KR101262997B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR101262997B1
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이수종
최은재
이성표
최병삼
김윤범
김현주
박재완
김정용
지창현
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주식회사 티이에스
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Abstract

기판 이송 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 슬라이딩부재의 외측으로 노출되어 제1아암의 타단부측과 연결된 제2아암의 타단부측이 아암구동부에 의하여 정역방향으로 회전된다. 그러므로, 제1아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 제2아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 겹쳐지면서 평행을 이루는 사점(Singularity)의 상태가 되어도, 제1아암과 제2아암은 용이하게 펼쳐진다. 따라서, 제1아암과 제2아암만으로 핸드가 설치된 슬라이딩부재를 용이하게 슬라이딩시킬 수 있으므로, 구조가 간단하여 원가가 절감되는 효과가 있다. 그리고, 열에 의한 영향을 많이 받는 제2아암이 제1아암 보다 내열성이 강한 재질로 형성되므로, 제2아암의 변형이 상대적으로 작다. 따라서, 작은 힘으로 제2아암을 회전시켜 제2아암을 사점의 상태로부터 벗어나게 할 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 이송 장치 {APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자용 웨이퍼, 디스플레이장치용 유리기판 또는 박막형 태양전지용 유리기판 등과 같은 기판은 기판상에 여러 공정을 수행하여 제조한다. 이때, 기판은 각각의 공정에 필요한 최적의 조건을 제공하는 기판 처리 장치에 로딩되어 처리된다.
오늘날, 생산성을 향상시키기 위하여 기판을 일괄적으로 처리할 수 있는 클러스터(Cluster) 타입 기판 처리 장치가 개발되어 사용되고 있다.
클러스터 타입 기판 처리 장치는 기판이 저장되는 로드락챔버, 기판을 이송하기 위한 이송챔버 및 각각의 공정을 수행하기 위한 복수의 공정챔버를 포함한다. 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 일반적으로 진공상태인 이송챔버에 설치되어, 기판을 로드락챔버에서 이송챔버, 이송챔버에서 로드락챔버 또는 이송챔버 간에 이송한다.
한국공개특허공보 제10-2009-0008400호에 개시된 기판반송장치는 벨트구동기구(38)를 이용하여 다관절 암(31)을 접거나 펼치고, 다관절 암(31)이 접히거나 펼쳐짐으로 인하여 핸드(32)가 직선왕복운동하면서 피처리기판을 이송한다. 그러나, 상기 기판반송장치는 벨트구동기구(38)를 이용하여 다관절 암(31)을 접거나 펼치므로, 벨트구동기구(38)의 일측이 필연적으로 외부로 노출되어야 한다. 이로 인해, 벨트구동기구(38)에서 발생되는 파티클(Particle)에 의하여 피처리기판이 손상될 우려가 있다.
이러한 문제점을 해소한 반송로봇이 일본특허공보 제4364001호에 개시되어 있다.
상기 반송로봇은 제1링크 암(31)의 일단부측에 형성된 축(31a)이 모터 등과 같은 구동유닛에 의하여 선회베이스(300) 상에 회전가능하게 설치되고, 제1링크 암(31)의 타단부측은 중간 링크(33)에 회전가능하게 설치된다. 그리고, 제2링크 암(34)의 일단부측은 직선운동기구(20)에 회전가능하게 설치되고, 타단부측은 중간 링크(33)에 회전가능하게 설치된다.
그리하여, 제1링크 암(31)이 축(31a)의 중심(O1)을 기준으로 정역회전함에 따라 중간 링크(33)를 기준으로 제1링크 암(31)과 제2링크 암(34)이 상호 접히거나 펼쳐지고, 이로 인해 직선운동기구(20)가 직선왕복운동한다. 직선운동기구(20)에는 워크(W)가 탑재 지지되는 복수의 핸드(21)가 설치된다.
상기 반송로봇은 제1링크 암(31)이 선회베이스(300)에 지지된 축(31a)을 기준으로 회전하므로, 제1링크 암(31)의 타단부측과 제2링크 암(34)의 타단부측이 상호 회전가능하게 결합되어 있으면, 제1링크 암(31)의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 제2링크 암(34)의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹쳐져서 평행을 이루는 사점(Singularity)의 상태가 되었을 때, 제1링크 암(31)의 회전에 의하여 제2링크 암(34)도 제1링크 암(31)과 동일하게 회전할 우려가 있다. 그러면, 제1링크 암(31)과 제2링크 암(34)이 상호 접히거나 펼쳐지지 못하므로 직선운동기구(20)가 직선운동을 하지 못한다.
이를 방지하기 위하여, 상기 반송로봇은 제1링크 암(31)의 타단부측 및 제2링크 암(34)의 타단부측을 중간 링크(33)에 상호 이격시켜 회전가능하게 설치하고, 별도의 부 링크 암(32)의 일단부측 및 타단부측을 선회베이스(300) 및 중간 링크(33)에 회전가능하게 설치한다.
그러므로, 상기와 같은 종래의 반송로봇은 구조가 복잡하여 원가가 상승하는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 원가를 절감할 수 있는 기판 이송 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 사점 상태로 배열된 아암을 작은 힘으로 회전시켜 사점 상태를 해소할 수 있는 기판 이송 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 받침부재; 상기 받침부재의 상면에 승강 및 회전가능하게 설치된 승강/회전부재; 상기 승강/회전부재에 설치되고 기판이 탑재 지지되며, 상기 승강/회전부재와 함께 운동함과 동시에 상기 승강/회전부재에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 상기 기판을 이송하는 이송유닛; 일단부측이 상기 승강/회전부재에 회전가능하게 지지된 제1아암(Arm); 일단부측은 상기 이송유닛에 회전가능하게 지지되고, 타단부측은 상기 제1아암의 타단부측에 회전가능하게 지지된 제2아암; 상기 제1아암에 설치되며, 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제1아암과 상기 제2아암이 상호 접히거나 펼쳐지는 상태로 운동하도록 구동하되, 상기 제1아암과 상기 제2아암이 운동하는 중 상기 제1아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 상기 제2아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹쳐져 평행으로 배열되었을 때 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제2아암이 상기 제1아암으로부터 펼쳐지도록 하여 사점(Singularity)을 제거하는 아암구동부를 포함하며, 상기 제2아암은 상기 제1아암 보다 열팽창계수가 작은 재질로 형성된다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 슬라이딩부재의 외측으로 노출되어 제1아암의 타단부측과 연결된 제2아암의 타단부측이 아암구동부에 의하여 정역방향으로 회전된다. 그러므로, 제1아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 제2아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 겹쳐지면서 평행을 이루는 사점(Singularity)의 상태가 되어도, 제1아암과 제2아암은 용이하게 펼쳐진다. 따라서, 제1아암과 제2아암만으로 핸드가 설치된 슬라이딩부재를 용이하게 슬라이딩시킬 수 있으므로, 구조가 간단하여 원가가 절감되는 효과가 있다.
그리고, 열에 의한 영향을 많이 받는 제2아암이 제1아암 보다 내열성이 강한 재질로 형성되므로, 제2아암의 변형이 상대적으로 작다. 따라서, 작은 힘으로 제2아암을 회전시켜 제2아암을 사점의 상태로부터 벗어나게 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면 사시도.
도 2는 도 1의 일부 분해 저면 사시도.
도 3a는 도 2의 좌측면도.
도 3b는 도 3a의 "A"부 확대도.
도 4a는 도 1에 도시된 제1아암의 분해 사시도.
도 4b는 구동축과 승강/회전부재와 이격부재와 제1아암의 개략 결합 단면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 보인 도 1의 평면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1아암과 제2아암이 사점의 상태로 배열된 것을 보인 확대 평면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면 사시도이고, 도 2는 도 1의 일부 분해 저면 사시도이며, 도 3a는 도 2의 좌측면도이고, 도 3b는 도 3a의 "A"부 확대도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 클러스터(Cluster) 타입 기판 처리 장치의 이송챔버의 바닥 등에 설치되며, 내부에 밀폐 공간이 형성된 대략 원통 형상의 받침부재(110)를 포함한다. 받침부재(110)는 원통형, 육면체형 또는 각형 등과 같이 다양하게 형성될 수 있다.
받침부재(110)의 상면에는 승강 및 회전가능하게 승강/회전부재(120)가 설치된다. 승강/회전부재(120)는 받침부재(110)의 내부에 설치된 구동유닛(미도시)에 의하여 승강 및 회전하는 구동축(113)의 상단부측에 연결되며, 구동축(113)에 의하여 승강 및 회전된다.
승강/회전부재(120)에는 기판(50)(도 5a 참조)을 지지하여 이송하는 이송유닛이 설치된다. 상기 이송유닛은 승강/회전부재(120)와 함께 운동함과 동시에 승강/회전부재(120)에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 기판(50)을 이송한다.
상기 이송유닛은 고정부재(130), 슬라이딩부재(140) 및 복수의 핸드(150)를 포함할 수 있다.
고정부재(130)는 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 승강/회전부재(120)의 상면측에 결합된다. 슬라이딩부재(140)는 대략 사각판 형상으로 형성되어 고정부재(130)와 대략 직교하며, 고정부재(130)의 길이방향을 따라 슬라이딩가능하게 고정부재(130)에 설치된다. 이때, 고정부재(130) 및 슬라이딩부재(140)에는 상호 삽입 결합되어 슬라이딩부재(140)의 운동을 안내하는 안내레일(130a)(도 3b 참조) 및 안내홈(140a)(도 3b 참조)이 각각 형성될 수 있다.
그리고, 핸드(150)는 슬라이딩부재(140)에 일단부측이 결합되어 슬라이딩부재(140)와 함께 운동하며, 타측 부위에는 기판(50)이 탑재 지지된다. 기판(50)은 핸드(150)에 탑재 지지되어 이송된다.
고정부재(130)는 승강/회전부재(120)의 상측에 각각 설치된 복수의 제1고정부재(131)와 복수의 제2고정부재(135)를 포함할 수 있고, 슬라이딩부재(140)는 제1고정부재(131)에 슬라이딩가능하게 설치된 제1슬라이딩부재(141)와 제2고정부재(135)에 슬라이딩가능하게 설치된 제2슬라이딩부재(145)를 포함할 수 있다. 제1슬라이딩부재(141)의 상측에 제2슬라이딩부재(145)가 위치될 수 있다.
제1고정부재(131)는 제2고정부재(135)의 내측에 설치될 수 있으며, 이격부재(133)를 매개로 승강/회전부재(120)의 상면에 설치될 수 있다. 즉, 제1고정부재(131)는 이격부재(133)로 인하여 승강/회전부재(120)의 상면과 소정 간격을 가진다.
제1고정부재(131)와 승강/회전부재(120)의 상면 사이에는 브라켓(167)이 통과하면서 배치되며, 브라켓(167)은 제1고정부재(131)와 후술할 제2아암(165)을 연결한다.
그리고, 제1고정부재(131)와 제2고정부재(135)의 일단면(一端面) 및 타단면(他端面)에는 제1고정부재(131)와 제2고정부재(135)를 상호 일체로 연결하는 연결판(137)이 결합된다.
핸드(150)는 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 복수의 제1핸드(151)와 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 복수의 제2핸드(155)를 가진다. 제1슬라이딩부재(141)의 상측에 제2슬라이딩부재(145)가 위치되므로, 제1핸드(151)의 상측에 제2핸드(155)가 위치됨은 당연하다.
제1핸드(151)와 제2핸드(155)를 상하로 배치한 이유는, 제1핸드(151)로 기판(50)을 로딩하고 제2핸드(155)로 기판(50)을 언로딩하거나, 제1핸드(151)로 기판(50)을 언로딩하고 제2핸드(155)로 기판(50)을 로딩하기 위함이다. 따라서, 본 실시예에 따른 기판 이송 장치는 제1핸드(151)와 제2핸드(155)를 이용하여 한번에 기판(50)을 로딩하거나 언로딩 할 수 있다.
슬라이딩부재(140)는 제1아암(Arm)(161) 및 제2아암(165)에 의하여 슬라이딩되면서 직선왕복운동한다.
상세히 설명하면, 제1아암(161)은 케이스 형상으로 형성될 수 있으며, 일단부측은 승강/회전부재(120)의 일측에 회전가능하게 지지된다. 제1아암(161)의 타단부측에는 회전축(161a)이 회전가능하게 설치되고, 내부에는 회전축(161a)을 회전시키는 모터(170)(도 4a 참조)와 기어 등을 포함하는 아암구동부(미도시)가 설치될 수 있다.
그리고, 제2아암(165)의 일단부측은 상기 이송유닛의 슬라이딩부재(140)의 일측에 회전가능하게 지지되고, 타단부측은 회전축(161a)에 압입 고정되어 회전가능하게 지지된다. 그리하여, 회전축(161a)이 회전하면, 제2아암(165)이 회전한다.
즉, 상기 아암구동부는 회전축(161a)을 회전시키고, 회전축(161a)의 회전에 의하여 제2아암(165)이 회전축(161a)을 기준으로 회전한다. 이로 인해, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 상호 접히거나 펼쳐지는 형태로 운동하고, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 상호 접히거나 펼쳐짐으로 인하여 슬라이딩부재(140)가 슬라이딩된다.
제1아암(161) 및 제2아암(165)은 상기 이송유닛을 사이에 두고 상호 대향하면서 쌍을 이루는 형태로 설치될 수 있다. 따라서, 어느 하나의 제1아암(161)의 일단부측은 회전/승강부재(120)의 일측에 회전가능하게 지지되고, 어느 하나의 제1아암(161)과 연결된 어느 하나의 제2아암(165)의 일단부측은 제1슬라이딩부재(141)의 일측에 회전가능하게 지지된다. 그리고, 다른 하나의 제1아암(161)의 일단부측은 회전/승강부재(120)의 타측에 회전가능하게 지지되고, 다른 하나의 제1아암(161)과 연결된 다른 하나의 제2아암(165)의 일단부측은 제2슬라이딩부재(145)의 일측에 회전가능하게 지지된다. 그리하여, 어느 하나의 제1아암(161) 및 어느 하나의 제2아암(165)에 의하여 제1슬라이딩부재(141)가 슬라이딩되고, 다른 하나의 제1아암(161) 및 다른 하나의 제2아암(165)에 의하여 제2슬라이딩부재(141)가 슬라이딩된다.
이때, 상호 연결되어 연동하는 어느 하나의 제1아암(161)과 어느 하나의 제2아암(165)의 운동과 상호 연결되어 연동하는 다른 하나의 제1아암(161)과 다른 하나의 제2아암(165)의 운동은 상호 독립적이다. 따라서, 제1슬라이딩부재(141)와 제2슬라이딩부재(145)는 상호 독립적으로 운동하고, 이로 인해 제1핸드(151)로 기판(50)을 언로딩하였을 때, 제2핸드(155)로 기판(50)을 로딩할 수 있다.
도 4a는 도 1에 도시된 제1아암의 분해 사시도이고, 도 4b는 구동축과 승강/회전부재와 이격부재와 제1아암의 개략 결합 단면도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 제1아암(161)은 내부에 소정 공간이 형성되며, 상면과 하면 중 적어도 일면이 개방된 몸체(162)와 몸체(162)의 개방된 상면 또는 하면에 결합되는 커버(163)를 가지면서 장방형의 케이스 형상으로 형성된다. 이때, 몸체(162)와 커버(163) 사이에는 몸체(162)와 커버(163) 사이를 실링하는 실링부재(164)가 개재될 수 있다.
전술한 바와 같이, 제1아암(161)의 타단부측인 몸체(162)의 타단부측에는 제1아암(165)의 타단부측이 결합 지지되는 회전축(161a)이 설치되고, 몸체(162)의 일단부측 내부에는 회전축(161a)을 회전시키기 위한 상기 아암구동부가 설치된다.
그런데, 상기 아암구동부를 구동하기 위해서는 상기 아암구동부로 외부의 전원이 공급되어야 한다. 이를 위하여, 구동축(113)과 승강/회전부재(120)와 이격부재(133)에는 상호 연통 형성되어 케이블(미도시)이 통과하는 통로(113a, 120a, 133a)가 각각 형성되며, 몸체(162)의 하면에도 상기 케이블이 통과하는 통로(161b)가 형성된다.
본 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 설명한다. 도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 보인 도 1의 평면도이다.
제1슬라이딩부재(141)의 슬라이딩 동작과 제2슬라이딩부재(145)의 슬라이딩 동작은 동일하므로, 제1슬라이딩부재(141)의 슬라이딩에 대해서만 설명한다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 제1아암(161)이 제2아암(165)의 우측(도 5a를 바라보는 사람 입장에서 우측이며, 명세서의 다른 부분도 이와 유사함)에 위치되며, 회전축(161a)을 기준으로, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 상호 펼쳐진 상태를 최초의 상태라 가정한다. 도 5a에 도시된 상태에서는, 하측에 위치된 제1핸드(151)(도 5b 참조)가 제2핸드(155)에 가려서 보이지 않는다.
도 5a에 도시된 상태에서, 제1아암(161)의 내부에 설치된 상기 아암구동부에 의하여 회전축(161a)이 시계방향인 정방향으로 회전하면, 제2아암(165)이 회전축(161a)을 기준으로 정방향으로 회전한다. 그러면, 제1아암(161)의 일단부측이 승강/지지부재(120)에 지지되어 있으므로, 제1아암(161)과 제2아암(165)은 회전축(161a)을 기준으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상호 가까워지면서 접히려는 방향으로 운동한다.
도 5b에 도시된 상태에서, 상기 아암구동부에 의하여 제2아암(165)이 정방향으로 더 회전하면, 도 5c에 도시된 바와 같이, 제1아암(161)의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 제2아암(165)의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹치면서 평행을 이루는 사점(Singularity)의 상태가 된다.
그리고, 도 5c 의 도시된 상태에서, 상기 아암구동부에 의하여 제2아암(165)이 정방향으로 더 회전하면, 제2아암(165)이 제1아암(161)의 우측에 위치되면서, 도 5d에 도시된 바와 같이, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 상호 펼쳐진 상태가 된다. 즉, 제2아암(165)이 제1아암(161)에 지지된 부위를 기준으로 회전하므로, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 사점(Singularity)의 상태로 배열되어도, 제2아암(165)이 용이하게 회전되므로, 제2아암(165)은 사점의 상태에서 벗어나면서 제1아암(161)과 펼쳐진 상태가 된다.
그러면, 제2아암(165)에 의하여 제1슬라이딩부재(141)가 좌측에서 우측으로 직선운동하게 되고, 제1슬라이딩부재(141)에 의하여 제1핸드(151)가 좌측에서 우측으로 이동하면서 기판(50)을 이송한다.
그 후, 도 5d와 같이 도시된 상태에서, 상기 아암구동부에 의하여 제2아암(165)이 반시계방향인 역방향으로 회전하면, 제1아암(161)과 제2아암(165)은 최초의 상태인 도 5a에 도시된 상태가 된다.
제1슬라이딩부재(141)와 제2슬라이딩부재(145)는 상호 독립적으로 슬라이딩되므로, 제1핸드(151)로 기판(50)을 언로딩할 경우에는 제2핸드(155)로 기판(50)을 로딩하면 된다.
본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 제2아암(165)이 슬라이딩부재(140)의 외측으로 노출된 타단부측을 기준으로 상기 아암구동부에 의하여 정역방향으로 회전된다. 따라서, 제1아암(161)과 제2아암(165)은 사점의 상태에서도 용이하게 펼쳐진다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1아암과 제2아암이 사점의 상태로 배열된 것을 보인 확대 평면도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 사점의 상태로 배열되었을 때, 회전축(161a)을 기준으로 제1아암(161)에서 고정부재(130)의 제1고정부재(131)의 측면까지의 수직거리(L1)와 제2아암(165)에서 고정부재(130)의 제1고정부재(131)의 측면까지의 수직거리(L2)가 동일하여야, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 상호 펼쳐질 수 있다.
역으로, 회전축(161a)을 기준으로 제1아암(161)에서 고정부재(130)의 제1고정부재(131)의 측면까지의 수직거리(L1)와 제2아암(165)에서 고정부재(130)의 제1고정부재(131)의 측면까지의 수직거리(L2)가 동일하여야, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 상호 용이하게 접힐 수 있다.
그런데, 기판 이송 장치는 고온의 환경에서 사용되므로, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 열에 의하여 변형되어 길이가 신장(伸長)될 수 있다. 그리고, 슬라이딩부재(140)에 일단부측이 지지된 제2아암(165)이 고온 환경의 기판 처리 장치에서 발생되는 열 및 고온의 기판에 의하여 더욱 영향을 많이 받으므로, 더욱 길이가 신장된다(기판을 기판 처리 장치에 로딩 또는 언로딩하는 순간에는 제1아암(161)에 비해 상대적으로 제2아암(165)이 기판 처리 장치와 훨씬 가까운 위치에 위치되므로, 제2아암(165)이 열에 의한 영향을 많이 받음).
그러면, 제1아암(161)과 제2아암(165)이 사점의 상태로 배열되었을 때, 제2아암(165)의 신장에 의하여 제2아암(165)이 회전축(161a)에 꽉 끼인 상태가 되므로, 제2아암(165)을 회전시켜 사점의 상태로부터 벗어가게 하기 위해서는 큰 힘이 소요된다.
이를 방지하기 위하여, 본 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 고온 환경의 기판 처리 장치로 인하여, 열에 의한 영향을 많이 받는 제2아암(165)을 상대적으로 열에 의한 영향을 덜 받는 제1아암(161) 보다 열에 대한 내열성(耐熱性)이 강한 재료로 형성하는 것이 바람직하다.
즉, 제2아암(165)은 제1아암(161) 보다 열팽창계수가 작은 재질로 형성되는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 제1아암(161)은 알루미늄재로 형성되고, 제2아암(165)은 스틸재로 형성되는 것이 바람직하다.
그러면, 제2아암(165)이 열에 의하여 변형이 덜 되므로, 작은 힘으로 제2아암(165)을 회전시켜 사점의 상태로부터 벗어나게 할 수 있다.
몸체(162)와 커버(163)를 가지는 케이스 형상의 제1아암(161)에는 냉각관 등과 같은 냉각장치(미도시)가 설치될 수 있다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
110: 받침부재
120: 승강/회전부재
130: 고정부재
140: 슬라이딩부재
150: 핸드
161: 제1아암
165: 제2아암

Claims (5)

  1. 받침부재;
    상기 받침부재의 상면에 승강 및 회전가능하게 설치된 승강/회전부재;
    상기 승강/회전부재에 설치되고 기판이 탑재 지지되며, 상기 승강/회전부재와 함께 운동함과 동시에 상기 승강/회전부재에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 상기 기판을 이송하는 이송유닛;
    일단부측이 상기 승강/회전부재에 회전가능하게 지지된 제1아암(Arm);
    일단부측은 상기 이송유닛에 회전가능하게 지지되고, 타단부측은 상기 제1아암의 타단부측에 회전가능하게 지지된 제2아암;
    상기 제1아암에 설치되며, 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제1아암과 상기 제2아암이 상호 접히거나 펼쳐지는 상태로 운동하도록 구동하되, 상기 제1아암과 상기 제2아암이 운동하는 중 상기 제1아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 상기 제2아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹쳐져 평행으로 배열되었을 때 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제2아암이 상기 제1아암으로부터 펼쳐지도록 하여 사점(Singularity)을 제거하는 아암구동부를 포함하며,
    상기 제2아암은 상기 제1아암 보다 열팽창계수가 작은 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1아암은 알루미늄재로 형성되고, 상기 제2아암은 스틸재로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1아암에는 냉각장치가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1아암은,
    내부에 공간이 형성되어 상기 아암구동부가 설치되며 상면과 하면 중 적어도 일면이 개방된 몸체;
    상기 몸체의 개방된 상면 또는 하면에 결합된 커버를 가지면서 케이스 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 승강/회전부재와 상기 이송유닛 사이에는 이격부재가 개재되고,
    상기 받침부재의 내부에는 상기 승강/회전부재를 승강 및 회전시키는 구동축이 설치되며,
    상기 구동축과 상기 승강/회전부재와 상기 이격부재 및 상기 몸체에는 통로가 형성되고,
    외부의 전원을 상기 아암구동부로 공급하기 위한 케이블은 상기 통로를 통과하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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