CN114454148A - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种工业用机器人，具备：被支承部；和配置于被支承部的下侧并且连接被支承部的支承部，且能够容易地进行被支承部的提升作业。所述工业用机器人具备：被支承部(12)；支承部(11)，所述支承部(11)配置于被支承部(12)的下侧，并且以能够转动的方式连接被支承部(12)；转动部件(27)，所述转动部件(27)从上侧固定被支承部(12)并与被支承部(12)一起转动，并且以能够转动的方式保持于支承部(11)；固定用螺栓(30)，所述固定用螺栓(30)用于将被支承部(12)固定到转动部件(27)上；以及提升用螺栓(31)，所述提升用螺栓(31)用于相对于转动部件(27)提升被支承部(12)。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种例如用于输送待输送对象物的工业用机器人。

背景技术

目前，已知一种水平多关节型工业用机器人(例如，参照专利文献1)。

专利文献1所记载的工业用机器人具备：手，在所述手上搭载有基板(玻璃基板)；臂，所述臂在前端侧以能够转动的方式连接有手；以及主体部，所述主体部以能够转动的方式连接臂的基端侧。臂由基端侧以能够转动的方式连接至主体部的第一臂部和基端侧以能够转动的方式连接至第一臂部的前端侧的第二臂部构成。手以能够转动的方式连接至第二臂部的前端侧。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，臂配置于主体部的上侧，手配置于臂的上侧。另外，第二臂部的基端部配置于第一臂部的前端部的上侧。在第一臂部和第二臂部的连接部配置有减速器。减速器为空心波动齿轮装置。减速器的壳体通过螺栓固定于第一臂部的前端部。减速器的输出轴配置于第二臂部的基端部的下侧。在减速器的输出轴上，从上侧通过螺栓固定有第二臂部的基端部，减速器的输出轴能够与第二臂部一起相对于第一臂部转动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2020－69575号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的工业用机器人的情况下，在组装工业用机器人后，将臂相对于主体部伸展时，受臂及手的自重等的影响，有时臂弯曲，且手的转动中心轴相对于上下方向(垂直方向)倾斜。因此，在所述工业用机器人中，例如，有时在组装工业用机器人后，将工业用机器人从工厂出厂前，必须在第二臂部的基端部的下表面和减速器的输出轴的上端面之间放入垫片，调节手的转动中心轴相对于上下方向的倾斜。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，在将垫片放入第二臂部的基端部的下表面和减速器的输出轴的上端面之间时，需要拧松用于将第二臂部的基端部固定到减速器的输出轴上的螺栓，并相对于减速器的输出轴提升第二臂部，但就第二臂部的提升作业而言，目前，作业者利用专用夹具或者通过人力来进行。因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，第二臂部的提升作业成为辛苦的作业。

于是，本发明的课题在于，提供一种工业用机器人，包括：被支承部；和配置于被支承部的下侧并且连接被支承部的支承部，能够容易地进行被支承部的提升作业。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述课题，本发明提供了一种工业用机器人，为一种水平多关节型的工业用机器人，包括：被支承部；支承部，所述支承部配置于被支承部的下侧，并且以能够转动的方式连接被支承部；转动部件，所述转动部件从上侧固定被支承部并与被支承部一起转动，并且以能够转动的方式保持于支承部；固定用螺栓，所述固定用螺栓用于将被支承部固定到转动部件上；以及提升用螺栓，所述提升用螺栓用于相对于转动部件提升被支承部。

本发明的工业用机器人具备提升用螺栓，所述提升用螺栓用于相对于转动部件提升被支承部。因此，在本发明中，如果在松开用于将被支承部固定到转动部件上的固定用螺栓的状态下转动提升用螺栓，则能够相对于以能够转动的方式保持于支承部的转动部件提升被支承部。因此，在本发明中，能够容易地进行被支承部相对于转动部件的提升作业。另外，在本发明中，由于能够容易地进行被支承部相对于转动部件的提升作业，因此能够容易地进行在被支承部和转动部件之间放入垫片的作业。

在本发明中，例如，工业用机器人还包括：手；臂，所述臂在前端侧以能够转动的方式连接手；以及主体部，所述主体部以能够转动的方式连接臂的基端侧，其中，臂包括：作为被支承部的上侧臂部；和作为支承部的下侧臂部。在下侧臂部的前端侧，以能够转动的方式连接有上侧臂部的基端侧。

在本发明中，例如，臂包括：第一臂部，所述第一臂部的基端侧以能够转动的方式连接至主体部；第二臂部，所述第二臂部的基端侧以能够转动的方式连接至第一臂部的前端侧；以及第三臂部，所述第三臂部的基端侧以能够转动的方式连接至第二臂部的前端侧。在第一臂部和第二臂部的关系中，第一臂部为下侧臂部，并且第二臂部为上侧臂部。在第二臂部和第三臂部的关系中，第二臂部为下侧臂部，并且第三臂部为上侧臂部。

在本发明中，例如，工业用机器人还包括：手；臂，所述臂在前端侧以能够转动的方式连接手；以及作为支承部的主体部，所述主体部以能够转动的方式连接臂的基端侧，其中，臂包括：作为被支承部的第一臂部，所述第一臂部的基端侧以能够转动的方式连接至主体部。

在本发明中，优选的是，在被支承部形成有供提升用螺栓卡合的螺丝孔，提升用螺栓的下端能够与转动部件的上表面接触。如果这样构成，则通过从被支承部的上侧转动提升用螺栓，能够相对于转动部件提升被支承部。因此，与供提升用螺栓卡合的螺丝孔形成于转动部件上且提升用螺栓的上端能够与被支承部的下表面接触的情况相比，能够更容易地进行被支承部的提升作业。

另外，为了解决上述课题，本发明提供一种工业用机器人，包括：被支承部；支承部，所述支承部配置于被支承部的下侧，并且以能够直线滑动的方式连接被支承部；滑动部件，所述滑动部件从上侧固定被支承部并与被支承部一起滑动，并且以能够滑动的方式保持于支承部；固定用螺栓，所述固定用螺栓用于将被支承部固定到滑动部件上；以及提升用螺栓，所述提升用螺栓用于相对于滑动部件提升被支承部。

本发明的工业用机器人具备提升用螺栓，所述提升用螺栓用于相对于滑动部件提升被支承部。因此，在本发明中，如果在松开用于将被支承部固定到滑动部件上的固定用螺栓的状态下转动提升用螺栓，则能够相对于以能够滑动的方式保持于支承部的滑动部件提升被支承部。因此，在本发明中，能够容易地进行被支承部相对于滑动部件的提升作业。另外，在本发明中，由于能够容易地进行被支承部相对于滑动部件的提升作业，因此能够容易地进行在被支承部和滑动部件之间放入垫片的作业。

发明效果

如上所述，在本发明中，工业用机器人具备被支承部和配置于被支承部的下侧并且连接被支承部的支承部，能够容易地进行被支承部的提升作业。

附图说明

图1是本发明的实施方式的工业用机器人的立体图。

图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。

图3是用于说明图2所示的关节部的结构的剖视图。

图4是用于从图3的E－E方向说明固定用螺栓及提升用螺栓的配置的图。

图5是在图3所示的关节部提升了第三臂部的状态的剖视图。

图6是本发明的另一实施方式的工业用机器人的侧视图。

图7是用于说明图6所示的被支承部和支承部的连接部分的结构的剖视图。

[附图标记说明]

1：机器人(工业用机器人)；4、5：手；6：臂；7：主体部(支承部)；10：第一臂部(被支承部、支承部、下侧臂部)；11：第二臂部(被支承部、支承部、上侧臂部、下侧臂部)；12：第三臂部(被支承部、上侧臂部)；12c：螺丝孔；27：输出轴(转动部件)；30：固定用螺栓；31：提升用螺栓；51：机器人(工业用机器人)；55：滑动部(被支承部)；56：滑动保持部(支承部)；77：滑块(滑动部件)。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明的实施方式的工业用机器人1的立体图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。

本实施方式的工业用机器人1是用于输送半导体晶片2的水平多关节型机器人。工业用机器人1组装于半导体制造系统中来使用。工业用机器人1具备：两个手4、5，在所述两个手4、5上搭载有半导体晶片2；臂6，其在前端侧以能够转动的方式连接有手4、5并且沿水平方向动作；以及主体部7，所述主体部7以能够转动的方式连接臂6的基端侧。半导体晶片2形成为圆盘状。在以下说明中，将工业用机器人1称为“机器人1”，将半导体晶片2称为“晶片2”。

臂6具备：第一臂部10，其基端侧以能够转动的方式连接至主体部7；第二臂部11，其基端侧以能够转动的方式连接至第一臂部10的前端侧；以及第三臂部12，其基端侧以能够转动的方式连接在第二臂部11的前端侧。本实施方式的臂6由第一臂部10、第二臂部11以及第三臂部12这三个臂部构成。第一臂部10、第二臂部11及第三臂部12形成为空心状。

主体部7、第一臂部10、第二臂部11以及第三臂部12在上下方向上从下侧起依次配置。即，主体部7配置于第一臂部10的下侧，第一臂部10配置于第二臂部11的下侧，第二臂部11配置于第三臂部12的下侧。在本实施方式中，在主体部7和第一臂部10的关系中，第一臂部10为被支承部，主体部7为支承部，所述支承部配置于被支承部即第一臂部10的下侧，并且以能够转动的方式连接第一臂部10。

另外，在本实施方式中，在第一臂部10和第二臂部11的关系中，第二臂部11为被支承部，第一臂部10为支承部，所述支承部配置于被支承部即第二臂部11的下侧，并且以能够转动的方式连接第二臂部11。另外，在第一臂部10和第二臂部11的关系中，第二臂部11为上侧臂部，第一臂部10为下侧臂部。

此外，在本实施方式中，在第二臂部11和第三臂部12的关系中，第三臂部12为被支承部，第二臂部11为支承部，所述支承部配置于被支承部即第三臂部12的下侧，并且以能够转动的方式连接第三臂部12。另外，在第二臂部11和第三臂部12的关系中，第三臂部12为上侧臂部，第二臂部11为下侧臂部。

手4、5形成为从上下方向观察时的形状为大致Y形状。手4、5的基端部以能够转动的方式连接至第三臂部12的前端侧。手4相对于第三臂部12的转动中心和手5相对于第三臂部12的转动中心一致。手4、5各自能够相对于第三臂部12单独地转动。手4、5配置于第三臂部12的上侧。另外，手4配置于手5的上侧。

主体部7具备：以能够转动的方式连接第一臂部10的基端侧的升降部14；和将升降部14保持为能够升降的框体15。第一臂部10的基端侧以能够转动的方式连接在升降部14的上端部。在框体15的内部收纳有使升降部14升降的臂升降机构。臂升降机构例如由滚珠丝杠及使滚珠丝杠的螺旋轴旋转的电动机等构成。

另外，机器人1具备：手转动机构，所述手转动机构使手5相对于第三臂部12转动；手转动机构，所述手转动机构使手4相对于第三臂部12转动；臂部驱动机构，所述臂部驱动机构使第一臂部10及第二臂部11转动，并使由第一臂部10和第二臂部11构成的臂6的一部分伸缩；以及第三臂部转动机构，所述第三臂部转动机构使第三臂部12相对于第二臂部11转动。手转动机构具备：电动机；和用于将电动机的动力减速并传递到手4、5的减速器。

臂部驱动机构具备：电动机；和用于将电动机的动力减速并传递的两个减速器17。电动机配置于框体15的内部，并且被保持于升降部14。两个减速器17中的一个减速器17配置于连接升降部14和第一臂部10的关节部18，将电动机的动力减速并传递到第一臂部10。另一个减速器17配置于连接第一臂部10和第二臂部11的关节部19，将电动机的动力减速并传递到第二臂部11。

第三臂部驱动机构具备：电动机；和用于将电动机的动力减速并传递的减速器17。电动机配置于第二臂部11的内部。减速器17配置于连接第二臂部11和第三臂部12的关节部20，将电动机的动力减速并传递到第三臂部12。

减速器17为空心波动齿轮装置(谐波驱动(注册商标))。在臂部驱动机构中，例如，与日本专利特开2011－230256号公报所记载的工业用机器人同样，电动机和减速器17经由带轮及带相连接。另外，在第三臂部驱动机构中，例如，与日本专利特开2011－230256号公报所记载的工业用机器人同样，电动机和减速器17经由带轮21及带22(参照图3)相连接。此外，在第三臂部驱动机构中，电动机和减速器17也可以经由锥齿轮连接。另外，减速器17也可以为空心波动齿轮装置以外的减速器。

(关节部的结构)

图3是用于说明图2所示的关节部20的结构的剖视图。图4是用于从图3的E－E方向说明固定用螺栓30及提升用螺栓31的配置的图。图5是在图3所示的关节部20提升了第三臂部12的状态的剖视图。

如上所述，在关节部20配置有减速器17。另外，如上所述，减速器17为空心波动齿轮装置。在减速器17的输入轴25的下端固定有带轮21。减速器17的壳体26固定于第二臂部11的前端侧的上表面部。在减速器17的输出轴27上固定有第三臂部12。具体而言，第三臂部12的基端部从上侧固定在输出轴27上。

输出轴27经由轴承28以能够转动的方式保持于壳体26。即，输出轴27经由轴承28及壳体26以能够转动的方式保持于第二臂部11的前端侧的上表面部。在关节部20中，输出轴27为从上侧固定有第三臂部12并且与第三臂部12一起转动的转动部件，所述第三臂部12在第二臂部11和第三臂部12的关系中作为被支承部，转动部件即输出轴27以能够转动的方式保持于第二臂部11，所述第二臂部11在第二臂部11和第三臂部12的关系中为支承部。输出轴27的上表面成为与上下方向正交的平面。

在第三臂部12的基端部形成有固定于输出轴27的被固定部12a。被固定部12a的下侧成为配置输出轴27的凹部，所述凹部从第三臂部12的下表面朝向上侧凹陷。另外，被固定部12a的上侧也为凹部，所述凹部从第三臂部12的上表面朝向下侧凹陷。所述凹部被罩29从上侧覆盖(参照图1、图2)。被固定部12a的上表面及下表面成为与上下方向正交的平面。固定于输出轴27的被固定部12a的下表面与输出轴27的上表面接触。

在关节部20配置有多个固定用螺栓30和多个提升用螺栓31，所述多个固定用螺栓30用于将第三臂部12固定到输出轴27上，所述多个提升用螺栓31用于相对于输出轴27提升第三臂部12。即，机器人1具备固定用螺栓30和提升用螺栓31，所述固定用螺栓30用于将第三臂部12固定到输出轴27上，所述提升用螺栓31用于相对于输出轴27提升第三臂部12。在关节部20，例如配置有十二个固定用螺栓30和四个提升用螺栓31。

固定用螺栓30为内六角螺栓。固定用螺栓30被配置为固定用螺栓30的轴部的轴向和上下方向一致。在被固定部12a(即第三臂部12的基端部)形成有供固定用螺栓30的轴部插通的插通孔12b。插通孔12b沿上下方向贯通被固定部12a。在输出轴27上形成有供固定用螺栓30卡合(具体而言，供形成于固定用螺栓30的轴部的外螺纹卡合)的螺丝孔27a。螺丝孔27a从输出轴27的上表面朝向下侧凹陷。固定用螺栓30从被固定部12a的上侧插通至插通孔12b，并且被拧入螺丝孔27a中，固定用螺栓30的头部配置于被固定部12a的上侧。

提升用螺栓31为头部的外径和轴部的外径相等的固定螺栓。例如，提升用螺栓31为在一端面形成六角形孔的内六角紧定螺丝。提升用螺栓31被配置为提升用螺栓31的轴向和上下方向一致。在第三臂部12的基端部形成有供提升用螺栓31卡合(具体而言，供形成于提升用螺栓31的轴部的外螺纹卡合)的螺丝孔12c。螺丝孔12c沿上下方向贯通被固定部12a。提升用螺栓31从被固定部12a的上侧拧入螺丝孔12c中。提升用螺栓31的长度大于被固定部12a的厚度(上下方向的厚度)，提升用螺栓31的下端能够与输出轴27的上表面接触。

如图4所示，十二个固定用螺栓30排列成以第三臂部12相对于第二臂部11的转动中心为中心的圆环状。另外，十二个固定用螺栓30以第三臂部12相对于第二臂部11的转动中心为中心以等角度排列。四个提升用螺栓31排列成以第三臂部12相对于第二臂部11的转动中心为中心的圆环状。另外，四个提升用螺栓31以第三臂部12相对于第二臂部11的转动中心为中心以等角度排列。在本实施方式中，提升用螺栓31配置于被排列成圆环状的固定用螺栓30的外周侧。

另外，如上所述，在关节部19也配置有减速器17。在关节部19中，壳体26被固定于第一臂部10的前端侧的上表面部，在输出轴27上，从上侧固定有第二臂部11的基端部。输出轴27经由轴承28及壳体26以能够转动的方式保持于第一臂部10的前端侧的上表面部。在关节部19中，输出轴27为从上侧固定有第二臂部11并且与第二臂部11一起转动的转动部件，所述第二臂部11在第一臂部10和第二臂部11的关系中作为被支承部，转动部件即输出轴27以能够转动的方式保持于第一臂部10，所述第一臂部10在第一臂部10和第二臂部11的关系中为支承部。

在关节部19上，与关节部20同样，配置有多个固定用螺栓30和多个提升用螺栓31，所述多个固定用螺栓30用于将第二臂部11固定到输出轴27上，所述多个提升用螺栓31用于相对于输出轴27提升第二臂部11。例如，在关节部19上配置有十二个固定用螺栓30和四个提升用螺栓31。在关节部19上，与关节部20同样，在第二臂部11的基端部形成有供固定用螺栓30的轴部插通的插通孔，在输出轴27上形成有供固定用螺栓30卡合的螺丝孔。在第二臂部11的基端部形成有供提升用螺栓31卡合的螺丝孔，提升用螺栓31的下端能够与输出轴27的上表面接触。与关节部20同样，在关节部19配置有固定用螺栓30及提升用螺栓31。

另外，如上所述，在关节部18也配置有减速器17。在关节部18中，壳体26被固定于主体部7的上端部(具体而言，升降部14的上端部)，在输出轴27上，从上侧固定有第一臂部10的基端部。输出轴27经由轴承28及壳体26以能够转动的方式保持于升降部14的上端部。在关节部18中，输出轴27为从上侧固定有第一臂部10并且与第一臂部10一起转动的转动部件，所述第一臂部10在主体部7和第一臂部10的关系中为被支承部，转动部件即输出轴27以能够转动的方式保持于主体部7，所述主体部7在主体部7和第一臂部10的关系中作为支承部。

与关节部20同样，在关节部18配置有多个固定用螺栓30和多个提升用螺栓31，所述多个固定用螺栓30用于将第一臂部10固定到输出轴27上，所述多个提升用螺栓31用于相对于输出轴27提升第一臂部10。例如，在关节部18上配置有十二个固定用螺栓30和四个提升用螺栓31。在关节部18上，与关节部20同样，在第一臂部10的基端部形成有供固定用螺栓30的轴部插通的插通孔，在输出轴27上形成有供固定用螺栓30卡合的螺丝孔。在第一臂部10的基端部形成有供提升用螺栓31卡合的螺丝孔，提升用螺栓31的下端能够与输出轴27的上表面接触。与关节部20同样，在关节部18配置有固定用螺栓30及提升用螺栓31。

组装机器人1后，例如，在将机器人1从工厂出厂前，为了调节当臂6伸出时的手4、5的转动中心轴相对于上下方向的倾斜度，在关节部20中，有时在第三臂部12的基端部和输出轴27的上表面之间(具体而言，被固定部12a的下表面和输出轴27的上表面之间)放入垫片33。在所述情况下，如图5所示，作业者在松开固定用螺栓30后，以提升用螺栓31向下侧移动的方式拧入提升用螺栓31，并相对于输出轴27提升第三臂部12，之后，在第三臂部12的基端部和输出轴27的上表面之间放入垫片33。当在第三臂部12的基端部和输出轴27的上表面之间放入了垫片33时，作业者松开提升用螺栓31，以使提升用螺栓31向上侧移动，之后拧紧固定用螺栓30(参照图3)。

同样，为了调节手4、5的转动中心轴相对于上下方向的倾斜度，在关节部19中，在将垫片33放入第二臂部11的基端部和输出轴27的上表面之间的情况下，作业者在松开固定用螺栓30后，拧入提升用螺栓31，并相对于输出轴27提升第二臂部11，之后，在第二臂部11的基端部和输出轴27的上表面之间放入垫片33。当将垫片33放入第二臂部11的基端部和输出轴27的上表面之间时，作业者松开提升用螺栓31，以使提升用螺栓31向上侧移动，之后拧紧固定用螺栓30。

同样，为了调节手4、5的转动中心轴相对于上下方向的倾斜度，在关节部18中，在将垫片33放入第一臂部10的基端部和输出轴27的上表面之间的情况下，作业者在松开固定用螺栓30后，拧入提升用螺栓31，并相对于输出轴27提升第一臂部10，之后，在第一臂部10的基端部和输出轴27的上表面之间放入垫片33。当将垫片33放入第一臂部10的基端部和输出轴27的上表面之间时，作业者松开提升用螺栓31，以使提升用螺栓31向上侧移动，之后，拧紧固定用螺栓30。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，机器人1具备提升用螺栓31，所述提升用螺栓31用于在关节部20相对于输出轴27提升第三臂部12。因此，在本实施方式中，如果在松开固定用螺栓30的状态下转动提升用螺栓31，则能够相对于以能够转动的方式保持于第二臂部11的输出轴27提升第三臂部12。因此，在本实施方式中，能够容易地进行第三臂部12相对于输出轴27的提升作业。另外，在本实施方式中，能够容易地进行第三臂部12相对于输出轴27的提升作业，因此能够容易地进行在输出轴27和第三臂部12之间放入垫片33的作业。

同样，在本实施方式中，在关节部19中，如果在松开固定用螺栓30的状态下转动提升用螺栓31，则能够相对于输出轴27提升第二臂部11，因此，能够容易地进行第二臂部11相对于输出轴27的提升作业。另外，由于能够容易地进行第二臂部11相对于输出轴27的提升作业，因此能够容易地进行在输出轴27和第二臂部11之间放入垫片33的作业。

另外，在本实施方式中，在关节部18中，如果在松开固定用螺栓30的状态下转动提升用螺栓31，则能够相对于输出轴27提升第一臂部10，因此，能够容易地进行第一臂部10相对于输出轴27的提升作业。另外，因为能够容易地进行第一臂部10相对于输出轴27的提升作业，所以能够容易地进行在输出轴27和第一臂部10之间放入垫片33的作业。

(工业用机器人的变形例)

图6是本发明的另一实施方式的工业用机器人51的侧视图。图7是用于说明图6所示的滑动部55和滑动保持部56的连接部分的结构的剖视图。

在上述的方式中，机器人1为水平多关节型机器人，但应用了本发明的工业用机器人51(以下称为“机器人51”。)例如，如图6所示也可以具备搭载晶片2的手54、以能够滑动的方式连接手54的滑动部55、以能够滑动的方式连接滑动部55的滑动保持部56、以及保持滑动保持部56的主体部57。手54能够相对于滑动部55沿水平方向(图6的左右方向)线性滑动。滑动部55能够相对于滑动保持部56在与手54的移动方向相同的方向上线性滑动。

手54、滑动部55以及滑动保持部56在上下方向上从上侧起依次配置。即，滑动部55配置于手54的下侧，滑动保持部56配置于滑动部55的下侧。在所述变形例中，滑动部55为被支承部，滑动保持部56为支承部，所述支承部配置于被支承部即滑动部55的下侧，并且以能够直线滑动的方式连接滑动部55。

手54例如与上述的方式的手5同样地构成。主体部57具备将滑动保持部56保持为能够升降的柱状框架61。柱状框架61形成为在上下方向上细长的柱状。另外，主体部57具备基台62和转动底座63，所述基台62构成主体部57的下端部，所述转动底座63固定柱状框架61的下端，并且能够相对于基台62转动。基台62能够相对于省略图示的底座部件水平移动。

机器人51具备第一滑动机构和第二滑动机构，所述第一滑动机构使手54相对于滑动部55滑动，所述第二滑动机构使滑动部55相对于滑动保持部56滑动。第一滑动机构具备固定手54的滑块。所述滑块以能够滑动的方式保持于滑动部55。另外，第一滑动机构例如具备使滑块线性移动的滚珠丝杠以及使滚珠丝杠的丝杠轴旋转的电动机等。

第二滑动机构具备固定滑动部55的滑块77。滑块77以能够滑动的方式保持于滑动保持部56。另外，第二滑动机构例如具备使滑块77线性移动的滚珠丝杠以及使滚珠丝杠的丝杠轴旋转的电动机等。在滑块77上，从上侧固定有滑动部55。在所述变形例中，滑块77为从上侧固定被支承部即滑动部55并且与滑动部55一起滑动的滑动部件，以能够滑动的方式保持于支承部即滑动保持部56。

在滑动部55和滑动保持部56的连接部分配置有多个固定用螺栓30和多个提升用螺栓31，所述多个固定用螺栓30用于将滑动部55固定到滑块77上，所述多个提升用螺栓31用于相对于滑块77提升滑动部55。在滑动部55上形成有供固定用螺栓30的轴部插通的插通孔55b，在滑块77上形成有供固定用螺栓30卡合的螺丝孔77a。在滑动部55形成有供提升用螺栓31卡合的螺丝孔55c。提升用螺栓31的下端能够与滑块77的上表面接触。

在所述变形例中，例如，在图6中，为了调节相对于滑动部55手54移动至右端且相对于滑动保持部56滑动部55移动至右端时的手54的倾斜度，有时在滑动部55和滑块77的上表面之间放入垫片。在所述情况下，作业者在松开固定用螺栓30后，拧入提升用螺栓31，以使提升用螺栓31向下侧移动，并相对于滑块77提升滑动部55，之后，在滑动部55和滑块77的上表面之间放入垫片。当在滑动部55和滑块77的上表面之间放入了垫片33时，作业者松开提升用螺栓31，以使提升用螺栓31向上侧移动，之后，拧紧固定用螺栓30。

在所述变形例中，机器人51具备提升用螺栓31，所述提升用螺栓31用于相对于滑块77提升滑动部55，因此，如果在松开固定用螺栓30的状态下转动提升用螺栓31，则能够相对于以能够滑动的方式保持于滑动保持部56的滑块77提升滑动部55。因此，能够容易地进行滑动部55相对于滑块77的提升作业。另外，由于能够容易地进行滑动部55相对于滑块77的提升作业，因此能够容易地进行在滑块77和滑动部55之间放入垫片的作业。

(另一实施方式)

上述的方式为本发明的最佳方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的主旨的范围内，能够实施各种变形。

在上述的方式中，提升用螺栓31也可以配置于呈圆环状排列的固定用螺栓30的内周侧。另外，在上述的方式中，配置于关节部20的提升用螺栓31的数量可以为三个，也可以为五个以上。同样，配置于关节部18、19的提升用螺栓31的数量可以为三个，也可以为五个以上。另外，在上述的方式中，提升用螺栓31也可以为内六角螺栓或六角螺栓等除固定螺栓以外的螺栓。

在上述的方式中，供提升用螺栓31卡合的螺丝孔形成在输出轴27上，提升用螺栓31的上端也可以与第一臂部10的基端部的下表面、第二臂部11的基端部的下表面、第三臂部12的基端部的下表面接触。但是，在上述的方式中，通过从第一臂部10的基端部、第二臂部11的基端部、第三臂部12的基端部的上侧转动提升用螺栓31，能够相对于输出轴27提升第一臂部10、第二臂部11、第三臂部12，因此，上述的方式能够更容易地进行第一臂部10、第二臂部11、第三臂部12的提升作业。

在上述的方式中，也可以代替减速器17在关节部20上配置形成为圆筒状的转动部件和将转动部件保持为能够转动的支承轴。在所述情况下，例如，支承轴被固定于第二臂部11的前端部，转动部件经由支承轴以能够转动的方式保持于第二臂部11。另外，在所述情况下，例如，在转动部件上从上侧固定有第三臂部12的基端部，在转动部件的下端部固定有带轮21。另外，在所述情况下，固定用螺栓30和提升用螺栓31被配置于关节部20，所述固定用螺栓30用于将第三臂部12固定到转动部件上，所述提升用螺栓31用于相对于转动部件提升第三臂部12。同样，也可以代替减速器17而在关节部18、19上配置形成为圆筒状的转动部件和将转动部件支承为能够转动的支承轴。

在上述的方式中，转动部件、固定用螺栓30以及提升用螺栓31也可以配置在连接手4、5和第三臂部12的关节部，所述转动部件从上侧固定手4、5并与手4、5一起转动，并且以能够转动的方式保持于第三臂部12，所述固定用螺栓30用于将手4、5固定到转动部件上，所述提升用螺栓31用于相对于转动部件提升手4、5。在所述情况下，在手4、5和第三臂部12的关系中，手4、5为被支承部，第三臂部12为支承部。

在上述的方式中，提升用螺栓31也可以不配置在关节部18～20的任意一处或两处。另外，在上述的方式中，臂6可以由两个臂部构成，也可以由四个以上的臂部构成。进而，在上述的方式中，一个手也可以安装在第三臂部12的前端侧。另外，在上述的方式中，机器人1也可以是输送液晶显示装置用的玻璃基板等除晶片2以外的输送对象物的机器人。

Claims (6)

1.一种工业用机器人，为水平多关节型的工业用机器人，其特征在于，包括：

被支承部；

支承部，所述支承部配置于所述被支承部的下侧，并且以能够转动的方式连接所述被支承部；

转动部件，所述转动部件从上侧固定所述被支承部并与所述被支承部一起转动，并且以能够转动的方式保持于所述支承部；

固定用螺栓，所述固定用螺栓用于将所述被支承部固定到所述转动部件上；以及

提升用螺栓，所述提升用螺栓用于相对于所述转动部件提升所述被支承部。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，还包括：

手；

臂，所述臂在前端侧以能够转动的方式连接所述手；以及

主体部，所述主体部以能够转动的方式连接所述臂的基端侧，

其中，所述臂包括：

作为所述被支承部的上侧臂部；和

作为所述支承部的下侧臂部，

在所述下侧臂部的前端侧，以能够转动的方式连接有所述上侧臂部的基端侧。

3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述臂包括：

第一臂部，所述第一臂部的基端侧以能够转动的方式连接至所述主体部；

第二臂部，所述第二臂部的基端侧以能够转动的方式连接至所述第一臂部的前端侧；以及

第三臂部，所述第三臂部的基端侧以能够转动的方式连接至所述第二臂部的前端侧，

在所述第一臂部和所述第二臂部的关系中，所述第一臂部为所述下侧臂部，并且所述第二臂部为所述上侧臂部，

在所述第二臂部和所述第三臂部的关系中，所述第二臂部为所述下侧臂部，并且所述第三臂部为所述上侧臂部。

4.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，还包括：

手；

臂，所述臂在前端侧以能够转动的方式连接所述手；以及

作为所述支承部的主体部，所述主体部以能够转动的方式连接所述臂的基端侧，

其中，所述臂包括：作为所述被支承部的第一臂部，所述第一臂部的基端侧以能够转动的方式连接至所述主体部。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，

在所述被支承部形成有供所述提升用螺栓卡合的螺丝孔，

所述提升用螺栓的下端能够与所述转动部件的上表面接触。

6.一种工业用机器人，其特征在于，包括：

被支承部；

支承部，所述支承部配置于所述被支承部的下侧，并且以能够直线滑动的方式连接所述被支承部；

滑动部件，所述滑动部件从上侧固定所述被支承部并与所述被支承部一起滑动，并且以能够滑动的方式保持于所述支承部；

固定用螺栓，所述固定用螺栓用于将所述被支承部固定到所述滑动部件上；以及

提升用螺栓，所述提升用螺栓用于相对于所述滑动部件提升所述被支承部。

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