KR20220063089A

KR20220063089A - 산업용 로봇

Info

Publication number: KR20220063089A
Application number: KR1020210149458A
Authority: KR
Inventors: 다모츠 구리바야시
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2020-11-09
Filing date: 2021-11-03
Publication date: 2022-05-17
Also published as: KR102512700B1; CN114454148A; US20220143813A1; JP2022076059A

Abstract

피지지부와, 피지지부의 하측에 배치됨과 함께 피지지부가 연결되는 지지부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 피지지부의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 이 산업용 로봇은, 피지지부(12)와, 피지지부(12)의 하측에 배치됨과 함께 피지지부(12)가 회동 가능하게 연결되는 지지부(11)와, 피지지부(12)가 상측으로부터 고정되고 피지지부(12)와 함께 회동함과 함께 지지부(11)에 회동 가능하게 보유 지지되는 회동 부재(27)와, 피지지부(12)를 회동 부재(27)에 고정시키기 위한 고정용 볼트(30)와, 회동 부재(27)에 대하여 피지지부(12)를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트(31)를 구비하고 있다.

Description

산업용 로봇{INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은, 예를 들어 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 관한 것이다.

종래, 수평 다관절형의 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 기판(유리 기판)이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 암은, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부에 의해 구성되어 있다. 핸드는, 제2 암부의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 암은, 본체부의 상측에 배치되고, 핸드는, 암의 상측에 배치되어 있다. 또한, 제2 암부의 기단부는, 제1 암부의 선단부의 상측에 배치되어 있다. 제1 암부와 제2 암부의 연결부에는, 감속기가 배치되어 있다. 감속기는, 중공 파동 기어 장치이다. 감속기의 케이스체는, 제1 암부의 선단부에 볼트로 고정되어 있다. 감속기의 출력축은, 제2 암부의 기단부의 하측에 배치되어 있다. 감속기의 출력축에는, 제2 암부의 기단부가 상측으로부터 볼트로 고정되어 있으며, 감속기의 출력축은, 제1 암부에 대하여 제2 암부와 함께 회동 가능하게 되어 있다.

일본 특허 공개 제2020-69575호 공보

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 경우, 산업용 로봇의 조립 후, 본체부에 대하여 암을 뻗었을 때에, 암 및 핸드의 자중 등의 영향으로 암이 휘어서, 핸드의 회동 중심축이 상하 방향(연직 방향)에 대하여 기우는 경우가 있다. 그 때문에, 이 산업용 로봇에서는, 예를 들어 산업용 로봇의 조립 후, 공장으로부터 산업용 로봇을 출하하기 전에, 제2 암부의 기단부의 하면과 감속기의 출력축의 상단부면의 사이에 심을 넣어, 상하 방향에 대한 핸드의 회동 중심축의 기울기를 조정해야 하는 경우가 있다.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 있어서, 제2 암부의 기단부의 하면과 감속기의 출력축의 상단부면의 사이에 심을 넣을 때에는, 감속기의 출력축에 제2 암부의 기단부를 고정시키기 위한 볼트를 느슨하게 하여, 감속기의 출력축에 대하여 제2 암부를 들어올릴 필요가 있지만, 제2 암부의 들어올리기 작업은, 종래, 작업자가, 전용의 지그를 이용하거나, 또는 사람의 힘으로 행하고 있다. 그 때문에, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 제2 암부의 들어올리기 작업이 매우 힘든 작업으로 된다.

그래서, 본 발명의 과제는, 피지지부와, 피지지부의 하측에 배치됨과 함께 피지지부가 연결되는 지지부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 피지지부의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 수평 다관절형의 산업용 로봇에 있어서, 피지지부와, 피지지부의 하측에 배치됨과 함께 피지지부가 회동 가능하게 연결되는 지지부와, 피지지부가 상측으로부터 고정되고 피지지부와 함께 회동함과 함께 지지부에 회동 가능하게 보유 지지되는 회동 부재와, 피지지부를 회동 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트와, 회동 부재에 대하여 피지지부를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 산업용 로봇은, 회동 부재에 대하여 피지지부를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트를 구비하고 있다. 그 때문에, 본 발명에서는, 피지지부를 회동 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트를 느슨하게 한 상태에서, 들어올리기용 볼트를 돌리면, 지지부에 회동 가능하게 보유 지지되는 회동 부재에 대하여 피지지부를 들어올리는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 회동 부재에 대한 피지지부의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 회동 부재에 대한 피지지부의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해지기 때문에, 피지지부와 회동 부재의 사이에 심을 넣는 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 산업용 로봇은, 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고, 암은, 피지지부로서의 상측 암부와, 지지부로서의 하측 암부를 구비하고, 하측 암부의 선단측에 상측 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 암은, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부와, 제2 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제3 암부를 구비하고, 제1 암부와 제2 암부의 관계에 있어서는, 제1 암부가 하측 암부임과 함께, 제2 암부가 상측 암부이며, 제2 암부와 제3 암부의 관계에 있어서는, 제2 암부가 하측 암부임과 함께, 제3 암부가 상측 암부이다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 산업용 로봇은, 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 지지부로서의 본체부를 구비하고, 암은, 피지지부로서, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부를 구비하고 있다.

본 발명에 있어서, 피지지부에는, 들어올리기용 볼트가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되고, 들어올리기용 볼트의 하단은, 회동 부재의 상면에 접촉 가능하게 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 피지지부의 상측으로부터 들어올리기용 볼트를 돌림으로써 회동 부재에 대하여 피지지부를 들어올리는 것이 가능해진다. 따라서, 들어올리기용 볼트가 걸림 결합하는 나사 구멍이 회동 부재에 형성되고, 들어올리기용 볼트의 상단이 피지지부의 하면에 접촉 가능하게 되어 있는 경우와 비교하여, 피지지부의 들어올리기 작업을 보다 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 피지지부와, 피지지부의 하측에 배치됨과 함께 피지지부가 직선적으로 슬라이드 가능하게 연결되는 지지부와, 피지지부가 상측으로부터 고정되고 피지지부와 함께 슬라이드함과 함께 지지부에 슬라이드 가능하게 보유 지지되는 슬라이드 부재와, 피지지부를 슬라이드 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트와, 슬라이드 부재에 대하여 피지지부를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 산업용 로봇은, 슬라이드 부재에 대하여 피지지부를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트를 구비하고 있다. 그 때문에, 본 발명에서는, 피지지부를 슬라이드 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트를 느슨하게 한 상태에서, 들어올리기용 볼트를 돌리면, 지지부에 슬라이드 가능하게 보유 지지되는 슬라이드 부재에 대하여 피지지부를 들어올리는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 슬라이드 부재에 대한 피지지부의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 슬라이드 부재에 대한 피지지부의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해지기 때문에, 피지지부와 슬라이드 부재의 사이에 심을 넣는 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 본 발명에서는, 피지지부와, 피지지부의 하측에 배치됨과 함께 피지지부가 연결되는 지지부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 피지지부의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 관절부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 3의 E-E 방향으로부터 고정용 볼트 및 들어올리기용 볼트의 배치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 3에 도시한 관절부에 있어서 제3 암부를 들어올린 상태의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 측면도이다.
도 7은 도 6에 도시한 피지지부와 지지부의 연결 부분의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

(산업용 로봇의 전체 구성)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시한 산업용 로봇(1)의 측면도이다.

본 형태의 산업용 로봇(1)은, 반도체 웨이퍼(2)를 반송하기 위한 수평 다관절형 로봇이다. 산업용 로봇(1)은, 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용된다. 산업용 로봇(1)은, 반도체 웨이퍼(2)가 탑재되는 2개의 핸드(4, 5)와, 핸드(4, 5)가 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 수평 방향으로 동작하는 암(6)과, 암(6)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(7)를 구비하고 있다. 반도체 웨이퍼(2)는, 원판 형상으로 형성되어 있다. 이하의 설명에서는, 산업용 로봇(1)을 「로봇(1)」이라 하고, 반도체 웨이퍼(2)를 「웨이퍼(2)」라 한다.

암(6)은, 본체부(7)에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(10)와, 제1 암부(10)의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부(11)와, 제2 암부(11)의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제3 암부(12)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(6)은, 제1 암부(10)와 제2 암부(11)와 제3 암부(12)의 3개의 암부에 의해 구성되어 있다. 제1 암부(10), 제2 암부(11) 및 제3 암부(12)는, 중공 형상으로 형성되어 있다.

본체부(7)와 제1 암부(10)와 제2 암부(11)와 제3 암부(12)는, 상하 방향에 있어서, 하측에서부터 이 순번으로 배치되어 있다. 즉, 본체부(7)는, 제1 암부(10)의 하측에 배치되고, 제1 암부(10)는, 제2 암부(11)의 하측에 배치되며, 제2 암부(11)는, 제3 암부(12)의 하측에 배치되어 있다. 본 형태에서는, 본체부(7)와 제1 암부(10)의 관계에 있어서, 제1 암부(10)는, 피지지부로 되어 있으며, 본체부(7)는, 피지지부인 제1 암부(10)의 하측에 배치됨과 함께 제1 암부(10)가 회동 가능하게 연결되는 지지부로 되어 있다.

또한, 본 형태에서는, 제1 암부(10)와 제2 암부(11)의 관계에 있어서, 제2 암부(11)는, 피지지부로 되어 있으며, 제1 암부(10)는, 피지지부인 제2 암부(11)의 하측에 배치됨과 함께 제2 암부(11)가 회동 가능하게 연결되는 지지부로 되어 있다. 또한, 제1 암부(10)와 제2 암부(11)의 관계에 있어서는, 제2 암부(11)가 상측 암부로 되어 있으며, 제1 암부(10)가 하측 암부로 되어 있다.

또한, 본 형태에서는, 제2 암부(11)와 제3 암부(12)의 관계에 있어서, 제3 암부(12)는, 피지지부로 되어 있으며, 제2 암부(11)는, 피지지부인 제3 암부(12)의 하측에 배치됨과 함께 제3 암부(12)가 회동 가능하게 연결되는 지지부로 되어 있다. 또한, 제2 암부(11)와 제3 암부(12)의 관계에 있어서는, 제3 암부(12)가 상측 암부로 되어 있으며, 제2 암부(11)가 하측 암부로 되어 있다.

핸드(4, 5)는, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 대략 Y 형상이 되도록 형성되어 있다. 핸드(4, 5)의 기단부는, 제3 암부(12)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제3 암부(12)에 대한 핸드(4)의 회동 중심과 제3 암부(12)에 대한 핸드(5)의 회동 중심은 일치하고 있다. 핸드(4, 5)의 각각은, 제3 암부(12)에 대하여 개별로 회동 가능하게 되어 있다. 핸드(4, 5)는, 제3 암부(12)의 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(4)는, 핸드(5)의 상측에 배치되어 있다.

본체부(7)는, 제1 암부(10)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 승강부(14)와, 승강부(14)를 승강 가능하게 보유 지지하는 하우징(15)을 구비하고 있다. 제1 암부(10)의 기단측은, 승강부(14)의 상단부에 회동 가능하게 연결되어 있다. 하우징(15)의 내부에는, 승강부(14)를 승강시키는 암 승강 기구가 수납되어 있다. 암 승강 기구는, 예를 들어 볼 나사 및, 볼 나사의 나사축을 회전시키는 모터 등으로 구성되어 있다.

또한, 로봇(1)은, 제3 암부(12)에 대하여 핸드(5)를 회동시키는 핸드 회동 기구와, 제3 암부(12)에 대하여 핸드(4)를 회동시키는 핸드 회동 기구와, 제1 암부(10) 및 제2 암부(11)를 회동시켜 제1 암부(10)와 제2 암부(11)로 이루어지는 암(6)의 일부를 신축시키는 암부 구동 기구와, 제2 암부(11)에 대하여 제3 암부(12)를 회동시키는 제3 암부 회동 기구를 구비하고 있다. 핸드 회동 기구는, 모터와, 모터의 동력을 감속해서 핸드(4, 5)에 전달하기 위한 감속기를 구비하고 있다.

암부 구동 기구는, 모터와, 모터의 동력을 감속해서 전달하기 위한 2개의 감속기(17)를 구비하고 있다. 모터는, 하우징(15)의 내부에 배치됨과 함께 승강부(14)에 보유 지지되어 있다. 2개의 감속기(17) 중 한쪽의 감속기(17)는, 승강부(14)와 제1 암부(10)를 연결하는 관절부(18)에 배치되어 있으며, 모터의 동력을 감속해서 제1 암부(10)에 전달한다. 다른 쪽의 감속기(17)는, 제1 암부(10)와 제2 암부(11)를 연결하는 관절부(19)에 배치되어 있으며, 모터의 동력을 감속해서 제2 암부(11)에 전달한다.

제3 암부 구동 기구는, 모터와, 모터의 동력을 감속해서 전달하기 위한 감속기(17)를 구비하고 있다. 모터는, 제2 암부(11)의 내부에 배치되어 있다. 감속기(17)는, 제2 암부(11)와 제3 암부(12)를 연결하는 관절부(20)에 배치되어 있으며, 모터의 동력을 감속해서 제3 암부(12)에 전달한다.

감속기(17)는, 중공 파동 기어 장치(하모닉 드라이브(등록상표))이다. 암부 구동 기구에서는, 모터와 감속기(17)가, 예를 들어 일본 특허 공개 제2011-230256호 공보에 기재된 산업용 로봇과 마찬가지로, 풀리 및 벨트를 통해 연결되어 있다. 또한, 제3 암부 구동 기구에서는, 모터와 감속기(17)가, 예를 들어 일본 특허 공개 제2011-230256호 공보에 기재된 산업용 로봇과 마찬가지로, 풀리(21) 및 벨트(22)(도 3 참조)를 통해 연결되어 있다. 또한, 제3 암부 구동 기구에 있어서, 모터와 감속기(17)가 베벨 기어를 통해 연결되어 있어도 된다. 또한, 감속기(17)는, 중공 파동 기어 장치 이외의 감속기여도 된다.

(관절부의 구성)

도 3은, 도 2에 도시한 관절부(20)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 4는, 도 3의 E-E 방향으로부터 고정용 볼트(30) 및 들어올리기용 볼트(31)의 배치를 설명하기 위한 도면이다. 도 5는, 도 3에 도시한 관절부(20)에 있어서 제3 암부(12)를 들어올린 상태의 단면도이다.

상술한 바와 같이, 관절부(20)에는, 감속기(17)가 배치되어 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 감속기(17)는, 중공 파동 기어 장치이다. 감속기(17)의 입력축(25)의 하단에는, 풀리(21)가 고정되어 있다. 감속기(17)의 케이스체(26)는, 제2 암부(11)의 선단측의 상면부에 고정되어 있다. 감속기(17)의 출력축(27)에는, 제3 암부(12)가 고정되어 있다. 구체적으로는, 제3 암부(12)의 기단부가 상측으로부터 출력축(27)에 고정되어 있다.

출력축(27)은, 베어링(28)을 통해 케이스체(26)에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다. 즉, 출력축(27)은, 베어링(28) 및 케이스체(26)를 통해 제2 암부(11)의 선단측의 상면부에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다. 관절부(20)에서는, 출력축(27)은, 제2 암부(11)와 제3 암부(12)의 관계에 있어서 피지지부인 제3 암부(12)가 상측으로부터 고정됨과 함께 제3 암부(12)와 함께 회동하는 회동 부재로 되어 있으며, 회동 부재인 출력축(27)은, 제2 암부(11)와 제3 암부(12)의 관계에 있어서 지지부인 제2 암부(11)에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다. 출력축(27)의 상면은, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다.

제3 암부(12)의 기단부에는, 출력축(27)에 고정되는 피고정부(12a)가 형성되어 있다. 피고정부(12a)의 하측은, 출력축(27)이 배치되는 오목부로 되어 있으며, 이 오목부는, 제3 암부(12)의 하면으로부터 상측을 향해 움푹 패어 있다. 또한, 피고정부(12a)의 상측도 오목부로 되어 있으며, 이 오목부는, 제3 암부(12)의 상면으로부터 하측을 향해 움푹 패어 있다. 이 오목부는, 커버(29)에 의해 상측으로부터 덮여 있다(도 1, 도 2 참조). 피고정부(12a)의 상면 및 하면은, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 출력축(27)에 고정되는 피고정부(12a)의 하면은, 출력축(27)의 상면에 접촉하고 있다.

관절부(20)에는, 제3 암부(12)를 출력축(27)에 고정시키기 위한 복수의 고정용 볼트(30)와, 출력축(27)에 대하여 제3 암부(12)를 들어올리기 위한 복수의 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)은, 제3 암부(12)를 출력축(27)에 고정시키기 위한 고정용 볼트(30)와, 출력축(27)에 대하여 제3 암부(12)를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트(31)를 구비하고 있다. 관절부(20)에는, 예를 들어 12개의 고정용 볼트(30)와 4개의 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다.

고정용 볼트(30)는, 육각 구멍 구비 볼트이다. 고정용 볼트(30)는, 고정용 볼트(30)의 축부의 축방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 피고정부(12a)(즉, 제3 암부(12)의 기단부)에는, 고정용 볼트(30)의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(12b)이 형성되어 있다. 삽입 관통 구멍(12b)은, 상하 방향에 있어서 피고정부(12a)를 관통하고 있다. 출력축(27)에는, 고정용 볼트(30)가 걸림 결합하는(구체적으로는, 고정용 볼트(30)의 축부에 형성되는 수나사가 걸림 결합하는) 나사 구멍(27a)이 형성되어 있다. 나사 구멍(27a)은, 출력축(27)의 상면으로부터 하측을 향해 움푹 패어 있다. 고정용 볼트(30)는, 피고정부(12a)의 상측으로부터 삽입 관통 구멍(12b)에 삽입 관통됨과 함께 나사 구멍(27a)에 나사 삽입되어 있으며, 고정용 볼트(30)의 헤드부는 피고정부(12a)의 상측에 배치되어 있다.

들어올리기용 볼트(31)는, 헤드부의 외경과 축부의 외경이 동등한 세트 볼트이다. 예를 들어, 들어올리기용 볼트(31)는, 일단부면에 육각형의 구멍이 형성된 육각 구멍 구비 고정 나사이다. 들어올리기용 볼트(31)는, 들어올리기용 볼트(31)의 축방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 제3 암부(12)의 기단부에는, 들어올리기용 볼트(31)가 걸림 결합하는(구체적으로는, 들어올리기용 볼트(31)의 축부에 형성되는 수나사가 걸림 결합하는) 나사 구멍(12c)이 형성되어 있다. 나사 구멍(12c)은, 상하 방향에 있어서 피고정부(12a)를 관통하고 있다. 들어올리기용 볼트(31)는, 피고정부(12a)의 상측으로부터 나사 구멍(12c)에 나사 삽입되어 있다. 들어올리기용 볼트(31)의 길이는, 피고정부(12a)의 두께(상하 방향의 두께)보다도 길어져 있으며, 들어올리기용 볼트(31)의 하단은, 출력축(27)의 상면에 접촉 가능하게 되어 있다.

도 4에 도시한 바와 같이, 12개의 고정용 볼트(30)는, 제2 암부(11)에 대한 제3 암부(12)의 회동 중심을 중심으로 하는 원환 형상으로 배열되어 있다. 또한, 12개의 고정용 볼트(30)는, 제2 암부(11)에 대한 제3 암부(12)의 회동 중심을 중심으로 하여 등각도로 배열되어 있다. 4개의 들어올리기용 볼트(31)는, 제2 암부(11)에 대한 제3 암부(12)의 회동 중심을 중심으로 하는 원환 형상으로 배열되어 있다. 또한, 4개의 들어올리기용 볼트(31)는, 제2 암부(11)에 대한 제3 암부(12)의 회동 중심을 중심으로 하여 등각도로 배열되어 있다. 본 형태에서는, 들어올리기용 볼트(31)는, 원환 형상으로 배열되는 고정용 볼트(30)의 외주측에 배치되어 있다.

또한, 상술한 바와 같이, 관절부(19)에도 감속기(17)가 배치되어 있다. 관절부(19)에서는, 케이스체(26)는, 제1 암부(10)의 선단측의 상면부에 고정되고, 출력축(27)에는, 제2 암부(11)의 기단부가 상측으로부터 고정되어 있다. 출력축(27)은, 베어링(28) 및 케이스체(26)를 통해 제1 암부(10)의 선단측의 상면부에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다. 관절부(19)에서는, 출력축(27)은, 제1 암부(10)와 제2 암부(11)의 관계에 있어서 피지지부인 제2 암부(11)가 상측으로부터 고정됨과 함께 제2 암부(11)와 함께 회동하는 회동 부재로 되어 있으며, 회동 부재인 출력축(27)은, 제1 암부(10)와 제2 암부(11)의 관계에 있어서 지지부인 제1 암부(10)에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다.

관절부(19)에는, 관절부(20)와 마찬가지로, 제2 암부(11)를 출력축(27)에 고정시키기 위한 복수의 고정용 볼트(30)와, 출력축(27)에 대하여 제2 암부(11)를 들어올리기 위한 복수의 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다. 예를 들어, 관절부(19)에는, 12개의 고정용 볼트(30)와 4개의 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다. 관절부(19)에서는, 관절부(20)와 마찬가지로, 제2 암부(11)의 기단부에, 고정용 볼트(30)의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되고, 출력축(27)에, 고정용 볼트(30)가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있다. 제2 암부(11)의 기단부에는, 들어올리기용 볼트(31)가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있으며, 들어올리기용 볼트(31)의 하단은, 출력축(27)의 상면에 접촉 가능하게 되어 있다. 관절부(19)에서는, 관절부(20)와 마찬가지로, 고정용 볼트(30) 및 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다.

또한, 상술한 바와 같이, 관절부(18)에도 감속기(17)가 배치되어 있다. 관절부(18)에서는, 케이스체(26)는, 본체부(7)의 상단부(구체적으로는, 승강부(14)의 상단부)에 고정되고, 출력축(27)에는, 제1 암부(10)의 기단부가 상측으로부터 고정되어 있다. 출력축(27)은, 베어링(28) 및 케이스체(26)를 통해 승강부(14)의 상단부에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다. 관절부(18)에서는, 출력축(27)은, 본체부(7)와 제1 암부(10)의 관계에 있어서 피지지부인 제1 암부(10)가 상측으로부터 고정됨과 함께 제1 암부(10)와 함께 회동하는 회동 부재로 되어 있으며, 회동 부재인 출력축(27)은, 본체부(7)와 제1 암부(10)의 관계에 있어서 지지부인 본체부(7)에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다.

관절부(18)에는, 관절부(20)와 마찬가지로, 제1 암부(10)를 출력축(27)에 고정시키기 위한 복수의 고정용 볼트(30)와, 출력축(27)에 대하여 제1 암부(10)를 들어올리기 위한 복수의 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다. 예를 들어, 관절부(18)에는, 12개의 고정용 볼트(30)와 4개의 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다. 관절부(18)에서는, 관절부(20)와 마찬가지로, 제1 암부(10)의 기단부에, 고정용 볼트(30)의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되고, 출력축(27)에, 고정용 볼트(30)가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있다. 제1 암부(10)의 기단부에는, 들어올리기용 볼트(31)가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있으며, 들어올리기용 볼트(31)의 하단은, 출력축(27)의 상면에 접촉 가능하게 되어 있다. 관절부(18)에서는, 관절부(20)와 마찬가지로, 고정용 볼트(30) 및 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다.

로봇(1)을 조립한 후, 예를 들어 로봇(1)을 공장으로부터 출하하기 전에는, 암(6)이 뻗어 있을 때의 상하 방향에 대한 핸드(4, 5)의 회동 중심축의 기울기를 조정하기 위해서, 관절부(20)에 있어서, 제3 암부(12)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이(구체적으로는, 피고정부(12a)의 하면과 출력축(27)의 상면의 사이)에 심(33)을 넣는 경우가 있다. 이 경우에는, 작업자는, 도 5에 도시한 바와 같이, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 후, 들어올리기용 볼트(31)가 하측으로 이동하도록 들어올리기용 볼트(31)를 나사 삽입하여, 출력축(27)에 대하여 제3 암부(12)를 들어올리고 나서, 제3 암부(12)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣는다. 제3 암부(12)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣기 완료하면, 작업자는, 들어올리기용 볼트(31)가 상측으로 이동하도록 들어올리기용 볼트(31)를 느슨하게 하고 나서, 고정용 볼트(30)를 체결한다(도 3 참조).

마찬가지로, 상하 방향에 대한 핸드(4, 5)의 회동 중심축의 기울기를 조정하기 위해서, 관절부(19)에 있어서, 제2 암부(11)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣는 경우에는, 작업자는, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 후, 들어올리기용 볼트(31)를 나사 삽입하여, 출력축(27)에 대하여 제2 암부(11)를 들어올리고 나서, 제2 암부(11)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣는다. 제2 암부(11)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣기 완료하면, 작업자는, 들어올리기용 볼트(31)가 상측으로 이동하도록 들어올리기용 볼트(31)를 느슨하게 하고 나서, 고정용 볼트(30)를 체결한다.

마찬가지로, 상하 방향에 대한 핸드(4, 5)의 회동 중심축의 기울기를 조정하기 위해서, 관절부(18)에 있어서, 제1 암부(10)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣는 경우에는, 작업자는, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 후, 들어올리기용 볼트(31)를 나사 삽입하여, 출력축(27)에 대하여 제1 암부(10)를 들어올리고 나서, 제1 암부(10)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣는다. 제1 암부(10)의 기단부와 출력축(27)의 상면의 사이에 심(33)을 넣기 완료하면, 작업자는, 들어올리기용 볼트(31)가 상측으로 이동하도록 들어올리기용 볼트(31)를 느슨하게 하고 나서, 고정용 볼트(30)를 쳬결한다.

(본 형태의 주된 효과)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 로봇(1)은, 관절부(20)에 있어서 출력축(27)에 대하여 제3 암부(12)를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트(31)를 구비하고 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 상태에서 들어올리기용 볼트(31)를 돌리면, 제2 암부(11)에 회동 가능하게 보유 지지되는 출력축(27)에 대하여 제3 암부(12)를 들어올리는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 출력축(27)에 대한 제3 암부(12)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 출력축(27)에 대한 제3 암부(12)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해지기 때문에, 출력축(27)과 제3 암부(12)의 사이에 심(33)을 넣는 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

마찬가지로 본 형태에서는, 관절부(19)에 있어서, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 상태에서 들어올리기용 볼트(31)를 돌리면, 출력축(27)에 대하여 제2 암부(11)를 들어올리는 것이 가능해지기 때문에, 출력축(27)에 대한 제2 암부(11)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 출력축(27)에 대한 제2 암부(11)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해지기 때문에, 출력축(27)과 제2 암부(11)의 사이에 심(33)을 넣는 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 본 형태에서는, 관절부(18)에 있어서, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 상태에서 들어올리기용 볼트(31)를 돌리면, 출력축(27)에 대하여 제1 암부(10)를 들어올리는 것이 가능해지기 때문에, 출력축(27)에 대한 제1 암부(10)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 출력축(27)에 대한 제1 암부(10)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해지기 때문에, 출력축(27)과 제1 암부(10)의 사이에 심(33)을 넣는 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

(산업용 로봇의 변형예)

도 6은, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇(51)의 측면도이다. 도 7은, 도 6에 도시한 슬라이드부(55)와 슬라이드 보유 지지부(56)의 연결 부분의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 수평 다관절형 로봇이지만, 본 발명이 적용되는 산업용 로봇(51)(이하, 「로봇(51)」이라 함)은, 예를 들어 도 6에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(2)가 탑재되는 핸드(54)와, 핸드(54)가 슬라이드 가능하게 연결되는 슬라이드부(55)와, 슬라이드부(55)가 슬라이드 가능하게 연결되는 슬라이드 보유 지지부(56)와, 슬라이드 보유 지지부(56)를 보유 지지하는 본체부(57)를 구비하고 있어도 된다. 핸드(54)는, 슬라이드부(55)에 대하여 수평 방향(도 6의 좌우 방향)으로 직선적으로 슬라이드 가능하게 되어 있다. 슬라이드부(55)는, 슬라이드 보유 지지부(56)에 대하여 핸드(54)의 이동 방향과 동일한 방향으로 직선적으로 슬라이드 가능하게 되어 있다.

핸드(54)와 슬라이드부(55)와 슬라이드 보유 지지부(56)는, 상하 방향에 있어서, 상측에서부터 이 순번으로 배치되어 있다. 즉, 슬라이드부(55)는, 핸드(54)의 하측에 배치되고, 슬라이드 보유 지지부(56)는, 슬라이드부(55)의 하측에 배치되어 있다. 이 변형예에서는, 슬라이드부(55)는, 피지지부로 되어 있으며, 슬라이드 보유 지지부(56)는, 피지지부인 슬라이드부(55)의 하측에 배치됨과 함께 슬라이드부(55)가 직선적으로 슬라이드 가능하게 연결되는 지지부로 되어 있다.

핸드(54)는, 예를 들어 상술한 형태의 핸드(5)와 마찬가지로 구성되어 있다. 본체부(57)는, 슬라이드 보유 지지부(56)를 승강 가능하게 보유 지지하는 원기둥형 프레임(61)을 구비하고 있다. 원기둥형 프레임(61)은, 상하 방향으로 가늘고 긴 원기둥형으로 형성되어 있다. 또한, 본체부(57)는, 본체부(57)의 하단부를 구성하는 기대(62)와, 원기둥형 프레임(61)의 하단이 고정됨과 함께 기대(62)에 대하여 회동 가능한 회동 베이스(63)를 구비하고 있다. 기대(62)는, 도시를 생략한 베이스 부재에 대하여 수평 이동 가능하게 되어 있다.

로봇(51)은, 슬라이드부(55)에 대하여 핸드(54)를 슬라이드시키는 제1 슬라이드 기구와, 슬라이드 보유 지지부(56)에 대하여 슬라이드부(55)를 슬라이드시키는 제2 슬라이드 기구를 구비하고 있다. 제1 슬라이드 기구는, 핸드(54)가 고정되는 슬라이더를 구비하고 있다. 이 슬라이더는, 슬라이드부(55)에 슬라이드 가능하게 보유 지지되어 있다. 또한, 제1 슬라이드 기구는, 예를 들어 슬라이더를 직선적으로 이동시키는 볼 나사, 및 볼 나사의 나사축을 회전시키는 모터 등을 구비하고 있다.

제2 슬라이드 기구는, 슬라이드부(55)가 고정되는 슬라이더(77)를 구비하고 있다. 슬라이더(77)는, 슬라이드 보유 지지부(56)에 슬라이드 가능하게 보유 지지되어 있다. 또한, 제2 슬라이드 기구는, 예를 들어 슬라이더(77)를 직선적으로 이동시키는 볼 나사, 및 볼 나사의 나사축을 회전시키는 모터 등을 구비하고 있다. 슬라이더(77)에는, 슬라이드부(55)가 상측으로부터 고정되어 있다. 이 변형예에서는, 슬라이더(77)는, 피지지부인 슬라이드부(55)가 상측으로부터 고정됨과 함께 슬라이드부(55)와 함께 슬라이드하는 슬라이드 부재로 되어 있으며, 지지부인 슬라이드 보유 지지부(56)에 슬라이드 가능하게 보유 지지되어 있다.

슬라이드부(55)와 슬라이드 보유 지지부(56)의 연결 부분에는, 슬라이드부(55)를 슬라이더(77)에 고정시키기 위한 복수의 고정용 볼트(30)와, 슬라이더(77)에 대하여 슬라이드부(55)를 들어올리기 위한 복수의 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있다. 슬라이드부(55)에는, 고정용 볼트(30)의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(55b)이 형성되고, 슬라이더(77)에는, 고정용 볼트(30)가 걸림 결합하는 나사 구멍(77a)이 형성되어 있다. 슬라이드부(55)에는, 들어올리기용 볼트(31)가 걸림 결합하는 나사 구멍(55c)이 형성되어 있다. 들어올리기용 볼트(31)의 하단은, 슬라이더(77)의 상면에 접촉 가능하게 되어 있다.

이 변형예에서는, 예를 들어 도 6에 있어서, 슬라이드부(55)에 대하여 핸드(54)가 우측 단부까지 이동하며, 또한, 슬라이드 보유 지지부(56)에 대하여 슬라이드부(55)가 우측 단부까지 이동하고 있을 때의 핸드(54)의 기울기를 조정하기 위해서, 슬라이드부(55)와 슬라이더(77)의 상면의 사이에 심을 넣는 경우가 있다. 이 경우에는, 작업자는, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 후, 들어올리기용 볼트(31)가 하측으로 이동하도록 들어올리기용 볼트(31)를 나사 삽입하여, 슬라이더(77)에 대하여 슬라이드부(55)를 들어올리고 나서, 슬라이드부(55)와 슬라이더(77)의 상면의 사이에 심을 넣는다. 슬라이드부(55)와 슬라이더(77)의 상면의 사이에 심(33)을 넣기 완료하면, 작업자는, 들어올리기용 볼트(31)가 상측으로 이동하도록 들어올리기용 볼트(31)를 느슨하게 하고 나서, 고정용 볼트(30)를 체결한다.

이 변형예에서는, 로봇(51)이, 슬라이더(77)에 대하여 슬라이드부(55)를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트(31)를 구비하고 있기 때문에, 고정용 볼트(30)를 느슨하게 한 상태에서 들어올리기용 볼트(31)를 돌리면, 슬라이드 보유 지지부(56)에 슬라이드 가능하게 보유 지지되는 슬라이더(77)에 대하여 슬라이드부(55)를 들어올리는 것이 가능해진다. 따라서, 슬라이더(77)에 대한 슬라이드부(55)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 슬라이더(77)에 대한 슬라이드부(55)의 들어올리기 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해지기 때문에, 슬라이더(77)와 슬라이드부(55)의 사이에 심을 넣는 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

(다른 실시 형태)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양하게 변형 실시가 가능하다.

상술한 형태에 있어서, 들어올리기용 볼트(31)는, 원환 형상으로 배열되는 고정용 볼트(30)의 내주측에 배치되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 관절부(20)에 배치되는 들어올리기용 볼트(31)의 수는, 3개여도 되고, 5개 이상이어도 된다. 마찬가지로, 관절부(18, 19)에 배치되는 들어올리기용 볼트(31)의 수는, 3개여도 되고, 5개 이상이어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 들어올리기용 볼트(31)는, 육각 구멍 구비 볼트나 육각 볼트 등의, 세트 볼트 이외의 볼트여도 된다.

상술한 형태에 있어서, 들어올리기용 볼트(31)가 걸림 결합하는 나사 구멍이 출력축(27)에 형성되고, 들어올리기용 볼트(31)의 상단이, 제1 암부(10)의 기단부의 하면, 제2 암부(11)의 기단부의 하면, 제3 암부(12)의 기단부의 하면에 접촉 가능하게 되어 있어도 된다. 단, 상술한 형태에서는, 제1 암부(10)의 기단부, 제2 암부(11)의 기단부, 제3 암부(12)의 기단부의 상측으로부터 들어올리기용 볼트(31)를 돌림으로써 출력축(27)에 대하여, 제1 암부(10), 제2 암부(11), 제3 암부(12)를 들어올리는 것이 가능해지기 때문에, 상술한 형태의 쪽이, 제1 암부(10), 제2 암부(11), 제3 암부(12)의 들어올리기 작업을 보다 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

상술한 형태에 있어서, 감속기(17) 대신에, 관절부(20)에, 원통 형상으로 형성되는 회동 부재와, 회동 부재를 회동 가능하게 보유 지지하는 지지축이 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 지지축은, 제2 암부(11)의 선단부에 고정되어 있으며, 회동 부재는, 지지축을 통해 제2 암부(11)에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다. 또한, 이 경우에는, 예를 들어 회동 부재에 상측으로부터 제3 암부(12)의 기단부가 고정되고, 회동 부재의 하단부에 풀리(21)가 고정되어 있다. 또한, 이 경우에는, 제3 암부(12)를 회동 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트(30)와, 회동 부재에 대하여 제3 암부(12)를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트(31)가 관절부(20)에 배치되어 있다. 마찬가지로, 감속기(17) 대신에, 관절부(18, 19)에, 원통 형상으로 형성되는 회동 부재와, 회동 부재를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 배치되어 있어도 된다.

상술한 형태에 있어서, 핸드(4, 5)와 제3 암부(12)를 연결하는 관절부에, 핸드(4, 5)가 상측으로부터 고정되고 핸드(4, 5)와 함께 회동함과 함께 제3 암부(12)에 회동 가능하게 보유 지지되는 회동 부재와, 핸드(4, 5)를 회동 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트(30)와, 회동 부재에 대하여 핸드(4, 5)를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 핸드(4, 5)와 제3 암부(12)의 관계에 있어서, 핸드(4, 5)는, 피지지부로 되어 있으며, 제3 암부(12)는, 지지부로 되어 있다.

상술한 형태에 있어서, 관절부(18 내지 20) 중 어느 1개소 또는 2개소에, 들어올리기용 볼트(31)가 배치되어 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암(6)은, 2개의 암부에 의해 구성되어도 되고, 4개 이상의 암부에 의해 구성되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 제3 암부(12)의 선단측에 1개의 핸드가 설치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 액정 표시 장치용 유리 기판 등의, 웨이퍼(2) 이외의 반송 대상물을 반송하는 로봇이어도 된다.

1: 로봇(산업용 로봇)
4, 5: 핸드
6: 암
7: 본체부(지지부)
10: 제1 암부(피지지부, 지지부, 하측 암부)
11: 제2 암부(피지지부, 지지부, 상측 암부, 하측 암부)
12: 제3 암부(피지지부, 상측 암부)
12c: 나사 구멍
27: 출력축(회동 부재)
30: 고정용 볼트
31: 들어올리기용 볼트
51: 로봇(산업용 로봇)
55: 슬라이드부(피지지부)
56: 슬라이드 보유 지지부(지지부)
77: 슬라이더(슬라이드 부재)

Claims

수평 다관절형의 산업용 로봇에 있어서,
피지지부와, 상기 피지지부의 하측에 배치됨과 함께 상기 피지지부가 회동 가능하게 연결되는 지지부와, 상기 피지지부가 상측으로부터 고정되고 상기 피지지부와 함께 회동함과 함께 상기 지지부에 회동 가능하게 보유 지지되는 회동 부재와, 상기 피지지부를 상기 회동 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트와, 상기 회동 부재에 대하여 상기 피지지부를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항에 있어서,
핸드와, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 상기 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고,
상기 암은, 상기 피지지부로서의 상측 암부와, 상기 지지부로서의 하측 암부를 구비하고,
상기 하측 암부의 선단측에 상기 상측 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제2항에 있어서,
상기 암은, 상기 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 상기 제1 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부와, 상기 제2 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제3 암부를 구비하고,
상기 제1 암부와 상기 제2 암부의 관계에 있어서는, 상기 제1 암부가 상기 하측 암부임과 함께, 상기 제2 암부가 상기 상측 암부이며,
상기 제2 암부와 상기 제3 암부의 관계에 있어서는, 상기 제2 암부가 상기 하측 암부임과 함께, 상기 제3 암부가 상기 상측 암부인 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항에 있어서,
핸드와, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 상기 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 상기 지지부로서의 본체부를 구비하고,
상기 암은, 상기 피지지부로서, 상기 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항에 있어서,
상기 피지지부에는, 상기 들어올리기용 볼트가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되고,
상기 들어올리기용 볼트의 하단은, 상기 회동 부재의 상면에 접촉 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
피지지부와, 상기 피지지부의 하측에 배치됨과 함께 상기 피지지부가 직선적으로 슬라이드 가능하게 연결되는 지지부와, 상기 피지지부가 상측으로부터 고정되고 상기 피지지부와 함께 슬라이드함과 함께 상기 지지부에 슬라이드 가능하게 보유 지지되는 슬라이드 부재와, 상기 피지지부를 상기 슬라이드 부재에 고정시키기 위한 고정용 볼트와, 상기 슬라이드 부재에 대하여 상기 피지지부를 들어올리기 위한 들어올리기용 볼트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제2항에 있어서,
상기 피지지부에는, 상기 들어올리기용 볼트가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되고,
상기 들어올리기용 볼트의 하단은, 상기 회동 부재의 상면에 접촉 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제3항에 있어서,
상기 피지지부에는, 상기 들어올리기용 볼트가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되고,
상기 들어올리기용 볼트의 하단은, 상기 회동 부재의 상면에 접촉 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제4항에 있어서,
상기 피지지부에는, 상기 들어올리기용 볼트가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되고,
상기 들어올리기용 볼트의 하단은, 상기 회동 부재의 상면에 접촉 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.