KR20130031335A - 산업용 로보트, 산업용 로보트의 제어방법 및 산업용 로보트의 교시방법 - Google Patents

산업용 로보트, 산업용 로보트의 제어방법 및 산업용 로보트의 교시방법 Download PDF

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KR20130031335A
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다카유키 야자와
치카히로 다나카
히로카즈 와타나베
요시히사 마스자와
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능한 산업용 로보트를 제공한다.
산업용 로보트는, 핸드(3)와, 핸드(3)를 회동가능하게 지지하는 제2 암부(16)와, 제2 암부(16)를 회동가능하게 지지하는 제1 암부(15)를 가지는 암(4)과, 암(4)을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터(21)와, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터(22)와, 제1 구동용 모터(21)의 동력 및 제2 구동용 모터(22)의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구(23)를 구비하고 있다.동력전달기구(23)는, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 움직이도록 제1 구동용 모터(21)의 동력을 암(4) 및 핸드(3)에 전달하고, 또한, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동하도록 제2 구동용 모터(22)의 동력을 핸드(3)에 전달한다.

Description

산업용 로보트, 산업용 로보트의 제어방법 및 산업용 로보트의 교시방법 {INDUSTRIAL ROBOT, METHOD FOR CONTROLLING INDUSTRIAL ROBOT, AND METHOD FOR TEACHING INDUSTRIAL ROBOT}
본 발명은, 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 이러한 산업용 로보트의 제어방법 및 교시(敎示)방법에 관한 것이다.
종래, 액정 디스플레이용의 유리기판을 반송하는 산업용 로보트가 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트는, 유리기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 회동가능하게 장착되는 암과, 암이 회동가능하게 장착되는 본체부를 구비하고 있다. 암은 제1의 암과 제2의 암으로 구성되어 있다. 본체부는 가대(架臺)의 위에 재치되어 있으며, 소정 방향으로 직선모양으로 이동가능하게 되어 있다. 이 산업용 로보트에서는, 핸드가 소정의 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록 암이 신축한다. 또한, 이 산업용 로보트는, 통상 가대에 대한 본체부의 이동방향에 직교하는 방향으로 핸드를 움직이고, 카셋트 내에 배치된 유리기판을 반출한다.
특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트에서는, 카셋트 내에 배치된 유리기판의 수평면 내에서의 기울기를 검출하기 위한 센서가 핸드에 장착되어 있다. 또한, 이 산업용 로보트는, 카셋트 내에 배치된 유리기판의 기울기가 센서에 의해서 검출되면, 카셋트로부터 반출되어 소정의 반입위치로 반입되는 유리기판의, 본체부의 이동방향에 있어서의 위치 어긋남이 억제되도록, 또한, 유리기판의 기울기가 보정되도록, 본체부를 가대에 대해서 소정 방향으로 이동시킴과 아울러, 본체부에 대해서 암을 소정량 선회시킨다. 이 상태에서, 암을 신축시켜 카셋트 내로부터 유리기판을 반출하고, 본체부를 역방향으로 이동시킴과 아울러 암을 역방향으로 선회시켜 기울기 및 위치 어긋남을 보정한 후에, 유리기판을 소정의 반입위치로 반입한다.
특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 특개2003-117862호 공보
특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트에서는, 본체부를 가대에 대해서 이동시킬 수 있기 때문에, 가대에 대한 본체부의 이동방향에 있어서의 유리기판의 위치 어긋남을 억제하면서 유리기판의 기울기를 보정하는 것이 가능하다. 그렇지만, 이 산업용 로보트에서는, 예를 들면, 가대에 대한 본체부의 이동방향으로 핸드가 직선모양으로 움직여 카셋트 내의 유리기판을 반출하는 경우에는, 가대에 대한 본체부의 이동방향에 직교하는 방향에서의 유리기판의 위치 어긋남을 억제하면서 유리기판의 기울기를 보정하는 것이 곤란하다. 즉, 이 산업용 로보트에서는, 유리기판을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 따라서는, 유리기판의 위치 어긋남을 억제하면서 유리기판의 기울기를 적절히 보정하는 것이 곤란하다.
이에, 본 발명의 과제는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능한 산업용 로보트를 제공하는 것에 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는, 반송대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드를 그 선단(先端)측에서 회동가능하게 지지하는 제2 암부와 제2 암부의 기단(基端)측을 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제1 암부와의 적어도 2개의 암부를 가지는 암과, 암을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터와, 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 제1 구동용 모터의 동력 및 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고, 동력전달기구는, 핸드가 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 움직이도록 제1 구동용 모터의 동력을 암 및 핸드에 전달하고, 또한, 제2 암부에 대해서 핸드가 상대회동하도록 제2 구동용 모터의 동력을 핸드에 전달하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 산업용 로보트는, 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 제1 구동용 모터의 동력 및 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고, 동력전달기구는, 제2 암부에 대해서 핸드가 상대회동하도록 제2 구동용 모터의 동력을 핸드에 전달한다. 이 때문에, 본 발명에서는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 제2 암부에 대해서 핸드를 자유롭게 상대회동시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반송대상물의 기울기가 검출되었을 때에는, 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시킴과 아울러, 예를 들면, 산업용 로보트의 본체부를 회동시키면, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에서는, 산업용 로보트의 본체부를 소정 방향으로 이동시키기 위한 이동기구가 없어도 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하면서도 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하게 된다. 게다가 본 발명에서는, 종래와 같이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정할 때에 산업용 로보트의 본체부를 소정 방향으로 이동시키는 경우와 비교하여 반송대상물의 기울기를 보정할 때의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에서는, 동력전달기구는 핸드가 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 움직이도록 제1 구동용 모터의 동력을 암 및 핸드에 전달하기 때문에, 제2 구동용 모터를 정지상태로 해 두면, 동작중의 산업용 로보트를 비상정지시켰을 때에, 핸드는 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 소정량 움직인 후에 정지한다. 즉, 제2 구동용 모터를 정지상태로 해 두면, 동작중의 산업용 로보트를 비상정지시켜도, 핸드가 일정 방향을 향하고 있는 상태가 유지되기 때문에, 비상정지시의 산업용 로보트의 자세의 흐트러짐을 억제하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는, 산업용 로보트를 비상정지시켜도, 산업용 로보트의 주변기기의 예기치 못한 개소에 핸드가 충돌하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는 제1 암부에 장착되고, 동력전달기구는, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 제2 암부의 기단측에 배치되며 제3 감속기의 출력부에 고정되는 제1 풀리와, 제2 암부의 선단측에 배치되며 핸드의 기단측에 고정되는 제2 풀리와, 제1 풀리와 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 동력전달기구의 구성을 비교적 간소화하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 예를 들면, 제2 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 제2 암부의 기단측에 고정되고, 제2 감속기의 입력부는 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 제3 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지되고, 제3 감속기의 입력부는 제3 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있다.
본 발명에 있어서, 제2 감속기의 입력부 및 출력부는 대략 통모양으로 형성되며, 제2 감속기의 출력부의 내주(內周)측에 제2 감속기의 입력부가 배치되고, 제2 감속기의 입력부의 내주측을 통과하도록 제3 감속기의 출력부가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제3 감속기의 출력부가 제2 감속기의 외측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부를 소형화하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는 제2 암부에 장착되며, 동력전달기구는, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 태양치차와 유성치차 그리고 내부치차와 유성치차를 회전가능하게 유지하는 유성캐리어를 가지며 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 제2 암부의 기단측에 배치되며 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 제2 암부의 선단측에 배치되며 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 태양치차에 고정되는 제3 풀리와, 유성캐리어에 고정되는 제4 풀리와, 내부치차에 고정되는 제5 풀리와, 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리와, 제1 풀리와 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 제2 풀리와 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 제5 풀리와 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 제4 감속기가 배치되기 때문에, 제2 암부와 핸드와의 연결부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하기 위해서 제2 구동용 모터의 동력으로 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키는 경우라도, 핸드를 적절히 회동시키는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 예를 들면, 제2 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 제2 암부의 기단측에 고정되고, 제2 감속기의 입력부는 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 제4 감속기의 출력부는 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 핸드의 기단측에 고정되고, 제4 감속기의 입력부는 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 내부치차는 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있다.
본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는 제2 암부에 장착되며, 동력전달기구는, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 제1 베벨치차와 제1 베벨치차에 치합함과 아울러 서로 대향 배치되는 제2 베벨치차 및 제3 베벨치차와 제1 베벨치차를 회전가능하게 유지하는 유지부재를 가지며 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 제2 암부의 기단측에 배치되며 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 제2 암부의 선단측에 배치되며 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 제2 베벨치차에 고정되는 제3 풀리와, 제3 베벨치차에 고정되는 제4 풀리와, 유지부재에 고정되는 제5 풀리와, 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리를 구비하며, 제1 풀리와 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 제2 풀리와 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 제5 풀리와 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하고 있어도 좋다. 이 경우에도, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 제4 감속기가 배치되기 때문에, 제2 암부와 핸드와의 연결부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하기 위해서 제2 구동용 모터의 동력으로 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키는 경우라도, 핸드를 적절히 회동시키는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 예를 들면, 제2 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 제2 암부의 기단측에 고정되고, 제2 감속기의 입력부는 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 제4 감속기의 출력부는 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 핸드의 기단측에 고정되고, 제4 감속기의 입력부는 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 유지부재는 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있다.
본 발명에 있어서, 예를 들면, 산업용 로보트는, 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재를 구비하며, 제1 구동용 모터는 제1 암부 또는 암 지지부재에 장착되고, 동력전달기구는 암 지지부재와 제1 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터에 연결되는 제1 감속기를 더 구비하고 있다.
본 발명에 있어서, 예를 들면, 제1 감속기의 출력부는 제1 암부의 기단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 암 지지부재에 고정되며, 제1 감속기의 입력부는 제1 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있다.
본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는, 제2 구동용 모터의 회전축을 정지시키는 브레이크를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 통상의 반송대상물의 반송시에, 제2 구동용 모터의 회전축을 확실히 정지시켜 두는 것이 가능하게 된다. 따라서, 동작중의 산업용 로보트를 비상정지시켰을 때에, 대략 직선모양으로 움직이는 핸드를 확실히 소정 방향을 향하게 두는 것이 가능하게 된다. 따라서, 산업용 로보트를 비상정지시켰을 때에, 산업용 로보트의 주변기기의 예기치 못한 개소에 핸드가 충돌하는 것을 확실히 방지하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 산업용 로보트는, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러, 암이 늘어나면 반송대상물이 수용되는 수용부 안으로 핸드가 들어가고, 암이 줄어들면 수용부로부터 반송대상물이 반출되도록 구성되며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 수용부 내에 수용되는 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심이 기준선상에 배치됨과 아울러, 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되며, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 암이 줄어들어 있는 상태(즉, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치에 핸드가 있는 상태)에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 반송대상물의 안측단의 중심이 기준선상에 배치되고, 제어부는 선회기구에 의해서 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 핸드를 회동시키면서 암을 신축시켜 반송대상물을 반송하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성하면, 예를 들면, 수평방향으로 이동가능한 산업용 로보트의 핸드가 산업용 로보트의 이동방향으로 움직여 반송대상물을 반송하는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이 산업용 로보트의 이동방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다. 또한, 예를 들면, 산업용 로보트가 수평방향으로 이동할 수 없는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이, 수용부를 향하여 핸드가 움직여 가는 방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 산업용 로보트는, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러, 암이 늘어나면 반송대상물이 수용되는 수용부 안으로 핸드가 들어가고, 암이 줄어들면 수용부로부터 반송대상물이 반출되도록 구성되며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 제어부는 산업용 로보트의 교시를 행하고 있는 경우에, 수용부 내에 수용되는 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되어 있으며 또한, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 선회기구에 의해서 선회하는 암 지지부재의 선회중심이 배치되어 있지 않으면, 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 암 지지부재의 선회중심이 핸드 중심선상에 배치되도록, 산업용 로보트를 동작시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암부에 대해서 핸드를 자유롭게 상대회동시키는 것이 가능하면서도, 산업용 로보트의 교시작업을 용이하게 실시하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 산업용 로보트로서, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 산업용 로보트는, 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 반송대상물이 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심이 기준선상에 배치됨과 아울러, 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되도록, 수용부에 수용되는 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나며, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 선회기구에 의해서 선회하는 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 반송대상물의 안측단의 중심이 기준선상에 배치되도록, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 암이 줄어들며(즉, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 핸드가 이동하며), 선회기구에 의해서 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 핸드를 회동시키면서, 암을 신축시켜 반송대상물을 반송하는 제어방법에 의해서 제어되는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성하면, 예를 들면, 수평방향으로 이동가능한 산업용 로보트의 핸드가 산업용 로보트의 이동방향으로 움직여 반송대상물을 반송하는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이, 산업용 로보트의 이동방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다. 또한, 예를 들면, 산업용 로보트가 수평방향으로 이동할 수 없는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이 수용부를 향하여 핸드가 움직여 가는 방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 산업용 로보트로서, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 산업용 로보트는, 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 반송대상물이 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 수용부 내에 수용된 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되어 있으며, 또한, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 선회기구에 의해서 선회하는 암 지지부재의 선회중심이 배치되어 있지 않으면, 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 암 지지부재의 선회중심이 핸드 중심선상에 배치되도록, 산업용 로보트를 동작시키는 교시방법으로 교시되는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암부에 대해서 핸드를 자유롭게 상대회동시키는 것이 가능하면서도, 산업용 로보트의 교시작업을 용이하게 실시하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 산업용 로보트의 교시방법에서는, 수용부 내에 수용된 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서, 핸드를 회동시키면서, 반송대상물과 핸드와의 방향을 맞추는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 선회기구 등을 이용하여 반송대상물과 핸드와의 방향을 맞추는 경우와 비교하여 반송대상물과 핸드와의 방향맞춤이 용이하게 된다.
이상과 같이, 본 발명의 산업용 로보트에서는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트의 평면도이다.
도 2는 도 1의 E－E방향에서 본 산업용 로보트를 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 산업용 로보트의 제어부 및 제어부에 접속되는 각종 모터를 나타내는 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 관한 동력전달기구의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 5는 도 4의 F부의 확대도이다.
도 6은 도 1에 나타낸 산업용 로보트에 있어서의 기판의 기울기와 기판을 탑재할 때의 핸드와의 관계를 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은 도 1에 나타낸 산업용 로보트의 교시방법을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은 도 1에 나타낸 산업용 로보트의 효과를 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 동력전달기구의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 10은 도 9의 G부의 확대도이다.
도 11은 도 10에 나타낸 감속기 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 감속기 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시형태에 관한 산업용 로보트의 제어방법을 설명하기 위한 평면도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태를 설명한다.
(산업용 로보트의 개략 구성)
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 평면도이다. 도 2는 도 1의 E－E방향에서 본 산업용 로보트(1)를 나타내는 측면도이다. 도 3은 도 1에 나타낸 산업용 로보트(1)의 제어부(20) 및 제어부(20)에 접속되는 각종 모터를 나타내는 블럭도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 서로 직교하는 3방향의 각각을 X방향, Y방향 및 Z방향으로 한다. 본 실시형태에서는 Z방향이 상하방향과 일치한다. 또한. 이하의 설명에서는, X방향을 전후방향, Y방향을 좌우방향으로 한다.
본 실시형태의 산업용 로보트(1)(이하, '로보트(1)'라고 한다)는, 반송대상물인 액정 디스플레이용의 유리기판(2)(이하, '기판(2)'이라고 한다.)을 반송하기 위한 반송용의 다관절형 로보트이다. 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 로보트(1)는, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3) 각각이 선단측에 연결되는 2개의 암(4)과, 2개의 암(4)을 지지하는 본체부(5)와, 본체부(5)를 수평방향(구체적으로는, 좌우방향)으로 이동가능하게 지지하는 베이스부재(6)를 구비하고 있다. 본체부(5)는, 2개의 암(4)의 기단측을 지지하는 암 지지부재(7)와, 암 지지부재(7)가 고정됨과 아울러 상하이동 가능한 승강부재(8)와, 승강부재(8)를 상하방향으로 이동가능하게 지지하는 기둥모양부재(9)와, 본체부(5)의 하단부분을 구성함과 아울러 베이스부재(6)에 대해서 수평이동가능한 기대(10)와, 기둥모양부재(9)의 하단이 고정됨과 아울러 기대(10)에 대해서 선회가능한 선회부재(11)를 구비하고 있다.
본체부(5)는, 베이스부재(6)에 대해서 좌우방향으로 이동가능하게 되어 있으며, 로보트(1)는, 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키는 수평이동기구를 구비하고 있다. 이 수평이동기구는 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키기 위한 수평 구동용 모터(12)(도 3 참조)를 구비하고 있다. 승강부재(8)는, 기둥모양부재(9)에 대해서 상하방향으로 이동가능하게 되어 있으며, 로보트(1)는 승강부재(8)를 승강시키는 승강기구를 구비하고 있다. 이 승강기구는, 승강부재(8)를 승강시키기 위한 승강 구동용 모터(13)(도 3 참조)를 구비하고 있다. 선회부재(11)는, 기대(10)에 대해서 상하방향을 축방향으로 하여 선회가능하게 되어 있으며, 로보트(1)는 핸드(3), 암(4), 암 지지부재(7), 승강부재(8) 및 기둥모양부재(9)와 함께, 선회부재(11)를 선회시키는 선회기구를 구비하고 있다. 이 선회기구는, 선회부재(11)를 선회시키기 위한 선회 구동용 모터(14)(도 3 참조)를 구비하고 있다.
핸드(3)의 기단측은, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 암(4)의 선단측에 회동가능하게 연결되어 있다. 이 핸드(3)에는, 상술의 특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트와 마찬가지로, 기판(2)이 수용되는 수용부(예를 들면, 카셋트)에 수용된 기판(2)의 기울기(구체적으로는, 전후방향 등의 기판(2)의 반출방향에 대한 기판(2)의 기울기)를 검출하기 위한 센서(도시 생략)가 장착되어 있다.
암(4)은 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 2개의 암부를 구비하고 있으며, 본체부(5)에 대해서 신축하도록 구성되어 있다. 제1 암부(15)의 기단측은, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 암 지지부재(7)의 선단측에 회동가능하게 지지되어 있다. 제2 암부(16)의 기단측은, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부(15)의 선단측에 회동가능하게 지지되어 있다. 제2 암부(16)의 선단측에는, 핸드(3)의 기단측이 회동가능하게 지지되어 있다. 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)는, 중공형상으로 형성되어 있다.
암 지지부재(7)의 기단측은, 승강부재(8)에 고정되어 있다. 본 실시형태에서는, 2개의 핸드(3), 2개의 암(4) 및 2개의 암 지지부재(7)가 상하방향으로 겹쳐지도록 배치되어 있다. 즉, 본 실시형태의 로보트(1)는, 더블 암형의 로보트이다.
로보트(1)에서는, 기둥모양부재(9)에 대해서 승강부재(8)가 핸드(3) 및 암(4) 등과 함께 상하이동한다. 또한, 본체부(5)에 대해서 암(4)이 신축한다. 구체적으로는, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록 암(4)이 신축한다. 게다가 베이스부재(6)에 대해서 기대(10)가 수평이동한다. 또한, 기대(10)에 대해서 선회부재(11)가 선회한다. 이들 동작의 조합에 의해서, 로보트(1)는, 기판(2)이 수용되는 수용부로부터 기판(2)에 소정의 작업이 행하여지는 작업위치로 기판(2)을 반송한다. 본 실시형태에서는, 암(4)이 늘어나면 수용부 안으로 핸드(3)가 들어가고, 암(4)이 줄어들면 핸드(3)에 탑재된 기판(2)이 수용부로부터 반출된다.
본 실시형태의 로보트(1)는, 도 3, 도 4에 나타내는 바와 같이, 암(4)을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터(21)와, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터(22)와, 제1 구동용 모터(21) 및 제2 구동용 모터(22)의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구(23)를 구비하고 있다. 제1 구동용 모터(21) 및 제2 구동용 모터(22)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 로보트(1)를 제어하는 제어부(20)에 접속되어 있다. 또한, 수평 구동용 모터(12), 승강 구동용 모터(13) 및 선회 구동용 모터(14)도 제어부(20)에 접속되어 있다.
(동력전달기구 및 그 주변부의 구성)
도 4는, 본 발명의 실시형태에 관한 동력전달기구(23)의 구성을 설명하기 위한 개략도이다. 도 5는 도 4의 F부의 확대도이다.
제1 구동용 모터(21)는, 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 구체적으로는, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부에 비교적 가까운 위치에서, 제1 구동용 모터(21)는 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 제1 구동용 모터(21)의 회전축에는 풀리(24)가 고정되어 있다.
제2 구동용 모터(22)도, 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 구체적으로는, 제1 구동용 모터(21)보다 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부에 가까운 위치에서, 제2 구동용 모터(22)는 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 이 제2 구동용 모터(22)는, 브레이크가 부착된 모터이다. 즉, 제2 구동용 모터(22)는, 그 회전축을 정지시키는 브레이크를 구비하고 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에는 풀리(25)가 고정되어 있다.
동력전달기구(23)는, 암 지지부재(7)와 제1 암부(15)와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터(21)에 연결되는 제1 감속기로서의 감속기(26)와, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터(21)에 연결되는 제2 감속기로서의 감속기(27)와, 제2 구동용 모터(22)에 연결되는 제3 감속기로서의 감속기(28)를 구비하고 있다.
감속기(26)는, 입력부(30)와, 출력부(31)와, 출력부(31)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(32)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(32)는, 제1 암부(15)의 기단측에 고정되어 있다. 출력부(31)는, 고정용 플랜지(32)를 통하여 제1 암부(15)의 기단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 또한, 출력부(31)는, 암 지지부재(7)의 선단측에 고정되어 있다. 입력부(30)는, 통모양으로 형성되는 출력부(31)의 내주(內周)측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(30)의 일단(도 4에 나타내는 예에서는 상단)에는, 풀리(33)가 고정되어 있다. 풀리(33)는, 제1 암부(15)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 제1 구동용 모터(21)의 회전축에 고정되는 풀리(24)와 풀리(33)에는 벨트(34)가 걸쳐져 있다. 벨트(34) 및 풀리(33) 등을 통하여 입력부(30)에 전달되는 제1 구동용 모터(21)의 동력은, 감속되어 출력부(31)에 전달된다. 또한, 풀리(33)는 입력부(30)와 일체로 형성되어도 좋다.
감속기(27)는, 입력부(35)와, 출력부(36)와, 출력부(36)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(37)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(37)는, 제1 암부(15)의 선단측에 고정되어 있다. 도 4, 도 5에 나타내는 예에서는, 고정용 플랜지(37)는, 제1 암부(15)의 선단측의 상면측에 고정되어 있다. 출력부(36)는, 고정용 플랜지(37)를 통하여, 제1 암부(15)의 선단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 또한, 출력부(36)는, 제2 암부(16)의 기단측에 고정되어 있다. 입력부(35)는, 통모양으로 형성되는 출력부(36)의 내주측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(35)의 일단에는, 풀리(38)가 고정되어 있다. 풀리(38)는, 제1 암부(15)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 제1 구동용 모터(21)의 회전축에 고정되는 풀리(24)와 풀리(38)에는, 벨트(39)가 걸쳐져 있다. 벨트(39) 및 풀리(38) 등을 통하여 입력부(35)에 전달되는 제1 구동용 모터(21)의 동력은, 감속되어 출력부(36)에 전달된다. 또한, 풀리(38)는, 입력부(35)와 일체로 형성되어도 좋다.
감속기(28)는, 입력부(40)와, 출력부(41)와, 출력부(41)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(42)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(42)는, 제1 암부(15)의 선단측에 고정되어 있다. 도 4, 도 5에 나타내는 예에서는, 고정용 플랜지(42)는, 제1 암부(15)의 선단측의 하면측에 고정되어 있다. 출력부(41)는, 고정용 플랜지(42)를 통하여, 제1 암부(15)의 선단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 출력부(41)의 일단(도 4, 도 5에 나타내는 예에서는 상단)에는, 제1 풀리로서의 풀리(43)가 고정되어 있다. 풀리(43)는, 제2 암부(16)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 또한, 출력부(41)는, 통모양으로 형성되는 감속기(27)의 입력부(35)의 내주측을 통과하도록 배치되어 있다. 입력부(40)는, 출력부(41)의 타단측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(40)에는, 풀리(44)가 고정되어 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에 고정되는 풀리(25)와 풀리(44)에는, 벨트(45)가 걸쳐져 있다. 벨트(45) 및 풀리(44) 등을 통하여 입력부(40)에 전달되는 제2 구동용 모터(22)의 동력은, 감속되어 출력부(41)에 전달된다. 또한, 풀리(44)는, 입력부(40)와 일체로 형성되어도 좋다.
제2 암부(16)의 선단측의 내부에는, 제2 풀리로서의 풀리(46)가 배치되어 있다. 즉, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에는, 풀리(46)가 배치되어 있다. 풀리(46)는, 핸드(3)의 기단측에 고정되어 있다. 풀리(43)와 풀리(46)에는, 벨트(47)가 걸쳐져 있다.
본 실시형태에서는, 제1 구동용 모터(21)가 구동하면, 암(4)이 신축한다. 또한, 본 실시형태에서는, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 43, 46)의 지름이 설정되어 있다. 예를 들면, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이도록, 혹은, 핸드(3)가 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 43, 46)의 지름이 설정되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면, 제1 구동용 모터(21)가 정지하고 있어도, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다.
(산업용 로보트의 제어방법)
도 6은, 도 1에 나타낸 산업용 로보트(1)에 있어서의 기판(2)의 기울기와 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)와의 관계를 설명하기 위한 평면도이다.
이상과 같이 구성된 로보트(1)에서는, 수용부에 수용된 기판(2)을 반출할 때에, 제어부(20)는, 먼저, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시키고, 핸드(3)에 설치된 센서에 의해서, 기판(2)의 반출방향에 대한 기판(2)의 기울기를 검출한다. 이때, 제2 구동용 모터(22)에는, 브레이크가 걸려져 있으며, 제2 구동용 모터(22)의 회전축은 정지하고 있다.
이 기판(2)의 기울기 검출동작으로, 기판(2)의 기울기가 검출되지 않으면(혹은, 기판(2)의 기울기가 규정치 이하이면), 제어부(20)는, 다시, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시켜서, 수용부로부터 기판(2)을 반출하고, 반출한 기판(2)을 소정의 작업위치로 반입한다. 암(4)이 신축할 때에는, 핸드(3)는 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이거나, 혹은, 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직인다. 또한, 이때, 수용부에서 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)의 상태는, 도 6의 2점쇄선으로 나타내는 상태가 된다. 즉, 이때에는, 핸드(3)는, 기판(2)의 반출방향과 대략 평행이 되어 있다. 또한, 이때, 제2 구동용 모터(22)에는, 브레이크가 걸려져 있으며, 제2 구동용 모터(22)의 회전축은 정지하고 있다.
한편, 기판(2)의 기울기 검출동작으로, 기판(2)의 기울기가 검출되면(혹은, 검출된 기판(2)의 기울기가 규정치를 넘고 있으면), 기판(2)의 반출방향에 대략 직교하는 방향에서의 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정하기 위해, 제어부(20)는 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킨다.
이 동작은, 암(4)이 줄어든 상태에서 행하여도 좋고, 암(4)이 늘어난 상태에서 행하여도 좋다. 암(4)이 줄어든 상태에서 이 동작을 행하는 경우에는, 이 동작을 행한 후, 제어부(20)는 브레이크를 걸어 제2 구동용 모터(22)를 정지시킴과 아울러 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜암(4)을 늘리고, 그 후, 승강 구동용 모터(13)를 구동시켜 수용부 내에서 핸드(3)에 기판(2)을 탑재한다. 이때, 수용부에서 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)의 상태는, 도 6의 실선으로 나타내는 상태가 된다. 즉, 이때에는, 핸드(3)는 기판(2)의 반출방향에 대해서 기판(2)의 기울기와 동일한 정도 기울어져 있다.
또한, 기판(2)의 기울기를 보정하기 위해, 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 선회부재(11)를 소정량 회동시키는 동작을 암(4)이 늘어난 상태에서 행하는 경우에는, 제어부(20)는 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 늘리고, 그 후, 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜 선회부재(11)를 소정량 회동시키고 나서, 승강 구동용 모터(13)를 구동시켜 수용부 내에서 핸드(3)에 기판(2)을 탑재한다. 이때, 수용부에서 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)의 상태는, 도 6의 실선으로 나타내는 상태가 된다.
수용부 내에서 핸드(3)에 기판(2)을 탑재하면, 제어부(20)는 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 조금 전의 회동방향과 역방향으로 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜 조금 전의 회동방향과 역방향으로 선회부재(11)를 소정량 회동시킨다. 그러면, 수용부에서 기판(2)이 탑재된 핸드(3)의 상태는, 도 6의 2점쇄선으로 나타내는 상태가 되며, 수용부에 수용된 기판(2)의 기울기는 기판(2)의 반출방향에 직교하는 방향에 있어서의 기판(2)의 위치 어긋남이 억제된 상태에서 보정된다.
그 후, 제어부(20)는, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 핸드(3)를 줄여서 수용부로부터 기판(2)을 반출한다. 암(4)이 줄어들 때에는, 핸드(3)는, 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이거나, 혹은, 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직인다. 또한, 그 후, 제어부(20)는, 선회 구동용 모터(14) 등을 구동시켜 로보트(1)에 소정의 동작을 행하게 한 후에, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시켜서, 기판(2)을 작업위치로 반입한다. 이때에는, 핸드(3)는, 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이거나, 혹은, 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직인다.
또한, 기판(2)의 기울기 검출동작에 의해서, 기판(2)의 기울기가 검출되었을 경우에, 기판(2)의 기울기에 따라 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킨 상태인 채로, 수용부로부터 기판(2)을 반출하고, 그 후, 핸드(3)를 역방향으로 소정량 회동시킴과 아울러 선회부재(11)를 역방향으로 소정량 회동시키고 나서, 기판(2)을 작업위치로 반입해도 좋다. 이 경우에는, 수용부에 수용된 기판(2)의 기울기는, 기판(2)의 반출방향에 직교하는 방향에 있어서의 기판(2)의 위치 어긋남이 억제된 상태에서 작업위치로 반입될 때에 보정된다. 또한, 기판(2)의 기울기 검출동작에 의해서, 기판(2)의 기울기가 검출되었을 경우에, 기판(2)의 기울기에 따라 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시키면서, 암(4)을 신축시키는 것도 가능하다.
(산업용 로보트의 교시방법)
도 7은, 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)의 교시방법을 설명하기 위한 평면도이다. 이하에서는, 전후방향(X방향)으로 핸드(3)가 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의(즉, 암(4)이 늘어나 있는 상태에서의) 로보트(1)의 교시방법을 설명한다. 로보트(1)의 교시는, 제어부(20)에 접속되는 교시조작단말(티칭 팬던트(teaching pendant))을 이용하여 오퍼레이터가 행한다.
또한, 기판(2)은, 장방형의 판 모양으로 형성되어 있으며, 이하의 설명에서는, 기판(2)이 수용부에 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 기판(2)의 단부를 안측단(2a)으로 하고, 기판(2)이 수용부에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 기판(2)의 단부를 앞측단(2b)으로 한다. 또한, 기판(2)이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 안측단(2a)의 중심(C10)과 앞측단(2b)의 중심(C20)을 통과하는 선을 기준선(LB)으로 한다. 로보트(1)의 교시작업시에 있어서는, 기판(2)은, 전후방향에 대해서 기울어져 있지 않은 상태에서 수용부에 수용되어 있으며, 기준선(LB)은 전후방향과 대략 평행으로 되어 있다.
전후방향을 향한 상태의 핸드(3)가 전후방향으로 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시를 행할 때에는, 먼저, 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 수용부 내에 수용된 기판(2)을 핸드(3)에 탑재 가능한 위치까지, 암(4)을 늘려 핸드(3)를 수용부 내에 넣는다. 그 후, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에 배치되는 핸드(3)의 회동중심(C1)과 핸드(3)의 선단부의 중심(보다 구체적으로는, 핸드 포크가 늘어나 있는 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드(3)의 선단부의 중심)(C2)를 잇는 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 대략 평행이 되도록(즉, 핸드 중심선(LH)이 전후방향과 대략 평행이 되도록), 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 핸드(3)를 회동시킨다. 즉, 핸드(3)를 회동시키면서, 기판(2)과 핸드(3)와의 방향을 맞춘다.
그 후, 도 7의 (B), (C)에 나타내는 바와 같이, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 대략 평행이 되어 있는 상태를 유지하면서, 좌우방향에 있어서의 기판(2)의 일단면과 핸드(3)의 일단과의 거리(L1)와, 좌우방향에 있어서의 기판(2)의 타단면과 핸드(3)의 타단과의 거리(L2)가 동일해지도록(즉, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록), 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및／또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시키고, 좌우방향으로 핸드(3)를 이동시킨다. 또한, 전후방향에 있어서의 기판(2)과 핸드(3)와의 상대위치가 소정 위치가 되도록, 전후방향으로 핸드(3)를 이동시킨다. 즉, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록 조그(jog) 동작을 행하여, 기판(2)과 핸드(3)와의 위치 맞춤을 행한다.
이때, 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 선회기구에 의해서 선회하는 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 상황과, 도 7의 (C)에 나타내는 바와 같이, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있는 상황이 생길 수 있다. 본 실시형태에서는, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있는 경우에는, 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시작업을 종료한다.
한편, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 경우에는, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹쳐져 있는 상태를 유지하면서, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록, 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및／또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜, 로보트(1)를 동작시키고 나서, 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시작업을 종료한다. 이와 같은 교시작업을 행함으로써, 핸드(3)가 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직여 기판(2)을 적절히 반송하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 실시형태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록 조그 동작을 행하여, 기판(2)과 핸드(3)와의 위치 맞춤을 행한 후에, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 경우에는, 제어부(20)가, 자동적으로 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및／또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹쳐져 있는 상태를 유지하면서, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록 로보트(1)를 동작시킨다. 또한, 본 실시형태에서는, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되면, 도 7의 (C)에 나타내는 바와 같이, 암 지지부재(7)와 제1 암부(15)와의 연결부에 배치되는 제1 암부(15)의 회동중심(C4)도 핸드 중심선(LH)상에 배치된다.
(본 실시형태의 주된 효과)
이상 설명한 것과 같이, 본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다. 이 때문에, 본 실시형태에서는, 수용부로부터 기판(2)을 반출할 때의 핸드(3)의 이동방향에 관계없이, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 자유롭게 상대회동시킬 수 있다. 즉, 수용부로부터 기판(2)을 반출할 때의 핸드(3)의 이동방향이, 예를 들면, 전후방향이어도 좌우방향이어도 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 자유롭게 상대회동시킬 수 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 기판(2)의 기울기가 검출되었을 때에는, 기판(2)을 반출할 때의 핸드(3)의 이동방향에 관계없이, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 상대회동시키고, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 실시형태에서는, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정할 때에 로보트(1)의 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 종래와 같이, 기판(2)의 기울기를 보정할 때에 로보트(1)의 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키는 경우와 비교하여, 기판(2)의 기울기를 보정할 때의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다. 즉, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정할 때에 로보트(1)의 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키는 경우에는, 도 8의 2점쇄선으로 나타내는 상태로부터 실선으로 나타내는 상태까지, 로보트(1)의 본체부(5)를 크게 이동시킬 필요가 있지만, 본 실시형태에서는, 본체부(5)를 이동시킬 필요가 없기 때문에, 그 만큼, 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.
본 실시형태에서는, 수용부로부터 작업위치로 기판(2)을 반송할 때에, 제2 구동용 모터(22)에 브레이크가 걸려져 있으며, 제1 구동용 모터(21)의 동력으로, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 암(4)이 신축한다. 이 때문에, 기판(2)의 반송시에 로보트(1)를 비상정지시키면, 핸드(3)는 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 소정량 움직인 후에 정지한다. 즉, 동작중의 로보트(1)를 비상정지시켜도, 핸드(3)가 일정 방향을 향하고 있는 상태가 유지되기 때문에, 비상정지시의 로보트(1)의 자세의 흐트러짐을 억제하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 실시형태에서는, 로보트(1)를 비상정지시켜도, 로보트(1)의 주변기기의 예기치 못한 개소에 핸드(3)가 충돌하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.
본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)에 연결되는 감속기(28)의 출력부(41)에 풀리(43)가 고정되며, 핸드(3)의 기단측에 풀리(46)가 고정되어 있고, 풀리(43)와 풀리(46)에는 벨트(47)가 걸쳐져 있다. 이 때문에, 동력전달기구(23)의 구성을 비교적 간소화하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 실시형태에서는, 출력부(41)가, 통모양으로 형성되는 감속기(27)의 입력부(35)의 내주측을 통과하도록 배치되어 있기 때문에, 출력부(41)가 감속기(27)의 외측에 배치되어 있는 경우와 비교하여 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부를 소형화하는 것이 가능하게 된다.
본 실시형태에서는, 전후방향으로 핸드(3)가 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시를 행할 때에, 수용부 내에 수용된 기판(2)을 핸드(3)에 탑재 가능한 위치까지 암(4)이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 대략 평행이 되도록, 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 기판(2)과 핸드(3)와의 방향을 맞추고 있다. 이 때문에, 본 실시형태에서는, 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤이 용이하게 된다.
즉, 예를 들면, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜, 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤을 행하는 경우에는, 선회중심(C3)과 핸드(3)의 선단과의 거리가 길어지기 때문에, 선회 구동용 모터(14)의 회전량에 대한 핸드(3)의 선단의 이동량이 커지게 되어 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤이 곤란하게 된다. 이것에 대해서, 본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 기판(2)과 핸드(3)와의 방향을 맞추고 있어 핸드(3)의 회동중심(C1)과 핸드(3)의 선단과의 거리가 짧아지기 때문에, 제2 구동용 모터(22)의 회전량에 대한 핸드(3)의 선단의 이동량을 억제할 수 있어 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤이 용이하게 된다.
본 실시형태에서는, 전후방향으로 핸드(3)가 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시를 행할 때, 상하방향에서 보았을 때에 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록 조그 동작을 행하여 기판(2)과 핸드(3)와의 위치 맞춤을 행한 후에, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 경우에는, 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및／또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹쳐져 있는 상태를 유지하면서, 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록 로보트(1)를 동작시키고 있다. 이 때문에, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 자유롭게 상대회동시키는 것이 가능하면서도, 로보트(1)의 복잡한 교시작업이 불필요하게 되어, 교시작업을 용이하게 실시하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 실시형태에서는, 제어부(20)가, 자동적으로, 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및／또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치져 있는 상태를 유지하면서, 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록 로보트(1)를 동작시키기 때문에, 오퍼레이터의 교시작업이 보다 용이하게 된다.
(동력전달기구의 변형예 1)
도 9는, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 동력전달기구(53)의 구성을 설명하기 위한 개략도이다. 도 10은, 도 9의 G부의 확대도이다. 도 11은, 도 10에 나타내는 감속기(58) 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
앞서 설명한 실시형태에서는, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에, 풀리(46)가 배치되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에, 제4 감속기로서의 감속기(50)가 배치되어도 좋다. 이 경우에는, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하기 위해서, 제2 구동용 모터(22)의 동력으로 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시키는 경우라도, 핸드(3)를 적절히 회동시키는 것이 가능하게 된다.
도 9~도 11에 나타내는 변형예 1에서는, 상술의 동력전달기구(23)에 대신하여, 동력전달기구(53)가 설치되어 있다. 이하, 동력전달기구(53)의 구성에 대해서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 동력전달기구(23)의 구성과 공통되는 동력전달기구(53)의 구성에 대해서는, 동일한 부호를 부여함과 아울러, 그 설명을 생략 또는 간략화한다.
동력전달기구(53)는, 감속기(50)에 더하여 상술의 감속기(26) 및 감속기(27)를 구비하고 있다. 또한, 동력전달기구(53)는, 제2 구동용 모터(22)에 연결되는 제3 감속기로서의 감속기(58)를 구비하고 있다. 변형예 1에서는, 제1 구동용 모터(21)는, 앞서 설명한 실시형태와 마찬가지로 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 또한, 이 변형예 1에서는, 제2 구동용 모터(22)는 제2 암부(16)에 장착되어 있다. 이 제2 구동용 모터(22)는 제2 암부(16)의 기단측의 내부에 배치되어 있다.
감속기(27)는, 위에서 설명한 바와 같이, 입력부(35)와, 출력부(36)와, 고정용 플랜지(37)를 구비하고 있다. 앞서 설명한 실시형태에서는, 입력부(35)의 타단에 풀리는 고정되어 있지 않지만, 이 변형예 1에서는, 입력부(35)의 타단에 제1 풀리로서의 풀리(60)가 고정되어 있다.
감속기(58)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 태양치차(62)와, 복수의 유성치차(63)와, 내부치차(64)와, 유성치차(63)를 회전가능하게 유지하는 유성캐리어(65)를 가지는 유성치차 감속기이다. 감속기(58)는, 제2 암부(16)의 내부에 배치되어 있다. 태양치차(62)에는 제3 풀리로서의 풀리(66)가 고정되어 있다. 유성캐리어(65)에는, 제4 풀리로서의 풀리(67)가 고정되어 있다. 내부치차(64)는 베어링(68)을 통하여 제2 암부(16)에 장착되어 있으며, 제2 암부(16)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 즉, 내부치차(64)는, 제2 암부(16)에 회동가능하게 유지되어 있다. 내부치차(64)에는, 제5 풀리로서의 풀리(69)가 고정되어 있다. 또한, 풀리(69)는, 내부치차(64)와 일체로 형성되어도 좋다.
감속기(50)는, 입력부(70)와, 출력부(71)와, 출력부(71)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(72)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(72)는, 제2 암부(16)의 선단측에 고정되어 있다. 출력부(71)는 고정용 플랜지(72)를 통하여 제2 암부(16)의 선단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 출력부(71)의 일단은 핸드(3)의 기단측에 고정되어 있다. 입력부(70)는 출력부(71)의 타단측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(70)에는, 제2 풀리로서의 풀리(73)가 고정되어 있다. 풀리(73)는, 제2 암부(16)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 또한, 풀리(73)는, 입력부(70)와 일체로 형성되어도 좋다.
감속기(27)의 입력부(35)에 고정되는 풀리(60)와, 감속기(58)의 태양치차(62)에 고정되는 풀리(66)에는, 제1 벨트로서의 벨트(74)가 걸쳐져 있다. 감속기(50)의 입력부(70)에 고정되는 풀리(73)와 감속기(58)의 유성캐리어(65)에 고정되는 풀리(67)에는, 제2 벨트로서의 벨트(75)가 걸쳐져 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에 고정되는 제6 풀리로서의 풀리(76)와 감속기(58)의 내부치차(64)에 고정되는 풀리(69)에는, 제3 벨트로서의 벨트(77)가 걸쳐져 있다.
이 변형예 1에서는, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27, 50, 58)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 60, 66, 67, 73)의 지름 등이 설정되어 있다. 또한, 이 변형예 1에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면, 내부치차(64)가 회전하여 유성치차(63)가 회전하기 때문에, 유성캐리어(65), 풀리(67, 73), 벨트(75) 및 감속기(50)를 통하여 제2 구동용 모터(22)의 동력이 핸드(3)에 전달되고, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다. 또한, 이 변형예 1에서도, 앞서 설명한 실시형태와 마찬가지로, 기판(2)의 기울기 검출동작에 의해서, 기판(2)의 기울기가 검출되면, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정하기 때문에, 로보트(1)는 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킨다.
(동력전달기구의 변형예 2)
도 12는, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 감속기(88) 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
변형예 1에서는, 제2 구동용 모터(22)에 유성치차 감속기인 감속기(58)가 벨트(77)를 통하여 연결되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제1 베벨치차(81)와, 제1 베벨치차(81)에 서로 맞물리는 제2 베벨치차(82) 및 제3 베벨치차(83)와, 제1 베벨치차(81)를 회전가능하게 유지하는 유지부재(84)를 구비하는 감속기(88)가, 벨트(77)를 통하여 제2 구동용 모터(22)에 연결되어도 좋다.
감속기(88)에서는, 제2 베벨치차(82)와 제3 베벨치차(83)가 상하방향으로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 상술의 풀리(66)가 축(85)을 통하여 제2 베벨치차(82)에 고정되며, 상술의 풀리(67)가 축(85)을 통하여 제3 베벨치차(83)에 고정되어 있다. 제1 베벨치차(81)는, 수평방향을 축방향으로 하여 배치되는 축(86)에 고정되어 있으며, 축(86)은 유지부재(84)에 회전가능하게 유지되어 있다. 유지부재(84)는 베어링(87)을 통하여 제2 암부(16)에 장착되어 있으며, 제2 암부(16)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 즉, 유지부재(84)는 제2 암부(16)에 회동가능하게 유지되어 있다. 유지부재(84)에는, 제5 풀리로서의 풀리(89)가 고정되어 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에 고정되는 풀리(76)와 풀리(89)에는, 벨트(77)가 걸쳐져 있다. 또한, 풀리(89)는 유지부재(84)와 일체로 형성되어도 좋다.
이 변형예 2에서는, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27, 50)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 60, 66, 67, 73)의 지름 등이 설정되어 있다. 또한, 이 변형예 2에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면 유지부재(84)가 회전하여 제1 베벨치차(81)가 회전하기 때문에, 제3 베벨치차(83), 풀리(67, 73), 벨트(75) 및 감속기(50)를 통하여 제2 구동용 모터(22)의 동력이 핸드(3)에 전달되어 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다.
(산업용 로보트의 제어방법의 변형예)
도 13은, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 제어방법을 설명하기 위한 평면도이다.
앞서 설명한 실시형태에서는, 제어부(20)는, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시키고, 암(4)을 신축시켜 기판(2)을 반송하고 있다. 이 밖에도 예를 들면, 좌우방향(Y방향)으로 핸드(3)가 움직여 기판(2)을 반송하는 경우로서, 또한, 전후방향에 있어서 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 수용부의 중심으로부터 어긋나 있는 경우(즉, 도 13에 나타내는 바와 같이, 수용부에 수용됨과 아울러 좌우방향에 대해서 기울어져 있지 않은 기판(2)의 기준선(LB)상에 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 배치되어 있지 않은 경우)에는, 제어부(20)는, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 구동시키면서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시켜서, 기판(2)을 반송해도 좋다.
이 경우에는, 도 13의 (A)에 나타내는 바와 같이, 수용부 내에 수용되는 기판(2)을 핸드(3)에 탑재 가능한 위치까지 암(4)이 늘어나 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드(3)의 회동중심(C1)이 기준선(LB)상에 배치됨과 아울러, 핸드(3)의 선단부의 중심(C2)이 기준선(LB)상에 배치된다. 또한, 도 13의 (B)에 나타내는 바와 같이, 선회부재(11)의 선회중심(C3)을 중심으로 하여 선회할 때의 로보트(1)의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 암(4)이 줄어들어 있는 상태(선회중심(C3)을 중심으로 하여 선회할 때의 로보트(1)의 선회반경이 최소가 되는 위치에 핸드(3)가 있는 상태)에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)상에 선회중심(C3)이 배치됨과 아울러, 반출된 기판(2)의 안측단(2a)의 중심(C10)이 기준선(LB)상에 배치되어 있다. 또한, 제어부(20)는, 선회부재(11)를 선회시키고, 또한, 핸드(3)를 회동시키면서, 암(4)을 신축시켜서 기판(2)을 반송한다.
이 경우에는, 좌우방향에 핸드(3)가 움직여 기판(2)을 반송하는 경우로서, 또한, 전후방향에 있어서 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 수용부의 중심으로부터 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 기판(2)을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다. 또한, 이 경우에는, 암(4)이 늘어나 있는 상태와 암(4)이 줄어들어 있는 상태와의 사이에서 로보트(1)를 동작시킬 때, PTP 동작에 의해서, 로보트(1)를 동작시키는 것이 바람직하다. PTP 동작에 의해서 로보트(1)를 동작시키는 경우, 보간 동작에 의해서 로보트(1)를 동작시키는 경우와 비교하여 핸드(3)의 진동을 억제하는 것이 가능하게 된다. 다만, 기판(2)의 안측단(2a)의 중심(C10)이 기준선(LB)상을 통과하도록 보간 동작에 의해서 로보트(1)를 동작시켜도 좋다.
(다른 실시형태)
앞서 설명한 실시형태는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 대해 여러 가지 변형 실시가 가능하다.
앞서 설명한 실시형태에서는, 로보트(1)는 본체부(5)를 지지하는 베이스부재(6)를 구비하고 있지만, 로보트(1)는 베이스부재(6)를 갖추지 않아도 좋다. 즉, 본체부(5)는 좌우방향으로 이동가능하게 되어 있지 않아도 좋다. 이 경우라도, 기판(2)의 기울기에 따라 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킴으로써, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 이 경우에는, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하면서도 로보트(1)를 소형화하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본체부(5)가 좌우방향으로 이동가능하게 되어 있지 않고, 또한, 핸드(3)의 이동방향에 직교하는 방향에 있어서 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 수용부의 중심으로부터 어긋나 있는 경우라도, 도 13에 나타내는 바와 같이, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 구동시키면서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시킴으로써, 수용부로부터 기판(2)을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다.
앞서 설명한 실시형태에서는, 제1 구동용 모터(21)는 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 제1 구동용 모터(21)는 암 지지부재(7)에 장착되어도 좋다. 이 경우에는, 감속기(26)의 입력부(30)의 타단(도 4에 나타내는 예에서는 하단)에 풀리가 고정되고, 이 풀리와 제1 구동용 모터(21)의 회전축에 장착되는 풀리에 벨트가 걸쳐진다. 또한, 감속기(26)의 입력부(30)에 고정되는 풀리(33)와, 감속기(27)의 입력부(35)에 고정되는 풀리(38)에 벨트가 걸쳐진다.
앞서 설명한 실시형태에서는, 암(4)의 기단측은 암 지지부재(7)의 선단측에 회동가능하게 지지되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 암(4)의 기단측은, 선회부재(11)에 회동가능하게 지지되어도 좋다. 이 경우의 선회부재(11)는 암(4)의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재이다.
앞서 설명한 실시형태에서는, 암(4)은 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 2개의 암부에 의해서 구성되어 있지만, 암(4)은, 3개 이상의 암부에 의해서 구성되어도 좋다. 또한, 앞서 설명한 실시형태에서는, 로보트(1)는 2개의 핸드(3)와 2개의 암(4)을 구비하는 이른바 더블 암형의 로보트이지만, 로보트(1)는 1개의 핸드(3)와 1개의 암(4)을 구비하는 싱글 암형의 로보트라도 좋다. 또한, 앞서 설명한 실시형태에서는, 로보트(1)에 의해서 반송되는 반송대상물은 기판(2)이지만, 로보트(1)에 의해서 반송되는 반송대상물은, 기판(2) 이외의 반도체 웨이퍼 등이어도 좋다.
1 : 로보트(산업용 로보트) 2 : 기판(유리기판, 반송대상물)
2a : 안측단 2b : 앞측단
3 : 핸드 4 : 암
7 : 암 지지부재 15 : 제 1 암부
16 : 제 2 암부 20 : 제어부
21 : 제 1 구동용 모터 22 : 제 2 구동용 모터
23, 53 : 동력전달기구 26 : 감속기(제1 감속기)
27 : 감속기(제2 감속기) 28 : 감속기(제3 감속기)
30 : 입력부(제1 감속기의 입력부) 31 : 출력부(제1 감속기의 출력부)
35 : 입력부(제2 감속기의 입력부) 36 : 출력부(제2 감속기의 출력부)
40 : 입력부(제3 감속기의 입력부) 41 : 출력부(제3 감속기의 출력부)
43 : 풀리(제1 풀리) 46 : 풀리(제2 풀리)
47 : 벨트 50 : 감속기(제4 감속기)
58 : 감속기(제3 감속기) 60 : 풀리(제1 풀리)
62 : 태양치차 63 : 유성치차
64 : 내부치차 65 : 유성캐리어
66 : 풀리(제3 풀리) 67 : 풀리(제4 풀리)
69 : 풀리(제5 풀리) 70 : 입력부(제4 감속기의 입력부)
71 : 출력부(제4 감속기의 출력부) 73 : 풀리(제2 풀리)
74 : 벨트(제1 벨트) 75 : 벨트(제2 벨트)
76 : 풀리(제6 풀리) 77 : 벨트(제3 벨트)
81 : 제1 베벨치차 82 : 제2 베벨치차
83 : 제3 베벨치차 84 : 유지부재
88 : 감속기(제3 감속기) 89 : 풀리(제5 풀리)
C1 : 핸드의 회동중심 C2: 핸드의 선단부의 중심
C3 : 선회중심
C10 : 안측단의 중심(반송대상물의 안측단의 중심)
C20 : 앞측단의 중심(반송대상물의 앞측단의 중심)
LB : 기준선 LH : 핸드 중심선

Claims (16)

  1. 반송대상물이 탑재되는 핸드와, 상기 핸드를 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제2 암부와 상기 제2 암부의 기단측을 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제1 암부와의 적어도 2개의 암부를 가지는 암과, 상기 암을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터와, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 상기 제1 구동용 모터의 동력 및 상기 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고,
    상기 동력전달기구는 상기 핸드가 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 움직이도록 상기 제1 구동용 모터의 동력을 상기 암 및 상기 핸드에 전달하며, 또한, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드가 상대회동하도록 상기 제2 구동용 모터의 동력을 상기 핸드에 전달하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 구동용 모터는 상기 제1 암부에 장착되고,
    상기 동력전달기구는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 상기 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 상기 제2 암부의 기단측에 배치되며 상기 제3 감속기의 출력부에 고정되는 제1 풀리와, 상기 제2 암부의 선단측에 배치되며 상기 핸드의 기단측에 고정되는 제2 풀리와, 상기 제1 풀리와 상기 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제2 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 제2 암부의 기단측에 고정되고,
    상기 제2 감속기의 입력부는 상기 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
    상기 제3 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지되고,
    상기 제3 감속기의 입력부는 상기 제3 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  4. 청구항 2 또는 3에 있어서,
    상기 제2 감속기의 입력부 및 출력부는 대략 통모양으로 형성되고,
    상기 제2 감속기의 출력부의 내주측에 상기 제2 감속기의 입력부가 배치되며,
    상기 제2 감속기의 입력부의 내주측을 통과하도록 상기 제3 감속기의 출력부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 구동용 모터는 상기 제2 암부에 장착되고,
    상기 동력전달기구는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 태양치차와 유성치차와 내부치차와 상기 유성치차를 회전가능하게 유지하는 유성캐리어를 가지며 상기 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 상기 제2 암부의 기단측에 배치되며 상기 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 상기 제2 암부의 선단측에 배치되며 상기 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 상기 태양치차에 고정되는 제3 풀리와, 상기 유성캐리어에 고정되는 제4 풀리와, 상기 내부치차에 고정되는 제5 풀리와, 상기 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리와, 상기 제1 풀리와 상기 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 상기 제2 풀리와 상기 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 상기 제5 풀리와 상기 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 제2 암부의 기단측에 고정되고,
    상기 제2 감속기의 입력부는 상기 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
    상기 제4 감속기의 출력부는 상기 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 핸드의 기단측에 고정되고,
    상기 제4 감속기의 입력부는 상기 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
    상기 내부치차는 상기 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 구동용 모터는 상기 제2 암부에 장착되고,
    상기 동력전달기구는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 제1 베벨치차와 상기 제1 베벨치차에 치합(齒合)함과 아울러 서로 대향 배치되는 제2 베벨치차 및 제3 베벨치차와 상기 제1 베벨치차를 회전가능하게 유지하는 유지부재를 가지며 상기 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 상기 제2 암부의 기단측에 배치되며 상기 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 상기 제2 암부의 선단측에 배치되며 상기 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 상기 제2 베벨치차에 고정되는 제3 풀리와, 상기 제3 베벨치차에 고정되는 제4 풀리와, 상기 유지부재에 고정되는 제5 풀리와, 상기 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리를 구비하며, 상기 제1 풀리와 상기 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 상기 제2 풀리와 상기 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 상기 제5 풀리와 상기 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제2 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 제2 암부의 기단측에 고정되고,
    상기 제2 감속기의 입력부는 상기 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
    상기 제4 감속기의 출력부는 상기 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 핸드의 기단측에 고정되고,
    상기 제4 감속기의 입력부는 상기 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
    상기 유지부재는 상기 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  9. 청구항 1 내지 8 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재를 구비하고,
    상기 제1 구동용 모터는 상기 제1 암부 또는 상기 암 지지부재에 장착되며,
    상기 동력전달기구는 상기 암 지지부재와 상기 제1 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터에 연결되는 제1 감속기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제1 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 기단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 암 지지부재에 고정되고,
    상기 제1 감속기의 입력부는 상기 제1 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  11. 청구항 1 내지 10 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제2 구동용 모터는 상기 제2 구동용 모터의 회전축을 정지시키는 브레이크를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  12. 청구항 1 내지 11 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 상기 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러,
    상기 암이 늘어나면 상기 반송대상물이 수용되는 수용부 안에 상기 핸드가 들어가고, 상기 암이 줄어들면 상기 수용부로부터 상기 반송대상물이 반출되도록 구성되며,
    상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
    상기 수용부 내에 수용되는 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심이 상기 기준선상에 배치됨과 아울러, 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되고,
    상기 선회기구에 의해서 선회할 때의 상기 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 상기 암이 줄어들어 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 상기 반송대상물의 상기 안측단의 중심이 상기 기준선상에 배치되며,
    상기 제어부는 상기 선회기구에 의해서 상기 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 상기 핸드를 회동시키면서, 상기 암을 신축시켜, 상기 반송대상물을 반송하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  13. 청구항 1 내지 12 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 상기 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러,
    상기 암이 늘어나면 상기 반송대상물이 수용되는 수용부 안에 상기 핸드가 들어가고, 상기 암이 줄어들면 상기 수용부로부터 상기 반송대상물이 반출되도록 구성되며,
    상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
    상기 제어부는 상기 산업용 로보트의 교시(敎示)를 행하고 있는 경우에, 상기 수용부 내에 수용되는 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되어 있으며, 또한, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 선회기구에 의해서 선회하는 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치되지 않으면, 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 상기 암 지지부재의 선회중심이 상기 핸드 중심선상에 배치되도록, 상기 산업용 로보트를 동작시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  14. 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 청구항 1 내지 11 중 어느 하나의 항에 기재한 산업용 로보트의 제어방법으로서,
    상기 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 상기 반송대상물이 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
    상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심이 상기 기준선상에 배치됨과 아울러, 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되도록, 상기 수용부에 수용되는 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나고,
    상하방향에서 보았을 때에, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 선회기구에 의해서 선회하는 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 상기 반송대상물의 상기 안측단의 중심이 상기 기준선상에 배치되도록, 상기 선회기구에 의해서 선회할 때의 상기 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 상기 암이 줄어들며,
    상기 선회기구에 의해서 상기 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 상기 핸드를 회동시키면서, 상기 암을 신축시켜, 상기 반송대상물을 반송하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트의 제어방법.
  15. 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 청구항 1 내지 12 중 어느 하나의 항에 기재한 산업용 로보트의 교시방법으로서,
    상기 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 상기 반송대상물이 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
    상기 수용부 내에 수용된 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되어 있고, 또한, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 선회기구에 의해서 선회하는 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치되어 있지 않으면, 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 상기 암 지지부재의 선회중심이 상기 핸드 중심선상에 배치되도록, 상기 산업용 로보트를 동작시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트의 교시방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 수용부 내에 수용된 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서, 상기 핸드를 회동시키면서, 상기 반송대상물과 상기 핸드와의 방향을 맞추는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트의 교시방법.
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