JP3260160B2 - 板状体の配列ピッチ変換装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状体の配列ピッチ変
換装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＩＣ、ＬＳＩ等の半導体デバイス
は、インゴットから切り出された半導体ウエハが、順
次、表面加工処理、熱酸化処理、不純物拡散処理、成膜
処理、エッチング処理等の多数の処理がなされて製造さ
れる。これらの処理工程において、半導体ウエハは複数
回にわたり繰返して熱処理を受ける。半導体ウエハを熱
処理するために加熱炉が用いられ、半導体ウエハを加熱
炉に出し入れする場合には、専用の石英ボートが使用さ
れる。一方、半導体ウエハを前工程から加熱炉まで搬送
する場合には、専用の収納容器（キャリア）が使用され
る。通常、１個のキャリアには１ロット最大２５枚の半
導体ウエハが収容されている。

【０００３】半導体ウエハの取扱いにおいては、汚染防
止のためにオペレータの手が半導体ウエハに直接触れる
ことが禁止されている。このため、専用のウエハ移し換
え装置が、加熱炉の付帯装置として炉口近傍に設置さ
れ、移し換え装置により自動的に半導体ウエハをキャリ
アから石英ボートに移し換えるようになっている。ウエ
ハ移し換え装置は、キャリアが載置されるキャリアステ
ージ、石英ボートが載置されるボートステージ、半導体
ウエハをキャリアステージからボートステージへ搬送し
て石英ボートにローディングするローディング装置等を
有している。

【０００４】移し換え装置により半導体ウエハをキャリ
アから石英ボートに移し換える場合は、複数のキャリア
をキャリアステージ上に配列し、第１番目のキャリア内
の半導体ウエハの全体を突き上げ装置で突き上げて半導
体ウエハをキャリアより上方に持ち上げ、これらを把持
装置で挟み込み、ボートステージ上の石英ボートに搬送
し、把持部を開いて石英ボート上に半導体ウエハを載置
する。同様の操作により第２番目以降のキャリアから半
導体ウエハを次々に石英ボートに移し換え、石英ボート
に半導体ウエハを満載する。次いで、石英ボートを炉内
に挿入する。このような移し換え装置における一連の動
作は、あらかじめ設定されたプログラミングに基づいて
コンピュータ制御されるようになっている。

【０００５】石英ボートは、拡散、ＣＶＤ等の種々の処
理の種類によって半導体ウエハの配列ピッチが異なるこ
とがある。そのため、石英ボートには、適用に応じて半
導体ウエハの載置溝の配列ピッチが異なる各種のものが
存在している。例えばＣＶＤの場合は、ガスの回り込み
を良くするために、他の場合よりも半導体ウエハの配列
ピッチを広くする必要がある。また、加熱炉内でＣＶＤ
等を行わずに単に均一に加熱する条件の場合は、半導体
ウエハの配列ピッチを狭くする場合もある。

【０００６】このように配列ピッチの異なる石英ボート
に対して適正な配列ピッチで半導体ウエハを移載するた
めに、配列ピッチ変換装置が使用される。例えば特開昭
６２−１６９４４０号公報には、キャリアと石英ボート
との間で半導体ウエハを自動的に移載する装置が開示さ
れ、特公昭６２−５３９４５号公報には、石英ボート上
の半導体ウエハの配列ピッチを変更するため半導体ウエ
ハを１枚１枚取り出し、ピッチ変換用容器に収納し、そ
の後一括して石英ボートに移載する装置が開示されてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開昭６２−
１６９４４０号公報および特公昭６２−５３９４５号公
報の装置は、いずれも配列ピッチの変換を高い精度で行
うことができない問題がある。そこで、本発明は高い精
度で配列ピッチを変換することができる板状体の配列ピ
ッチ変換装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明の装置は、平行に配列された多数の板状体の
配列ピッチを変換する板状体の配列ピッチ変換装置にお
いて、水平な第１のガイド軸と、第１のガイド軸に平行
に配置された第２のガイド軸と、第１のガイド軸に移動
可能に保持され、等間隔を維持するよう第１のリンク機
構により連結された多数の第１の板状体保持部材と、第
２のガイド軸に移動可能に保持され、等間隔を維持する
よう第２のリンク機構により連結され、かつ、それぞれ
が第１の板状体保持部材間に位置された多数の第２の板
状体保持部材とを有し、第１のリンク機構は、第１の板
状体保持部材に回動可能に設けたリンクプレートを有
し、隣接する第１の板状体保持部材間には同一の大きさ
の２枚のリンクプレートが配置されてこれらのリンクプ
レート同士が中央に位置された連結軸において回動可能
に連結されると共に、すべての連結軸が、上下方向に移
動可能に設けられた第１のガイド軸に平行に伸びる水平
なレベル調整軸により同一レベルに保持されることによ
り、第１のガイド軸に対するすべての連結軸の上下方向
における離間距離が同じである状態が維持されるよう構
成され、第２のリンク機構は、第２の板状体保持部材に
回動可能に設けたリンクプレートを有し、隣接する第２
の板状体保持部材間には同一の大きさの２枚のリンクプ
レートが配置されてこれらのリンクプレート同士が中央
に位置された連結軸において回動可能に連結されると共
に、すべての連結軸が、上下方向に移動可能に設けられ
た第２のガイド軸に平行に伸びる水平なレベル調整軸に
より同一レベルに保持されることにより、第２のガイド
軸に対するすべての連結軸の上下方向における離間距離
が同じである状態が維持されるよう構成され、第２の板
状体保持部材に対して水平方向には固定されているが上
下方向に相対的に移動自在な連結部材が、当該第２の板
状体保持部材の両側に位置された２つの第１の板状体保
持部材を連結する２枚のリンクプレートに係る連結軸に
回動可能に連結されており、これにより、第２の板状体
保持部材の保持部が常に第１の板状体保持部材の保持部
間の中央に位置されることを特徴とする。また、第２の
板状体保持部材は収納凹部を有し、配列ピッチが最小と
されたときに、第１の板状体保持部材が第２の板状体保
持部材の収納凹部に収納されることを特徴とする。

【０００９】

【作用】第１の板状体保持部材は第１のリンク機構によ
り、第２の板状体保持部材は第２のリンク機構により、
それぞれ等間隔を維持しながら第１のガイド軸および第
２のガイド軸に沿って移動するが、第２の板状体保持部
材の保持部が常に第１の板状体保持部材の保持部間の中
央に位置するよう第１のリンク機構と第２の板状体保持
部材とが連結されているので、第１の板状体保持部材の
配列ピッチを変えると、第２の板状体保持部材の保持部
も必ず第１の板状体保持部材の保持部間の中央に位置す
る結果、第１の板状体保持部材および第２の板状体保持
部材により構成される多数の板状体保持部材のすべての
保持部が等間隔で配列ピッチが変化することになる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。以下の実施例は、板状体として半導体ウエハ
を用いた例である。半導体ウエハの移し換えのプロセス
を図５によって具体的に説明すると、移載装置本体９０
上にあるキャリアステージ９１に位置されたキャリアＣ
内の半導体ウエハＷは、図６の如く下方に配置された突
き上げ装置９２により、そのままの配列ピッチでキャリ
アＣから上方に離間するように突き上げられる。突き上
げられた半導体ウエハＷは、同一の配列ピッチを有する
把持装置９３により把持され、本実施例の板状体配列ピ
ッチ変換装置９４に移し換えられる。このときの板状体
配列ピッチ変換装置９４の配列ピッチはキャリアＣと同
じ３／１６インチである。この板状体配列ピッチ変換装
置９４により例えばキャリアＣの２倍の６／１６インチ
の配列ピッチとなるように半導体ウエハＷの配列ピッチ
が変換される。配列ピッチが変換された半導体ウエハＷ
は、上述の３／１６インチの配列ピッチを有する把持装
置９３により把持され、６／１６インチの配列ピッチの
保持溝を有する石英ボートＢに移し換えられる。この場
合、配列ピッチが変換された半導体ウエハＷは、２回の
移載工程で石英ボートＢへ移載される。この石英ボート
Ｂは図示しない加熱炉に収納されて各種の熱処理が行わ
れる。

【００１１】図１は本実施例に係る装置の説明用正面
図、図２は一部を省略して示す説明用側面図、図３は要
部の説明用正面図である。側板１１，１２間に第１のガ
イド軸２１Ａおよび第２のガイド軸２１Ｂが平行に伸び
るように配置されている。第１のガイド軸２１Ａには第
１のリンク機構７Ａにより等間隔を維持しながら移動可
能に多数の第１の板状体保持部材３Ａが保持されてい
る。第２のガイド軸２１Ｂには第２のリンク機構７Ｂに
より等間隔を維持しながら移動可能に多数の第２の板状
体保持部材３Ｂが保持されている。第２の板状体保持部
材３Ｂは、それぞれが第１の板状体保持部材３Ａ，３Ａ
間に位置され、第１の板状体保持部材３Ａと第２の板状
体保持部材３Ｂは交互に配列されている。

【００１２】各板状体保持部材３Ａ，３Ｂの上部にはフ
ッ素樹脂からなる半導体ウエハＷの保持部３３が設けら
れており、この保持部３３の保持溝に半導体ウエハＷが
載置される。底板１３側には、右ネジを有する第１の軸
４１と左ネジを有する第２の軸４２とが中央で連結部材
４３により同軸に連結固定された駆動軸４が配置され、
その両端が底板１３に固定された軸保持部材４４，４５
により回転できるように保持されている。駆動軸４の中
央にも軸保持部材４６が設けられている。駆動軸４に
は、その回転量を検出するエンコーダ４７が設けられて
いる。

【００１３】第１のガイド軸２１Ａの一方の最端に位置
する第１の板状体保持部材３１Ａに第１の駆動アーム５
１が固定され、第１のガイド軸２１Ａの他方の最端に位
置する第１の板状体保持部材３２Ａに第２の駆動アーム
５２が固定されている。第１の駆動アーム５１は第１の
軸４１に螺合され、第２の駆動アーム５２は第２の軸４
２に螺合されている。前記軸４１，４２が回転すると駆
動アーム５１と５２とが相互に接近または離間するよう
に移動される。駆動軸４の一端にはプーリ６１が固定さ
れ、このプーリ６１と駆動モータ６２の回転軸６３との
間に駆動ベルト６４が設けられている。また、前記駆動
モータ６２は、前記エンコーダ４７の出力信号により所
定の回転数量に図示しない制御回路により制御される。

【００１４】第１の板状体保持部材３Ａ同士は等間隔を
維持しながら移動できるように第１のリンク機構７Ａに
よって連結されている。この第１のリンク機構７Ａは、
第１の板状体保持部材３Ａに設けた軸７１Ａと、この軸
７１Ａに回動可能に設けたリンクプレート７２Ａとを有
し、隣接する板状体保持部材３Ａ，３Ａ間には２枚のリ
ンクプレート７２Ａが配置され、これらのリンクプレー
ト７２Ａ同士も回動可能に連結軸７３Ａで連結されてい
る。第１の板状体保持部材３Ａに設けられた各軸７１Ａ
と第１のガイド軸２１Ａとの離間距離はすべて同一とさ
れている。また、各リンクプレート７２Ａも同一の大き
さのものが使用され、リンクプレート７２Ａ同士を連結
する各連結軸７３Ａは板状体保持部材３Ａ，３Ａ間の中
央に位置されている。さらに、各連結軸７３Ａは、第１
のガイド軸２１Ａに平行に伸びて上下に平行移動可能に
設けられたレベル調整軸９に常に保持されており、これ
により、当該連結軸７３Ａのすべてのものが同一のレベ
ルに位置するよう規制されて各連結軸７３Ａと第１のガ
イド軸２１Ａとの離間距離がすべて同じになる構成とさ
れている。

【００１５】第２の板状体保持部材３Ｂ同士は等間隔を
維持しながら移動できるように第２のリンク機構７Ｂに
よって連結されている。この第２のリンク機構７Ｂは、
第２の板状体保持部材３Ｂに設けた軸７１Ｂと、この軸
７１Ｂに回動可能に設けたリンクプレート７２Ｂとを有
し、隣接する板状体保持部材３Ｂ，３Ｂ間には２枚のリ
ンクプレート７２Ｂが配置され、これらのリンクプレー
ト７２Ｂ同士も回動可能に連結軸７３Ｂで連結されてい
る。第２の板状体保持部材３Ｂに設けられた各軸７１Ｂ
と第２のガイド軸２１Ｂとの離間距離はすべて同一とさ
れている。また、各リンクプレート７２Ｂも同一の大き
さのものが使用され、リンクプレート７２Ｂ同士を連結
する各連結軸７３Ｂは板状体保持部材３Ｂ，３Ｂ間の中
央に位置されている。さらに、各連結軸７３Ｂは、第２
のガイド軸２１Ｂに平行に伸びて上下に平行移動可能に
設けられたレベル調整軸９に常に保持されており、これ
により、当該連結軸７３Ｂのすべてのものが同一のレベ
ルに位置するよう規制されて各連結軸７３Ｂと第２のガ
イド軸２１Ｂとの離間距離がすべて同じになる構成とさ
れている。

【００１６】第２の板状体保持部材３Ｂの保持部３３が
常に第１の板状体保持部材３Ａ，３Ａの保持部３３，３
３間の中央に位置するよう、第１のリンク機構７Ａと第
２の板状体保持部材３Ｂとが連結部材８により連結され
ている。すなわち、連結部材８は、最端の第１の板状体
保持部材３２Ａと隣の第１の板状体保持部材３Ａとを連
結する第１のリンク機構７Ａにおけるリンクプレート７
２Ａ，７２Ａの連結軸７３Ａに回動可能に連結されてい
ると共に、水平に伸びる水平ガイド８１と、垂直に伸び
る垂直ガイド８２とを有し、垂直ガイド８２は、最端の
第２の板状体保持部材３Ｂに固定された保持部材８３に
保持され、水平ガイド８１は、連結部材８が連結されて
いる連結軸７３Ａの隣の連結軸７３Ａに回動可能に設け
られた保持部材８４により、水平に保持されている。こ
こに、水平ガイド８１および垂直ガイド８２に関して
「保持」とは、当該ガイドに沿って相対的に移動可能に
連結されていることを意味する。従って、連結部材８
は、第２の板状体保持部材３Ｂに対して垂直方向に移動
可能であり、保持部材８４は、連結部材８に対して水平
方向に移動可能である。その結果、連結部材８は、垂直
ガイド８２により、当該第２の板状体保持部材３Ｂに対
して、水平方向には固定されているが上下方向には相対
的に移動自在とされていると共に、水平ガイド８１によ
り、当該連結部材８が連結されている連結軸７３Ａの隣
の連結軸７３Ａに対して、水平方向には移動自在とされ
ているが上下方向には固定された状態とされている。

【００１７】第２の板状体保持部材３Ｂには、図４に示
すように、収納凹部３４Ｂが設けられ、第１の板状体保
持部材３Ａがこの収納凹部に収納されると、両者の合計
の厚さが第２の板状体保持部材３Ｂの１つ分の厚さに一
致するようになっている。このことは、第２の板状体保
持部材３Ｂの厚さが例えば６／１６インチである場合
に、その１／２の３／１６インチに配列ピッチを変換で
きることを意味し、従って、省スペースで配列ピッチを
変換できることになる。もし、第２の板状体保持部材３
Ｂのみであれば、同じスペースでは最小６／１６インチ
までしか配列ピッチを変換できないことになる。

【００１８】次に、本実施例に係る装置の動作について
説明する。駆動軸４が回転して、第１の駆動アーム５１
が図１の右側に移動し、第２の駆動アーム５２が左側に
移動すると、第１の板状体保持部材３Ａと第２の板状体
保持部材３Ｂ間の配列ピッチが広がる。逆に、第１の駆
動アーム５１が左側に移動し、第２の駆動アーム５２が
右側に移動すると、第１の板状体保持部材３Ａと第２の
板状体保持部材３Ｂ間の配列ピッチが狭くなる。

【００１９】第１の板状体保持部材３Ａ，３Ａ間の間隔
は第１のリンク機構７Ａによってすべて等間隔となり、
第２の板状体保持部材３Ｂ，３Ｂ間の間隔は第２のリン
ク機構７Ｂによってすべて等間隔となる。さらに、連結
部材８により第２の板状体保持部材３Ｂの保持部３３が
常に第１の板状体保持部材３Ａ，３Ａの保持部３３，３
３間の中央に位置するように連結されているので、第１
の板状体保持部材３Ａの保持部３３と第２の板状体保持
部材３Ｂの保持部３３との間隔もすべて等間隔となる。
詳細に説明すると、図３において、第２の軸４２が回転
して第２の駆動アーム５２が右方に移動されると、これ
に固定されている最左端の第１の板状体保持部材３２Ａ
が右方に移動し、これに伴い、当該最左端の第１の板状
体保持部材３２Ａと、左から２番目の第１の板状体保持
部材３Ａとの間の距離が小さくなるが、これらの第１の
板状体保持部材３２Ａ，３Ａは、第１のリンク機構にお
ける一対のリンクプレート７２Ａ，７２Ａを介して連結
されているので、当該一対のリンクプレート７２Ａ，７
２Ａ同士を相互に回動自在に連結する連結軸７３Ａが、
下方に移動する。 然るに、各連結軸７３Ａの上下方向に
おけるレベルは、水平方向に伸びて上下に平行移動可能
に設けられたレベル調整軸９に常に共通に保持されてい
ることにより、すべての当該連結軸７３Ａが強制的に同
一のレベルに位置するよう規制されるため、各連結軸７
３Ａと第１のガイド軸２１Ａとの離間距離がすべて同じ
になる状態が維持され、その結果、すべての連結軸７３
Ａが右方に移動することとなり、しかも、すべての第１
の板状体保持部材の隣接するものの間の距離が等しい状
態が保持される。 而して、連結部材８は、最左端の連結
軸７３Ａに連結されているために右方に移動され、これ
により、最左端の第１の板状体保持部材３２Ａと、左か
ら２番目の第１の板状体保持部材３Ａとの間の第２の板
状体保持部材３Ｂが右方に移動する。そして、連結部材
８が連結されている連結軸７３Ａは、最左端の第１の板
状体保持部材３２Ａと、左から２番目の第１の板状体保
持部材３Ａとの中央位置にあることにより、当該第２の
板状体保持部材３Ｂを、常に、当該２枚の第１の板 状体
保持部材３２Ａ，３Ａの中央位置に位置された状態とす
ることができる。 以上において、連結部材８は、連結軸
７３Ａの移動に伴って下方にも移動するが、この連結部
材８の上下方向における移動は、当該連結部材８の垂直
ガイド８２とその保持部材８３により吸収される。ま
た、連結部材８は、水平ガイド８１により、連結部材８
が回動可能に連結された連結軸７３Ａと、その隣の連結
軸７３Ａとが水平方向に移動自在で上下方向に固定され
ているので、上記の動作が確実に実行される。 そして、
第２の板状体保持部材に係る第２のリンク機構は、第１
の板状体保持部材に係る第１のリンク機構と同一の構成
であることにより、第２の板状体保持部材３Ｂの各々
は、第１の板状体保持部材の場合と同様に、それらの間
の距離が常に等間隔で小さくなるよう移動し、しかも、
常に隣接する第１の板状体保持部材の中央位置となる。
以上のようにして、第１の板状体保持部材とこれに隣接
する第２の板状体保持部材は、常に等間隔状態を保ちな
がら、左半の板状体保持部材が右方に移動すると共に、
右半の板状体保持部材が左方に移動し、最終的には、図
１に破線で示されている状態となる。配列ピッチは、無
段階に変更することができ、駆動軸４１，４２の回転量
によって厳密に制御することができる。図１の実線で示
す状態は、第１の駆動アーム５１と第２の駆動アーム５
２との間隔が最大の時を示し、半導体ウエハＷの配列ピ
ッチが最大となる時である。図１の点線で示す状態は、
第１の駆動アーム５１と第２の駆動アーム５２との間隔
が最小の時を示し、各板状体保持部材が半導体ウエハＷ
の厚み以上開けた状態で配列ピッチが最小となる時であ
る。万が一このユニット上でウエハ割れが生じた場合、
板状体保持部材間にウエハが挟まれ、装置に損傷を与え
る可能性があるため、最小ピッチ（３／１６インチ）に
なっても保持部材間のすきまがウエハの厚み以上あくよ
うに保持部材間の板厚を設計している。

【００２０】本実施例の板状体配列ピッチ変換装置によ
れば、第１の板状体保持部材３Ａは第１のリンク機構７
Ａにより、第２の板状体保持部材３Ｂは第２のリンク機
構７Ｂにより、それぞれ等間隔を維持しながら第１のガ
イド軸２１Ａおよび第２のガイド軸２１Ｂに沿って移動
するが、第２の板状体保持部材３Ｂの保持部３３が常に
第１の板状体保持部材３Ａ，３Ａの保持部３３，３３間
の中央に位置するよう第１のリンク機構７Ａと第２の板
状体保持部材３Ｂとが連結されているので、第１の板状
体保持部材３Ａの配列ピッチを変えると、第２の板状体
保持部材３Ｂの保持部３３も必ず第１の板状体保持部材
３Ａ，３Ａの保持部３３，３３間の中央に位置する結
果、第１の板状体保持部材３Ａおよび第２の板状体保持
部材３Ｂにより構成される多数の板状体保持部材のすべ
てが高い精度で等間隔で配列ピッチが変化することにな
る。また、第２の板状体保持部材３Ｂ間の配列ピッチを
最小にしたときに、その収納凹部３４Ｂに第１の板状体
保持部材３Ａが収納されるので、第２の板状体保持部材
３Ｂの配列ピッチよりも小さい配列ピッチで変換するこ
とができ、省スペースで配列ピッチの変換を行うことが
可能となる。

【００２１】本実施例の板状体配列ピッチ変換装置は、
半導体ウエハの加熱炉システムに好適に使用することが
できる。半導体ウエハの搬送に使用されるキャリアに
は、通常、３／１６インチの配列ピッチで２５枚の半導
体ウエハが収納される。キャリア内の半導体ウエハは、
石英ボートに移し換えられて熱処理に付されるが、石英
ボートにおける半導体ウエハの配列ピッチとしては、３
／１６インチ、６／１６インチ、９／１６インチの３種
類が広く採用されている。配列ピッチがキャリアの２倍
の６／１６インチ、３倍の９／１６インチの石英ボート
に半導体ウエハを移し換える場合には、本実施例の板状
体配列ピッチ変換装置を好適に用いることができる。

【００２２】本発明の板状体配列ピッチ変換装置は、駆
動モータ６２の回転制御によりピッチ間隔を無段階に容
易にかつ高い精度で変換することができるので、多種多
様の熱処理にも適用することができる。本発明の板状体
配列ピッチ変換装置は、縦型、横型のいずれの加熱炉に
も適用することができる。本発明の板状体配列ピッチ変
換装置は、半導体製造装置のみならず、ＬＣＤ製造装置
等にも適用することができる。

【００２３】

【発明の効果】本発明の板状体配列ピッチ変換装置によ
れば、板状体の配列ピッチを高い精度で変換することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る板状体配列ピッチ変換装
置の説明用正面図である。

【図２】本発明の実施例に係る板状体配列ピッチ変換装
置の説明用側面図である。

【図３】本発明の実施例に係る板状体配列ピッチ変換装
置の要部を示す説明用正面図である。

【図４】本発明の実施例に係る板状体配列ピッチ変換装
置における第１の板状体保持部材および第２の板状体保
持部材の形態の一例を示す説明用斜視図である。

【図５】半導体ウエハの移載装置の概略を示す斜視図で
ある。

【図６】移載装置における突き上げ装置および把持装置
の説明図である。

【符号の説明】

Ｗ 半導体ウエハ １１，１２ 側
板 １３ 底板 ２１Ａ 第１の
ガイド軸 ２１Ｂ 第２のガイド軸 ３Ａ 第１の板
状体保持部材 ３Ｂ 第２の板状体保持部材 ３１Ａ 右端の
第１の板状体保持部材 ３２Ａ 左端の第１の板状体保持部材 ３３ 保持部 ３４Ｂ 収納凹部 ４ 駆動軸 ４１ 第１の軸 ４２ 第２の軸 ４３ 連結部材 ４４，４５，４
６ 軸保持部材 ４７ エンコーダ ５１ 第１の駆
動アーム ５２ 第２の駆動アーム ６１ プーリ ６２ 駆動モータ ６３ 回転軸 ６４ 駆動ベルト ７Ａ 第１のリ
ンク機構 ７Ｂ 第２のリンク機構 ７１Ａ，７１Ｂ
軸 ７２Ａ，７２Ｂ リンクプレート ７３Ａ，７３Ｂ
軸 ８ 連結部材 ８１ 水平ガイ
ド ８２ 垂直ガイド ８３，８４ 保
持部材 ９ レベル調整軸 ９０ 移載装置
本体 ９１ キャリアステージ ９２ 突き上げ
装置 ９３ 把持装置 ９４ 板状体配
列ピッチ変換装置 Ｃ キャリア Ｂ 石英ボー
ト

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平行に配列された多数の板状体の配列ピ
   ッチを変換する板状体の配列ピッチ変換装置において、水平な 第１のガイド軸と、 第１のガイド軸に平行に配置された第２のガイド軸と、 第１のガイド軸に移動可能に保持され、等間隔を維持す
   るよう第１のリンク機構により連結された多数の第１の
   板状体保持部材と、 第２のガイド軸に移動可能に保持され、等間隔を維持す
   るよう第２のリンク機構により連結され、かつ、それぞ
   れが第１の板状体保持部材間に位置された多数の第２の
   板状体保持部材とを有し、 第１のリンク機構は、第１の板状体保持部材に回動可能
   に設けたリンクプレートを有し、隣接する第１の板状体
   保持部材間には同一の大きさの２枚のリンクプレートが
   配置されてこれらのリンクプレート同士が中央に位置さ
   れた連結軸において回動可能に連結されると共に、すべ
   ての連結軸が、上下方向に移動可能に設けられた第１の
   ガイド軸に平行に伸びる水平なレベル調整軸により同一
   レベルに保持されることにより、第１のガイド軸に対す
   るすべての連結軸の上下方向における離間距離が同じで
   ある状態が維持されるよう構成され、 第２のリンク機構は、第２の板状体保持部材に回動可能
   に設けたリンクプレートを有し、隣接する第２の板状体
   保持部材間には同一の大きさの２枚のリンクプレートが
   配置されてこれらのリンクプレート同士が中央に位置さ
   れた連結軸において回動可能に連結されると共に、すべ
   ての連結軸が、上下方向に移動可能に設けられた第２の
   ガイド軸に平行に伸びる水平なレベル調整軸により同一
   レベルに保持されることにより、第２のガイド軸に対す
   るすべての連結軸の上下方向における離間距離が同じで
   ある状態が維持されるよう構成され、第２の板状体保持部材に対して水平方向には固定されて
   いるが上下方向に相対的に移動自在な連結部材が、当該
   第２の板状体保持部材の両側に位置された２つの第１の
   板状体保持部材を連結する２枚のリンクプレートに係る
   連結軸に回動可能に連結されており、これにより、 第２
   の板状体保持部材の保持部が常に第１の板状体保持部材
   の保持部間の中央に位置されることを特徴とする板状体
   の配列ピッチ変換装置。
2. 【請求項２】 第２の板状体保持部材は収納凹部を有
   し、配列ピッチが最小とされたときに、第１の板状体保
   持部材が第２の板状体保持部材の収納凹部に収納される
   ことを特徴とする請求項１に記載の板状体の配列ピッチ
   変換装置。