WO2021251197A1 - 基板保持装置 - Google Patents

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WO2021251197A1
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attached
holding body
holding
holding device
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PCT/JP2021/020704
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English (en)
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Inventor
真也 木下
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川崎重工業株式会社
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    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/907Devices for picking-up and depositing articles or materials with at least two picking-up heads
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25J15/0014Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
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    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Definitions

  • the technology disclosed here relates to a substrate holding device.
  • Patent Document 1 discloses a substrate holding device that holds a plurality of substrates.
  • the substrate holding device disclosed in Patent Document 1 includes a plurality of holders for holding the substrate, and is configured to convey the plurality of substrates.
  • the plurality of holding bodies are attached to the pitch conversion mechanism portion in a state of being arranged in the thickness direction of the substrate. At this time, the plurality of holding bodies are attached to the pitch conversion mechanism unit in order from the holding body located below.
  • the holding body may be removed from the board holding device for maintenance or replacement.
  • the holding body even if it is desired to remove only a part of the holding body, it is necessary to remove the holding body which does not need to be removed, or it is necessary to disassemble the entire substrate holding device. ..
  • the technology disclosed here was made in view of this point, and the purpose thereof is to improve the maintainability of the board holding device.
  • the substrate holding device disclosed herein includes a base and a plurality of holding bodies attached to the base to hold the board, and the plurality of holding bodies are arranged in a predetermined arrangement direction and described above. It is detachably attached to the base in parallel with a reference plane which is a virtual plane intersecting in the arrangement direction.
  • the maintainability of the board holding device can be improved.
  • FIG. 1 is a schematic front view of a substrate transfer robot.
  • FIG. 2 is a side view of the substrate holding device.
  • FIG. 3 is a plan view of the substrate holding device.
  • FIG. 4 is a perspective view of the substrate holding device.
  • FIG. 5 is a perspective view of the mounting portion of the odd-numbered holding body.
  • FIG. 6 is a plan view of the even-numbered holding body.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the mounting portion taken along the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the mounting portion in line VIII-VIII of FIG.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the tilt adjusting portion.
  • FIG. 10 is a perspective view of the base.
  • FIG. 10 is a perspective view of the base.
  • FIG. 11 is a perspective view of the base with a part of the mounting blocks removed.
  • FIG. 12 is a schematic view showing a state of the engaging portion when the distance between the plurality of holding bodies is the first pitch.
  • FIG. 13 is a schematic view showing a state of the engaging portion when the distance between the plurality of holding bodies is the second pitch.
  • FIG. 14 is a schematic view showing a part of the substrate holding device cut in the cross section in the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 15 is a plan view of a substrate holding device showing a state in which one holding body is attached and detached.
  • FIG. 1 is a schematic front view of the substrate transfer robot 100.
  • the board transfer robot 100 includes a base 101, a robot arm 102 connected to the base 101, and a board holding device 2 connected to the robot arm 102.
  • the board transfer robot 100 is a device that transfers a substrate.
  • the substrate transfer robot 100 transfers a substrate between the first accommodating portion 108 and the second accommodating portion 109.
  • the first containment is a hoop and the second containment is a boat.
  • the substrate is a semiconductor wafer or a glass substrate.
  • the semiconductor wafer is, for example, a silicon wafer, a silicon carbide wafer, or a sapphire wafer.
  • the glass substrate is, for example, a glass substrate for a thin display (liquid crystal display or organic EL display) processed by a semiconductor process.
  • the robot arm 102 has a plurality of joints and deforms or moves according to the joints.
  • the robot arm 102 is a horizontal articulated arm.
  • a substrate holding device 2 is rotatably connected to the tip of the robot arm 102 around an axis extending in the vertical direction.
  • FIG. 2 is a side view of the substrate holding device 2.
  • FIG. 3 is a plan view of the substrate holding device 2.
  • FIG. 4 is a perspective view of the substrate holding device 2.
  • the board holding device 2 includes a base 3 and a plurality of holding bodies 5 attached to the base 3 to hold the board.
  • the base 3 is covered with a casing 21.
  • the casing 21 is omitted.
  • a part of the holding body 5 is omitted.
  • the board holding device 2 includes 12 holding bodies 5 and holds 12 boards.
  • the holding bodies 5 are arranged at intervals in a predetermined arrangement direction.
  • the arrangement direction coincides with the thickness direction of the substrate.
  • the arrangement direction will be described as the vertical direction.
  • one direction orthogonal to the vertical direction is defined as the front-rear direction, and the direction orthogonal to the vertical direction and the front-rear direction is defined as the left-right direction.
  • the base 3 has a plurality of side portions 31 facing in a direction orthogonal to the arrangement direction.
  • the base 3 has a first side portion 31a, a second side portion 31b, a third side portion 31c, and a fourth side portion 31d.
  • the first side portion 31a and the second side portion 31b are oriented in the left-right direction. Specifically, the first side portion 31a faces the right side in the left-right direction, and the second side portion 31b faces the left side in the left-right direction. That is, the first side portion 31a and the second side portion 31b are arranged in opposite directions to each other.
  • the third side portion 31c and the fourth side portion 31d face in the front-rear direction.
  • the third side portion 31c faces the front side in the front-rear direction
  • the fourth side portion 31d faces the rear side in the front-rear direction. That is, the third side portion 31c and the fourth side portion 31d are arranged in opposite directions to each other.
  • the base 3 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • a holding body 5 is attached to the first side portion 31a. Further, a holding body 5 is attached to the second side portion 31b. Specifically, the holding bodies 5 are attached to the first side portion 31a and the second side portion 31b alternately in the order in which they are arranged in the arrangement direction. For example, the odd-numbered holding body 5 is attached to the first side portion 31a, and the even-numbered holding body 5 is attached to the second side portion 31b in the order from the bottom to the top.
  • an uppercase alphabet is added to the end of the holding body 5 in order from the bottom.
  • the lowermost holding body 5 is represented as "holding body 5A”
  • the second holding body 5 from the bottom is represented as "holding body 5B”.
  • each holding body 5 is not distinguished, it is simply expressed as "holding body 5".
  • the basic configuration of the odd-numbered holding body 5 and the even-numbered holding body 5 is the same.
  • the odd-numbered holding body 5 and the even-numbered holding body 5 have substantially symmetrical shapes.
  • the holding body 5 has a mounting portion 51 attached to the base 3 and a holding portion 61 for holding the substrate.
  • the holding body 5 may further have an inclination adjusting portion 7 for adjusting the inclination of the holding portion 61 with respect to the base 3.
  • the odd-numbered holding body 5 and the even-numbered holding body 5 have the same functions as the mounting portion 51, the holding portion 61, and the tilt adjusting portion 7, but the shapes or arrangements are different.
  • FIG. 5 is a perspective view of the mounting portion 51 of the odd-numbered holding body 5.
  • FIG. 6 is a plan view of the even-numbered holding body 5.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the mounting portion 51 taken along the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the mounting portion 51 in line VIII-VIII of FIG.
  • the mounting portion 51 is formed in a plate shape that extends in a plane orthogonal to the vertical direction (that is, in a horizontal plane).
  • the mounting portion 51 has a front-rear portion 51a extending in the front-rear direction and a left-right portion 51b extending in the left-right direction, and is formed in a substantially L-shape in a plan view.
  • the left and right portions 51b extend to the left from the front end portion of the front and rear portions 51a.
  • the left and right portions 51b extend to the right from the front end portion of the front and rear portions 51a.
  • the left and right portions 51b are formed thinner than the front and rear portions 51a.
  • the mounting portion 51 has a divided structure of a first portion 52 and a second portion 53.
  • the first portion 52 is a portion attached to the base 3.
  • the second portion 53 is a portion to which the holding portion 61 is attached.
  • the second portion 53 is attached to the first portion 52 from above.
  • the front-rear portion 51a (specifically, the front-rear portion 51a in the first portion 52) has a through hole 55 into which a bolt 58 is inserted when the mounting portion 51 is attached to the base 3. It has been formed.
  • the through hole 55 extends in the left-right direction.
  • the through holes 55 are formed at two locations, the front and rear portions 51a.
  • the left and right portions 51b are provided with two protruding portions 56 to which the holding portion 61 is attached.
  • the distance between the two protrusions 56 of the even-numbered holding body 5 in the left-right direction is wider than that of the odd-numbered holding body 5.
  • the holding portion 61 has a main body 62 formed in a bifurcated shape and a holding mechanism 63.
  • the holding by the holding portion 61 can be realized in various modes such as gripping, suction, mounting or fitting.
  • the holding portion 61 is configured to grip the substrate S.
  • the main body 62 is attached to the attachment portion 51. Specifically, the main body 62 is attached to the protrusion 56. The main body 62 extends substantially in the front-rear direction from the mounting portion 51 in a bifurcated manner. A first claw 64 is fixedly provided on each of the two tip portions of the main body 62.
  • the holding mechanism 63 has a movable second claw 65, an actuator 66 for driving the second claw 65, and an operation sensor 68 for detecting the operation of the second claw 65.
  • the second claw 65 is arranged at the end of the main body 62 to be attached to the attachment portion 51.
  • the actuator 66 and the motion sensor 68 are arranged in the mounting portion 51.
  • the actuator 66 is, for example, an air cylinder. Compressed air is supplied to the air cylinder.
  • the air cylinder advances and retracts the rod (not shown) by compressed air.
  • the second claw 65 is connected to the actuator 66 via the connecting portion 67.
  • the rod advances, the second claw 65 moves to the front side in the front-rear direction, that is, in the direction approaching the first claw 64.
  • the rod retracts, the second claw 65 moves to the rear side in the front-rear direction, that is, in a direction away from the first claw 64.
  • the holding portion 61 holds the substrate S.
  • the second claw 65 is separated from the edge of the substrate S.
  • the holding portion 61 releases the substrate S.
  • the motion sensor 68 is a contact type or non-contact type sensor.
  • the motion sensor 68 is, for example, an optical sensor such as a photointerruptor.
  • the motion sensor 68 detects the motion of the second claw 65 by detecting the motion of the detected portion 69 that moves or interlocks with the rod of the actuator 66 or the second claw 65 integrally.
  • the tilt adjusting portion 7 adjusts the tilt of the holding portion 61 with respect to the base 3 by adjusting the tilt of the second portion 53 with respect to the first portion 52 of the mounting portion 51.
  • the holding body 5 has three tilt adjusting portions 7. Specifically, the rear end portion of the front-rear portion 51a of the mounting portion 51, the front end portion of the front-rear portion 51a, and the end portion of the left-right portion 51b opposite to the front-rear portion 51a (the left end in the odd-numbered holding body 5).
  • a tilt adjusting portion 7 is provided in each of the portion and the right end portion of the even-numbered holding body 5.
  • Each tilt adjusting unit 7 adjusts the vertical distance between the first portion 52 and the second portion 53.
  • the inclination (that is, parallelism) of the second portion 53 with respect to the first portion 52 is adjusted.
  • the first portion 52 is attached to the base 3 and the holding portion 61 is attached to the second portion 53, as a result, the inclination of the holding portion 61 with respect to the base 3 is adjusted.
  • the tilt adjusting portion 7 is formed of a differential screw.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the tilt adjusting unit 7.
  • the tilt adjusting unit 7 has a first screw 71 and a second screw 72.
  • the first screw 71 is formed with a male screw 71a and a female screw 71b.
  • the pitch of the male screw 71a and the pitch of the female screw 71b are different from each other.
  • the male screw 71a is formed on the first portion 52 and is screwed into the female screw 52a extending in the vertical direction.
  • the second screw 72 is formed with a male screw 72a.
  • the second screw 72 is formed in the second portion 53 and is inserted into the through hole 53a extending in the vertical direction.
  • the male screw 72a is screwed into the female screw 71b of the first screw 71.
  • the second screw 72 is detented so as not to rotate with respect to the second portion 53.
  • the first screw 71 is provided with an annular operation portion 73 coaxial with the male screw 71a and the female screw 71b. As shown in FIGS. 5 and 6, a part of the operation unit 73 protrudes outward from the first portion 52 and the second portion 53. For example, in a plan view, a part of the operation unit 73 protrudes from the edge of the first portion 52 and the edge of the second portion 53 in a direction parallel to the horizontal plane. As a result, the user can operate the operation unit 73 from a direction parallel to the horizontal plane to rotate the first screw 71 while the holding body 5 is attached to the base 3.
  • the first screw 71 rotates, the first screw 71 moves vertically with respect to the first portion 52 according to the pitch of the male screw 71a.
  • the second screw 72 moves vertically with respect to the first screw 71 according to the pitch of the female screw 71b.
  • the pitch of the male screw 71a and the pitch of the female screw 71b are different, the relative movement amount between the first portion 52 and the first screw 71 and the relative movement amount between the first screw 71 and the second screw 72.
  • the vertical distance between the first portion 52 and the second portion 53 changes according to the difference in the relative movement amount.
  • the mounting portion 51 of the holding body 5 configured in this way is mounted on the base 3.
  • the odd-numbered holding body 5 is attached to the base 3 so that the front-rear portion 51a of the attachment portion 51 is along the first side portion 31a of the base 3.
  • the front and rear portions 51a of the mounting portions 51 of the odd-numbered holding bodies 5 are mounted side by side in the arrangement direction.
  • the even-numbered holding body 5 is attached to the base 3 so that the front-rear portion 51a of the attachment portion 51 is along the second side portion 31b of the base 3.
  • the front and rear portions 51a of the attachment portion 51 of the even-numbered holding body 5 are attached side by side in the arrangement direction.
  • the left and right portions 51b of the mounting portion 51 are arranged at positions facing the third side portion 31c of the base 3. Therefore, the holding portion 61 of each holding body 5 is arranged side by side with the base 3 in the front-rear direction. In front of the base 3, the left and right portions 51b and the holding portions 61 of all the holding bodies 5 are arranged side by side in the arrangement direction, that is, in the vertical direction.
  • FIG. 10 is a perspective view of the base 3.
  • FIG. 11 is a perspective view of the base 3 with a part of the mounting block 44 removed. Specifically, in FIG. 11, only the first mounting block 44A and the third mounting block 44C from the bottom are mounted.
  • the base 3 has a pitch adjusting mechanism 4 that adjusts each interval in the arrangement direction of the plurality of holding bodies 5.
  • the pitch adjusting mechanism 4 adjusts each interval of the plurality of holding bodies 5 to either a first pitch or a second pitch larger than the first pitch.
  • the pitch adjusting mechanism 4 has a linear guide 41, a mounting block 44, an engaging portion 45, and an actuator 48 (see FIG. 4).
  • the linear guide 41 is provided on the main body 30 of the base 3. Specifically, four linear guides 41 are provided on the first side portion 31a of the base 3, and four linear guides 41 are provided on the second side portion 31b of the base 3. Each linear guide 41 has a sliding block 42 and a rail 43 that guides the sliding block 42 in the arrangement direction of the holding body 5, that is, in the vertical direction.
  • the four linear guides 41 provided on each of the first side portion 31a and the second side portion 31b are arranged at equal intervals in the front-rear direction.
  • Three sliding blocks 42 are provided on one rail 43.
  • Each holding body 5 is assigned a corresponding sliding block 42, a mounting block 44, and an engaging portion 45. Therefore, by attaching the same alphabet as the alphabet attached to the end of the code of the holding body 5 corresponding to the end of the code of the sliding block 42, the mounting block 44, and the engaging portion 45, the correspondence relationship with the holding body 5 is established. show.
  • the sliding block 42A, the mounting block 44A, and the engaging portion 45A each correspond to the first holding body 5A.
  • the mounting block 44 is a member for mounting the holding body 5 to the sliding block 42.
  • the mounting block 44 is attached to the sliding block 42, and the holding body 5 is attached to the mounting block 44. That is, the holding body 5 is indirectly attached to the sliding block 42 via the attachment block 44.
  • first side portion 31a of the base 3 is provided with four linear guides 41 having three sliding blocks 42, a total of 12 sliding blocks 42 are provided. Two sliding blocks 42 of the first side portion 31a are assigned to each of the six odd-numbered holding bodies 5 attached to the first side portion 31a.
  • the second side portion 31b of the base 3 is provided with four linear guides 41 having three sliding blocks 42, a total of 12 sliding blocks 42 are provided. Two sliding blocks 42 of the second side portion 31b are assigned to each of the six even-numbered holding bodies 5 attached to the second side portion 31b.
  • sliding blocks 42 arranged in the front-rear direction are arranged in three stages in the vertical direction, and twelve sliding blocks 42 are arranged in a matrix.
  • the front row in the front-rear direction is the first row
  • the bottom row in the up-down direction is the first row.
  • the sliding blocks 42A and 42A assigned to the first holding body 5A are arranged in the first row and the third row of the first stage.
  • the sliding blocks 42C and 42C assigned to the third holding body 5C are arranged in the second and fourth rows of the first stage.
  • the sliding blocks 42E and 42E assigned to the fifth holding body 5E are arranged in the first row and the third row of the second stage.
  • the sliding blocks 42G, 42I, 42K assigned to the 7th, 9th, and 11th holding bodies 5G, 5I, and 5K are also arranged in the same manner.
  • One mounting block 44 is mounted on the two sliding blocks 42 assigned to each holding body 5.
  • the mounting blocks 44A are attached to the sliding blocks 42A and 42A, and one mounting block 44C is attached to the sliding blocks 42C and 42C. ing.
  • the mounting block 44A and the mounting block 44C are arranged in the arrangement direction, and the mounting block 44C is located above the mounting block 44A.
  • a mounting block 44E is attached to the sliding blocks 42E and 42E, and a mounting block 44G is attached to the sliding blocks 42G and 42G.
  • the mounting block 44G is located above the mounting block 44E.
  • the mounting block 44I is attached to the sliding blocks 42I and 42I, and the mounting block 44K is attached to the sliding blocks 42K and 42K.
  • the mounting block 44K is located above the mounting block 44I.
  • the shapes of the mounting block 44A and the mounting block 44C are slightly different. The same applies to the mounting blocks 44 in the second and third stages, and the mounting blocks 44 mounted on the sliding blocks 42 in the first and third rows and the sliding blocks 42 in the second and fourth rows The shape is slightly different from the mounting block 44 to be mounted.
  • the mounting block 44 mounted on the sliding blocks 42 in the first and third rows is referred to as a "lower mounting block 44”
  • the sliding blocks in the second and fourth rows are referred to.
  • the mounting block 44 mounted on the 42 is referred to as an "upper mounting block 44". That is, the mounting blocks 44A, 44E, 44I are the lower mounting blocks 44, and the mounting blocks 44C, 44G, 44K are the upper mounting blocks.
  • the mounting block 44 has a main body 44a extending in the front-rear direction and two mounting portions 44b mounted on the two sliding blocks 42.
  • the two mounting portions 44b of the lower mounting block 44 are arranged at positions corresponding to the sliding blocks 42 in the first and third rows, and extend upward from the main body 44a.
  • the main body 44a of the upper mounting block 44 is formed with two notches 44c for avoiding interference with the two mounting portions 44b of the lower mounting block 44.
  • the two mounting portions 44b of the upper mounting block 44 are arranged at positions corresponding to the sliding blocks 42 in the second and fourth rows, and extend downward from the main body 44a.
  • the main body 44a of the lower mounting block 44 is formed with two notches 44c for avoiding interference with the two mounting portions 44b of the upper mounting block 44.
  • the main body 44a is formed with a screw hole 44d for mounting the holding body 5.
  • Two screw holes 44d arranged in the front-rear direction are formed in the main body 44a.
  • the screw hole 44d extends in parallel with the reference plane R (see FIG. 4), which is a virtual plane intersecting the arrangement direction, specifically in the left-right direction.
  • the second side portion 31b has four sliding blocks arranged in the front-rear direction, and twelve sliding blocks are arranged in a matrix.
  • a second holding body 5B is assigned to the sliding blocks in the first and third rows of the first stage, and the mounting block 44B is mounted.
  • a fourth holder 5D is assigned to the sliding blocks in the second and fourth rows of the first stage, and the mounting block 44D is mounted.
  • the sixth holding body 5F and the eighth holding body 5H are assigned to the four sliding blocks in the second stage, and the mounting blocks 44F and 44H are mounted.
  • the tenth holding body 5J and the twelfth holding body 5L are assigned to the four sliding blocks in the third stage, and the mounting blocks 44J and 44L are mounted.
  • the mounting blocks 44B, 44F, 44J are the lower mounting blocks 44, and the mounting blocks 44D, 44H, 44L are the upper mounting blocks.
  • the mounting block 44 configured in this way is provided with an engaging portion 45.
  • an engaging portion 45 is provided at the rear end portion of the mounting block 44. That is, the engaging portion 45 is arranged on the fourth side portion 31d of the base 3.
  • the plurality of engaging portions 45 are arranged in the arrangement direction. At this time, the plurality of engaging portions 45 are arranged in the same order as the corresponding support 5 in the arrangement direction.
  • the engaging portion 45 has a first engaging piece 45a, a second engaging piece 45b, and a third engaging piece 45c extending in a cantilever shape in the left-right direction.
  • the first engaging piece 45a, the second engaging piece 45b, and the third engaging piece 45c are arranged in this order from the top in the vertical direction.
  • the first engaging piece 45a, the second engaging piece 45b, and the third engaging piece 45c extend to the left. That is, the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b and the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c are open on the left side.
  • the first engaging piece 45a, the second engaging piece 45b, and the third engaging piece 45c extend to the right. That is, the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b and the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c are open to the right.
  • the twelfth engaging portion 45L does not have the first engaging piece 45a, but has the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c.
  • Each engaging portion 45 is engaged with the engaging portions 45 adjacent to each other in the arrangement direction, that is, in the vertical direction. Specifically, the first engaging piece 45a of the first engaging portion 45A has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the second engaging portion 45B. ..
  • the third engaging piece 45c of the second engaging portion 45B has entered the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b of the first engaging portion 45A.
  • the first engaging piece 45a of the second engaging portion 45B has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the third engaging portion 45C.
  • the third engaging piece 45c of the third engaging portion 45C has entered the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b of the second engaging portion 45B.
  • the first engaging piece 45a of the third engaging portion 45C has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the fourth engaging portion 45D.
  • first engaging piece 45a of each engaging portion 45 has entered the gap between the second engaging piece 45b and the third engaging piece 45c of the engaging portions 45 that are adjacent to each other above.
  • the third engaging piece 45c of each engaging portion 45 has entered the gap between the first engaging piece 45a and the second engaging piece 45b of the engaging portions 45 which are adjacent to each other below.
  • first engaging portion 45A does not have the engaging portion 45 adjacent to the lower side, it engages only with the second engaging portion 45B adjacent to the upper side. Further, since the twelfth engaging portion 45L does not have the engaging portion 45 adjacent to the upper side, the twelfth engaging portion 45L engages only with the eleventh engaging portion 45K adjacent to the lower side.
  • an actuator 48 is connected to the twelfth engaging portion 45L.
  • the actuator 48 drives the twelfth engaging portion 45L in the arrangement direction, that is, in the vertical direction.
  • the actuator 48 is, for example, an air cylinder.
  • the air cylinder selectively moves the twelfth engaging portion 45 upward and downward by the supplied compressed air.
  • FIG. 12 is a schematic diagram showing a state of the engaging portion 45 when the distance between the plurality of holding bodies 5 is the first pitch.
  • FIG. 13 is a schematic view showing a state of the engaging portion 45 when the distance between the plurality of holding bodies 5 is the second pitch.
  • the tenth, eleventh and twelfth engaging portions 45J, 45K and 45L are shown.
  • FIG. 14 is a schematic view showing a part of the substrate holding device 2 cut along the cross section taken along the line VII-VII of FIG.
  • FIG. 15 is a plan view of the substrate holding device 2 showing how one holding body 5 is attached and detached. 14 and 15 show how the holding body 5G is attached and detached.
  • Each holding body 5 is detachably attached to the base 3 in parallel with the reference plane R which is a virtual plane intersecting in the arrangement direction.
  • the reference plane R is a plane orthogonal to the arrangement direction, that is, a horizontal plane.
  • the holding body 5 is attached to the attachment block 44 provided on the base 3.
  • the holding body 5 is attached to the mounting block 44 from the horizontal direction.
  • the holding body 5 is fixed to the mounting block 44 (that is, the base 3) by bolts 58.
  • the bolt 58 for fixing the one holding body 5 to the base 3 is removed.
  • the one holding body 5 can be removed from the base 3 by moving the one holding body 5 in the horizontal direction.
  • the one holding body 5 is moved horizontally toward the mounting block 44 and attached. After contacting the block 44, the one retainer 5 can be attached to the base 3 by attaching the bolt 58.
  • a plurality of odd-numbered holders 5 are attached side by side in the arrangement direction to the first side portion 31a of the base 3.
  • the gap G of the first odd-numbered holding body 5G is larger than the dimension in the arrangement direction. Therefore, when the one odd-numbered holder 5G is removed from the base 3, the one odd-numbered holder 5G is arranged without interfering with the two odd-numbered holders 5E and 5I arranged on both sides in the arrangement direction. It can be moved in parallel with the reference plane R orthogonal to the direction.
  • the one odd-numbered holder 5G is used as a reference without interfering with the two odd-numbered holders 5E and 5I arranged on both sides in the arrangement direction. It can be moved in parallel with the surface R.
  • the moving direction of the odd-numbered holder 5G may be any direction parallel to the reference plane R, and is not limited to the left-right direction.
  • this relationship is established when each interval of the plurality of holding bodies 5 is at least the second pitch, and preferably is also established when each interval of the plurality of holding bodies 5 is at least the first pitch.
  • the screw hole 44d formed in the base 3 (specifically, the mounting block 44) into which the bolt 58 is screwed extends in parallel with the reference surface R.
  • the base 3 has a pitch adjusting mechanism 4.
  • the holding body 5 is fixed to the mounting block 44 of the pitch adjusting mechanism 4 by bolts 58.
  • the mounting block 44 is formed with a screw hole 44d into which a bolt 58 for mounting the holding body 5 is screwed.
  • the screw hole 44d extends in parallel with the reference plane R, more specifically in the left-right direction. Further, in a state where the holding body 5 is attached to the mounting block 44, the bolt 58 can be accessed and operated from a direction parallel to the reference plane R.
  • the one holding body 5 can move in parallel with the reference plane R between the two holding bodies 5 located on both sides in the arrangement direction with respect to the one holding body 5.
  • a gap G is formed.
  • the bolt 58 can be accessed from a direction parallel to the reference surface R and the bolt 58 can be operated. Since the screw hole 44d extends in the direction parallel to the reference surface R, the bolt 58 of the bolt 58 can be fastened and unfastened by a tool inserted from the direction parallel to the reference plane R. As a result, the bolts 58 can be fastened and unfastened without being affected by the two holding bodies 5 located on both sides in the arrangement direction.
  • the holding body 5 can operate the bolt 58 for fixing to the base 3 from the direction parallel to the reference surface R, move the bolt 58 in the direction parallel to the reference surface R, and remove the bolt 58 from the base 3. Can be attached to. As a result, only one holding body 5 can be attached to and detached from the base 3 while the other holding body 5 is attached to the base 3.
  • the holding portion 61 is arranged side by side with the base 3 in the front-rear direction as the first direction in the direction orthogonal to the arrangement direction, and the mounting portion 51 of the holding body 5 is arranged in the front-rear direction among the plurality of side portions 31. It is attached to the first side portion 31a and the second side portion 31b facing in directions other than the above. Therefore, the operation for the bolt 58 and the operation for attaching / detaching the holding body 5 can be performed without being affected by the holding portion 61. That is, the holding portion 61 is arranged to face the third side portion 31c of the base 3.
  • the holding body 61 becomes an obstacle in the operation for the bolt 58 and the operation for attaching and detaching the holding body 5.
  • the holding portions 61 are not arranged to face each other on the first side portion 31a and the second side portion 31b of the base 3, the operation of the bolt 58 and the operation of attaching and detaching the holding body 5 are affected by the holding portion 61. It can be done without receiving.
  • the substrate holding device 2 includes a base 3 and a plurality of holding bodies 5 attached to the base 3 to hold the board, and the plurality of holding bodies 5 are arranged in a predetermined arrangement direction. At the same time, it is detachably attached to the base 3 in parallel with the reference plane R which is a virtual plane intersecting in the arrangement direction.
  • the holding body 5 can be attached to and detached from the base 3 in parallel with the reference plane R intersecting in the arrangement direction. Therefore, in a state where a plurality of holding bodies 5 are attached to the base 3, one holding body 5 is moved in parallel with the reference plane R while the other holding bodies 5 are attached to the base 3, and the base 3 is used. Can be removed from. Even when the one holding body 5 is attached to the base 3, the one holding body 5 can be moved in parallel with the reference plane R and attached to the base 3 while the other holding bodies 5 are attached to the base 3. can. That is, when attaching / detaching one holding body 5, it is not necessary to disassemble the entire board holding device 2, and the state in which the other holding body 5 is attached to the base 3 can be maintained. Therefore, maintenance of the board holding device 2 can be maintained. It is possible to improve the sex.
  • the holding body 5 has a mounting portion 51 attached to the base 3 and a holding portion 61 for holding the substrate, and the base 3 has a plurality of side portions 31 facing in a direction orthogonal to the arrangement direction.
  • the holding portion 61 is arranged side by side with the base 3 in the first direction orthogonal to the arrangement direction, and the mounting portion 51 is a first side portion of the plurality of side portions 31 facing in a direction other than the first direction. It is attached to 31a.
  • the base 3 and the holding portion 61 are arranged in the first direction. Therefore, when the mounting portion 51 is mounted on the side portion 31 facing the first direction among the plurality of side portions 31, the base 3, the mounting portion 51, and the holding portion 61 are arranged in the first direction in this order. In that case, the holding portion 61 becomes an obstacle when handling the mounting portion 51 so that the mounting portion 51 can be attached to and detached from the base 3. For example, when the mounting portion 51 is bolted to the base 3 from the first direction, the holding portion 61 becomes an obstacle and the operation of the bolt 58 becomes complicated.
  • the portion of the base 3 to which the mounting portion 51 is mounted is difficult to see due to the presence of the holding portion 61 of the other holding body 5, and the mounting portion 51 is mounted. Installation work becomes complicated.
  • the mounting portion 51 can be attached to and detached from the base 3 without being affected by the holding portion 61. can do.
  • the plurality of side portions 31 include a second side portion 31b that faces a direction other than the first direction, and the plurality of holding bodies 5 alternately include the first side portion 31a and the first side portion 31a in the order in which they are arranged in the arrangement direction. It is attached to the 2 side portion 31b.
  • first side portion 31a and the second side portion 31b face each other on opposite sides.
  • the holding body 5 is attached to and detached from the first side portion 31a and the holding body 5 is attached to the second side portion 31b.
  • the attachment / detachment can be performed from the opposite sides to the base 3.
  • first side portion 31a and the second side portion 31b face in a direction orthogonal to the first direction.
  • the holding portion 61, the holding body 5 attached to the first side portion 31a, and the holding body 5 attached to the second side portion 31b are less affected by the attachment / detachment of the holding body 5.
  • the holding body 5 is fixed to the base 3 by a bolt 58, and the screw hole 44d formed in the base 3 to which the bolt 58 is screwed extends in parallel with the reference surface R.
  • the operation of fastening and releasing the bolt 58 for fixing the holding body 5 to the base 3 is also performed from the direction parallel to the reference plane R.
  • a space is secured in which one holding body 5 can be moved in parallel with the reference plane R. Therefore, the bolt 58 can be fastened and unfastened by using this space. As a result, the workability of fastening and releasing the bolt 58 can be improved.
  • the holding body 5 has an inclination adjusting unit 7 for adjusting the inclination with respect to the base 3.
  • the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3 is adjusted by the inclination adjusting unit 7.
  • the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3 also depends on the mounting state of the holding body 5 on the base 3.
  • a plurality of holding bodies 5 arranged in the arrangement direction are attached to the base 3, and it is not easy to adjust the inclination of the holding bodies 5 when the holding bodies 5 are attached to the base 3.
  • the holding body 5 is attached to the base 3, it is not necessary to strictly control the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3, so that the workability of attaching the holding body 5 can be improved.
  • tilt adjusting portions 7 are provided at a plurality of locations of the holding body 5.
  • the inclination of the holding body 5 can be adjusted at a plurality of locations of the holding body 5.
  • the ability to adjust the inclination of the holding body 5 with respect to the base 3 can be improved.
  • the tilt adjusting unit 7 is arranged at a position where it can be operated from a direction parallel to the reference surface R in a state where the holding body 5 is attached to the base 3.
  • the operability of the tilt adjusting unit 7 in the state where the holding body 5 is attached to the base 3 can be improved.
  • the base 3 is provided with a linear guide 41 having a sliding block 42 and a rail 43 for guiding the sliding block 42 in the arrangement direction, and the holding body 5 is attached to the sliding block 42 in the arrangement direction.
  • the position to is adjustable.
  • the holding body 5 is attached to the base 3 so that the position in the arrangement direction can be adjusted. That is, it is possible to adjust each interval in the arrangement direction of the plurality of holding bodies 5.
  • the configuration of the base 3 becomes complicated as compared with the configuration in which the linear guide 41 or the like is not provided. Even with such a configuration, the maintainability of the holding body 5 can be improved by attaching the plurality of holding bodies 5 to the base 3 so as to be detachable in parallel with the reference surface R.
  • a mounting block 44 for mounting the holding body 5 is attached to the sliding block 42, and the holding body 5 is attached to the sliding block 42 by being mounted on the mounting block 44.
  • the holding body 5 is indirectly attached to the sliding block 42 via the attachment block 44.
  • the number of holding bodies 5 of the substrate holding device 2 is not limited to 12.
  • the number of the holders 5 may be a plurality.
  • the spacing in the arrangement direction of the plurality of retainers 5 may be non-adjustable, that is, fixed. That is, the pitch adjusting mechanism 4 may be omitted. In that case, the holding body 5 is attached to the main body 30 of the base 3.
  • the reference plane R may be crossed with the arrangement direction and may not be orthogonal to each other. That is, the holding body 5 may be attached to and detached from the base 3 by moving diagonally upward or diagonally downward with respect to the vertical direction which is the arrangement direction.
  • the plurality of holding bodies 5 are attached to the first side portion 31a and the second side portion 31b of the base 3, but the present invention is not limited thereto.
  • all the holding bodies 5 may be attached to one side portion 31 (for example, the first side portion 31a) of the base 3.
  • the holding body 5 is not limited to the first side portion 31a and the second side portion 31b, and can be attached to any side portion 31.
  • the plurality of holding bodies 5 may be attached to the first side portion 31a and the fourth side portion 31d.
  • the number of tilt adjusting units 7 is not limited to three.
  • the number of tilt adjusting units 7 may be one, two, or four or more. Further, the holding body 5 does not have to have the tilt adjusting portion 7.
  • the holding body 5 is attached to the mounting block 44 of the pitch adjusting mechanism 4, but is not limited to this.
  • the pitch adjusting mechanism 4 does not have the mounting block 44, and the holding body 5 may be mounted on the sliding block 42.

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Abstract

基板保持装置2は、ベース3と、ベース3に取り付けられ、基板を保持する複数の保持体5とを備えている。複数の保持体5は、所定の配列方向に配列されていると共に、配列方向に交差する面である基準面Rと平行に着脱可能にベース3に取り付けられている。

Description

基板保持装置
 ここに開示された技術は、基板保持装置に関する。
 従来より、基板を保持する基板保持装置が知られている。例えば、特許文献1には、複数の基板を保持する基板保持装置が開示されている。具体的には、特許文献1に開示された基板保持装置は、基板を保持する複数の保持体を備え、複数の基板を搬送するように構成されている。複数の保持体は、基板の厚み方向に配列された状態で、ピッチ変換機構部に取り付けられている。このとき、複数の保持体は、下方に位置する保持体から順にピッチ変換機構部に取り付けられている。
特開2006-313865号公報
 ところで、基板保持装置においては、保持体をメンテナンス又は交換のために基板保持装置から取り外す場合がある。しかしながら、前述のような構成では、一部の保持体だけを取り外したい場合であっても、取り外す必要がない保持体の取り外しが必要となったり、基板保持装置全体の分解が必要となったりする。
 ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基板保持装置のメンテナンス性を向上させることにある。
 ここに開示された基板保持装置は、ベースと、前記ベースに取り付けられ、基板を保持する複数の保持体とを備え、前記複数の保持体は、所定の配列方向に配列されていると共に、前記配列方向に交差する仮想面である基準面と平行に着脱可能に前記ベースに取り付けられている。
 前記基板保持装置によれば、基板保持装置のメンテナンス性を向上させることができる。
図1は、基板搬送ロボットの概略的な正面図である。 図2は、基板保持装置の側面図である。 図3は、基板保持装置の平面図である。 図4は、基板保持装置の斜視図である。 図5は、奇数番目の保持体の取付部の斜視図である。 図6は、偶数番目の保持体の平面図である。 図7は、図3のVII-VII線における取付部の断面図である。 図8は、図3のVIII-VIII線における取付部の断面図である。 図9は、傾き調整部の断面図である。 図10は、ベースの斜視図である。 図11は、一部の取付ブロックを取り外した状態のベースの斜視図である。 図12は、複数の保持体の間隔が第1ピッチのときの係合部の状態を示す模式図である。 図13は、複数の保持体の間隔が第2ピッチのときの係合部の状態を示す模式図である。 図14は、図3のVII-VII線における断面で切断した基板保持装置の一部を示す模式図である。 図15は、一の保持体を着脱する様子を示す基板保持装置の平面図である。
 以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、基板搬送ロボット100の概略的な正面図である。
 基板搬送ロボット100は、基台101と、基台101に連結されたロボットアーム102と、ロボットアーム102に連結された基板保持装置2とを備えている。基板搬送ロボット100は、基板を搬送する装置である。例えば、基板搬送ロボット100は、基板を第1収容部108と第2収容部109との間で搬送する。例えば、第1収容部は、フープであり、第2収容部は、ボートである。
 例えば、基板は、半導体ウェハ又はガラス基板である。半導体ウェハは、例えば、シリコンウェハ、シリコンカーバイトウェハ又はサファイアウェハである。ガラス基板は、例えば、半導体プロセスによって処理される薄型ディスプレイ(液晶ディスプレイ又は有機ELディスプレイ)用のガラス基板である。
 ロボットアーム102は、複数の関節を有し、関節に応じて変形又は移動する。例えば、ロボットアーム102は、水平多関節アームである。ロボットアーム102の先端部に、基板保持装置2が上下方向に延びる軸回りに回転可能に連結されている。
 図2は、基板保持装置2の側面図である。図3は、基板保持装置2の平面図である。図4は、基板保持装置2の斜視図である。基板保持装置2は、ベース3と、ベース3に取り付けられ、基板を保持する複数の保持体5とを備えている。基板保持装置2において、ベース3は、ケーシング21に覆われている。図3,4では、ケーシング21が省略されている。また、図4では、保持体5の一部が省略されている。基板保持装置2は、12個の保持体5を備え、12枚の基板を保持する。
 保持体5は、所定の配列方向に互いに間隔を空けて配列されている。配列方向は、基板の厚み方向と一致している。以下では、説明の便宜上、配列方向を上下方向として説明する。また、上下方向と直交する一の方向を前後方向とし、上下方向及び前後方向に直交する方向を左右方向とする。
 ベース3は、配列方向と直交する方向を向く複数の側部31を有している。この例では、ベース3は、第1側部31aと、第2側部31bと、第3側部31cと、第4側部31dとを有している。第1側部31a及び第2側部31bは、左右方向を向いている。具体的には、第1側部31aは、左右方向の右側を向き、第2側部31bは、左右方向の左側を向いている。すなわち、第1側部31aと第2側部31bとは、互いに反対向きに配置されている。第3側部31c及び第4側部31dは、前後方向を向いている。具体的には、第3側部31cは、前後方向の前側を向き、第4側部31dは、前後方向の後側を向いている。すなわち、第3側部31cと第4側部31dとは互いに反対向きに配置されている。ベース3は、略直方体状に形成されている。
 第1側部31aには、保持体5が取り付けられている。また、第2側部31bには、保持体5が取り付けられている。具体的には、保持体5は、配列方向に並ぶ順で交互に第1側部31aと第2側部31bとに取り付けられる。例えば、下から上に向かう順番で、奇数番目の保持体5が第1側部31aに、偶数番目の保持体5が第2側部31bに取り付けられている。以下、各保持体5を区別する場合には、下方から順番に、保持体5の末尾に大文字のアルファベットを付す。例えば、1番下の保持体5は「保持体5A」と表し、下から2番目の保持体5は「保持体5B」と表す。各保持体5を区別しない場合には、単に「保持体5」と表す。
 奇数番目の保持体5と偶数番目の保持体5の基本的な構成は同じである。奇数番目の保持体5と偶数番目の保持体5とは、概ね左右対称な形状をしている。
 保持体5は、図3に示すように、ベース3に取り付けられる取付部51と、基板を保持する保持部61とを有している。保持体5は、ベース3に対する保持部61の傾きを調整する傾き調整部7をさらに有していてもよい。奇数番目の保持体5と偶数番目の保持体5とでは、取付部51、保持部61及び傾き調整部7の機能は同じであるが、形状又は配置が異なる。
 図5は、奇数番目の保持体5の取付部51の斜視図である。図6は、偶数番目の保持体5の平面図である。図7は、図3のVII-VII線における取付部51の断面図である。図8は、図3のVIII-VIII線における取付部51の断面図である。
 取付部51は、上下方向に直交する平面内(即ち、水平面内)で拡がるプレート状に形成されている。取付部51は、前後方向に延びる前後部分51aと左右方向に延びる左右部分51bとを有し、平面視で略L字状に形成されている。奇数番目の保持体5の取付部51においては、図5に示すように、左右部分51bは、前後部分51aの前端部から左側へ延びている。偶数番目の保持体5の取付部51においては、図6に示すように、左右部分51bは、前後部分51aの前端部から右側へ延びている。左右部分51bは、前後部分51aに比べて薄く形成されている。
 取付部51は、第1部分52と第2部分53との分割構造となっている。第1部分52は、ベース3に取り付けられる部分である。第2部分53は、保持部61が取り付けられる部分である。第2部分53は、第1部分52に上方から取り付けられている。
 前後部分51a(具体的には、第1部分52における前後部分51a)には、図7,8に示すように、取付部51をベース3へ取り付ける際にボルト58が挿入される貫通孔55が形成されている。貫通孔55は、左右方向に延びている。貫通孔55は、前後部分51aの2か所に形成されている。
 左右部分51bには、保持部61が取り付けられる2つの突出部56が設けられている。偶数番目の保持体5の2つの突出部56の左右方向の間隔は、奇数番目の保持体5に比べて広くなっている。
 次に、保持部61の構成について、図3,5を参照して説明する。
 保持部61は、二又状に分かれた形状に形成された本体62と、保持機構63とを有している。保持部61による保持は、把持、吸着、載置又は嵌合等、様々な態様で実現し得る。この例では、保持部61は、基板Sを把持するように構成されている。
 本体62は、取付部51に取り付けられている。具体的には、本体62は、突出部56に取り付けられている。本体62は、取付部51から概ね前後方向に二又状に延びている。本体62の2つの先端部のそれぞれには第1爪64が固定的に設けられている。
 保持機構63は、移動可能な第2爪65と、第2爪65を駆動するアクチュエータ66と、第2爪65の動作を検出する動作センサ68とを有している。第2爪65は、本体62のうち取付部51に取り付けられる端部に配置されている。アクチュエータ66及び動作センサ68は、取付部51に配置されている。
 アクチュエータ66は、例えば、エアシリンダである。エアシリンダには、圧縮エアが供給される。エアシリンダは、圧縮エアによって、ロッド(図示省略)を進出及び後退させる。第2爪65は、連結部67を介してアクチュエータ66に連結されている。ロッドが進出すると、第2爪65は、前後方向における前側へ、即ち、第1爪64へ近づく方向へ移動する。一方、ロッドが後退すると、第2爪65は、前後方向における後側へ、即ち、第1爪64から離間する方向へ移動する。
 第1爪64と第2爪65との間に基板Sが位置する状態で第2爪65を進出させることによって、第1爪64及び第2爪65が基板Sの端縁に係合する。これにより、保持部61が基板Sを保持する。この状態から第2爪65を後退させることによって、第2爪65が基板Sの端縁から離れる。これにより、保持部61が基板Sを解放する。
 動作センサ68は、接触式又は非接触式のセンサである。動作センサ68は、例えば、フォトインタラプタ等の光センサである。動作センサ68は、アクチュエータ66のロッド又は第2爪65と一体的に移動、又は連動する被検出部69の動作を検出することによって第2爪65の動作を検出する。
 傾き調整部7は、取付部51の第1部分52に対する第2部分53の傾きを調整することによって、ベース3に対する保持部61の傾きを調整する。この例では、保持体5は、3つの傾き調整部7を有している。具体的には、取付部51の前後部分51aの後端部、前後部分51aの前端部、及び、左右部分51bのうち前後部分51aとは反対側の端部(奇数番目の保持体5では左端部、偶数番目の保持体5では右端部)のそれぞれに傾き調整部7が設けられている。各傾き調整部7は、第1部分52と第2部分53との上下方向の間隔を調整する。取付部51の3か所において第1部分52と第2部分53との上下方向の間隔が調整されることによって、第1部分52に対する第2部分53の傾き(即ち、平行度)が調整される。第1部分52はベース3に取り付けられ、第2部分53には保持部61が取り付けられるので、結果として、ベース3に対する保持部61の傾きが調整される。
 例えば、傾き調整部7は、差動ネジで形成されている。図9は、傾き調整部7の断面図である。傾き調整部7は、第1ネジ71と第2ネジ72とを有している。第1ネジ71は、雄ネジ71aと雌ネジ71bとが形成されている。雄ネジ71aのピッチと雌ネジ71bのピッチとは、互いに異なる。雄ネジ71aは、第1部分52に形成され、上下方向に延びる雌ネジ52aに螺合する。第2ネジ72は、雄ネジ72aが形成されている。第2ネジ72は、第2部分53に形成され、上下方向に延びる貫通孔53aに挿入されている。雄ネジ72aは、第1ネジ71の雌ネジ71bに螺合する。第2ネジ72は、第2部分53に対して回転しないように回り止めがなされている。
 第1ネジ71には、雄ネジ71a及び雌ネジ71bと同軸の円環状の操作部73が設けられている。操作部73の一部は、図5,6に示すように、第1部分52及び第2部分53から外方にはみ出している。例えば、平面視で、操作部73の一部は、第1部分52の端縁及び第2部分53の端縁から、水平面と平行な方向へはみ出している。これにより、ユーザは、保持体5がベース3に取り付けられた状態において、水平面と平行な方向から操作部73を操作して、第1ネジ71を回転させることができる。
 第1ネジ71が回転すると、第1ネジ71は、第1部分52に対して上下方向へ雄ネジ71aのピッチに応じて相対的に移動する。一方、第2ネジ72は、第1ネジ71に対して上下方向へ雌ネジ71bのピッチに応じて相対的に移動する。ここで、雄ネジ71aのピッチと雌ネジ71bのピッチとが異なるので、第1部分52と第1ネジ71との相対移動量と、第1ネジ71と第2ネジ72との相対移動量とは互いに異なる。この相対移動量の差分に応じて、第1部分52と第2部分53との上下方向の間隔が変化する。
 このような第1部分52と第2部分53との上下方向の間隔の調整が取付部51の3か所で行われることによって、第1部分52に対する第2部分53の傾き、ひいては、ベース3に対する保持部61の傾きが調整される。
 このように構成された保持体5の取付部51がベース3に取り付けられる。具体的には、奇数番目の保持体5は、取付部51の前後部分51aがベース3の第1側部31aに沿うようにベース3に取り付けられる。第1側部31aにおいては、奇数番目の保持体5の取付部51の前後部分51aが配列方向に並んで取り付けられている。偶数番目の保持体5は、取付部51の前後部分51aがベース3の第2側部31bに沿うようにベース3に取り付けられる。第2側部31bにおいては、偶数番目の保持体5の取付部51の前後部分51aが配列方向に並んで取り付けられている。
 このとき、奇数番目の保持体5及び偶数番目の保持体5の何れにおいても、取付部51の左右部分51bは、ベース3の第3側部31cと対向する位置に配置される。そのため、各保持体5の保持部61は、前後方向へベース3と並んで配置される。ベース3の前方においては、全ての保持体5の左右部分51b及び保持部61が配列方向、即ち、上下方向に並んで配列されている。
 続いて、ベース3の構成について詳しく説明する。図10は、ベース3の斜視図である。図11は、一部の取付ブロック44を取り外した状態のベース3の斜視図である。詳しくは、図11では、下から1番目の取付ブロック44Aと3番目の取付ブロック44Cだけが取り付けられている。
 ベース3は、複数の保持体5の配列方向における各間隔を調整するピッチ調整機構4を有している。ピッチ調整機構4は、複数の保持体5の各間隔を第1ピッチと第1ピッチよりも大きな第2ピッチとの何れかに調整する。ピッチ調整機構4は、リニアガイド41と、取付ブロック44と、係合部45と、アクチュエータ48(図4参照)とを有している。
 リニアガイド41は、ベース3の本体30に設けられている。具体的には、4個のリニアガイド41がベース3の第1側部31aに設けられ、4個のリニアガイド41がベース3の第2側部31bに設けられている。各リニアガイド41は、摺動ブロック42と、摺動ブロック42を保持体5の配列方向、即ち、上下方向に案内するレール43とを有している。第1側部31a及び第2側部31bのそれぞれに設けられた4個のリニアガイド41は、前後方向に等間隔を空けて並んでいる。1本のレール43に3個の摺動ブロック42が設けられている。
 各保持体5には、対応する摺動ブロック42、取付ブロック44及び係合部45が割り当てられている。そこで、摺動ブロック42、取付ブロック44及び係合部45の符号の末尾に対応する保持体5の符号の末尾に付されたアルファベットと同じアルファベットを付すことによって、保持体5との対応関係を表す。例えば、摺動ブロック42A、取付ブロック44A及び係合部45Aは、それぞれ1番目の保持体5Aに対応する。尚、保持体5との対応関係を区別しない場合には、単に「摺動ブロック42」、「取付ブロック44」及び「係合部45」と称する。
 取付ブロック44は、保持体5を摺動ブロック42に取り付けるための部材である。取付ブロック44が摺動ブロック42に取り付けられ、保持体5が取付ブロック44に取り付けられる。すなわち、保持体5は、取付ブロック44を介して摺動ブロック42に間接的に取り付けられる。
 詳しくは、ベース3の第1側部31aには、3個の摺動ブロック42を有する4本のリニアガイド41が設けられているので、合計12個の摺動ブロック42が設けられている。第1側部31aに取り付けられる6個の奇数番目の保持体5には、第1側部31aの摺動ブロック42が2個ずつ割り当てられている。
 同様に、ベース3の第2側部31bには、3個の摺動ブロック42を有する4本のリニアガイド41が設けられているので、合計12個の摺動ブロック42が設けられている。第2側部31bに取り付けられる6個の偶数番目の保持体5には、第2側部31bの摺動ブロック42が2個ずつ割り当てられている。
 具体的には、第1側部31aには、前後方向に並ぶ4個の摺動ブロック42が上下方向に3段配置され、12個の摺動ブロック42が行列状に配置されている。前後方向における最前列を1列目とし、上下方向における最下段を1段目とする。1番目の保持体5Aに割り当てられた摺動ブロック42A,42Aは、1段目の1列目及び3列目に配置されている。3番目の保持体5Cに割り当てられた摺動ブロック42C,42Cは、1段目の2列目及び4列目に配置されている。5番目の保持体5Eに割り当てられた摺動ブロック42E,42Eは、2段目の1列目及び3列目に配置されている。7番目、9番目及び11番目の保持体5G,5I,5Kに割り当てられた摺動ブロック42G,42I,42Kも同様に配置されている。
 各保持体5に割り当てられた2個の摺動ブロック42には、1つの取付ブロック44が取り付けられている。
 具体的には、1段目の4個の摺動ブロック42のうち摺動ブロック42A,42Aには取付ブロック44Aが取り付けられ、摺動ブロック42C,42Cには、1つの取付ブロック44Cが取り付けられている。取付ブロック44Aと取付ブロック44Cとは配列方向に並んでおり、取付ブロック44Cが取付ブロック44Aの上方に位置している。
 2段目及び3段目についても同様である。摺動ブロック42E,42Eには取付ブロック44Eが取り付けられ、摺動ブロック42G,42Gには取付ブロック44Gが取り付けられている。取付ブロック44Gが取付ブロック44Eの上方に位置している。摺動ブロック42I,42Iには取付ブロック44Iが取り付けられ、摺動ブロック42K,42Kには取付ブロック44Kが取り付けられている。取付ブロック44Kが取付ブロック44Iの上方に位置している。
 ここで、取付ブロック44Aと取付ブロック44Cとでは、形状が少し異なる。2段目及び3段目の取付ブロック44についても同様であり、1列目及び3列目の摺動ブロック42に取り付けられる取付ブロック44と、2列目及び4列目の摺動ブロック42に取り付けられる取付ブロック44とでは、形状が少し異なる。以下、両者を区別する場合には、1列目及び3列目の摺動ブロック42に取り付けられる取付ブロック44を「下側取付ブロック44」と称し、2列目及び4列目の摺動ブロック42に取り付けられる取付ブロック44を「上側取付ブロック44」と称する。つまり、取付ブロック44A,44E,44Iが下側取付ブロック44であり、取付ブロック44C,44G,44Kが上側取付ブロックである。
 下側取付ブロック44及び上側取付ブロック44に共通する構成として、取付ブロック44は、前後方向に延びる本体44aと、2つの摺動ブロック42に取り付けられる2つの取付部44bとを有している。
 下側取付ブロック44の2つの取付部44bは、1列目及び3列目の摺動ブロック42に対応する位置に配置され、本体44aから上方へ延びている。上側取付ブロック44の本体44aには、下側取付ブロック44の2つの取付部44bとの干渉を避けるための2つの切欠部44cが形成されている。
 一方、上側取付ブロック44の2つの取付部44bは、2列目及び4列目の摺動ブロック42に対応する位置に配置され、本体44aから下方へ延びている。下側取付ブロック44の本体44aには、上側取付ブロック44の2つの取付部44bとの干渉を避けるための2つの切欠部44cが形成されている。
 また、下側取付ブロック44及び上側取付ブロック44に共通する構成として、本体44aには、保持体5を取り付けるためのネジ孔44dが形成されている。本体44aには、前後方向に並ぶ2つのネジ孔44dが形成されている。ネジ孔44dは、配列方向と交差する仮想面である基準面R(図4参照)と平行に、具体的には左右方向に延びている。
 第2側部31bについても同様である。図示を省略するが、第2側部31bには、前後方向に並ぶ4個の摺動ブロックが上下方向に3段配置され、12個の摺動ブロックが行列状に配置されている。1段目の1列目及び3列目の摺動ブロックには、2番目の保持体5Bが割り当てられ、取付ブロック44Bが取り付けられている。1段目の2列目及び4列目の摺動ブロックには、4番目の保持体5Dが割り当てられ、取付ブロック44Dが取り付けられている。以下同様にして、2段目の4個の摺動ブロックには、6番目の保持体5Fと8番目の保持体5Hとが割り当てられ、取付ブロック44F,44Hが取り付けられている。3段目の4個の摺動ブロックには、10番目の保持体5Jと12番目の保持体5Lとが割り当てられ、取付ブロック44J,44Lが取り付けられている。取付ブロック44B,44F,44Jが下側取付ブロック44であり、取付ブロック44D,44H,44Lが上側取付ブロックである。
 このように構成された取付ブロック44に、係合部45が設けられている。具体的には、取付ブロック44の後端部に係合部45が設けられている。すなわち、係合部45は、ベース3の第4側部31dに配置されている。複数の係合部45は、配列方向に並んでいる。このとき、複数の係合部45は、対応する支持体5と同じ順番で配列方向に並んでいる。
 係合部45は、片持ち状に左右方向に延びる第1係合片45a、第2係合片45b及び第3係合片45cを有している。第1係合片45a、第2係合片45b及び第3係合片45cは、上からこの順で上下方向に並んでいる。
 第1側部31aに配置された取付ブロック44の係合部45では、第1係合片45a、第2係合片45b及び第3係合片45cは、左向きに延びている。つまり、第1係合片45aと第2係合片45bとの隙間、及び、第2係合片45bと第3係合片45cとの隙間は、左側に開口している。一方、第2側部31bに配置された取付ブロック44の係合部45では、第1係合片45a、第2係合片45b及び第3係合片45cは、右向きに延びている。つまり、第1係合片45aと第2係合片45bとの隙間、及び、第2係合片45bと第3係合片45cとの隙間は、右側に開口している。
 尚、12番目の係合部45Lは、第1係合片45aを有さず、第2係合片45bと第3係合片45cとを有している。
 各係合部45は、配列方向、即ち、上下方向に隣り合う係合部45と係合している。具体的には、1番目の係合部45Aの第1係合片45aは、2番目の係合部45Bの第2係合片45bと第3係合片45cとの隙間に進入している。
 2番目の係合部45Bの第3係合片45cは、1番目の係合部45Aの第1係合片45aと第2係合片45bとの隙間に進入している。2番目の係合部45Bの第1係合片45aは、3番目の係合部45Cの第2係合片45bと第3係合片45cとの隙間に進入している。
 3番目の係合部45Cの第3係合片45cは、2番目の係合部45Bの第1係合片45aと第2係合片45bとの隙間に進入している。3番目の係合部45Cの第1係合片45aは、4番目の係合部45Dの第2係合片45bと第3係合片45cとの隙間に進入している。
 このように、各係合部45の第1係合片45aは、上方に隣り合う係合部45の第2係合片45bと第3係合片45cとの隙間に進入している。各係合部45の第3係合片45cは、下方に隣り合う係合部45の第1係合片45aと第2係合片45bとの隙間に進入している。
 尚、1番目の係合部45Aは下方に隣り合う係合部45が存在しないので、上方に隣り合う、2番目の係合部45Bのみと係合する。また、12番目の係合部45Lは上方に隣り合う係合部45が存在しないので、下方に隣り合う、11番目の係合部45Kのみと係合する。
 12番目の係合部45Lには、図4に示すように、アクチュエータ48が連結されている。アクチュエータ48は、12番目の係合部45Lを配列方向、即ち、上下方向に駆動する。アクチュエータ48は、例えば、エアシリンダである。エアシリンダは、供給される圧縮エアによって、12番目の係合部45を上方及び下方へ択一的に移動させる。
 図12は、複数の保持体5の間隔が第1ピッチのときの係合部45の状態を示す模式図である。図13は、複数の保持体5の間隔が第2ピッチのときの係合部45の状態を示す模式図である。尚、図12,13では、10番目、11番目及び12番目の係合部45J、45K、45Lが図示されている。
 アクチュエータ48によって12番目の係合部45Lが最も下方に位置するときには、12番目の係合部45Lの第2係合片45bは、11番目の係合部45Kの第1係合片45aに上方から接触し、11番目の係合部45Kを下方へ押圧する。これにより、11番目の係合部45Kの第2係合片45bは、10番目の係合部45Jの第1係合片45aに上方から接触し、10番目の係合部45Jを下方へ押圧する。このように、上下に隣り合う各2つの係合部45において、上方の係合部45の第2係合片45bが下方の係合部45の第1係合片45aに接触する状態となる。これにより、複数の保持体5の各間隔が第1ピッチとなる。
 一方、アクチュエータ48によって12番目の係合部45Lが上方へ移動すると、12番目の係合部45Lの第3係合片45cは、11番目の係合部45Kの第1係合片45aに下方から接触し、11番目の係合部45Kを上昇させる。これにより、11番目の係合部45Kの第3係合片45cは、10番目の係合部45Jの第1係合片45aに下方から接触し、10番目の係合部45Jを上昇させる。このように、上下に隣り合う各2つの係合部45において、上方の係合部45の第3係合片45cが下方の係合部45の第1係合片45aに接触する状態となる。これにより、複数の保持体5の各間隔が第2ピッチとなる。
 続いて、このように構成された基板保持装置2における保持体5の着脱について説明する。図14は、図3のVII-VII線における断面で切断した基板保持装置2の一部を示す模式図である。図15は、一の保持体5を着脱する様子を示す基板保持装置2の平面図である。図14,15は、保持体5Gが着脱される様子を示している。
 各保持体5は、配列方向に交差する仮想面である基準面Rと平行に着脱可能にベース3に取り付けられている。この例では、基準面Rは、配列方向に直交する面、即ち、水平面である。詳しくは、図7,8に示すように、保持体5は、ベース3に設けられた取付ブロック44に取り付けられる。保持体5は、取付ブロック44に対して水平方向から取り付けられている。保持体5は、ボルト58によって、取付ブロック44(即ち、ベース3)に固定されている。
 複数の保持体5がベース3に取り付けられた状態において一の保持体5をベース3から取り外す際には、図14に示すように、一の保持体5をベース3に固定するボルト58を取り外した後、一の保持体5を水平方向へ移動させることによって、一の保持体5をベース3から取り外すことができる。また、複数の保持体5がベース3に取り付けられた状態において一の保持体5をベース3へ取り付ける際には、一の保持体5を取付ブロック44に向かって水平方向へ移動させて、取付ブロック44に接触させた後、ボルト58を取り付けることによって、一の保持体5をベース3に取り付けることができる。
 具体的には、ベース3の第1側部31aには、複数の奇数番目の保持体5が配列方向に並んで取り付けられている。例えば、一の奇数番目(例えば、7番目の)の保持体5Gに対して配列方向の両側に位置する2つの奇数番目(例えば、5番目と9番目)の保持体5E,5Iの配列方向への隙間Gは、一の奇数番目の保持体5Gの配列方向への寸法よりも大きい。そのため、一の奇数番目の保持体5Gをベース3から取り外す際に、一の奇数番目の保持体5Gを配列方向の両側に並ぶ2つの奇数番目の保持体5E,5Iに干渉することなく、配列方向と直交する基準面Rと平行に移動させることができる。一の奇数番目の保持体5Gをベース3へ取り付ける際も同様に、一の奇数番目の保持体5Gを配列方向の両側に並ぶ2つの奇数番目の保持体5E,5Iに干渉することなく、基準面Rと平行に移動させることができる。このとき、一の奇数番目の保持体5Gの移動方向は、図15に示すように、基準面Rと平行な方向であればよく、左右方向に限定されない。
 ベース3の第2側部31bに取り付けられた偶数番目の保持体5についても同様である。
 尚、この関係は、複数の保持体5の各間隔が少なくとも第2ピッチのときに成立し、好ましくは、複数の保持体5の各間隔が少なくとも第1ピッチのときにも成立する。
 さらに、ベース3(詳しくは、取付ブロック44)に形成され、ボルト58が螺合するネジ孔44dは、基準面Rと平行に延びている。詳しくは、ベース3は、ピッチ調整機構4を有している。保持体5は、ピッチ調整機構4の取付ブロック44にボルト58によって固定される。取付ブロック44には、保持体5の取付用のボルト58が螺合するネジ孔44dが形成されている。ネジ孔44dは、基準面Rと平行に、より具体的には左右方向に延びている。さらに、保持体5が取付ブロック44に取り付けられた状態において、ボルト58は、基準面Rと平行な方向からアクセスして操作することができる。詳しくは、ベース3の側部31において、一の保持体5に対し配列方向の両側に位置する2つの保持体5の間には、一の保持体5が基準面Rと平行に移動可能な隙間Gが形成されている。この隙間Gに工具等を挿入することによって、基準面Rと平行な方向からボルト58にアクセスして、ボルト58を操作することができる。そして、ネジ孔44dが基準面Rと平行な方向に延びているので、基準面Rと平行な方向から挿入された工具によってボルト58のボルト58の締結及び締結解除の作業を行うことができる。その結果、配列方向の両側に位置する2つの保持体5の影響を受けることなく、ボルト58の締結及び締結解除の作業を行うことができる。
 このように、保持体5は、ベース3に固定するためのボルト58を基準面Rと平行な方向から操作できる共に、基準面Rと平行な方向へ移動させてベース3から取り外したり、ベース3へ取り付けたりすることができる。これにより、他の保持体5がベース3に取り付けられたまま、一の保持体5だけをベース3に着脱することができる。
 また、保持部61は、配列方向と直交する方向のうちの第1方向としての前後方向へベース3と並んで配置され、保持体5の取付部51は、複数の側部31のうち前後方向以外の方向を向く第1側部31a及び第2側部31bに取り付けられている。このため、ボルト58に対する操作や保持体5を着脱する操作を、保持部61の影響を受けることなく行うことができる。つまり、ベース3の第3側部31cには保持部61が対向して配置されている。保持体5が第3側部31cに取り付けられていると、ボルト58に対する操作や保持体5を着脱する操作において保持部61が邪魔になる。一方、ベース3の第1側部31a及び第2側部31bには保持部61が対向して配置されていないので、ボルト58に対する操作や保持体5を着脱する操作を、保持部61の影響を受けることなく行うことができる。
 以上のように、基板保持装置2は、ベース3と、ベース3に取り付けられ、基板を保持する複数の保持体5とを備え、複数の保持体5は、所定の配列方向に配列されていると共に、配列方向に交差する仮想面である基準面Rと平行に着脱可能にベース3に取り付けられている。
 この構成によれば、保持体5は、配列方向に交差する基準面Rと平行にベース3に着脱可能となっている。そのため、複数の保持体5がベース3に取り付けられた状態において、一の保持体5を、他の保持体5がベース3に取り付けられたまま、基準面Rと平行に移動させて、ベース3から取り外すことができる。一の保持体5をベース3に取り付ける際にも、他の保持体5がベース3に取り付けられたまま、一の保持体5を基準面Rと平行に移動させて、ベース3へ取り付けることができる。つまり、一の保持体5を着脱する際に、基板保持装置2の全体を分解する必要がなく、他の保持体5がベース3に取り付けられた状態を維持できるので、基板保持装置2のメンテナンス性を向上させることができる。
 また、保持体5は、ベース3に取り付けられる取付部51と、基板を保持する保持部61とを有し、ベース3は、配列方向と直交する方向を向く複数の側部31を有し、保持部61は、配列方向と直交する方向のうちの第1方向へベース3と並んで配置され、取付部51は、複数の側部31のうち第1方向以外の方向を向く第1側部31aに取り付けられている。
 この構成によれば、ベース3と保持部61とが第1方向に並んでいる。そのため、取付部51を複数の側部31のうち第1方向を向く側部31に取り付けると、ベース3、取付部51及び保持部61は、この順で第1方向に並ぶことになる。その場合、取付部51をベース3に着脱すべく取付部51を取り扱う際に保持部61が邪魔になる。例えば、取付部51をベース3に第1方向からボルト締結する場合に、保持部61が邪魔になり、ボルト58の操作が煩雑となる。また、取付部51を第1方向からベース3に取り付ける場合にも、他の保持体5の保持部61の存在により、ベース3のうち取付部51が取り付けられる部分が視認しづらく、取付部51の取付作業が煩雑となる。
 それに対し、取付部51を複数の側部31のうち第1方向以外の方向を向く第1側部31aに取り付けることによって、保持部61の影響を受けることなく、取付部51をベース3に着脱することができる。
 さらに、複数の側部31は、第1方向以外の方向を向く第2側部31bを含み、複数の保持体5は、配列方向に配列された順で交互に、第1側部31a及び第2側部31bに取り付けられている。
 この構成によれば、全ての保持体5を一の側部31に取り付ける場合に比べて、第1側部31a及び第2側部31bのそれぞれにおいて保持体5を取り付けるためのスペースに余裕が生じる。その結果、保持体5をベース3に着脱する際の作業性を向上させることができる。
 また、第1側部31aと第2側部31bとは、互いに反対側を向いている。
 この構成によれば、第1側部31aと第2側部31bとは互いに反対側を向いているので、第1側部31aに対する保持体5の着脱と第2側部31bに対する保持体5の着脱とをベース3に対してそれぞれ反対側から行うことができる。これにより、第1側部31aに取り付けられた保持体5と第2側部31bに取り付けられた保持体5とが、それぞれの保持体5の着脱に影響し合うことを抑制することができる。
 具体的には、第1側部31aと第2側部31bとは、第1方向と直交する方向を向いている。
 この構成によれば、保持部61と、第1側部31aに取り付けられた保持体5と、第2側部31bに取り付けられた保持体5とを、保持体5の着脱に与える影響が小さくなるように配置することができる。
 また、保持体5は、ベース3にボルト58によって固定されており、ベース3に形成され、ボルト58が螺合するネジ孔44dは、基準面Rと平行に延びている。
 この構成によれば、保持体5の着脱と同様に、保持体5をベース3に固定するためのボルト58の締結及び締結解除の操作も基準面Rと平行な方向から行われることになる。複数の保持体5がベース3に取り付けらえた状態においては、一の保持体5を基準面Rと平行に移動させることができるスペースが確保されている。そのため、このスペースを利用して、ボルト58の締結及び締結解除の操作を行うことができる。その結果、ボルト58の締結及び締結解除の作業性も向上させることができる。
 また、保持体5は、ベース3に対する傾きを調整する傾き調整部7を有している。
 この構成によれば、ベース3に対する保持体5の傾きは、傾き調整部7によって調整される。ベース3に対する保持体5の傾きは、ベース3への保持体5の取付状態にも依存する。しかし、ベース3には、配列方向に並ぶ複数の保持体5が取り付けられており、ベース3への保持体5の取付時に保持体5の傾きを調整することは容易くはない。傾き調整部7を設けることによって、保持体5をベース3に取り付けた状態で、ベース3に対する保持体5の傾きを調整することができる。換言すると、保持体5をベース3に取り付ける際に、ベース3に対する保持体5の傾きを厳格に管理する必要がないので、保持体5の取付の作業性を向上させることができる。
 さらに、傾き調整部7は、保持体5の複数の箇所に設けられている。
 この構成によれば、保持体5の複数の箇所で保持体5の傾きを調整できる。その結果、ベース3に対する保持体5の傾きの調整能力を向上させることができる。
 また、傾き調整部7は、保持体5がベース3に取り付けられた状態において、基準面Rと平行な方向から操作可能な位置に配置されている。
 この構成によれば、保持体5がベース3に取り付けられた状態における傾き調整部7の操作性を向上させることができる。
 また、ベース3には、摺動ブロック42と、摺動ブロック42を配列方向へ案内するレール43とを有するリニアガイド41が設けられ、保持体5は、摺動ブロック42に取り付けられ、配列方向への位置を調整可能に構成されている。
 この構成によれば、保持体5は、配列方向への位置を調整可能にベース3に取り付けられている。つまり、複数の保持体5の配列方向における各間隔を調整することができる。この場合、リニアガイド41等が設けられていない構成に比べて、ベース3の構成が複雑となる。このような構成であっても、複数の保持体5を基準面Rと平行に着脱可能にベース3に取り付けることによって、保持体5のメンテナンス性を向上させることができる。
 さらに、摺動ブロック42には、保持体5を取り付けるための取付ブロック44が取り付けられ、保持体5は、取付ブロック44に取り付けられることによって摺動ブロック42に取り付けられている。
 この構成によれば、保持体5は、取付ブロック44を介して摺動ブロック42に間接的に取り付けられている。
 《その他の実施形態》
 以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
 例えば、基板保持装置2の保持体5の個数は12個に限定されない。保持体5の個数は複数であればよい。
 また、複数の保持体5の配列方向における間隔は、調整不能、即ち固定であってもよい。つまり、ピッチ調整機構4を省略してもよい。その場合、保持体5は、ベース3の本体30に取り付けられる。
 また、基準面Rは、配列方向と交差していればよく、直交していなくてもよい。つまり、保持体5は、配列方向である上下方向に対して、斜め上方又は斜め下方に移動してベース3に着脱されてもよい。
 複数の保持体5は、ベース3の第1側部31a及び第2側部31bに取り付けられているが、これに限定されない。例えば、全ての保持体5が、ベース3の一の側部31(例えば、第1側部31a)に取り付けられてもよい。
 また、複数の保持体5がベース3の複数の側部31に取り付ける場合であっても、第1側部31a及び第2側部31bに限定されず、任意の側部31に取り付けられ得る。例えば、複数の保持体5は、第1側部31a及び第4側部31dに取り付けられてもよい。
 傾き調整部7の個数は、3個に限定されない。傾き調整部7は、1個、2個又は4個以上であってもよい。さらに、保持体5は、傾き調整部7を有していなくてもよい。
 保持体5は、ピッチ調整機構4の取付ブロック44に取り付けられているが、これに限定されない。例えば、ピッチ調整機構4は、取付ブロック44を有さず、保持体5は、摺動ブロック42に取り付けられてもよい。
2    基板保持装置
3    ベース
31   側部
31a  第1側部
31b  第2側部
41   リニアガイド
42   摺動ブロック
43   レール
44   取付ブロック
44d  ネジ孔
5    保持体
51   取付部
58   ボルト
61   保持部
7    傾き調整部
R    基準面

 

Claims (11)

  1.  ベースと、
     前記ベースに取り付けられ、基板を保持する複数の保持体とを備え、
     前記複数の保持体は、所定の配列方向に配列されていると共に、前記配列方向に交差する仮想面である基準面と平行に着脱可能に前記ベースに取り付けられている基板保持装置。
  2.  請求項1に記載の基板保持装置において、
     前記保持体は、前記ベースに取り付けられる取付部と、基板を保持する保持部とを有し、
     前記ベースは、前記配列方向と直交する方向を向く複数の側部を有し、
     前記保持部は、前記配列方向と直交する方向のうちの第1方向へ前記ベースと並んで配置され、
     前記取付部は、前記複数の側部のうち前記第1方向以外の方向を向く第1側部に取り付けられている基板保持装置。
  3.  請求項2に記載の基板保持装置において、
     前記複数の側部は、第1方向以外の方向を向く第2側部を含み、
     前記複数の保持体は、前記配列方向に配列された順で交互に、前記第1側部及び前記第2側部に取り付けられている基板保持装置。
  4.  請求項3に記載の基板保持装置において、
     前記第1側部と前記第2側部とは、互いに反対側を向いている基板保持装置。
  5.  請求項4に記載の基板保持装置において、
     前記第1側部と前記第2側部とは、前記第1方向と直交する方向を向いている基板保持装置。
  6.  請求項1乃至5の何れか1つに記載の基板保持装置において、
     前記保持体は、前記ベースにボルトによって固定されており、
     前記ベースに形成され、前記ボルトが螺合するネジ孔は、前記基準面と平行に延びている基板保持装置。
  7.  請求項1乃至6の何れか1つに記載の基板保持装置において、
     前記保持体は、前記ベースに対する傾きを調整する傾き調整部を有している基板保持装置。
  8.  請求項7に記載の基板保持装置において、
     前記傾き調整部は、前記保持体の複数の箇所に設けられている基板保持装置。
  9.  請求項7又は8に記載の基板保持装置において、
     前記傾き調整部は、前記保持体が前記ベースに取り付けられた状態において、前記基準面と平行な方向から操作可能な位置に配置されている基板保持装置。
  10.  請求項1乃至9の何れか1つに記載の基板保持装置において、
     前記ベースには、摺動ブロックと、前記摺動ブロックを前記配列方向へ案内するレールとを有するリニアガイドが設けられ、
     前記保持体は、前記摺動ブロックに取り付けられ、前記配列方向への位置を調整可能に構成されている基板保持装置。
  11.  請求項10に記載の基板保持装置において、
     前記摺動ブロックには、前記保持体を取り付けるための取付ブロックが取り付けられ、
     前記保持体は、前記取付ブロックに取り付けられることによって前記摺動ブロックに取り付けられている基板保持装置。
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