ
で、当該エレベータ１５の昇降によりトレーマガジン１
２が矢印ｆで示す方向に上下する。
また符号１３はトレー１１をトレーマガジン１２方向へ
（矢印ｇで示す）押しもどす収納シリンダ、１４はトレ
ー１１をトレーマガジンから押し出す押し出しシリンダ
、１７はトレー１１からチップを取り出すピックアップ
コレット、１８はピックアップコレット１７の移動制御
を行うｚ−ｘ−ｙテーブル、１９はアームをそれぞれ示
す。なおエレベータ１５はモータ１６の動力を例えばベ
ルト２１により移動軸２２へ伝達することによって行う
。
（矢印ｇで示す）押しもどす収納シリンダ、１４はトレ
ー１１をトレーマガジンから押し出す押し出しシリンダ
、１７はトレー１１からチップを取り出すピックアップ
コレット、１８はピックアップコレット１７の移動制御
を行うｚ−ｘ−ｙテーブル、１９はアームをそれぞれ示
す。なおエレベータ１５はモータ１６の動力を例えばベ
ルト２１により移動軸２２へ伝達することによって行う
。
上述した構成の自動チップ付装置において、予−めチッ
プを満載したチップトレー１１をトレーマガジン１２に
収納しておき、次いでエレベータ１５の昇降により例え
ば最上段にあるチップトレー１１の収納位置をトレー受
は台２０の高さに合せ（図では上（６） から５段目に合せた場合を示す）、次いで押し出しシリ
ンダ１４によりチップトレー１１をトレー受は台２０上
へ押し出す。押し出した後はピックアップコレット１７
を図示せぬ駆動装置により矢印り、ｉ。
プを満載したチップトレー１１をトレーマガジン１２に
収納しておき、次いでエレベータ１５の昇降により例え
ば最上段にあるチップトレー１１の収納位置をトレー受
は台２０の高さに合せ（図では上（６） から５段目に合せた場合を示す）、次いで押し出しシリ
ンダ１４によりチップトレー１１をトレー受は台２０上
へ押し出す。押し出した後はピックアップコレット１７
を図示せぬ駆動装置により矢印り、ｉ。
ｊで示す各方向の移動に対して位置制御を行い、チップ
トレー１１から１個ずつチップを取り出し、図示せぬ中
間テーブルにチップを供給する。そしてチップトレー１
１のチップをすべて取り去った後は、空のチップトレー
を収納シリンダ１３によりトレーマガジン１２内へ押し
戻し、次いでエレベータ１５を下降させて２段目の新し
いチップトレーに対して同じ作業を行う。なおエレベー
タの位置制御および収納シリンダ１３、押し出しシリン
ダ１４の作動タイミングなどは図示しない通常の制御手
段によって行いうる。
トレー１１から１個ずつチップを取り出し、図示せぬ中
間テーブルにチップを供給する。そしてチップトレー１
１のチップをすべて取り去った後は、空のチップトレー
を収納シリンダ１３によりトレーマガジン１２内へ押し
戻し、次いでエレベータ１５を下降させて２段目の新し
いチップトレーに対して同じ作業を行う。なおエレベー
タの位置制御および収納シリンダ１３、押し出しシリン
ダ１４の作動タイミングなどは図示しない通常の制御手
段によって行いうる。
かくして多数枚のチップトレー１１をトレーマガジン１
２に収納しておくことによりトレー交換回数を大幅に減
らすことができるほか、交換はトレーマガジン１２単位
に行うため従来に比べ極めて容易に行なえるだけでなく
、チップ自動付機の動きを（７） 止める必要はない。
２に収納しておくことによりトレー交換回数を大幅に減
らすことができるほか、交換はトレーマガジン１２単位
に行うため従来に比べ極めて容易に行なえるだけでなく
、チップ自動付機の動きを（７） 止める必要はない。
第４図は本発明の詳細な説明するための図で、同図に示
すようにトレーマガジン１２を２台並べて配設し、１台
目のトレーマガジン１２に収納されているチップトレー
１１がすべて空になった場合に２台目のトレーマガジン
１２に対して上述したチップ供給作業を続行する。なお
かかる作業の制御は通常の技術で容易に行なえる。
すようにトレーマガジン１２を２台並べて配設し、１台
目のトレーマガジン１２に収納されているチップトレー
１１がすべて空になった場合に２台目のトレーマガジン
１２に対して上述したチップ供給作業を続行する。なお
かかる作業の制御は通常の技術で容易に行なえる。
かくして１つのトレーマガジン１２が空になっても続い
てもう１つのトレーマガジン１２が用意されているため
チップ供給作業を続行でき、しかもその開先に空になっ
たトレーマガジンに収納されているチップトレーを交換
しておけば２番目のトレーマガジンが空になった後、再
び１番目にもどって作業を続けることができる。従って
チップトレー交換に際しその都度自動チップ付機を停止
する必要がなくなり作業性が向上する。
てもう１つのトレーマガジン１２が用意されているため
チップ供給作業を続行でき、しかもその開先に空になっ
たトレーマガジンに収納されているチップトレーを交換
しておけば２番目のトレーマガジンが空になった後、再
び１番目にもどって作業を続けることができる。従って
チップトレー交換に際しその都度自動チップ付機を停止
する必要がなくなり作業性が向上する。
なおトレーマガジン１２の配設は上記２台に限られるも
のではなく、ピックアップコレットの作業範囲内におい
て２台以上配設すれば更に作業性が］ （８） 向上する。
のではなく、ピックアップコレットの作業範囲内におい
て２台以上配設すれば更に作業性が］ （８） 向上する。
また、第５図のようにトレー３１側をＸＹテーブル３２
に乗せることにより、×Ｙに動かないヘッド（第１図に
示すヘッド）に対しても、多数のトレーを供給すること
が可能である。
に乗せることにより、×Ｙに動かないヘッド（第１図に
示すヘッド）に対しても、多数のトレーを供給すること
が可能である。
（７）発明の効果
以上詳細に説明した如く本発明の自動チ・ノブ付装置に
よれば、チップトレーの供給をマガジン単位とし、また
当該マガジンには従来に比べ多くのチップトレーが収納
できるため、チップトレーの交換頻度を減少できオペレ
ータの作業工数を減らすことができるだけでなく、マガ
ジンを複数並列にして配置することによりチップ自動行
゛機の一時停止をなくし稼動率を上げるごとかで幽るた
め半導体装置の生産性向上に効果大である。
よれば、チップトレーの供給をマガジン単位とし、また
当該マガジンには従来に比べ多くのチップトレーが収納
できるため、チップトレーの交換頻度を減少できオペレ
ータの作業工数を減らすことができるだけでなく、マガ
ジンを複数並列にして配置することによりチップ自動行
゛機の一時停止をなくし稼動率を上げるごとかで幽るた
め半導体装置の生産性向上に効果大である。
第１図は従来の自動チップ付装置の構成を示す図、第２
図および第３図は本発明に係わる自動チップ付装置の斜
視図および側面図、第４図は本発明の詳細な説明するた
めの自動チップ付装置の（９） 斜視図、第５図は本発明の他の実施例の断面図である。 １．１１．３１−一一チツブトレー、２・−・レール、
３−・コレット、４・−中間テーブル、５−チップ、１
２−・トレーマガジン、１３・−・収納シリンダ、１４
−押し出しシリンダ、１５−エレベータ、１６− モータ、１７−・−ピックアップコレット、１８−−−
ｚ−ｘ−ｙテーブル、３２− ＸＹテーブル（１０） 第４図 第５図 ２４７−
図および第３図は本発明に係わる自動チップ付装置の斜
視図および側面図、第４図は本発明の詳細な説明するた
めの自動チップ付装置の（９） 斜視図、第５図は本発明の他の実施例の断面図である。 １．１１．３１−一一チツブトレー、２・−・レール、
３−・コレット、４・−中間テーブル、５−チップ、１
２−・トレーマガジン、１３・−・収納シリンダ、１４
−押し出しシリンダ、１５−エレベータ、１６− モータ、１７−・−ピックアップコレット、１８−−−
ｚ−ｘ−ｙテーブル、３２− ＸＹテーブル（１０） 第４図 第５図 ２４７−
Claims (1)
- 半導体チップを収容する複数のチップトレーを収納する
トレーマガジン、当該トレーマガジンの昇降を行い、所
望の位置に停止する手段、該停止しているトレーマガジ
ンからチップトレーを押し出す手段および押し出された
チップトレーをトレーマガジン内へ収納する手段を具備
し、上記押し出し手段によって押し出されたチップトレ
ーから半導体チップをすべて供給した後、上記収納手段
によりチップトレーを収納し、順次他のチップトレーに
対しても同様の操作を行うチップ供給機構を有すること
を特徴とする自動チップ付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909083A JPS6010747A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 自動チツプ付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909083A JPS6010747A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 自動チツプ付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010747A true JPS6010747A (ja) | 1985-01-19 |
| JPH0354467B2 JPH0354467B2 (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=14752642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11909083A Granted JPS6010747A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 自動チツプ付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010747A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100365543B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2002-12-26 | 동양반도체장비 주식회사 | 반도체패키지 제조 장비의 엘리베이터 장치 |
| US6599077B2 (en) * | 1999-08-25 | 2003-07-29 | Maxtor Corporation | Material delivery system for clean room-like environments |
| JP2010208647A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Honda Motor Co Ltd | 物品収納トレー及び物品収納トレーの搬送方法 |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11909083A patent/JPS6010747A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6599077B2 (en) * | 1999-08-25 | 2003-07-29 | Maxtor Corporation | Material delivery system for clean room-like environments |
| KR100365543B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2002-12-26 | 동양반도체장비 주식회사 | 반도체패키지 제조 장비의 엘리베이터 장치 |
| JP2010208647A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Honda Motor Co Ltd | 物品収納トレー及び物品収納トレーの搬送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0354467B2 (ja) | 1991-08-20 |
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