JPH07106402A - 板状体搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の大型化や部品および組立て工数の増加
を招くことなく板状体の一括搬送と枚葉搬送とが可能な
構造を備えた板状体搬送装置を提供すること。 【構成】 複数のアームのうち、一のアーム５０を単独
で進退駆動する第１の駆動源６０と、一のアーム５０以
外の他のアーム４２、４４、４６、４８を同時に進退駆
動する第２の駆動源７２と、第１および第２の駆動源６
０、７２をそれぞれ動作制御する制御手段８０とを有
し、制御手段８０は、第１の駆動源６０のみを駆動する
場合と第１および第２の駆動源６０、７２を同時に駆動
する場合とを選択される。このため、枚葉搬送に用いら
れる一の搬送アームを一括搬送に用いられる枚数のひと
つに含めることができるので、一括搬送とは別に枚葉搬
送の溜めの搬送アームを設ける必要がなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に関し、特
に、半導体ウェハ等の板状体を搬送するための装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、半導体ウェハ等の板状体
の処理装置においては、処理部に対してロード／アンロ
ードされる板状体をカセット等の収容部に搬送する機構
が設けられている。

【０００３】このような搬送機構を用いる処理装置のひ
とつに熱処理装置がある。この熱処理装置は、酸化、拡
散、アニールや成膜に用いられる。そして、この装置で
は複数の板状体、例えば、上記した半導体ウェハをカセ
ットからボートに移し換えてボートを熱処理炉にロード
したり、あるいは、この逆にアンロードされた半導体ウ
ェハをボートからカセットに移し換える操作が行なわれ
る。

【０００４】このため、熱処理装置のロード／アンロー
ド部には、カセットとボートとの間で半導体ウェハを受
渡し、所謂、移載するための搬送装置が装備されてい
る。

【０００５】ところで、この搬送装置には、複数の半導
体ウェハ等の板状体を一括して搬送することにより、半
導体製造工程でのスループットを改善することのできる
構造が提案されている。

【０００６】図１３は、上記構造の一例を示しており、
この構造は、回転、昇降および進退可能なアーム機構１
０を備え、このアーム機構１０は、アーム先端にたとえ
ば５段の半導体ウェハ載置部を備えている。そして、ア
ーム機構１０は、カセット１２とボート１４との間で半
導体ウェハの移載を行なうようになっている。

【０００７】また、近年では、上記した構造による一括
搬送の他に、一枚の半導体ウェハのみを処理位置あるい
は格納位置に向け搬送する枚葉式搬送を行なうこともあ
る。このため、従来では、一括搬送する場合の半導体ウ
ェハの数に相当する枚数の載置部を設けた一括搬送機構
と、一枚の半導体のみの載置部を備えた枚葉式搬送機構
とを備えた搬送装置が提案されている。

【０００８】図６（Ｂ）は、上記装置の構造を模式的に
示したものであり、この装置は、一括搬送する枚数の搬
送アーム２０Ａが縦方向に配列された一括搬送機構２０
と、この一括搬送機構２０の上部に配置された枚葉搬送
アーム２２Ａを備えた枚葉式搬送機構２２とで構成され
ている。一括搬送用の搬送アーム２０Ａは、等ピッチを
以て配列され、枚葉搬送アーム２２Ａは、上記一括搬送
アーム２０Ａとはピッチ間隔の設定を特に行なわれない
状態で別に設けられている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな一括搬送および枚葉搬送を行なう機構を個別に設け
た場合には、次のような問題があった。

【００１０】すなわち、一括搬送を行なうための一括搬
送機構２０は、板状体を載置する間隔、所謂、縦方向で
の載置部の配列ピッチが同じであるものの、この一括搬
送用載置部に対して一枚の板状体の載置部との間は、一
括搬送用載置部の配列ピッチよりも大きく離されてい
る。これは、相対的に移動する場合の干渉を防ぐためで
ある。このため、熱処理装置内で搬送アームが占めるス
ペースが大きくなり、装置自体も大型にならざるを得な
い。

【００１１】しかも、上記一括搬送機構と枚葉搬送機構
とは独自に作動されることから、各々での位置割出し動
作が必要となる。このため、位置割出しのための駆動部
でのティーチング処理が複雑化したり誤差が大きくなっ
たりする虞れがあった。

【００１２】さらに、一括搬送機構と枚葉搬送機構とを
別個に設けることによる部品の増加や組立工数の増加が
原因してコストのアップは否めない。

【００１３】そこで、本発明の目的は、上記従来の板状
体搬送装置における問題に鑑み、装置の大型化や部品お
よび組立て工数の増加を招くことなく板状体の一括搬送
と枚葉搬送とが可能な構造を備えた板状体搬送装置を提
供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、縦方向にて等ピッチ間隔で
複数配列され、それぞれ板状体を支持可能な複数のアー
ムと、上記複数のアームのうち、一のアームを単独で進
退駆動する第１の駆動源と、上記一のアーム以外の他の
アームを同時に進退駆動する第２の駆動源と、上記第１
および第２の駆動源をそれぞれ動作制御する制御手段
と、を有し、上記制御手段は、第１の駆動源のみの単独
駆動と、第１および第２の駆動源の同時駆動と、を選択
制御することを特徴としている。

【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１におい
て、上記複数のアームは奇数枚設けられており、上記一
のアームは奇数枚のアームの中央部に配置されているこ
とを特徴としている。

【００１６】請求項３記載の発明は、請求項２におい
て、上記一のアームを境にして上下両側を等ピッチで平
行移動させて、上記複数のアームの配列ピッチを変換す
るピッチ変換機構を備えていることを特徴としている。

【００１７】請求項４記載の発明は、請求項３におい
て、上記複数のアームは、一のアーム以外のアームが板
状体の載置部からの延長部を垂直に折曲げられた基部を
有し、かつ、この基部が段違い状に重畳され、各基部が
上記ピッチ変換機構の各可動部に対して同じ側から取付
けられていることを特徴としている。

【００１８】請求項５記載の発明は、請求項１におい
て、上記一のアームと連結され、上記第１の駆動源によ
り駆動される第１の摺動体と、上記他のアームと連結さ
れ、上記第２の駆動源により駆動される第２の摺動体
と、上記第１、第２の摺動体をそれぞれ摺動案内する案
内軸と、を有し、上記案内軸をボールスプラインにて構
成したことを特徴としている。

【００１９】

【作用】本発明では、一括搬送と枚葉式搬送とを個別の
搬送機構を設けることなく実行することができる。つま
り、一括搬送される枚数に相当する搬送アームのなかに
枚葉搬送に用いられる搬送アームを含めて設けてある。
従って、一括搬送する場合と枚葉搬送する場合とで各搬
送機構の駆動を選択制御することにより、搬送アームの
配列方向では、一括搬送される枚数の搬送アームのみを
設置すればよい。

【００２０】また本発明では、一括搬送枚数が奇数枚で
ある場合、奇数枚設けられている搬送アームの中央部に
枚葉搬送アームを配置することにより、この位置を基準
として、上下両側の搬送アームのピッチ変換を等分する
ことが可能になる。このため、ピッチ変換機構は、搬送
アームの配列方向中央位置を基準とした相対構造とする
だけでよいので、相対する搬送アーム間での累積誤差を
少なくすることができる。

【００２１】さらに本発明では、一の搬送アーム以外の
アームをその基部が折り曲げられ、さらにこの基部が段
違い状に重畳されて同じ側から取付けられている。この
ため、搬送アームの配列方向で、各アームを取付けるた
めの箇所を必要としない分、配列方向での搬送アームの
配列ピッチを狭めることができる。しかも、取付けおよ
び取り外し時には、可動部に対して取付ける場合あるい
は可動部から取り外す場合、先に取付けあるいは取り外
された後にはこの搬送アームの取付け位置に関係なく後
続の搬送アームの取付けあるいは取り外しが先の搬送ア
ームと同じ方向で実行することができる。このため、取
付けあるいは取り外しの際の態勢を変えることなく容易
に行なうことが可能になる。

【００２２】そして本発明では、第１、第２の各駆動源
により駆動される第１、第２の摺動体がボールスプライ
ンにて構成された案内軸によりそれぞれ摺動案内される
ようになっている。このため、一のアームとこれ以外の
アームとの支持を、ボールスプラインを支点とする片持
ち梁状に実行できることで、進退移動に用いられる伝動
部材のレイアウトを側方に設定することができ、これに
より、下方の占有スペースを少なくすることでアームの
配列方向での嵩を小さくすることができる。

【００２３】

【実施例】以下、図１乃至図１２に示す実施例によって
本発明の詳細を説明する。

【００２４】図１には、本発明による板状体搬送装置が
適用される装置の一例である縦型熱処理装置における移
載部が示されており、この移載部は、縦型熱処理炉の下
方に位置している。そして、移載部には、処理用容器の
一例である石英製のボート３０と、このボート３０を熱
処理炉（図示されず）とボート３０とにわたって昇降可
能に駆動するボートエレベータ３２と、複数枚の半導体
ウェハ等の板状体（以下、半導体ウェハを対象として説
明する）を収容したカセット３４を格納するための移載
ステージ３６が設けられている。そして、ボート３０と
移載ステージ３６との間には、本発明による板状体搬送
装置４０が配置されている。

【００２５】板状体搬送装置４０は、進退可能であると
共に昇降および旋回が可能な構造を備えている。そし
て、この板状体搬送装置４０は、ボート３０とカセット
３４との間で、半導体ウェハを１枚あるいは複数枚同時
に移載することができるものである。

【００２６】上記板状体搬送総装置４０は、上記したよ
うに、一枚の半導体ウェハを搬送する枚葉搬送と複数枚
の半導体ウェハを同時に搬送する一括搬送との両方を行
なえるようになっており、その詳細な構造は図２以下に
示されている。

【００２７】図２には、板状体搬送装置４０の外観が示
されており、板状体搬送装置４０は、一例として、５枚
からなる奇数枚の半導体ウェハを一括搬送することを前
提としている。

【００２８】そして、板状体搬送装置４０は、縦方向に
て等ピッチを設定されて配列された５枚の搬送アーム４
２、４４、４６、４８、５０を備えている。これら各搬
送アームのうち、中央に位置する搬送アーム５０は、単
独で進退駆動されるようになっている。つまり、図３に
おいて、板状体搬送装置４０の下部に位置する筐体部に
は、搬送アームの進退方向に平行する軸方向を設定され
た一対のボールスプライン軸５２、５４がその軸方向両
端が支持されて設けられており、一方のボールスプライ
ン軸５２に、上記中央に位置する搬送アーム５０を支持
するための摺動ブロック５６が嵌合している。この摺動
ブロック５６は、一方のボールスプライン軸５２によっ
て回転を阻止された状態で嵌合していて、上記搬送アー
ム５０を支持するための支持アーム５８が片持ち梁状に
設けられている。そして、摺動ブロック５６は、ボール
スプライン軸５２上を摺動できるようになっており、こ
のための駆動は、第１の駆動源である第１のステッピン
グモータ６０の駆動力を伝達されるタイミングベルト６
２を介して行なわれる。

【００２９】つまり、タイミングベルト６２の一部は、
図４に示すように、摺動ブロック５６に一体化された固
定ブロック６４の上面とこの上部に位置する上記支持ア
ーム５８の底面とで挟持されることによって中央に位置
する搬送アーム５０側と一体化されている。このため、
タイミングベルト６２が掛け回されている第１の駆動プ
ーリ６６を回転駆動する第１の駆動源であるステッピン
グモータ６０の回転方向および回転量を設定することで
この回転がタイミングベルト６２を介して摺動ブロック
５６に伝達され、摺動ブロック５６の移動に連動して中
央に位置する搬送アーム５０が進退駆動される。

【００３０】一方、他の搬送アーム４２、４４、４６、
４８を支持している摺動ブロック６８は、図３におい
て、一方の摺動ブロック５６の場合と同様に、ボールス
プライン軸５４に対して回転を阻止された状態で嵌合し
ていて、上記各搬送アーム４２、４４、４６、４８を支
持するための支持アーム７０が片持ち梁状に設けられて
いる。そして、摺動ブロック６８は、ボールスプライン
軸５４上を摺動できるようになっており、このための駆
動は、第２の駆動源である第２のステッピングモータ７
２の駆動力を伝達されるタイミングベルト７４を介して
行なわれる。

【００３１】つまり、タイミングベルト７４の一部は、
図５に示すように、摺動ブロック６８に一体化された固
定ブロック７６の上面とこの上部に位置する上記支持ア
ーム７０の底面とで挟持されることによって中央以外に
位置する搬送アーム４２、４４、４６、４８側と一体化
されている。このため、タイミングベルト７４が掛け回
されている第２の駆動プーリ７８を回転駆動する上記第
２の駆動源であるステッピングモータ７０の回転方向お
よび回転量を設定することでこの回転がタイミングベル
ト７４を介して摺動ブロック６８に伝達され、この摺動
ブロック６８の移動に連動して中央以外に位置する搬送
アーム４２、４４、４６、４８が進退駆動される。

【００３２】本発明による板状体搬送装置４０は、縦方
向にて等ピッチで配列された搬送アームの駆動方式とし
て、図６（Ａ）に示す方式が用いられる。つまり、搬送
アームは、一括搬送される枚数、本実施例では、５枚に
相当する数が設けられており、その中央に位置する搬送
アーム５０とこれ以外の上下に配置された搬送アーム４
２、４４、４６、４８を纏めたアーム群とがそれぞれの
駆動源、つまり、第１のステッピングモータ６０および
第２のステッピングモータ７２によって駆動されるよう
になっている。そして、これら駆動源により、枚葉搬送
の場合には、第１のステッピングモータ６０を駆動する
ことにより実施され、また、一括搬送の場合には、第１
および第２のステッピングモータ６０および７２を同時
に駆動することにより実施される。図６（Ａ）に示す状
態は、枚葉搬送の場合である。このため、第１第２の駆
動源である各ステッピングモータ６０、７２は、図７に
示す制御部８０によって動作態位を設定されるようにな
っている。

【００３３】つまり、制御部８０は、例えば、マイクロ
コンピュータによって主要部を構成されており、その入
力側には、枚葉搬送を選択するための枚葉スイッチ８２
および一括搬送を選択するための一括スイッチ８４が、
そして出力側には、第１の駆動源である第１のステッピ
ングモータ６０および第２の駆動源である第２のステッ
ピングモータ７２（図中では、第１、第２の駆動モータ
と表示してある）が図示しないＩ／Ｏインターフェース
を介してそれぞれ接続されている。制御部８０では、枚
葉スイッチ８２あるいは一括スイッチ７２の投入状態に
応じて第１、第２の駆動源の駆動設定を行なうようにな
っている。つまり、枚葉スイッチ８２が投入された場合
には第１の駆動源である第１のステッピングモータ６０
を駆動させ、また、一括スイッチ８４が投入された場合
には第１および第２の駆動源である第１、第２のステッ
ピングモータ６０、７２の両方を駆動する。なお、上記
した枚葉スイッチ８２および一括スイッチ８４の投入は
手動で行なうだけでなく、例えば、カセットとボート間
のウエハ移載においてあらかじめカウンタ（図示してい
ない）により検知されているカセット内のウエハの位置
と枚数により、自動的にシーケンスプログラム上、オン
・オフ設定される。

【００３４】一方、中央に位置する搬送アーム５０を境
にして上下に位置する残りの搬送アーム４２、４４、４
６、４８は、縦方向での平行移動によりピッチ変換が行
なわれるようになっている。このため、上記残りの搬送
アームの支持アーム７０には、ピッチ変換機構９０が設
けられている。

【００３５】すなわち、ピッチ変換機構９０は、図８に
示すように、支持アーム７０の上面に設けられている筐
体９２内に配置されており、支持アーム７０と筐体９２
の天井部とにより軸方向両端をそれぞれ回転可能に支持
されている一対の駆動ネジ軸９４、９６を備えている。
これら駆動ネジ軸９４、９６には、軸方向のほぼ中央を
境にして互いに逆方向のリードを設定された等ピッチの
ネジが形成されている。そして、これら駆動ネジ軸９
４、９６のネジ部には、図示する通りそれぞれボールナ
ット９８、１００が上下に噛み合っており、これらボー
ルナット９８および１００は、駆動ネジ軸９４、９６の
回転に連動して軸方向で相反する方向に移動することが
できるようになっている。

【００３６】一方の駆動ネジ軸９４に取付けられている
ボールナット９８および１００には、スリーブ１０２が
固定され、このスリーブ１０２には、中央に位置する搬
送アーム５０に隣り合う搬送アーム４４、４６を取付け
るための取付け台４４Ａ、４６Ａが支持されている。ま
た、他方の駆動ネジ軸９６に取付けられているボールナ
ット９９およびボールナット１００には、各々同様にス
リーブ１０４が固定され、このスリーブ１０４には、搬
送アーム４４、４６の外側に位置する搬送アーム４２、
４８を取付けるための取付け台４２Ａ、４８Ａが支持さ
れている。

【００３７】上記した搬送アームの取付け台４２Ａ、４
４Ａ、４６Ａ、４８Ａは、図８および図９に示すよう
に、搬送アームを取付ける側と反対側の基部を直角に折
り曲げられ、その基部が段違い状に重畳されている。そ
して、この基部は、これに対向するスリーブに対してそ
れぞれネジ止めされるようになっている。このため、図
９に示すように、重畳されている基部の一方をスリーブ
に取付けた場合、次に取付ける取付け台の取付け位置、
つまり、ネジ止め位置が露呈しているので、同じ側から
の取付けが可能になる。しかも、基部が折り曲げられて
いることにより、搬送アームの取付けに必要な板厚を設
定しないでよいので、搬送アーム間での間隔を小さくす
ることができる。

【００３８】一方、上記駆動ネジ軸９４、９６の軸方向
一端には駆動部が設けられている。つまり、駆動部は、
各駆動ネジ軸９４、９６に取付けられた従動プーリ９４
Ａ、９６Ａ、ステッピングモータ１０６、ステッピング
モータ１０６の出力軸に取付けられた駆動プーリ１０８
および各プーリに掛けられているタイミングベルト１１
０によって構成されている。

【００３９】そして、上記従動プーリ９４Ａ、９６Ａ
は、回転数比を１：２に設定されている。換言すれば、
プーリの歯数比を２：１に設定されていて、外側に位置
する搬送アーム４２および４８の方が、内側に位置する
搬送アーム４４、４６よりも１回転あたりの移動ストロ
ークが２倍になるように設定されている。従って、図１
０に示すように、ステッピングモータ１０６が回転した
場合には、タイミングベルト１１０を介して従動プーリ
９４Ａおよび９６Ａに動力が伝達され、例えば、図１０
（Ａ）に示すように、各搬送アームが重畳されている状
態から、図１０（Ｂ）に示すように、互いの搬送アーム
同士が等ピッチで離間する状態に移動することができ
る。また、上記したスリーブ１０２および１０４は、そ
の移動をガイド軸１２０によって案内されるようになっ
ている。そして、このガイド軸１２０は、ボールスプラ
イン軸で構成され、スリーブ側に設けられたボールナッ
トと嵌合できるようになっている。このようなボールス
プライン結合を用いることで、ガタの発生を防止して位
置決め精度を損ねないようにすることができる。

【００４０】ところで、本実施例では、各搬送アームが
重合される位置を設定するための構造が設けられてい
る。つまり、搬送アーム同士を離間させてピッチを拡大
させる場合には、各搬送アームが重なっていることが前
提である。このため、各搬送アームが重なり合う位置に
達した時点で駆動ネジ軸の駆動を停止する必要がある。

【００４１】そこで、本実施例では、例えば移載される
半導体ウェハの最小配列ピッチが４．８ｍｍとされ、載
置される半導体ウェハの大きさに対する搬送アームの強
度および加工誤差を考慮して各搬送アームの取付け台の
配列ピッチを４．６ｍｍとした場合には、その寸法差で
ある０．２ｍｍを限界としてその範囲内で搬送アームの
上下方向での移動を停止することにより、各搬送アーム
の取付け台を略重合させた状態に設定することができ
る。このため、単一の搬送アームの取付け台の移動量を
検出して上記寸法差が検出された時点でステッピングモ
ータ１０６の駆動を停止することが考えられる。

【００４２】しかしながら、上記した寸法差である０．
２ｍｍの移動量を検出することは現実的に困難である。
そこで、本実施例では、相対的に移動する取付け台、特
に、移動量が多い方の取付け台の移動を利用して、上記
寸法差に相当する移動量を検出するようになっている。
つまり、図１１において、従動プーリ９４Ａ、９６Ａと
の間で回転数、換言すれば、取付け台の移動量が２倍に
設定されている駆動ネジ軸９６に取付けられているスリ
ーブ１０４には、それぞれ光学センサＳ１と遮光部材１
１２がそれぞれ設けられている。このため、駆動ネジ軸
９６の回転数によるスリーブ１０４の移動量は、従動プ
ーリ９４Ａ側に対して２倍となるとともに相対的に移動
することを考慮すると、｛０．２×２（相対量）×２
（移動量）｝（ｍｍ）の移動量となり、この移動ストロ
ーク（０．８ｍｍ）を光学センサの検知範囲として採用
する。これにより、極小なストロークを検知するのに比
べ、移動量の検知が容易になる。なお、図１１中、符号
Ｓ２は原点センサを、そして、符号Ｓ３はエンドリミッ
トセンサをそれぞれ示している。

【００４３】本実施例は以上のような構成であるから、
ボートとカセットとの間での半導体ウェハの移載を行な
う場合には、図７に示した制御部８０に対して、枚葉ス
イッチ８２あるいは一括スイッチ８４の投入にかかわら
ず、板状体搬送装置４０における搬送アームのうちの中
央に位置する搬送アーム５０の位置を基準として、板状
体搬送装置４０の高さ方向での位置決めが行なわれる。

【００４４】そして、上記枚葉スイッチ８２が投入され
た場合には、中央に位置する搬送アーム５０が進退駆動
される。つまり、第１の駆動源であるステッピングモー
タ６０は、回転駆動のためのパルス信号を入力される
が、これに先立ち、搬送アーム５０側に位置してタイミ
ングベルト６２と一体化されている摺動ブロック５６が
移動開始位置、つまり、進出するための開始位置にある
かどうかが図示しない光学センサ（エンコーダ）（図７
中、符号８６で示す各種センサに相当）によって検知さ
れる。そして、移動開始位置に復帰している場合に限っ
て、上記進出量に相当する数の回転パルスを入力され
る。従って、図４に示したように、ステッピングモータ
６０が回転方向および回転量を設定されることで、タイ
ミングベルト６２に一体化されている支持アーム５８が
連動して搬送アーム５０が進退される。

【００４５】一方、上記一括スイッチ８４が投入された
場合には、第１の駆動源であるステッピングモータ６０
に加え、第２の駆動源であるステッピングモータ７２も
駆動される。この場合も同様に、各ステッピングモータ
が回転する前に、搬送アーム５０およびこの上下に位置
する搬送アーム４２、４４、４６、４８側に位置してタ
イミングベルト７４に一体化されている摺動ブロック６
８が移動開始位置、つまり、進出するための開始位置に
あるかどうかを判別するようになっている。

【００４６】そして、全ての搬送アームが移動開始位置
にあることを検出されると、制御部８０は、第１および
第２の駆動源であるステッピングモータ６０、７２に対
して回転のためのオン・オフ信号を出力する。従って、
上記中央に位置する搬送アーム５０とこれ以外の搬送ア
ーム４２、４４、４６、４８がともにタイミングベルト
６２、７４を介して進退動作が行なわれる。

【００４７】ところで、上記した各搬送アームの進退に
際しては、特に、一括搬送の場合には、移載する半導体
ウェハの配列ピッチに応じて各搬送アームのピッチ変換
が行なわれる。つまり、中央に位置する搬送アーム５０
が取付けられている取付け台５０Ａの位置を中心とし
て、上下に分割されている搬送アーム４２、４４、４
６、４８の取付け台４２Ａ、４４Ａ、４６Ａ、４８Ａ
は、駆動ネジ軸９４、９６の回転によって軸方向に沿っ
て相対的に移動することができる。しかも、駆動ネジ軸
９４と９６との間の回転数比により、内側に位置する搬
送アーム４４、４６同士は勿論、これら内側の搬送アー
ム４４、４６の外側に位置する搬送アーム４２、４８と
の間でのピッチを等しくすることができる。

【００４８】本実施例によれば、高さ方向での丈を小さ
くして、コンパクトな構造とすることができる。つま
り、ピッチ変換機構においては、搬送アームのピッチを
変換するための駆動部、つまり、駆動ネジ軸を配列方向
で内側に位置する搬送アーム側と外側に位置する搬送ア
ーム側とに分けてそれぞれ設けてあるので、１本の駆動
ネジ軸においてリード長さを異ならせた構造に比べ、駆
動ネジ軸の軸方向の長さを短くすることができる。さら
に、搬送アームを進退駆動する駆動部の構造として、摺
動ブロックをボールスプライン５２、５４によって回転
防止を行ないながら摺動可能に支持し、かつ、摺動ブロ
ックの側部にタイミングベルトを駆動する第１の駆動源
および第２の駆動源を配置したので、摺動ブロックの下
面に上記第１、第２の駆動源によって駆動されるタイミ
ングベルトを配置しないようにすることができる。この
ため、摺動ブロックの下面のスペースは小さくすること
ができる。しかも、摺動ブロックの下面に、駆動部が存
在していないことにより、この部分をピッチ変換機構の
駆動源に対する配線部とすることができる。これは、摺
動案内部が上記したボールスプラインの採用によるため
である。つまり、通常、摺動案内部の構造としては図１
２に示すように、摺動ブロック１３０の側面に位置して
摺動案内に必要な長さをもつリニアガイド１３２を設け
ることが一般的である。しかしながら、この場合には、
摺動ブロックの側部に第１、第２の駆動源を設けること
ができないので、駆動源であるステッピングモータは縦
置きとされることになる。このため、タイミングベルト
を掛けられるプーリ１３４が、摺動ブロック１３０の下
方に位置することになるので、摺動ブロックの下方で配
線部を設けることが困難になる。つまり、図３に示すよ
うに、摺動ブロック５６、６８の下方空間が配線用のス
ペースとして空胴化するようにして、図１３に示す摺動
ブロック１２０の下方のスペースが混みいった状態とな
るのを防止することができる。

【００４９】また、本実施例によれば、第１、第２の駆
動源であるステッピングモータ６０、７２を横置きとす
ることでタイミングベルトを水平に設置することができ
る。このため、支持アームが筐体部から外部に突出する
ために形成されているスリットの位置にタイミングベル
トを配置することでスリットを遮蔽することができる。
従って、筐体内での駆動源からの発塵がスリットから半
導体ウェハの載置部に向け漏洩することが防止できる。

【００５０】なお、本実施例では、駆動ネジ軸の回転数
比を異ならせてスリーブの移動量を互いの駆動ネジ軸間
で異ならせるようにしたが、この様な構造に限らず、例
えば、回転数を同じにして一方の駆動ネジ軸に体するリ
ード量を異ならせてスリーブの移動量を変化させるよう
にしてもよい。

【００５１】また本発明は、上記した板状体搬送装置
は、熱処理装置だけでなく、半導体製造装置、液晶製造
装置の各工程で活用できるものであり、ＣＶＤ装置やプ
ラズマ処理装置あるいはカセットストック装置、ボート
ストッカ装置等にも適用することが可能である。

【００５２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、板状体搬
送装置の大型化を防止することができる。つまり、枚葉
搬送に用いられる搬送アームを等ピッチにて配列されて
一括搬送に用いられる搬送アームのひとつとして構成す
ることで、一括搬送に必要な枚数の搬送アームを準備す
るだけですむ。このため、一括搬送と枚葉搬送とを個別
の搬送アームを準備した場合に比べ、枚葉搬送に用いる
搬送アームを別設する必要がないので、部品点数の増加
や位置決めティーチング等の点で有利となる。

【００５３】また、本発明によれば、奇数枚の搬送アー
ムを設けた場合の中央位置の搬送アームを基準として、
その上下に位置する搬送アームのピッチ変換を行なうこ
とができるので、均等な変換量を以て簡単ピッチ変換を
行なうことが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による板状体搬送装置が適用される一例
である熱処理装置の一部を示す斜視図である。

【図２】本発明による板状体搬送装置の外観を示す斜視
図である。

【図３】図２中、符号Ａ−Ａで示す方向の矢視断面図で
ある。

【図４】図２に示した板状体搬送装置における一の搬送
アームの駆動部の構造を示す模式的な斜視図である。

【図５】図２に示した板状体搬送装置における他の搬送
アームの駆動部の構造を示す模式的な斜視図である。

【図６】本発明による板状体搬送装置の作用と従来構造
での作用を説明するための模式図であり、（Ａ）は本発
明実施例による場合を、（Ｂ）は従来構造による場合を
それぞれ示している。

【図７】図２に示した板状体搬送装置における制御部の
構成を説明するためのブロック図である。

【図８】図２に示した板状体搬送装置におけるピッチ変
換機構を説明するための断面図である。

【図９】図２に示した板状体搬送装置に置ける搬送アー
ムの取付け構造を説明するための模式図であり、（Ａ）
は取付けた状態を、（Ｂ）は取付け前あるいは取り外し
た状態をそれぞれ示している。

【図１０】図８に示したピッチ変換機構の作用を示す図
であり、（Ａ）はピッチ変換前の状態を、（Ｂ）はピッ
チ変換時の状態をそれぞれ示している。

【図１１】図８に示したピッチ変換機構での一検知構造
を説明するための模式図である。

【図１２】図２に示した板状体搬送装置における可動部
下方の従来構造を示す模式図である。

【図１３】板状体搬送装置の従来構造の一例を示す斜視
図である。

【符号の簡単な説明】

４０ 板状体搬送装置 ４２、４４、４６、４８ 他の搬送アーム ４２Ａ、４４Ａ、４６Ａ、４８Ａ 搬送アーム取付け台 ５０ 一の搬送アーム ５２、５４ ボールスプライン軸 ５６、６８ 摺動ブロック ６０ 第１の駆動源であるステッピングモータ ６２、７４ タイミングベルト ７２ 第２の駆動源であるステッピングモータ ８０ 制御部 ８２ 枚葉スイッチ ８４ 一括スイッチ ９４、９６ 駆動ネジ軸 ９４Ａ、９６Ａ 従動プーリ ９８、１００ ボールナット １０２、１０４ スリーブ １０８ ピッチ変換用の駆動源であるステッピングモー
タ １１０ タイミングベルト

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 縦方向にて等ピッチ間隔で複数配列さ
   れ、それぞれ板状体を支持可能な複数のアームと、 上記複数のアームのうち、一のアームを単独で進退駆動
   する第１の駆動源と、 上記一のアーム以外の他のアームを同時に進退駆動する
   第２の駆動源と、 上記第１および第２の駆動源をそれぞれ動作制御する制
   御手段と、 を有し、上記制御手段は、第１の駆動源のみの単独駆動
   と、第１および第２の駆動源の同時駆動と、を選択制御
   することを特徴とする板状体搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 上記複数のアームは奇数枚設けられており、上記一のア
   ームは奇数枚のアームの中央部に配置されていることを
   特徴とする板状体搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２において、 上記一のアームを境にして上下両側を等ピッチで平行移
   動させて、上記複数のアームの配列ピッチを変換するピ
   ッチ変換機構を備えていることを特徴とする板状体搬送
   装置。
4. 【請求項４】 請求項３において、 上記複数のアームは、一のアーム以外のアームが板状体
   の載置部からの延長部を垂直に折曲げられた基部を有
   し、かつ、この基部が段違い状に重畳され、各基部が上
   記ピッチ変換機構の各可動部に対して同じ側から取付け
   られていることを特徴とする板状体搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項１において、 上記一のアームと連結され、上記第１の駆動源により駆
   動される第１の摺動体と、 上記他のアームと連結され、上記第２の駆動源により駆
   動される第２の摺動体と、 上記第１、第２の摺動体をそれぞれ摺動案内する案内軸
   と、 を有し、上記案内軸をボールスプラインにて構成したこ
   とを特徴とする板状体搬送装置。