TW201325847A - 機器手臂之手臂構造及機器手臂 - Google Patents

Abstract

〔發明課題〕手臂的最小旋繞半徑縮小。〔解決手段〕本發明實施形態相關的機器手臂具備第1手臂部、第2手臂部、中間連桿部、第1連桿部及第2連桿部。第1連桿部，是在第1手臂部和中間連桿部和固定底座部之間形成第1平行連桿機構。第2連桿部，是在第2手臂部和中間連桿部和活動底座部之間形成第2平行連桿機構。接著，第2連桿部和中間連桿部之連結軸至第1手臂部和第2手臂部之連結軸的距離，是比第1連桿部和中間連桿部之連結軸至第1手臂部和第2手臂部之連結軸的距離還短。

Description

機器手臂之手臂構造及機器手臂

本發明揭示的實施形態是關於機器手臂之手臂構造及機器手臂。

先前，玻璃基板或半導體晶圓等工件搬運用的機器手臂已知有水平多關節機器手臂。水平多關節機器手臂，是具備有透過關節使2個臂部連結之伸縮手臂的機器手臂，利用各手臂部的旋轉動作使設置在伸縮手臂前端部的端部操作裝置直線性移動。再加上，水平多關節機器手臂，是構成為其伸縮手臂支撐用的底座部能以垂直軸即旋繞軸為中心旋轉。

上述構成的水平多關節機器手臂，為了讓安裝在伸縮手臂前端部之端部操作裝置的朝向不會受到手臂構件旋轉動作的影響而產生變化，是設有動作可追隨各手臂部之旋轉動作的連桿機構藉此限制端部操作裝置的旋轉。

例如：專利文獻1中，揭示有使用2個平行連桿機構限制端部操作裝置旋轉的手臂構造，該手臂構造的2個平行連桿機構分別為追隨基端側手臂部之旋轉動作的第1平行連桿機構和追隨前端側手臂部之旋轉動作的第2平行連桿機構。

〔先行技術獻〕 〔專利文獻〕

[專利文獻1]日本特許第4295788號公報

然而，上述先行技術中，對於要使機器手臂之最小旋繞半徑縮小的課題尚有可更加改善的餘地。所謂機器手臂的最小旋繞半徑，是指底座部以旋繞軸為中心旋轉時之水平多關節機器手臂的最小旋繞半徑。

例如：上述先行技術中，第1平行連桿機構的連桿寬度和第2平行連桿機構的連桿寬度相同。所謂連桿寬度，是指與手臂構件平行設置的連桿彼此的寬度。因此，機器手臂若大型化時，第2平行連桿機構的連桿寬度也就會變大，導致最小旋繞半徑也隨著變大。

本發明實施形態其一形態，是以提供一種能夠使機器手臂之最小旋繞半徑縮小的機器手臂之手臂構造及機器手臂為目的。

本發明實施形態其一形態相關的機器手臂之手臂構造，具備第1手臂部、第2手臂部、中間連桿部、第1連桿部及第2連桿部。第1手臂部，是以基端部可旋轉地連結在固定底座部。第2手臂部，是以基端部可旋轉地連結在第1手臂部的前端部，該第2手臂部於其前端部和活動底座部連結成可旋轉。中間連桿部是軸支撐在與第1手臂 部和第2手臂部之連結軸相同的軸上。第1連桿部是在第1手臂部和中間連桿部和固定底座部之間形成第1平行連桿機構。第2連桿部是在第2手臂部和中間連桿部和活動底座部之間形成第2平行連桿機構。接著，第2連桿部和中間連桿部之連結軸至第1手臂部和第2手臂部之連結軸的距離，是形成為要比第1連桿部和中間連桿部之連結軸至第1手臂部和第2手臂部之連結軸的距離還短。

根據本發明實施形態其一形態時，是可提供一種能夠使機器手臂之最小旋繞半徑縮小的機器手臂之手臂構造及機器手臂。

〔發明之實施形態〕

以下，參照附圖對本申請揭示的機器手臂之手臂構造及機器手臂的實施形態進行詳細說明。另，本發明並不限於以下所示的實施形態。

首先，使用第1圖對本實施形態相關之機器手臂的構成進行說明。第1圖為本實施形態相關之機器手臂的模式性透視圖。

如第1圖所示，機器手臂1是具備有2個朝水平方向伸縮之伸縮手臂的水平多關節機器手臂。具體而言，機器手臂1具備胴體部10和手臂單元20。

胴體部10，是要設置在手臂單元20下部的單元。胴體部10，是在其筒狀的筐體11內具備昇降裝置，利用該昇降裝置使手臂單元20沿著垂直方向昇降。

昇降裝置，例如是構成為包括有馬達及滾珠螺桿、滾珠螺帽等，利用馬達旋轉運動轉換成直線運動使昇降凸緣部15沿著垂直方向昇降。藉此，使固定在昇降凸緣部15上的手臂單元20昇降。

於筐體11的上部，形成有凸緣部12。機器手臂1，是藉由凸緣部12固定在真空室使其成為設置在真空室的狀態。針對機器手臂1在真空室內的設置，是使用第3圖進行說明。

手臂單元20，是要透過昇降凸緣部15使其和胴體部10連結的單元。具體而言，手臂單元20具備固定底座部21、第1手臂部22、第2手臂部23、活動底座部24及輔助手臂部25。

固定底座部21，是可旋轉地支撐在昇降凸緣部15。固定底座部21，具備由馬達及減速機等構成的旋繞裝置，利用該旋繞裝置形成旋轉。

具體而言，旋繞裝置是經由傳動皮帶對輸出軸固定在胴體部10的減速機輸入馬達的旋轉。藉此，使固定底座部12以減速機的輸出軸為旋轉軸朝水平方向自轉。

於固定底座部21的上部，透過減速機連結有第1手臂部22的基端部形成成為可旋轉。此外，於第1手臂部22的前端上部，透過減速機連結連有第2手臂部23的基 端部形成為可旋轉。

機器手臂1，是利用1個馬達使設置在第1手臂部22之基端部的減速機及設置在第1手臂部22之前端部的減速機同步動作，藉此使第2手臂部23的前端直線性移動。

具體而言，機器手臂1，是以第2手臂部23對第1手臂部22的旋轉量為第1手臂部22對固定底座部21之旋轉量的2倍來使第1手臂部22及第2手臂部23旋轉。例如：機器手臂1，是以第1手臂部22對固定底座部21旋轉α度時，就會以第2手臂部23對第1手臂部22旋轉2α度來使第1手臂部22及第2手臂部23旋轉。如此一來，第2手臂部23的前端部就會直線性移動。

另，從真空室內之污染防止等的觀點來看時，減速機及馬達等驅動裝置，是收納在保持成大氣壓之第1手臂部22的內部。如此一來，即使機器手臂1設置在減壓環境下時，還是能夠防止潤滑劑等潤滑油乾燥，除此之外又可防止揚塵造成的真空室內污染。

於第2手臂部23之前端部的上部，連結有活動底座部24形成為可旋轉。該活動底座部24，是要隨著第1手臂部22及第2手臂部23的旋轉動作形成移動的構件，其上部具備有要保持工件用的端部操作裝置24a。

輔助手臂部25，是一種連桿機構其連動於第1手臂部22及第2手臂部23的旋轉動作使移動中的端部操作裝置24a經常朝向一定的方向藉此限制活動底座部24的旋轉。

具體而言，輔助手臂部25具備第1連桿部25a、中間連桿部25b及第2連桿部25c。

第1連桿部25a，其基端部可旋轉地連結在固定底座部21，於前端部形成為和中間連桿部25b的前端部連結成可旋轉。此外，中間連桿部25b，其基端部形成為軸支撐在第1手臂部22和第2手臂部23之連結軸的同軸上，其前端部形成為和第1連桿部25a的前端部連結成可旋轉。

第2連桿部25c，於基端部形成為和中間連桿部25b連結成可旋轉，於前端部形成為和活動底座部24的基端部連結成可旋轉。此外，活動底座部24，於前端部形成為和第2手臂部23的前端部連結成可旋轉，於基端部形成為和第2連桿部25c連結成可旋轉。

第1連桿部25a，是和固定底座部21、第1手臂部22及中間連桿部25b一起形成第1平行連桿機構。即，當第1手臂部22以基端部為中心進行旋轉時，第1連桿部25a及中間連桿部25b就會分別與第1手臂部22及固定底座部21保持平行狀態的同時進行旋轉。

此外，第2連桿部25c，是和第2手臂部23、活動底座部24及中間連桿25b一起形成第2平行連桿機構。 即，當第2手臂部23以基端部為中心進行旋轉時，第2連桿部25c及活動底座部24就會分別與第2手臂部23及中間連桿部25b保持平行狀態的同時進行旋轉。

中間連桿部25b，是由第1平行連桿機構使其和固定底座部21保持平行狀態的同時進行旋轉。因此，第2平 行連桿機構的活動底座部24也是和固定底座部21保持平行狀態的同時進行旋轉。其結果，安裝在活動底座部24之上部的端部操作裝置24a，就會和固定底座部21保持平行狀態的同時進行直線性移動。

如上述，機器手臂1，是利用2個平行連桿機構即第1平行連桿機構和第2平行連桿機構，使端部操作裝置24a的朝向保持成一定。因此，例如與在第2手臂部內設有皮帶輪及傳動皮帶，利用該等皮帶輪及傳動皮帶使端部操作裝置的朝向維持成一定方向的形態相比，是能夠抑制皮帶輪及傳動皮帶造成的揚塵。

另外，由於輔助手臂部25能夠提高手臂全體的剛性，因此就能夠降低端部操作裝置24a動作時的振動。基於此，與利用皮帶輪及傳動皮帶使端部操作裝置的朝向維持成一定方向的形態相比，又可抑制端部操作裝置24a動作時之振動造成的揚塵。

於此，如第1圖所示，本實施形態相關的機器手臂1，其第2連桿部25c和中間連桿部25b的連結位置並不是在中間連桿部25b的前端部，而是設置在中間連桿部25b的中途部。如此一來，本實施形態相關的機器手臂1中，第2連桿機構的連桿寬度，即，第2手臂部23及第2連桿部25c間的寬度就能夠較小，因此就能夠使機器手臂1的最小旋繞半徑縮小。

以下，針對上述機器手臂1之最小旋繞半徑的縮小進行更具體性的說明。於此，所謂最小旋繞半徑，是指以設 置在固定底座部21的旋繞軸為中心進行旋轉之機器手臂1其最小的旋轉半徑。此外，以下說明中，是將以旋繞軸為中心之旋轉半徑為最小的機器手臂1之姿勢稱為最小旋繞姿勢。

首先，使用第2A圖對採用與先行技術相同之平行連桿機構的機器手臂2其最小旋繞半徑進行說明。第2圖為採用與先行技術相同之平行連桿機構時機器手臂2之最小旋繞半徑的模式性平面圖。

另，以下說明中，是將活動底座部的進退方向為X軸方向，於水平方向與X軸方向成正交的方向為Y軸方向。此外，與X軸方向和Y軸方向成正交的方向，即，垂直方向為Z軸方向。

此外，以下說明中，在對機器手臂之各構要素的相對性位置進行說明時，有時會以上下、左右及前後表示方向，但各方向的基準，是以機器手臂設置在水平面時為基準。具體而言，第2A圖中，X軸的正方向及負方向分別為機器手臂2的前方及後方，Y軸的正方向及負方向分別為機器手臂2的右方及左方，Z軸的正方向及負方向分別為機器手臂2的上方及下方。另外，第2A圖中省略圖示端部操作裝置。

如第2A圖所示，採用與先行技術相同之平行連桿機構的機器手臂2，其第2連桿部25c’連結在第1連桿部25a和中間連桿部25b’之連結軸P5的同軸上。

第2平行連桿機構，是由第2手臂部23、活動底座部 24’、第2連桿部25c’及中間連桿部25b’形成。因此，活動底座部24’和第2手臂部23之連結軸P3至活動底座部24’和第2連桿部25c’之連結軸P6的距離，是與中間連桿部25b’和第2手臂部23之連結軸P2至中間連桿部25b’和第2連桿部25c’之連結軸P5的距離相同。

因此，當固定底座部21和第1手臂部22之連結軸P1至固定底座部21和第1連桿部25a之連結軸P4的距離為L1時，由於連結軸P2至連結軸P5的距離也是L1，因此連結軸P3至連結軸P6的距離就會是L1。

機器手臂2，是利用設置在固定底座部21的旋繞裝置使其以旋繞軸O為中心進行旋轉。此時，機器手臂2，是採取以旋繞軸O為中心之旋轉半徑為最小的姿勢狀態，即採取最小旋繞姿勢狀態進行旋轉。

具體而言，第2A圖所示之機器手臂2的左方所設置之伸縮手臂的姿勢，具體而言，於活動底座部24’的活動範圍內使活動底座部24’位於固定底座部21之最後方側的姿勢就是機器手臂2的最小旋繞姿勢。

如第2A圖所示，機器手臂2，其採取最小旋繞姿勢時，是會成為活動底座部24’的基端部往機器手臂2之後方突出的狀態。該活動底座部24’的基端部至旋繞軸O的距離就是機器手臂2的最小旋繞半徑。第2A圖所示之圓R1，是採取最小旋繞姿勢之機器手臂2以旋繞軸O為中心進行旋轉時活動底座部24”的基端部旋繞形成的圓。

另，機器手臂2的右方所設置之伸縮手臂的姿勢，是 指於活動底座部24’的活動範圍內使活動底座部24’位於固定底座部21之最前方側的姿勢。

近年來，隨著玻璃基板或半導體晶圓等工件的大型化，該等工件搬運用的機器手臂也有大型化的趨勢。連結軸P1至連結軸P4的距離L1，是隨著機器手臂愈大型化則其距離愈長。因此，機器手臂愈大型化，連結軸P3至連結軸P6的距離也就愈長，恐怕會導致最小旋繞半徑變大。

於是，本實施形態相關的機器手臂1中，是在與連結軸P2之距離要比與連結軸P5之距離還短的中間連桿部25b之中途部，連結第2連桿部25c和中間連桿部25b。如此一來，就能夠縮短活動底座部24的長度，能夠縮小機器手臂1的最小旋繞半徑。

於此，使用第2B圖對本實施形態相關之平行連桿機構的具體性構成及本實施形態相關之機器手臂1的最小旋繞半徑進行說明。第2B圖為表示本實施形態相關的機器手臂1之最小旋繞半徑的平面模式圖。另第2B圖中省略圖示端部操作裝置24a。

第2B圖所示，第2連桿部25c和中間連桿部25b的連結軸P7，是設置在中間連桿部25b的中途部。具體而言，連結軸P7，是設置在其至連結軸P2為止的距離要比連結軸P5至連結軸P2的距離L1還短的位置。即，連結軸P2至連結軸P7的距離為L2時，L2是比連結軸P2至連結軸P5的距離L1還短。

活動底座部24，其和第2手臂部23之連結軸P3至其和第2連桿部25c之連結軸P6的距離，是形成為與中間連桿部25b和第2手臂部23之連結軸P2至中間連桿部25b和第2連桿部25c之連結軸P7的距離L2相同。因此，連結軸P3至連結軸P6的距離，就會成為要比先前機器手臂2之連結軸P3至連結軸P6的距離L1還短的L2。

由於連結軸P3至連結軸P6的距離為較短，因此就能夠減少活動底座部24之基端部其往機器手臂1後方突出的突出量。如此一來，活動底座部24之基端部至旋繞軸O的距離，即機器手臂1的最小旋繞半徑就會縮小。

第2B圖所示的圓R2，是採取最小旋繞姿勢之機器手臂1以旋繞軸O為中心進行旋轉時，活動底座部24之基端部旋繞形成的圓。如第2B圖所示，圓R2是比機器手臂2之活動底座部24’的基端部旋繞形成的圓R1還小。

如上述，本實施形態相關的機器手臂1中，是將第2平行連桿機構的連桿寬度形成為較小，使活動底座部24之基端部其往機器手臂1後方突出的突出量減少，因此就能夠縮小機器手臂1的最小旋繞半徑。

此外，如第2B圖所示，第2連桿部25c，於機器手臂1採取最小旋繞姿勢時，是比第2手臂部23還要配置在固定底座部21的外側。因此，就能夠容易實現要藉由縮小第2平行連桿機構的連桿寬度達到機器手臂1之最小旋繞半徑減少的構成。

即，假設第1手臂部22比第1連桿部25a還配置在 固定底座部21的內側，第2手臂部23比第2連桿部25c還配置在固定底座部21的外側。於該形態時，若要減少機器手臂1的最小旋繞半徑，則第2手臂部23的旋轉軸會和第1手臂部22的旋轉軸設置在不同位置，如此一來有可能會使要讓第1手臂部22及第2手臂部23同步性旋轉的構成複雜化。

相對於此，本實施形態相關的機器手臂1，是能夠維持第1手臂部22和第2手臂部23在同軸上成連結狀態的同時，還能夠縮小第2平行連桿機構的連桿寬度。因此，就能夠容易實現要藉由縮小第2平行連桿機構的連桿寬度達到機器手臂1之最小旋繞半徑減少的構成。

此外，本實施形態相關的機器手臂1中，針對第1平行連桿機構是維持先行技術的連桿寬度，只針對第2平行連桿機構縮小連桿寬度，因此能夠維持伸縮手臂之剛性的同時，還能夠使機器手臂1的最小旋繞半徑縮小。

不過，本實施形態相關機器手臂1，是配置在由真空泵浦等保持成減壓狀態的真空室內。

以下，是使用第3圖對機器手臂1設置在真空室時的狀態進行說明。第3圖為表示機器手臂1設置在真空室時的狀態模式性側面圖。

如第3圖所示，機器手臂1，其形成在胴體部10的凸緣部12是隔著密封構件固定在真空室30底部形成之開口部31的緣部。如此一來，真空室30就成為密閉狀態，由真空泵浦等減壓裝置使內部保持成減壓狀態。另，胴體部 10的筐體11，是從真空室30的下部突出，位於真空室30支撐用之支撐部35內的空間。

機器手臂1，是該真空室30內執行工件的搬運作業。例如：機器手臂1，是利用第1手臂部22及第2手臂部23使端部操作裝置24a直線性移動，藉此透過未圖示之閘閥從與真空室30連接的另一真空室取出工件。

其次，機器手臂1，在拉回端部操作裝置24a之後，就使固定底座部21以旋繞軸O為中心進行旋轉，藉此使手臂單元20正對著工件之搬運目的地即另一真空室。接著，機器手臂1，是利用第1手臂部22及第2手臂部23使端部操作裝置24a直線性移動，藉此將工件搬入至工件之搬運目的地即另一真空室。

為了容易維持真空室30的減壓狀態，真空室30盡可能形成為小型較佳。真空室30的尺寸，是根據機器手臂1的最小旋繞半徑決定。因此，如本實施形態相關的機器手臂1所示縮小其最小旋繞半徑，就能夠使真空室30小型化，能夠容易維持真空室30的減壓狀態。

此外，真空室30的尺寸，也會根據機器手臂1的高度尺寸決定。因此，機器手臂1的高度尺寸以抑制成較小為佳。

本實施形態相關的機器手臂1，如第1圖及第2B圖所示，中間連桿部25b於垂直方向設置在第1手臂部22和第2手臂部23之間。此外，第1連桿部25a及第2連桿部25c，分別於垂直方向設置在與第1手臂部22及第2 手臂部23重疊的位置。接著，第1連桿部25a是連結在中間連桿部25b的下部，第2連桿部25c是連結在中間連桿部25b的上部。

第1連桿部25a、中間連桿部25b及第2連桿部25c配置成上述時，對於本實施形態相關的機器手臂1就能夠使其伸縮手臂的高度尺寸抑制成較小。基於此，由於機器手臂1高度尺寸為較小，因此真空室30就能夠小型化，能夠容易維持真空室30的減壓狀態。

如上述，本實施形態相關的機器手臂1，因其最小旋繞半徑及高度尺寸都縮小，因此就能夠使真空室30小型化。

另，於真空室30，是於底面形成有凹部，該凹部可容納機器手臂1當中往下方突出的部位即固定底座部21及昇降凸緣部15。如上述，將真空室30配合機器手臂1的形狀形成，也能夠使真空室30內小型化。

不過，如第1圖及第3圖所示，於第2手臂部23，從基端部朝中途部形成有垂直方向之厚度比前端部還厚的厚部23a。如上述，於第2手臂部23形成有厚部23a時，就能夠提高第2手臂部23的剛性。

於此，使用第4圖及第5圖對要形成在第2手臂部23的厚部23a進行更具體性的說明。第4圖為厚部23a周邊的模式性側面圖。此外，第5圖為厚部23a周邊的模式性平面圖。

厚部23a的上面231，是形成在要以第2手臂部23之 前端部上面還高的位置。具體而言，如第4圖所示，厚部23a的上面231，是形成在位於要比端部操作裝置24a的下面242還上方，並且，要比端部操作裝置24a的工件保持面241還下方的高度。

如上述，厚部23a，其是在與工件保持面241所載置之工件不干涉的範圍，盡可能形成為較厚。因此，該厚部23a不會妨礙工件的搬運作業，能夠提高第2手臂部23的剛性。

第5圖為厚部23a周邊的模式性平面圖。第5圖中，揭示著活動底座部24的活動範圍。具體而言，於該第5圖中是以虛線表示活動底座部24位於固定底做部21之最後方側的狀態，以實線表示活動底座部24位於固定底座部21之最前方側的狀態。

如第5圖所示，第2手臂部23，是從虛線所示之位置移動至實線所示之位置，活動底座部24隨著該第2手臂部23的移動也會從虛線所示之位置移動至實線所示之位置。

厚部23a，是形成在要比活動底座部24隨著第1手臂部22及第2手臂部23之旋轉動作而移動通過第2手臂部23上時的位置還接近基端部側的區域。如此一來，於活動底座部24的移動中，厚部23a不會接觸活動底座部24，因此就不會妨礙工件的搬運作業，能夠提高第2手臂部23的剛性。

另，於第2手臂部23之基端部的內部，配設有連接 器藉此連接來自於端部操作裝置24a的配線。本實施形態相關的機器手臂1，由於是在第2手臂部23的基端部形成有厚部23a，因此第2手臂部23的基端部內就能夠確保有充分的配線空間，能夠防止多餘的負荷施加在來自於端部操作裝置24a的配線。

如以上說明，本實施形態相關的機器手臂，具備第1手臂部、第2手臂部、中間連桿部、第1連桿部及第2連桿部。第1手臂部，是以基端部可旋轉地連結在固定底座部。第2手臂部，是以基端部可旋轉地連結在第1手臂部的前端部，該第2手臂部於其前端部和活動底座部連結成可旋轉。中間連桿部是軸支撐在與第1手臂部和第2手臂部之連結軸相同的軸上。第1連桿部是在第1手臂部和中間連桿部和固定底座部之間形成第1平行連桿機構。第2連桿部是在第2手臂部和中間連桿部和活動底座部之間形成第2平行連桿機構。

接著，第2連桿部和中間連桿部之連結軸至第1手臂部和第2手臂部之連結軸的距離，是形成為要比第1連桿部和中間連桿部之連結軸至第1手臂部和第2手臂部之連結軸的距離還短。因此，就能夠使機器手臂的最小旋繞半徑縮小。

另，上述實施形態中，是針對機器手臂為工件搬運用之機器手臂時的例子進行了說明，但機器手臂也可以是工件搬運作業以外之其他作業執行用的機器手臂。此外，於以上說明的實施形態中，是以機器手臂設置在真空室內時 的例子進行了說明，但該機器手臂的設置艙室也可以是真空室以外的艙室。

其他的效果及變形例，是能夠由該當業者容易導出。因此，本發明其更寬廣範圍的形態，並不限於以上所揭示並且所記述之特定的細部及代表性的實施形態。基於此，只要不脫離所附之申請專利範圍及其均等物所定義之總括性的發明概念精神及範圍，是可進行各式各樣的變更。

1‧‧‧機器手臂

10‧‧‧胴體部

11‧‧‧筐體

12‧‧‧凸緣部

15‧‧‧昇降凸緣部

20‧‧‧手臂單元

21‧‧‧固定底座部

22‧‧‧第1手臂部

23‧‧‧第2手臂部

23a‧‧‧厚部

231‧‧‧厚部的上面

24‧‧‧活動底座部

24a‧‧‧端部操作裝置

241‧‧‧工件保持面

242‧‧‧端部操作裝置的下面

25‧‧‧輔助手臂部

25a‧‧‧第1連桿部

25b‧‧‧中間連桿部

25c‧‧‧第2連桿部

30‧‧‧真空室

第1圖為本實施形態相關之機器手臂的模式性透視圖。

第2A圖為表示採用與先行技術相同之平行連桿機構時該機器手臂之最小旋繞半徑的模式性平面圖。

第2B圖為表示本實施形態相關之機器手臂的最小旋繞半徑模式性平面圖。

第3圖為表示機器手臂設置在真空室時的狀態模式性側面圖。

第4圖為厚部周邊的模式性側面圖。

第5圖為厚部周邊的模式性平面圖。

1‧‧‧機器手臂

12‧‧‧凸緣部

21‧‧‧固定底座部

22‧‧‧第1手臂部

23‧‧‧第2手臂部

23a‧‧‧厚部

24‧‧‧活動底座部

25a‧‧‧第1連桿部

25b‧‧‧中間連桿部

25c‧‧‧第2連桿部

O‧‧‧旋繞軸

R1‧‧‧採取最小旋繞姿勢之機器手臂2以旋繞軸O為中心旋轉時活動底座部24’的基端部旋繞形成的圓

R2‧‧‧採取最小旋繞姿勢之機器手臂1以旋繞軸O為中心旋轉時活動底座部24的基端部旋繞形成的圓

P1‧‧‧固定底座部21和第1手臂部22的連結軸

P2‧‧‧中間連桿部25b和第2手臂部23之連結軸

P3‧‧‧活動底座部24和第2手臂部23之連結軸

P4‧‧‧固定底座部21和第1連桿部25a之連結軸

P5‧‧‧第1連桿部25a和中間連桿部25b之連結軸

P6‧‧‧活動底座部24和第2連桿部25c之連結軸

P7‧‧‧第2連桿部25c和中間連桿部25b的連結軸

L1‧‧‧連結軸P1至連結軸P4的距離、連結軸P2至連結軸P5的距離

L2‧‧‧連結軸P2至連結軸P7的距離、連結軸P3至連結軸P6的距離

Claims (8)

1. 一種機器手臂之手臂構造，其特徵為，具備：以基端部可旋轉地連結在固定底座部的第1手臂部；以基端部可旋轉地連結在上述第1手臂部的前端部，於其前端部和活動底座部連結成可旋轉的第2手臂部；軸支撐在與上述第1手臂部和上述第2手臂部之連結軸相同軸上的中間連桿部；在上述第1手臂部和上述中間連桿部和上述固定底座部之間形成第1平行連桿機構的第1連桿部；及在上述第2手臂部和上述中間連桿部和上述活動底座部之間形成第2平行連桿機構的第2連桿部，構成為上述第2連桿部和上述中間連桿部之連結軸至上述第1手臂部和上述第2手臂部之連結軸的距離是比上述第1連桿部和上述中間連桿部之連結軸至上述第1手臂部和上述第2手臂部之連結軸的距離還短。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的機器手臂之手臂構造，其中，上述第2連桿部，於上述機器手臂採取以平行於垂直方向之旋繞軸為中心的旋轉半徑為最小的最小旋繞姿勢時，比上述第2手臂部還配置在上述固定底座部的外側。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載的機器手臂之手臂構造，其中，上述中間連桿部是設置在上述第1手臂部和上述第2手臂部之間；上述第1連桿部是於垂直方向設置在與上述第1手臂 部重疊的位置，並且連結在上述中間連桿部的垂直方向下部：上述第2連桿部是於垂直方向設置在與上述第2手臂部重疊的位置，並且連結在上述中間連桿部的垂直方向上部。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項或第3項所記載的機器手臂之手臂構造，其中，上述第2手臂部具備有其垂直方向之厚度比上述前端部還厚的厚部。
5. 如申請專利範圍第4項所記載的機器手臂之手臂構造，其中，上述活動底座部是可旋轉地連結在上述第2手臂部之前端部的上部，並且於其上部具備有工件保持用的端部操作裝置，上述厚部，其上面是於垂直方向比上述端部操作裝置的下面還位於上方，並且，於垂直方向比上述端部操作裝置的工件保持面還位於下方。
6. 如申請專利範圍第4項或第5項所記載的機器手臂之手臂構造，其中，上述厚部是形成在比上述活動底座部隨著上述第1手臂部及上述第2手臂部之旋轉動作而移動通過上述第2手臂部上時的位置還接近上述第2手臂部之基端部側的區域。
7. 一種機器手臂，其特徵為，具備：固定底座部；以基端部可旋轉地連結在上述固定底座部的第1手臂 部；以基端部可旋轉地連結在上述第1手臂部之前端部的第2手臂部；可旋轉地連結在上述第2手臂部前端部的活動底座部；軸支撐在與上述第1手臂部和上述第2手臂部之連結軸相同軸上的中間連桿部；在上述第1手臂部和上述中間連桿部和上述固定底座部之間形成第1平行連桿機構的第1連桿部；及在上述第2手臂部和上述中間連桿部和上述活動底座部之間形成第2平行連桿機構的第2連桿部，構成為上述第2連桿部和上述中間連桿部之連結軸至上述第1手臂部和上述第2手臂部之連結軸的距離是比上述第1連桿部和上述中間連桿部之連結軸至上述第1手臂部和上述第2手臂部之連結軸的距離還短。
8. 如申請專利範圍第7項所記載的機器手臂，其中，上述固定底座部具備有以平行於垂直方向的旋繞軸為中心進行旋轉的旋繞部。