TWI546172B - Industrial robots - Google Patents

Description

產業用機器人

本發明係關於一種搬送特定之搬送對象物之產業用機器人。

先前，作為對液晶顯示器用之玻璃基板進行搬送之產業用機器人，眾所周知有包括搭載玻璃基板之兩個手部及分別保持兩個手部之兩個手臂之所謂雙臂型機器人(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1中記載之機器人包括：支撐構件，其可旋動地支撐手臂之基端側；以及支柱，其可向上下方向移動地支撐支撐構件。於該機器人中，手臂包含第1手臂與第2手臂。另外，支柱之下端可旋動地支撐於基座，該基座支撐於底座構件。基座可相對於底座構件向水平方向呈直線狀地移動。該機器人以手部於朝向特定方向之狀態下直線狀移動之方式使手部伸縮而搬送玻璃基板。

藉由專利文獻1中記載之機器人等而搬送之玻璃基板有時於收納該玻璃基板之盒匣等收納部中相對於玻璃基板之搬出方向傾斜或位置偏移。因此，提出有一種對於傾斜或位置偏移之狀態下收納於收納部之玻璃基板之傾斜或位置偏移進行修正以向特定之作業位置搬送玻璃基板之手部之位置對準方法(例如，參照專利文獻2)。若將該專利文獻2中記載之位置對準方法應用於專利文獻1中記載之機器人，則可對於傾斜或位置偏移之狀態下收納於收納部之玻璃基板之傾斜或位置偏移進行修正而向作業位置搬入玻璃基板。

例如，於專利文獻1所記載之機器人中，於藉由設置於手部之感測器而檢測到收納於收納部之玻璃基板之傾斜之情形時，使基座相對於底座構件向特定方向移動並且使支柱相對於基座回旋特定量以修正自收納部搬出並向作業位置搬入之玻璃基板之傾斜，於該狀態下，使手臂伸縮而自收納部搬出玻璃基板之後使基座向相反方向移動並且使支柱向相反方向回旋而修正玻璃基板之傾斜，然後向作業位置搬入玻璃基板，若如此則可對於傾斜狀態收納於收納部之玻璃基板之傾斜進行修正而將玻璃基板搬送至作業位置。又，若以如此方式搬送玻璃基板，則可抑制向作業位置搬入之玻璃基板於基座相對於底座構件之移動方向之位置偏移。亦可於自收納部搬出玻璃基板之後修正玻璃基板之傾斜並將玻璃基板搬入至作業位置。

然而，於使用專利文獻2中記載之位置對準方法對玻璃基板之傾斜或位置偏移進行修正之情形時，基座必需可相對於底座構件向水平方向移動，因此導致機器人大型化。又，例如於手部向基座相對於底座構件之移動方向呈直線狀地移動而搬送玻璃基板之情形時，即便可修正玻璃基板之傾斜，有時亦難以抑制玻璃基板於與基座相對於底座構件之移動方向正交之方向上之位置偏移。例如，於搬出玻璃基板時與搬入玻璃基板時之任一情形下，當手部於與基座相對於底座構件之移動方向正交之方向呈直線狀地移動時，於該手部之移動方向上，若預估基座相對於底座構件之移動方向上之位置偏移而搬送玻璃基板，則可修正位置偏移，但由於係於手部上將玻璃基板偏移地加以搬送，因此無法充分地確保修正量。又，於搬送玻璃基板時與搬入玻璃基板時之雙方，於手部向基座相對於底座構件之移動方向呈直線狀地移動之情形時，無法修正玻璃基板之位置偏移。另一方面，先前，亦已知有一種可解決該些問題之機器人(例如，參照專利文獻3)。

專利文獻3中記載之機器人包括：固定底座部，其上固定於基座之上表面；上下手臂，其相對於固定底座部而於上下方向動作；回旋手臂，其可相對於上下手臂而自由回旋；第1手臂底座部，其上固定於回旋手臂；第1平動手臂，其相對於第1手臂底座部而於水平方向呈直線狀地移動；第2手臂底座部，其上固定於第1平動手臂；第2平動手臂，其於與第1平動手臂正交之方向呈直線狀地移動；以及手部，其上固定於第2平動手臂。於該機器人中，於回旋手臂與第2手臂底座部之間配置有第1手臂底座部及第1平動手臂，因此可解決上述問題，從而可抑制向作業位置搬入之搬送對象物之位置偏移並且可修正該搬送對象物之傾斜。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特許第3973048號公報

[專利文獻2]日本專利特開2003-117862號公報

[專利文獻3]日本專利特開2004-196438號公報

然而，於將專利文獻3中記載之構成直接應用於如專利文獻1中記載之機器人般具有可於上下方向移動地支撐對手臂進行支撐之支撐構件之支柱之機器人之情形時，會產生以下問題。即，於將專利文獻3中記載之構成直接應用於具有對支撐構件進行支撐之支柱之機器人之情形時，需要於手臂與支撐構件之間配置相當於專利文獻3中記載之第1手臂底座部及第1平動手臂之構成，但例如於機器人為雙臂型機器人之情形時，需要兩個相當於第1手臂底座部及第1平動手臂之構成，從而使機器人之構成變得複雜。又，於手臂與支撐構件之間配置相當於第1手臂底座部及第1平動手臂之構成之情形時，需要防止於相當於第1平動手臂之構成直線狀地移動時手臂與支柱發生干涉，因此，存在限制相當於第1平動手臂之構成之移動量之虞。因此，當將專利文獻3中記載之構成直接應用於具有對支撐構件進行支撐之柱之機器人時，根據玻璃基板之傾斜情形，存在難以適當地修正該傾斜之虞。

因此，本發明之課題在於提供一種即便於包括可於上下方向移動地支撐對手臂進行支撐之支撐構件之柱狀構件之情形時，亦可以較簡單之構成抑制搬入之搬送對象物之位置偏移並且可適當地修正該搬送對象物之傾斜之產業用機器人。

為解決上述課題，本發明之產業用機器人之特徵在於於包括：手部，其搭載搬送對象物；手臂，其與手部連結；支撐構件，其支撐手臂；柱狀構件，其可於上下方向移動地支撐支撐構件；基座；回旋構件，其支撐柱狀構件之下端並且可相對於基座旋動；以及移動機構，其使柱狀構件相對於基座向與上下方向正交之特定方向相對移動。

本發明之產業用機器人包括移動機構，該移動機構使柱狀構件相對於基座向與上下方向正交之特定方向相對移動。因此，若於檢測出搬送對象物之傾斜時，使柱狀構件相對於基座相對移動並且使回旋構件相對於基座旋動，則可抑制搬入之搬送對象物之位置偏移並且可修正該搬送對象物之傾斜。即，即使未包括用以使基座向水平方向移動之機構，亦可抑制搬入之搬送對象物之位置偏移並且可修正該搬送對象物之傾斜。

又，於本發明中，由於移動機構使柱狀構件相對於基座相對移動，因此，例如即便產業用機器人係雙臂型機器人，亦無需配置兩個移動機構。因此，可簡化產業用機器人之構成。又，於本發明中，手臂支撐於支撐構件，且移動機構使對支撐構件進行支撐之柱狀構件相對於基座相對移動，因此，當柱狀構件相對於基座相對移動時，柱狀構件與手臂不會發生干涉。因此，可確保柱狀構件之移動量，即便搬入之搬送對象物之傾斜較大，亦可適當地修正搬送對象物之傾斜。

如此，於本發明中，即便於產業用機器人包括可向上下方向移動地支撐對手臂進行支撐之支撐構件之柱狀構件之情形時，亦可以較簡單之構成抑制搬入之搬送對象物之位置偏移並且可適當地修正該搬送對象物之傾斜。又，於本發明中，於搬送對象物未傾斜但產生位置偏移之情形時，可藉由移動機構使柱狀構件相對於基座移動而修正該位置偏移。又，於發明中，藉由移動機構使柱狀構件相對於基座移動而可修正產業用機器人之設置誤差或組裝誤差。

於本發明中，例如回旋構件形成為自基座朝柱狀構件延伸之細長塊狀，並且包括：第1回旋部，其可旋動地保持於基座；以及第2回旋部，其上固定有柱狀構件之下端；移動機構配置於第1回旋部與第2回旋部之間，第2回旋部可相對於第1回旋部呈直線狀地相對移動。

於該情形時，較為理想的是，支撐構件包括以自柱狀構件起與回旋構件大致平行地延伸之方式形成之細長塊狀之手臂支撐部，手臂支撐部之基端側配置於柱狀構件側，手臂支撐於手臂支撐部之前端側。若如此構成，則可將移動機構配置於包含第2回旋部、柱狀構件、支撐構件、手臂及手部等之構造體之重心下側。因此，可抑制對移動機構作用過大之外力。

又，於該情形時，較為理想的是，自上下方向觀察時，移動機構於手臂支撐部之長邊方向配置於柱狀構件與手臂之基端之間。若如此構成，則可將移動機構配置於容易成為死角之柱狀構件與手臂之基端之間。因此，即便於產業用機器人包括移動機構之情形時，亦可使產業用機器人小型化。

於本發明中，移動機構亦可配置於柱狀構件之下端與回旋構件之間。

於本發明中，移動機構包括例如：馬達；螺絲構件，其連結於馬達之輸出軸；螺母構件，其具有與螺絲構件之陽螺紋部螺合之陰螺紋部；以及線性導件。

於本發明中，產業用機器人亦可包括水平移動機構，該水平移動機構使基座向與上下方向正交之特定方向移動。

如上所述，於本發明之產業用機器人中，即便於包括可向上下方向移動地支撐對手臂進行支撐之支撐構件之柱狀構件之情形時，亦可以較簡單之構成抑制搬入之搬送對象物之位置偏移並且可適當地修正該搬送對象物之傾斜。

以下，參照附圖對本發明之實施形態進行說明。

(產業用機器人之概略構成)

圖1係本發明實施形態之產業用機器人1之平面圖。圖2係自圖1之E-E方向表示產業用機器人1之側視圖。圖3係自圖1之F-F方向表示產業用機器人1之正視圖。於以下之說明中，將彼此正交之三個方向分別設為X方向、Y方向及Z方向。於本形態中，Z方向與上下方向一致。又，於以下之說明中，將X方向設為前後方向，將Y方向設為左右方向。

本實施形態之產業用機器人1(以下，稱為「機器人1」)係用以對搬送對象物即液晶顯示器用之玻璃基板2(以下，稱為「基板2」)進行搬送之搬送用多關節型機器人。如圖1~圖3所示，機器人1包括：兩個手部3，其搭載基板2；兩個手臂4，其於前端側分別連結於兩個手部3；以及主體部5，其支撐兩個手臂4。主體部5包括：支撐構件6，其支撐兩個手臂4之基端側；柱狀構件7，其可向上下方向移動地支撐支撐構件6；基座8，其構成主體部5之下端部分；回旋構件9，其支撐柱狀構件7之下端並且可相對於基座8旋動；以及移動機構10，其使柱狀構件7相對於基座8向水平方向相對移動。

於本形態中，基板2之位置偏移係指基板2相對於以正確之姿勢配置於特定之基準位置時之基板2而於前後方向及/或左右方向平行地偏移之狀態。

又，基板2之傾斜係指基板2於傾斜時之中心O與以正確之姿勢配置於特定之基準位置時之中心O(參照圖1)一致，但以中心O為中心傾斜特定角度之狀態。

手部3之基端側可旋動地連結於手臂4之前端側。與上述專利文獻2中記載之產業用機器人相同，於該手部3安裝有感測器(未圖示)，該感測器用以對收納於特定之收納位置之基板2之傾斜(具體而言，係基板2相對於前後方向等基板2之搬出方向之傾斜)進行檢測。與上述專利文獻2中記載之產業用機器人相同，於支撐構件6安裝有用以對基板2之端面進行檢測之邊緣感測器。又，用以對基板2之傾斜進行檢測之感測器除了安裝於機器人1之外，亦有時安裝於基板2之收納位置。

手臂4包括第1手臂部13與第2手臂部14之兩個手臂部。第1手臂部13之基端側可旋動地支撐於支撐構件6之前端側。第2手臂部14之基端側可旋動地支撐於第1手臂部13之前端側。手部3之基端側可旋動地支撐於第2手臂部14之前端側。本形態之機器人1具有用以使手臂4相對於主體部5伸縮之驅動用馬達(未圖示)，當該驅動用馬達啟動時，手臂4會以使手部3於朝向特定方向之狀態下直線狀地移動之方式伸縮。

支撐構件6包括：升降部15，其構成支撐構件6之基端側部分；以及兩個手臂支撐部16，其分別支撐兩個手臂4。升降部15可上下移動地保持於柱狀構件7。手臂支撐部16形成為以與手部3之移動方向正交之方向為長邊方向之細長扁平之塊狀。兩個手臂支撐部16之基端固定於升降部15。第2手臂部14之基端側可旋動地保持於手臂支撐部16之前端側。於本形態中，兩個手部3、兩個手臂4及兩個手臂支撐部16以於上下方向重疊之方式配置。即，本形態之機器人1係雙臂型機器人。

柱狀構件7包括：第1柱部17，其上固定於回旋構件9；以及第2柱部18，其可於上下方向移動地保持升降部15。第2柱部18可相對於第1柱部17向上下方向移動。

回旋構件9形成為自基座8朝柱狀構件7延伸之細長扁平之塊狀。如圖1所示，該回旋構件9與手臂支撐部16大致平行地配置。即，回旋構件9以與手臂支撐部16大致平行地延伸之方式形成。再者，於本形態中，回旋構件9之長邊方向相對於手臂支撐部16之長邊方向而略微傾斜。具體而言，回旋構件9之長邊方向以手臂支撐部16與回旋構件9之間之距離隨著自柱狀構件7朝向基座8而變小之方式，相對於手臂支撐部16之長邊方向而略微傾斜。因此，於本形態中，可使於手臂4收縮之狀態下回旋之機器人1之回旋半徑變小。

又，回旋構件9包括：第1回旋部20，其可旋動地保持於基座8；以及第2回旋部21，其上固定有柱狀構件7之下端；第1回旋部20之前端側與第2回旋部21之基端側連結。又，第1回旋部20之基端側與基座8連結，於第2回旋部21之前端側固定有第1柱部17之下端。第2回旋部21可相對於第1回旋部20而於與手臂支撐部16之長邊方向平行之方向(即，與手部3之移動方向正交之方向)呈直線狀地相對移動。第1回旋部20及第2回旋部21形成為中空狀。

如圖2所示，移動機構10配置於第1回旋部20與第2回旋部21之間。即，移動機構10配置於第1回旋部20與第2回旋部21之連結部。以下，對移動機構10及其周邊部之構成進行說明。

再者，如上所述，第2柱部18可相對於第1柱部17向上下方向移動，又，升降部15可相對於第2柱部18向上下方向移動。即，機器人1包括使第2柱部18及升降部15升降之升降機構(未圖示)。又，回旋構件9可相對於基座8旋動。即，機器人1包括使回旋構件9旋動之回旋機構(未圖示)。

(移動機構及其周邊部之構成)

圖4係用以對圖2所示之移動機構10及其周邊部之構成進行說明之平面圖。圖5係用以自圖4之G-G方向對移動機構10及其周邊部之構成進行說明之圖。圖6係圖4之H部之放大圖。圖7係用以自圖6之J-J方向對移動機構10進行說明之圖。

如圖5所示，第2回旋部21以自側面觀察時成為兩次折彎之台階狀之方式形成，包括固定第1柱部17下端之固定部21a及連結於第1回旋部20之連結部21b。固定部21a與連結部21b彼此大致平行地配置，且連結部21b配置於固定部21a之上側。又，連結部21b與第1回旋部20之前端側於上下方向重疊。具體而言，連結部21b配置於第1回旋部20之前端側之上側。此外，固定部21配置於與第1回旋部20之高度大致相同之高度。

如圖4所示，自上下方向觀察時，移動機構10於手臂支撐部16之長邊方向上配置於對手臂4之基端側進行支撐之手臂支撐部16之前端側與柱狀構件7之間。即，自上下方向觀察時，移動機構10於手臂支撐部16之長邊方向上配置於手臂4之基端與柱狀構件7之間。又，移動機構10包括：作為驅動源之旋轉型馬達25；滾珠螺桿26，其作為螺絲構件連結於馬達25之輸出軸；螺母構件27，其具有與滾珠螺桿26之陽螺紋部螺合之陰螺紋部；以及線性導件28。

如圖5所示，馬達25配置於第2回旋部21之連結部21b之內部。又，馬達25固定於連結部21b之內部。於馬達25之輸出軸安裝有減速機29。滾珠螺桿26經由耦合器30而安裝於減速機29之輸出軸。即，滾珠螺桿26經由減速機29及耦合器30而連結於馬達25之輸出軸。又，滾珠螺桿26可旋轉地支撐於固定在第2回旋部21之軸承31。如圖5所示，螺母構件27固定於支架32，並配置於連結部21b之內部。支架32固定於第1回旋部20之前端側之上表面。

線性導件28包括導軌33及與導軌33卡合併沿著導軌33滑動之導塊34。如圖7所示，導軌33固定於第1回旋部20之前端側之上表面。導塊34固定於第2回旋部21之連結部21b之下表面。如圖6所示，自上下方向觀察時，線性導件28配置於馬達25、滾珠螺桿26及螺母構件27等之兩側。

於移動機構10中，當馬達25啟動時，滾珠螺桿26旋轉，如圖4之雙點劃線所示，第2回旋部21相對於第1回旋部20而向手臂支撐部16之長邊方向移動。

(產業用機器人之概略動作)

圖8係用以對圖1所示之基板2以傾斜狀態收容時之產業用機器人1之動作進行說明之平面圖。

於以上述方式構成之機器人1中，第2柱部18相對於第1柱部17上下移動，且支撐構件16相對於第2柱部18而與手部3及手臂4等一同上下移動。又，手臂4相對於主體部5伸縮。具體而言，手臂4以使手部3於朝向特定方向之狀態下直線狀地移動之方式伸縮。此外，回旋構件9相對於基座8旋動。藉由該些動作之組合，機器人1將基板2自收納基板2之收納位置向對基板2進行特定作業之作業位置搬送。

此處，於本形態中，機器人1於搬出收納於收納位置之基板2時，首先，使手部3伸縮，並藉由設置於手部3之感測器對基板2相對於基板2之搬出方向之傾斜進行檢測。若藉由該基板2之傾斜檢測動作未檢測出基板2之傾斜(或者基板2之傾斜為特定值以下)，則機器人1再次使手部3伸縮而將基板2自收納位置搬出並將搬出之基板2搬入至特定之作業位置。此時，於收納位置搭載基板2時之機器人1之狀態成為如圖8之雙點鏈線所示之狀態。即，此時，手部3與基板2之搬出方向大致平行。

另一方面，當藉由基板2之傾斜檢測動作檢測出基板2之傾斜時(或者測出之基板2之傾斜超過特定值時)，為抑制基板2於與基板2之搬出方向大致正交之方向上之位置偏移並且對基板2之傾斜進行修正，機器人1使回旋構件9相對於基座8旋動特定量，並且使馬達25啟動而使第2回旋部21相對於第1回旋部20向手臂支撐部16之長邊方向移動。即，使柱狀構件7相對於基座8向手臂支撐部16之長邊方向移動。然後，機器人1使手部3伸縮而將基板2自收納位置搬出。此時，於收納位置搭載基板2時之機器人1之狀態處於如圖5之實線所示之狀態。即，此時，手部3相對於基板2之搬出方向而與基板2之傾斜相同程度地傾斜。又，機器人1於搬出基板2之後，使馬達25啟動而使第2回旋部21向與剛才之移動方向相反之方向移動，並且使回旋構件9向與剛才之旋動方向相反之方向旋動特定量。然後，機器人1使手部3伸縮而將基板2搬入至作業位置。

如此，於本形態中，於根據基板2之傾斜而使回旋構件9相對於基座8旋動特定量，並且使第2回旋部21相對於第1回旋部20移動之狀態下，自收納位置搬出基板2，然後，使回旋構件9向相反之方向旋動特定量，並且使第2回旋部21向相反之方向移動之後，將基板2搬入至作業位置，因此，於與基板2之搬出方向正交之方向上之位置偏移被抑制之狀態下向作業位置搬入基板2時，收納於收納位置之基板2之傾斜得以修正。又，於藉由基板2之傾斜檢測動作檢測出基板2之傾斜之情形時，使回旋構件9相對於基座8旋動，又亦可一面使第2回旋部21相對於第1回旋部20移動一面使手臂4伸縮。

(本形態之主要效果)

如上所述，本實施形態之機器人1包括移動機構10，該移動機構10使柱狀構件7相對於基座8而向與手部3之移動方向正交之方向相對移動。因此，當檢測出基板2之傾斜時，若使柱狀構件7相對於基座8相對移動並且使回旋構件9相對於基座8旋動，則可抑制搬入之基板2之位置偏移並且可修正該基板2之傾斜。即，即便未包括用以使基座8向水平方向上移動之機構，亦可抑制搬入之基板2之位置偏移並且可修正該基板2之傾斜。

又，於本形態中，由於移動機構10使柱狀構件7相對於基座8相對移動，因此，即便機器人1為雙臂型機器人，亦無需配置兩個移動機構10。因此，可簡化機器人1之構成。此外，於本形態中，手臂4支撐於支撐構件6，移動機構10使對支撐構件6進行支撐之柱狀構件7相對於基座8相對移動，因此，當柱狀構件7相對於基座8相對移動時，柱狀構件7與手臂4無干涉之虞。因此，於本形態中，可確保柱狀構件7之移動量，且即便搬入之基板2之傾斜較大，亦可適當地修正基板2之傾斜。

如此，於本形態中，即便於機器人1包括可向上下方向移動地支撐對手臂4進行支撐之支撐構件6之柱狀構件7之情形時，亦可以較簡單之構成抑制搬入之基板2之位置偏移並且可適當地修正該基板2之傾斜。又，於本形態中，於基板2未傾斜但於與基板2之搬出方向正交之方向上產生位置偏移之情形時，可藉由使柱狀構件7相對於基座8移動而修正該位置偏移。又，於本形態中，藉由移動機構10使柱狀構件7相對於基座8移動，可修正機器人1之設置誤差、組裝誤差。因此，可容易地進行機器人1之設置、組裝。

於本形態中，移動機構10配置於第1回旋部20與第2回旋部21之間。又，以自柱狀構件7起與回旋構件9大致平行地延伸之方式形成之手臂支撐部16之基端側配置於柱狀構件7側，手臂4支撐於手臂支撐部16之前端側。因此，可將移動機構10配置於包含第2回旋部21、柱狀構件7、支撐構件6、手臂4及手部3等之構造體之重心下側。因此，可抑制對線性導件28作用過大之外力。

於本形態中，自上下方向觀察時，移動機構10於手臂支撐部16之長邊方向配置於柱狀構件7與手臂4之基端之間。因此，可於容易成為死角之柱狀構件7與手臂4之基端之間沿上下方向重疊地配置第1回旋部20之基端側與第2回旋部21之連結部21b，並且可配置移動機構10。因此，第1回旋部20之基端側與第2回旋部21之連結部21b以於上下方向重疊之方式配置，又，即便於第1回旋部20與第2回旋部21之間配置有移動機構10，亦可使機器人1小型化。

(其他實施形態)

上述實施形態係本發明之較佳形態之一例，但並不限定於此，可於不改變本發明思想之範圍內進行各種變形。

於上述實施形態中，馬達25固定於第2回旋部21之連結部21b之內部，螺母構件27經由支架32固定於第1回旋部20。除此之外，亦可例如圖9所示，馬達25固定於第1回旋部20之前端側之內部，螺母構件27固定於第2回旋部21之內部。

於上述形態中，移動機構10配置於第1回旋部20與第2回旋部21之間。除此之外，亦可例如圖10所示，移動機構10配置於柱狀構件7之下端(即第1柱部17之下端)與回旋構件9之間。即，移動機構10亦可配置於柱狀構件7與回旋構件9之連結部。於該情形時，無需由第1回旋部20與第2回旋部21之兩個構件構成回旋構件9，回旋構件9如圖10所示由一個構件構成。又，於該情形時，例如，馬達25固定於回旋構件9之內部，螺母構件27固定於第1柱部17之下端。此外，例如，導軌33固定於回旋構件9之前端側上表面，導塊34固定於第1柱部17之下端。

於上述實施形態中，回旋構件9之長邊方向相對於手臂支撐部16之長邊方向而略微傾斜，第2回旋部21相對於第1回旋部20而向手臂支撐部16之長邊方向直線狀地相對移動。除此之外，亦可例如圖11所示，以使第2回旋部21相對於第1回旋部20向相對於手臂支撐部16之長邊方向而略微傾斜之回旋構件9之長邊方向(箭頭V之方向)相對移動之方式配置移動機構10。又，亦可以使第2回旋部21相對於第1回旋部20向回旋構件9之長邊方向以外之方向且與手部3之移動方向不一致之方向(例如，相對於手部3之移動方向而傾斜特定角度之方向)相對移動之方式配置移動機構10。

於上述形態中，回旋構件9之長邊方向相對於手臂支撐部16之長邊方向而略微傾斜。除此之外，亦可例如圖12所示，自上下方向觀察時，回旋構件9之第1回旋部20形成為以與手臂支撐部16之長邊方向平行之方向為長邊方向之大致長方形。於該情形時，第2回旋部21以例如自上下方向觀察時之形狀成為兩次折彎之台階狀之方式形成，連結部21b配置於第1回旋部20之前端側之上側。亦可以回旋構件9整體之長邊方向與手臂支撐部16之長邊方向平行之方式形成回旋構件9。

於上述形態中，主體部5無法向水平方向移動，但主體部5亦可向水平方向移動。即，如圖13、圖14所示，機器人1亦可包括：底座構件40，其可向水平方向(例如左右方向)移動地支撐基座8；以及水平移動機構，其使基座8相對於底座構件40而向水平方向移動。

於上述形態中，支撐構件6包括手臂支撐部16，手臂4之基端側支撐於手臂支撐部16之前端側。除此之外，例如，亦可使支撐構件6由升降部15構成，使手臂4之基端側支撐於升降部15。又，於上述形態中，移動機構10包括旋轉型馬達25、滾珠螺桿26及螺母構件27，但移動機構10亦可以為線性馬達。

於上述形態中，第2柱部18可相對於第1柱部17向上下方向移動。除此之外，例如，第2柱部18亦可固定於第1柱部17之特定位置。於該情形時，僅保持於第2柱部18之升降部15向上下方向移動。又，於上述形態中，柱狀構件7包括第1柱部17與第2柱部18，但柱狀構件7亦可由一個柱部構成。於該情形時，升降部15可向上下方向移動地保持於該柱部。

於上述形態中，手臂4包含第1手臂部13與第2手臂部14之兩個手臂部，但手臂4亦可包含三個以上之手臂部。又，於上述形態中，機器人1係包括兩個手部3及兩個手臂4等之所謂雙臂型機器人，但機器人1亦可為包括一個手部3及一個手臂4等之單臂型機器人。又，於上述形態中，藉由機器人1搬送之搬送對象物為基板2，但藉由機器人1搬送之搬送對象物亦可為基板2以外之半導體晶圓等。

1．．．機器人(產業用機器人)

2．．．基板(玻璃基板、搬送對象物)

3．．．手部

4．．．手臂

5．．．主體部

6．．．支撐構件

7．．．柱狀構件

8．．．基座

9．．．回旋構件

10．．．移動機構

13．．．第1手臂部

14．．．第2手臂部

15．．．升降部

16．．．手臂支撐部

17．．．第1柱部

18．．．第2柱部

20．．．第1回旋部

21．．．第2回旋部

21a．．．固定部

21b．．．連結部

25．．．馬達

26．．．滾珠螺桿(螺絲構件)

27．．．螺母構件

28．．．線性導件

29．．．減速機

30．．．耦合器

31．．．軸承

32．．．支架

33．．．導軌

34．．．導塊

O．．．基板中心

圖1係本發明實施形態之產業用機器人之平面圖；

圖2係自圖1之E-E方向表示產業用機器人之側視圖；

圖3係自圖1之F-F方向表示產業用機器人之正視圖；

圖4係用以對圖2所示之移動機構及其周邊部之構成進行說明之平面圖；

圖5係用以自圖4之G-G方向對移動機構及其周邊部之構成進行說明之圖；

圖6係圖4之H部之放大圖；

圖7係用以自圖6之J-J方向對移動機構進行說明之圖；

圖8係用以對圖1所示之基板以傾斜狀態收容時之產業用機器人之動作進行說明之平面圖；

圖9係用以對本發明另一實施形態之移動機構之配置進行說明之圖，圖9(A)係平面圖，圖9(B)係側視圖；

圖10係用以對本發明另一實施形態之移動機構之配置進行說明之圖，圖10(A)係平面圖，圖10(B)係側視圖；

圖11係用以對本發明另一實施形態之移動機構之配置進行說明之平面圖；

圖12係用以對本發明另一實施形態之回旋構件之構成進行說明之平面圖；

圖13係本發明另一實施形態之產業用機器人之平面圖；及

圖14係本發明另一實施形態之產業用機器人之側視圖。

1．．．機器人(產業用機器人)

3．．．手部

4．．．手臂

5．．．主體部

6．．．支撐構件

7．．．柱狀構件

8．．．基座

9．．．回旋構件

10．．．移動機構

13．．．第1手臂部

14．．．第2手臂部

16．．．手臂支撐部

17．．．第1柱部

20．．．第1回旋部

21．．．第2回旋部

28．．．線性導件

Claims (7)

1. 一種產業用機器人，其特徵在於包括：手部，其搭載搬送對象物；手臂，其與上述手部連結；支撐構件，其支撐上述手臂；柱狀構件，其以使上述支撐構件可向上下方向移動的方式支撐該支撐構件；基座；回旋構件，其支撐上述柱狀構件之下端並且可相對於上述基座旋動；以及移動機構，其使上述柱狀構件相對於上述基座向與上下方向正交之特定方向相對移動，其中上述回旋構件形成為自上述基座向上述柱狀構件延伸之細長塊狀，且其包括：第1回旋部，其可旋動地保持於上述基座；以及第2回旋部，其上固定有上述柱狀構件之下端，上述移動機構配置於上述第1回旋部與上述第2回旋部之間，上述第2回旋部可相對於上述第1回旋部呈直線狀地相對移動。
2. 如請求項1之產業用機器人，其中上述支撐構件包括以自上述柱狀構件起與上述回旋構件大致平行地延伸之方式形成之細長塊狀的手臂支撐部，上述手臂支撐部之基端側配置於上述柱狀構件側，上述手臂支撐於上述手臂支撐部之前端側。
3. 如請求項2之產業用機器人，其中自上下方向觀察時，上述移動機構於上述手臂支撐部之長邊方向上係配置於上述柱狀構件與上述手臂之基端之間。
4. 如請求項1之產業用機器人，其中上述移動機構配置於上述柱狀構件之下端與上述回旋構件之間。
5. 如請求項1至4中任一項之產業用機器人，其中上述移動機構包括：馬達；螺絲構件，其連結於上述馬達之輸出軸；螺母構件，其具有與上述螺絲構件之陽螺紋部螺合之陰螺紋部；以及線性導件。
6. 如請求項1至4中任一項之產業用機器人，其中上述產業用機器人包括使上述基座向與上下方向正交之特定方向移動之水平移動機構。
7. 如請求項5之產業用機器人，其中上述產業用機器人包括使上述基座向與上下方向正交之特定方向移動之水平移動機構。