WO2021251197A1 - 基板保持装置 - Google Patents

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WO2021251197A1
WO2021251197A1 PCT/JP2021/020704 JP2021020704W WO2021251197A1 WO 2021251197 A1 WO2021251197 A1 WO 2021251197A1 JP 2021020704 W JP2021020704 W JP 2021020704W WO 2021251197 A1 WO2021251197 A1 WO 2021251197A1
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base
attached
holding body
holding
holding device
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PCT/JP2021/020704
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English (en)
French (fr)
Inventor
真也 木下
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川崎重工業株式会社
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Publication date
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    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/907—Devices for picking-up and depositing articles or materials with at least two picking-up heads
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Definitions

  • the technology disclosed here relates to a substrate holding device.
  • Patent Document 1 discloses a substrate holding device that holds a plurality of substrates.
  • the substrate holding device disclosed in Patent Document 1 includes a plurality of holders for holding the substrate, and is configured to convey the plurality of substrates.
  • the plurality of holding bodies are attached to the pitch conversion mechanism portion in a state of being arranged in the thickness direction of the substrate. At this time, the plurality of holding bodies are attached to the pitch conversion mechanism unit in order from the holding body located below.
  • the holding body may be removed from the board holding device for maintenance or replacement.
  • the holding body even if it is desired to remove only a part of the holding body, it is necessary to remove the holding body which does not need to be removed, or it is necessary to disassemble the entire substrate holding device. ..
  • the technology disclosed here was made in view of this point, and the purpose thereof is to improve the maintainability of the board holding device.
  • the substrate holding device disclosed herein includes a base and a plurality of holding bodies attached to the base to hold the board, and the plurality of holding bodies are arranged in a predetermined arrangement direction and described above. It is detachably attached to the base in parallel with a reference plane which is a virtual plane intersecting in the arrangement direction.
  • the maintainability of the board holding device can be improved.
  • FIG. 1 is a schematic front view of a substrate transfer robot.
  • FIG. 2 is a side view of the substrate holding device.
  • FIG. 3 is a plan view of the substrate holding device.
  • FIG. 4 is a perspective view of the substrate holding device.
  • FIG. 5 is a perspective view of the mounting portion of the odd-numbered holding body.
  • FIG. 6 is a plan view of the even-numbered holding body.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the mounting portion taken along the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the mounting portion in line VIII-VIII of FIG.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the tilt adjusting portion.
  • FIG. 10 is a perspective view of the base.
  • FIG. 10 is a perspective view of the base.
  • FIG. 11 is a perspective view of the base with a part of the mounting blocks removed.
  • FIG. 12 is a schematic view showing a state of the engaging portion when the distance between the plurality of holding bodies is the first pitch.
  • FIG. 13 is a schematic view showing a state of the engaging portion when the distance between the plurality of holding bodies is the second pitch.
  • FIG. 14 is a schematic view showing a part of the substrate holding device cut in the cross section in the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 15 is a plan view of a substrate holding device showing a state in which one holding body is attached and detached.
  • FIG. 1 is a schematic front view of the substrate transfer robot 100.
  • the board transfer robot 100 includes a base 101, a robot arm 102 connected to the base 101, and a board holding device 2 connected to the robot arm 102.
  • the board transfer robot 100 is a device that transfers a substrate.
  • the substrate transfer robot 100 transfers a substrate between the first accommodating portion 108 and the second accommodating portion 109.
  • the first containment is a hoop and the second containment is a boat.
  • the substrate is a semiconductor wafer or a glass substrate.
  • the semiconductor wafer is, for example, a silicon wafer, a silicon carbide wafer, or a sapphire wafer.
  • the glass substrate is, for example, a glass substrate for a thin display (liquid crystal display or organic EL display) processed by a semiconductor process.
  • the robot arm 102 has a plurality of joints and deforms or moves according to the joints.
  • the robot arm 102 is a horizontal articulated arm.
  • a substrate holding device 2 is rotatably connected to the tip of the robot arm 102 around an axis extending in the vertical direction.
  • FIG. 2 is a side view of the substrate holding device 2.
  • FIG. 3 is a plan view of the substrate holding device 2.
  • FIG. 4 is a perspective view of the substrate holding device 2.
  • the board holding device 2 includes a base 3 and a plurality of holding bodies 5 attached to the base 3 to hold the board.
  • the base 3 is covered with a casing 21.
  • the casing 21 is omitted.
  • a part of the holding body 5 is omitted.
  • the board holding device 2 includes 12 holding bodies 5 and holds 12 boards.
  • the holding bodies 5 are arranged at intervals in a predetermined arrangement direction.
  • the arrangement direction coincides with the thickness direction of the substrate.
  • the arrangement direction will be described as the vertical direction.
  • one direction orthogonal to the vertical direction is defined as the front-rear direction, and the direction orthogonal to the vertical direction and the front-rear direction is defined as the left-right direction.
  • the base 3 has a plurality of side portions 31 facing in a direction orthogonal to the arrangement direction.
  • the base 3 has a first side portion 31a, a second side portion 31b, a third side portion 31c, and a fourth side portion 31d.
  • the first side portion 31a and the second side portion 31b are oriented in the left-right direction. Specifically, the first side portion 31a faces the right side in the left-right direction, and the second side portion 31b faces the left side in the left-right direction. That is, the first side portion 31a and the second side portion 31b are arranged in opposite directions to each other.
  • the third side portion 31c and the fourth side portion 31d face in the front-rear direction.
  • the third side portion 31c faces the front side in the front-rear direction
  • the fourth side portion 31d faces the rear side in the front-rear direction. That is, the third side portion 31c and the fourth side portion 31d are arranged in opposite directions to each other.
  • the base 3 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • a holding body 5 is attached to the first side portion 31a. Further, a holding body 5 is attached to the second side portion 31b. Specifically, the holding bodies 5 are attached to the first side portion 31a and the second side portion 31b alternately in the order in which they are arranged in the arrangement direction. For example, the odd-numbered holding body 5 is attached to the first side portion 31a, and the even-numbered holding body 5 is attached to the second side portion 31b in the order from the bottom to the top.
  • an uppercase alphabet is added to the end of the holding body 5 in order from the bottom.
  • the lowermost holding body 5 is represented as "holding body 5A”
  • the second holding body 5 from the bottom is represented as "holding body 5B”.
  • each holding body 5 is not distinguished, it is simply expressed as "holding body 5".
  • the basic configuration of the odd-numbered holding body 5 and the even-numbered holding body 5 is the same.
  • the odd-numbered holding body 5 and the even-numbered holding body 5 have substantially symmetrical shapes.
  • the holding body 5 has a mounting portion 51 attached to the base 3 and a holding portion 61 for holding the substrate.
  • the holding body 5 may further have an inclination adjusting portion 7 for adjusting the inclination of the holding portion 61 with respect to the base 3.
  • the odd-numbered holding body 5 and the even-numbered holding body 5 have the same functions as the mounting portion 51, the holding portion 61, and the tilt adjusting portion 7, but the shapes or arrangements are different.
  • FIG. 5 is a perspective view of the mounting portion 51 of the odd-numbered holding body 5.
  • FIG. 6 is a plan view of the even-numbered holding body 5.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the mounting portion 51 taken along the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the mounting portion 51 in line VIII-VIII of FIG.
  • the mounting portion 51 is formed in a plate shape that extends in a plane orthogonal to the vertical direction (that is, in a horizontal plane).
  • the mounting portion 51 has a front-rear portion 51a extending in the front-rear direction and a left-right portion 51b extending in the left-right direction, and is formed in a substantially L-shape in a plan view.
  • the left and right portions 51b extend to the left from the front end portion of the front and rear portions 51a.
  • the left and right portions 51b extend to the right from the front end portion of the front and rear portions 51a.
  • the left and right portions 51b are formed thinner than the front and rear portions 51a.
  • the mounting portion 51 has a divided structure of a first portion 52 and a second portion 53.
  • the first portion 52 is a portion attached to the base 3.
  • the second portion 53 is a portion to which the holding portion 61 is attached.
  • the second portion 53 is attached to the first portion 52 from above.
  • the front-rear portion 51a (specifically, the front-rear portion 51a in the first portion 52) has a through hole 55 into which a bolt 58 is inserted when the mounting portion 51 is attached to the base 3. It has been formed.
  • the through hole 55 extends in the left-right direction.
  • the through holes 55 are formed at two locations, the front and rear portions 51a.
  • the left and right portions 51b are provided with two protruding portions 56 to which the holding portion 61 is attached.
  • the distance between the two protrusions 56 of the even-numbered holding body 5 in the left-right direction is wider than that of the odd-numbered holding body 5.
  • the holding portion 61 has a main body 62 formed in a bifurcated shape and a holding mechanism 63.
  • the holding by the holding portion 61 can be realized in various modes such as gripping, suction, mounting or fitting.
  • the holding portion 61 is configured to grip the substrate S.
  • the main body 62 is attached to the attachment portion 51. Specifically, the main body 62 is attached to the protrusion 56. The main body 62 extends substantially in the front-rear direction from the mounting portion 51 in a bifurcated manner. A first claw 64 is fixedly provided on each of the two tip portions of the main body 62.
  • the holding mechanism 63 has a movable second claw 65, an actuator 66 for driving the second claw 65, and an operation sensor 68 for detecting the operation of the second claw 65.
  • the second claw 65 is arranged at the end of the main body 62 to be attached to the attachment portion 51.
  • the actuator 66 and the motion sensor 68 are arranged in the mounting portion 51.
  • the actuator 66 is, for example, an air cylinder. Compressed air is supplied to the air cylinder.
  • the air cylinder advances and retracts the rod (not shown) by compressed air.
  • the second claw 65 is connected to the actuator 66 via the connecting portion 67.
  • the rod advances, the second claw 65 moves to the front side in the front-rear direction, that is, in the direction approaching the first claw 64.
  • the rod retracts, the second claw 65 moves to the rear side in the front-rear direction, that is, in a direction away from the first claw 64.
  • the holding portion 61 holds the substrate S.
  • the second claw 65 is separated from the edge of the substrate S.
  • the holding portion 61 releases the substrate S.
  • the motion sensor 68 is a contact type or non-contact type sensor.
  • the motion sensor 68 is, for example, an optical sensor such as a photointerruptor.
  • the motion sensor 68 detects the motion of the second claw 65 by detecting the motion of the detected portion 69 that moves or interlocks with the rod of the actuator 66 or the second claw 65 integrally.
  • the tilt adjusting portion 7 adjusts the tilt of the holding portion 61 with respect to the base 3 by adjusting the tilt of the second portion 53 with respect to the first portion 52 of the mounting portion 51.
  • the holding body 5 has three tilt adjusting portions 7. Specifically, the rear end portion of the front-rear portion 51a of the mounting portion 51, the front end portion of the front-rear portion 51a, and the end portion of the left-right portion 51b opposite to the front-rear portion 51a (the left end in the odd-numbered holding body 5).
  • a tilt adjusting portion 7 is provided in each of the portion and the right end portion of the even-numbered holding body 5.
  • Each tilt adjusting unit 7 adjusts the vertical distance between the first portion 52 and the second portion 53.
  • the inclination (that is, parallelism) of the second portion 53 with respect to the first portion 52 is adjusted.
  • the first portion 52 is attached to the base 3 and the holding portion 61 is attached to the second portion 53, as a result, the inclination of the holding portion 61 with respect to the base 3 is adjusted.
  • the tilt adjusting portion 7 is formed of a differential screw.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the tilt adjusting unit 7.
  • the tilt adjusting unit 7 has a first screw 71 and a second screw 72.
  • the first screw 71 is formed with a male screw 71a and a female screw 71b.
  • the pitch of the male screw 71a and the pitch of the female screw 71b are different from each other.
  • the male screw 71a is formed on the first portion 52 and is screwed into the female screw 52a extending in the vertical direction.
  • the second screw 72 is formed with a male screw 72a.
  • the second screw 72 is formed in the second portion 53 and is inserted into the through hole 53a extending in the vertical direction.
  • the male screw 72a is screwed into the female screw 71b of the first screw 71.
  • the second screw 72 is detented so as not to rotate with respect to the second portion 53.
  • the first screw 71 is provided with an annular operation portion 73 coaxial with the male screw 71a and the female screw 71b. As shown in FIGS. 5 and 6, a part of the operation unit 73 protrudes outward from the first portion 52 and the second portion 53. For example, in a plan view, a part of the operation unit 73 protrudes from the edge of the first portion 52 and the edge of the second portion 53 in a direction parallel to the horizontal plane. As a result, the user can operate the operation unit 73 from a direction parallel to the horizontal plane to rotate the first screw 71 while the holding body 5 is attached to the base 3.
  • the first screw 71 rotates, the first screw 71 moves vertically with respect to the first portion 52 according to the pitch of the male screw 71a.
  • the second screw 72 moves vertically with respect to the first screw 71 according to the pitch of the female screw 71b.
  • the pitch of the male screw 71a and the pitch of the female screw 71b are different, the relative movement amount between the first portion 52 and the first screw 71 and the relative movement amount between the first screw 71 and the second screw 72.
  • the vertical distance between the first portion 52 and the second portion 53 changes according to the difference in the relative movement amount.
  • the mounting portion 51 of the holding body 5 configured in this way is mounted on the base 3.
  • the odd-numbered holding body 5 is attached to the base 3 so that the front-rear portion 51a of the attachment portion 51 is along the first side portion 31a of the base 3.
  • the front and rear portions 51a of the mounting portions 51 of the odd-numbered holding bodies 5 are mounted side by side in the arrangement direction.
  • the even-numbered holding body 5 is attached to the base 3 so that the front-rear portion 51a of the attachment portion 51 is along the second side portion 31b of the base 3.
  • the front and rear portions 51a of the attachment portion 51 of the even-numbered holding body 5 are attached side by side in the arrangement direction.
  • the left and right portions 51b of the mounting portion 51 are arranged at positions facing the third side portion 31c of the base 3. Therefore, the holding portion 61 of each holding body 5 is arranged side by side with the base 3 in the front-rear direction. In front of the base 3, the left and right portions 51b and the holding portions 61 of all the holding bodies 5 are arranged side by side in the arrangement direction, that is, in the vertical direction.
  • FIG. 10 is a perspective view of the base 3.
  • FIG. 11 is a perspective view of the base 3 with a part of the mounting block 44 removed. Specifically, in FIG. 11, only the first mounting block 44A and the third mounting block 44C from the bottom are mounted.
  • the base 3 has a pitch adjusting mechanism 4 that adjusts each interval in the arrangement direction of the plurality of holding bodies 5.
  • the pitch adjusting mechanism 4 adjusts each interval of the plurality of holding bodies 5 to either a first pitch or a second pitch larger than the first pitch.
  • the pitch adjusting mechanism 4 has a linear guide 41, a mounting block 44, an engaging portion 45, and an actuator 48 (see FIG. 4).
  • the linear guide 41 is provided on the main body 30 of the base 3. Specifically, four linear guides 41 are provided on the first side portion 31a of the base 3, and four linear guides 41 are provided on the second side portion 31b of the base 3. Each linear guide 41 has a sliding block 42 and a rail 43 that guides the sliding block 42 in the arrangement direction of the holding body 5, that is, in the vertical direction.
  • the four linear guides 41 provided on each of the first side portion 31a and the second side portion 31b are arranged at equal intervals in the front-rear direction.
  • Three sliding blocks 42 are provided on one rail 43.
  • Each holding body 5 is assigned a corresponding sliding block 42, a mounting block 44, and an engaging portion 45. Therefore, by attaching the same alphabet as the alphabet attached to the end of the code of the holding body 5 corresponding to the end of the code of the sliding block 42, the mounting block 44, and the engaging portion 45, the correspondence relationship with the holding body 5 is established. show.
  • the sliding block 42A, the mounting block 44A, and the engaging portion 45A each correspond to the first holding body 5A.
  • the mounting block 44 is a member for mounting the holding body 5 to the sliding block 42.
  • the mounting block 44 is attached to the sliding block 42, and the holding body 5 is attached to the mounting block 44. That is, the holding body 5 is indirectly attached to the sliding block 42 via the attachment block 44.
  • first side portion 31a of the base 3 is provided with four linear guides 41 having three sliding blocks 42, a total of 12 sliding blocks 42 are provided. Two sliding blocks 42 of the first side portion 31a are assigned to each of the six odd-numbered holding bodies 5 attached to the first side portion 31a.
  • the second side portion 31b of the base 3 is provided with four linear guides 41 having three sliding blocks 42, a total of 12 sliding blocks 42 are provided. Two sliding blocks 42 of the second side portion 31b are assigned to each of the six even-numbered holding bodies 5 attached to the second side portion 31b.
  • sliding blocks 42 arranged in the front-rear direction are arranged in three stages in the vertical direction, and twelve sliding blocks 42 are arranged in a matrix.
  • the front row in the front-rear direction is the first row
  • the bottom row in the up-down direction is the first row.
  • the sliding blocks 42A and 42A assigned to the first holding body 5A are arranged in the first row and the third row of the first stage.
  • the sliding blocks 42C and 42C assigned to the third holding body 5C are arranged in the second and fourth rows of the first stage.
  • the sliding blocks 42E and 42E assigned to the fifth holding body 5E are arranged in the first row and the third row of the second stage.
  • the sliding blocks 42G, 42I, 42K assigned to the 7th, 9th, and 11th holding bodies 5G, 5I, and 5K are also arranged in the same manner.
  • One mounting block 44 is mounted on the two sliding blocks 42 assigned to each holding body 5.
  • the mounting blocks 44A are attached to the sliding blocks 42A and 42A, and one mounting block 44C is attached to the sliding blocks 42C and 42C. ing.
  • the mounting block 44A and the mounting block 44C are arranged in the arrangement direction, and the mounting block 44C is located above the mounting block 44A.
  • a mounting block 44E is attached to the sliding blocks 42E and 42E, and a mounting block 44G is attached to the sliding blocks 42G and 42G.
  • the mounting block 44G is located above the mounting block 44E.
  • the mounting block 44I is attached to the sliding blocks 42I and 42I, and the mounting block 44K is attached to the sliding blocks 42K and 42K.
  • the mounting block 44K is located above the mounting block 44I.
  • the shapes of the mounting block 44A and the mounting block 44C are slightly different. The same applies to the mounting blocks 44 in the second and third stages, and the mounting blocks 44 mounted on the sliding blocks 42 in the first and third rows and the sliding blocks 42 in the second and fourth rows The shape is slightly different from the mounting block 44 to be mounted.
  • the mounting block 44 mounted on the sliding blocks 42 in the first and third rows is referred to as a "lower mounting block 44”
  • the sliding blocks in the second and fourth rows are referred to.
  • the mounting block 44 mounted on the 42 is referred to as an "upper mounting block 44". That is, the mounting blocks 44A, 44E, 44I are the lower mounting blocks 44, and the mounting blocks 44C, 44G, 44K are the upper mounting blocks.
  • the mounting block 44 has a main body 44a extending in the front-rear direction and two mounting portions 44b mounted on the two sliding blocks 42.
  • the two mounting portions 44b of the lower mounting block 44 are arranged at positions corresponding to the sliding blocks 42 in the first and third rows, and extend upward from the main body 44a.
  • the main body 44a of the upper mounting block 44 is formed with two notches 44c for avoiding interference with the two mounting portions 44b of the lower mounting block 44.
  • the two mounting portions 44b of the upper mounting block 44 are arranged at positions corresponding to the sliding blocks 42 in the second and fourth rows, and extend downward from the main body 44a.
  • the main body 44a of the lower mounting block 44 is formed with two notches 44c for avoiding interference with the two mounting portions 44b of the upper mounting block 44.
  • the main body 44a is formed with a screw hole 44d for mounting the holding body 5.
  • Two screw holes 44d arranged in the front-rear direction are formed in the main body 44a.
  • the screw hole 44d extends in parallel with the reference plane R (see FIG. 4), which is a virtual plane intersecting the arrangement direction, specifically in the left-right direction.
  • the second side portion 31b has four sliding blocks arranged in the front-rear direction, and twelve sliding blocks are arranged in a matrix.
  • a second holding body 5B is assigned to the sliding blocks in the first and third rows of the first stage, and the mounting block 44B is mounted.
  • a fourth holder 5D is assigned to the sliding blocks in the second and fourth rows of the first stage, and the mounting block 44D is mounted.
  • the sixth holding body 5F and the eighth holding body 5H are assigned to the four sliding blocks in the second stage, and the mounting blocks 44F and 44H are mounted.
  • the tenth holding body 5J and the twelfth holding body 5L are assigned to the four sliding blocks in the third stage, and the mounting blocks 44J and 44L are mounted.
  • the mounting blocks 44B, 44F, 44J are the lower mounting blocks 44, and the mounting blocks 44D, 44H, 44L are the upper mounting blocks.
  • the mounting block 44 configured in this way is provided with an engaging portion 45.
  • an engaging portion 45 is provided at the rear end portion of the mounting block 44. That is, the engaging portion 45 is arranged on the fourth side portion 31d of the base 3.
  • the plurality of engaging portions 45 are arranged in the arrangement direction. At this time, the plurality of engaging portions 45 are arranged in the same order as the corresponding support 5 in the arrangement direction.
  • the engaging portion 45 has a first engaging piece 45a, a second engaging piece 45b, and a third engaging piece 45c extending in a cantilever shape in the left-right direction.
  • the first engaging piece 45a, the second engaging piece 45b, and the third engaging piece 45c are arranged in this order from the top in the vertical direction.
  • the first engaging piece 45a, the second engaging piece 45b, and the third engaging piece 45c extend to the left. That is, the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b and the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c are open on the left side.
  • the first engaging piece 45a, the second engaging piece 45b, and the third engaging piece 45c extend to the right. That is, the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b and the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c are open to the right.
  • the twelfth engaging portion 45L does not have the first engaging piece 45a, but has the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c.
  • Each engaging portion 45 is engaged with the engaging portions 45 adjacent to each other in the arrangement direction, that is, in the vertical direction. Specifically, the first engaging piece 45a of the first engaging portion 45A has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the second engaging portion 45B. ..
  • the third engaging piece 45c of the second engaging portion 45B has entered the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b of the first engaging portion 45A.
  • the first engaging piece 45a of the second engaging portion 45B has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the third engaging portion 45C.
  • the third engaging piece 45c of the third engaging portion 45C has entered the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b of the second engaging portion 45B.
  • the first engaging piece 45a of the third engaging portion 45C has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the fourth engaging portion 45D.
  • first engaging piece 45a of each engaging portion 45 has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the engaging portions 45 that are adjacent to each other above.
  • the third engaging piece 45c of each engaging portion 45 has entered the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b of the engaging portions 45 which are adjacent to each other below.
  • first engaging portion 45A does not have the engaging portion 45 adjacent to the lower side, it engages only with the second engaging portion 45B adjacent to the upper side. Further, since the twelfth engaging portion 45L does not have the engaging portion 45 adjacent to the upper side, the twelfth engaging portion 45L engages only with the eleventh engaging portion 45K adjacent to the lower side.
  • an actuator 48 is connected to the twelfth engaging portion 45L.
  • the actuator 48 drives the twelfth engaging portion 45L in the arrangement direction, that is, in the vertical direction.
  • the actuator 48 is, for example, an air cylinder.
  • the air cylinder selectively moves the twelfth engaging portion 45 upward and downward by the supplied compressed air.
  • FIG. 12 is a schematic diagram showing a state of the engaging portion 45 when the distance between the plurality of holding bodies 5 is the first pitch.
  • FIG. 13 is a schematic view showing a state of the engaging portion 45 when the distance between the plurality of holding bodies 5 is the second pitch.
  • the tenth, eleventh and twelfth engaging portions 45J, 45K and 45L are shown.
  • FIG. 14 is a schematic view showing a part of the substrate holding device 2 cut along the cross section taken along the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 15 is a plan view of the substrate holding device 2 showing how one holding body 5 is attached and detached. 14 and 15 show how the holding body 5G is attached and detached.
  • Each holding body 5 is detachably attached to the base 3 in parallel with the reference plane R which is a virtual plane intersecting in the arrangement direction.
  • the reference plane R is a plane orthogonal to the arrangement direction, that is, a horizontal plane.
  • the holding body 5 is attached to the attachment block 44 provided on the base 3.
  • the holding body 5 is attached to the mounting block 44 from the horizontal direction.
  • the holding body 5 is fixed to the mounting block 44 (that is, the base 3) by bolts 58.
  • the bolt 58 for fixing the one holding body 5 to the base 3 is removed.
  • the one holding body 5 can be removed from the base 3 by moving the one holding body 5 in the horizontal direction.
  • the one holding body 5 is moved horizontally toward the mounting block 44 and attached. After contacting the block 44, the one retainer 5 can be attached to the base 3 by attaching the bolt 58.
  • a plurality of odd-numbered holders 5 are attached side by side in the arrangement direction to the first side portion 31a of the base 3.
  • the gap G of the first odd-numbered holding body 5G is larger than the dimension in the arrangement direction. Therefore, when the one odd-numbered holder 5G is removed from the base 3, the one odd-numbered holder 5G is arranged without interfering with the two odd-numbered holders 5E and 5I arranged on both sides in the arrangement direction. It can be moved in parallel with the reference plane R orthogonal to the direction.
  • the one odd-numbered holder 5G is used as a reference without interfering with the two odd-numbered holders 5E and 5I arranged on both sides in the arrangement direction. It can be moved in parallel with the surface R.
  • the moving direction of the odd-numbered holder 5G may be any direction parallel to the reference plane R, and is not limited to the left-right direction.
  • this relationship is established when each interval of the plurality of holding bodies 5 is at least the second pitch, and preferably is also established when each interval of the plurality of holding bodies 5 is at least the first pitch.
  • the screw hole 44d formed in the base 3 (specifically, the mounting block 44) into which the bolt 58 is screwed extends in parallel with the reference surface R.
  • the base 3 has a pitch adjusting mechanism 4.
  • the holding body 5 is fixed to the mounting block 44 of the pitch adjusting mechanism 4 by bolts 58.
  • the mounting block 44 is formed with a screw hole 44d into which a bolt 58 for mounting the holding body 5 is screwed.
  • the screw hole 44d extends in parallel with the reference plane R, more specifically in the left-right direction. Further, in a state where the holding body 5 is attached to the mounting block 44, the bolt 58 can be accessed and operated from a direction parallel to the reference plane R.
  • the one holding body 5 can move in parallel with the reference plane R between the two holding bodies 5 located on both sides in the arrangement direction with respect to the one holding body 5.
  • a gap G is formed.
  • the bolt 58 can be accessed from a direction parallel to the reference surface R and the bolt 58 can be operated. Since the screw hole 44d extends in the direction parallel to the reference surface R, the bolt 58 of the bolt 58 can be fastened and unfastened by a tool inserted from the direction parallel to the reference plane R. As a result, the bolts 58 can be fastened and unfastened without being affected by the two holding bodies 5 located on both sides in the arrangement direction.
  • the holding body 5 can operate the bolt 58 for fixing to the base 3 from the direction parallel to the reference surface R, move the bolt 58 in the direction parallel to the reference surface R, and remove the bolt 58 from the base 3. Can be attached to. As a result, only one holding body 5 can be attached to and detached from the base 3 while the other holding body 5 is attached to the base 3.
  • the holding portion 61 is arranged side by side with the base 3 in the front-rear direction as the first direction in the direction orthogonal to the arrangement direction, and the mounting portion 51 of the holding body 5 is arranged in the front-rear direction among the plurality of side portions 31. It is attached to the first side portion 31a and the second side portion 31b facing in directions other than the above. Therefore, the operation for the bolt 58 and the operation for attaching / detaching the holding body 5 can be performed without being affected by the holding portion 61. That is, the holding portion 61 is arranged to face the third side portion 31c of the base 3.
  • the holding body 61 becomes an obstacle in the operation for the bolt 58 and the operation for attaching and detaching the holding body 5.
  • the holding portions 61 are not arranged to face each other on the first side portion 31a and the second side portion 31b of the base 3, the operation of the bolt 58 and the operation of attaching and detaching the holding body 5 are affected by the holding portion 61. It can be done without receiving.
  • the substrate holding device 2 includes a base 3 and a plurality of holding bodies 5 attached to the base 3 to hold the board, and the plurality of holding bodies 5 are arranged in a predetermined arrangement direction. At the same time, it is detachably attached to the base 3 in parallel with the reference plane R which is a virtual plane intersecting in the arrangement direction.
  • the holding body 5 can be attached to and detached from the base 3 in parallel with the reference plane R intersecting in the arrangement direction. Therefore, in a state where a plurality of holding bodies 5 are attached to the base 3, one holding body 5 is moved in parallel with the reference plane R while the other holding bodies 5 are attached to the base 3, and the base 3 is used. Can be removed from. Even when the one holding body 5 is attached to the base 3, the one holding body 5 can be moved in parallel with the reference plane R and attached to the base 3 while the other holding bodies 5 are attached to the base 3. can. That is, when attaching / detaching one holding body 5, it is not necessary to disassemble the entire board holding device 2, and the state in which the other holding body 5 is attached to the base 3 can be maintained. Therefore, maintenance of the board holding device 2 can be maintained. It is possible to improve the sex.
  • the holding body 5 has a mounting portion 51 attached to the base 3 and a holding portion 61 for holding the substrate, and the base 3 has a plurality of side portions 31 facing in a direction orthogonal to the arrangement direction.
  • the holding portion 61 is arranged side by side with the base 3 in the first direction orthogonal to the arrangement direction, and the mounting portion 51 is a first side portion of the plurality of side portions 31 facing in a direction other than the first direction. It is attached to 31a.
  • the base 3 and the holding portion 61 are arranged in the first direction. Therefore, when the mounting portion 51 is mounted on the side portion 31 facing the first direction among the plurality of side portions 31, the base 3, the mounting portion 51, and the holding portion 61 are arranged in the first direction in this order. In that case, the holding portion 61 becomes an obstacle when handling the mounting portion 51 so that the mounting portion 51 can be attached to and detached from the base 3. For example, when the mounting portion 51 is bolted to the base 3 from the first direction, the holding portion 61 becomes an obstacle and the operation of the bolt 58 becomes complicated.
  • the portion of the base 3 to which the mounting portion 51 is mounted is difficult to see due to the presence of the holding portion 61 of the other holding body 5, and the mounting portion 51 is mounted. Installation work becomes complicated.
  • the mounting portion 51 can be attached to and detached from the base 3 without being affected by the holding portion 61. can do.
  • the plurality of side portions 31 include a second side portion 31b that faces a direction other than the first direction, and the plurality of holding bodies 5 alternately include the first side portion 31a and the first side portion 31a in the order in which they are arranged in the arrangement direction. It is attached to the 2 side portion 31b.
  • first side portion 31a and the second side portion 31b face each other on opposite sides.
  • the holding body 5 is attached to and detached from the first side portion 31a and the holding body 5 is attached to the second side portion 31b.
  • the attachment / detachment can be performed from the opposite sides to the base 3.
  • first side portion 31a and the second side portion 31b face in a direction orthogonal to the first direction.
  • the holding portion 61, the holding body 5 attached to the first side portion 31a, and the holding body 5 attached to the second side portion 31b are less affected by the attachment / detachment of the holding body 5.
  • the holding body 5 is fixed to the base 3 by a bolt 58, and the screw hole 44d formed in the base 3 to which the bolt 58 is screwed extends in parallel with the reference surface R.
  • the operation of fastening and releasing the bolt 58 for fixing the holding body 5 to the base 3 is also performed from the direction parallel to the reference plane R.
  • a space is secured in which one holding body 5 can be moved in parallel with the reference plane R. Therefore, the bolt 58 can be fastened and unfastened by using this space. As a result, the workability of fastening and releasing the bolt 58 can be improved.
  • the holding body 5 has an inclination adjusting unit 7 for adjusting the inclination with respect to the base 3.
  • the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3 is adjusted by the inclination adjusting unit 7.
  • the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3 also depends on the mounting state of the holding body 5 on the base 3.
  • a plurality of holding bodies 5 arranged in the arrangement direction are attached to the base 3, and it is not easy to adjust the inclination of the holding bodies 5 when the holding bodies 5 are attached to the base 3.
  • the holding body 5 is attached to the base 3, it is not necessary to strictly control the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3, so that the workability of attaching the holding body 5 can be improved.
  • tilt adjusting portions 7 are provided at a plurality of locations of the holding body 5.
  • the inclination of the holding body 5 can be adjusted at a plurality of locations of the holding body 5.
  • the ability to adjust the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3 can be improved.
  • the tilt adjusting unit 7 is arranged at a position where it can be operated from a direction parallel to the reference surface R in a state where the holding body 5 is attached to the base 3.
  • the operability of the tilt adjusting unit 7 in the state where the holding body 5 is attached to the base 3 can be improved.
  • the base 3 is provided with a linear guide 41 having a sliding block 42 and a rail 43 for guiding the sliding block 42 in the arrangement direction, and the holding body 5 is attached to the sliding block 42 in the arrangement direction.
  • the position to is adjustable.
  • the holding body 5 is attached to the base 3 so that the position in the arrangement direction can be adjusted. That is, it is possible to adjust each interval in the arrangement direction of the plurality of holding bodies 5.
  • the configuration of the base 3 becomes complicated as compared with the configuration in which the linear guide 41 or the like is not provided. Even with such a configuration, the maintainability of the holding body 5 can be improved by attaching the plurality of holding bodies 5 to the base 3 so as to be detachable in parallel with the reference surface R.
  • a mounting block 44 for mounting the holding body 5 is attached to the sliding block 42, and the holding body 5 is attached to the sliding block 42 by being mounted on the mounting block 44.
  • the holding body 5 is indirectly attached to the sliding block 42 via the attachment block 44.
  • the number of holding bodies 5 of the substrate holding device 2 is not limited to 12.
  • the number of the holders 5 may be a plurality.
  • the spacing in the arrangement direction of the plurality of retainers 5 may be non-adjustable, that is, fixed. That is, the pitch adjusting mechanism 4 may be omitted. In that case, the holding body 5 is attached to the main body 30 of the base 3.
  • the reference plane R may be crossed with the arrangement direction and may not be orthogonal to each other. That is, the holding body 5 may be attached to and detached from the base 3 by moving diagonally upward or diagonally downward with respect to the vertical direction which is the arrangement direction.
  • the plurality of holding bodies 5 are attached to the first side portion 31a and the second side portion 31b of the base 3, but the present invention is not limited thereto.
  • all the holding bodies 5 may be attached to one side portion 31 (for example, the first side portion 31a) of the base 3.
  • the holding body 5 is not limited to the first side portion 31a and the second side portion 31b, and can be attached to any side portion 31.
  • the plurality of holding bodies 5 may be attached to the first side portion 31a and the fourth side portion 31d.
  • the number of tilt adjusting units 7 is not limited to three.
  • the number of tilt adjusting units 7 may be one, two, or four or more. Further, the holding body 5 does not have to have the tilt adjusting portion 7.
  • the holding body 5 is attached to the mounting block 44 of the pitch adjusting mechanism 4, but is not limited to this.
  • the pitch adjusting mechanism 4 does not have the mounting block 44, and the holding body 5 may be mounted on the sliding block 42.

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Abstract

基板保持装置２は、ベース３と、ベース３に取り付けられ、基板を保持する複数の保持体５とを備えている。複数の保持体５は、所定の配列方向に配列されていると共に、配列方向に交差する面である基準面Ｒと平行に着脱可能にベース３に取り付けられている。

Description

基板保持装置
　ここに開示された技術は、基板保持装置に関する。
　従来より、基板を保持する基板保持装置が知られている。例えば、特許文献１には、複数の基板を保持する基板保持装置が開示されている。具体的には、特許文献１に開示された基板保持装置は、基板を保持する複数の保持体を備え、複数の基板を搬送するように構成されている。複数の保持体は、基板の厚み方向に配列された状態で、ピッチ変換機構部に取り付けられている。このとき、複数の保持体は、下方に位置する保持体から順にピッチ変換機構部に取り付けられている。
特開２００６－３１３８６５号公報
　ところで、基板保持装置においては、保持体をメンテナンス又は交換のために基板保持装置から取り外す場合がある。しかしながら、前述のような構成では、一部の保持体だけを取り外したい場合であっても、取り外す必要がない保持体の取り外しが必要となったり、基板保持装置全体の分解が必要となったりする。
　ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基板保持装置のメンテナンス性を向上させることにある。
　ここに開示された基板保持装置は、ベースと、前記ベースに取り付けられ、基板を保持する複数の保持体とを備え、前記複数の保持体は、所定の配列方向に配列されていると共に、前記配列方向に交差する仮想面である基準面と平行に着脱可能に前記ベースに取り付けられている。
　前記基板保持装置によれば、基板保持装置のメンテナンス性を向上させることができる。
図１は、基板搬送ロボットの概略的な正面図である。 図２は、基板保持装置の側面図である。 図３は、基板保持装置の平面図である。 図４は、基板保持装置の斜視図である。 図５は、奇数番目の保持体の取付部の斜視図である。 図６は、偶数番目の保持体の平面図である。 図７は、図３のVII－VII線における取付部の断面図である。 図８は、図３のVIII－VIII線における取付部の断面図である。 図９は、傾き調整部の断面図である。 図１０は、ベースの斜視図である。 図１１は、一部の取付ブロックを取り外した状態のベースの斜視図である。 図１２は、複数の保持体の間隔が第１ピッチのときの係合部の状態を示す模式図である。 図１３は、複数の保持体の間隔が第２ピッチのときの係合部の状態を示す模式図である。 図１４は、図３のVII－VII線における断面で切断した基板保持装置の一部を示す模式図である。 図１５は、一の保持体を着脱する様子を示す基板保持装置の平面図である。
　以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、基板搬送ロボット１００の概略的な正面図である。
　基板搬送ロボット１００は、基台１０１と、基台１０１に連結されたロボットアーム１０２と、ロボットアーム１０２に連結された基板保持装置２とを備えている。基板搬送ロボット１００は、基板を搬送する装置である。例えば、基板搬送ロボット１００は、基板を第１収容部１０８と第２収容部１０９との間で搬送する。例えば、第１収容部は、フープであり、第２収容部は、ボートである。
　例えば、基板は、半導体ウェハ又はガラス基板である。半導体ウェハは、例えば、シリコンウェハ、シリコンカーバイトウェハ又はサファイアウェハである。ガラス基板は、例えば、半導体プロセスによって処理される薄型ディスプレイ（液晶ディスプレイ又は有機ＥＬディスプレイ）用のガラス基板である。
　ロボットアーム１０２は、複数の関節を有し、関節に応じて変形又は移動する。例えば、ロボットアーム１０２は、水平多関節アームである。ロボットアーム１０２の先端部に、基板保持装置２が上下方向に延びる軸回りに回転可能に連結されている。
　図２は、基板保持装置２の側面図である。図３は、基板保持装置２の平面図である。図４は、基板保持装置２の斜視図である。基板保持装置２は、ベース３と、ベース３に取り付けられ、基板を保持する複数の保持体５とを備えている。基板保持装置２において、ベース３は、ケーシング２１に覆われている。図３，４では、ケーシング２１が省略されている。また、図４では、保持体５の一部が省略されている。基板保持装置２は、１２個の保持体５を備え、１２枚の基板を保持する。
　保持体５は、所定の配列方向に互いに間隔を空けて配列されている。配列方向は、基板の厚み方向と一致している。以下では、説明の便宜上、配列方向を上下方向として説明する。また、上下方向と直交する一の方向を前後方向とし、上下方向及び前後方向に直交する方向を左右方向とする。
　ベース３は、配列方向と直交する方向を向く複数の側部３１を有している。この例では、ベース３は、第１側部３１ａと、第２側部３１ｂと、第３側部３１ｃと、第４側部３１ｄとを有している。第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂは、左右方向を向いている。具体的には、第１側部３１ａは、左右方向の右側を向き、第２側部３１ｂは、左右方向の左側を向いている。すなわち、第１側部３１ａと第２側部３１ｂとは、互いに反対向きに配置されている。第３側部３１ｃ及び第４側部３１ｄは、前後方向を向いている。具体的には、第３側部３１ｃは、前後方向の前側を向き、第４側部３１ｄは、前後方向の後側を向いている。すなわち、第３側部３１ｃと第４側部３１ｄとは互いに反対向きに配置されている。ベース３は、略直方体状に形成されている。
　第１側部３１ａには、保持体５が取り付けられている。また、第２側部３１ｂには、保持体５が取り付けられている。具体的には、保持体５は、配列方向に並ぶ順で交互に第１側部３１ａと第２側部３１ｂとに取り付けられる。例えば、下から上に向かう順番で、奇数番目の保持体５が第１側部３１ａに、偶数番目の保持体５が第２側部３１ｂに取り付けられている。以下、各保持体５を区別する場合には、下方から順番に、保持体５の末尾に大文字のアルファベットを付す。例えば、１番下の保持体５は「保持体５Ａ」と表し、下から２番目の保持体５は「保持体５Ｂ」と表す。各保持体５を区別しない場合には、単に「保持体５」と表す。
　奇数番目の保持体５と偶数番目の保持体５の基本的な構成は同じである。奇数番目の保持体５と偶数番目の保持体５とは、概ね左右対称な形状をしている。
　保持体５は、図３に示すように、ベース３に取り付けられる取付部５１と、基板を保持する保持部６１とを有している。保持体５は、ベース３に対する保持部６１の傾きを調整する傾き調整部７をさらに有していてもよい。奇数番目の保持体５と偶数番目の保持体５とでは、取付部５１、保持部６１及び傾き調整部７の機能は同じであるが、形状又は配置が異なる。
　図５は、奇数番目の保持体５の取付部５１の斜視図である。図６は、偶数番目の保持体５の平面図である。図７は、図３のVII－VII線における取付部５１の断面図である。図８は、図３のVIII－VIII線における取付部５１の断面図である。
　取付部５１は、上下方向に直交する平面内（即ち、水平面内）で拡がるプレート状に形成されている。取付部５１は、前後方向に延びる前後部分５１ａと左右方向に延びる左右部分５１ｂとを有し、平面視で略Ｌ字状に形成されている。奇数番目の保持体５の取付部５１においては、図５に示すように、左右部分５１ｂは、前後部分５１ａの前端部から左側へ延びている。偶数番目の保持体５の取付部５１においては、図６に示すように、左右部分５１ｂは、前後部分５１ａの前端部から右側へ延びている。左右部分５１ｂは、前後部分５１ａに比べて薄く形成されている。
　取付部５１は、第１部分５２と第２部分５３との分割構造となっている。第１部分５２は、ベース３に取り付けられる部分である。第２部分５３は、保持部６１が取り付けられる部分である。第２部分５３は、第１部分５２に上方から取り付けられている。
　前後部分５１ａ（具体的には、第１部分５２における前後部分５１ａ）には、図７，８に示すように、取付部５１をベース３へ取り付ける際にボルト５８が挿入される貫通孔５５が形成されている。貫通孔５５は、左右方向に延びている。貫通孔５５は、前後部分５１ａの２か所に形成されている。
　左右部分５１ｂには、保持部６１が取り付けられる２つの突出部５６が設けられている。偶数番目の保持体５の２つの突出部５６の左右方向の間隔は、奇数番目の保持体５に比べて広くなっている。
　次に、保持部６１の構成について、図３，５を参照して説明する。
　保持部６１は、二又状に分かれた形状に形成された本体６２と、保持機構６３とを有している。保持部６１による保持は、把持、吸着、載置又は嵌合等、様々な態様で実現し得る。この例では、保持部６１は、基板Ｓを把持するように構成されている。
　本体６２は、取付部５１に取り付けられている。具体的には、本体６２は、突出部５６に取り付けられている。本体６２は、取付部５１から概ね前後方向に二又状に延びている。本体６２の２つの先端部のそれぞれには第１爪６４が固定的に設けられている。
　保持機構６３は、移動可能な第２爪６５と、第２爪６５を駆動するアクチュエータ６６と、第２爪６５の動作を検出する動作センサ６８とを有している。第２爪６５は、本体６２のうち取付部５１に取り付けられる端部に配置されている。アクチュエータ６６及び動作センサ６８は、取付部５１に配置されている。
　アクチュエータ６６は、例えば、エアシリンダである。エアシリンダには、圧縮エアが供給される。エアシリンダは、圧縮エアによって、ロッド（図示省略）を進出及び後退させる。第２爪６５は、連結部６７を介してアクチュエータ６６に連結されている。ロッドが進出すると、第２爪６５は、前後方向における前側へ、即ち、第１爪６４へ近づく方向へ移動する。一方、ロッドが後退すると、第２爪６５は、前後方向における後側へ、即ち、第１爪６４から離間する方向へ移動する。
　第１爪６４と第２爪６５との間に基板Ｓが位置する状態で第２爪６５を進出させることによって、第１爪６４及び第２爪６５が基板Ｓの端縁に係合する。これにより、保持部６１が基板Ｓを保持する。この状態から第２爪６５を後退させることによって、第２爪６５が基板Ｓの端縁から離れる。これにより、保持部６１が基板Ｓを解放する。
　動作センサ６８は、接触式又は非接触式のセンサである。動作センサ６８は、例えば、フォトインタラプタ等の光センサである。動作センサ６８は、アクチュエータ６６のロッド又は第２爪６５と一体的に移動、又は連動する被検出部６９の動作を検出することによって第２爪６５の動作を検出する。
　傾き調整部７は、取付部５１の第１部分５２に対する第２部分５３の傾きを調整することによって、ベース３に対する保持部６１の傾きを調整する。この例では、保持体５は、３つの傾き調整部７を有している。具体的には、取付部５１の前後部分５１ａの後端部、前後部分５１ａの前端部、及び、左右部分５１ｂのうち前後部分５１ａとは反対側の端部（奇数番目の保持体５では左端部、偶数番目の保持体５では右端部）のそれぞれに傾き調整部７が設けられている。各傾き調整部７は、第１部分５２と第２部分５３との上下方向の間隔を調整する。取付部５１の３か所において第１部分５２と第２部分５３との上下方向の間隔が調整されることによって、第１部分５２に対する第２部分５３の傾き（即ち、平行度）が調整される。第１部分５２はベース３に取り付けられ、第２部分５３には保持部６１が取り付けられるので、結果として、ベース３に対する保持部６１の傾きが調整される。
　例えば、傾き調整部７は、差動ネジで形成されている。図９は、傾き調整部７の断面図である。傾き調整部７は、第１ネジ７１と第２ネジ７２とを有している。第１ネジ７１は、雄ネジ７１ａと雌ネジ７１ｂとが形成されている。雄ネジ７１ａのピッチと雌ネジ７１ｂのピッチとは、互いに異なる。雄ネジ７１ａは、第１部分５２に形成され、上下方向に延びる雌ネジ５２ａに螺合する。第２ネジ７２は、雄ネジ７２ａが形成されている。第２ネジ７２は、第２部分５３に形成され、上下方向に延びる貫通孔５３ａに挿入されている。雄ネジ７２ａは、第１ネジ７１の雌ネジ７１ｂに螺合する。第２ネジ７２は、第２部分５３に対して回転しないように回り止めがなされている。
　第１ネジ７１には、雄ネジ７１ａ及び雌ネジ７１ｂと同軸の円環状の操作部７３が設けられている。操作部７３の一部は、図５，６に示すように、第１部分５２及び第２部分５３から外方にはみ出している。例えば、平面視で、操作部７３の一部は、第１部分５２の端縁及び第２部分５３の端縁から、水平面と平行な方向へはみ出している。これにより、ユーザは、保持体５がベース３に取り付けられた状態において、水平面と平行な方向から操作部７３を操作して、第１ネジ７１を回転させることができる。
　第１ネジ７１が回転すると、第１ネジ７１は、第１部分５２に対して上下方向へ雄ネジ７１ａのピッチに応じて相対的に移動する。一方、第２ネジ７２は、第１ネジ７１に対して上下方向へ雌ネジ７１ｂのピッチに応じて相対的に移動する。ここで、雄ネジ７１ａのピッチと雌ネジ７１ｂのピッチとが異なるので、第１部分５２と第１ネジ７１との相対移動量と、第１ネジ７１と第２ネジ７２との相対移動量とは互いに異なる。この相対移動量の差分に応じて、第１部分５２と第２部分５３との上下方向の間隔が変化する。
　このような第１部分５２と第２部分５３との上下方向の間隔の調整が取付部５１の３か所で行われることによって、第１部分５２に対する第２部分５３の傾き、ひいては、ベース３に対する保持部６１の傾きが調整される。
　このように構成された保持体５の取付部５１がベース３に取り付けられる。具体的には、奇数番目の保持体５は、取付部５１の前後部分５１ａがベース３の第１側部３１ａに沿うようにベース３に取り付けられる。第１側部３１ａにおいては、奇数番目の保持体５の取付部５１の前後部分５１ａが配列方向に並んで取り付けられている。偶数番目の保持体５は、取付部５１の前後部分５１ａがベース３の第２側部３１ｂに沿うようにベース３に取り付けられる。第２側部３１ｂにおいては、偶数番目の保持体５の取付部５１の前後部分５１ａが配列方向に並んで取り付けられている。
　このとき、奇数番目の保持体５及び偶数番目の保持体５の何れにおいても、取付部５１の左右部分５１ｂは、ベース３の第３側部３１ｃと対向する位置に配置される。そのため、各保持体５の保持部６１は、前後方向へベース３と並んで配置される。ベース３の前方においては、全ての保持体５の左右部分５１ｂ及び保持部６１が配列方向、即ち、上下方向に並んで配列されている。
　続いて、ベース３の構成について詳しく説明する。図１０は、ベース３の斜視図である。図１１は、一部の取付ブロック４４を取り外した状態のベース３の斜視図である。詳しくは、図１１では、下から１番目の取付ブロック４４Ａと３番目の取付ブロック４４Ｃだけが取り付けられている。
　ベース３は、複数の保持体５の配列方向における各間隔を調整するピッチ調整機構４を有している。ピッチ調整機構４は、複数の保持体５の各間隔を第１ピッチと第１ピッチよりも大きな第２ピッチとの何れかに調整する。ピッチ調整機構４は、リニアガイド４１と、取付ブロック４４と、係合部４５と、アクチュエータ４８（図４参照）とを有している。
　リニアガイド４１は、ベース３の本体３０に設けられている。具体的には、４個のリニアガイド４１がベース３の第１側部３１ａに設けられ、４個のリニアガイド４１がベース３の第２側部３１ｂに設けられている。各リニアガイド４１は、摺動ブロック４２と、摺動ブロック４２を保持体５の配列方向、即ち、上下方向に案内するレール４３とを有している。第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂのそれぞれに設けられた４個のリニアガイド４１は、前後方向に等間隔を空けて並んでいる。１本のレール４３に３個の摺動ブロック４２が設けられている。
　各保持体５には、対応する摺動ブロック４２、取付ブロック４４及び係合部４５が割り当てられている。そこで、摺動ブロック４２、取付ブロック４４及び係合部４５の符号の末尾に対応する保持体５の符号の末尾に付されたアルファベットと同じアルファベットを付すことによって、保持体５との対応関係を表す。例えば、摺動ブロック４２Ａ、取付ブロック４４Ａ及び係合部４５Ａは、それぞれ１番目の保持体５Ａに対応する。尚、保持体５との対応関係を区別しない場合には、単に「摺動ブロック４２」、「取付ブロック４４」及び「係合部４５」と称する。
　取付ブロック４４は、保持体５を摺動ブロック４２に取り付けるための部材である。取付ブロック４４が摺動ブロック４２に取り付けられ、保持体５が取付ブロック４４に取り付けられる。すなわち、保持体５は、取付ブロック４４を介して摺動ブロック４２に間接的に取り付けられる。
　詳しくは、ベース３の第１側部３１ａには、３個の摺動ブロック４２を有する４本のリニアガイド４１が設けられているので、合計１２個の摺動ブロック４２が設けられている。第１側部３１ａに取り付けられる６個の奇数番目の保持体５には、第１側部３１ａの摺動ブロック４２が２個ずつ割り当てられている。
　同様に、ベース３の第２側部３１ｂには、３個の摺動ブロック４２を有する４本のリニアガイド４１が設けられているので、合計１２個の摺動ブロック４２が設けられている。第２側部３１ｂに取り付けられる６個の偶数番目の保持体５には、第２側部３１ｂの摺動ブロック４２が２個ずつ割り当てられている。
　具体的には、第１側部３１ａには、前後方向に並ぶ４個の摺動ブロック４２が上下方向に３段配置され、１２個の摺動ブロック４２が行列状に配置されている。前後方向における最前列を１列目とし、上下方向における最下段を１段目とする。１番目の保持体５Ａに割り当てられた摺動ブロック４２Ａ，４２Ａは、１段目の１列目及び３列目に配置されている。３番目の保持体５Ｃに割り当てられた摺動ブロック４２Ｃ，４２Ｃは、１段目の２列目及び４列目に配置されている。５番目の保持体５Ｅに割り当てられた摺動ブロック４２Ｅ，４２Ｅは、２段目の１列目及び３列目に配置されている。７番目、９番目及び１１番目の保持体５Ｇ，５Ｉ，５Ｋに割り当てられた摺動ブロック４２Ｇ，４２Ｉ，４２Ｋも同様に配置されている。
　各保持体５に割り当てられた２個の摺動ブロック４２には、１つの取付ブロック４４が取り付けられている。
　具体的には、１段目の４個の摺動ブロック４２のうち摺動ブロック４２Ａ，４２Ａには取付ブロック４４Ａが取り付けられ、摺動ブロック４２Ｃ，４２Ｃには、１つの取付ブロック４４Ｃが取り付けられている。取付ブロック４４Ａと取付ブロック４４Ｃとは配列方向に並んでおり、取付ブロック４４Ｃが取付ブロック４４Ａの上方に位置している。
　２段目及び３段目についても同様である。摺動ブロック４２Ｅ，４２Ｅには取付ブロック４４Ｅが取り付けられ、摺動ブロック４２Ｇ，４２Ｇには取付ブロック４４Ｇが取り付けられている。取付ブロック４４Ｇが取付ブロック４４Ｅの上方に位置している。摺動ブロック４２Ｉ，４２Ｉには取付ブロック４４Ｉが取り付けられ、摺動ブロック４２Ｋ，４２Ｋには取付ブロック４４Ｋが取り付けられている。取付ブロック４４Ｋが取付ブロック４４Ｉの上方に位置している。
　ここで、取付ブロック４４Ａと取付ブロック４４Ｃとでは、形状が少し異なる。２段目及び３段目の取付ブロック４４についても同様であり、１列目及び３列目の摺動ブロック４２に取り付けられる取付ブロック４４と、２列目及び４列目の摺動ブロック４２に取り付けられる取付ブロック４４とでは、形状が少し異なる。以下、両者を区別する場合には、１列目及び３列目の摺動ブロック４２に取り付けられる取付ブロック４４を「下側取付ブロック４４」と称し、２列目及び４列目の摺動ブロック４２に取り付けられる取付ブロック４４を「上側取付ブロック４４」と称する。つまり、取付ブロック４４Ａ，４４Ｅ，４４Ｉが下側取付ブロック４４であり、取付ブロック４４Ｃ，４４Ｇ，４４Ｋが上側取付ブロックである。
　下側取付ブロック４４及び上側取付ブロック４４に共通する構成として、取付ブロック４４は、前後方向に延びる本体４４ａと、２つの摺動ブロック４２に取り付けられる２つの取付部４４ｂとを有している。
　下側取付ブロック４４の２つの取付部４４ｂは、１列目及び３列目の摺動ブロック４２に対応する位置に配置され、本体４４ａから上方へ延びている。上側取付ブロック４４の本体４４ａには、下側取付ブロック４４の２つの取付部４４ｂとの干渉を避けるための２つの切欠部４４ｃが形成されている。
　一方、上側取付ブロック４４の２つの取付部４４ｂは、２列目及び４列目の摺動ブロック４２に対応する位置に配置され、本体４４ａから下方へ延びている。下側取付ブロック４４の本体４４ａには、上側取付ブロック４４の２つの取付部４４ｂとの干渉を避けるための２つの切欠部４４ｃが形成されている。
　また、下側取付ブロック４４及び上側取付ブロック４４に共通する構成として、本体４４ａには、保持体５を取り付けるためのネジ孔４４ｄが形成されている。本体４４ａには、前後方向に並ぶ２つのネジ孔４４ｄが形成されている。ネジ孔４４ｄは、配列方向と交差する仮想面である基準面Ｒ（図４参照）と平行に、具体的には左右方向に延びている。
　第２側部３１ｂについても同様である。図示を省略するが、第２側部３１ｂには、前後方向に並ぶ４個の摺動ブロックが上下方向に３段配置され、１２個の摺動ブロックが行列状に配置されている。１段目の１列目及び３列目の摺動ブロックには、２番目の保持体５Ｂが割り当てられ、取付ブロック４４Ｂが取り付けられている。１段目の２列目及び４列目の摺動ブロックには、４番目の保持体５Ｄが割り当てられ、取付ブロック４４Ｄが取り付けられている。以下同様にして、２段目の４個の摺動ブロックには、６番目の保持体５Ｆと８番目の保持体５Ｈとが割り当てられ、取付ブロック４４Ｆ，４４Ｈが取り付けられている。３段目の４個の摺動ブロックには、１０番目の保持体５Ｊと１２番目の保持体５Ｌとが割り当てられ、取付ブロック４４Ｊ，４４Ｌが取り付けられている。取付ブロック４４Ｂ，４４Ｆ，４４Ｊが下側取付ブロック４４であり、取付ブロック４４Ｄ，４４Ｈ，４４Ｌが上側取付ブロックである。
　このように構成された取付ブロック４４に、係合部４５が設けられている。具体的には、取付ブロック４４の後端部に係合部４５が設けられている。すなわち、係合部４５は、ベース３の第４側部３１ｄに配置されている。複数の係合部４５は、配列方向に並んでいる。このとき、複数の係合部４５は、対応する支持体５と同じ順番で配列方向に並んでいる。
　係合部４５は、片持ち状に左右方向に延びる第１係合片４５ａ、第２係合片４５ｂ及び第３係合片４５ｃを有している。第１係合片４５ａ、第２係合片４５ｂ及び第３係合片４５ｃは、上からこの順で上下方向に並んでいる。
　第１側部３１ａに配置された取付ブロック４４の係合部４５では、第１係合片４５ａ、第２係合片４５ｂ及び第３係合片４５ｃは、左向きに延びている。つまり、第１係合片４５ａと第２係合片４５ｂとの隙間、及び、第２係合片４５ｂと第３係合片４５ｃとの隙間は、左側に開口している。一方、第２側部３１ｂに配置された取付ブロック４４の係合部４５では、第１係合片４５ａ、第２係合片４５ｂ及び第３係合片４５ｃは、右向きに延びている。つまり、第１係合片４５ａと第２係合片４５ｂとの隙間、及び、第２係合片４５ｂと第３係合片４５ｃとの隙間は、右側に開口している。
　尚、１２番目の係合部４５Ｌは、第１係合片４５ａを有さず、第２係合片４５ｂと第３係合片４５ｃとを有している。
　各係合部４５は、配列方向、即ち、上下方向に隣り合う係合部４５と係合している。具体的には、１番目の係合部４５Ａの第１係合片４５ａは、２番目の係合部４５Ｂの第２係合片４５ｂと第３係合片４５ｃとの隙間に進入している。
　２番目の係合部４５Ｂの第３係合片４５ｃは、１番目の係合部４５Ａの第１係合片４５ａと第２係合片４５ｂとの隙間に進入している。２番目の係合部４５Ｂの第１係合片４５ａは、３番目の係合部４５Ｃの第２係合片４５ｂと第３係合片４５ｃとの隙間に進入している。
　３番目の係合部４５Ｃの第３係合片４５ｃは、２番目の係合部４５Ｂの第１係合片４５ａと第２係合片４５ｂとの隙間に進入している。３番目の係合部４５Ｃの第１係合片４５ａは、４番目の係合部４５Ｄの第２係合片４５ｂと第３係合片４５ｃとの隙間に進入している。
　このように、各係合部４５の第１係合片４５ａは、上方に隣り合う係合部４５の第２係合片４５ｂと第３係合片４５ｃとの隙間に進入している。各係合部４５の第３係合片４５ｃは、下方に隣り合う係合部４５の第１係合片４５ａと第２係合片４５ｂとの隙間に進入している。
　尚、１番目の係合部４５Ａは下方に隣り合う係合部４５が存在しないので、上方に隣り合う、２番目の係合部４５Ｂのみと係合する。また、１２番目の係合部４５Ｌは上方に隣り合う係合部４５が存在しないので、下方に隣り合う、１１番目の係合部４５Ｋのみと係合する。
　１２番目の係合部４５Ｌには、図４に示すように、アクチュエータ４８が連結されている。アクチュエータ４８は、１２番目の係合部４５Ｌを配列方向、即ち、上下方向に駆動する。アクチュエータ４８は、例えば、エアシリンダである。エアシリンダは、供給される圧縮エアによって、１２番目の係合部４５を上方及び下方へ択一的に移動させる。
　図１２は、複数の保持体５の間隔が第１ピッチのときの係合部４５の状態を示す模式図である。図１３は、複数の保持体５の間隔が第２ピッチのときの係合部４５の状態を示す模式図である。尚、図１２，１３では、１０番目、１１番目及び１２番目の係合部４５Ｊ、４５Ｋ、４５Ｌが図示されている。
　アクチュエータ４８によって１２番目の係合部４５Ｌが最も下方に位置するときには、１２番目の係合部４５Ｌの第２係合片４５ｂは、１１番目の係合部４５Ｋの第１係合片４５ａに上方から接触し、１１番目の係合部４５Ｋを下方へ押圧する。これにより、１１番目の係合部４５Ｋの第２係合片４５ｂは、１０番目の係合部４５Ｊの第１係合片４５ａに上方から接触し、１０番目の係合部４５Ｊを下方へ押圧する。このように、上下に隣り合う各２つの係合部４５において、上方の係合部４５の第２係合片４５ｂが下方の係合部４５の第１係合片４５ａに接触する状態となる。これにより、複数の保持体５の各間隔が第１ピッチとなる。
　一方、アクチュエータ４８によって１２番目の係合部４５Ｌが上方へ移動すると、１２番目の係合部４５Ｌの第３係合片４５ｃは、１１番目の係合部４５Ｋの第１係合片４５ａに下方から接触し、１１番目の係合部４５Ｋを上昇させる。これにより、１１番目の係合部４５Ｋの第３係合片４５ｃは、１０番目の係合部４５Ｊの第１係合片４５ａに下方から接触し、１０番目の係合部４５Ｊを上昇させる。このように、上下に隣り合う各２つの係合部４５において、上方の係合部４５の第３係合片４５ｃが下方の係合部４５の第１係合片４５ａに接触する状態となる。これにより、複数の保持体５の各間隔が第２ピッチとなる。
　続いて、このように構成された基板保持装置２における保持体５の着脱について説明する。図１４は、図３のVII－VII線における断面で切断した基板保持装置２の一部を示す模式図である。図１５は、一の保持体５を着脱する様子を示す基板保持装置２の平面図である。図１４，１５は、保持体５Ｇが着脱される様子を示している。
　各保持体５は、配列方向に交差する仮想面である基準面Ｒと平行に着脱可能にベース３に取り付けられている。この例では、基準面Ｒは、配列方向に直交する面、即ち、水平面である。詳しくは、図７，８に示すように、保持体５は、ベース３に設けられた取付ブロック４４に取り付けられる。保持体５は、取付ブロック４４に対して水平方向から取り付けられている。保持体５は、ボルト５８によって、取付ブロック４４（即ち、ベース３）に固定されている。
　複数の保持体５がベース３に取り付けられた状態において一の保持体５をベース３から取り外す際には、図１４に示すように、一の保持体５をベース３に固定するボルト５８を取り外した後、一の保持体５を水平方向へ移動させることによって、一の保持体５をベース３から取り外すことができる。また、複数の保持体５がベース３に取り付けられた状態において一の保持体５をベース３へ取り付ける際には、一の保持体５を取付ブロック４４に向かって水平方向へ移動させて、取付ブロック４４に接触させた後、ボルト５８を取り付けることによって、一の保持体５をベース３に取り付けることができる。
　具体的には、ベース３の第１側部３１ａには、複数の奇数番目の保持体５が配列方向に並んで取り付けられている。例えば、一の奇数番目（例えば、７番目の）の保持体５Ｇに対して配列方向の両側に位置する２つの奇数番目（例えば、５番目と９番目）の保持体５Ｅ，５Ｉの配列方向への隙間Ｇは、一の奇数番目の保持体５Ｇの配列方向への寸法よりも大きい。そのため、一の奇数番目の保持体５Ｇをベース３から取り外す際に、一の奇数番目の保持体５Ｇを配列方向の両側に並ぶ２つの奇数番目の保持体５Ｅ，５Ｉに干渉することなく、配列方向と直交する基準面Ｒと平行に移動させることができる。一の奇数番目の保持体５Ｇをベース３へ取り付ける際も同様に、一の奇数番目の保持体５Ｇを配列方向の両側に並ぶ２つの奇数番目の保持体５Ｅ，５Ｉに干渉することなく、基準面Ｒと平行に移動させることができる。このとき、一の奇数番目の保持体５Ｇの移動方向は、図１５に示すように、基準面Ｒと平行な方向であればよく、左右方向に限定されない。
　ベース３の第２側部３１ｂに取り付けられた偶数番目の保持体５についても同様である。
　尚、この関係は、複数の保持体５の各間隔が少なくとも第２ピッチのときに成立し、好ましくは、複数の保持体５の各間隔が少なくとも第１ピッチのときにも成立する。
　さらに、ベース３（詳しくは、取付ブロック４４）に形成され、ボルト５８が螺合するネジ孔４４ｄは、基準面Ｒと平行に延びている。詳しくは、ベース３は、ピッチ調整機構４を有している。保持体５は、ピッチ調整機構４の取付ブロック４４にボルト５８によって固定される。取付ブロック４４には、保持体５の取付用のボルト５８が螺合するネジ孔４４ｄが形成されている。ネジ孔４４ｄは、基準面Ｒと平行に、より具体的には左右方向に延びている。さらに、保持体５が取付ブロック４４に取り付けられた状態において、ボルト５８は、基準面Ｒと平行な方向からアクセスして操作することができる。詳しくは、ベース３の側部３１において、一の保持体５に対し配列方向の両側に位置する２つの保持体５の間には、一の保持体５が基準面Ｒと平行に移動可能な隙間Ｇが形成されている。この隙間Ｇに工具等を挿入することによって、基準面Ｒと平行な方向からボルト５８にアクセスして、ボルト５８を操作することができる。そして、ネジ孔４４ｄが基準面Ｒと平行な方向に延びているので、基準面Ｒと平行な方向から挿入された工具によってボルト５８のボルト５８の締結及び締結解除の作業を行うことができる。その結果、配列方向の両側に位置する２つの保持体５の影響を受けることなく、ボルト５８の締結及び締結解除の作業を行うことができる。
　このように、保持体５は、ベース３に固定するためのボルト５８を基準面Ｒと平行な方向から操作できる共に、基準面Ｒと平行な方向へ移動させてベース３から取り外したり、ベース３へ取り付けたりすることができる。これにより、他の保持体５がベース３に取り付けられたまま、一の保持体５だけをベース３に着脱することができる。
　また、保持部６１は、配列方向と直交する方向のうちの第１方向としての前後方向へベース３と並んで配置され、保持体５の取付部５１は、複数の側部３１のうち前後方向以外の方向を向く第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂに取り付けられている。このため、ボルト５８に対する操作や保持体５を着脱する操作を、保持部６１の影響を受けることなく行うことができる。つまり、ベース３の第３側部３１ｃには保持部６１が対向して配置されている。保持体５が第３側部３１ｃに取り付けられていると、ボルト５８に対する操作や保持体５を着脱する操作において保持部６１が邪魔になる。一方、ベース３の第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂには保持部６１が対向して配置されていないので、ボルト５８に対する操作や保持体５を着脱する操作を、保持部６１の影響を受けることなく行うことができる。
　以上のように、基板保持装置２は、ベース３と、ベース３に取り付けられ、基板を保持する複数の保持体５とを備え、複数の保持体５は、所定の配列方向に配列されていると共に、配列方向に交差する仮想面である基準面Ｒと平行に着脱可能にベース３に取り付けられている。
　この構成によれば、保持体５は、配列方向に交差する基準面Ｒと平行にベース３に着脱可能となっている。そのため、複数の保持体５がベース３に取り付けられた状態において、一の保持体５を、他の保持体５がベース３に取り付けられたまま、基準面Ｒと平行に移動させて、ベース３から取り外すことができる。一の保持体５をベース３に取り付ける際にも、他の保持体５がベース３に取り付けられたまま、一の保持体５を基準面Ｒと平行に移動させて、ベース３へ取り付けることができる。つまり、一の保持体５を着脱する際に、基板保持装置２の全体を分解する必要がなく、他の保持体５がベース３に取り付けられた状態を維持できるので、基板保持装置２のメンテナンス性を向上させることができる。
　また、保持体５は、ベース３に取り付けられる取付部５１と、基板を保持する保持部６１とを有し、ベース３は、配列方向と直交する方向を向く複数の側部３１を有し、保持部６１は、配列方向と直交する方向のうちの第１方向へベース３と並んで配置され、取付部５１は、複数の側部３１のうち第１方向以外の方向を向く第１側部３１ａに取り付けられている。
　この構成によれば、ベース３と保持部６１とが第１方向に並んでいる。そのため、取付部５１を複数の側部３１のうち第１方向を向く側部３１に取り付けると、ベース３、取付部５１及び保持部６１は、この順で第１方向に並ぶことになる。その場合、取付部５１をベース３に着脱すべく取付部５１を取り扱う際に保持部６１が邪魔になる。例えば、取付部５１をベース３に第１方向からボルト締結する場合に、保持部６１が邪魔になり、ボルト５８の操作が煩雑となる。また、取付部５１を第１方向からベース３に取り付ける場合にも、他の保持体５の保持部６１の存在により、ベース３のうち取付部５１が取り付けられる部分が視認しづらく、取付部５１の取付作業が煩雑となる。
　それに対し、取付部５１を複数の側部３１のうち第１方向以外の方向を向く第１側部３１ａに取り付けることによって、保持部６１の影響を受けることなく、取付部５１をベース３に着脱することができる。
　さらに、複数の側部３１は、第１方向以外の方向を向く第２側部３１ｂを含み、複数の保持体５は、配列方向に配列された順で交互に、第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂに取り付けられている。
　この構成によれば、全ての保持体５を一の側部３１に取り付ける場合に比べて、第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂのそれぞれにおいて保持体５を取り付けるためのスペースに余裕が生じる。その結果、保持体５をベース３に着脱する際の作業性を向上させることができる。
　また、第１側部３１ａと第２側部３１ｂとは、互いに反対側を向いている。
　この構成によれば、第１側部３１ａと第２側部３１ｂとは互いに反対側を向いているので、第１側部３１ａに対する保持体５の着脱と第２側部３１ｂに対する保持体５の着脱とをベース３に対してそれぞれ反対側から行うことができる。これにより、第１側部３１ａに取り付けられた保持体５と第２側部３１ｂに取り付けられた保持体５とが、それぞれの保持体５の着脱に影響し合うことを抑制することができる。
　具体的には、第１側部３１ａと第２側部３１ｂとは、第１方向と直交する方向を向いている。
　この構成によれば、保持部６１と、第１側部３１ａに取り付けられた保持体５と、第２側部３１ｂに取り付けられた保持体５とを、保持体５の着脱に与える影響が小さくなるように配置することができる。
　また、保持体５は、ベース３にボルト５８によって固定されており、ベース３に形成され、ボルト５８が螺合するネジ孔４４ｄは、基準面Ｒと平行に延びている。
　この構成によれば、保持体５の着脱と同様に、保持体５をベース３に固定するためのボルト５８の締結及び締結解除の操作も基準面Ｒと平行な方向から行われることになる。複数の保持体５がベース３に取り付けらえた状態においては、一の保持体５を基準面Ｒと平行に移動させることができるスペースが確保されている。そのため、このスペースを利用して、ボルト５８の締結及び締結解除の操作を行うことができる。その結果、ボルト５８の締結及び締結解除の作業性も向上させることができる。
　また、保持体５は、ベース３に対する傾きを調整する傾き調整部７を有している。
　この構成によれば、ベース３に対する保持体５の傾きは、傾き調整部７によって調整される。ベース３に対する保持体５の傾きは、ベース３への保持体５の取付状態にも依存する。しかし、ベース３には、配列方向に並ぶ複数の保持体５が取り付けられており、ベース３への保持体５の取付時に保持体５の傾きを調整することは容易くはない。傾き調整部７を設けることによって、保持体５をベース３に取り付けた状態で、ベース３に対する保持体５の傾きを調整することができる。換言すると、保持体５をベース３に取り付ける際に、ベース３に対する保持体５の傾きを厳格に管理する必要がないので、保持体５の取付の作業性を向上させることができる。
　さらに、傾き調整部７は、保持体５の複数の箇所に設けられている。
　この構成によれば、保持体５の複数の箇所で保持体５の傾きを調整できる。その結果、ベース３に対する保持体５の傾きの調整能力を向上させることができる。
　また、傾き調整部７は、保持体５がベース３に取り付けられた状態において、基準面Ｒと平行な方向から操作可能な位置に配置されている。
　この構成によれば、保持体５がベース３に取り付けられた状態における傾き調整部７の操作性を向上させることができる。
　また、ベース３には、摺動ブロック４２と、摺動ブロック４２を配列方向へ案内するレール４３とを有するリニアガイド４１が設けられ、保持体５は、摺動ブロック４２に取り付けられ、配列方向への位置を調整可能に構成されている。
　この構成によれば、保持体５は、配列方向への位置を調整可能にベース３に取り付けられている。つまり、複数の保持体５の配列方向における各間隔を調整することができる。この場合、リニアガイド４１等が設けられていない構成に比べて、ベース３の構成が複雑となる。このような構成であっても、複数の保持体５を基準面Ｒと平行に着脱可能にベース３に取り付けることによって、保持体５のメンテナンス性を向上させることができる。
　さらに、摺動ブロック４２には、保持体５を取り付けるための取付ブロック４４が取り付けられ、保持体５は、取付ブロック４４に取り付けられることによって摺動ブロック４２に取り付けられている。
　この構成によれば、保持体５は、取付ブロック４４を介して摺動ブロック４２に間接的に取り付けられている。
　《その他の実施形態》
　以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
　例えば、基板保持装置２の保持体５の個数は１２個に限定されない。保持体５の個数は複数であればよい。
　また、複数の保持体５の配列方向における間隔は、調整不能、即ち固定であってもよい。つまり、ピッチ調整機構４を省略してもよい。その場合、保持体５は、ベース３の本体３０に取り付けられる。
　また、基準面Ｒは、配列方向と交差していればよく、直交していなくてもよい。つまり、保持体５は、配列方向である上下方向に対して、斜め上方又は斜め下方に移動してベース３に着脱されてもよい。
　複数の保持体５は、ベース３の第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂに取り付けられているが、これに限定されない。例えば、全ての保持体５が、ベース３の一の側部３１（例えば、第１側部３１ａ）に取り付けられてもよい。
　また、複数の保持体５がベース３の複数の側部３１に取り付ける場合であっても、第１側部３１ａ及び第２側部３１ｂに限定されず、任意の側部３１に取り付けられ得る。例えば、複数の保持体５は、第１側部３１ａ及び第４側部３１ｄに取り付けられてもよい。
　傾き調整部７の個数は、３個に限定されない。傾き調整部７は、１個、２個又は４個以上であってもよい。さらに、保持体５は、傾き調整部７を有していなくてもよい。
　保持体５は、ピッチ調整機構４の取付ブロック４４に取り付けられているが、これに限定されない。例えば、ピッチ調整機構４は、取付ブロック４４を有さず、保持体５は、摺動ブロック４２に取り付けられてもよい。
２　　　　基板保持装置
３　　　　ベース
３１　　　側部
３１ａ　　第１側部
３１ｂ　　第２側部
４１　　　リニアガイド
４２　　　摺動ブロック
４３　　　レール
４４　　　取付ブロック
４４ｄ　　ネジ孔
５　　　　保持体
５１　　　取付部
５８　　　ボルト
６１　　　保持部
７　　　　傾き調整部
Ｒ　　　　基準面

 

Claims (11)

  1. 　ベースと、
    　前記ベースに取り付けられ、基板を保持する複数の保持体とを備え、
    　前記複数の保持体は、所定の配列方向に配列されていると共に、前記配列方向に交差する仮想面である基準面と平行に着脱可能に前記ベースに取り付けられている基板保持装置。
  2. 　請求項１に記載の基板保持装置において、
    　前記保持体は、前記ベースに取り付けられる取付部と、基板を保持する保持部とを有し、
    　前記ベースは、前記配列方向と直交する方向を向く複数の側部を有し、
    　前記保持部は、前記配列方向と直交する方向のうちの第１方向へ前記ベースと並んで配置され、
    　前記取付部は、前記複数の側部のうち前記第１方向以外の方向を向く第１側部に取り付けられている基板保持装置。
  3. 　請求項２に記載の基板保持装置において、
    　前記複数の側部は、第１方向以外の方向を向く第２側部を含み、
    　前記複数の保持体は、前記配列方向に配列された順で交互に、前記第１側部及び前記第２側部に取り付けられている基板保持装置。
  4. 　請求項３に記載の基板保持装置において、
    　前記第１側部と前記第２側部とは、互いに反対側を向いている基板保持装置。
  5. 　請求項４に記載の基板保持装置において、
    　前記第１側部と前記第２側部とは、前記第１方向と直交する方向を向いている基板保持装置。
  6. 　請求項１乃至５の何れか１つに記載の基板保持装置において、
    　前記保持体は、前記ベースにボルトによって固定されており、
    　前記ベースに形成され、前記ボルトが螺合するネジ孔は、前記基準面と平行に延びている基板保持装置。
  7. 　請求項１乃至６の何れか１つに記載の基板保持装置において、
    　前記保持体は、前記ベースに対する傾きを調整する傾き調整部を有している基板保持装置。
  8. 　請求項７に記載の基板保持装置において、
    　前記傾き調整部は、前記保持体の複数の箇所に設けられている基板保持装置。
  9. 　請求項７又は８に記載の基板保持装置において、
    　前記傾き調整部は、前記保持体が前記ベースに取り付けられた状態において、前記基準面と平行な方向から操作可能な位置に配置されている基板保持装置。
  10. 　請求項１乃至９の何れか１つに記載の基板保持装置において、
    　前記ベースには、摺動ブロックと、前記摺動ブロックを前記配列方向へ案内するレールとを有するリニアガイドが設けられ、
    　前記保持体は、前記摺動ブロックに取り付けられ、前記配列方向への位置を調整可能に構成されている基板保持装置。
  11. 　請求項１０に記載の基板保持装置において、
    　前記摺動ブロックには、前記保持体を取り付けるための取付ブロックが取り付けられ、
    　前記保持体は、前記取付ブロックに取り付けられることによって前記摺動ブロックに取り付けられている基板保持装置。
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