JP2012199303A - 基板移載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FOUPに収納可能な基板Wの枚数より少なく、かつ2個以上の支持アーム17を備えている。3個の支持アーム17により、FOUP内の不等間隔で収容されていた3枚の基板を、姿勢変換部に一度に搬送するとともに、3枚の基板の間隔を一定にすることができる。したがって、基板が少ない場合であっても複数の支持アーム17によって効率的に搬送することができる。また、処理部における処理を3枚の基板について均一化することができる。
【選択図】図2
Description
すなわち、従来の装置は、複数枚の基板のうち、1ロットに含まれる全枚数より少ない、一部の複数枚の基板を移載する場合には、枚葉ハンドを装着して枚数分に応じた回数の搬送を行わなければならない。したがって、搬送を終えるのに長時間を要するという問題がある。最近では、多品種少量生産が行われる場合があり、その場合には、1ロットが5,6枚で構成されることがあり、そのような場合であっても短時間で搬送したいという要望がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を移載する基板移載装置において、複数枚の基板を収容可能な第1の基板収容部と、基板を処理する処理部と前記第1の基板収容部との間に配置され、複数枚の基板を収容可能な第2の基板収容部と、前記第1の基板収容部と前記第2の基板収容部との間で基板を搬送する基板搬送手段とを備え、前記基板搬送手段は、前記第1の基板収容部に収容可能な基板の枚数より少なく、かつ2以上の支持アームと、前記第1の基板収容部における各基板の収容位置に応じて前記各支持アームを移動させ、各基板を前記各支持アームで支持した後、前記第2の基板収容部に各基板を移載するまでに、前記第2の基板収容部における収容間隔に応じて各基板の間隔を一定にするように前記各支持アームの間隔を調整する間隔調整手段と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板移載装置を備えた基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図2は、基板搬送装置の概略構成を示す側面図であり、図3は、第1部材内部の概略構成を示す平面図である。
3 … 基板搬送装置
5 … 姿勢変換部
7 … 処理部
9 … FOUP
11 … 保持機構
13 … 装置基台
15 … アームベース
17 … 支持アーム
19 … ガイド
21 … ラック
23 … ピニオン
25 … 電動モータ
Claims (6)
- 基板を移載する基板移載装置において、
複数枚の基板を収容可能な第1の基板収容部と、
基板を処理する処理部と前記第1の基板収容部との間に配置され、複数枚の基板を収容可能な第2の基板収容部と、
前記第1の基板収容部と前記第2の基板収容部との間で基板を搬送する基板搬送手段とを備え、
前記基板搬送手段は、
前記第1の基板収容部に収容可能な基板の枚数より少なく、かつ2以上の支持アームと、
前記第1の基板収容部における各基板の収容位置に応じて前記各支持アームを移動させ、各基板を前記各支持アームで支持した後、前記第2の基板収容部に各基板を移載するまでに、前記第2の基板収容部における収容間隔に応じて各基板の間隔を一定にするように前記各支持アームの間隔を調整する間隔調整手段と、
を備えていることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項1に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、基板を受け渡しする際には、基板を受け渡しする前記各支持アームだけを昇降させることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項1に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、基板を受け渡しする際には、前記支持アームが取り付けられているアームベースごと前記各支持アームを昇降させることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項2または3に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、前記第1の基板収容部及び前記第2の基板収容部に対して、基板を受け渡す前記各支持アームだけを水平方向に進退させることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項3に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、前記第1の基板収容部及び前記第2の基板収容部に対して、前記アームベースごと水平方向に進退させることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項5に記載の基板移載装置において、
前記第1の基板収容部及び前記第2の基板収容部に対して前記各支持アームを進出させる際には、前記間隔調整手段により、基板を受け渡さない各支持アームを、前記第1の基板収容部内または前記第2の基板収容部内またはそれらを載置している載置台内へ待避させることを特徴とする基板移載装置。
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