JPH05214535A - 基板移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 １枚の基板の搬送と５枚の基板の搬送とを、
必要最小限の５個の基板保持部材を備えて行うことがで
きるようにして、経済性を向上する。 【構成】 １個の基板保持部材２ａを備えた１枚用基板
保持具２と、４個の基板保持部材３ａ…を備えた４枚用
基板保持具３とを、第１および第２の移送機構４，５を
介して基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送す
るように構成し、更に、マイクロコンピュータ１５によ
って、第１および第２の移送機構４，５の駆動状態を、
第１の移送機構４のみを駆動する状態と、第１および第
２の移送機構４，５を同調して駆動する状態とに切換制
御し、適宜、１枚の基板を移載する状態と、５枚の基板
を移載する状態とを得られるように構成する。必要なら
第２の移送機構５のみの制御も可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、酸化、アニーリング、
ＣＶＤ（化学気相成長）、あるいは、拡散などの各種の
熱処理を行うに際し、半導体基板やセラミックス基板と
いった各種の基板を、カセットと基板ボート相互間など
にわたって受け渡しを行うために、基板を保持する基板
保持部材を複数個備えた基板保持具と、その基板保持具
を基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送する移
送機構とを備えた基板移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の基板移載装置としては、従来、
特開平２−１５１０４９号公報に開示されているものが
あった。

【０００３】図７は上記従来例の全体概略縦断面図、図
８は全体概略横断面図であり、５個の基板支持アーム０
１…を備えた５枚用基板支持機構０２と、１個の基板支
持アーム０３を備えた１枚用基板支持機構０４とが、基
台０５に長手方向に移動可能に設けられるとともに、両
基板支持機構０２，０４それぞれが、電動モータによっ
て駆動される駆動用ベルト０６，０７に取り付けられて
いる。そして、基台０５の全体が昇降ならびに所定軸芯
回りで回転可能に設けられている。

【０００４】この構成により、例えば、縦型熱処理装置
で処理するに際して、基板ボートの上下に１枚づつのダ
ミーウエハを配置するとか、所定枚数ごとにモニターウ
エハを配置したりするために１枚の基板を移載するよう
な場合に、それらのダミーウエハやモニターウエハを１
枚用基板支持機構０４によって移載し、一方、通常２５
枚づつなど収容されるカセットと基板ボート相互間で基
板を移載する場合には、５枚用基板支持機構０２によっ
て５枚づつ基板を効率良く移載できるようになってい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】

【０００６】しかしながら、上述従来例の場合では、最
高で５枚の基板を移載するものでありながら、全体とし
て６個の基板支持アーム０１…，５を必要としており、
部品点数が多くなって不経済になる欠点があった。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、請求項１に係る発明の基板移載装置
は、１枚の基板の搬送と５枚の基板の搬送とを、必要最
小限の５個の基板保持部材を備えて行うことができるよ
うにして、経済性を向上できるようにすることを目的と
し、そして、請求項２に係る発明の基板移載装置は、移
載時における基板の間隔変更に対応して汎用性を向上で
きるようにすることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
上述のような目的を達成するために、基板を保持する基
板保持部材の複数個を備えた基板保持具と、その基板保
持具を基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送す
る移送機構とを備えた基板移載装置において、基板保持
具を、１個の基板保持部材を備えた１枚用基板保持具
と、４個の基板保持部材を備えた４枚用基板保持具とか
ら構成し、かつ、移送機構を、１枚用基板保持具を基板
受け渡し位置と退避位置とにわたって移送する第１の移
送機構と、４枚用基板保持具を基板受け渡し位置と退避
位置とにわたって移送する第２の移送機構とから構成
し、更に、第１および第２の移送機構の駆動状態を、第
１又は第２の移送機構のみを駆動する状態と、第１およ
び第２の移送機構を同調して駆動する状態とに切換制御
する制御装置を設けて構成する。

【０００９】また、請求項２に係る発明の基板移載装置
は、上述のような目的を達成するために、上記請求項１
に記載の４枚用基板保持具の基板保持部材それぞれをネ
ジ軸に相対回転可能に螺合し、ステッピングモータに前
記ネジ軸それぞれを一体回転可能に連動連結するととも
に、前記４枚用基板保持具の基板保持部材それぞれを直
線的に案内昇降するリニアガイドを設けて構成する。

【００１０】

【作用】請求項１に係る発明の基板移載装置の構成によ
れば、ダミーウエハやモニターウエハなどのような１枚
の基板を移載するときには、第１の移送機構のみを駆動
して１枚用基板保持具を移送することにより、１個の基
板保持部材のみを基板受け渡し位置に移送し、一方、カ
セットと基板ボートなどの間で５枚の基板を相互に移載
するときには、第１および第２の移送機構を同調して駆
動し、１枚用基板保持具と４枚用基板保持具の両方を移
送することにより、全部で５個の基板保持部材を基板受
け渡し位置に移送することができる。

【００１１】請求項２に係る発明の基板移載装置の構成
によれば、ステッピングモータを正逆転することによ
り、４枚用基板保持具に備えられている４個の基板保持
部材それぞれを昇降し、保持する基板の間隔を変更する
ことができる。当然４枚用基板保持具のみでの動作も可
能である。

【００１２】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１３】＜第１実施例＞図１は、本発明に係る基板
移載装置の第１実施例の縦断面図、図２はその横断面図
であり、基台１に、その長手方向に移動可能に、１個の
基板保持部材２ａを備えた１枚用基板保持具２と、４個
の基板保持部材３ａ…を備えた４枚用基板保持具３とが
設けられ、基台１内に収容された第１および第２の移送
機構４，５それぞれと１枚用基板保持具２および４枚用
基板保持具３それぞれとが連動連結されている。これら
の基板保持部材２ａ，３ａ…相互の鉛直方向におけるピ
ッチは同一値に固定されている。

【００１４】第１の移送機構４は、正逆転可能な第１の
電動モータ６のモータ軸（図示せず）に取り付けられた
主動プーリー（図示せず）と従動プーリー７とにわたっ
て第１の伝動ベルト８を巻回するとともに第１の固定ガ
イド９を設けて構成され、第１の伝動ベルト８に１枚用
基板保持具２の下端が連結されるとともに、１枚用基板
保持具２の途中箇所が第１の固定ガイド９に摺動可能に
保持され、１枚用基板保持具２を基板受け渡し位置と退
避位置とにわたって直線的に移送するように構成されて
いる。

【００１５】第２の移送機構５は、正逆転可能な第２の
電動モータ１０のモータ軸１０ａに取り付けられた主動
プーリー１１と従動プーリー１２とにわたって第２の伝
動ベルト１３を巻回するとともに第２の固定ガイド１４
を設けて構成され、第２の伝動ベルト１３に４枚用基板
保持具３の下端が連結されるとともに、４枚用基板保持
具３の途中箇所が第２の固定ガイド１４に摺動可能に保
持され、４枚用基板保持具３を基板受け渡し位置と退避
位置とにわたって直線的に移送するように構成されてい
る。

【００１６】前記第１の電動モータ６と第２の電動モー
タ１０それぞれに、図３のブロック図に示すように、制
御装置としてのマイクロコンピュータ１５が接続され、
そのマイクロコンピュータ１５にキーボード１６が接続
され、キーボード１６に対して入力操作することによ
り、第１の電動モータ６のみを正逆転駆動する状態と、
第１および第２の電動モータ６，１０の両方を同調して
正逆転駆動する状態とに切換制御し、第１の移送機構４
のみを駆動して１枚用基板保持具２のみを移送し、ダミ
ーウエハやモニターウエハなどの１枚の基板を移載する
状態と、第１および第２の移送機構４，５を同調駆動し
て１枚用基板保持具２および４枚用基板保持具３を一体
的に移送し、カセットと基板ボートとの間で５枚の基板
を移載する状態とに切換制御できるように構成されてい
る。当然、第２の移送機構５のみの制御もできるように
構成されている。

【００１７】次に、使用例について説明する。図４は使
用例の平面図であり、クリーンルーム１７内に、カセッ
ト１８…を載置するカセットステージ１９が回転可能に
設けられ、かつ、縦型熱処理炉２０と、基板ボート２１
を載置する退避ステージ２２とが設けられ、更に、昇降
および回転可能に基板移載用アーム２３が設けられると
ともに、その基板移載用アーム２３に基台１が一体的に
取り付けられている。

【００１８】以上の構成により、第１および第２の移送
機構４，５を同調駆動して１枚用基板保持具２および４
枚用基板保持具３を一体的に基板受け渡し位置に移送
し、カセット１８から基板を５枚取り出し、１枚用基板
保持具２および４枚用基板保持具３を退避位置に移送し
てから基板移載用アーム２３を回転ならびに昇降した
後、１枚用基板保持具２および４枚用基板保持具３を基
板受け渡し位置に移送し、退避ステージ２２に載置され
た基板ボート２１内に５枚の基板を受け渡すようになっ
ている。

【００１９】上記移載時において、ダミーウエハやモニ
ターウエハなど、１枚の基板を移載して基板ボート２１
内に受け渡すときには、第１の移送機構４のみを駆動し
て１枚用基板保持具２のみを移送し、上述の場合と同様
の手順によって行う。

【００２０】また、熱処理後において、基板ボート２１
からカセット１８に基板を移載するときには、前述の場
合と逆の手順による。

【００２１】＜第２実施例＞図５は、第２実施例の横断
面図、図６はその一部を省略して破断した平面図であ
り、第１実施例と異なるところは、次の通りである。

【００２２】すなわち、４枚用基板保持具３内の上部と
下方側それぞれに支持プレート２４，２４が設けられ、
両支持プレート２４，２４にわたって４本のネジ軸２５
…が回転可能に取り付けられるとともに、ネジ軸２５…
それぞれの上端側が上方の支持プレート２４よりも上方
に設けられた正逆転可能なステッピングモータ２６に連
動連結され、各ネジ軸２５…それぞれに基板保持部材３
ａの基端部が螺合され、そして、両支持プレート２４，
２４にわたって４本のリニアガイド２７…が設けられる
とともに、リニアガイド２７…それぞれが基板保持部材
３ａ…それぞれの基端部に形成した凹部２８に摺動可能
に内嵌され、ネジ軸２５の回転に伴って、基板保持部材
３ａ…それぞれを直線的に案内昇降するように構成され
ている。他の構成は、第１実施例と同じであり、同一番
号を付すことによって説明は省略する。

【００２３】この第２実施例によれば、例えば、８イン
チ大の基板に対して減圧ＣＶＤのような処理を行うに際
し、均一性向上の面から基板ボート２１に通常のピッチ
よりも大きいあるいは倍のピッチで基板を移載するよう
なときに、カセット１８から基板を取り出した後に基板
保持部材３ａ…それぞれを所定量上昇し、所定の間隔に
変更してから基板ボート２１内に基板を受け渡し、一
方、基板ボート２１からカセット１８に基板を移載する
ときには、逆に、基板保持部材３ａ…それぞれを所定量
下降し、通常の間隔に戻してからカセット１８に基板を
移載することができる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明の基板移載装置によれば、１枚用基板保持具を、１枚
の基板を移載するときはもちろんのこと、５枚の基板を
移載するときにも共用するから、全部で５個の基板保持
部材を備えるだけで済み、従来に比べて部品点数を少な
くでき、経済性を向上できる。また、補助的に４枚の移
載も可能である。

【００２５】また、請求項２に係る発明の基板移載装置
によれば、４枚用基板保持具に備えられている４個の基
板保持部材それぞれを昇降し、保持する基板の間隔を変
更することができるから、例えば、８インチ大の基板に
対して減圧ＣＶＤのような処理を行う場合に、基板ボー
トに収容する際の基板間隔の変更に対応して基板処理の
均一性を向上でき、基板間隔が異なる各種の処理に対応
できて汎用性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板移載装置の第１実施例の縦断
面図である。

【図２】横断面図である。

【図３】ブロック図である。

【図４】使用例を示す概略平面図である。

【図５】第２実施例の横断面図である。

【図６】第２実施例の一部を省略して破断した平面図で
ある。

【図７】従来例の全体概略縦断面図である。

【図８】従来例の全体概略横断面図である。

【符号の説明】

２…１枚用基板保持具 ２ａ…１枚用基板保持具の基板保持部材 ３…４枚用基板保持具 ３ａ…４枚用基板保持具の基板保持部材 ４…第１の移送機構 ５…第２の移送機構 １５…制御装置としてのマイクロコンピュータ ２５…ネジ軸 ２６…ステッピングモータ ２７…リニアガイド

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持する基板保持部材の複数個を
   備えた基板保持具と、 その基板保持具を基板受け渡し位置と退避位置とにわた
   って移送する移送機構とを備えた基板移載装置におい
   て、 前記基板保持具を、１個の基板保持部材を備えた１枚用
   基板保持具と、４個の基板保持部材を備えた４枚用基板
   保持具とから構成し、かつ、前記移送機構を、前記１枚
   用基板保持具を基板受け渡し位置と退避位置とにわたっ
   て移送する第１の移送機構と、前記４枚用基板保持具を
   基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送する第２
   の移送機構とから構成し、更に、前記第１および第２の
   移送機構の駆動状態を、前記第１又は第２の移送機構の
   みを駆動する状態と、前記第１および第２の移送機構を
   同調して駆動する状態とに切換制御する制御装置を設け
   たことを特徴とする基板移載装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の４枚用基板保持具の基
   板保持部材それぞれをネジ軸に相対回転可能に螺合し、
   ステッピングモータに前記ネジ軸それぞれを一体回転可
   能に連動連結するとともに、前記４枚用基板保持具の基
   板保持部材それぞれを直線的に案内昇降するリニアガイ
   ドを設けた基板移載装置。