CN114203607A - 工业用机器人 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种工业用机器人，其具备：具有在上下方向上以规定间距重叠的多个手的装载机构，其中，即使能够在不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也可以使装载机构的基端侧部分小型化。在所述工业用机器人中，例如，在手(15)上，构成手(15)的装载部的一部分的被固定部(38)，通过头部(62a)配置于下侧的螺栓(62)，而固定于手(15)的固定部(50)。在配置于螺栓(62)的下侧的所有固定部(51～59)及被固定部(39～47)，形成有用于使工具(T)从配置于最下方的手(24)的下侧卡合于头部(62a)的贯通孔(h1)，贯通孔(h1)的内径大于头部(62a)的外径。

Description

工业用机器人
技术领域
本发明涉及一种搬送半导体晶片等搬送对象物的工业用机器人。
背景技术
目前，已知有一种搬送半导体晶片等基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人具备：装载多个基板的基板装载机构；和将基板装载机构的基端侧支承为能够转动的第一臂。基板装载机构具备：具有装载基板的手叉并且在上下方向上以规定间距重叠的五个手。手具备：固定手叉的叉固定部；和用于将手叉固定到叉固定部的带头螺栓。叉固定部构成手的基端侧部分。
在五个手中的配置于最上方的手及从上数配置于第二个的手中，手叉通过从上侧拧入的螺栓固定于叉固定部。配置于最上方的手的叉固定部和从上数配置于第二个的手的叉固定部，配置于在前后方向上错开的位置。从上数配置于第二个的手的叉固定部，配置于未被配置于最上方的手从上侧覆盖的位置。
另外，在配置于最下方的手及从下数配置于第二个的手中，手叉通过从下侧拧入的螺栓固定于叉固定部。配置于最下方的手的叉固定部和从下数配置于第二个的手的叉固定部，配置于在前后方向上错开的位置。从下数配置于第二个手的叉固定部，配置于未被配置于最下方的手从下侧覆盖的位置。
此外，从上数配置于第三个的手的叉固定部，配置于在前后方向上与其余四个手的叉固定部错开的位置。所述叉固定部配置于未被其余四个手从上侧及下侧中的至少任一方覆盖的位置。
因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，即使五个手配置成在上下方向上重叠，另外，即使在所有手的手叉被固定在叉固定部的状态下，也能够单独地装拆五个手各自的螺栓。因此，在所述工业用机器人中，即使五个手以在上下方向上重叠的方式配置，也能够在不拆下其他手的手叉的情况下相对于叉固定部单独地装拆五个手各自的手叉，工业用机器人的维护性提高。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2010－179420号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
在专利文献1所记载的工业用机器人中，最上方的手的叉固定部和从上数第二个手的叉固定部配置于在前后方向上错开的位置，且最下方的手的叉固定部和从下数第二个手的叉固定部配置于在前后方向上错开的位置，并且，从上数配置于第三个的手的叉固定部配置于在前后方向上与其余四个手的叉固定部错开的位置，使得不拆下其他手的手叉的情况下可以相对于叉固定部单独地装拆五个手各自的手叉。因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，能够提高维护性，另一方面，基板装载机构的基端侧部分大型化，其结果是，工业用机器人有可能大型化。
另外，在专利文献1所记载的工业用机器人中，当增加基板装载机构所具备的手的数量以便可以一次搬送更多的基板时，如果以各手的叉固定部在上下方向上不重叠的状态配置各手的叉固定部，以便不拆下其他手的手叉的情况下可以相对于叉固定部单独地装拆多个手各自的手叉，则基板装载机构的基端侧部分更加大型化，其结果是，工业用机器人有可能大型化。
于是，本发明的课题在于提供一种工业用机器人，具备装载机构，所述装载机构具有在上下方向上以规定间距重叠的多个手并且装载多个搬送对象物，其中，即使能够在不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也能够使装载机构的基端侧部分小型化。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人，具备：装载多个搬送对象物的装载机构，其中，装载机构具备：具有搬送对象物的装载部且在上下方向上以规定间距重叠的至少三个以上的多个手。所述手具备：固定装载部的被固定部的固定部；和用于将被固定部固定到固定部的带头的螺栓。多个手的固定部在上下方向上以规定间距重叠。被固定部通过以上下方向为轴向配置的螺栓，以在上下方向上与固定部重叠的状态固定于固定部。将头部配置于下侧的螺栓设为向上螺栓，将头部配置于上侧的螺栓设为向下螺栓，将多个手中除了配置于最上方的手和配置于最下方的手之外的手且具有向上螺栓的手设为第一手，将多个手中除了配置于最上方的手和配置于最下方的手之外的手且具有向下螺栓的手设为第二手，则在装载机构具备第一手的情况下，在配置于第一手的向上螺栓的下侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最下方的手的下侧卡合于第一手的向上螺栓的头部的贯通孔；在装载机构具备第二手的情况下，在配置于第二手的向下螺栓的上侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最上方的手的上侧卡合于第二手的向下螺栓的头部的贯通孔。贯通孔的内径大于头部的外径。
在本发明的工业用机器人中，手具备：固定装载部的被固定部的固定部；和用于将被固定部固定到固定部的带头的螺栓。被固定部通过以上下方向为轴向配置的螺栓，以在上下方向上与固定部重叠的状态固定于固定部。另外，在本发明中，多个手的固定部在上下方向上以规定间距重叠，但在装载机构具备第一手的情况下，在配置于第一手的向上螺栓的下侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最下方的手的下侧卡合于第一手的向上螺栓的头部的贯通孔；在装载机构具备第二手的情况下，在配置于第二手的向下螺栓的上侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最上方的手的上侧卡合于第二手的向下螺栓的头部的贯通孔。此外，在本发明中，贯通孔的内径大于头部的外径。
因此，在本发明中，即使多个手的固定部在上下方向上重叠，并且，即使在所有手的装载部被固定在固定部的状态下，也能够使用工具，从配置于最下方的手的下侧或者从配置于最上方的手的上侧，装拆多个手的各自的螺栓。因此，在本发明中，即使多个手的固定部在上下方向上重叠，也能够在不拆下其他手的装载部的情况下，单独地装拆多个手各自的装载部。另外，在本发明中，由于多个手的固定部在上下方向上重叠，因此，能够使装载机构的基端侧部分小型化。即，在本发明中，即使在能够不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也能够使装载机构的基端侧部分小型化。
在本发明中，理想的是，配置于最上方的手所具有的螺栓是向下螺栓，多个手中除了配置于最上方的手之外的其余的手所具有的螺栓是向上螺栓。如果这样构成，则能够使使用工具松动的向上螺栓因自重而落到配置于最下方的手的下侧。因此，能够容易地拆下除了配置于最上方的手之外的其余的手所具有的螺栓，其结果是，能够容易地进行螺栓的拆下作业。
在本发明中，理想的是，手在搬送搬送对象物时沿水平方向直线移动，将与手的移动方向和上下方向正交的方向设为正交方向，则被固定部通过相对于正交方向上的手的中心配置于正交方向的两侧的螺栓而固定于固定部，多个手中除了配置于最上方的手之外的其余的手所具有的螺栓，随着从配置于上侧的手朝向配置于下侧的手而朝向正交方向的内侧逐渐错开。如果这样构成，多个手的固定部在上下方向上以规定间距重叠，即使不能从上侧目视确认除了配置于最上方的手之外的其余的手各自所具有的螺栓的位置，也易于掌握除了配置于最上方的手之外的其余的手各自所具有的螺栓在水平方向上配置于哪个位置。
在本发明中，理想的是，装载部具备：装载搬送对象物的装载部主体，装载部主体与被固定部分体形成。在本发明中，虽然产生了必须根据形成于被固定部的贯通孔等的数量，对多个手中的每一个改变被固定部的形状的情况，但是，如果这样构成，则装载部主体能够在所有手中设为共同的形状。因此，能够降低手的零件成本。
发明效果
如上所述，在本发明中，提供一种工业用机器人，具备装载机构，所述装载机构具有：在上下方向上以规定间距重叠的多个手，并且装载多个搬送对象物，其中，即使能够在不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也能够使装载机构的基端侧部分小型化。
附图说明
图1是本发明的实施方式的工业用机器人的立体图。
图2是图1所示的装载机构、线性驱动机构及倾斜修正机构等的立体图。
图3是图1所示的装载机构的立体图。
图4是从不同的方向表示图3所示的装载机构的立体图。
图5是图3所示的装载机构的一部分的仰视图。
图6是用于说明图5的E－E截面的结构的剖视图。
图7是用于说明图5的F－F截面的结构的剖视图。
图8是用于说明图5的G－G截面的结构的剖视图。
图9是用于说明图5的H－H截面的结构的剖视图。
图10是用于说明图5的J－J截面的结构的剖视图。
图11是用于说明图5的K－K截面的结构的剖视图。
图12是用于说明在图3中从上数配置于第二个的手的结构的底视图。
图13是用于说明在图3中从上数配置于第五个的手的结构的底视图。
图14是用于说明在图3中配置于最下方的手的结构的底视图。
图15是图3所示的装载机构的基端部的侧视图。
图16是图3所示的装载机构的后视图。
图17是图3所示的装载机构的后视图。
[附图标记说明]
1…机器人(工业用机器人)；2…晶片(半导体晶片、搬送对象物)；3…装载机构；14…手；15～23…手(第一手)；24…手；36…叶片(装载部主体、装载部的一部分)；37～47…叶片保持部件(被固定部、装载部的一部分)；49～59…固定部件(固定部)；61…螺栓(向下螺栓)；61a～71a…头部；62～71…螺栓(向上螺栓)；h1～h9…贯通孔；T…工具；X…手的移动方向；Y…正交方向。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(工业用机器人的整体结构)
图1是本发明的实施方式的工业用机器人1的立体图。图2是图1所示的装载机构3、线性驱动机构5～7及倾斜修正机构8等的立体图。图3是图1所示的装载机构3的立体图。
本实施方式的工业用机器人1(下面，设为“机器人1”)是用于搬送作为搬送对象物的半导体晶片2(下面，设为“晶片2”)的机器人。晶片2形成为薄的圆盘状。机器人1例如从以规定间距层叠地收容有多个晶片2的盒(省略图示)同时搬出多个晶片2，将从盒中搬出的多个晶片2搬入构成半导体制造系统(省略图示)的规定处理装置中。另外，机器人1从以规定间距层叠地收容有多个晶片2的处置装置同时搬出多个晶片2，将搬出的多个晶片2搬入盒中。
机器人1具备：装载有多个晶片2的装载机构3；装载有一片晶片2的手4；用于使装载机构3沿水平方向直线移动的线性驱动机构5；用于使手4沿水平方向直线移动的线性驱动机构6；用于使线性驱动机构5、6沿水平方向直线移动的线性驱动机构7；用于修正装载机构3及手4的倾斜的倾斜修正机构8；保持倾斜修正机构8的主体部9；以及将主体部9支承为能够沿水平方向移动的基座部件10。
在装载机构3上装载有在上下方向上以恒定间距重叠的多片晶片2。装载机构3具备：装载晶片2的多个手14～24。本实施方式的装载机构3具备：11个手14～24。在手14～24中的每一个手上，装载有一片晶片2。11个手14～24在上下方向上以规定间距重叠。具体地说，11个手14～24以恒定间距重叠。11个手14～24朝向相同的方向。
另外，装载机构3具备：用于改变11个手14～24在上下方向上的间距的间距变更机构25。手4配置于比手14～24靠上侧。手4朝向与手14～24相同的方向。关于手14～24及间距变更机构25的具体结构，将在后文中进行叙述。此外，装载机构3的基端侧部分被罩27覆盖(参照图2)，在图3等中，省略罩27的图示。
线性驱动机构5使装载机构3以直线往复移动。即，线性驱动机构5使11个手14～24直线往复移动。线性驱动机构5配置于比手14～24靠下侧的位置。线性驱动机构5例如具备电动机、滚珠丝杠及导向机构等。线性驱动机构6使手4朝向与由线性驱动机构5移动的手14～24的往复移动方向相同的方向直线往复移动。线性驱动机构6配置于比手14～24靠下侧的位置。线性驱动机构6与线性驱动机构5同样，例如，具备电动机、滚珠丝杠及导向机构等。
线性驱动机构7使线性驱动机构5、6朝向与由线性驱动机构5、6移动的手4、14～24的往复移动方向相同的方向直线往复移动。即，线性驱动机构7使手14～24与线性驱动机构5一起朝向与由线性驱动机构5、6移动的手4、14～24的往复移动方向相同的方向进一步往复移动，并且使手4与线性驱动机构6一起进一步往复移动。线性驱动机构7配置于线性驱动机构5、6的下侧。线性驱动机构7与线性驱动机构5、6同样，例如，具备两个电动机和两个滚珠丝杠及导向机构等。
倾斜修正机构8配置于线性驱动机构7的下侧。线性驱动机构7装载于倾斜修正机构8上。倾斜修正机构8通过使线性驱动机构7倾斜，来修正装载有晶片2的手4、14～24的倾斜。倾斜修正机构8具备：以相对于上下方向倾斜的规定第一方向作为转动的轴向，使手4、14～24与线性驱动机构7等一起转动的第一倾斜修正机构；以相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向，使手4、14～24与线性驱动机构7等一起转动的第二倾斜修正机构。第一方向与装载机构3及手4的往复移动方向大致一致。第二方向是与第一方向正交的方向。
主体部9具备：将倾斜修正机构8保持为能够升降的柱状框架31。柱状框架31形成为在上下方向上细长的柱状。另外，主体部9具备：构成主体部9的下端部并且能够相对于基座部件10水平移动的基台32；以及固定有柱状框架31的下端并且能够相对于基台32转动的转动基座33。机器人1具备：使倾斜修正机构8相对于柱状框架31升降的升降机构、以上下方向作为转动的轴向使转动基座33相对于基台32转动的转动机构；以及使基台32相对于基座部件10水平移动的水平移动机构。
(手的结构)
图4是从不同的方向表示图3所示的装载机构3的立体图。图5是图3所示的装载机构3的一部分的底视图。图6是用于说明图5的E－E截面的结构的剖视图。图7是用于说明图5的F－F截面的结构的剖视图。图8是用于说明图5的G－G截面的结构的剖视图。图9是用于说明图5的H－H截面的结构的剖视图。图10是用于说明图5的J－J截面的结构的剖视图。
图11是用于说明图5的K－K截面的结构的剖视图。图12是用于说明图3所示的手15的结构的底视图。图13是用于说明图3所示的手18的结构的底视图。图14是用于说明图3所示的手24的结构的底视图。图15是图3所示装载机构3的基端部的侧视图。图16、图17是图3所示的装载机构3的后视图。
如上所述，装载机构3具备：11个手14～24。手14～24从上侧朝向下侧按所述顺序配置。手14～24在搬送晶片2时沿水平方向直线移动。在下面的说明中，将手14～24的移动方向(往复移动方向)即图3等X方向设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的图3等中的Y方向设为“左右方向”。本实施方式的左右方向(Y方向)是与手14～24的移动方向和上下方向正交的正交方向。
另外，下面，为了方便说明，将前后方向的一侧即图3等中的X1方向侧设为“前”侧，将其相反侧即图3等中的X2方向侧设为“后”侧，将左右方向的一侧即图3等中的Y1方向侧设为“右”侧，将其相反侧即图3等的Y2方向侧设为“左”侧。在本实施方式中，前侧是手14～24的前端侧，后侧是手14～24的基端侧。
手14～24具备：装载晶片2的叶片36。如图6所示，手14具备：固定叶片36的叶片保持部件37；固定叶片保持部件37的固定部件49；以及用于将叶片保持部件37固定到固定部件49上的带头的螺栓61。与手14同样，手15具备：固定叶片36的叶片保持部件38；固定叶片保持部件38的固定部件50；以及用于将叶片保持部件38固定到固定部件50上的带头的螺栓62。
同样地，手16具备：固定叶片36的叶片保持部件39；固定叶片保持部件39的固定部件51；以及用于将叶片保持部件39固定到固定部件51的带头的螺栓63。手17具备：固定叶片36的叶片保持部件40；固定叶片保持部件40的固定部件52；以及用于将叶片保持部件40固定到固定部件52上的带头的螺栓64。手18具备：固定叶片36的叶片保持部件41；固定叶片保持部件41的固定部件53；以及用于将叶片保持部件41固定到固定部件53上的带头的螺栓65(参照图6和图7)。
另外，手19具备：固定叶片36的叶片保持部件42；固定叶片保持部件42的固定部件54；以及用于将叶片保持部件42固定到固定部件54上的带头的螺栓66。手20具备：固定叶片36的叶片保持部件43；固定叶片保持部件43的固定部件55；以及用于将叶片保持部件43固定到固定部件55上的带头的螺栓67。手21具备：固定叶片36的叶片保持部件44；固定叶片保持部件44的固定部件56：以及用于将叶片保持部件44固定到固定部件56上的带头的螺栓68(参照图8和图9)。
此外，手22具备：固定叶片36的叶片保持部件45；固定叶片保持部件45的固定部件57；以及用于将叶片保持部件45固定搭配固定部件57上的带头的螺栓69。手23具备：固定叶片36的叶片保持部件46；固定叶片保持部件46的固定部件58；以及用于将叶片保持部件46固定到固定部件58上的带头的螺栓70。手24具备：固定叶片36的叶片保持部件47；固定叶片保持部件47的固定部件59；以及用于将叶片保持部件47固定到固定部件59的带头的螺栓71(参照图9～图11)。
在本实施方式中，晶片2的装载部由叶片保持部件37～47中的每一个和叶片36构成。另外，本实施方式的叶片36是装载晶片2的装载部主体，叶片保持部件37～47是装载部的被固定部。另外，固定部件49～59是固定作为被固定部的叶片保持部件37～47的固定部。此外，与手14～24同样，手4具备：装载晶片2的叶片73(参照图2)。
叶片36形成为平板状。叶片36配置为，叶片36的厚度方向和上下方向一致。从上下方向观察时的叶片36的形状是大致U形状。叶片36与叶片保持部件37～47分体形成。
叶片保持部件37～47形成为大致长方形的平板状。叶片保持部件37～47配置为，叶片保持部件37～47的厚度方向和上下方向一致。本实施方式的手14具备两片叶片保持部件37，两片叶片保持部件37以在左右方向上隔开间隔的状态配置。同样地，手15～24各自具备两片叶片保持部件38～47，两片叶片保持部件38～47各自以在左右方向上隔开间隔的状态配置。
两片叶片保持部件37为彼此相同的形状，从上下方向观察时，两片叶片保持部件37相对于左右方向上的手14的中心线对称地配置。同样，两片叶片保持部件38～47各自为彼此相同的形状，从上下方向观察时，两片叶片保持部件38～47各自相对于左右方向上的手15～24各自的中心线对称地配置。另外，叶片保持部件37～47各自的外形为彼此相同的形状。
叶片36的后端部(基端部)通过沉头螺栓等螺栓，固定于两片叶片保持部件37～47的前端部。叶片36的后端部配置于叶片保持部件37～47的前端部的上侧，以在上下方向上与叶片保持部件37～47的前端部重叠的状态固定于叶片保持部件37～47。叶片36的后端部的下表面与叶片保持部件37～47的前端部的上表面接触。叶片保持部件37～47的前端部的上表面朝向下侧稍微凹陷。
固定部件49～59形成为平板状。固定部件49～59配置成，固定部件49～59的厚度方向和上下方向一致。固定部件49～59的外形为彼此大致相同的形状。固定部件49～59在上下方向上以规定间距重叠。如上所述，手14～24从上侧朝向下侧按所述顺序配置，固定部件49～59从上侧朝向下侧按所述顺序配置。从固定部件49的上侧，看不到配置于固定部件49的下侧的固定部件50～59。
叶片保持部件37通过以上下方向作为轴向配置的螺栓61，固定于固定部件49的前端部。叶片保持部件37以在上下方向上与固定部件49重叠的状态，固定于固定部件49。具体地说，叶片保持部件37配置于固定部件49的前端部的上侧，以与固定部件49的前端部重叠的状态固定于固定部件49。叶片保持部件37的下表面与固定部件49的前端部的上表面接触。固定部件49的前端部的上表面朝向下侧稍微凹陷。此外，也可以在叶片保持部件37的下表面和固定部件49的前端部的上表面之间，配置高度调整用的垫片。
同样地，叶片保持部件38通过以上下方向作为轴向配置的螺栓62，固定于固定部件50的前端部；叶片保持部件39通过以上下方向作为轴向配置的螺栓63，固定于固定部件51的前端部；叶片保持部件40通过以上下方向作为轴向配置的螺栓64，固定于固定部件52的前端部；叶片保持部件41通过以上下方向作为轴向配置的螺栓65，固定于固定部件53的前端部；叶片保持部件42通过以上下方向作为轴向配置的螺栓66，固定于固定部件54的前端部。
另外，叶片保持部件43通过以上下方向作为轴向配置的螺栓67，固定于固定部件55的前端部；叶片保持部件44通过以上下方向为轴向配置的螺栓68，固定于固定部件56的前端部；叶片保持部件45通过以上下方向作为轴向配置的螺栓69，固定于固定部件57的前端部；叶片保持部件46通过以上下方向作为轴向配置的螺栓70，固定于固定部件58的前端部；叶片保持部件47通过以上下方向作为轴向配置的螺栓71，固定于固定部件59的前端部。
叶片保持部件38～47分别配置于固定部件50～59各自的前端部的上侧，以在上下方向上与固定部件50～59各自的前端部重叠状态固定于固定部件50～59。叶片保持部件38～47各自的下表面与固定部件50～59各自的前端部的上表面接触。固定部件50～59的前端部的上表面朝向下侧稍微凹陷。此外，也可以在叶片保持部件38～47各自的下表面和固定部件50～59的前端部各自的上表面之间，配置高度调整用的垫片。
除了固定叶片保持部件37～47的固定部件49～59的前端部之外的固定部件49～59的大半部分，配置于构成装载机构3的下表面的下框架75和构成装载机构3的上表面的上框架76(图15～图17参照)之间。下框架75固定于线性驱动机构5的可动部。在下框架75的上表面，固定有朝向上侧立起的多个支柱，上框架76固定于多个支柱的上端部。此外，在图3和图4等中，省略上框架76的图示。
螺栓61是在头部61a形成有六边形的凹部的带六角孔的螺栓。螺栓62～71也同样是在头部62a～71a形成有六边形的凹部的带六角孔的螺栓。螺栓61的头部61a，配置于螺栓61的轴部的上侧。螺栓62～71的头部62a～71a，配置于螺栓62～71的轴部的下侧。本实施方式的螺栓62～71是头部62a～71a配置于下侧的螺栓即向上螺栓，螺栓61是头部61a配置于上侧的螺栓即向下螺栓。
即，在本实施方式中，配置于最上方的手14所具有的螺栓61是向下螺栓。另外，11个手14～24中除了配置于最上方的手14之外的其余的手15～24所具有的螺栓62～71是向上螺栓。本实施方式的手15～23是除了11个手14～24中配置于最上方的手14和配置于最下方的手24之外的手，是具有向上螺栓的手即第一手。
如图3所示，叶片保持部件37通过四根螺栓61固定于固定部件49。具体地说，两片叶片保持部件37中的一片叶片保持部件37通过两根螺栓61固定于固定部件49，另一片叶片保持部件37通过两根螺栓61固定于固定部件49。固定一片叶片保持部件37的两根螺栓61相对于手14的左右方向的中心配置于左右方向的一侧，固定另一片叶片保持部件37的两根螺栓61相对于手14的左右方向的中心配置于左右方向的另一侧。即，叶片保持部件37通过相对于手14的左右方向的中心配置于左右方向的两侧的螺栓61，而固定于固定部件49。
同样地，叶片保持部件38～47各自通过四根螺栓62～71分别固定于各固定部件50～59。另外，叶片保持部件38～47各自通过相对于各手15～24的左右方向的中心配置于左右方向的两侧的各螺栓62～71，而固定于各固定部件50～59。
配置于左右方向的一侧的两根螺栓61，以在前后方向上隔开间隔的状态配置。配置于左右方向的另一侧的两根螺栓61，也以在前后方向上隔开间隔的状态配置。配置于左右方向的一侧的两根螺栓61和配置于左右方向的另一侧的两根螺栓61，在前后方向上配置于相同的位置。
同样地，配置于左右方向的一侧的两根螺栓62，以在前后方向上隔开间隔的状态配置。配置于左右方向的另一侧的两根螺栓62，也以在前后方向上隔开间隔的状态配置。配置于左右方向的一侧的两根螺栓62和配置于左右方向的另一侧的两根螺栓62，在前后方向上配置于相同的位置。
同样地，配置于左右方向的一侧的两根螺栓63～71各自以在前后方向上隔开间隔的状态配置，配置于左右方向的另一侧的两根螺栓63～71各自也以在前后方向上隔开间隔的状态配置。另外，同样地，配置于左右方向的一侧的两根螺栓63～71的每一个和配置于左右方向的另一侧的两根螺栓63～71的每一个，在前后方向上配置于相同的位置。
在左右方向的两侧，两根螺栓61配置于叶片保持部件37的左右方向的外侧端部(参照图3)。在左右方向的两侧，两根螺栓61和两根螺栓62在左右方向及前后方向上配置于相同的位置，在两根螺栓61的正下方配置有两根螺栓62。在左右方向的两侧，两根螺栓62和两根螺栓63在左右方向上配置于相同的位置，并且在前后方向上配置于错开的位置。螺栓62和螺栓63从后侧朝向前侧按所述顺序交替配置。
另外，在左右方向的两侧，两根螺栓64和两根螺栓65在左右方向上配置于相同的位置，并且在前后方向上配置于错开的位置。螺栓64和螺栓65从后侧朝向前侧按所述顺序交替配置。螺栓64、65配置于比螺栓62、63靠左右方向的内侧。另外，在左右方向的两侧，两根螺栓66和两根螺栓67在左右方向上配置于相同的位置，并且在前后方向上配置于错开的位置。螺栓66和螺栓67从后侧朝向前侧按所述顺序交替配置。螺栓66、67配置于比螺栓64、65靠左右方向的内侧。
另外，在左右方向的两侧，两根螺栓68和两根螺栓69在左右方向上配置于相同的位置，并且在前后方向上配置于错开的位置。螺栓68和螺栓69从后侧朝向前侧按所述顺序交替配置。螺栓68、69配置于比螺栓66、67靠左右方向的内侧的位置。螺栓70配置于比螺栓68、69靠左右方向的内侧的位置。螺栓71配置于比螺栓70靠左右方向的内侧的位置。
这样，螺栓61和螺栓62在水平方向上配置于相同的位置，螺栓62～71各自在水平方向上配置于彼此错开的位置。即，从上下方向观察时，螺栓61和螺栓62重叠，螺栓62～71各自配置于彼此错开的位置且不重叠。
另外，螺栓64、65配置于比螺栓62、63靠左右方向的内侧的位置，螺栓66、67配置于比螺栓64、65靠左右方向的内侧的位置，螺栓68、69配置于比螺栓66、67靠左右方向的内侧的位置，螺栓70配置于比螺栓68、69靠左右方向的内侧的位置，并且螺栓71配置于比螺栓70靠左右方向的内侧的位置。多个手14～24中的除了配置于最上方的手14之外的其余的手15～24所具有的螺栓62～71，随着从配置于上侧的手15朝向配置于下侧的手24朝向左右方向的内侧逐渐错开。另外，在本实施方式中，在前后方向上，螺栓62、螺栓64、螺栓66、螺栓68、螺栓70以及螺栓71配置于相同的位置，螺栓63、螺栓65、螺栓67以及螺栓69配置于相同的位置。
如图6所示，在叶片保持部件37上，形成有配置螺栓61的头部61a等的配置孔37a。在固定部件49形成有供螺栓61的外螺纹卡合的螺纹孔。螺栓61从上侧拧入固定部件49。此外，在本实施方式中，螺栓61配置于即使手4和手14重叠，螺栓61也不从上侧覆盖手4的位置。
在叶片保持部件38上形成有供螺栓62的外螺纹卡合的螺纹孔。同样地，叶片保持部件39～47各自形成有供螺栓63～71各自的外螺纹卡合的螺纹孔。在固定部件50上，形成有配置螺栓62的头部62a等的配置孔50a。同样地，在固定部件51～59各自上，形成有配置螺栓63～71各自的头部63a～71a等的配置孔51a～59a(参照图6～图11)。螺栓62～71各自从下侧拧入各叶片保持部件38～47。
如图6所示，在配置于螺栓62的下侧的各叶片保持部件39～47及各固定部件51～59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓62的头部62a卡合的贯通孔h1。即，在配置于螺栓62的下侧的所有手16～24的叶片保持部件39～47及固定部件51～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部62a卡合的贯通孔h1。贯通孔h1形成于头部62a的正下方。
另外，在配置于螺栓63的下侧的各叶片保持部件40～47及各固定部件52～59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓63的头部63a卡合的贯通孔h2。即，在配置于螺栓63的下侧的所有手17～24的叶片保持部件40～47及固定部件52～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部63a卡合的贯通孔h2。贯通孔h2形成于头部63a的正下方。
如图7所示，在配置于螺栓64的下侧的各叶片保持部件41～47及各固定部件53～59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓64的头部64a卡合的贯通孔h3。即，在配置于螺栓64的下侧的所有手18～24的叶片保持部件41～47及固定部件53～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部64a卡合的贯通孔h3。贯通孔h3形成于头部64a的正下方。
另外，在配置于螺栓65的下侧的各叶片保持部件42～47及各固定部件54～59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓65的头部65a卡合的贯通孔h4。即，在配置于螺栓65的下侧的所有手19～24的叶片保持部件42～47及固定部件54～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部65a卡合的贯通孔h4。贯通孔h4形成于头部65a的正下方。
如图8所示，在配置于螺栓66的下侧的各叶片保持部件43～47及各固定部件55～59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓66的头部66a卡合的贯通孔h5。即，在配置于螺栓66的下侧的所有手20～24的叶片保持部件43～47及固定部件55～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部66a卡合的贯通孔h5。贯通孔h5形成于头部66a的正下方。
另外，在配置于螺栓67的下侧的各叶片保持部件44～47及各固定部件56～59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓67的头部67a卡合的贯通孔h6。即，在配置于螺栓67的下侧的所有手21～24的叶片保持部件44～47及固定部件56～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部67a卡合的贯通孔h6。贯通孔h6形成于头部67a的正下方。
如图9所示，在配置于螺栓68的下侧的各叶片保持部件45～47及各固定部件57～59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓68的头部68a卡合的贯通孔h7。即，在配置于螺栓68的下侧的所有手22～24的叶片保持部件45～47及固定部件57～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部68a卡合的贯通孔h7。贯通孔h7形成于头部68a的正下方。
另外，在配置于螺栓69的下侧的叶片保持部件46、47及固定部件58、59上，形成有用于工具T使从固定部件59的下侧与螺栓69的头部69a卡合的贯通孔h8。即，在配置于螺栓69的下侧的所有手23、24的叶片保持部件46、47及固定部件58、59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部69a卡合的贯通孔h8。贯通孔h8形成于头部69a的正下方。
如图10所示，在配置于螺栓70的下侧的叶片保持部件47及固定部件59上，形成有用于使工具T从固定部件59的下侧与螺栓70的头部70a卡合的贯通孔h9。即，在配置于螺栓70的下侧的所有手24的叶片保持部件47及固定部件59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与头部70a卡合的贯通孔h9。贯通孔h9形成于头部70a的正下方。
这样，在叶片保持部件39及固定部件51上形成有贯通孔h1，在叶片保持部件40及固定部件52上形成有贯通孔h1、h2，在叶片保持部件41及固定部件53上形成有贯通孔h1～h3(参照图13)，在叶片保持部件42及固定部件54上形成有贯通孔h1～h4，在叶片保持部件43及固定部件55上形成有贯通孔h1～h5。另外，在叶片保持部件44及固定部件56上形成有贯通孔h1～h6，在叶片保持部件45及固定部件57上形成有贯通孔h1～h7，在叶片保持部件46及固定部件58上形成有贯通孔h1～h8，在叶片保持部件47及固定部件59上形成有贯通孔h1～h9(参照图14)。
贯通孔h1～h9是沿上下方向贯通的圆孔。贯通孔h1～h9的内径大于螺栓62～70的头部62a～70a的外径。工具T是T形扳手。在工具T的前端部，形成有与头部62a～70a的凹部卡合的六角柱状的卡合部。
在固定部件49上，固定有具有用于从下侧支承固定部件50的支承部78a的支承部件78。即，手14具备：用于从下侧支承手15的支承部78a。在本实施方式中，在左右方向的两侧，在固定部件49上固定有支承部件78，能够通过两个支承部78a在左右方向的两侧从下侧支承固定部件50。
同样地，在固定部件50的左右方向的两端侧固定有支承部件79，所述支承部件79具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件51的支承部79a；在固定部件51的左右方向的两端侧固定有支承部件80，所述支承部件80具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件52的支承部80a；在固定部件52的左右方向的两端侧固定有支承部件81，所述支承部件81具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件53的支承部81a；在固定部件53的左右方向的两端侧固定有支承部件82，所述支承部件82具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件54的支承部82a。
另外，在固定部件54的左右方向的两端侧固定有支承部件83，所述支承部件83具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件55的支承部83a；在固定部件55的左右方向的两端侧固定有支承部件84，所述支承部件84具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件56的支承部84a；在固定部件56的左右方向的两端侧固定有支承部件85，所述支承部件85具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件57的支承部85a；在固定部件57的左右方向的两端侧固定有支承部件86，所述支承部件86具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件58的支承部86a；在固定部件58的左右方向的两端侧固定有支承部件87，所述支承部件87具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件59的支承部87a。
即，手15～23各自具备：用于从下侧支承各手16～24的两个支承部79a～87a。支承部78a～87a形成为平板状。支承部78a～87a配置为，支承部78a～87a的厚度方向和上下方向一致。在固定部件50～59的左右方向的两端侧部分的下表面，形成有配置各支承部78a～87a的凹部50b～59b。
凹部50b～59b从固定部件50～59各自的下表面朝向上侧，并且从固定部件50～59各自的左右方向的两端面朝向左右方向的内侧凹陷。凹部50b～59b的上表面是与上下方向正交的平面。支承部78a～87a的厚度(上下方向的厚度)比凹部50b～59b的上下方向的宽度薄。支承部件79～87各自在上下方向上相对于各固定部件49～58的位置，能够通过调整用的螺栓88来调整。
另外，在装载机构3的上框架76上固定有支承部件89，所述支承部件89具有用于在左右方向的两侧从下侧支承固定部件49的支承部89a。支承部89a形成为平板状，且配置为支承部89a的厚度方向和上下方向一致。此外，除了图15之外，省略支承部件89的图示。
在固定部件49的左右方向的两端侧部分的下表面，形成有配置支承部89a的凹部49b。与凹部50b～59b同样，凹部49b从固定部件49的下表面朝向上侧凹陷，且从固定部件49的左右方向的两端面朝向左右方向的内侧凹陷。凹部49b的上表面是与上下方向正交的平面。支承部89a的厚度(上下方向的厚度)比凹部49b的上下方向上的宽度薄。支承部件89在上下方向上相对于上框架76的位置能够通过调整用的螺栓来调整。
(间距变更机构的结构)
间距变更机构25改变11片叶片36在上下方向上的间距。即，间距变更机构25改变11个手14～24的装载部在上下方向上的间距。具体地说，间距变更机构25将11片叶片36的上下方向上的间距，设为：规定的第一间距(参照图17)、和比第一间距宽的第二间距(参照图16)。第一间距例如为8mm左右，第二间距例如为10mm左右。间距变更机构25具备：使手24升降的升降机构91；和沿上下方向直线引导手14～24的导向机构92。
升降机构91具备：作为驱动源的气缸93；以及连接气缸93和手24的连接部件94。气缸93是杆(活塞)的移动速度较慢的低速气缸。气缸93固定于下框架75的上表面侧。气缸93配置成气缸93的杆朝向下侧突出。连接部件94固定于气缸93的杆的下端部和手24的固定部件59的下表面。
导向机构92是具备多个花键轴95～98和供花键轴95～98插通的多个外筒99的滚珠花键机构。本实施方式的导向机构92具备四根花键轴95～98和22个外筒99。花键轴95～98配置为花键轴95～98的轴向和上下方向一致。花键轴95～98的下端固定于下框架75，花键轴95～98的上端固定于上框架76。外筒99形成为圆筒状。外筒99固定于手14～24中的每一个上。具体地说，外筒99在固定部件49～59中的每一个上各固定有两个。
在本实施方式中，当11片叶片36的间距为第一间距时，气缸93的杆缩回，成为向上推手24的状态。这时，如图17所示，固定部件49的上表面与上框架76的下表面接触，固定部件50的上表面与固定部件49的下表面接触，固定部件51的上表面与固定部件50的下表面接触，固定部件52的上表面与固定部件51的下表面接触，固定部件53的上表面与固定部件52的下表面接触，固定部件54的上表面与固定部件53的下表面接触，固定部件55的上表面与固定部件54的下表面接触，固定部件56的上表面与固定部件55的下表面接触，固定部件57的上表面与固定部件56的下表面接触，固定部件58的上表面与固定部件57的下表面接触，固定部件59的上表面与固定部件58的下表面接触。
另外，当11片叶片36的间距为第一间距时，在上下方向上，在固定部件49和支承部89a的上表面之间形成有间隙，在固定部件50和支承部78a的上表面之间形成有间隙，在固定部件51和支承部79a的上表面之间形成有间隙，在固定部件52和支承部80a的上表面之间形成有间隙，在固定部件53和支承部81a的上表面之间形成有间隙，在固定部件54和支承部82a的上表面之间形成有间隙，在固定部件55和支承部83a的上表面之间形成有间隙，在固定部件56和支承部84a的上表面之间形成有间隙，在固定部件57和支承部85a的上表面之间形成有间隙，在固定部件58和支承部86a的上表面之间形成有间隙，在固定部件59和支承部87a的上表面之间形成有间隙。
另外，当11片叶片36的间距为第一间距时，在上下方向上，在固定部件50和支承部89a的下表面之间形成有间隙，在固定部件51和支承部78a的下表面之间形成有间隙，在固定部件52和支承部79a的下表面之间形成有间隙，在固定部件53和支承部80a的下表面之间形成有间隙，在固定部件54和支承部81a的下表面之间形成有间隙，在固定部件55和支承部82a的下表面之间形成有间隙，在固定部件56和支承部83a的下表面之间形成有间隙，在固定部件57和支承部84a的下表面之间形成有间隙，在固定部件58和支承部85a的下表面之间形成有间隙，在固定部件59和支承部86a的下表面之间形成有间隙。
另一方面，当11片叶片36的间距为第二间距时，气缸93的杆突出，处于将手24拉下的状态。这时，如图16所示，固定部件49与支承部89a的上表面接触，固定部件50与支承部78a的上表面接触，固定部件51与支承部79a的上表面接触，固定部件52与支承部80a的上表面接触，固定部件53与支承部81a的上表面接触，固定部件54与支承部82a的上表面接触，固定部件55与支承部83a的上表面接触，固定部件56与支承部84a的上表面接触，固定部件57与支承部85a的上表面接触，固定部件58与支承部86a的上表面接触，固定部件59与支承部87a的上表面接触。
另外，当11片叶片36的间距为第二间距时，在上下方向上，在固定部件49的上表面和上框架76的下表面之间形成有间隙，在固定部件50的上表面和固定部件49的下表面之间形成有间隙，在固定部件51的上表面和固定部件50的下表面之间形成有间隙，在固定部件52的上表面和固定部件51的下表面之间形成有间隙，在固定部件53的上表面和固定部件52的下表面之间形成有间隙，在固定部件54的上表面和固定部件53的下表面之间形成有间隙，在固定部件55的上表面和固定部件54的下表面之间形成有间隙，在固定部件56的上表面和固定部件55的下表面之间形成有间隙，在固定部件57的上表面和固定部件56的下表面之间形成有间隙，在固定部件58的上表面和固定部件57的下表面之间形成有间隙，在固定部件59的上表面和固定部件58的下表面之间形成有间隙。
在11片叶片36的间距为第二间距的状态下，当升降机构91使手24上升时(具体地说，当气缸93使手24上升时)，固定部件59的上表面与固定部件58的下表面接触将固定部件58提起，固定部件58的上表面与固定部件57的下表面接触将固定部件57提起，固定部件57的上表面与固定部件56的下表面接触将固定部件56提起，固定部件56的上表面与固定部件55的下表面接触将固定部件55提起，固定部件55的上表面与固定部件54的下表面接触将固定部件54提起，固定部件54的上表面与固定部件53的下表面接触将固定部件53提起，固定部件53的上表面与固定部件52的下表面接触将固定部件52提起，固定部件52的上表面与固定部件51的下表面接触将固定部件51提起，固定部件51的上表面与固定部件50的下表面接触将固定部件50提起，固定部件50的上表面与固定部件49的下表面接触将固定部件49提起，11片叶片36的间距成为第一间距。
这样，在11片叶片36的间距为第二间距的状态下，当升降机构91使手24上升时，手24～15的上表面依次与手23～14的下表面接触将手23～14按所述顺序依次提起，11片叶片36的间距成为第一间距。即，在11片叶片36的间距为第二间距的状态下，当升降机构91使手24上升时，手14～23伴随手24的上升而上升，11片叶片36在上下方向上的间距成为第一间距。
另一方面，在11片叶片36的间距为第一间距的状态下，当升降机构91使手24下降时(具体地说，当气缸93使手24下降时)，固定部件59接触支承部87a的上表面将固定部件58下拉，固定部件58接触支承部86a的上表面将固定部件57下拉，固定部件57接触支承部85a的上表面将固定部件56下拉，固定部件56接触支承部84a的上表面将固定部件55下拉，固定部件55接触支承部83a的上表面将固定部件54下拉，固定部件54接触支承部82a的上表面将固定部件53下拉，固定部件53接触支承部81a的上表面将固定部件52下拉，固定部件52接触支承部80a的上表面将固定部件51下拉，固定部件51接触支承部79a的上表面将固定部件50下拉，固定部件50接触支承部78a的上表面将固定部件49下拉，11片叶片36的间距成为第二间距。
这样，在11片叶片36的间距为第一间距的状态下，当升降机构91使手24下降时，手24～15依次接触支承部87a～78a的上表面将手23～14按顺序依次下拉，11片叶片36的间距成为第二间距。即，在11片叶片36的间距为第一间距的状态下，当升降机构91使手24下降时，手14～23随着手24的下降而下降，11片叶片36在上下方向上的间距成为第二间距。
(本实施方式的主要效果)
如上所述，在本实施方式中，在叶片保持部件39～47及固定部件51～59上，形成有用于使工具T从配置于最下方的手24的下侧与螺栓62的头部62a卡合的贯通孔h1。另外，在本实施方式中，在叶片保持部件40～47及固定部件52～59上，形成有用于使工具T从手24的下侧与螺栓63的头部63a卡合的贯通孔h2。在叶片保持部件41～47及固定部件53～59上，形成有用于使工具T从手24的下侧与螺栓64的头部64a卡合的贯通孔h3。在叶片保持部件42～47及固定部件54～59上，形成有用于使工具T从手24的下侧螺栓65的头部65a卡合的贯通孔h4。
此外，在本实施方式中，在叶片保持部件43～47及固定部件55～59上，形成有用于使工具T从手24的下侧与螺栓66的头部66a卡合的贯通孔h5。在叶片保持部件44～47及固定部件56～59上，形成有用于使工具T从手24的下侧与螺栓67的头部67a卡合的贯通孔h6。在叶片保持部件45～47及固定部件57～59上，形成有用于使工具T从手24的下侧与螺栓68的头部68a卡合的贯通孔h7。在叶片保持部件46、47及固定部件58、59上，形成有用于使工具T从手24的下侧与螺栓69的头部69a卡合的贯通孔h8。在叶片保持部件47及固定部件59上，形成有用于使工具T从手24的下侧与螺栓70的头部70a卡合的贯通孔h9。另外，在本实施方式中，贯通孔h1～h9的内径大于螺栓62～70的头部62a～70a的外径。
因此，在本实施方式中，即使固定部件49～59在上下方向上重叠，另外，即使在叶片保持部件38～46固定于固定部件50～58的状态下，也能够使用工具T从配置于最下方的手24的下侧装拆螺栓62～70。另外，在本实施方式中，由于螺栓61从上侧拧入固定部件49，因此，能够从配置于最上方的手14的上侧装拆螺栓61，并且由于螺栓71从下侧拧入叶片保持部件47，因此，能够从手24的下侧装拆螺栓71。
因此，在本实施方式中，即使固定部件49～59在上下方向上重叠，也能够不从固定部件49～59拆下其他叶片保持部件37～47的情况下将叶片保持部件37～47中的任意叶片保持部件37～47与叶片36一起相对于固定部件49～59单独地装拆。另外，在本实施方式中，由于固定部件49～59在上下方向上重叠，因此，能够使装载机构3的基端侧部分(后端侧部分)小型化。即，在本实施方式中，即使能够从固定部件49～59不拆下其他叶片保持部件37～47的情况下将叶片保持部件37～47中的任意叶片保持部件37～47与叶片36一起相对于固定部件49～59单独地装拆，也能够使装载机构3的基端侧部分小型化。
在本实施方式中，螺栓62～70是头部62a～70a配置于下侧的螺栓即向上螺栓。因此，在本实施方式中，能够使使用工具T松动的螺栓62～70因自重落到配置于最下方的手24的下侧。因此，在本实施方式中，即使固定部件49～59在上下方向上重叠，也能够容易地拆下螺栓62～70，其结果是，能够容易地进行螺栓62～70的拆下作业。
在本实施方式中，螺栓62～71随着从配置于上侧的手15朝向配置于下侧的手24而朝向左右方向的内侧逐渐错开。因此，在本实施方式中，即使固定部件49～59在上下方向上重叠且难以目视确认螺栓62～70的位置，也易于掌握螺栓62～70在水平方向上位于哪个位置。
在本实施方式中，虽然因形成于叶片保持部件37上的配置孔37a、形成于叶片保持部件38～47上的螺纹孔的位置及贯通孔h1～h9的数量等的影响，必须根据各手14～24改变叶片保持部件37～47的形状，但是在本实施方式中，与叶片保持部件37～47分体形成的叶片36在所有手14～24中共用。因此，在本实施方式中，能够降低手14～24的零件成本。
(其他实施方式)
上述实施方式是本发明的优选实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内能够进行多种变形实施。
在上述实施方式中，螺栓61的头部61a也可以配置于螺栓61的轴部的下侧。在这种情况，配置螺栓61的头部61a等的配置孔形成于固定部件49，供螺栓61的外螺纹卡合的螺纹孔形成于叶片保持部件37。另外，在这种情况下，螺栓61和螺栓62在左右方向及前后方向中的至少任意一方上配置于互相错开的位置。即，螺栓61和螺栓62在水平方向上配置于互相错开的位置。另外，在这种情况下，在配置于螺栓61的下侧的所有叶片保持部件38～47及固定部件50～59形成有用于使工具T从固定部件59的下侧卡合于头部61a的贯通孔。
在上述实施方式中，在螺栓62～70中，也可以有供头部62a～70a配置于轴部的上侧的向下螺栓，只要能够进行松动的螺栓62～70的拆下即可。在这种情况下，在配置于所述向下螺栓的上侧所有叶片保持部件37～45及固定部件49～57，形成有用于使工具T从叶片保持部件37的上侧(即，从配置于最上方的手14的上侧)卡合于所述向下螺栓的头部的贯通孔。
即使在这种情况下，与上述实施方式同样地，能够在不从固定部件49～59上拆下其他叶片保持部件37～47的情况下将叶片保持部件37～47中的任意叶片保持部件37～47与叶片36一起相对于固定部件49～59单独地装拆。另外，即使在这种情况下，也能够使装载机构3的基端侧部分小型化。此外，如果在手15～23中存在具有向下螺栓的手，则具有所述向下螺栓的手是第二手。
在上述实施方式中，螺栓71的头部71a也可以配置于螺栓71的轴部的上侧。在这种情况下，在配置于螺栓71的上侧的所有叶片保持部件37～46及固定部件49～58上，形成有用于使工具T从叶片保持部件37的上侧与头部71a卡合的贯通孔。另外，在上述实施方式中，螺栓62～71随着从配置于上侧的手15朝向配置于下侧的手24而朝向左右方向的内侧逐渐错开，但是螺栓62～71也可以在左右方向上随机配置。
在上述实施方式中，各叶片保持部件37～47和叶片36也可以一体形成。即，晶片2的装载部也可以由一体形成的一个部件构成。另外，在上述实施方式中，螺栓61～71也可以是除了带六角孔的螺栓之外的螺栓。另外，在上述实施方式中，叶片保持部件37～47也可以通过两根或三根螺栓61～71固定于固定部件49～59，也可以通过5根以上的螺栓61～71固定于固定部件49～59。
在上述实施方式中，各叶片保持部件37～47也可以配置于固定部件49～59各自的前端部的下侧。在这种情况下，叶片保持部件37及固定部件50～59各自形成有螺纹孔，在叶片保持部件38～47及固定部件49上形成有配置头部61a～71a等的配置孔。另外，在上述实施方式中，装载机构3所具备的手的数量也可以是十个以下或者12个以上，只要是三个以上即可。
在上述实施方式中，机器人1也可以不具备手4。在这种情况下，无需线性驱动机构6等。另外，在上述的实施方式中，机器人1也可以不具备倾斜修正机构8。此外，在上述实施方式中，机器人1也可以是水平多关节型机器人。在这种情况下，机器人1具备装载机构3可转动地连接于前端部的多关节臂和手4可转动地连接于前端部的多关节臂来代替线性驱动机构5～7。另外，在上述实施方式中，机器人1也可以搬送除了晶片2之外的搬送对象物。例如，机器人1也可以搬送液晶显示装置用的玻璃基板。

Claims (4)

1.一种工业用机器人，具备：装载多个搬送对象物的装载机构，所述工业用机器人的特征在于，
所述装载机构具备：具有所述搬送对象物的装载部且在上下方向上以规定间距重叠的至少三个以上的多个手，
所述手具备：固定所述装载部的被固定部的固定部；和用于将所述被固定部固定到所述固定部的带头的螺栓，
多个所述手的所述固定部在上下方向上以规定间距重叠，
所述被固定部通过以上下方向为轴向配置的所述螺栓，以在上下方向上与所述固定部重叠的状态固定于所述固定部，
将头部配置于下侧的所述螺栓设为向上螺栓，将头部配置于上侧的所述螺栓设为向下螺栓，将多个所述手中除了配置于最上方的所述手和配置于最下方的所述手之外的所述手且具有所述向上螺栓的所述手设为第一手，将多个所述手中除了配置于最上方的所述手和配置于最下方的所述手之外的所述手且具有所述向下螺栓的所述手设为第二手，则
在所述装载机构具备所述第一手的情况下，在配置于所述第一手的所述向上螺栓的下侧的所有所述手的所述固定部及所述被固定部，形成有用于将工具从配置于最下方的所述手的下侧卡合于所述第一手的所述向上螺栓的所述头部的贯通孔，
在所述装载机构具备所述第二手的情况下，在配置于所述第二手的所述向下螺栓的上侧的所有所述手的所述固定部及所述被固定部，形成有用于将工具从配置于最上方的所述手的上侧卡合于所述第二手的所述向下螺栓的所述头部的贯通孔，
所述贯通孔的内径大于所述头部的外径。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
配置于最上方的所述手所具有的所述螺栓是所述向下螺栓，
多个所述手中除了配置于最上方的所述手之外的其余的所述手所具有的所述螺栓是所述向上螺栓。
3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，
所述手在搬送所述搬送对象物时沿水平方向直线移动，
将与所述手的移动方向和上下方向正交的方向设为正交方向，
则所述被固定部通过相对于所述正交方向上的所述手的中心配置于所述正交方向的两侧的所述螺栓，而固定于所述固定部，
多个所述手中除了配置于最上方的所述手之外的其余的所述手所具有的所述螺栓，随着从配置于上侧的所述手朝向配置于下侧的所述手而朝向所述正交方向的内侧逐渐错开。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，
所述装载部具备：装载所述搬送对象物的装载部主体，
所述装载部主体与所述被固定部分体形成。
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