JP2013049113A - ロボットのアーム構造およびロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係るロボットは、第1アーム部、第2アーム部、中間リンク部、第1リンク部および第2リンク部を備える。第1リンク部は、第1アーム部と中間リンク部と固定ベース部との間で第1平行リンク機構を形成する。第2リンク部は、第2アーム部と中間リンク部と可動ベース部との間で第2平行リンク機構を形成する。そして、第2リンク部と中間リンク部との連結軸から第1アーム部と第2アーム部との連結軸までの距離は、第2リンク部と中間リンク部との連結軸から第1アーム部と第2アーム部との連結軸までの距離よりも短い。
【選択図】図2B
Description
10 胴体部
11 筐体
12 フランジ部
15 昇降フランジ部
20 アームユニット
21 固定ベース部
22 第1アーム部
23 第2アーム部
23a 肉厚部
231 肉厚部の上面
24 可動ベース部
24a エンドエフェクタ
241 ワーク保持面
242 エンドエフェクタの下面
25 補助アーム部
25a 第1リンク部
25b 中間リンク部
25c 第2リンク部
30 真空チャンバ
Claims (8)
- 固定ベース部に対して基端部が回転可能に連結される第1アーム部と、
基端部が前記第1アーム部の先端部に対して回転可能に連結され、先端部において可動ベース部と回転可能に連結される第2アーム部と、
前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結軸と同軸上に軸支される中間リンク部と、
前記第1アーム部と前記中間リンク部と前記固定ベース部との間で第1平行リンク機構を形成する第1リンク部と、
前記第2アーム部と前記中間リンク部と前記可動ベース部との間で第2平行リンク機構を形成する第2リンク部と
を備え、
前記第2リンク部と前記中間リンク部との連結軸から前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結軸までの距離が、前記第1リンク部と前記中間リンク部との連結軸から前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結軸までの距離よりも短いことを特徴とするロボットのアーム構造。 - 前記第2リンク部は、
鉛直方向と平行な旋回軸を中心とする回転半径が最小となる最小旋回姿勢を前記ロボットが取った場合に、前記第2アーム部よりも前記固定ベース部の外側に配置されることを特徴とする請求項1に記載のロボットのアーム構造。 - 前記中間リンク部は、
前記第1アーム部と前記第2アーム部との間に設けられ、
前記第1リンク部は、
鉛直方向において前記第1アーム部と重なる位置に設けられるとともに、前記中間リンク部の鉛直方向下部に連結され、
前記第2リンク部は、
鉛直方向において前記第2アーム部と重なる位置に設けられるとともに、前記中間リンク部の鉛直方向上部に連結されることを特徴とする請求項1または2に記載のロボットのアーム構造。 - 前記第2アーム部は、
鉛直方向における厚みが前記先端部と比較して厚い肉厚部を備えることを特徴とする請求項1、2または3に記載のロボットのアーム構造。 - 前記可動ベース部は、
前記第2アーム部の先端部の上部に対して回転可能に連結されるとともに、ワークを保持するエンドエフェクタを上部に備え、
前記肉厚部は、
上面が、前記エンドエフェクタの下面よりも鉛直方向において上方、かつ、前記エンドエフェクタのワーク保持面よりも鉛直方向において下方に位置することを特徴とする請求項4に記載のロボットのアーム構造。 - 前記肉厚部は、
前記第1アーム部および前記第2アーム部の回転動作に伴って移動する前記可動ベース部が前記第2アーム部上を通過する位置よりも前記第2アーム部の基端部側の領域に形成されることを特徴とする請求項4または5に記載のロボットのアーム構造。 - 固定ベース部と、
前記固定ベース部に対して基端部が回転可能に連結される第1アーム部と、
基端部が前記第1アーム部の先端部に対して回転可能に連結される第2アーム部と、
前記第2アーム部の先端部に対して回転可能に連結される可動ベース部と、
前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結軸と同軸上に軸支される中間リンク部と、
前記第1アーム部と前記中間リンク部と前記固定ベース部との間で第1平行リンク機構を形成する第1リンク部と、
前記第2アーム部と前記中間リンク部と前記可動ベース部との間で第2平行リンク機構を形成する第2リンク部と
を備え、
前記第2リンク部と前記中間リンク部との連結軸から前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結軸までの距離が、前記第1リンク部と前記中間リンク部との連結軸から前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結軸までの距離よりも短いことを特徴とするロボット。 - 前記固定ベース部は、
鉛直方向と平行な旋回軸を中心として回転する旋回部を備えることを特徴とする請求項7に記載のロボット。
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---|---|---|---|---|
JP2013049113A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | ロボットのアーム構造およびロボット |
CN103802102A (zh) * | 2014-02-14 | 2014-05-21 | 青岛汇智机器人有限公司 | 一种并联机器人大伸缩双十字关节回转轴 |
JP6705668B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2020-06-03 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 |
EP3509800A4 (en) * | 2016-09-06 | 2019-09-18 | Advanced Intelligent Systems Inc. | MOBILE WORKSTATION FOR TRANSPORTING A VARIETY OF ARTICLES |
JP6670455B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2020-03-25 | 株式会社安川電機 | ロボット及びロボットシステム |
JP6743791B2 (ja) * | 2017-09-20 | 2020-08-19 | 株式会社安川電機 | ロボットシステムおよびワークの製造方法 |
CN116968071B (zh) * | 2023-09-07 | 2024-03-08 | 上海广川科技有限公司 | 一种用于晶圆传输的防滑装置及机械手指 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0642602A (ja) * | 1992-04-13 | 1994-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 同軸駆動部を有する平行リンクロボット |
JPH07507010A (ja) * | 1992-12-28 | 1995-08-03 | ブルックス オートメーション インク | 関節アーム式移送装置 |
JPH0839463A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-13 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 搬送装置 |
JPH106258A (ja) * | 1996-06-19 | 1998-01-13 | Metsukusu:Kk | 薄型ワークの搬送用ロボット |
JPH10249757A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-22 | Komatsu Ltd | 搬送用ロボット |
JP2003094376A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-04-03 | Daihen Corp | ワーク搬送用ロボット |
WO2010146840A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 株式会社アルバック | 基板搬送装置 |
JP2012186389A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3519595B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2004-04-19 | 松下電器産業株式会社 | ウエハ搬送装置 |
JP2002066966A (ja) * | 2000-08-25 | 2002-03-05 | Ishii Hyoki Corp | 搬送ロボット |
JP4411025B2 (ja) * | 2003-07-11 | 2010-02-10 | 株式会社ダイヘン | 2アーム式搬送ロボット |
JP4295788B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2009-07-15 | 忠素 玉井 | 伸縮アーム |
JP5304601B2 (ja) * | 2009-11-10 | 2013-10-02 | 株式会社安川電機 | アーム機構およびそれを備えた真空ロボット |
JP2013049113A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | ロボットのアーム構造およびロボット |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0642602A (ja) * | 1992-04-13 | 1994-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 同軸駆動部を有する平行リンクロボット |
JPH07507010A (ja) * | 1992-12-28 | 1995-08-03 | ブルックス オートメーション インク | 関節アーム式移送装置 |
JPH0839463A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-13 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 搬送装置 |
JPH106258A (ja) * | 1996-06-19 | 1998-01-13 | Metsukusu:Kk | 薄型ワークの搬送用ロボット |
JPH10249757A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-22 | Komatsu Ltd | 搬送用ロボット |
JP2003094376A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-04-03 | Daihen Corp | ワーク搬送用ロボット |
WO2010146840A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 株式会社アルバック | 基板搬送装置 |
JP2012186389A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット |
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