KR101246362B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR101246362B1
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이수종
최은재
이성표
최병삼
박재옥
김윤범
김현주
박재완
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주식회사 티이에스
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Abstract

기판 이송 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 슬라이딩부재의 외측으로 노출되어 제 1 아암의 타단부측과 연결된 제 2 아암의 타단부측이 아암구동부에 의하여 정역방향으로 회전되므로, 제 1 아암과 제 2 아암이 상호 접혀서 겹쳐진 사점(Singularity)의 상태가 되어도, 제 1 아암과 제 2 아암은 용이하게 펼쳐진다. 따라서, 제 1 아암과 제 2 아암만으로 핸드가 설치된 슬라이딩부재를 용이하게 슬라이딩시킬 수 있으므로, 구조가 간단하여 원가가 절감되는 효과가 있다.

Description

기판 이송 장치 {APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자용 웨이퍼, 디스플레이장치용 유리기판 또는 박막형 태양전지용 유리기판 등과 같은 기판은 기판상에 여러 공정을 수행하여 제조한다. 이때, 기판은 각각의 공정에 필요한 최적의 조건을 제공하는 기판 처리 장치에 로딩되어 처리된다.
오늘날, 생산성을 향상시키기 위하여 기판을 일괄적으로 처리할 수 있는 클러스터(Cluster) 타입 기판 처리 장치가 개발되어 사용되고 있다.
클러스터 타입 기판 처리 장치는 기판이 저장되는 로드락챔버, 기판을 이송하기 위한 이송챔버 및 각각의 공정을 수행하기 위한 복수의 공정챔버를 포함한다. 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 일반적으로 진공상태인 이송챔버에 설치되어, 기판을 로드락챔버에서 이송챔버 또는 이송챔버에서 로드락챔버로 이송하거나, 기판을 이송챔버 간에 이송한다.
한국공개특허공보 제10-2009-0008400호에 개시된 기판반송장치는 벨트구동기구(38)를 이용하여 다관절 암(31)을 접거나 펼치고, 다관절 암(31)이 접히거나 펼쳐짐으로 인하여 핸드(32)가 직선왕복운동하면서 피처리기판을 이송한다. 그러나, 상기 기판반송장치는 벨트구동기구(38)를 이용하여 다관절 암(31)을 접거나 펼치므로, 벨트구동기구(38)의 일측이 필연적으로 외부로 노출되어야 한다. 이로 인해, 벨트구동기구(38)에서 발생되는 파티클(Particle)에 의하여 피처리기판이 손상될 우려가 있다.
이러한 문제점을 해소한 반송로봇이 일본특허공보 제4364001호에 개시되어 있다.
상기 반송로봇은 제 1 링크 암(31)의 일단부측에 형성된 축(31a)이 모터 등과 같은 구동수단에 의하여 선회베이스(300) 상에 회전가능하게 설치되고, 제 1 링크 암(31)의 타단부측은 중간 링크(33)에 회전가능하게 설치된다. 그리고, 제 2 링크 암(34)의 일단부측은 중간 링크(33)에 회전가능하게 설치되고, 타단부측은 직선운동기구(20)에 회전가능하게 설치된다.
그리하여, 제 1 링크 암(31)이 축(31a)의 중심(O1)을 기준으로 정역회전함에 따라 중간 링크(33)를 기준으로 제 1 링크 암(31)과 제 2 링크 암(34)이 상호 접히거나 펼쳐지고, 이로 인해 직선운동기구(20)가 직선왕복운동한다. 직선운동기구(20)에는 워크(W)가 탑재 지지되는 복수의 핸드(21)가 설치된다.
상기 반송로봇은, 제 1 링크 암(31)이 선회베이스(300)에 지지된 축(31a)을 기준으로 회전하므로, 제 1 링크 암(31)과 제 2 링크 암(34)이 상호 겹쳐져서 평행을 이루었을 때(일반적으로, 사점(Singularity)이라 함), 제 1 링크 암(31)의 회전에 의하여 제 2 링크 암(34)도 제 1 링크 암(31)과 동일하게 회전할 우려가 있다. 그러면, 중간 링크(33)를 기준으로 제 1 링크 암(31)과 제 2 링크 암(34)이 상호 접히거나 펼쳐지지 못하므로 직선운동기구(20)가 직선운동을 하지 못한다. 이를 방지하기 위하여, 일측은 선회베이스(300)에 회전가능하게 설치되고, 타측은 중간 링크(33)에 회전가능하게 설치된 부 링크 암(32)이 마련된다.
그러므로, 상기와 같은 종래의 반송로봇은 구조가 복잡하여 원가가 상승하는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 원가를 절감할 수 있는 기판 이송 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 받침부재; 상기 받침부재의 상면에 승강 및 회전가능하게 설치된 승강/회전부재; 상기 승강/회전부재에 설치되고 기판이 탑재 지지되며, 상기 승강/회전부재와 함께 운동함과 동시에 상기 승강/회전부재에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 상기 기판을 이송하는 이송수단; 일단부측이 상기 승강/회전부재에 회전가능하게 지지된 제 1 아암(Arm); 일단부측은 상기 이송수단에 회전가능하게 지지되고, 타단부측은 상기 제 1 아암의 타단부측에 회전가능하게 지지된 제 2 아암; 상기 제 2 아암의 타단부측을 상기 제 1 아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암이 상호 접히거나 펼쳐지는 상태로 운동되도록 구동하되, 상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암이 운동하는 중 상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암이 상호 겹쳐지는 상태로 배열되었을 때에도 상기 제 2 아암의 타단부측을 상기 제 1 아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제 2 아암이 상기 제 1 아암으로부터 펼쳐지도록 하여 사점(Singularity)을 제거하는 아암구동부 - 상기 아암구동부는 상기 제 1 아암에 설치됨 - 를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 슬라이딩부재의 외측으로 노출되어 제 1 아암의 타단부측과 연결된 제 2 아암의 타단부측이 아암구동부에 의하여 정역방향으로 회전되므로, 제 1 아암과 제 2 아암이 상호 접혀서 겹쳐진 사점(Singularity)의 상태가 되어도, 제 1 아암과 제 2 아암은 용이하게 펼쳐진다. 따라서, 제 1 아암과 제 2 아암만으로 핸드가 설치된 슬라이딩부재를 용이하게 슬라이딩시킬 수 있으므로, 구조가 간단하여 원가가 절감되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면 사시도.
도 2는 도 1의 저면 사시도.
도 3a는 도 2의 좌측면도.
도 3b는 도 3a의 "A"부 확대도.
도 4a는 도 1에 도시된 제 1 아암의 분해 사시도.
도 4b는 구동축과 승강/회전부재와 이격부재와 제 1 아암의 개략 결합 단면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 보인 도 1의 평면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면 사시도이고, 도 2는 도 1의 저면 사시도이며, 도 3a는 도 2의 좌측면도이고, 도 3b는 도 3a의 "A"부 확대도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 클러스터(Cluster) 타입 기판 처리 장치의 이송챔버의 바닥 등에 설치되며, 내부에 밀폐 공간이 형성된 대략 원통 형상의 받침부재(110)를 포함한다.
받침부재(110)의 상면에는 승강 및 회전가능하게 승강/회전부재(120)가 설치된다. 승강/회전부재(120)는 받침부재(110)의 내부에 설치된 구동수단(미도시)에 의하여 승강 및 회전하는 구동축(113)의 상단부측에 연결되며, 구동축(113)에 의하여 승강 및 회전된다.
승강/회전부재(120)에는 기판(50)(도 5a 참조)을 지지하여 이송하는 이송수단이 설치된다. 상기 이송수단은 승강/회전부재(120)와 함께 운동함과 동시에 승강/회전부재(120)에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 기판(50)을 이송한다.
상기 이송수단은 고정부재(130), 슬라이딩부재(140) 및 복수의 핸드(150)를 포함한다.
고정부재(130)는 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 승강/회전부재(120)의 상면측에 결합된다. 슬라이딩부재(140)는 대략 사각판 형상으로 형성되어 고정부재(130)와 대략 직교하며, 고정부재(130)의 길이방향을 따라 슬라이딩가능하게 고정부재(130)에 설치된다. 이때, 고정부재(130) 및 슬라이딩부재(140)에는 상호 삽입 결합되어 슬라이딩부재(140)의 운동을 안내하는 안내레일(130a)(도 3b 참조) 및 안내홈(140a)(도 3b 참조)이 각각 형성될 수 있다.
그리고, 핸드(150)는 슬라이딩부재(140)에 일측이 결합되어 슬라이딩부재(140)와 함께 운동하며, 타측 부위에는 기판(50)이 탑재 지지된다. 기판(50)은 핸드(150)에 탑재 지지되어 이송된다.
고정부재(130)는 승강/회전부재(120)의 상측에 각각 설치된 복수의 제 1 고정부재(131)와 복수의 제 2 고정부재(135)를 포함하고, 슬라이딩부재(140)는 제 1 고정부재(131)에 슬라이딩가능하게 설치된 제 1 슬라이딩부재(141)와 제 2 고정부재(135)에 슬라이딩가능하게 설치된 제 2 슬라이딩부재(145)를 포함한다. 제 1 슬라이딩부재(141)의 상측에 제 2 슬라이딩부재(145)가 위치된다.
제 1 고정부재(131)는 제 2 고정부재(135)의 내측에 설치되며 이격부재(133)를 매개로 승강/회전부재(120)의 상면에 설치된다. 즉, 제 1 고정부재(131)는 이격부재(133)로 인하여 승강/회전부재(120)의 상면과 소정 간격을 가진다. 이는, 후술할 브라켓(167)이 통과하는 통로를 확보하기 위함이다. 브라켓(167)은 제 1 고정부재(131)와 후술할 제 2 아암(165)을 연결한다.
그리고, 제 1 고정부재(131)와 제 2 고정부재(135)의 일단면(一端面) 및 타단면(他端面)에는 제 1 고정부재(131)와 제 2 고정부재(135)를 상호 일체로 연결하는 연결판(137)이 결합된다.
핸드(150)는 제 1 슬라이딩부재(141)에 결합된 복수의 제 1 핸드(151)와 제 2 슬라이딩부재(145)에 결합된 복수의 제 2 핸드(155)를 가진다. 제 1 슬라이딩부재(141)의 상측에 제 2 슬라이딩부재(145)가 위치되므로, 제 1 핸드(151)의 상측에 제 2 핸드(155)가 위치됨은 당연하다. 제 1 핸드(151)와 제 2 핸드(155)를 상하로 배치한 이유는, 제 1 핸드(151)로 기판(50)을 로딩하고 제 2 핸드(155)로 기판(50)을 언로딩하거나 제 1 핸드(151)로 기판(50)을 언로딩하고 제 2 핸드(155)로 기판(50)을 로딩하기 위함이다. 즉, 본 실시예에 따른 기판 이송 장치를 이용하여 한번에 기판(50)을 로딩하거나 언로딩하기 위함이다.
슬라이딩부재(140)는 제 1 아암(Arm)(161) 및 제 2 아암(165)에 의하여 슬라이딩되면서 직선왕복운동한다.
상세히 설명하면, 제 1 아암(161)의 일측은 승강/회전부재(120)의 일측에 회전가능하게 지지된다. 그리고, 제 2 아암(165)의 일측은 상기 이송수단인 슬라이딩부재(140)의 일측에 회전가능하게 지지되고, 타측은 제 1 아암(161)의 타단부측에 회전가능하게 지지된다. 즉, 제 1 아암(161)의 타단부측 상면에는 회전축(161a)이 회전가능하게 설치되고, 회전축(161a)에 제 2 아암(165)의 타단부측이 압입 고정된다. 따라서, 회전축(161a)이 회전하면, 제 2 아암(165)이 회전한다.
제 1 아암(161)은 케이스 형상으로 형성되며, 내부에는 회전축(161a)을 회전시키는 모터 및 감속기 등과 같은 아암구동부(미도시)가 설치된다. 즉, 상기 아암구동부는 제 2 아암(165)을 회전축(161a)을 기준으로 회전시켜, 제 1 아암(161)과 제 2 아암(165)을 상호 접거나 펼치는 형태로 운동시킨다. 제 1 아암(161)과 제 2 아암(165)이 회전축(161a)을 기준으로 상호 접히거나 펼쳐짐으로 인하여 슬라이딩부재(140)가 슬라이딩된다.
제 1 아암(161) 및 제 2 아암(165)은 상기 이송수단을 사이에 두고 상호 대향하면서 쌍을 이루는 형태로 설치될 수 있다. 따라서, 어느 하나의 제 1 아암(161)의 일측은 회전/승강부재(120)의 일측에 회전가능하게 지지되고, 어느 하나의 제 1 아암(161)과 연결된 어느 하나의 제 2 아암(165)의 일측은 제 1 슬라이딩부재(141)의 일측에 회전가능하게 지지된다. 그리고, 다른 하나의 제 1 아암(161)의 일측은 회전/승강부재(120)의 타측에 회전가능하게 지지되고, 다른 하나의 제 1 아암(161)과 연결된 다른 하나의 제 2 아암(165)의 일측은 제 2 슬라이딩부재(145)의 일측에 회전가능하게 지지된다. 그리하여, 어느 하나의 제 1 아암(161) 및 어느 하나의 제 2 아암(165)에 의하여 제 1 슬라이딩부재(141)가 슬라이딩되고, 다른 하나의 제 1 아암(161) 및 다른 하나의 제 2 아암(165)에 의하여 제 2 슬라이딩부재(141)가 슬라이딩된다.
이때, 상호 연결되어 연동하는 어느 하나의 제 1 아암(161)과 어느 하나의 제 2 아암(165)의 운동과 상호 연결되어 연동하는 다른 하나의 제 1 아암(161)과 다른 하나의 제 2 아암(165)의 운동은 상호 독립적이다. 따라서, 제 1 슬라이딩부재(141)와 제 2 슬라이딩부재(145)는 상호 독립적으로 운동하고, 이로 인해 제 1 핸드(151)로 기판(50)을 언로딩하였을 때, 제 2 핸드(155)로 기판(50)을 로딩할 수 있다.
도 1 내지 도 3의 미설명 부호 167은 제 1 슬라이딩부재(141)와 제 2 아암(165)을 연결하는 전술한 브라켓이다.
도 4a는 도 1에 도시된 제 1 아암의 분해 사시도이고, 도 4b는 구동축과 승강/회전부재와 이격부재와 제 1 아암의 개략 결합 단면도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 제 1 아암(161)은 내부에 소정 공간이 형성되고 상하면이 개방된 몸체(162)와 몸체(162)의 상하면에 각각 결합된 커버(163)를 가지면서 장방형의 케이스 형상으로 형성된다. 이때, 몸체(162)와 커버(163) 사이에는 몸체(162)와 커버(163) 사이를 실링하는 실링부재(164)가 개재될 수 있다.
전술한 바와 같이, 몸체(162)의 내부에는 제 2 아암(165)에 결합되는 회전축(161a)을 회전시키기 위한 상기 아암구동부가 설치된다. 그런데, 상기 아암구동부를 구동하기 위해서는 상기 아암구동부로 외부의 전원이 공급되어야 한다. 이를 위하여, 구동축(113)과 승강/회전부재(120)와 이격부재(133)에는 상호 연통 형성되어 케이블(미도시)이 통과하는 통로(113a, 120a, 133a)가 각각 형성되며, 몸체(162)의 하면에도 상기 케이블이 통과하는 통로(161b)가 형성된다.
본 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 설명한다. 도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 보인 도 1의 평면도이다.
제 1 슬라이딩부재(141)의 슬라이딩 동작과 제 2 슬라이딩부재(145)의 슬라이딩 동작은 동일하므로, 제 1 슬라이딩부재(141)의 슬라이딩에 대해서만 설명한다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 제 1 아암(161)이 제 2 아암(165)의 우측에 위치되며, 제 1 아암(161)과 제 2 아암(165)이 대략 직선을 이루는 상태를 최초의 상태라 가정한다. 도 5a에 도시된 상태에서는 하측에 위치된 제 1 핸드(151)는 제 2 핸드(155)에 가려서 보이지 않는다.
도 5a에 도시된 상태에서, 제 1 아암(161)의 내부에 설치된 상기 아암구동부에 의하여 제 2 아암(165)이 회전축(161a)을 기준으로 시계방향인 정방향으로 회전하면, 제 1 아암(161)의 일측이 승강/지지부재(120)에 지지되어 있으므로, 제 1 아암(161)과 제 2 아암(165)은 회전축(161a)을 기준으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상호 가까워지면서 접히는 형태로 운동한다.
도 5b에 도시된 상태에서, 상기 아암구동부에 의하여 제 2 아암(165)이 정방향으로 더 회전하면, 제 1 아암(161)과 제 2 아암(165)은, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상호 접혀서 완전히 겹치게 된다. 제 1 아암(161)과 제 2 아암(165)이 완전히 겹쳐진 상태를, 일반적으로, 사점(Singularity)이라 한다.
그리고, 도 5c 도시된 상태에서, 상기 아암구동부에 의하여 제 2 아암(165)이 정방향으로 더 회전하면, 제 2 아암(165)이 제 1 아암(161)의 우측에 위치되면서, 도 5d에 도시된 바와 같이, 상호 펼쳐진 상태가 된다. 이때, 제 2 아암(165)은 제 1 아암(161)의 타단부측에 회전가능하게 설치된 회전축(161a)에 의하여 회전되므로, 접혀서 제 1 아암(161)과 겹쳐진 상태에서도 용이하게 회전되므로, 사점이 제거되어 제 1 아암(161)과 펼쳐진 상태가 된다.
그러면, 제 2 아암(165)에 의하여 제 1 슬라이딩부재(141)가 좌측에서 우측으로 직선운동하게 되고, 제 1 슬라이딩부재(141)에 의하여 제 1 핸드(151)가 좌측에서 우측으로 이동하면서 기판(50)을 이송한다.
그 후, 도 5d 도시된 상태에서, 상기 아암구동부에 의하여 제 2 아암(165)이 반시계방향인 역방향으로 회전하면, 제 2 아암(165)은 제 1 아암(161)과 접혀서 겹쳐진 상태에서 펼쳐지면서 최초의 상태인 도 5a에 도시된 상태가 된다.
제 1 슬라이딩부재(141)와 제 2 슬라이딩부재(145)는 상호 독립적으로 슬라이딩되므로, 제 1 핸드(151)로 기판(50)을 언로딩할 경우에는 제 2 핸드(155)로 기판(50)을 로딩하면 된다.
본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 제 2 아암(165)이 슬라이딩부재(140)의 외측으로 노출된 회전축(161a)을 기준으로 상기 아암구동부에 의하여 정역방향으로 회전된다. 따라서, 제 1 아암(161)과 제 2 아암(165)이 상호 접혀서 겹쳐진 상태에서도 용이하게 펼쳐진다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
110: 받침부재
120 : 승강/회전부재
130: 고정부재
140: 슬라이딩부재
150: 핸드
161: 제 1 아암
165: 제 2 아암

Claims (8)

  1. 받침부재;
    상기 받침부재의 상면에 승강 및 회전가능하게 설치된 승강/회전부재;
    상기 승강/회전부재에 설치되고 기판이 탑재 지지되며, 상기 승강/회전부재와 함께 운동함과 동시에 상기 승강/회전부재에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 상기 기판을 이송하는 이송수단;
    일단부측이 상기 승강/회전부재에 회전가능하게 지지된 제 1 아암(Arm);
    일단부측은 상기 이송수단에 회전가능하게 지지되고, 타단부측은 상기 제 1 아암의 타단부측에 회전가능하게 지지된 제 2 아암;
    상기 제 2 아암의 타단부측을 상기 제 1 아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암이 상호 접히거나 펼쳐지는 상태로 운동되도록 구동하되, 상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암이 운동하는 중 상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암이 상호 겹쳐지는 상태로 배열되었을 때에도 상기 제 2 아암의 타단부측을 상기 제 1 아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제 2 아암이 상기 제 1 아암으로부터 펼쳐지도록 하여 사점(Singularity)을 제거하는 아암구동부 - 상기 아암구동부는 상기 제 1 아암에 설치됨 - 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송수단은,
    상기 승강/회전부재에 결합된 고정부재;
    상기 고정부재에 슬라이딩가능하게 설치되고, 상기 제 2 아암의 일단부측이 회전가능하게 지지되며, 상기 제 2 아암에 의하여 슬라이딩되는 슬라이딩부재;
    상기 슬라이딩부재에 일측이 결합되어 상기 슬라이딩부재와 함께 운동하며 상기 기판이 탑재 지지되는 복수의 핸드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고정부재는 제 1 고정부재와 제 2 고정부재를 가지고,
    상기 슬라이딩부재는 상기 제 1 고정부재에 슬라이딩가능하게 설치된 제 1 슬라이딩부재와 상기 제 2 고정부재에 슬라이딩가능하게 설치되며 상기 제 1 슬라이딩부재의 상측에 위치된 제 2 슬라이딩부재를 가지며,
    상기 핸드는 상기 제 1 슬라이딩부재에 결합된 복수의 제 1 핸드와 상기 제 2 슬라이딩부재에 결합된 복수의 제 2 핸드를 가지고,
    상기 제 1 아암 및 상기 제 2 아암은 상기 이송수단을 사이에 두고 상호 대향하면서 쌍을 이루며,
    어느 하나의 상기 제 1 아암의 일단부측은 상기 승강/회전부재의 일측에 회전가능하게 지지되고, 어느 하나의 상기 제 1 아암과 연결된 어느 하나의 상기 제 2 아암의 일단부측은 상기 제 1 슬라이딩부재에 회전가능하게 지지되며,
    다른 하나의 상기 제 1 아암의 일단부측은 상기 승강/회전부재의 타측에 회전가능하게 지지되고, 다른 하나의 상기 제 1 아암과 연결된 다른 하나의 상기 제 2 아암의 일단부측은 상기 제 2 슬라이딩부재에 회전가능하게 지지된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상호 연결된 어느 하나의 상기 제 1 아암과 어느 하나의 상기 제 2 아암의 운동과 상호 연결된 다른 하나의 상기 제 1 아암과 다른 하나의 상기 제 2 아암의 운동은 상호 독립적인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 고정부재 및 상기 슬라이딩부재에는 상호 삽입 결합되어 상기 슬라이딩부재의 운동을 안내하는 안내레일 및 안내홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 아암은 내부에 소정 공간이 형성되며 상하면이 개방된 몸체, 상기 몸체의 상하면에 각각 결합된 커버를 가지면서 장방형의 케이스 형상으로 형성되며,
    상기 몸체의 내부에 상기 아암구동부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 몸체와 상기 커버 사이에는 실링부재가 각각 개재된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 승강/회전부재와 상기 이송수단 사이에는 이격부재가 개재되고,
    상기 받침부재의 내부에는 상기 승강/회전부재를 승강 및 회전시키는 구동축이 설치되며,
    상기 구동축과 상기 승강/회전부재와 상기 이격부재 및 상기 몸체에는 통로가 형성되고,
    외부의 전원을 상기 아암구동부로 공급하기 위한 케이블은 상기 통로를 통과하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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