JP2003094376A - ワーク搬送用ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】構造が簡単で、繰り返し動作の再現性が高いア
ーム回動形のワーク搬送用ロボットを提供する。 【解決手段】後端部が回動自在に支持された前段側アー
ム２の先端部に内歯歯車３を取り付け、内歯歯車の内側
に配置した太陽歯車４に後段側アーム７の後端部を結合
する。前段側アーム２の先端部と後段側アーム７の後端
部との間に中間回転部材５を配置し、この中間回転部材
に支持した遊星歯車６を太陽歯車４と内歯歯車３とに噛
み合わせる。前段側アーム２の後端部側に設けたリンク
支持部材９と中間回転部材５との間を前段側リンク１０
により連結し、中間回転部材５と後段側アームの先端に
回転自在に支持したハンド支持部材８との間を対の後段
側リンク１３Ａ，１３Ｂにより連結する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板製造装置
や半導体製造装置等において、基板やウェーハ等のワー
クを搬送するために用いるワーク搬送用ロボットに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶基板製造装置や半導体製造装置にお
いては、基板やウェハ等のワークを搬送する際にロボッ
トを用いている。この種の目的に用いるワーク搬送用ロ
ボットとしては、等しい長さを有して相互に回動するよ
うに連結された前段側アーム及び後段側アームと、後段
側アームの先端に回動自在に取り付けられたワーク保持
用ハンドとを備えて、前段側アーム及び後段側アームの
回動に伴ってワーク保持用ハンドを一方向に変位させる
ようにしたアームロボットが多く用いられている。

【０００３】この種のアームロボットでは、前段側アー
ムの回動変位を、回動方向を反転させて、しかも１対２
の変速比で後段側アームに伝達することにより、後段側
のアームを前段側アームの回動方向と反対方向に前段側
アームの回動角の２倍の角度だけ回動させる伝達機構
と、後段側アームの回動変位を回動方向を反転させて２
対１の変速比でワーク保持用ハンドに伝達することによ
り、ワーク保持用ハンドを後段側アームの回動方向と反
対方向に後段側アームの回動角の１／２の角度だけ回動
させる伝達機構とを必要とする。

【０００４】この種のロボットとしては、前段側アーム
及び後段側アームを中空に形成して、両アームの中空部
内に収容したベルト・プーリ機構により各アーム及びハ
ンドを駆動するようにしたベルト駆動式のものと、前段
側のアーム及び後段側のアームを平行リンクにより構成
して、該平行リンクの働きによりハンドを平行移動させ
るようにしたリンク式のものとが知られている。

【０００５】ベルト駆動式のアームロボットは、後端部
が支持フレームに回動自在に支持された前段側アーム
と、前段側アームの先端に後端部が回動自在に支持され
た後段側アームと、後段側アームの先端に回動自在に支
持されたワーク保持用ハンドと、前段側のアームを回動
させるアーム駆動装置と、前段側アームの中空部内に収
容されて、該前段側アームの回動変位を、回動方向を反
転させて１対２の変速比で後段側アームに伝達する前段
側ベルト・プーリ機構と、後段側アーム内に収容され
て、該後段側アームの回動変位を回動方向を反転させて
２対１の変速比でハンドに伝達する後段側ベルト・プー
リ機構とにより構成される。

【０００６】またリンク式のアームロボットは、例えば
特開平７−２０５０６２号公報に示されているように、
前段側アーム及び後段側アームを構成する前段側及び後
段側の平行リンク機構と、前段側の平行リンク機構の回
動を１対２の変速比で、かつ回動方向を反転させて後段
側の平行リンク機構に伝達するベルト・プーリ機構と、
後段側の平行リンク機構の先端に取り付けられたワーク
保持用のハンドとにより構成される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ベルト・プーリ機構を
用いたアームロボットは、ベルトの寿命が比較的短いた
め、メンテナンスの周期が短くなり、メンテナンスに要
する費用が高くなるという問題があった。

【０００８】また、半導体製造装置等に用いるワーク搬
送用ロボットは、プロセスチャンバの狭い入口に向けて
ワークを搬送することが要求されるため、搬送動作を繰
り返した際の、ハンドの到達位置の再現性を高くしてお
くことが必要であるが、長いベルトを用いるベルト駆動
式のアームロボットでは、熱の影響でベルトが伸縮した
ときに、その伸縮分に相当する回転変位がワーク保持用
ハンドに生じて、ハンドの向きがずれたり、動作中にベ
ルトにかかる張力の変化によりベルトが伸縮してハンド
の位置が微妙に変化したりするため、繰り返し動作時の
ハンドの到達位置の再現性を許容範囲内に収めるための
設計が難しいという問題があった。

【０００９】更に、リンク式のアームロボットでは、前
段側アーム及び後段側アームをそれぞれ平行リンクによ
り構成する上に、前段側の平行リンクと後段側の平行リ
ンクとの連結部分に回動方向の反転と１対２の変速とを
行わせるためのベルト・プーリ機構を設ける必要がある
ため、構造が複雑になって、大形化するという問題があ
った。

【００１０】本発明の目的は、ベルト・プーリ機構を用
いることなく、しかも複雑なリンク機構を用いることな
く、前段側アームから後段側アームへの変位の伝達と、
後段側アームからワーク保持用ハンドへの変位の伝達と
を行わせることにより、ベルト・プーリ機構を用いた場
合に生じる問題を回避し、装置を大形にすることなく、
位置再現性が高い搬送動作を安定に行わせることができ
るようにしたワーク搬送用ロボットを提供することにあ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係わるワーク搬
送用ロボットは、第１の軸線を中心に回動するように一
端が支持フレームに回動自在に支持された前段側アーム
と、第１の軸線から一定の距離Ｌを隔てた位置を第１の
軸線と平行に延びる第２の軸線に中心軸線を一致させた
状態で前段側アームの先端に取り付けられた内歯歯車
と、歯数が内歯歯車の歯数の１／２に設定されて内歯歯
車の内側に同心的に配置された太陽歯車と、回転中心軸
線を第２の軸線に一致させて前段側アームの先端に回転
自在に支持された中間回転部材と、中間回転部材に回転
自在に支持されて内歯歯車と太陽歯車とに噛み合わされ
た遊星歯車と、回動中心軸線を第２の軸線に一致させて
前段側アームに対して回動自在に支持されるとともに太
陽歯車に固定されて太陽歯車の回転に伴って回動させら
れる後段側アームと、第２の軸線から一定距離Ｌを隔て
た位置を第１の軸線及び第２の軸線と平行に伸びる第３
の軸線に回転中心軸線を一致させて後段側アームの先端
部に回転自在に支持されたハンド支持部材と、ハンド支
持部材に支持されたワーク保持用のハンドと、前段側ア
ームを回動させるアーム駆動装置と、支持フレームに支
持されたリンク支持部材と、リンク支持部材と中間回転
部材との間を連結する前段側リンク及び前記中間回転部
材とハンド支持部材との間を連結する後段側リンクを備
えたリンク機構とを備えている。上記リンク機構は、前
段側アーム及び後段側アームが相対的に回動する過程で
前段側リンク及び後段側リンクが相対的に回動して中間
回転部材の向きをリンク支持部材と同じ向きに保ち、か
つハンド支持部材の向きを中間回転部材と同じ向きに保
つように構成される。

【００１２】本発明の好ましい態様では、上記前段側リ
ンクを前段側アームと平行に配置して一端及び他端をそ
れぞれ第１の軸線と平行に延びる第１の枢支軸及び第２
の軸線と平行に延びる第２の枢支軸を介してリンク支持
部材及び中間回転部材に枢支する。また後段側リンク
は、後段側アームと平行に配置してその一端及び他端を
それぞれ第２の軸線と平行に延びる第３の枢支軸及び第
３の軸線と平行に延びる第４の枢支軸を介して中間回転
部材及びハンド支持部材に枢支し、第１の枢支軸と第２
の枢支軸との間の距離、及び第３の枢支軸と第４の枢支
軸との間の距離をともに前記一定距離Ｌに等しく設定す
る。

【００１３】また前段側アーム及び後段側アームが相対
的に回動する過程で、第１の軸線と第３の軸線と第１の
枢支軸の軸線と第４の枢支軸の軸線とを共通の第１の平
面上に位置させた状態を保ち、かつ第２の枢支軸の軸線
と第３の枢支軸の軸線とを第１の平面と平行な第２の平
面上に位置させた状態を保つように、第１ないし第４の
枢支軸の位置を設定する。

【００１４】即ち、前段側アーム及び後段側アームが相
対的に回動する過程で、前段側リンク及び後段側リンク
が相対的に回動して、中間回転部材の向きをリンク支持
部材の向きと同じ向きに保ち、かつハンド支持部材の向
きを中間回転部材の向きと同じ向きに保つように、第１
ないし第４の枢支軸の位置を設定する。

【００１５】上記のように、前段側アームの先端部と後
段側アームの後端部との間に中間回転部材を設けて、前
段側アームの先端部に取り付けた内歯歯車と、後段側ア
ームの後端部に取り付けた太陽歯車と、中間回転部材に
取り付けた遊星歯車とにより内歯歯車と太陽歯車との間
の変速比が１対２の遊星歯車機構を構成して、この遊星
歯車機構を介して前段側アームと後段側アームとを連結
すると、中間回転部材を固定した状態で、前段側アーム
を回動させたときに、後段側アームは前段側アームの回
動方向と反対側に前段側アームの回動角度の２倍の角度
だけ回動して、後段側アームの先端部が一方向に直線移
動する。

【００１６】したがって、支持フレームに支持されたリ
ンク支持部材と中間回転部材との間を連結する前段側リ
ンク及び中間回転部材とハンド支持部材との間を連結す
る後段側リンクを備えたリンク機構を設けて、リンク支
持部材と中間回転部材とハンド支持部材の向きを一定に
保持した状態で前段側アーム及び後段側アームの回動を
許容するように該リンク機構を構成すると、リンク支持
部材の向きを一定にして前段側アームを回動させること
により、ハンド支持部材を一方向に直線移動させること
ができ、該ハンド支持部材にワーク保持用のハンドを取
り付けておくことにより、ワークを一方向に直線移動さ
せることができる。

【００１７】上記のように、前段側アームの回動を、回
動方向を反転させて後段側アームに伝達する機構として
遊星歯車機構を用いると、該歯車機構は、前段側アーム
と後段側アームとを連結する関節部内に楽に収容できる
ため、ベルト・プーリ機構を用いる場合に比べてロボッ
トをコンパクトに構成することができる。

【００１８】更に上記のように、前段側アームの回動を
後段側のアームに伝達する伝達機構として遊星歯車機構
を用いると、２つのアーム内にベルト・プーリ機構を収
容する必要がないため、両アームの厚み寸法を小さくし
て、ロボットの小形軽量化を図ることができる。

【００１９】また上記のように構成すると、前段側アー
ムから後段側アームへの変位の伝達機構にベルトが存在
しないため、ベルトの伸縮によるハンドの位置ずれ等、
ベルトを用いていたことにより生じていた従来のロボッ
トの種々の問題を解決することができ、繰り返し動作時
の位置再現性が高いワーク搬送用ロボットを得ることが
できる。

【００２０】本発明の好ましい態様では、上記後段側リ
ンクを１対設けて、該１対の後段側リンクを、第２の軸
線と第３の軸線とを含む平面の両側に位置させた状態で
後段側アームの中空部内に平行に配置するのがよい。１
対の後段側リンクのそれぞれの一端及び他端は中間回転
部材及びハンド支持部材にそれぞれ対の第３の枢支軸及
び対の第４の枢支軸を介して枢支する。

【００２１】上記のように構成する場合、対の第３の枢
支軸と該対の第３の枢支軸にそれぞれ対応する対の第４
の枢支軸との間のそれぞれの距離は当然等しく設定され
る。

【００２２】また対の第３の枢支軸は第２の軸線に対し
て対称に配置され、対の第４の枢支軸は第３の軸線に対
して対称に配置される。

【００２３】上記のように後段側リンクを１対設けて、
該対の後段側リンクを平行に配置すると、ハンド支持部
材の回動を円滑に行わせることができる。また上記のよ
うに後段側リンクを後段側アームの中空部内に配置する
ようにすると、後段側リンクを後段側アームの外側に配
置する場合と比べて、ロボットをコンパクトに構成する
ことができる。

【００２４】上記のように、本発明においては、後段側
リンクを後段側アーム内に配置するのが好ましいが、後
段側リンクを後段側アームの外側に配置することを何等
妨げない。

【００２５】また後段側リンクは必ずしも１対設ける必
要はなく、１つだけ設けるようにしてもよい。後段側リ
ンクを１つだけ設ける場合、該後段側リンクは、後段側
アームの中空部内に配置してもよく、後段側アームの外
側に配置してもよい。

【００２６】本発明の好ましい態様では、リンク支持部
材を回転させるリンク駆動装置が更に設けられる。

【００２７】このようにリンク駆動装置を設けておく
と、アーム駆動装置により前段側アームを回動させると
同時に、リンク駆動装置によりリンク支持部材を回動さ
せることにより、ハンド支持部材を第１の軸線を中心に
旋回させることができるため、ワークを保持したハンド
を種々の向きに向けることができる。

【００２８】なお本発明は、上記のようにリンク支持部
材を回転させることによりロボット全体を旋回する場合
に限定されるものではなく、リンク支持部材を支持フレ
ームに対して固定して、支持フレーム全体を回転させる
機構を別途設けることにより、ロボット全体を旋回させ
るようにしてもよい。

【００２９】上記ワーク保持用ハンドとしては、基部と
該基部に後端部が固定された対のフィンガー部とを備え
た部材により構成された公知のものを用いることができ
る。この場合ワーク保持用ハンドは、対のフィンガー部
が第１の軸線と第３の軸線とを含む平面に対して対称な
位置に配置された状態で、その基部がハンド支持部材に
固定されて支持される。

【００３０】前段側リンクを取り付け易くするため、リ
ンク支持部材に第１の軸線から第１の枢支軸に向う方向
に突出した第１の腕部を設け、中間回転部材に第２の軸
線から第２の枢支軸側に向う方向に突出した第２の腕部
を設けて、第１の腕部の先端部及び第２の腕部の先端部
にそれぞれ第１の枢支軸及び第２の枢支軸を支持するよ
うにするのが好ましい。

【００３１】また遊星歯車の位置を内歯歯車及び太陽歯
車の周方向に沿って微調整する遊星歯車位置調整機構を
中間回転部材に設けておくのが好ましい。このような調
整機構を設けておくと、遊星歯車機構のバックラッシュ
をなくすための調整を容易に行わせることができる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、図１ないし図１６を参照し
て本発明の好ましい実施形態を説明する。

【００３３】図１は、本発明の一実施形態の全体的な構
成を示した平面図、図２ないし図６は本発明に係わるワ
ーク搬送用ロボットの一構成例の異なる動作状態を示す
平面図、図７は図６の動作状態での同ロボットの底面
図、図８は図１ないし図７に示したロボットの内部構造
を示す縦断面図、図９は同ロボットの前段側アームと後
段側アームとの連結部の構造を示す拡大縦断面図、図１
０は同ロボットの後段側アームの先端とハンド支持部材
との結合部の構造を示した拡大縦断面図、図１１は同ロ
ボットの後段側リンクとハンド支持部材との連結部の構
造を示した底面図、図１２は、同ロボットの前段側アー
ムの先端に設ける内歯歯車の一例を示した平面図、図１
３は図１２の内歯歯車の内側に同心的に配置されて後段
側アームの後端部に結合される太陽歯車の一例を示した
平面図、図１４は同ロボットの中間回転部材に支持され
て図１２の内歯歯車及び図１３の太陽歯車に噛み合わさ
れる遊星歯車を示した底面図、図１５は図１２の内歯歯
車と図１３の太陽歯車と図１４の遊星歯車とにより構成
される遊星歯車機構の構造を示す平面図、図１６は同遊
星歯車機構の遊星歯車の位置を微調整する遊星歯車位置
調整機構の構造を説明する展開断面図である。

【００３４】先ず図１を参照して本発明に係わるワーク
搬送用ロボットの全体的な構成を説明すると、同図にお
いて１は支持フレームと該支持フレームに支持されたア
ーム駆動装置及びリンク駆動装置とを備えたアーム・リ
ンク駆動装置、２は第１の軸線Ｏ1 を中心に回動するよ
うに一端が支持フレームに回動自在に支持された前段側
アーム、３は第１の軸線Ｏ1 から前段側アームの先端側
に一定の距離Ｌを隔てた位置を第１の軸線Ｏ1 と平行に
延びる第２の軸線Ｏ2 に中心軸線を一致させた状態で前
段側アーム２の先端部に取り付けられた内歯歯車、４は
歯数が内歯歯車３の歯数の１／２に設定されて内歯歯車
３の内側に同心的に配置された太陽歯車である。

【００３５】また５は回転中心軸線を第２の軸線Ｏ2 に
一致させて前段側アーム２の先端に回転自在に支持され
た中間回転部材、６は中間回転部材５に回転自在に支持
されて内歯歯車３と太陽歯車４とに噛み合わされた遊星
歯車である。

【００３６】なお遊星歯車は少なくとも一つあればよい
が、図示の例では４個の遊星歯車が設けられている。

【００３７】７は前段側アーム２の先端部に回動自在に
支持された後段側アームで、この後段側アームは、その
後端部が回動中心軸線を第２の軸線Ｏ2 に一致させた状
態で前段側アーム２に回動自在に支持されるとともに太
陽歯車４に固定されて、太陽歯車４の回転に伴って回動
させられる。

【００３８】８はハンド支持部材で、このハンド支持部
材は、第２の軸線Ｏ2 から後段側アームの先端側に一定
距離Ｌを隔てた位置を第１の軸線Ｏ1 及び第２の軸線Ｏ
2 と平行に伸びる第３の軸線Ｏ3 に回転中心軸線を一致
させた状態で後段側アーム７の先端部に回転自在に支持
されている。

【００３９】９はリンク支持部材で、このリンク支持部
材は、回転中心軸線を第１の軸線Ｏ1 に一致させた状態
でアーム・リンク駆動装置１に設けられた支持フレーム
に回転自在に支持されている。

【００４０】１０は前段側アーム２と平行に配置された
直線形の前段側リンクで、このリンクの一端は、中心軸
線Ｏ1 ´が第１の軸線Ｏ1 と平行に伸びる第１の枢支軸
１１を介してリンク支持部材９に枢支されている。また
前段側リンク１０の他端は、第１の枢支軸１１の軸線Ｏ
1 ´から前段側アームの先端側に一定距離Ｌを隔てた位
置を、中心軸線Ｏ2 ´が第２の軸線Ｏ2 と平行に伸びる
第２の枢支軸１２を介して、中間回転部材５に枢支され
ている。

【００４１】また１３Ａ及び１３Ｂは後段側アーム７に
設けられた中空部内に、該後段側アームと平行に配置さ
れた直線形の対の後段側リンクで、これらの後段側リン
クの一端は、中心軸線Ｏ3A´及びＯ3B´が第２の軸線Ｏ
2 と平行に伸びる対の第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂを
介して中間回転部材５に枢支されている。また対の後段
側リンク１３Ａ及び１３Ｂの他端は、中心軸線Ｏ4A´及
びＯ4B´が対の第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂの軸線Ｏ
3A´及びＯ3B´から後段側アームの先端側にそれぞれ一
定距離Ｌを隔てた位置を第３の軸線Ｏ3 と平行に伸びる
対の第４の枢支軸１５Ａ及び１５Ｂを介してハンド支持
部材８に枢支されている。

【００４２】対の第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂは第２
の軸線Ｏ2 に対して対称に配置され、対の第４の枢支軸
１５Ａ及び１５Ｂは第３の軸線Ｏ3 に対して対称に配置
されている。

【００４３】１６は半導体ウェハや液晶基板等のワーク
Ｗ（図２ないし図６参照）を保持するワーク保持用ハン
ドで、ハンド支持部材８に取り付けられている。図示の
ワーク保持用ハンドは、基部１６ａと該基部に後端部が
固定された対のフィンガー部１６b1，１６b2とを備えた
部材からなっていて、対のフィンガー部１６b1，１６b2
を第２の軸線Ｏ1 と第３の軸線Ｏ3 とを含む平面に対し
て対称な位置に配置した状態でその基部１６ａがハンド
支持部材８に固定されている。

【００４４】アーム・リンク駆動装置１に設けられるア
ーム駆動装置は、モータを駆動源として前段側アーム２
を駆動して、該アーム２を第１の軸線Ｏ1 を中心に回動
させる。

【００４５】またアーム・リンク駆動装置１に設けられ
るリンク駆動装置は、アーム駆動装置のモータとは別個
に設けられたモータを駆動源としてリンク支持部材９を
駆動して、該リンク支持部材９を第１の軸線Ｏ1 を中心
に回転させる。

【００４６】本発明においては、第１の軸線Ｏ1 と第２
の軸線Ｏ2 との間の距離と、第２の軸線Ｏ2 と第３の軸
線Ｏ3 との間の距離と、第１の枢支軸１１の軸線Ｏ1 ´
と第２の枢支軸１２の軸線Ｏ2 ´との間の距離と、第３
の枢支軸１４Ａ，１４Ｂの軸線Ｏ3A´，Ｏ3B´と第４の
枢支軸１５Ａ，１５Ｂの軸線Ｏ4A´，Ｏ4B´との間の距
離が等しく設定され、前段側アーム２及び後段側アーム
７が相対的に回動する過程で、第１の枢支軸１１の軸線
Ｏ1 ´と第４の枢支軸の軸線Ｏ4A´及びＯ4B´と第１の
軸線Ｏ1 と第３の軸線Ｏ3 とが共通の第１の平面Ａ1 −
Ａ1 上に位置した状態を保ち、第２の枢支軸１２の軸線
Ｏ2 ´と第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂの軸線Ｏ3A´及
びＯ3B´とが第１の平面Ａ1 −Ａ1 と平行な第２の平面
Ａ2 −Ａ2 上に位置した状態を保つように、第１ないし
第４の枢支軸が設けられている。

【００４７】図示の例では、図４に示すように前段側ア
ーム２と後段側アーム７とが重なり合って第１の軸線Ｏ
1 と第３の軸線Ｏ3 とが一致した状態になった時に、第
１の軸線Ｏ1 と第１の枢支軸の軸線Ｏ1 ´とを含む第１
の平面Ａ1 −Ａ1 が第２の軸線Ｏ2 と第３の軸線Ｏ3 と
を含む平面Ａ3 −Ａ3 と直交し、かつ第２の軸線Ｏ2と
第２の枢支軸の軸線Ｏ2 ´とを含む第２の平面Ａ2 −Ａ
2 が第２の軸線Ｏ2 と第３の軸線Ｏ3 とを含む平面Ａ3
−Ａ3 と直交するように、各枢支軸が設けられている。

【００４８】このように枢支軸を設けることにより、前
段側アーム２及び後段側アーム７が相対的に回動する過
程で、中間回転部材５の向きをリンク支持部材９と同じ
向きに保ち、ハンド支持部材８の向きを中間回転部材５
と同じ向きに保つことができるため、前段側アーム２を
回動させることにより、ハンド１６を一方向に直線移動
させることができる。

【００４９】本実施形態では、リンク支持部材９と中間
回転部材５との間を連結する前段側リンク１０及び中間
回転部材５とハンド支持部材８との間を連結する後段側
リンク１３Ａ，１３Ｂにより、前段側アーム２及び後段
側アーム７が回動する過程でリンク支持部材９、中間回
転部材５及びハンド支持部材８の向きを一定に保持する
ためのリンク機構が構成されている。

【００５０】本発明に係わるロボットにおいては、リン
ク支持部材９を一定の向きに向けて停止させた状態で前
段側アーム２を角度θだけ回動させたときに、該前段側
アームの回動が内歯歯車３と太陽歯車４と遊星歯車６と
からなる遊星歯車機構を介して、１対２の変速比で後段
側アーム７に伝達されるため、後段側アーム７は前段側
アーム２と反対側に角度２θだけ回動する。

【００５１】そのため、図２ないし図６に示したよう
に、前段側アーム２及び後段側アーム７は、第１の軸線
Ｏ1 と第３の軸線Ｏ3 とを含む第１の平面Ａ1 −Ａ1 を
常に一定の向き（リンク支持部材９の向きにより決ま
る）に向けた状態を保って相対的に回動し、この回動に
伴ってハンド支持部材８が第１の平面Ａ1 −Ａ1 に沿っ
て直線変位する。

【００５２】また前段側リンク１０の働きにより、前段
側アーム２及び後段側アーム７の回動の過程で中間回転
部材５の向きがリンク支持部材９の向きと同じ向きに保
持され、更に後段側リンク１３Ａ及び１３Ｂの働きによ
りハンド支持部材８が中間回転部材５の向きと同じ向き
に保持されるため、ワークＷを保持したハンド支持部材
８は、図２ないし図６に示すように、前段側アーム２及
び後段側アーム７の回動に伴って、その向きを常に一定
に保った状態で第１の平面Ａ1 −Ａ1 に沿って直線変位
する。

【００５３】図示の例では、平行に配置された後段側リ
ンク１３Ａ及び１３Ｂが互いに接触した状態になる位置
が前段側アーム２及び後段側アーム７の回動範囲の限界
位置となり、前段側アーム及び後段側アームの回動角に
よりハンドの変位量（ストローク）が決まるが、実用上
必要なハンドの変位量を得るためには、前段側アーク２
に対する後段側アーム７の回動角を例えば、９０°ない
し１２０°程度確保できれば十分である。

【００５４】図示の例では、アーム・リンク駆動装置１
に設けられたアーム駆動装置により前段側アーム２を回
動させるとともに、リンク駆動装置によりリンク支持部
材９を回転させることができるようになっている。この
ように、リンク駆動装置を設けておくと、アーム駆動装
置とリンク駆動装置とを同時に動作させて、前段側アー
ム２とリンク支持部材９とを同方向に回転させることに
より、ハンド支持部材８を第１の軸線Ｏ1 を中心にして
旋回させて、ハンド１６の向きを自由に変えることがで
きる。

【００５５】次に、図８ないし図１６を参照して、本実
施形態の各部の構造を詳細に説明する。本実施形態で
は、第１ないし第３の軸線Ｏ1 ないしＯ3 をそれぞれ垂
直方向に一致させている。

【００５６】図８に示したように、アーム・リンク駆動
装置１は、円筒状に形成されたケーシング１００を備
え、このケーシングの上部に支持フレーム１０１が固定
されている。支持フレーム１０１には、回転中心軸線を
一致させた状態で配置されたアーム駆動用回転部材１０
２とリンク駆動用回転部材１０３とが、それぞれの回転
中心軸線を第１の軸線Ｏ1 に一致させた状態で支持され
ている。

【００５７】図示の例では、リンク駆動用回転部材１０
３がほぼ円筒状に形成された部材からなっていて、該回
転部材１０３が軸受１０４を介して支持フレーム１０１
に支持されている。またアーム駆動用回転部材１０２
は、リンク駆動用回転部材１０３の内側に配置された軸
部材からなっていて、軸受１０５及び１０６を介してリ
ンク駆動用回転部材１０３に対して支持されている。

【００５８】図示の例では、アーム駆動用回転部材１０
２の下端外周に大歯車１０７が取り付けられ、ケーシン
グ１００内に固定されたアーム駆動用モータ１０８の回
転軸に取り付けられた小歯車１０９が大歯車１０７に噛
み合わされている。したがって、アーム駆動用回転部材
１０２は、モータ１０８の回転に伴って第１の軸線Ｏ1
−Ｏ1 を中心に回転駆動される。

【００５９】またリンク駆動用回転部材１０３の下端外
周に大歯車１１０が取り付けられ、ケーシング１００内
に固定されたリンク駆動用モータ１１１の回転軸に取り
付けられた小歯車１１２が大歯車１１０に噛み合わされ
ている。したがって、リンク駆動用回転部材１０３は、
モータ１１１の回転に伴って、第１の軸線Ｏ1 −Ｏ1を
中心に回転駆動される。

【００６０】この例では、モータ１０８と歯車１０７及
び１０９とにより、アーム駆動装置が構成され、モータ
１１１と歯車１１０及び１１２とにより、リンク駆動装
置が構成されている。

【００６１】既に述べたように、ワークを保持したハン
ド１６を一方向に搬送する際には、リンク支持部材９を
停止させた状態に保持して、モータ１０８により前段側
アーム２のみを駆動する。またハンド１６の向きを変え
るために、ハンド１６を第１の軸線Ｏ1 を中心に旋回さ
せる際には、モータ１０８と１１１との双方を駆動し
て、前段側アーム２とリンク支持部材９とを同方向に回
動させる。

【００６２】アーム駆動用回転部材１０２の上端には、
筒状のアーム取り付け部１０２ａが形成され、このアー
ム取り付け部１０２ａに、第１の軸線Ｏ1 と直交する平
面に長手方向を沿わせた状態で配置された前段側アーム
２の後端部が固定されている。図示の例では、前段側ア
ーム２の後端部に、該アームの底面側に開口した断面円
形の凹部２ａが形成され、この凹部２ａ内にアーム取付
け部１０２ａが挿入されている。アーム２は、その凹部
２ａの中心軸線をアーム駆動用回転部材１０２の中心軸
線（第１の軸線）に一致させた状態で配置され、アーム
２の後端部とアーム駆動用回転部材１０２のアーム取付
け部１０２ａとがボルト２１により締結されて、アーム
２の後端部がアーム駆動用回転部材１０２に固定されて
いる。

【００６３】またリンク駆動用回転部材１０３の上端に
形成された筒状の取り付け部１０３ａにリンク支持部材
９が固定されている。リンク支持部材９は、第１の軸線
Ｏ1と直交する平面に板面を沿わせた状態で、かつ前段
側アーム２及び支持フレーム１０１に対して回転し得る
状態で、前段側アーム２の後端部と支持フレーム１０１
との間に配置された円板部９ａと、該円板部９ａの外周
部から径方向の外側に突出した腕部９ｂとからなり、円
板部９ａの中央に設けられた取付け孔にリンク駆動用回
転部材１０３の取付け部１０３ａが嵌合されて、リンク
支持部材９が位置決めされている。円板部９ａと取付け
部１０３ａとがボルトにより締結されて、リンク支持部
材９が回転部材１０３に固定されている。

【００６４】リンク支持部材９の腕部９ｂの先端には、
第１の軸線Ｏ1 と平行に延びる第１の枢支軸１１が、そ
の先端を上方に向けた状態で取り付けられ、この第１の
枢支軸に前段側リンク１０の一端が軸受１０ａを介して
連結されている。

【００６５】前段側アーム２は中空に形成されていて、
その底面には点検用の窓が形成され、この窓は蓋板２２
（図７参照）により閉じられている。

【００６６】前段側アーム２の先端部には、リング状に
形成された歯車取付け部２ｂが形成されている。歯車取
付け部２ｂは、その中心軸線を第２の軸線Ｏ2 に一致さ
せた状態で設けられていて、この歯車取付け部２ｂの下
端の内周には、図１２に示したように、環状部材３ａの
内周に多数の歯３ｂを刻設した内歯歯車３が、その中心
軸線を第２の軸線Ｏ2 に一致させた状態で嵌合されてい
る。図９に示されているように、内歯歯車３は、ボルト
２３により歯車取付け部２ｂに固定されている。

【００６７】歯車取付け部２ｂにはまた、回転中心軸線
を第２の軸線Ｏ2 に一致させた状態で配置された中間回
転部材５が軸受２５を介して回転自在に支持され、この
中間回転部材５に、太陽歯車支持部材２７が軸受２８及
び２９を介して回転自在に支持されている。

【００６８】図１４に概略的に示したように、中間回転
部材５は、リング状の歯車取付け部２ｂと同心的に配置
されるほぼ円板状の本体部５ａと、該本体部５ａの外周
部から径方向の外側に突出した腕部５ｂとを有してい
て、本体部５ａの中心軸線を第２の軸線Ｏ2 に一致させ
た状態で歯車取り付け部２ｂに軸受２５を介して支持さ
れている。

【００６９】腕部５ｂの先端には、軸線Ｏ2 ´が第２の
軸線Ｏ2 と平行に延びる第２の枢支軸１２が、その先端
を下方に向けた状態で取り付けられ、この第２の枢支軸
１２の先端に前段側リンク１０の他端が軸受１０ｂを介
して連結されている。

【００７０】太陽歯車支持部材２７は、中心軸線を第２
の軸線Ｏ2 に一致させた状態で配置された有底の円筒部
２７ａと、円筒部２７ａの開口端（上端）に形成された
外鍔部２７ｂとを一体に有していて、外鍔部２７ｂが軸
受２８を介して中間回転部材５の本体部５ａに回転自在
に支持されるとともに、円筒部２７ａが中間回転部材５
の本体部５ａに取り付けられた後記する歯車支持部材３
１の内周に軸受２９を介して支持されている。太陽歯車
支持部材の円筒部２７ａの底部には、内歯歯車３の内側
に同心的に配置された太陽歯車４が、その中心軸線を第
２の軸線に一致させた状態で、ボルト３０（図９参照）
により固定されている。図１３に示したように、太陽歯
車４は、円板の外周に歯４ａを刻設した歯車からなって
いて、この太陽歯車４の歯数は、内歯歯車３の歯数の１
／２に設定されている。

【００７１】中間回転部材５の本体部５ａの内歯歯車側
の面には、図１４ないし図１６に示すように、４つの円
弧状の歯車支持部材３１がロックボルト３２により取り
付けられている。これらの歯車支持部材３１にそれぞれ
９０°間隔で配置された４つの遊星歯車６が軸３３を介
して回転自在に支持され、図１５に示したように、これ
らの遊星歯車６が内歯歯車３と太陽歯車４とに噛み合わ
されている。内歯歯車３と太陽歯車４と遊星歯車６とに
より、遊星歯車機構が構成されている。

【００７２】なお図１５の各部に付された斜線は、部材
を区別するためのものであり、断面を示すハッチングで
はない。

【００７３】図１６の展開断面図に示したように、円弧
状の歯車支持部材３１のそれぞれの両端にはテーパ面３
１ａが形成され、隣接する歯車支持部材のテーパ面３１
ａ，３１ａ間に形成された隙間に楔状の位置調整具３４
が係入されている。ロックボルト３２を貫通させるため
に各歯車支持部材３１に設けられたボルト挿通孔は緩め
に形成されていて、ボルト３２を緩めた状態では、各歯
車支持部材３１を内歯歯車３の周方向に微少量だけ変位
させることができるようになっている。各歯車支持部材
３１を貫通させた状態で調整ネジ３５が設けられ、各調
整ネジ３５は、中間回転部材５の本体部５ａに設けられ
たネジ孔に螺合されている。この例では、歯車支持部材
３１と、位置調整具３４と、調整ネジ３５と、ボルト３
２とにより、遊星歯車の位置を調整する遊星歯車位置調
整機構が構成されている。

【００７４】各遊星歯車の位置を調整する際には、ロッ
クボルト３２を緩めた状態で調整ネジ３５を回転させて
位置調整具３４の係入量を調整することにより、各歯車
支持部材３１を内歯歯車３の周方向に微少量移動させ
て、内歯歯車及び太陽歯車の周方向に対する各遊星歯車
６の位置を微調整する。これにより、遊星歯車６と内歯
歯車３及び太陽歯車４との噛み合わせ状態を調整した
後、ロックボルト３２を締め付けて、歯車支持部材３１
を固定する。

【００７５】このように遊星歯車６の位置を微調整する
位置調整機構を設けておくと、遊星歯車６を内歯歯車３
と太陽歯車４とに噛み合わせ後、遊星歯車６と太陽歯車
４及び内歯歯車３との間の噛み合わせ状態を遊びがない
状態に調整することができるため、遊星歯車機構のバッ
クラッシュをなくすための調整を容易に行うことができ
る。

【００７６】図９及び図２ないし図６に現れているよう
に、太陽歯車支持部材２７の外鍔部２７ｂには、第２の
軸線Ｏ2 に対して対称に配置された２つの円弧状の長孔
２７cA及び２７cBが形成され、中間回転部材５の本体部
５ａに固定された第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂが、こ
れらの長孔２７cA及び２７cBにスライド自在に嵌合され
ている。第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂは、第２の軸線
Ｏ2 に対して対称な位置に、それぞれの軸線Ｏ3A´及び
Ｏ3B´を第２の軸線Ｏ2 と平行な方向に向けた状態で配
置されている。第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂと長孔２
７cA及び２７cBとの嵌合により、太陽歯車４の回転範囲
（後段側アーム７の回動範囲）がほぼ１２０°に規制さ
れている。

【００７７】前段側アーム２の先端の歯車取り付け部２
ｂの下端の開口部は着脱自在な蓋板３７により閉じられ
ている。

【００７８】上記のように、中間回転部材５は前段側リ
ンク１０を介してリンク支持部材９に連結されているた
め、中間回転部材５は常にリンク支持部材９と同じ向き
に保持される。したがってリンク支持部材９を支持フレ
ームに対して固定した状態で前段側アーム２を回動させ
ると、内歯歯車３の回転が太陽歯車４に伝達され、太陽
歯車４が内歯歯車３と反対側に回転する。内歯歯車３の
歯数と太陽歯車４の歯数とが２対１に設定されているた
め、太陽歯車４は、内歯歯車３の回転方向と反対方向
に、内歯歯車の回転角θの２倍の角度２θだけ回転す
る。

【００７９】図９に示したように、後段側アーム７の後
端部には、下方に開口した断面が円形の凹部７ａが形成
され、この凹部７ａの底部の中央に更に凹部７ａよりも
小径の凹部７ｂが形成されている。後段側アーム７の凹
部７ａに太陽歯車支持部材２７の外鍔部２７ｂが嵌合さ
れ、太陽歯車支持部材の外鍔部２７ｂの長孔２７cA及び
２７cBを貫通した第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂが凹部
２７ｂ内に挿入されている。後段側アーム７の後端部
は、ボルト４０により太陽歯車支持部材２７の外鍔部２
７ｂに締結され、これにより、後段側アーム７の後端部
が太陽歯車４に結合されている。したがって、後段側ア
ーム７は太陽歯車４の回転に伴って、第２の軸線Ｏ2 を
中心に回動させられる。

【００８０】前述のように、前段側アーム２が回動した
ときに、太陽歯車４は内歯歯車３の回転方向と反対の方
向に、内歯歯車３の回転角の２倍の角度回転させられる
ため、後段側アーム７は、前段側アーム２の回動に伴っ
て、前段側アームの回動方向と反対の方向に、前段側ア
ームの回動角の２倍の角度回動する。

【００８１】図１０及び図１１に示したように、後段側
アーム７の先端部には、断面が円形の取り付け孔７ｃが
形成され、この取り付け孔７ｃの内周には、中心軸線を
第３の軸線Ｏ3 に一致させた状態で配置された断面が円
形のハンド支持部材８が軸受４１を介して回転自在に支
持されている。

【００８２】図示の例では、ハンド支持部材８が大径の
第１の部材８Ａと該第１の部材８Ａに重ねて配置された
小径の第２の部材８Ｂとからなっていて、両部材８Ａ及
び８Ｂがボルト４２により締結されて一体化されてい
る。図１０にも示されているように、回転部材８の下端
には、環状の軸支持部材４３がボルト４４により固定さ
れ、この軸支持部材４３には、対の第４の枢支軸１５Ａ
及び１５Ｂがそれぞれの先端を下方に向けた状態で支持
されている。前述のように、第４の枢支軸１５Ａ及び１
５Ｂは、第３の軸線Ｏ3 に対して対称な位置に、それぞ
れの軸線Ｏ4A´及びＯ4B´を第３の軸線Ｏ3 と平行な方
向に向けた状態で配置されている。

【００８３】後段側アーム７内には、下方に開口した中
空部７ｄが形成されていて、この中空部７ｄ内には、後
段側アームと平行に延びる１対の後段側リンク１３Ａ及
び１３Ｂが、第２の軸線Ｏ2 と第３の軸線Ｏ3 とを含む
平面の両側に位置させた状態で収容されている。これら
対のリンク１３Ａ及び１３Ｂの一端は、中間回転部材５
に支持された第３の枢支軸１４Ａ及び１４Ｂに軸受１３
ａを介して連結されている。また対の後段側リンク１３
Ａ及び１３Ｂの他端は、ハンド支持部材８に支持された
対の第４の枢支軸１５Ａ及び１５Ｂに軸受１３ｂを介し
て連結されている。後端側アーム７の中空部の開口部は
着脱自在な蓋板４５により閉じられている。

【００８４】上記のように、中間回転部材５とハンド支
持部材８との間が後段側リンク１３Ａ及び１３Ｂにより
連結されているため、前端側アーム２及び後段側アーム
７が回動する過程で、ハンド支持部材８は常に中間回転
部材５と同じ向きに保持される。

【００８５】中間回転部材５の回動に伴ってハンド支持
部材８を円滑に回転させるためには、上記の実施形態の
ように、後段側リンクを２本設けて平行に配置するのが
好ましいが、本発明は、このように後段側リンクを２本
設ける場合に限定されるものではなく、後段側リンクを
１本だけ設けるようにしてもよい。

【００８６】またロボットをコンパクトに構成するため
には、上記の実施形態のように、後段側リンクを後段側
アームの中空部内に収めるようにするのが好ましいが、
図１７に示すように、後段側リンク１３を後段側アーム
７の外部に配置するようにしてもよい。図１７に示した
例では、中間回転部材５に腕部５ｂの外に更に後段側リ
ンク１３の一端を枢支するための腕部５ｃが設けられ、
ハンド支持部材８に後段側リンク１３の他端を枢支する
ための腕部８ａが設けられている。後段側リンク１３は
後段側アーム７と平行に配置されて、その一端は、軸線
Ｏ3 ´が第２の軸線Ｏ2 と平行に延びる第３の枢支軸１
４を介して腕部５ｃに枢支されている。また後段側リン
ク１３の他端は、軸線Ｏ4 ´が第３の軸線Ｏ3 と平行に
延びる第４の枢支軸１５を介してハンド支持部材の腕部
８ａに枢支されている。その他の構成は図１ないし図１
６に示した実施形態と同様である。

【００８７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、前段側
アームの回動を、回動方向を反転させて後段側アームに
伝達する機構として、両アームを連結する関節部内に楽
に収容できる遊星歯車機構を用いたので、ベルト・プー
リ機構を用いる場合に比べてロボットをコンパクトに構
成することができる利点がある。

【００８８】またアーム内にベルトプーリ機構を収容す
る必要がないため、アームの厚さを薄くして、ロボット
の小形軽量化を図ることができる。

【００８９】また本発明によれば、前段側アームから後
段側アームへの変位の伝達機構にベルトが存在しないた
め、ベルトの伸縮によるハンドの位置ずれ等、ベルトを
用いていたことにより生じていた従来のロボットの種々
の問題を解決することができ、繰り返し動作時の位置再
現性が高いワーク搬送用ロボットを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるワーク搬送用ロボットの一実施
形態の全体的な構成を示した平面図である。

【図２】同実施形態の一動作状態を示す平面図である。

【図３】同実施形態の他の動作状態を示す平面図であ
る。

【図４】同実施形態の更に他の動作状態を示す平面図で
ある。

【図５】同実施形態の更に他の動作状態を示す平面図で
ある。

【図６】同実施形態の更に他の動作状態を示す平面図で
ある。

【図７】同実施形態の図６に示した動作状態での底面図
である。

【図８】同実施形態の内部構造を示した縦断面図であ
る。

【図９】同実施形態の前段側アームと後段側アームとの
連結部の構造を示した拡大縦断面図である。

【図１０】同実施形態の後段側アームの先端とハンド支
持部材との結合部の構造を示した拡大縦断面図である。

【図１１】同実施形態の後段側リンクとハンド支持部材
との連結部の構造を示した底面図である。

【図１２】同実施形態の前段側アームの先端に設ける内
歯歯車の一例を示した平面図である。

【図１３】図１２の内歯歯車の内側に同心的に配置され
て後段側アームの後端部に結合される太陽歯車の一例を
示した平面図である。

【図１４】本実施形態において中間回転部材に支持され
て図１２の内歯歯車及び図１３の太陽歯車に噛み合わさ
れる遊星歯車を示した底面図である。

【図１５】図１２の内歯歯車と図１３の太陽歯車と図１
４の遊星歯車とにより構成される遊星歯車機構の構造を
示す平面図である。

【図１６】図１５に示した遊星歯車機構の遊星歯車の位
置を微調整する遊星歯車位置調整機構の構造を説明する
ための展開断面図である。

【図１７】本発明の他の実施形態の構成を示した平面図
である。

【符号の説明】

１…アーム・リンク駆動装置、２…前段側アーム、３…
内歯歯車、４…太陽歯車、６…遊星歯車、７…後段側ア
ーム、８…ハンド支持部材、９…リンク支持部材、１０
…前段側リンク、１１…第１の枢支軸、１２…第２の枢
支軸、１３Ａ，１３Ｂ…後段側リンク、１４Ａ，１４Ｂ
…第３の枢支軸、１５Ａ，１５Ｂ…第４の枢支軸、１６
…ワーク保持用ハンド、Ｏ1 …第１の軸線、Ｏ2 …第２
の軸線、Ｏ3 …第３の軸線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS03 AS24 BT11 CV07 CW07 HS27 HT12 HT25 NS09 NS13 NS21 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA07 GA02 GA43 GA45 GA47 LA07 LA14 PA06 PA30

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の軸線を中心に回動するように一端
   が支持フレームに回動自在に支持された前段側アーム
   と、前記第１の軸線から一定の距離Ｌを隔てた位置を第
   １の軸線と平行に延びる第２の軸線に中心軸線を一致さ
   せた状態で前記前段側アームの先端に取り付けられた内
   歯歯車と、歯数が前記内歯歯車の歯数の１／２に設定さ
   れて前記内歯歯車の内側に同心的に配置された太陽歯車
   と、回転中心軸線を前記第２の軸線に一致させて前記前
   段側アームの先端に回転自在に支持された中間回転部材
   と、前記中間回転部材に回転自在に支持されて前記内歯
   歯車と太陽歯車とに噛み合わされた遊星歯車と、回動中
   心軸線を前記第２の軸線に一致させて前記前段側アーム
   に対して回動自在に支持されるとともに前記太陽歯車に
   固定されて前記太陽歯車の回転に伴って回動させられる
   後段側アームと、前記第２の軸線から前記一定距離Ｌを
   隔てた位置を前記第１の軸線及び第２の軸線と平行に伸
   びる第３の軸線に回転中心軸線を一致させて前記後段側
   アームの先端部に回転自在に支持されたハンド支持部材
   と、前記ハンド支持部材に支持されたワーク保持用のハ
   ンドと、前記前段側アームを回動させるアーム駆動装置
   と、前記支持フレームに支持されたリンク支持部材と、
   前記リンク支持部材と中間回転部材との間を連結する前
   段側リンク及び前記中間回転部材とハンド支持部材との
   間を連結する後段側リンクを備えたリンク機構とを具備
   し、前記前段側アーム及び後段側アームが相対的に回動
   する過程で前記前段側リンク及び後段側リンクが相対的
   に回動して前記中間回転部材の向きをリンク支持部材と
   同じ向きに保ち、かつハンド支持部材の向きを中間回転
   部材と同じ向きに保つように前記リンク機構が構成され
   ているワーク搬送用ロボット。
2. 【請求項２】 前記前段側リンクは、前記前段側アーム
   と平行に配置されて一端及び他端がそれぞれ第１の枢支
   軸及び第２の枢支軸を介して前記リンク支持部材及び中
   間回転部材に枢支され、前記後段側リンクは、前記後段
   側アームと平行に配置されて一端及び他端がそれぞれ第
   ３の枢支軸及び第４の枢支軸を介して前記中間回転部材
   及び前記ハンド支持部材に枢支され、前記第１の枢支軸
   と第２の枢支軸との間の距離、及び前記第３の枢支軸と
   第４の枢支軸との間の距離がともに前記一定距離Ｌに等
   しく設定されている請求項１に記載のワーク搬送用ロボ
   ット。
3. 【請求項３】 前記後段側アームは中空に形成され、前
   記前段側リンクは、前記前段側アームと平行に配置され
   て一端及び他端がそれぞれ第１の枢支軸及び第２の枢支
   軸を介して前記リンク支持部材及び中間回転部材に枢支
   され、前記後段側リンクは１対設けられていて、該対の
   後段側リンクが、前記第２の軸線と第３の軸線とを含む
   平面の両側に位置させた状態で前記後段側アームの中空
   部内に平行に配置され、前記対の後段側リンクのそれぞ
   れの一端及び他端が前記中間回転部材及びハンド支持部
   材にそれぞれ対の第３の枢支軸及び対の第４の枢支軸を
   介して枢支され、第１の枢支軸と第２の枢支軸との間の
   距離、及び対応する第３の枢支軸と第４の枢支軸との間
   の距離がともに前記一定距離Ｌに等しく設定されている
   請求項１に記載のワーク搬送用ロボット。
4. 【請求項４】 前記リンク支持部材を回転させるリンク
   駆動装置が更に設けられている請求項１ないし３のいず
   れか一つに記載のワーク搬送用ロボット。
5. 【請求項５】 第１の軸線を中心に回動するように一端
   が支持フレームに回動自在に支持された前段側アーム
   と、前記第１の軸線から一定の距離Ｌを隔てた位置を該
   第１の軸線と平行に延びる第２の軸線に中心軸線を一致
   させた状態で前記前段側アームの先端部に取り付けられ
   た内歯歯車と、歯数が前記内歯歯車の歯数の１／２に設
   定されて前記内歯歯車の内側に同心的に配置された太陽
   歯車と、回転中心軸線を前記第２の軸線に一致させて前
   記前段側アームの先端部に回転自在に支持された中間回
   転部材と、前記中間回転部材に回転自在に支持されて前
   記内歯歯車と太陽歯車とに噛み合わされた遊星歯車と、
   回動中心軸線を前記第２の軸線に一致させた状態で後端
   部が前記前段側アームの先端部に回動自在に支持される
   とともに前記太陽歯車に固定されて前記太陽歯車の回転
   に伴って回動させられる後段側アームと、前記第２の軸
   線から一定距離Ｌを隔てた位置を前記第１の軸線及び第
   ２の軸線と平行に伸びる第３の軸線に回転中心軸線を一
   致させて前記後段側アームの先端部に回転自在に支持さ
   れたハンド支持部材と、回転中心軸線を前記第１の軸線
   に一致させた状態で前記支持フレームに回転自在に支持
   されたリンク支持部材と、前記前段側アームと平行に配
   置されて前記第１の軸線と平行に伸びる第１の枢支軸を
   介して前記リンク支持部材に一端が枢支されるとともに
   前記第１の枢支軸の軸線から前記一定距離Ｌを隔てた位
   置を前記第２の軸線と平行に伸びる第２の枢支軸を介し
   て前記中間回転部材に他端が枢支された前段側リンク
   と、前記後段側アームと平行に配置されて前記第２の軸
   線と平行に伸びる第３の枢支軸を介して前記中間回転部
   材に一端が枢支されるとともに前記第３の枢支軸の軸線
   から前記一定距離Ｌを隔てた位置を前記第３の軸線と平
   行に伸びる第４の枢支軸を介して前記ハンド支持部材に
   他端が枢支された後段側リンクと、前記ハンド支持部材
   に後端部が支持されたワーク保持用ハンドと、前記前段
   側アームを駆動して前記第１の軸線を中心に回動させる
   アーム駆動装置と、前記リンク支持部材を駆動して前記
   第１の軸線を中心に回転させるリンク駆動装置とを具備
   し、前記前段側アーム及び後段側アームが相対的に回動
   する過程で前記前段側リンク及び後段側リンクが相対的
   に回動して前記中間回転部材の向きをリンク支持部材と
   同じ向きに保ち、かつハンド支持部材の向きを中間回転
   部材と同じ向きに保つように、前記第１ないし第４の枢
   支軸の位置が設定されているワーク搬送用ロボット。
6. 【請求項６】 前記後段側アームは中空に形成され、 前記後段側リンクは１対設けられていて、該１対の後段
   側リンクが、前記第２の軸線と第３の軸線とを含む平面
   の両側に位置させた状態で前記後段側アームの中空部内
   に平行に配置され、 前記対の後段側リンクのそれぞれの一端を前記中間回転
   部材に枢支する対の第３の枢支軸は前記第２の軸線に対
   して対称な位置に配置され、 前記対の後段側リンクのそれぞれの他端をハンド支持用
   回転部材に枢支する対の第４の枢支軸は、前記第３の軸
   線に対して対称な位置に配置されている請求項５に記載
   のワーク搬送用ロボット。
7. 【請求項７】 前記後段側リンクは、一つだけ設けられ
   て、前記後段側アームの側方に配置されている請求項５
   に記載のワーク搬送用ロボット。
8. 【請求項８】 前記ワーク保持用ハンドは、基部と該基
   部に後端部が固定された対のフィンガー部とを備えた部
   材からなっていて、前記対のフィンガー部が前記第１の
   軸線と第３の軸線とを含む平面に対して対称な位置に配
   置された状態で前記基部が前記ハンド支持部材に固定さ
   れて支持されている請求項５ないし７のいずれか一つに
   記載のワーク搬送用ロボット。
9. 【請求項９】 前記リンク支持部材は前記第１の軸線か
   ら第１の枢支軸に向う方向に突出した第１の腕部を有
   し、前記中間回転部材は前記第２の軸線から第２の枢支
   軸側に向う方向に突出した第２の腕部を有し、前記第１
   の腕部の先端部及び第２の腕部の先端部にそれぞれ前記
   第１の枢支軸及び第２の枢支軸が支持されている請求項
   ５ないし８のいずれか一つに記載のワーク搬送用ロボッ
   ト。
10. 【請求項１０】 前記遊星歯車の位置を前記内歯歯車及
    び太陽歯車の周方向に沿って微調整する遊星歯車位置調
    整機構が前記中間回転部材に設けられている請求項１な
    いし９のいずれか一つに記載のワーク搬送用ロボット。