JP2001044260A - 被処理基板搬送装置およびその支持板取外し方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 支持板を固定部から直接取外すことができる
ようにし、メンテナンス性の向上を図る。 【解決手段】 複数枚の被処理基板ｗを上下方向に所定
の間隔で支持する複数枚の支持板２と、各支持板２の基
端部を上下から挟み込んでネジ３で固定する固定部４
と、各固定部４を上下に移動させて支持板２の間隔を変
えるピッチ変換機構とを備えた被処理基板搬送装置にお
いて、前記固定部４の少なくとも奥側のネジ３ａを上下
方向に重ならないように位置をずらして配置すると共
に、各ネジ３ａの上方に位置する固定部４に各ネジ３ａ
に対応してネジ回し工具が挿通可能な孔部２６を設けて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理基板搬送装
置およびその支持板取外し方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体装置の製造においては、被
処理基板例えば半導体ウエハに酸化、拡散、アニール、
ＣＶＤ等の処理を施すために、一度に多数枚の半導体ウ
エハの処理が可能なバッチ式の縦型熱処理装置が用いら
れている。この縦型熱処理装置においては、複数枚（２
５枚程度）の半導体ウエハを整列収納した運搬容器であ
るキャリア（カセットともいう）と多数枚（１５０枚程
度）の半導体ウエハを上下方向に所定間隔で保持して熱
処理炉に搬入するための保持具であるウエハボートとの
間で半導体ウエハの搬送移載を行う被処理基板搬送装置
が装備されている。

【０００３】図１０は、従来の被処理基板搬送装置の要
部を概略的に示す一部断面平面図、図１１は図１０のＥ
−Ｅ線断面図である。この被処理基板搬送装置は、複数
枚の半導体ウエハを上下方向に所定の間隔で支持する複
数枚の支持板（フォークともいう）２（２ａ〜２ｅ）
と、各支持板２の基端部を上下から挟み込んでネジ３
（３ａ〜３ｃ）で固定する固定部４とを備え、中央の支
持板２ｃは単独で前方に移動可能とされ、中央以外の支
持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅはピッチ変換機構５により
ピッチ変換可能とされている。

【０００４】前記固定部４は、下部の保持板（フォーク
ホルダ）１８と上部の押え板（フォーク押え）１９とか
らなり、保持板１８と押え板１９により支持板２の基端
部を挟み込み、保持板１８に対して押え板１９の奥側
（後側）２個所と、両側２個所および中央１個所の計５
箇所をネジ３（３ａ〜３ｃ）で締付けることにより支持
板２の基端部を固定していた。中央のネジ３ｃは、支持
板２の位置決めおよび抜け止め用である。

【０００５】また、前記固定部４は、取付部（フィッテ
イング）２７に微調整された状態で取付ネジ２８にて固
定され、この取付部２７がピッチ変換機構５の可動ブロ
ック２９に位置決めされて取付ネジ４０で固定されてい
た。前記取付部２７には、支持板２上の半導体ウエハｗ
の有無を検知するウエハセンサ等が取付けられている
（図示省略）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した被
処理基板搬送装置においては、例えば支持板の洗浄、支
持板の破損等により支持板を取外す必要が生じた場合、
最上部の支持板２ａ以外は固定部４のネジ（特に奥側の
ネジ）へのアクセスが困難であることから、先ず支持板
２の取付部２７を固定している取付ネジ４０を緩めてピ
ッチ変換機構５の可動ブロック２９から取付部２７を取
外し、この時ウエハセンサの配線プラグを外し、更に固
定部４のネジ３を緩めて支持板２を取外すようにしてい
る。このため、余計な部品まで取外さなければならず、
支持板２の取外しおよび取付けに多くの手間がかかり、
メンテナンス性に劣っていた。

【０００７】本発明は、前記事情を考慮してなされたも
ので、支持板を固定部から直接取外すことができ、メン
テナンス性の向上が図れる被処理基板搬送装置およびそ
の支持板取外し方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のうち、請求項１
に係る発明は、複数枚の被処理基板を上下方向に所定の
間隔で支持する複数枚の支持板と、各支持板の基端部を
上下から挟み込んでネジで固定する固定部と、各固定部
を上下に移動させて支持板の間隔を変えるピッチ変換機
構とを備えた被処理基板搬送装置において、前記固定部
の少なくとも奥側のネジを上下方向に重ならないように
位置をずらして配置すると共に、各ネジの上方に位置す
る固定部に各ネジに対応してネジ回し工具が挿通可能な
孔部を設けたことを特徴とする。

【０００９】請求項２に係る発明は、請求項１記載の被
処理基板搬送装置において、前記ネジが六角穴付き皿ネ
ジであることを特徴とする。

【００１０】請求項３に係る発明は、請求項１記載の被
処理基板搬送装置において、前記固定部を取付ける取付
部が前記ピッチ変換機構の可動ブロックに一体に設けら
れていることを特徴とする。

【００１１】請求項４に係る発明は、複数枚の被処理基
板を上下方向に所定の間隔で支持する複数枚の支持板
と、各支持板の基端部を上下から挟み込んでネジで固定
する固定部とを備え、中央の支持板は単独で前方に移動
可能とされ、中央以外の支持板はピッチ変換可能とされ
た被処理基板搬送装置の支持板取外し方法において、前
記中央以外の支持板の固定部の奥側のネジを上下方向に
重ならないように位置をずらして配置すると共に各ネジ
の上方に位置する中央以外の支持板の固定部に各ネジに
対応してネジ回し工具が挿通可能な孔部を設けておき、
中央以外の支持板は固定部の奥側のネジを緩めると共に
固定部の両側のネジを支持板の間隔を最大に広げた状態
で緩めて取外し、中央の支持板は該支持板よりも上方の
支持板を取外した後、中央の支持板を前方へ移動させた
状態でネジを緩めて取外すことを特徴とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面に基いて詳述する。

【００１３】図１において、１は例えば縦型熱処理装置
における下端に炉口を有する縦型熱処理炉の下方のロー
ディングエリア内においてキャリアとウエハボートとの
間で被処理基板例えば半導体ウエハｗの搬送移載を行う
被処理基板搬送装置である。この被処理基板搬送装置１
は、図５ないし図６にも示すように、複数枚（例えば５
枚）の半導体ウエハｗを上下方向に所定の間隔で支持す
る複数枚（例えば５枚）の支持板（フォーク）２（２ａ
〜２ｅ）と、各支持板２の基端部を上下から挟み込んで
ネジ３（３ａ，３ｂ）で固定する固定部４とを備えてい
る。

【００１４】この場合、中央の支持板（図示例で上から
三枚目の支持板）２ｃは単独で前方に移動可能とされ、
中央以外の支持板（一枚目、二枚目、四枚目および五枚
目の支持板）２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅはピッチ変換可能
とされている。中央以外の支持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２
ｅは、後述するようにピッチ変換機構５により中央の支
持板２ｃを基準として上下方向に無段階でピッチ変換可
能とされている。これは、キャリア内のウエハ収納溝の
配列ピッチとウエハボート内のウエハ保持溝の配列ピッ
チとが異なる場合があり、その場合でもキャリアとウエ
ハボートとの間で半導体ウエハｗを複数枚ずつ移載可能
とするためである。

【００１５】前記被処理基板搬送装置１は、昇降可能お
よび水平回動可能に設けられた箱状の基台６を有し、こ
の基台６上には中央の支持板２ｃを前方に移動可能とす
る第１の移動体７と、中央以外の支持板２ａ，２ｂ，２
ｄ，２ｅをまとめて前方へ移動可能とする第２の移動体
８とが前後方向に進退移動可能に設けられている。これ
により、第１の移動体７の単独動によって１枚の半導体
ウエハｗを搬送する枚葉搬送と、第１および第２の移動
体７，８の共動によって複数枚例えば５枚の半導体ウエ
ハｗを同時に搬送する一括搬送との両方を行えるように
なっている。

【００１６】第１および第２の移動体７，８を移動操作
するために、前記基台６の内部には、図３に示すよう
に、左右一対の例えばスプライン軸からなるガイドロッ
ド９ａ，９ｂが長手方向に沿って平行に掛け渡され、各
ガイドロッド９ａ，９ｂには摺動体１０ａ，１０ｂが摺
動可能に支持されている。また、各ガイドロッド９ａ，
９ｂの外側方にはステッピングモータ１１ａ，１１ｂに
より駆動されるタイミングベルト１２ａ，１２ｂが平行
に巻き掛けられている。

【００１７】例えば第１の移動体７側においては、図４
に示すように、基台６内の一側における長手方向一端と
他端に駆動部であるステッピングモータ１１ｂにより駆
動される駆動プーリ１３と従動プーリ１４が配設され、
これら駆動プーリ１３と従動プーリ１４とにタイミング
ベルト１２ｂが巻き掛けられている。第２の移動体８側
もこれと同様に構成されている。そして、一方の摺動体
１０ａの側方に突設された突部１５ａには、一方のタイ
ミングベルト１２ａを挟んで第２の移動体８が取付けら
れ、他方の摺動体１０ｂの側方に突設された突部１５ｂ
には、他方のタイミングベルト１２ｂを挟んで第１の移
動体７が取付けられている。前記基台６の上面には、移
動体７，８の移動を許容するスリット１６が設けられて
いる。

【００１８】前記支持板は２、例えばアルミナセラミッ
クにより縦長の薄板状に形成されており、その上面に半
導体ウエハｗが載置されるようになっている。支持板２
の基端部（後端部）は、図７ないし図８に点線で示すよ
うに平面略台形状に形成されており、支持板２の先端部
（前端部）にはウエハボートの支柱との干渉を避けるた
めの切欠部１７が設けられている。支持板２の基端部を
固定する固定部４は、下部の保持部（ウエハホルダ）１
８と上部の押え板（ウエハ押え）１９とからなり、保持
板１８と押え板１９により支持板２の基端部を挟み込
み、保持板１８に対して押え板１９の奥側（後側）２個
所と、両側２箇所の計４箇所をネジ３（３ａ，３ｂ）で
締付けることにより支持板２の基端部を固定している。

【００１９】前記押え板１９は、支持板２の基端部より
も少し大きい平面略台形状に形成されている。前記保持
部１８の上面部には、支持板２の基端部を嵌入する平面
略台形状の凹部２０と、前記押え板１９を嵌入する段部
２１とが形成されており、その段部２１に前記ネジ３を
捩じ込むネジ孔２２が設けられている（図９参照）。前
記保持板１８の凹部２０の前側中央部（両側のネジの中
間部）には、支持板２の位置決めおよび抜け止め用のピ
ン部２３が突設され、支持板２の基端部にはそのピン部
２３に嵌合する小孔２４が設けられている。

【００２０】前記ネジ３は、頭部にネジ回し工具である
六角レンチ（図示省略）が係合可能な六角穴２５を有す
る皿ネジ（六角穴付き皿ネジ）からなっている。そし
て、中央以外の支持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅにおいて
は、これら支持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅの脱着を容易
にするために、図７に示すように、固定部４の少なくと
も奥側（後側）のネジ３ａが上下方向に重ならないよう
に位置をずらして配置されると共に、各ネジ３ａの上方
に位置する固定部４に各ネジ３ａに対応してネジ回し工
具である六角レンチ（図示省略）が挿通可能な孔部２６
（２６ａ〜２６ｃ）が設けられている。

【００２１】すなわち、図７の（ａ）〜（ｄ）に示すよ
うに、ピッチ変換可能な一枚目、二枚目、四枚目および
五枚目の支持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅの固定部４にお
いて、両側のネジ３ｂは、図５に示すように支持板のピ
ッチを最大に広げた状態で側方からネジ回し工具（この
場合、Ｌ型の六角レンチが好ましい。）を容易にアクセ
スすることができるが、奥側のネジ３ａはアクセスし難
い。そこで、奥側のネジ３ａに上方からネジ回し工具を
直接アクセスできるようにするために、奥側のネジ３ａ
が上下方向に重ならないように位置をずらして配置され
ていると共に、各ネジ３ａの上方に位置する固定部４に
各ネジ３ａに対応してネジ回し工具である六角レンチ
（図示省略）が挿通可能な孔部（例えばバカ穴）２６
（２６ａ〜２６ｃ）が設けられている。

【００２２】例えば、五枚目の支持板２ｅの固定部４に
おける奥側のネジ３ａに六角レンチを上方から直接アク
セスするために、一枚目、二枚目および四枚目の支持板
２ａ，２ｂ，２ｄの固定部４には、当該ネジ３ａと対応
する箇所に六角レンチが挿通可能な孔部（バカ穴）２６
ａが設けられている。また、四枚目の支持板２ｄの固定
部４における奥側のネジ３ａに六角レンチを上方から直
接アクセスするために、一枚目および二枚目の支持板２
ａ，２ｂの固定部４には、当該ネジ３ａと対応する箇所
に六角レンチが挿通可能な孔部（バカ穴）２６ｂが設け
られている。更に、二枚目の支持板２ｂの固定部４にお
ける奥側のネジ３ａに六角レンチを上方から直接アクセ
スするために、一枚目の支持板２ａの固定部４には、当
該ネジ３ａと対応する箇所に六角レンチが挿通可能な孔
部（バカ穴）２６ｃが設けられている。なお、一枚目の
支持板２ａの固定部４におけるネジ３には上方から六角
レンチを直接アクセスすることができる。

【００２３】これにより、ピッチ変換可能な支持板２
ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅを固定部４から直接取外すことが
でき、その場合、例えば支持板の洗浄を行う場合には全
部の支持板を、破損した支持板の交換を行う場合には破
損した支持板のみを取外して交換することができ、メン
テナンス性の向上が図れる。これに対して、中央（三枚
目）の支持板２ｃの固定部４においては、上方の一枚目
および二枚目の支持板２ａ，２ｂを取外した後、第１の
移動体７により中央（三枚目）の支持板２ｃの固定部４
を前方へ移動させれば、上方から当該固定部４のネジ３
に直接アクセスすることができるため、当該固定部４の
ネジ３の配置構成は従来と同様とされている（図８参
照）。

【００２４】前記中央（三枚目）の支持板２ｃの固定部
４は、第１の移動体７に取付ネジで固定されている。中
央以外の支持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅの固定部４は、
それぞれの取付部（フィッテイング）２７に微調整され
て取付ネジ２８で固定されており、各取付部２７が第２
の移動体８におけるピッチ変換機構５の対応する可動ブ
ロック２９（２９ａ〜２９ｄ）に一体に設けられてい
る。この場合、各取付部２７は、対応する可動ブロック
２９（２９ａ〜２９ｄ）に一体形成されている。

【００２５】前記第２の移動体８は、前方が開放された
箱状に形成されており、その内部には中央（三枚目）以
外の支持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅの間隔（ピッチ）を
変えるためのピッチ変換機構５が設けられている。この
ピッチ変換機構５は、図２ないし図６に示すように、前
後に一対ずつ立設されたガイドロッド３０ａ，３０ｂを
介して上下方向に摺動可能に支持された複数例えば前後
に２個ずつ計４個の可動ブロック２９を有している。図
示例では、後部の可動ブロック２９ａ，２９ｂが最上段
（一枚目）と最下段（五枚目）の支持板２ａ，２ｅを、
前部の可動ブロック２９ｃ，２９ｄが二枚目と四枚目の
支持板２ｂ，２ｄをそれぞれ操作するようになってい
る。

【００２６】そして、前部のガイドロッド３０ａ間には
前部の可動ブロック２９ｃ、２９ｄを互いに接近または
離反移動させるネジ軸（上側と下側が逆ネジ構造）３１
ａが、後部のガイドロッド３０ｂ間には後部の可動ブロ
ック２９ａ，２９ｂを互いに接近または離反移動させる
ネジ軸３１ｂがそれぞれ起立状態で回転可能に設けられ
ている。前後のネジ軸３１ａ，３１ｂにはそれぞれプー
リ３２ａ，３２ｂが取付けられ、これらプーリ３２ａ，
３２ｂと、駆動部であるステッピングモータ３３により
駆動される駆動プーリ３４とにタイミングベルト３５が
巻き掛けられている。この場合、プーリ３２ａ，３２ｂ
の直径比により後部のネジ軸３１ｂが前部のネジ軸３１
ａの２倍の回転数で回転し、これにより二枚目と四枚目
の支持板２ｂ，２ｄが三枚目の支持板２ｃに対して、ま
た一枚目と五枚目の支持板２ａ，２ｅが二枚目と４枚目
の支持板２ｂ，２ｄに対してそれぞれ同ピッチで無段階
にピッチ変換されるようになっている。

【００２７】次に、以上の構成からなる被処理基板搬送
装置の作用およびその支持板の取外し方法について説明
する。被処理基板搬送装置１は、第１の移動体７と第２
の移動体２の同期作動により全ての支持板２ａ〜２ｅを
前進させてキャリア内の半導体ウエハｗ間に差し入れ、
装置１を若干上昇させて支持板２ａ〜２ｅを後退させる
ことによりキャリア内から複数枚例えば５枚の半導体ウ
エハｗを取り出す。

【００２８】そして、装置１を回動させてウエハボート
の方向に向きを変え、同様に支持板２ａ〜２ｅを前進さ
せることにより半導体ウエハｗをウエハボートの保持溝
内に差し入れ、装置１を若干下降させて支持板２ａ〜２
ｅを後退させることにより、半導体ウエハｗをウエハボ
ートに移載する。このようにしてキャリアとウエハボー
トとの間で半導体ウエハｗを複数枚ずつ移載することが
できる。また、第１の移動体７の単独作動により中央の
支持板２ｃのみを使って半導体ウエハｗを１枚ずつ移載
することもできる。

【００２９】ところで、前記被処理基板搬送装置１にお
いては、支持板２にパーティクルが付着することから、
支持板２を定期的に洗浄する必要があり、また、支持板
２がキャリア等と接触して破損する場合があり、このよ
うな場合、支持板２を取外して交換しなければならな
い。前記被処理基板搬送装置１においては、複数枚の半
導体ウエハｗを上下方向に所定の間隔で支持する複数枚
の支持板２と、各支持板２の基端部を上下から挟み込ん
でネジ３で固定する固定部４とを備え、中央の支持板２
ｃは単独で前方に移動可能とされ、中央以外の支持板２
ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅはピッチ変換可能とされている。

【００３０】そこで、前記中央以外の支持板２ａ，２
ｂ，２ｄ，２ｅの固定部４の奥側のネジ３ａを上下方向
に重ならないように位置をずらして配置すると共に各ネ
ジ３ａの上方に位置する中央以外の支持板２ａ，２ｂ，
２ｄ，２ｅの固定部４に各ネジ３ａに対応してネジ回し
工具が挿通可能な孔部２６（２６ａ〜２６ｃ）を設けて
おく。そして、中央以外の支持板２ａ，２ｂ，２ｄ，２
ｅは、固定部４の奥側のネジ３ａを上方からネジ回し工
具により緩めると共に固定部４の両側のネジ３ｂを支持
板２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅのピッチを最大に広げた状態
で側方からネジ回し工具により緩めて取外す。また、中
央の支持板２ｃは、該支持板２ｃよりも上方の支持板２
ａ，２ｂを取外した後、中央の支持板２ｃを前方へ移動
させた状態でネジ３を上方からネジ回し工具により緩め
て取外す。このようにして、支持板２を固定部４から容
易に取外すことができ、支持板２の交換、脱着作業が容
易にできる。

【００３１】このように、前記被処理基板搬送装置１に
おいては、前記固定部４の奥側のネジ３ａを上下方向に
重ならないように位置をずらして配置すると共に、各ネ
ジ３ａの上方に位置する固定部４に各ネジ３ａに対応し
てネジ回し工具が挿通可能な孔部２６を設けているた
め、固定部４のネジ３ａへのアクセスが容易になり、支
持板２を固定部４から直接取外すことが可能となり、余
計な部品まで取外す必要がなくなり、支持板２の交換等
メンテナンス性の向上が図れる。

【００３２】この場合、前記ネジ３が六角穴付き皿ネジ
からなっているため、ネジ回し工具として六角レンチを
用いることにより、特に孔部２６はネジ孔２２と同じ口
径（例えばＭ３程度）の小孔でよく、固定部４のネジ３
へのアクセスおよびネジ回し作業が更に容易になり、メ
ンテナンス性の更なる向上が図れると共に、支持板２の
ピッチを狭めた時にネジ３の頭部が邪魔にならず、支持
板２のピッチをできるだけ小さく（例えば４．６ｍｍ程
度）することができる。また、前記固定部４を取付ける
取付部２７が前記ピッチ変換機構５の可動ブロック２９
に一体に設けられているため、部品点数の削減および構
造の簡素化が図れると共に、取付部２７の取付誤差がな
くなり、支持板取付けの再現性が向上する。

【００３３】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、支持板の固定部にお
いては、両側２個所と奥側２個所をネジで固定するよう
に構成されていることが好ましいが、両側２個所と奥側
１個所をネジで固定するように構成されていてもよい。
また、ピッチ変換可能な支持板の固定部においては、全
ての固定部に一枚目の支持板の固定部のネジ孔および孔
部と同様の配置でネジ孔および孔部（この場合、バカ穴
でなく、ネジ孔とする。）を設けておいてもよく、これ
により部品の共通化が図れる。

【００３４】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な効果を奏することができる。

【００３５】（１）請求項１に係る発明によれば、複数
枚の被処理基板を上下方向に所定の間隔で支持する複数
枚の支持板と、各支持板の基端部を上下から挟み込んで
ネジで固定する固定部と、各固定部を上下に移動させて
支持板の間隔を変えるピッチ変換機構とを備えた被処理
基板搬送装置において、前記固定部の少なくとも奥側の
ネジを上下方向に重ならないように位置をずらして配置
すると共に、各ネジの上方に位置する固定部に各ネジに
対応してネジ回し工具が挿通可能な孔部を設けているた
め、固定部のネジへのアクセスが容易になり、支持板を
固定部から直接取外すことができ、メンテナンス性の向
上が図れる。

【００３６】（２）請求項２に係る発明によれば、請求
項１記載の被処理基板搬送装置において、前記ネジが六
角穴付き皿ネジであるため、固定部のネジへのアクセス
およびネジ回し作業が更に容易になり、メンテナンス性
の更なる向上が図れる。

【００３７】（３）請求項３に係る発明によれば、請求
項１記載の被処理基板搬送装置において、前記固定部を
取付ける取付部が前記ピッチ変換機構の可動ブロックに
一体に設けられているため、部品点数の削減および構造
の簡素化が図れると共に、取付部の取付誤差がなくな
り、支持板取付けの再現性が向上する。

【００３８】（４）請求項４に係る発明によれば、複数
枚の被処理基板を上下方向に所定の間隔で支持する複数
枚の支持板と、各支持板の基端部を上下から挟み込んで
ネジで固定する固定部とを備え、中央の支持板は単独で
前方に移動可能とされ、中央以外の支持板はピッチ変換
可能とされた被処理基板搬送装置の支持板取外し方法に
おいて、前記中央以外の支持板の固定部の奥側のネジを
上下方向に重ならないように位置をずらして配置すると
共に各ネジの上方に位置する中央以外の支持板の固定部
に各ネジに対応してネジ回し工具が挿通可能な孔部を設
けておき、中央以外の支持板は固定部の奥側のネジを緩
めると共に固定部の両側のネジを支持板の間隔を最大に
広げた状態で緩めて取外し、中央の支持板は該支持板よ
りも上方の支持板を取外した後、中央の支持板を前方へ
移動させた状態でネジを緩めて取外すため、固定部のネ
ジへのアクセスが容易になり、支持板を固定部から直接
取外すことができ、メンテナンス性の向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す被処理基板搬送装置
の斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線概略的拡大断面図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ線概略的拡大断面図である。

【図４】図１のＣ−Ｃ線概略的拡大断面図である。

【図５】支持板の間隔を最大に広げた状態を概略的に示
す一部断面側面図である。

【図６】支持板の間隔を最小に縮めた状態を概略的に示
す一部断面側面図である。

【図７】各支持板の固定部の構造を示す平面図である。

【図８】三枚目の支持板の固定部の構造を示す平面図で
ある。

【図９】図７（ａ）のＤ−Ｄ線拡大断面図である。

【図１０】従来の被処理基板搬送装置の要部を概略的に
示す一部断面平面図である。

【図１１】図１０のＥ−Ｅ線断面図である。

【符号の説明】

ｗ 半導体ウエハ（被処理基板） １ 被処理基板搬送装置 ２（２ａ〜２ｅ） 支持板 ２ｃ 中央の支持板 ２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅ 中央以外の支持板 ３ ネジ ３ａ 奥側のネジ ３ｂ 両側のネジ ４ 固定部 ５ ピッチ変換機構 ２６（２６ａ〜２６ｃ） 孔部 ２７ 取付部 ２９（２９ａ〜 ２９ｄ） 可動ブロック

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F061 AA03 AA04 AA09 BA02 BE00 BE05 BF00 DB00 DB04 DB06 5F031 CA02 FA01 FA09 FA11 FA25 GA41 GA47 GA49 GA50 JA03 JA22 LA07 LA13 MA28 MA30

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚の被処理基板を上下方向に所定の
   間隔で支持する複数枚の支持板と、各支持板の基端部を
   上下から挟み込んでネジで固定する固定部と、各固定部
   を上下に移動させて支持板の間隔を変えるピッチ変換機
   構とを備えた被処理基板搬送装置において、前記固定部
   の少なくとも奥側のネジを上下方向に重ならないように
   位置をずらして配置すると共に、各ネジの上方に位置す
   る固定部に各ネジに対応してネジ回し工具が挿通可能な
   孔部を設けたことを特徴とする被処理基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記ネジが六角穴付き皿ネジであること
   を特徴とする請求項１記載の被処理基板搬送装置。
3. 【請求項３】 前記固定部を取付ける取付部が前記ピッ
   チ変換機構の可動ブロックに一体に設けられていること
   を特徴とする請求項１記載の被処理基板搬送装置。
4. 【請求項４】 複数枚の被処理基板を上下方向に所定の
   間隔で支持する複数枚の支持板と、各支持板の基端部を
   上下から挟み込んでネジで固定する固定部とを備え、中
   央の支持板は単独で前方に移動可能とされ、中央以外の
   支持板はピッチ変換可能とされた被処理基板搬送装置の
   支持板取外し方法において、前記中央以外の支持板の固
   定部の奥側のネジを上下方向に重ならないように位置を
   ずらして配置すると共に各ネジの上方に位置する中央以
   外の支持板の固定部に各ネジに対応してネジ回し工具が
   挿通可能な孔部を設けておき、中央以外の支持板は固定
   部の奥側のネジを緩めると共に固定部の両側のネジを支
   持板の間隔を最大に広げた状態で緩めて取外し、中央の
   支持板は該支持板よりも上方の支持板を取外した後、中
   央の支持板を前方へ移動させた状態でネジを緩めて取外
   すことを特徴とする被処理基板搬送装置の支持板取外し
   方法。