CN102963724A - 机器人的臂结构和机器人 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种机器人的臂结构和机器人，其减小了机器人的最小回转径。实施方式涉及的机器人具备第一臂部、第二臂部、中间连杆部、第一连杆部和第二连杆部。第一连杆部在与第一臂部、中间连杆部和固定底座部之间形成第一平行连杆机构。第二连杆部在与第二臂部、中间连杆部和可动底座部之间形成第二平行连杆机构。并且，从第二连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离，比从第一连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离短。

Description

机器人的臂结构和机器人

技术领域

本发明公开的实施方式涉及机器人的臂结构和机器人。

背景技术

以往，作为搬送玻璃基板和半导体晶片等工件的机器人，已知水平多关节机器人。水平多关节机器人是具备伸缩臂的机器人，所述伸缩臂是将两个臂部经关节连接起来而成的，通过使各臂部进行旋转动作来使在伸缩臂的末端部设置的末端执行器直线移动。并且，水平多关节机器人构成为，用于支承伸缩臂的底座部能够以回转轴为中心旋转，所述回转轴为铅直轴。

在这样的水平多关节机器人中，为了使在伸缩臂的末端部安装的末端执行器的朝向不随臂部件的旋转动作而变化，设有连杆机构来限制末端执行器的旋转，所述连杆机构根据各臂部的旋转动作而进行动作。

例如，在专利文献1中公开了使用两个平行连杆机构来限制末端执行器的旋转的臂结构，所述两个平行连杆机构为根据基端侧的臂部的旋转动作的第一平行连杆机构、和跟随末端侧的臂部的旋转动作的第二平行连杆机构。

专利文献1：日本专利第4295788号公报

然而，在上述的现有技术中，在减小机器人的最小回转径这一点上存在进一步改善的余地。机器人的最小回转径指的是底座部以回转轴为中心旋转的情况下水平多关节机器人的最小的旋转半径。

例如，在上述的现有技术中，第一平行连杆机构的连杆宽度与第二平行连杆机构的连杆宽度是相同的。连杆宽度指的是与臂部件平行地设置的连杆之间的宽度。因此，如果机器人大型化的话，第二平行连杆机构的连杆宽度也变大，与此相伴地，最小回转径变大。

发明内容

本发明实施方式的一个形态的目的在于提供一种能够减小机器人的最小回转径的机器人的臂结构和机器人。

实施方式的一个形态涉及的机器人的臂结构具备第一臂部、第二臂部、中间连杆部、第一连杆部和第二连杆部。第一臂部的基端部与固定底座部以能够旋转的方式连接。第二臂部的基端部与第一臂部的末端部以能够旋转的方式连接，第二臂部在末端部与可动底座部以能够旋转的方式连接。中间连杆部被与第一臂部与第二臂部的连接轴同轴地轴支承。第一连杆部与第一臂部、中间连杆部和固定底座部一起形成第一平行连杆机构。第二连杆部与第二臂部、中间连杆部和可动底座部一起形成第二平行连杆机构。并且，从第二连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离，比从第一连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离短。

根据实施方式的一个形态，能够提供一种机器人的臂结构和机器人，其能够减小机器人的最小回转径。

附图说明

图1是本实施方式涉及的机器人的立体示意图。

图2A是示出采用与以往相同的平行连杆机构的情况下机器人的最小回转径的俯视示意图。

图2B是示出本实施方式涉及的机器人的最小回转径的俯视示意图。

图3是示出机器人设置在真空罩的状态的侧视示意图。

图4是厚壁部周边的侧视示意图。

图5是厚壁部周边的俯视示意图。

标号说明

1：机器人；

10：机体部；

11：壳体；

12：凸缘部；

15：升降凸缘部；

20：臂单元；

21：固定底座部；

22：第一臂部；

23：第二臂部；

23a：厚壁部；

231：厚壁部的上表面；

24：可动底座部；

24a：末端执行器；

241：工件保持面；

242：末端执行器的下表面；

25：辅助臂部；

25a：第一连杆部；

25b：中间连杆部；

25c：第二连杆部；

30：真空罩。

具体实施方式

下面，参照附图详细地说明本申请公开的机器人的臂结构和机器人的实施方式。另外，并不通过下面所示实施方式限定本发明。

首先，用图1说明本实施方式涉及的机器人的结构。图1是本实施方式涉及的机器人的立体示意图。

如图1所示，机器人1是具备沿水平方向伸缩的两个伸缩臂的水平多关节机器人。具体来说，机器人1具备机体部10和臂单元20。

机体部10是设于臂单元20的下部的单元。机体部10在筒状的壳体11内具备升降装置，并且使用所述升降装置使臂单元20沿铅直方向升降。

升降装置构成为包括例如马达、滚珠丝杠、滚珠螺母等，升降装置通过将马达的旋转运动转换为直线运动从而使升降凸缘部15沿铅直方向升降。由此，固定在升降凸缘部15上的臂单元20进行升降。

在壳体11的上部形成有凸缘部12。通过将凸缘部12固定于真空罩，机器人1成为设置于真空罩的状态。用图3说明机器人1相对于真空罩的设置。

臂单元20是经由升降凸缘部15与机体部10连接的单元。具体来说，臂单元20具备固定底座部21、第一臂部22、第二臂部23、可动底座部24和辅助臂部25。

固定底座部21被支承成相对于升降凸缘部15能够旋转。固定底座部21具备由马达和减速器等构成的回转装置，固定底座部21利用所述回转装置进行旋转。

具体来说，回转装置将马达的旋转经由传动带输出到减速器，所述减速器的输出轴固定于机体部10。由此，固定底座部21以减速器的输出轴作为回转轴在水平方向自转。

第一臂部22的基端部经减速器以能够旋转的方式与固定底座部21的上部连接。而且，第二臂部23的基端部经减速器以能够旋转的方式与第一臂部22的末端上部连接。

机器人1通过用一个马达使设于第一臂部22的基端部的减速器和设于第一臂部22的末端部的减速器同步地动作，从而使第二臂部23的末端直线移动。

具体来说，机器人1以第二臂部23相对于第一臂部22的旋转量是第一臂部22相对于固定底座部21的旋转量的两倍的方式使第一臂部22和第二臂部23旋转。例如，机器人1以这样的方式使第一臂部22和第二臂部23旋转：在第一臂部22相对于固定底座部21旋转了α度的情况下，第二臂部23相对于第一臂部22旋转2α度。由此，第二臂部23的末端部直线移动。

另外，从防止真空罩内的污染等观点出发，将减速器和马达之类的驱动机构收纳在保持大气压力的第一臂部22的内部。由此，即使是在将机器人1置于减压环境下的情况下，不仅能够防止润滑脂等润滑油的干燥，而且能够防止由尘埃引起的真空罩内的污染。

可动底座部24以能够旋转的方式与第二臂部23的末端部的上部连接。该可动底座部24是随着第一臂部22和第二臂部23的旋转动作而移动的部件，该可动底座部24在上部具备用于保持工件的末端执行器24a。

辅助臂部25是连杆机构，其以使移动中的末端执行器24a一直朝向固定方向的方式与第一臂部22和第二臂部23的旋转动作联动地限制可动底座部24的旋转。

具体来说，辅助臂部25具备第一连杆部25a、中间连杆部25b和第二连杆部25c。

第一连杆部25a的基端部与固定底座部21以能够旋转的方式连接，第一连杆部25a在末端部与中间连杆部25b的末端部以能够旋转的方式连接。而且，中间连杆部25b的基端部被与第一臂部22和第二臂部23之间的连接轴同轴地轴支承，中间连杆部25b的末端部与第一连杆部25a的末端部以能够旋转的方式连接。

第二连杆部25c在基端部与中间连杆部25b以能够旋转的方式连接，第二连杆部25c在末端部与可动底座部24的基端部以能够旋转的方式连接。而且，可动底座部24在末端部与第二臂部23的末端部以能够旋转的方式连接，可动底座部24在基端部与第二连杆部25c以能够旋转的方式连接。

第一连杆部25a与固定底座部21、第一臂部22和中间连杆部25b共同形成第一平行连杆机构。即，当第一臂部22以基端部为中心旋转时，第一连杆部25a和中间连杆部25b保持着分别与第一臂部22和固定底座部21平行的状态进行旋转。

而且，第二连杆部25c与第二臂部24、可动底座部24和中间连杆部25b共同形成第二平行连杆机构。即，当第二臂部23以基端部为中心旋转时，第二连杆部25c和可动底座部24保持着分别与第二臂部23和中间连杆部25b平行的状态进行旋转。

中间连杆部25b通过第一平行连杆机构保持着与固定底座部21平行的状态进行旋转。因此，第二平行连杆机构的可动底座部24也保持着与固定底座部21平行的状态进行旋转。其结果是，安装于可动底座部24的上部的末端执行器24a保持着与固定底座部21平行的状态进行直线移动。

这样，机器人1使用第一平行连杆机构和第二平行连杆机构这两个平行连杆机构来保持末端执行器24a的朝向恒定。因此，与例如在第二臂部内设置带轮和传动带、并使用这些带轮和传动带将末端执行器的朝向维持在固定方向的情况相比，能够抑制由带轮和传动带引起的尘埃。

而且，由于利用辅助臂部25能够提高臂整体的刚性，因此能够降低末端执行器24a的动作时的振动。因此，与用带轮和传动带将末端执行器的朝向维持在固定方向的情况相比，还能够抑制由末端执行器24a的动作时的振动引起的尘埃。

在此，如图1所示，在本实施方式涉及的机器人1中，第二连杆部25c与中间连杆部25b的连接位置设于中间连杆部25b的中途部而非中间连杆部25b的末端部。由此，在本实施方式涉及的机器人1中，由于第二连杆机构的连杆宽度、即第二臂部23与第二连杆部25c之间的宽度减小，因此能够减小机器人1的最小回转径。

下面，对这一点进行更为具体的说明。在此，最小回转径指的是以设于固定底座部21的回转轴为中心进行旋转的机器人1的最小的旋转半径。而且，在下文中，将以回转轴为中心的旋转半径达到最小的机器人1的姿态称作最小回转姿态。

首先，用图2A说明采用与以往相同的平行连杆机构的情况下的机器人2的最小回转径。图2A是示出采用与以往相同的平行连杆机构的情况下的机器人2的最小回转径的俯视示意图。

另外，在下文中，将可动底座部的进退方向作为X轴方向，将在水平方向上与X轴方向正交的方向作为Y轴方向。而且，将与X轴方向和Y轴方向正交的方向、即铅直方向作为Z轴方向。

而且，在下文中，在说明机器人的各构成要素的相对的位置关系方面，存在以上下、左右和前后表示方向的情况，各方向的基准为将机器人设置在水平面的情况。具体来说，在图2A中，将X轴的正方向和负方向分别作为机器人2的前方和后方，将Y轴的正方向和负方向分别作为机器人2的右方和左方，将Z轴的正方向和负方向作为机器人2的上方和下方。而且，在图2A中，省略末端执行器地进行表示。

如图2A所示，采用与以往相同的平行连杆机构的机器人2中，第二连杆部25c'同轴地连接于第一连杆部25a和中间连杆部25b'的连接轴P5。

第二平行连杆机构由第二臂部23、可动底座部24'、第二连杆部25c'和中间连杆部25b'形成。因此，可动底座部24'上的从与第二臂部23的连接轴P3到与第二连杆部25c'的连接轴P6为止的距离、与中间连杆部25b'上的从与第二臂部23的连接轴P2到与第二连杆部25c'的连接轴P5为止的距离相同。

因此，若将固定底座部21上的从与第一臂部22的连接轴P1到与第一连杆部25a的连接轴P4为止的距离设为L1，则从连接轴P2到连接轴P5为止的距离也是L1，因此从连接轴P3到连接轴P6为止的距离为L1。

机器人2借助设于固定底座部21的回转装置而以回转轴O为中心进行旋转。此时，机器人2在采取以回转轴O为中心的旋转半径最小的姿态即最小回转姿态的状态下旋转。

具体来说，设于图2A所示的机器人2的左方的伸缩臂的姿态，具体来说，在可动底座部24'的可动范围内使可动底座部24'位于固定底座部21的最后方侧的姿态为机器人2的最小回转姿态。

如图2A所示，机器人2采取最小回转姿态时，可动底座部24'的基端部处于向机器人2的后方突出的状态。从所述可动底座部24'的基端部到回转轴O为止的距离为机器人2的最小回转径。图2A所示的圆R1为，在采取最小回转姿态的机器人2以回转轴O为中心进行旋转的情况下，可动底座部24'的基端部所绘出的圆。

另外，设于机器人2的右方的伸缩臂的姿态为，在可动底座部24'的可动范围内使可动底座部24'位于固定底座部21的最前方侧的姿态。

近些年，随着玻璃基板和半导体晶片等工件的大型化，搬送这些工件的机器人也逐渐大型化。机器人越是大型化，从连接轴P1到连接轴P4为止的距离L1越长。因此，存在着机器人越是大型化，从连接轴P3到连接轴P6为止的距离越长，最小回转径变得越大的可能。

因此，在本实施方式涉及的机器人1中，在到连接轴P2的距离比连接轴P5短的中间连杆部25b的中途部，将第二连结部25c与中间连杆部25b连接起来。由此，能够缩短可动底座部24的长度，能够减小机器人1的最小回转径。

在此，用图2B说明本实施方式涉及的平行连杆机构的具体的结构和本实施方式涉及的机器人1的最小回转径。图2B是示出本实施方式涉及的机器人1的最小回转径的俯视示意图。另外，在图2B中，省略末端执行器24a地进行表示。

如图2B所示，第二连杆部25c与中间连杆部25b的连接轴P7设于中间连杆部25b的中途部。具体来说，连接轴P7设在其到连接轴P2的距离比从连接轴P5到连接轴P2的距离L1短的位置。即，若将从连接轴P2到连接轴P7为止的距离设为L2，则L2比从连接轴P2到连接轴P5为止的距离L1短。

可动底座部24形成为：从与第二臂部23的连接轴P3到与第二连杆部25c的连接轴P6为止的距离、同中间连杆部25b上的从与第二臂部23的连接轴P2到与第二连杆部25c的连接轴P7为止的距离相同。因此，从连接轴P3到连接轴P6为止的距离为L2，该距离L2比现有的机器人2中的从连接轴P3到连接轴P6为止的距离L1短。

通过缩短从连接轴P3到连接轴P6为止的距离，能够减少可动底座部24的基端部向机器人1后方突出的突出量。由此，从可动底座部24的基端部到回转轴O为止的距离、即机器人1的最小回转径减小。

图2B所示的圆R2为，在采取最小回转姿态的机器人1以回转轴O为中心旋转的情况下，可动底座部24的基端部所绘出的圆。如图2B所示，圆R2比机器人2的可动底座部24'的基端部所绘出的圆R1小。

这样，在本实施方式涉及的机器人1中，减小了第二平行连杆机构的连杆宽度，减小了可动底座部24的基端部向机器人1后方突出的突出量，因此能够减小机器人1的最小回转径。

而且，如图2B所示，第二连杆部25c被配置成，在机器人1采取最小回转姿态的情况下，第二连杆部25c配置在比第二臂部23靠固定底座部21的外侧的位置。因此，能够容易地实现通过减小第二平行连杆机构的连杆宽度来减小机器人1的最小回转径的结构。

即，假设第一臂部22配置在比第一连杆部25a靠固定底座部21的内侧的位置，第二臂部23配置在比第二连杆部25c靠固定底座部21的外侧的位置。在所述情况下，当要减小机器人1的最小回转径时，第二臂部23的回转轴设于与第一臂部22的回转轴不同的位置，存在着用于使第一臂部22和第二臂部23同步地旋转的结构复杂化的可能性。

与此相对地，在本实施方式涉及的机器人1中，能够在维持第一臂部22和第二臂部23同轴连接的状态的同时，减小第二平行连杆机构的连杆宽度。因此，能够容易地实现通过减小第二平行连杆机构的连杆宽度来减小机器人1的最小回转径的结构。

而且，在本实施方式涉及的机器人1中，第一平行连杆机构形成为与以往相同的连杆宽度，而仅减小了第二平行连杆机构的连杆宽度，因此能够在维持伸缩臂的刚性的同时减小机器人1的最小回转径。

另外，本实施方式涉及的机器人1配置在真空罩内，所述真空罩利用真空泵等保持在减压状态。

下面，用图3说明机器人1设置于真空罩的状态。图3是示出机器人1设置在真空罩的状态的侧视示意图。

如图3所示，在机器人1中，形成于机体部10的凸缘部12隔着密封部件固定在开口部31的缘部，所述开口部31形成于真空罩30的底部。由此，真空罩30成为密闭的状态，其利用真空泵等减压装置将内部保持在减压状态。另外，机体部10的壳体11从真空罩30的下部突出，并位于支承真空罩30的支承部35内的空间。

机器人1在所述真空罩30内进行工件的搬送作业。例如，机器人1通过利用第一臂部22和第二臂部23使末端执行器24a进行直线移动，从而将工件从经由未图示的闸阀与真空罩30连接的其他真空罩取出。

接下来，机器人1在收回末端执行器24a后，通过使固定底座部21以回转轴O为中心进行旋转，从而使臂单元20正对作为工件的搬送目的地的其他真空罩。并且，机器人1通过利用第一臂部22和第二臂部23使末端执行器24a进行直线移动，从而将工件搬入作为工件的搬送目的地的其他真空罩。

为了使对真空罩30的减压状态的维持容易进行，优选将真空罩30形成得尽可能小。真空罩30的大小根据机器人1的最小回转径来确定。因此，通过如本实施方式所述的机器人1那样减小最小回转径，能够使真空罩30小型化，从而能够容易地维持真空罩30的减压状态。

而且，真空罩30的大小还由机器人1的高度尺寸确定。因此，还优选将机器人1的高度尺寸抑制得小。

在本实施方式涉及的机器人1中，如图1和图2B所示，中间连杆部25b在铅直方向上设于第一臂部22和第二臂部23之间。而且，第一连杆部25a和第二连杆部25c设于在铅直方向上分别与第一臂部22和第二臂部23重叠的位置。并且，第一连杆部25a与中间连杆部25b的下部连接，第二连杆部25c与中间连杆部25b的上部连接。

通过将第一连杆部25a、中间连杆部25b和第二连杆部25c如上所述地配置，在本实施方式涉及的机器人1中，能够将伸缩臂的高度尺寸抑制得小。因此，机器人1的高度尺寸变小，因此能够使真空罩30小型化，能够容易地维持真空罩30的减压状态。

这样，本实施方式涉及的机器人1减小了最小回转径和高度尺寸，因此能够使真空罩30小型化。

另外，真空罩30在底面形成有凹部，在所述凹部中收纳机器人1的固定底座部21和升降凸缘部15之类的向下方突出的部位。这样，通过使真空罩30与机器人1的形状匹配地形成，能够使真空罩30内小型化。

另外，如图1和图3所示，在第二臂部23，从基端部到中途部形成有厚壁部23a，所述厚壁部23a在铅直方向上的厚度比末端部厚。这样，通过在第二臂部23形成厚壁部23a，能够提高第二臂部23的刚性。

在此，用图4和图5进一步具体地说明形成于第二臂部23的厚壁部23a。图4是厚壁部23a周边的侧视示意图。而且，图5是厚壁部23a周边的俯视示意图。

厚壁部23a的上表面231形成于比第二臂部23的末端部的上表面高的位置。具体来说，如图4所示，厚壁部23a的上表面231形成在这样的高度：比末端执行器24a的下表面242靠上方、且比末端执行器24a的工件保持面241靠下方。

这样，厚壁部23a在与载置于工件保持面241的工件不干涉的范围内尽可能形成得厚。因此，不会妨碍工件的搬送作业，能够提高第二臂部23的刚性。

图5是厚壁部23a周边的俯视示意图。在图5中示出了可动底座部24的可动范围。具体来说，以虚线示出使可动底座部24位于固定底座部21的最后方侧的状态，并以实线示出使可动底座部24位于固定底座部21的最前方侧的状态。

如图5所示，第二臂部23从虚线所示的位置移动到实线所示的位置，与此相伴地，可动底座部24也从虚线所示的位置移动到实线所示的位置。

厚壁部23a形成于下述区域：该区域是比随着第一臂部22和第二臂部23的旋转动作而移动的可动底座部24在第二臂部23上通过的位置靠基端部侧的区域。由此，在可动底座部24的移动中厚壁部23a不与可动底座部24接触，因此不会妨碍工件的搬送作业，能够提高第二臂部23的刚性。

另外，在第二臂部23的基端部的内部，配设有用于连接来自末端执行器24a的配线的连接器。在本实施方式涉及的机器人1中，由于在第二臂部23的基端部形成厚壁部23a，因此能够在第二臂部23的基端部内确保足够的布线空间，能够防止对来自末端执行器24a的配线施加多余的载荷。

如上所述，本实施方式涉及的机器人具备第一臂部、第二臂部、中间连杆部、第一连杆部和第二连杆部。第一臂部的基端部以能够旋转的方式与固定底座部连接。第二臂部的基端部与第一臂部的末端部以能够旋转的方式连接，第二臂部在末端部与可动底座部以能够旋转的方式连接。中间连杆部被与第一臂部和第二臂部之间的连接轴同轴地轴支承。第一连杆部在与第一臂部、中间连杆部和固定底座部之间形成第一平行连杆机构。第二连杆部在与第二臂部、中间连杆部和可动底座部之间形成第二平行连杆机构。

并且，从第二连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离，比从第一连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离短。因此，能够减小机器人的最小回转径。

另外，在上述的实施方式中，对机器人为搬送工件的搬送机器人的情况的例子进行了说明，然而机器人也可以是进行工件的搬送以外的作业的机器人。而且，在上述的实施方式中，对将机器人设置于真空罩内的情况的例子进行了说明，然而设置机器人的罩体也可以是真空罩以外的罩体。

其他效果和变形例能够由本领域技术人员容易地导出。因此，本发明的更为广泛的形态并不受如上所述地表现和记述的特定的详细内容以及代表性的实施方式限定。因此，能够在不脱离由所附的权利要求书及其等价物所定义的总括性的发明的概念性精神或范围的情况下，进行各种各样的变更。

Claims (9)

1.一种机器人的臂结构，其特征在于，所述机器人的臂结构具备：

第一臂部，所述第一臂部的基端部与固定底座部以能够旋转的方式连接；

第二臂部，所述第二臂部的基端部与所述第一臂部的末端部以能够旋转的方式连接，该第二臂部在末端部与可动底座部以能够旋转的方式连接；

中间连杆部，所述中间连杆部被与所述第一臂部与所述第二臂部的连接轴同轴地轴支承；

第一连杆部，所述第一连杆部与所述第一臂部、所述中间连杆部和所述固定底座部一起形成第一平行连杆机构；

第二连杆部，所述第二连杆部与所述第二臂部、所述中间连杆部和所述可动底座部一起形成第二平行连杆机构，

从所述第二连杆部与所述中间连杆部的连接轴到所述第一臂部与所述第二臂部的连接轴为止的距离，比从所述第一连杆部与所述中间连杆部的连接轴到所述第一臂部与所述第二臂部的连接轴为止的距离短。

2.根据权利要求1所述的机器人的臂结构，其特征在于，

在所述机器人采取最小回转姿态的情况下，所述第二连杆部配置在比所述第二臂部靠所述固定底座部的外侧的位置，所述最小回转姿态是以平行于铅直方向的回转轴为中心的旋转半径最小的姿态。

3.根据权利要求1或2所述的机器人的臂结构，其特征在于，

所述中间连杆部设于所述第一臂部与所述第二臂部之间，

所述第一连杆部设于在铅直方向与所述第一臂部重叠的位置，并且该第一连杆部与所述中间连杆部的铅直方向下部连接，

所述第二连杆部设于在铅直方向与所述第二臂部重叠的位置，并且该第二连杆部与所述中间连杆部的铅直方向上部连接。

4.根据权利要求1或2所述的机器人的臂结构，其特征在于，

所述第二臂部具备厚壁部，所述厚壁部在铅直方向的厚度比所述末端部在铅直方向的厚度厚。

5.根据权利要求4所述的机器人的臂结构，其特征在于，

所述可动底座部与所述第二臂部的末端部的上部以能够旋转的方式连接，并且该可动底座部在上部具备用于保持工件的末端执行器，

所述厚壁部的上表面位于这样的位置：比所述末端执行器的下表面靠铅直方向的上方，且比所述末端执行器的工件保持面靠铅直方向的下方。

6.根据权利要求4所述的机器人的臂结构，其特征在于，

所述厚壁部形成于下述区域：该区域是所述第二臂部的、比随着所述第一臂部和所述第二臂部的旋转动作而移动的所述可动底座部在所述第二臂部上通过的位置靠基端部侧的区域。

7.根据权利要求5所述的机器人的臂结构，其特征在于，

所述厚壁部形成于下述区域：该区域是所述第二臂部的、比随着所述第一臂部和所述第二臂部的旋转动作而移动的所述可动底座部在所述第二臂部上通过的位置靠基端部侧的区域。

8.一种机器人，其特征在于，所述机器人具备：

固定底座部；

第一臂部，所述第一臂部的基端部与所述固定底座部以能够旋转的方式连接；

第二臂部，所述第二臂部的基端部与所述第一臂部的末端部以能够旋转的方式连接；

可动底座部，所述可动底座部与所述第二臂部的末端部以能够旋转的方式连接；

中间连杆部，所述中间连杆部被与所述第一臂部与所述第二臂部的连接轴同轴地轴支承；

第一连杆部，所述第一连杆部与所述第一臂部、所述中间连杆部和所述固定底座部一起形成第一平行连杆机构；

第二连杆部，所述第二连杆部与所述第二臂部、所述中间连杆部和所述可动底座部一起形成第二平行连杆机构，

从所述第二连杆部与所述中间连杆部的连接轴到所述第一臂部与所述第二臂部的连接轴为止的距离，比从所述第一连杆部与所述中间连杆部的连接轴到所述第一臂部与所述第二臂部的连接轴为止的距离短。

9.根据权利要求8所述的机器人，其特征在于，

所述固定底座部具备回转部，所述回转部以与铅直方向平行的回转轴为中心进行旋转。

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