JPH11330189A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェハＷ等の薄板の搬送装置において、複数
枚または任意の一枚について多様な搬送動作を行うこ
と。 【解決手段】 薄板Ｗの第１の保持部４及び第２の保持
部５を収納部３の高さ方向にそれぞれ駆動する駆動機構
１２、１３と、収納部の高さ方向における第１の保持部
の位置と、収納部の高さ方向における第２の保持部の位
置との少なくとも一方を指示する指示手段７と、指示手
段の指示に基づいて駆動機構を制御する制御機構８とを
有するので、第１、第２の保持部が個別に前記高さ方向
に任意に移動可能であり、その位置を指示手段が制御機
構に指示することにより、第１、第２の保持部による取
り出し・収納を収納部の任意の薄板について行うことが
可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ（以
下、ウェハと略す）等の薄板の搬送装置に関するもので
あって、特に抜き取り検査用の搬送、複数枚搬送等の多
様な搬送が可能な搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来におけるウェハの搬送装置は、ウェ
ハを複数枚収納するカセット部から所定の処理（検査や
露光等）のために、一つのアームからなるアーム部を制
御して収納されているウェハを順次一枚づつ取り出し、
また収納を行っていた。この搬送装置では、ウェハの取
り出し又は収納を行うときに、カセット部の高さ方向を
エレベータ部により調整するために、アームをその都度
カセット部から退避させなければならなかった。このた
め、ウェハの取り出し又は収納に時間が掛かってしまう
という問題があった。

【０００３】この対策として、例えば、特開平９−１４
８３９４号公報には、ウェハの取り出しを行う第１のア
ーム部材とウェハの収納を行う第２のアーム部材とを高
さ方向に関して独立に駆動する駆動手段を備えたウェハ
の搬送装置が提案されている。すなわち、この搬送装置
は、第１のアーム部材でウェハの取り出しを行うと同時
に第２のアーム部材で別の高さ位置にウェハを収納する
ものである。したがって、２つのアーム部材によって取
り出しと収納とをほぼ同時に行うことができ、ウェハの
搬送時間を大幅に減らすことができるものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
ウェハの搬送装置において、単にウェハの取り出しと収
納とを同時に行うのみならず、多様な用途への適用や汎
用性等から、同一の装置で様々な搬送動作が可能である
ことが要望されている。例えば、カセット部の異なる位
置における複数のウェハを同時に取り出す動作や収納す
る動作、またウェハの抜き取り検査を行うために、カセ
ット部のウェハを一枚だけ取り出す動作または収納する
動作等が可能であり、さらにこれらの動作を任意に選択
できることが要望されている。

【０００５】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、ウェハ等の薄板の複数枚または任意の一枚につい
て多様な搬送動作を行うことができる搬送装置を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、図１か
ら図１７と図１８から図２０とに対応づけて説明する
と、請求項１記載の搬送装置では、薄板（Ｗ）の収納部
（３）への収納および該収納部からの取り出しを行う搬
送装置（１、２０）であって、前記薄板の収納および取
り出しを行う第１の保持部（４、２１Ａ）と、前記第１
の保持部に対し前記収納部の高さ方向に離して配置され
前記薄板の収納および取り出しを行う第２の保持部
（５、２１Ｂ）と、前記第１の保持部及び前記第２の保
持部を前記収納部の高さ方向にそれぞれ駆動する駆動機
構（１２、１３、２５Ａ、２５Ｂ）と、前記収納部の高
さ方向における前記第１の保持部の位置と、前記収納部
の高さ方向における前記第２の保持部の位置との少なく
とも一方を指示する指示手段（７、２７）と、前記指示
手段の指示に基づいて前記駆動機構を制御する制御機構
（８、２６）とを有する技術が採用される。

【０００７】この搬送装置では、第１の保持部（４、２
１Ａ）及び第２の保持部（５、２１Ｂ）を収納部（３）
の高さ方向にそれぞれ駆動する駆動機構（１２、１３、
２５Ａ、２５Ｂ）と、収納部の高さ方向における第１の
保持部の位置と、収納部の高さ方向における第２の保持
部の位置との少なくとも一方を指示する指示手段（７、
２７）と、指示手段の指示に基づいて駆動機構を制御す
る制御機構（８、２６）とを有するので、駆動機構によ
って第１、第２の保持部が個別に前記高さ方向に任意に
移動可能であり、その位置を指示手段が制御機構に指示
することにより、第１、第２の保持部による取り出し動
作または収納動作を収納部の任意の薄板について行うこ
とが可能となる。すなわち、第１の保持部と第２の保持
部との高さ位置と動作を任意に設定でき、薄板の多様な
搬送動作を行うことができる。

【０００８】請求項２記載の搬送装置では、請求項１記
載の搬送装置において、前記指示手段（７、２７）は、
さらに前記第１の保持部（４、２１Ａ）または前記第２
の保持部（５、２１Ｂ）のいずれか一方で前記薄板
（Ｗ）の収納または取り出しを行う動作、前記第１の保
持部および前記第２の保持部の両方で同時に薄板の収納
または取り出しを行う動作または前記第１の保持部およ
び前記第２の保持部のうち一方が薄板の収納を行い他方
が薄板の取り出しを行う動作のいずれか一つの動作を選
択可能である技術が採用される。

【０００９】この搬送装置では、上記動作のいずれか一
つの動作を選択可能な指示手段（７、２７）を備えてい
るので、該指示手段により抜き取り検査用の動作、複数
枚同時搬送用の動作または取り出しと収納との同時動作
を任意に選択できる。

【００１０】請求項３記載の搬送装置では、請求項１ま
たは２記載の搬送装置において、前記制御機構（８、２
６）は、前記第１の保持部（４、２１Ａ）が前記高さ方
向に移動している際に前記第２の保持部（５、２１Ｂ）
を前記高さ方向において静止状態となるように前記駆動
機構（１２、１３、２５Ａ、２５Ｂ）を制御する技術が
採用される。

【００１１】この搬送装置では、制御機構（８、２６）
が、第１の保持部（４、２１Ａ）が前記高さ方向に移動
している際に第２の保持部（５、２１Ｂ）を前記高さ方
向において静止状態となるように駆動機構（１２、１
３、２５Ａ、２５Ｂ）を制御するので、取り出しまたは
収納の動作のために第１の保持部を前記高さ方向に移動
させるとき、第２の保持部は第１の保持部に対して相対
的に移動するが収納部に対しては静止状態であるので、
第２の保持部と収納されている薄板（Ｗ）との接触を避
けることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る搬送装置の第
１実施形態を図１から図１７を参照しながら説明する。
これらの図にあって、符号１は搬送装置、２は投入ステ
ーション、３はカセット部を示している。

【００１３】図１は、搬送装置１，カセット部３を示す
平面図、図２は、搬送装置１、投入ステーション２、カ
セット部３を示す正面図である。本実施形態の搬送装置
１は、図１および図２に示すように、ウェハ（薄板）Ｗ
の投入ステーション２からカセット部（収納部）３への
収納および該カセット部３からの取り出しを行うもので
あって、ウェハＷの収納および取り出しを行う第１の保
持部４および第２の保持部５と、２つの保持部４、５を
移動させる保持部駆動機構６と、第１の保持部４と第２
の保持部５とのそれぞれのカセット部３の高さ方向にお
ける位置を指示する指示手段７と、該指示手段７の指示
に基づいて保持部駆動機構６を制御する制御機構８とを
備えている。

【００１４】前記カセット部３は、図２に示すように、
開口部を搬送装置１側に向けてカセット載置台９上に取
り外し可能に固定状態とされ、複数のウェハＷを一枚毎
にそれぞれ水平状態で収納する複数の収納用段部３ａ、
３ｂ、３ｃ…を内側に備えている。収納用段部３ａ、３
ｂ、３ｃ…には、ウェハＷを載置する載置面を有するだ
けでなく、カセット部３に第１の保持部４又は第２の保
持部５が進入した状態でカセット部３の高さ方向に移動
可能とするための移動空間が形成されている。なお、カ
セット載置台９は、上下動させるためのエレベータ部等
に設けられていても構わない。また、前記投入ステーシ
ョン２は、ウェハＷの製造、処理または検査等のための
投入部であり、ステーション載置台１０上に取り付けさ
れている。そして、搬送装置１は、この投入ステーショ
ン２とカセット部３との間に設置されている。

【００１５】前記保持部駆動機構６は、第１の保持部４
および第２の保持部５を水平移動させるアーム部１１
と、該アーム部１１の第１の保持部４および第２の保持
部５をカセット部３の高さ方向、すなわちウェハＷが収
納時に並べられる方向である上下方向にそれぞれ移動さ
せる第１の駆動機構１２および第２の駆動機構１３とを
備えている。

【００１６】前記第１の駆動機構１２は、基台１４に設
けられ図示しないモータ等により上端に取り付けられた
アーム部１１全体を上下動させ保持部４、５の両方を上
下動させるものである。前記アーム部１１は、第１の駆
動機構１２に基端が旋回可能に取り付けられた基端側支
持部１１ａと、該基端側支持部１１ａの先端に旋回可能
に基端が取り付けられた先端側支持部１１ｂとを備えて
いる。

【００１７】したがって、アーム部１１は、基端側支持
部１１ａと先端側支持部１１ｂとが互いの連結部分で任
意の角度で屈曲可能とされ、基台１４の回転中心１４ａ
を中心として先端側支持部１１ｂの先端を水平移動（旋
回）させることができるロボットアームである。前記ア
ーム部１１の先端、すなわち先端側支持部１１ｂの先端
には、第１の保持部４が水平に固定された第１保持部取
付部１１ｃが取り付けられている。

【００１８】前記第２の駆動機構１３は、第１保持部取
付部１１ｃの上部に固定され、第１の保持部４と平行に
配された第２の保持部５を上下動させるものである。こ
の第２の駆動機構１３は、その上部に第１の保持部４に
対して第２の保持部５を上下動させるモータ１５を備え
ている。

【００１９】前記第１の保持部４および第２の保持部５
には、その上面先端部にウェハＷの真空吸着用の吸着孔
４ａ、５ａがそれぞれ形成され、これら吸着孔４ａ、５
ａは図示しない真空ポンプ等の吸引手段に接続されてい
る。なお、投入ステーション２の上面にも、ウェハＷの
真空吸着用の吸着溝２ａが形成されている。

【００２０】前記指示手段７は、制御機構８に接続さ
れ、２つの保持部４、５を移動させて一方がウェハＷの
収納を行い他方が他のウェハＷの取り出しを行う動作
〔収納・取り出し同時動作〕、２つの保持部４、５を移
動させて同時にウェハＷの収納または取り出しを行う動
作〔二枚収納動作、二枚取り出し動作〕または２つの保
持部４、５のうち一つだけを移動させてウェハＷの収納
または取り出しを行う動作〔一枚収納動作、一枚取り出
し動作〕のいずれか一つの動作を選択可能に設定されて
いる。すなわち、指示手段７には、上記動作を選択する
ために動作に応じて設定されたスイッチ（図示せず）等
が設けられている。

【００２１】前記制御機構８は、第１の駆動機構１２、
第２の駆動機構１３および前記吸引手段に接続され、こ
れらを制御してアーム部１１および各保持部４、５の動
きおよびそれらの位置と、吸着孔４ａ、５ａによるウェ
ハＷの保持およびその解除を保持部４、５毎に個別に制
御するものである。すなわち、前記制御機構８には、予
め記録された動作や任意の動作のうち指示手段７の指示
による所定の動作を第１の駆動機構１２等に命令するＣ
ＰＵ（図示せず）等で構成されている。

【００２２】次に、本実施形態の搬送装置におけるウェ
ハＷの搬送方法のうち、上述した〔収納・取り出し同時
動作〕、〔一枚収納動作・一枚取り出し動作〕および
〔二枚収納動作、二枚取り出し動作〕について、図３か
ら図１７を参照して説明する。

【００２３】〔収納・取り出し同時動作〕まず、指示手
段７によって、「収納・取り出し同時動作」を選択す
る。これによって制御機構８に上記動作が指示され、該
制御機構８によって保持部駆動機構６および吸引手段が
制御される。そして、保持部駆動機構６によって、先端
側保持部１１ｃをカセット部３側に移動させて保持部
４、５の先端をカセット部３側に向ける。なお、この段
階で既に投入ステーション２においてカセット部３に収
納するためのウェハＷを第１の保持部４で保持して搬送
している状態であるとする。

【００２４】この状態で、図３に示すように、第２の駆
動機構１３を駆動して、第１の保持部４と第２の保持部
５との間隔を収納用段部３ａ、３ｂ、３ｃ…の上下のピ
ッチの整数倍（本実施形態では１ピッチ）にして配す。
また、第１の駆動機構１２を駆動して、ウェハＷを保持
した第１の保持部４がカセット部３の収納すべき収納用
段部３ｃとその直ぐ上の収納用段部３ｄとの中間に、ま
た第２の保持部５が取り出すべきウェハＷが収納された
収納用段部３ｅとその直ぐ下の収納用段部３ｄとの中間
に位置するようにアーム部１１を上下動させる。

【００２５】この状態で、図３に示すように、アーム部
１１によって保持部４、５を同時にカセット部３内に進
入させる。そして、第２の駆動機構１３を駆動して、図
４に示すように、第２の保持部５を上昇させ、収納用段
部３ｅのウェハＷを第２の保持部５上に載置するととも
に、吸引手段を駆動してウェハＷを真空吸着して保持す
る。

【００２６】次に、図５に示すように、吸引手段により
第１の保持部４におけるウェハＷの真空吸着を解除し、
第１の駆動機構１２を駆動して第１の保持部４を下降さ
せると、収納用段部３ｃにウェハＷが移載され、さらに
第１の保持部４をウェハＷを移載した収納用段部３ｃと
その直ぐ下の収納用段部３ｂとの中間位置まで下降させ
る。なお、移動時において、第１の保持部４は、下方に
速度ＳＺで移動させられる。

【００２７】この移動時に、第２の駆動機構１３を同時
に駆動して、第２の保持部５をさらに上昇させ、収納用
段部３ｅと収納用段部３ｆとの中間位置まで配する。な
お、移動時において、第２の保持部５は第１の保持部４
の速度ＳＺに対してその２倍の速度で上方に移動させら
れる。この状態で、アーム部１１によって、保持部４、
５をカセット部３から引き出し、さらに、アーム部１１
全体を旋回させるとともに投入ステーション２の所定の
位置まで第２の保持部５を移動させて保持したウェハＷ
の移載を行う。投入ステーション２には、第２の保持部
５に保持されたウェハＷが移載される場合、第１の保持
部４との干渉を防ぐために、第１の保持部４が入り込む
空間が形成されている。また、第１の保持部４を不図示
のモータにより１８０度回転させて、上述したように、
投入ステーション２と第１の保持部４との干渉を防ぐよ
うにしてもよい。

【００２８】この動作の場合、例えば、保持部４、５の
カセット部３内への挿入、保持部４、５の上昇または下
降、ウェハＷの吸着保持動作およびカセット部３内から
の保持部４、５の引き出し動作にかかる時間を全て便宜
上１秒とすると、従来の一本アームの搬送装置では８秒
以上の時間がかかっていたのに対し、本実施形態の搬送
装置１では、４秒の搬送時間となる。

【００２９】〔一枚収納動作〕まず、指示手段７によっ
て、「一枚収納動作」を選択する。そして、「収納・取
り出し同時動作」の場合と同様に、所定のピッチに配さ
れた保持部４、５をカセット部３の所定の位置に進入さ
せる。

【００３０】次に、図６に示すように、第１の保持部４
におけるウェハＷの真空吸着を解除し、第１の駆動機構
１２を駆動して第１の保持部４を下降させて、図７に示
すように、収納用段部３ｃにウェハＷを移載し、さらに
図８に示すように、第１の保持部４をウェハＷを移載し
た収納用段部３ｃとその直ぐ下の収納用段部３ｂとの中
間位置まで下降させる。この移動時に、第２の駆動機構
１３を同時に駆動して、下降する第１の保持部４に対し
て第２の保持部５を上昇させ、収納用段部３ｄと収納用
段部３ｅとの中間位置に停止させる。

【００３１】この状態で、アーム部１１によって、保持
部４、５がカセット部３から引き出され、再び投入ステ
ーション２の所定の位置まで移動させられる。

【００３２】〔一枚取り出し動作〕この動作は、例え
ば、任意の一枚のウェハＷを取り出して検査を行う抜き
取り検査用として行うものである。まず、指示手段７に
よって、第２の保持部５による「一枚取り出し動作」を
選択する。そして、「収納・取り出し同時動作」の場合
と同様に、図９に示すように、所定のピッチに配された
保持部４、５をカセット部３の所定の位置に進入させ
る。

【００３３】次に、図１０に示すように、第２の駆動機
構１３を駆動して、第２の保持部５のみを上昇させ、収
納用段部３ｅに載置されたウェハＷを第２の保持部５上
に載置するとともに真空吸着して保持する。さらに、図
１１に示すように、第２の保持部５を上昇させ、ウェハ
Ｗを載置していた収納用段部３ｅとその直ぐ上の収納用
段部３ｆとの中間位置において停止させる。

【００３４】この状態で、アーム部１１によって、保持
部４、５がカセット部３から引き出され、再び投入ステ
ーション２の所定の位置まで移動させられる。

【００３５】〔二枚収納動作、二枚取り出し動作〕これ
らの動作の場合は、投入ステーション２の位置にカセッ
ト部３と同様の複数枚のウェハＷが収納可能な投入用カ
セット部３が配されており、ウェハＷの投入用カセット
部３からカセット部３への移載（二枚収納動作）、また
はカセット部３から投入用カセット部３への移載（二枚
取り出し動作）を行う場合の動作である。

【００３６】「二枚収納動作」まず、指示手段７によっ
て、「二枚収納動作」を選択する。そして、「収納・取
り出し同時動作」の場合と同様に、図１２に示すよう
に、所定のピッチにされた保持部４、５をカセット部３
の所定の位置に進入させる。なお、この動作の場合、こ
の時点で保持部４、５には投入用カセット部３から取り
出したウェハＷがそれぞれ保持されている。

【００３７】次に、第１の駆動機構１２によって、図１
３に示すように、アーム部１１が下降させられるととも
に、保持部４、５が同時に下降させられる。このとき、
保持部４、５における真空吸着を解除するとともに、そ
れぞれに保持されていたウェハＷを収納すべき収納用段
部３ｂ、３ｃに移載する。さらに、アーム部１１を下降
させるとともに、図１４に示すように、第１の保持部４
をウェハＷが移載された収納用段部３ｂとその直ぐ下の
収納用段部３ａとの中間位置まで、また第２の保持部５
をウェハＷが移載された収納用段部３ｃとその直ぐ下の
収納用段部３ｂとの中間位置まで下降させる。

【００３８】この状態で、アーム部１１によって、保持
部４、５がカセット部３から引き出され、再び投入用カ
セット部３の所定の位置まで移動させられる。

【００３９】「二枚取り出し動作」まず、指示手段７に
よって、「二枚取り出し動作」を選択する。そして、
「収納・取り出し同時動作」の場合と同様に、図１５に
示すように、所定のピッチにされた保持部４、５をカセ
ット部３の所定の位置に進入させる。なお、この動作の
場合、この時点で保持部４、５にはどちらもウェハＷが
保持されていない。

【００４０】次に、第１の駆動機構１２によって、図１
６に示すように、アーム部１１が上昇させられるととも
に、保持部４、５が同時に上昇させられる。このとき、
収納用段部３ｂ、３ｃに載置されていたウェハＷが保持
部４、５にそれぞれ載置される。そして、保持部４、５
において真空吸着を行いウェハＷをそれぞれ保持する。
さらに、アーム部１１を上昇させるとともに、図１７に
示すように、第１の保持部４をウェハＷが移載されてい
た収納用段部３ｂとその直ぐ上の収納用段部３ｃとの中
間位置まで、また第２の保持部５をウェハＷが移載され
ていた収納用段部３ｃとその直ぐ上の収納用段部３ｄと
の中間位置まで上昇させる。

【００４１】この状態で、アーム部１１によって、保持
部４、５がカセット部３から引き出され、再び投入用カ
セット部３の所定の位置まで移動させられ、ウェハＷを
収納する。

【００４２】この搬送装置１では、第１の保持部４をカ
セット部３の高さ方向の所定位置に駆動する第１の駆動
機構１２と、第２の保持部５を前記所定位置とは異なる
位置に駆動する第２の駆動機構１３と、第１の保持部４
の高さ位置と第２の保持部５の高さ位置とを指示する指
示手段７と、指示手段７の指示に基づいて第１の駆動機
構１２および第２の駆動機構１３を制御する制御機構８
とを有するので、第１の駆動機構１２および第２の駆動
機構１３によって保持部４、５が個別に前記高さ方向に
任意に移動可能であり、その位置を指示手段７が制御機
構８に指示することにより、保持部４、５による取り出
し動作または収納動作をカセット部３の任意のウェハＷ
について行うことが可能となる。

【００４３】すなわち、第１の保持部４と第２の保持部
５との高さ位置と動作を任意に設定でき、ウェハＷの多
様な搬送動作を行うことができる。特に、指示手段７
が、上記の〔収納・取り出し同時動作〕、〔一枚収納動
作・一枚取り出し動作〕および〔二枚収納動作、二枚取
り出し動作〕のいずれか一つの動作を選択可能であるの
で、該指示手段７により抜き取り検査用の動作、二枚同
時搬送用の動作または取り出しと収納との同時動作を任
意に選択できる。

【００４４】また、制御機構８が、第１の保持部４が前
記高さ方向に移動している際に第２の保持部５を前記高
さ方向において静止状態となるように第１の駆動機構１
２および第２の駆動機構１３を制御するので、取り出し
または収納の動作のために第１の保持部４を前記高さ方
向に移動させるとき、第２の保持部５が静止状態である
ので、第２の保持部５と収納されているウェハＷとの接
触を避けることができる。

【００４５】次に、本発明に係る搬送装置の第２実施形
態を図１８から図２０を参照しながら説明する。これら
の図にあって、符号２０は搬送装置、２２Ａ、２２Ｂは
第１、第２のアーム部、２４は保持部駆動機構を示して
いる。

【００４６】第２実施形態と第１実施形態との異なる点
は、第１実施形態の搬送装置１では２つの保持部４、５
を備えたアーム部１１が一つ設けられていたのに対し、
第２実施形態の搬送装置２０では、図１８から図２０に
示すように、２つのアーム部、すなわち第１の保持部２
１Ａを備えた第１のアーム部２２Ａと第２の保持部２１
Ｂを備えた第２のアーム部２２Ｂとが設けられている点
である。

【００４７】すなわち、第２実施形態の搬送装置２０
は、基台１４上に第１のアーム部２２Ａと第２のアーム
部２２Ｂがそれぞれ旋回可能に設けられ、各アーム部２
２Ａ、２２Ｂは、基端側支持部２２ａと先端側支持部２
２ｂとが互いの連結部分で任意の角度で屈曲可能とされ
ている。また、各アーム部２２Ａ、２２Ｂの先端、すな
わち先端側支持部２２ｂの先端には、水平状態の保持部
２１Ａ、２１Ｂの基端が固定された保持部取付部２２ｃ
が取り付けられている。

【００４８】さらに、第１実施形態では、保持部駆動機
構６として、保持部４、５とともにアーム部１１を上下
動させる第１の駆動機構１２と第２の保持部５のみを上
下動させる第２の駆動機構１３とが設けられているが、
第２実施形態では、保持部駆動機構２４として、第１の
アーム部２２Ａを上下動させる第１の駆動機構２５Ａと
第２のアーム部２２Ｂを上下動させる第２の駆動機構２
５Ｂとが設けられ、アーム部２２Ａ、２２Ｂ毎に個別に
上下動させる機構が設定されている点で異なる。なお、
第１の駆動機構２５Ａと第２の駆動機構２５Ｂとは、互
いのアーム部２２Ａ、２２Ｂが干渉しないようにその動
きが制御機構２６によって制御される。

【００４９】したがって、各保持部２１Ａ、２１Ｂの上
下動は、アーム部２２Ａ、２２Ｂ毎に個別に制御可能で
あり、上述した第１実施形態の〔収納・取り出し同時動
作〕、〔一枚収納動作・一枚取り出し動作〕および〔二
枚収納動作、二枚取り出し動作〕と同様の動作が指示手
段２７により選択されて制御機構２６の制御により可能
となる。例えば、２つの保持部２１Ａ、２１Ｂを同時に
かつ同様に上下動させたいときは、第１実施形態では、
第１の駆動機構１２を駆動したが、第２実施形態では、
第１の駆動機構２５Ａと第２の駆動機構２５Ｂとを同時
に駆動すればよい。

【００５０】また、第２実施形態は、次の搬送動作が可
能な点で第１実施形態と異なる。すなわち、第２実施形
態の搬送装置１では、保持部４、５毎に別々に駆動され
るアーム部２２Ａ、２２Ｂを備えているので、第１のア
ーム部２２Ａの第１の保持部２１Ａによって投入ステー
ション２でウェハＷを保持すると同時に、第２のアーム
部２２Ｂの第２の保持部２１Ｂによってカセット部３内
にウェハＷを収納する動作、またはその逆の動作を行う
ことが可能である。

【００５１】なお、本発明は、次のような実施形態をも
含むものである。 （１）上記各実施形態では、第１の保持部４、２１Ａお
よび第２の保持部５、２１Ｂをそれぞれ１枚のウェハＷ
を保持可能な１つの保持部としたが、複数の保持部で構
成されたものとして複数枚のウェハを保持可能としても
構わない。例えば、第１の保持部が、収納部の高さ方向
に所定間隔を開けて配置された複数の単位保持部で構成
されたものでもよい。

【００５２】（２）ウェハＷの搬送装置に適用したが、
他の薄板の搬送装置に用いても構わない。例えば、ハー
ドディスクやフロッピィディスク等の円盤状磁気記録媒
体の搬送装置に適用してもよい。本発明の搬送装置は、
ウェハの欠陥を検査する欠陥装置、ウェハの所定の露光
領域にパターンを転写する露光装置、ウェハに形成され
た回路パターンの電気特性を検査する検査装置等、種々
の装置に適用することが可能である。また、本発明の搬
送装置は、既に各実施の形態で説明した各構成要素から
構成されており、これらの構成要素を、前述した機能を
達成するように、各構成要素間を電気配線で接続した
り、ボルト・ナット、ネジ等の機械的な接続を施すこと
により、組み上げられる。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果を奏する。 （１）請求項１記載の搬送装置によれば、第１の保持部
及び第２の保持部を収納部の高さ方向にそれぞれ駆動す
る駆動機構と、収納部の高さ方向における第１の保持部
の位置と、収納部の高さ方向における第２の保持部の位
置との少なくとも一方を指示する指示手段と、指示手段
の指示に基づいて駆動機構を制御する制御機構とを有す
るので、第１の保持部と第２の保持部との高さ位置と動
作を任意にかつ別個に設定でき、薄板１枚に係る単純な
動作や複数枚の薄板に係る複雑な動作まで多様な搬送動
作を行うことができる。

【００５４】（２）請求項２記載の搬送装置によれば、
収納・取り出し同時動作、一枚収納動作・一枚取り出し
動作および二枚収納動作、二枚取り出し動作のいずれか
一つの動作を選択可能な指示手段を備えているので、該
指示手段により抜き取り検査用の動作、複数枚同時搬送
用の動作または取り出しと収納との同時動作を任意に選
択することができ、予め設定されパターン化された動作
の選択によって容易に動作の切り替えを行うことができ
る。

【００５５】（３）請求項３記載の搬送装置によれば、
制御機構が、第１の保持部が前記高さ方向に移動してい
る際に第２の保持部を前記高さ方向において静止状態と
なるように駆動機構を制御するので、第１の保持部の移
動中に、第２の保持部と収納されている薄板との接触を
防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る搬送装置、カセット部の第１実
施形態を示す平面図である。

【図２】 本発明に係る搬送装置、カセット部、投入ス
テーションの第１実施形態を示す正面図である。

【図３】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態におけ
る収納・取り出し同時動作を説明するための要部の正面
図である。

【図４】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態におけ
る収納・取り出し同時動作を説明するための要部の正面
図である。

【図５】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態におけ
る収納・取り出し同時動作を説明するための要部の正面
図である。

【図６】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態におけ
る一枚収納動作を説明するための要部の正面図である。

【図７】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態におけ
る一枚収納動作を説明するための要部の正面図である。

【図８】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態におけ
る一枚収納動作を説明するための要部の正面図である。

【図９】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態におけ
る一枚取り出し動作を説明するための要部の正面図であ
る。

【図１０】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける一枚取り出し動作を説明するための要部の正面図で
ある。

【図１１】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける一枚取り出し動作を説明するための要部の正面図で
ある。

【図１２】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける二枚収納動作を説明するための要部の正面図であ
る。

【図１３】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける二枚収納動作を説明するための要部の正面図であ
る。

【図１４】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける二枚収納動作を説明するための要部の正面図であ
る。

【図１５】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける二枚取り出し動作を説明するための要部の正面図で
ある。

【図１６】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける二枚取り出し動作を説明するための要部の正面図で
ある。

【図１７】 本発明に係る搬送装置の第１実施形態にお
ける二枚取り出し動作を説明するための要部の正面図で
ある。

【図１８】 本発明に係る搬送装置の第２実施形態にお
いて第１の保持部および第２の保持部の両方がカセット
部に挿入された状態を示す平面図である。

【図１９】 本発明に係る搬送装置の第２実施形態にお
いて第２の保持部のみがカセット部に挿入された状態を
示す正面図である。

【図２０】 本発明に係る搬送装置の第２実施形態を示
す要部の正面図である。

【符号の説明】

１、２０ 搬送装置 ３ カセット部（収納部） ４、２１Ａ 第１の保持部 ５、２１Ｂ 第２の保持部 ７、２７ 指示手段 ８、２６ 制御機構 １２、２５Ａ 第１の駆動機構 １３、２５Ｂ 第２の駆動機構 Ｗ ウェハ（薄板）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄板の収納部への収納および該収納部か
   らの取り出しを行う搬送装置であって、 前記薄板の収納および取り出しを行う第１の保持部と、 前記第１の保持部に対し前記収納部の高さ方向に離して
   配置され前記薄板の収納および取り出しを行う第２の保
   持部と、 前記第１の保持部及び前記第２の保持部を前記収納部の
   高さ方向にそれぞれ駆動する駆動機構と、 前記収納部の高さ方向における前記第１の保持部の位置
   と、前記収納部の高さ方向における前記第２の保持部の
   位置との少なくとも一方を指示する指示手段と、 前記指示手段の指示に基づいて前記駆動機構を制御する
   制御機構とを有することを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】 前記指示手段は、さらに前記第１の保持
   部または前記第２の保持部のいずれか一方で前記薄板の
   収納または取り出しを行う動作、前記第１の保持部およ
   び前記第２の保持部の両方で同時に薄板の収納または取
   り出しを行う動作または前記第１の保持部および前記第
   ２の保持部のうち一方が薄板の収納を行い他方が薄板の
   取り出しを行う動作のいずれか一つの動作を選択可能で
   あることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記制御機構は、前記第１の保持部が前
   記高さ方向に移動している際に前記第２の保持部を前記
   高さ方向において静止状態となるように前記駆動機構を
   制御することを特徴とする請求項１または２記載の搬送
   装置。