JP5663638B2 - 基板移送装置 - Google Patents

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Description

本発明は、基板を移送する基板移送装置に関するものである。
半導体素子用ウエハ、ディスプレイ装置用ガラス基板または薄膜型太陽電池用ガラス基板などのような基板は、基板上に複数の工程を行って製造する。このとき、基板は、それぞれの工程に必要な最適な条件を提供する基板処理装置にローディングされて処理される。
今日、生産性を向上させるために基板を一括して処理できるクラスタータイプの基板処理装置が開発されて用いられている。
クラスタータイプの基板処理装置は、基板が格納されるロードロックチャンバと、基板を移送するための移送チャンバと、それぞれの工程を行うための複数の工程チャンバとを含む。基板を移送する基板移送装置は、一般に、真空状態の移送チャンバに設けられ、基板をロードロックチャンバから移送チャンバ、移送チャンバからロードロックチャンバまたは移送チャンバの間に移送する。
特許文献１に開示された基板搬送装置は、ベルト駆動機構３８を用いて多関節アーム３１を折り畳んだり展開し、多関節アーム３１が折り畳まれたり展開されることにより、ハンド３２が直線往復運動しながら被処理基板を移送する。しかしながら、前記基板搬送装置は、ベルト駆動機構３８を用いて多関節アーム３１を折り畳んだり展開するため、ベルト駆動機構３８の一側が外部に露出することが不可欠である。これにより、ベルト駆動機構３８で発生するパーティクルによって被処理基板が損傷する恐れがある。
このような問題を解消した搬送ロボットが、特許文献２に開示されている。
前記搬送ロボットは、第１リンクアーム３１の一端部側に形成された軸３１ａがモータなどのような駆動ユニットによって旋回ベース３００上に回転可能に設けられ、第１リンクアーム３１の他端部側は中間リンク３３に回転可能に設けられる。そして、第２リンクアーム３４の一端部側は、直線運動機構２０に回転可能に設けられ、他端部側は、中間リンク３３に回転可能に設けられる。
そうして、第１リンクアーム３１が軸３１ａの中心Ｏ１を基準として正逆回転することにより、中間リンク３３を基準として第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とが互いに折り畳まれたり展開されたりして、直線運動機構２０が直線往復運動する。直線運動機構２０には、ワークＷが搭載支持される複数のハンド２１が設けられる。
前記搬送ロボットは、第１リンクアーム３１が旋回ベース３００に支持された軸３１ａを基準として回転するため、第１リンクアーム３１の他端部側と第２リンクアーム３４の他端部側とが互いに回転可能に結合されていれば、第１リンクアーム３１の両端部側を結ぶ仮想の直線と、第２リンクアーム３４の両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なって平行をなす死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）の状態となった際、第１リンクアーム３１の回転によって第２リンクアーム３４も第１リンクアーム３１と同様に回転する恐れがある。すると、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とが互いに折り畳まれたり展開されたりしないため、直線運動機構２０が直線運動をすることができない。
これを防止するために、前記搬送ロボットは、第１リンクアーム３１の他端部側および第２リンクアーム３４の他端部側を中間リンク３３に互いに離隔させて回転可能に設け、別の副リンクアーム３２の一端部側および他端部側を旋回ベース３００および中間リンク３３に回転可能に設ける。
そのため、このような従来の搬送ロボットは、構造が複雑で、コストが上昇するという欠点がある。
韓国公開特許第１０−２００９−０００８４００号公報 特許第４３６４００１号公報
本発明は、上記の従来技術の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、コストを低減することができる基板移送装置を提供することである。
上記の目的を達成するための、本発明に係る基板移送装置は、支柱部材と、前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送手段と、一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、一端部側は前記移送手段に回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持された第２アームと、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動されるように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームと前記第２アームとが互いに重なる状態で配列された際にも、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部（前記アーム駆動部は前記第１アームに設けられる）とを含む。
また、上記の目的を達成するための、本発明に係る基板移送装置は、支柱部材と、前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送ユニットと、一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、一端部側は前記移送ユニットに回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持されるものの、ベンディングされた第２アームと、前記第１アームに設けられ、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動するように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームの両端部側を結ぶ仮想の直線と、前記第２アームの両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なって平行に配列された際、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部とを含む。
さらに、上記の目的を達成するための、本発明に係る基板移送装置は、支柱部材と、前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送ユニットと、一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、一対で構成され、それぞれベンディングされて形成されるものの、一端部側は前記移送ユニットに回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持される第２アームと、前記第１アームに設けられ、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動するように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームの両端部側を結ぶ仮想の直線と、前記第２アームの両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なって平行に配列された際、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部とを含む。
なお、上記の目的を達成するための、本発明に係る基板移送装置は、支柱部材と、前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送ユニットと、一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、一端部側は前記移送ユニットに回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持された第２アームと、前記第１アームに設けられ、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動するように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームの両端部側を結ぶ仮想の直線と、前記第２アームの両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なって平行に配列された際、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部とを含み、前記第２アームは、前記第１アームより熱膨脹係数の小さい材質で形成される。
本発明に係る基板移送装置は、スライディング部材の外側に露出した第１アームの端部側に回転可能に連結された第２アームの端部側がアーム駆動部によって正逆方向に回転する。そのため、第１アームの両端部側を結ぶ仮想の直線と、第２アームの両端部側を結ぶ仮想の直線とが重なりつつ平行をなす死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）の状態となっても、第１アームと第２アームは容易に展開される。したがって、第１アームおよび第２アームだけでハンドの設けられたスライディング部材を容易にスライディングさせることができるため、構造が簡単で、コストが低減される効果がある。
そして、熱による影響を多く受ける第２アームが第１アームより耐熱性の強い材質で形成されるため、第２アームの変形が相対的に小さい。したがって、小さい力で第２アームを回転させ、第２アームを死点の状態からずらすことができる効果がある。
そして、第１アームの他端部側に連結された第２アームの他端部側がベンディング形成される。そのため、第１アームと第２アームが熱などによって長さが変形しても、小さい力で第２アームを回転させ、第２アームを死点の状態からずらすことができる効果がある。
本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の平面斜視図である。 図１の一部分解底面斜視図である。 図２の左側面図である。 図３Ａの「Ａ」部拡大図である。 図１に示された第１アームの分解斜視図である。 駆動軸と昇降／回転部材と離隔部材と第１アームの概略結合断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図１の平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図１の平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図１の平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図１の平面図である。 図１に示された第１アームと第２アームが死点の状態で配列されたことを示す平面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の平面斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図７の平面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図７の平面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図７の平面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図７の平面図である。 図７に示された第１アームと第２アームが死点の状態で配列されたことを示す平面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板移送装置の第１アームおよび第２アームの平面斜視図である。 図１０に示された第１アームと第２アームが死点の状態で配列されたことを示す平面図である。
後述する本発明に関する詳細な説明は、本発明が実施できる特定の実施形態を例として示す添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を実施できるように十分に詳細に説明される。本発明の多様な実施形態は互いに異なるが、互いに排他的である必要はないことが理解されなければならない。例えば、ここに記載されている特定の形状、構造および特性は一実施形態に関連し、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲内で他の実施形態で実現可能である。また、各々の開示された実施形態における個別構成要素の位置または配置は、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲内で変更可能であることが理解されなければならない。したがって、後述する詳細な説明は限定的な意味として受け入れようとするものではなく、本発明の範囲は、適切に説明された場合、それら請求項が主張するのと均等なすべての範囲と共に添付した請求項によってのみ限定される。図面において、類似の参照符号は、様々な側面にわたって同一または類似の機能を指し示し、長さおよび面積、厚さなどとその形態は、便宜のために誇張して表現されてもよい。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態に係る基板移送装置を詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の平面斜視図であり、図２は、図１の一部分解底面斜視図であり、図３Ａは、図２の左側面図であり、図３Ｂは、図３Ａの「Ａ」部拡大図である。
図示のように、本発明の第１実施形態に係る基板移送装置は、クラスタータイプの基板処理装置の移送チャンバの底などに設けられ、内部に密閉空間が形成された支柱部材１１０を含む。支柱部材１１０は、円筒状、六面体状または角状などのように多様に形成可能である。
支柱部材１１０の上面には、昇降および回転可能に昇降／回転部材１２０が設置されることができる。昇降／回転部材１２０は、支柱部材１１０の内部に設けられた駆動ユニット（図示せず）によって昇降および回転する駆動軸１１３の上端部側に連結され、駆動軸１１３によって昇降および回転する。
昇降／回転部材１２０には、基板５０（図５Ａ参照）を支持して移送する移送ユニットが設けられる。前記移送ユニットは、昇降／回転部材１２０と共に運動すると同時に、昇降／回転部材１２０に対して直線運動可能に設けられ、基板５０を移送する。
前記移送ユニットは、固定部材１３０と、スライディング部材１４０と、複数のハンド１５０とを含むことができる。
固定部材１３０は、所定の長さを有する直方体状に形成され、長手方向が基板５０の移送方向と略平行をなしつつ、昇降／回転部材１２０の上面側に結合される。スライディング部材１４０は、略四角板状に形成され、固定部材１３０と略直交し、固定部材１３０の長手方向に沿ってスライディング可能に固定部材１３０に設けられる。このとき、固定部材１３０およびスライディング部材１４０には、互いに挿入結合され、スライディング部材１４０の運動を案内する案内レール１３０ａ（図３Ｂ参照）および案内溝１４０ａ（図３Ｂ参照）がそれぞれ形成されることができる。
そして、ハンド１５０は、スライディング部材１４０に一端部側が結合され、スライディング部材１４０と共に運動し、他側部位には基板５０が搭載支持される。基板５０は、ハンド１５０に搭載支持されて移送される。
固定部材１３０は、昇降／回転部材１２０の上側にそれぞれ設けられた複数の第１固定部材１３１と複数の第２固定部材１３５とを含むことができ、スライディング部材１４０は、第１固定部材１３１にスライディング可能に設けられた第１スライディング部材１４１と、第２固定部材１３５にスライディング可能に設けられた第２スライディング部材１４５とを含むことができる。第１スライディング部材１４１の上側に第２スライディング部材１４５が位置することができる。
第１固定部材１３１は、第２固定部材１３５の内側に設置され得、離隔部材１３３（図２参照）を介して昇降／回転部材１２０の上面に設置され得る。すなわち、第１固定部材１３１は、離隔部材１３３によって昇降／回転部材１２０の上面と所定の間隔を有する。
第１固定部材１３１と昇降／回転部材１２０の上面との間には、ブラケット１６７が通過しながら配置され、ブラケット１６７は、第１固定部材１３１と後述する第２アーム１６５とを連結する。
そして、第１固定部材１３１および第２固定部材１３５の一端面および他端面には、第１固定部材１３１と第２固定部材１３５とを互いに一体に連結する連結板１３７が結合される。
ハンド１５０は、第１スライディング部材１４１に結合された複数の第１ハンド１５１と、第２スライディング部材１４５に結合された複数の第２ハンド１５５とを有する。第１スライディング部材１４１の上側に第２スライディング部材１４５が位置するため、第１ハンド１５１の上側に第２ハンド１５５が位置することはもちろんである。
第１ハンド１５１と第２ハンド１５５を上下に配置した理由は、第１ハンド１５１で基板５０をローディングし、第２ハンド１５５で基板５０をアンローディングするか、第１ハンド１５１で基板５０をアンローディングし、第２ハンド１５５で基板５０をローディングするためである。したがって、本発明の第１実施形態に係る基板移送装置は、第１ハンド１５１と第２ハンド１５５を用いて一度に基板５０をローディングしたりアンローディングすることができる。
スライディング部材１４０は、第１アーム１６１および第２アーム１６５によってスライディングされながら直線往復運動する。
詳細に説明すれば、第１アーム１６１は、ケース状に形成され得、一端部側は昇降／回転部材１２０の一側に回転可能に支持される。第１アーム１６１の他端部側には回転軸１６１ａが回転可能に設けられ、内部には回転軸１６１ａを回転させるモータ１７０（図４Ａ参照）とギヤなどを含むアーム駆動部（図示せず）が設置されることができる。
そして、第２アーム１６５の一端部側は、前記移送ユニットのスライディング部材１４０の一側に回転可能に支持され、他端部側は、回転軸１６１ａに押し込み固定される。そうして、回転軸１６１ａが回転すると、第２アーム１６５が回転する。
すなわち、前記アーム駆動部は、回転軸１６１ａを回転させ、回転軸１６１ａの回転によって第２アーム１６５が回転軸１６１ａを基準として回転する。これにより、第１アーム１６１と第２アーム１６５とが互いに折り畳まれたり展開されたりする形態で運動し、第１アーム１６１と第２アーム１６５とが互いに折り畳まれたり展開されたりすることによりスライディング部材１４０がスライディングされる。
第１アーム１６１および第２アーム１６５は、前記移送ユニットを挟んで互いに対向しながら対をなす形態で設置されることができる。したがって、いずれか１つの第１アーム１６１の一端部側は、回転／昇降部材１２０の一側に回転可能に支持され、いずれか１つの第１アーム１６１に連結されたいずれか１つの第２アーム１６５の一端部側は、第１スライディング部材１４１の一側に回転可能に支持される。そして、他の１つの第１アーム１６１の一端部側は、回転／昇降部材１２０の他側に回転可能に支持され、他の１つの第１アーム１６１に連結された他の１つの第２アーム１６５の一端部側は、第２スライディング部材１４５の一側に回転可能に支持される。そうして、いずれか１つの第１アーム１６１およびいずれか１つの第２アーム１６５によって第１スライディング部材１４１がスライディングされ、他の１つの第１アーム１６１および他の１つの第２アーム１６５によって第２スライディング部材１４５がスライディングされる。
このとき、互いに連結されて連動するいずれか１つの第１アーム１６１といずれか１つの第２アーム１６５の運動と、互いに連結されて連動する他の１つの第１アーム１６１と他の１つの第２アーム１６５の運動とは互いに独立している。したがって、第１スライディング部材１４１と第２スライディング部材１４５は互いに独立して運動し、これにより、第１ハンド１５１で基板５０をアンローディングした際、第２ハンド１５５で基板５０をローディングすることができる。
図４Ａは、図１に示された第１アームの分解斜視図であり、図４Ｂは、駆動軸と昇降／回転部材と離隔部材と第１アームの概略結合断面図であって、これを説明する。
図示のように、第１アーム１６１は、内部に所定の空間が形成され、上面および下面のうちの少なくとも一面が開放された本体１６２と、本体１６２の開放された上面または下面にそれぞれ結合されるカバー１６３とを有し、かつ、長方形のケース状に形成される。このとき、本体１６２とカバー１６３との間には、本体１６２とカバー１６３との間をシーリングするシーリング部材１６４が介在されることができる。
前述のように、第１アーム１６１の他端部側である本体１６２の他端部側には、第１アーム１６１の他端部側が結合される回転軸１６１ａが設けられ、本体１６２の内部には、回転軸１６１ａを回転させるための前記アーム駆動部が設けられる。
ところで、前記アーム駆動部を駆動するためには、前記アーム駆動部に外部の電源が供給されなければならない。このために、駆動軸１１３と昇降／回転部材１２０と離隔部材１３３には、互いに連通形成され、ケーブル（図示せず）の通過する通路１１３ａ、１２０ａ、１３３ａがそれぞれ形成され、本体１６２の下面にも、前記ケーブルの通過する通路１６１ｂが形成される。
本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の動作を、図５Ａから図５Ｄを参照して説明する。図５Ａから図５Ｄは、本発明の第１実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図１の平面図である。
第１スライディング部材１４１のスライディング動作と第２スライディング部材１４５のスライディング動作は同じであるので、第１スライディング部材１４１のスライディングについてのみ説明する。
図５Ａに示されているように、第１アーム１６１が第２アーム１６５の右側（図５Ａを眺める側の立場から右側であり、明細書の他の部分もこれと類似する）に位置し、回転軸１６１ａを基準として、第１アーム１６１と第２アーム１６５とが互いに展開された状態を最初の状態と仮定する。図５Ａに示された状態では、下側に位置した第１ハンド１５１（図５Ｂ参照）が第２ハンド１５５に遮られて見えない。
図５Ａに示された状態で、第１アーム１６１の内部に設けられた前記アーム駆動部によって回転軸１６１ａが時計方向の正方向に回転すると、第２アーム１６５が回転軸１６１ａを基準として正方向に回転する。すると、第１アーム１６１の一端部側が昇降／支持部材１２０に支持されているため、第１アーム１６１と第２アーム１６５は、回転軸１６１ａを基準として、図５Ｂに示されているように、互いに近くなりつつ折り畳まれる方向に運動する。
図５Ｂに示された状態で、前記アーム駆動部によって第２アーム１６５が正方向にさらに回転すると、図５Ｃに示されているように、第１アーム１６１の両端部側を結ぶ仮想の直線と、第２アーム１６５の両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なりつつ平行をなす死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）の状態となる。
そして、図５Ｃに示された状態で、前記アーム駆動部によって第２アーム１６５が正方向にさらに回転すると、第２アーム１６５が第１アーム１６１の右側に位置しつつ、図５Ｄに示されているように、第１アーム１６１と第２アーム１６５とが互いに展開された状態となる。すなわち、第２アーム１６５が第１アーム１６１に支持された部位を基準として回転するため、第１アーム１６１と第２アーム１６５が死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）の状態で配列されても、第２アーム１６５は容易に回転する。そのため、第２アーム１６５は、死点の状態から容易にずれながら第１アーム１６１と展開された状態となる。
すると、第２アーム１６５によって第１スライディング部材１４１が左側から右側に直線運動するようになり、第１スライディング部材１４１によって第１ハンド１５１が左側から右側に移動しながら基板５０を移送する。
その後、図５Ｄに示された状態で、前記アーム駆動部によって第２アーム１６５が反時計方向の逆方向に回転すると、第１アーム１６１と第２アーム１６５は、最初の状態の、図５Ａに示された状態となる。
第１スライディング部材１４１と第２スライディング部材１４５は互いに独立してスライディングされるため、第１ハンド１５１で基板５０をアンローディングする場合には、第２ハンド１５５で基板５０をローディングすればよい。
本発明の第１実施形態に係る基板処理装置は、第２アーム１６５がスライディング部材１４０の外側に露出した他端部側を基準として前記アーム駆動部によって正逆方向に回転する。したがって、第１アーム１６１と第２アーム１６５は、死点の状態でも容易に展開される。
図６は、図１に示された第１アームと第２アームが死点の状態で配列されたことを示す平面図であって、これを説明する。
図示のように、第１アーム１６１と第２アーム１６５が死点の状態で配列された際、回転軸１６１ａを基準として、第１アーム１６１から固定部材１３０の第１固定部材１３１の側面までの垂直距離Ｌ１と、第２アーム１６５から固定部材１３０の第１固定部材１３１の側面までの垂直距離Ｌ２とが等しければ、第１アーム１６１と第２アーム１６５とが互いに展開可能となる。
逆に、回転軸１６１ａを基準として、第１アーム１６１から固定部材１３０の第１固定部材１３１の側面までの垂直距離Ｌ１と、第２アーム１６５から固定部材１３０の第１固定部材１３１の側面までの垂直距離Ｌ２とが等しければ、第１アーム１６１と第２アーム１６５とが互いに容易に折り畳み可能となる。
ところで、基板移送装置は、高温の環境で用いられるため、第１アーム１６１と第２アーム１６５が熱によって変形して長さが伸長し得る。そして、スライディング部材１４０に一端部側の支持された第２アーム１６５が高温環境の基板処理装置で発生する熱および高温の基板によって影響をより多く受けるため、さらに長さが伸張する。より詳細に説明すれば、基板を基板処理装置にローディングまたはアンローディングする瞬間には、第１アーム１６１に比べて相対的に第２アーム１６５が基板処理装置にはるかに近い位置に位置するため、第２アーム１６５が熱による影響をより多く受ける。
すると、第１アーム１６１と第２アーム１６５が死点の状態で配列された際、第２アーム１６５の伸張によって第２アーム１６５が回転軸１６１ａにきつく嵌合された状態となるため、第２アーム１６５を回転させ、死点の状態からずらすためには、大きい力が必要となる。
これを防止するために、本発明の第１実施形態に係る基板移送装置は、高温で基板処理が遂行されるので、熱による影響を多く受ける第２アーム１６５を、相対的に熱による影響が少ない第１アーム１６１より、熱に対する耐熱性の強い材料で形成することが好ましい。
すなわち、第２アーム１６５は、第１アーム１６１より熱膨脹係数の小さい材質で形成されることが好ましく、より好ましくは、第１アーム１６１はアルミニウム材で形成され、第２アーム１６５はスチール材で形成されることが好ましい。
すると、第２アーム１６５の、熱による変形がより少なくなるため、小さい力で第２アーム１６５を回転させ、死点の状態からずらすことができる。
本体１６２とカバー１６３とを有する、ケース状の第１アーム１６１には、冷却管などのような冷却装置（図示せず）が設置されることができる。
（第２実施形態）
図７は、本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の平面斜視図であって、第１実施形態との違いだけを説明する。
図示のように、第２アーム２６５は、第１本体部２６５ａと第２本体部２６５ｂとを含む、ベンディングされた形状に形成され得、第２アーム２６５の一端部側および他端部側は、第１本体部２６５ａの端部側および第２本体部２６５ｂの端部側に対応する部位である。
そのため、第１本体部２６５ａの端部側は、前記移送ユニットのスライディング部材２４０に回転可能に支持され、第２本体部２６５ｂの端部側は、回転軸２６１ａに押し込み支持され、前記アーム駆動部によって回転する。第１アーム２６１の他端部側の回転軸２６１ａを基準として第２本体部２６５ｂが回転することにより、第１アーム２６１と第２アーム２６５は互いに折り畳まれたり展開されたりする形態で運動する。
第１本体部２６５ａと第２本体部２６５ｂは、一体に形成されることができるが、必ずしもこれに限定されるものではない。
図８Ａから図８Ｄは、本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の動作を示す、図７の平面図であって、これを説明する。
第１スライディング部材２４１のスライディング動作と第２スライディング部材２４５のスライディング動作は同じであるので、第１スライディング部材２４１のスライディングについてのみ説明する。
図８Ａに示されているように、第１アーム２６１が第２アーム２６５の右側（図８Ａを眺める側の立場から右側であり、明細書の他の部分もこれと類似する）に位置し、回転軸２６１ａを基準として、第１アーム２６１と第２アーム２６５とが互いに展開された状態を最初の状態と仮定する。図８Ａに示された状態では、下側に位置した第１ハンド２５１（図８Ｂ参照）が第２ハンド２５５に遮られて見えない。
図８Ａに示された状態で、第１アーム２６１の内部に設けられた前記アーム駆動部によって回転軸２６１ａが時計方向の正方向に回転すると、第２アーム２６５の第２本体部２６５ｂが回転軸２６１ａを基準として正方向に回転する。すると、第１アーム２６１の一端部側が昇降／支持部材２２０に支持されているため、第１アーム２６１と第２アーム２６５は、回転軸２６１ａを基準として、図８Ｂに示されているように、互いに近くなりつつ折り畳まれる方向に運動する。
図８Ｂに示された状態で、前記アーム駆動部によって第２アーム２６５が正方向にさらに回転すると、図８Ｃに示されているように、第１アーム２６１の両端部側を結ぶ仮想の直線と、第２アーム２６５の両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なりつつ平行をなす死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）の状態となる。
そして、図８Ｃに示された状態で、前記アーム駆動部によって第２アーム２６５が正方向にさらに回転すると、第２アーム２６５の第１本体部２６５ａが第１アーム２６１の右側に位置しつつ、図８Ｄに示されているように、第１アーム２６１と第２アーム２６５とが互いに展開された状態となる。すなわち、第２アーム２６５が第１アーム２６１に支持された部位を基準として回転するため、第１アーム２６１と第２アーム２６５が死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）の状態で配列されても、第２アーム２６５が容易に回転するため、第２アーム２６５は、死点の状態からずれながら第１アーム２６１と展開された状態となる。
すると、第２アーム２６５によって第１スライディング部材２４１が左側から右側に直線運動するようになり、第１スライディング部材２４１によって第１ハンド２５１が左側から右側に移動しながら基板５０を移送する。
その後、図８Ｄに示された状態で、前記アーム駆動部によって第２アーム２６５が反時計方向の逆方向に回転すると、第１アーム２６１と第２アーム２６５は、最初の状態の、図８Ａに示された状態となる。
第１スライディング部材２４１と第２スライディング部材２４５は互いに独立してスライディングされるため、第１ハンド２５１で基板５０をアンローディングする場合には、第２ハンド２５５で基板５０をローディングすればよい。
本発明の第２実施形態に係る基板処理装置は、第２アーム２６５がスライディング部材２４０の外側に露出した他端部側を基準として前記アーム駆動部によって正逆方向に回転する。したがって、第１アーム２６１と第２アーム２６５は、死点の状態でも容易に展開される。
図９は、図７に示された第１アームと第２アームが死点の状態で配列されたことを示す平面図であって、これを説明する。
図示のように、第１アーム２６１と第２アーム２６５が死点の状態で配列された際、回転軸２６１ａを基準として、第１アーム２６１から固定部材２３０の第１固定部材２３１の側面までの垂直距離Ｌ１と、第２アーム２６５から固定部材２３０の第１固定部材２３１の側面までの垂直距離Ｌ２とが等しければ、第１アーム２６１と第２アーム２６５とが互いに展開可能となる。
逆に、回転軸２６１ａを基準として、第１アーム２６１から固定部材２３０の第１固定部材２３１の側面までの垂直距離Ｌ１と、第２アーム２６５から固定部材２３０の第１固定部材２３１の側面までの垂直距離Ｌ２とが等しければ、第１アーム２６１と第２アーム２６５とが互いに容易に折り畳み可能となる。
ところで、基板移送装置は、高温の環境で用いられるため、第１アーム２６１と第２アーム２６５が熱によって変形して長さが伸張し得る。そして、スライディング部材２４０に一端部側の支持された第２アーム２６５が高温環境の基板処理装置で発生する熱および高温の基板によってさらに長さが伸張する。
すると、第１アーム２６１と第２アーム２６５が死点の状態で配列された際、第２アーム２６５の伸張によって第２アーム２６５が回転軸２６１ａにきつく嵌合された状態となるため、第２アーム２６５を回転させ、死点の状態からずらすためには、大きい力が必要となる。
なお、本発明の第２実施形態に係る基板移送装置の第２アーム２６５は、第１本体部２６５ａと第２本体部２６５ｂとを含む、ベンディングされた形状に形成される。これにより、伸張した第２アーム２６５の長さを収縮させるためには、第１本体部２６５ａと第２本体部２６５ｂとの境界部位を展開したり曲げたりする方向にベンディングさせればよい。
ところで、図６に示された本発明の第１実施形態に係る第２アーム１６５は直線状であるため、第１アーム１６１と第２アーム１６５が死点の状態で配列された時、第２アーム１６５を死点の状態からずらすためには、第２アーム１６５の長手方向と平行な方向に力を作用して第２アーム１６５を収縮させなければならない。
第２アーム１６５、２６５を収縮させるにあたり、図９に示されているように、第２アーム２６５の第１本体部２６５ａと第２本体部２６５ｂとの境界部位を展開したり曲げる方向に若干ベンディングさせて第２アーム２６５を収縮させる力が、図６に示されているように、第２アーム１６５の長手方向と平行な方向に第２アーム１６５を収縮させる力に比べてはるかに小さいことはもちろんである。これは、第２アーム２６５と第２アーム１６５を同じ条件で製造したとの仮定の下で比較すると、第２アーム２６５の剛性が第２アーム１６５の剛性に比べて低いからである。
第２アーム２６５の第１本体部２６５ａの長さは、第２本体部２６５ｂの長さと等しくてもよく、第２本体部２６５ｂの長さより長いか短くてもよい。そして、第１本体部２６５ａおよび第２本体部２６５ｂ自体は、直線状であってもよく、弧状に形成されてもよい。
前述のように、本発明の第２実施形態に係る基板移送装置は、第２アーム２６５をベンディングされた形状に形成し、相対的に小さい力を利用して死点の状態で配列された第２アーム２６５を伸張させたり収縮させて回転させることができる。死点の状態で配列された第２アーム２６５が小さい力によって伸張したり収縮したりし、第２アーム２６５の剛性が小さいため、第２アーム２６５が伸張または収縮した状態で自身の弾性によって最初の状態に復帰する際、反発力が減少するため、衝撃および振動が低減される効果がある。
本発明の第２実施形態に係る基板移送装置も、第２アーム２６５を、第１アーム２６１より熱に対する耐熱性の強い材料で形成できることはもちろんである。すなわち、第２アーム２６５は、第１アーム２６１より熱膨脹係数の小さい材質で形成することができ、より好ましくは、第１アーム２６１はアルミニウム材で形成され、第２アーム２６５はスチール材で形成されることができる。そして、第１アーム２６１の内部に冷却管などのような冷却装置（図示せず）が設置できることはもちろんである。
一方、基板５０の移送距離が長い場合は、第１アーム２６１および第２アーム２６５の長さを長く形成しなければならないため、これにより、第１アーム２６１および第２アーム２６５の剛性も大きくなければならない。そして、基板５０の重量が重い場合にも、第１アーム２６１および第２アーム２６５の剛性が大きくなければならない。しかしながら、第１アーム２６１はケース状に形成されるため、十分な剛性を確保することができるが、第２アーム２６５はバー状に形成されるため、剛性を向上させるためには厚さを厚くしなければならない。
以下、厚さを厚くすることなく剛性を向上させた、本発明の第３実施形態に係る基板移送装置を説明する。
（第３実施形態）
図１０は、本発明の第３実施形態に係る基板移送装置の第１アームおよび第２アームの平面斜視図であり、図１１は、図１０に示された第１アームと第２アームが死点の状態で配列されたことを示す平面図であって、第２実施形態との違いだけを説明する。
図示のように、第２アーム３６５、３６６は、互いに対向しながら対称をなす一対で用意される。
このとき、一対の第２アーム３６５、３６６のうち、いずれか１つおよび他の１つの第２アーム３６５、３６６の第１本体部３６５ａ、３６６ａの端部側は、前記移送ユニットのスライディング部材３４０の第１スライディング部材３４１にそれぞれ回転可能に支持され、第２本体部３６５ｂ、３６６ｂの端部側は、第１アーム３６１の他端部側にそれぞれ回転可能に支持されると同時に、前記アーム駆動部によってそれぞれ回転する。そして、スライディング部材３４０にそれぞれ回転可能に支持された、いずれか１つの第２アーム３６５の第１本体部３６５ａ部位と他の１つの第２アーム３６６の第１本体部３６６ａ部位とは、スライディング部材３４０に支持された回転中心を基準として同心をなし、第１アーム３６１にそれぞれ回転可能に支持された、いずれか１つの第２アーム３６５の第２本体部３６５ｂ部位と他の１つの第２アーム３６６の第２本体部３６６ｂ部位とは、第１アーム３６１に支持された回転中心を基準として同心をなすことが好ましい。
第２アーム３６５、３６６が一対で用意されるため、第２アーム３６５、３６６の厚さを厚くすることなく剛性を向上させることができることはもちろんである。
そして、第２アーム３６５、３６６を収縮または伸張させるために第２アーム３６５、３６６をベンディングさせる時、いずれか１つの第２アーム３６５および他の１つの第２アーム３６６には垂直方向の力および水平方向の力がすべてそれぞれ作用する。ところで、いずれか１つの第２アーム３６５に作用する水平方向の力と、他の１つの第２アーム３６６に作用する水平方向の力とは互いに相殺されるため、相対的に小さい力でも第２アーム３６５、３６６を収縮させたり伸張させることができる。
すなわち、一対で用意された本発明の第３実施形態に係る第２アーム３６５、３６６を収縮させたり伸張させるのに必要な力は、１つで用意された本発明の第２実施形態に係る第２アーム２６５を収縮させたり伸張させるのに必要な力に比例して増加しない。
第２アーム３６５、３６６が一対で配置されて対称をなすことを例として示したが、必ずしもこれに限定されるものではないことはもちろんである。すなわち、一対の第２アーム３６５、３６６が非対称をなしてもよい。また、第２アーム３６５、３６５が必ずしも２つのアームで構成される必要はなく、３つ以上で構成されてもよい。
本発明の第２実施形態に係る第２アーム２６５を、本発明の第３実施形態に係る第２アーム３６５、３６６のように一対で形成すると仮定すると、第２アーム２６５の厚さをより薄く形成する効果を奏することもできる。
以上のような本発明の実施形態に対する図面は、詳細な輪郭ラインを省略したものであって、本発明の技術思想に属する部分が分かりやすいように概略的に示したものである。また、上記の実施形態は、本発明の技術思想を限定する基準とはなり得ず、本発明の請求の範囲に含まれた技術事項を理解するための参照的な事項に過ぎない。
１１０：支柱部材
１２０：昇降／回転部材
１３０：固定部材
１４０：スライディング部材
１５０：ハンド
１６１：第１アーム
１６５：第２アーム

Claims (29)

  1. 支柱部材と、
    前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、
    前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送手段と、
    一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、
    一端部側は前記移送手段に回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持された第２アームと、
    前記第１アームに設けられ、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動されるように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームと前記第２アームとが互いに重なる状態で配列された際にも、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部とを含む基板移送装置であって、
    前記移送手段は、前記第１アームに設けられた前記アーム駆動部を用いて前記第１アームに対して前記第２アームを相対回転させることによって、前記基板の直線運動を案内するように構成されていることを特徴とする基板移送装置。
  2. 前記移送手段は、
    前記昇降／回転部材に結合された固定部材と、
    前記固定部材にスライディング可能に設けられ、前記第２アームの一端部側が回転可能に支持され、前記第２アームによってスライディングされるスライディング部材と、
    前記スライディング部材に一側が結合され、前記スライディング部材と共に運動し、前記基板が搭載支持される複数の爪を有するハンドとを含むことを特徴とする請求項１記載の基板移送装置。
  3. 前記固定部材は、第１固定部材と第２固定部材とを有し、
    前記スライディング部材は、前記第１固定部材にスライディング可能に設けられた第１
    スライディング部材と、前記第２固定部材にスライディング可能に設けられ、前記第１スライディング部材の上側に位置した第２スライディング部材とを有し、
    前記ハンドは、前記第１スライディング部材に結合された複数の爪を有する第１ハンドと、前記第２スライディング部材に結合された複数の爪を有する第２ハンドとを有し、
    前記第１アームおよび前記第２アームは、前記移送手段を挟んで互いに対向しながら対をなし、
    いずれか１つの前記第１アームの一端部側は、前記昇降／回転部材の一側に回転可能に支持され、いずれか１つの前記第１アームに連結されたいずれか１つの前記第２アームの一端部側は、前記第１スライディング部材に回転可能に支持され、
    他の１つの前記第１アームの一端部側は、前記昇降／回転部材の他側に回転可能に支持され、他の１つの前記第１アームに連結された他の１つの前記第２アームの一端部側は、前記第２スライディング部材に回転可能に支持されたことを特徴とする請求項２記載の基板移送装置。
  4. 互いに連結されたいずれか１つの前記第１アームといずれか１つの前記第２アームの運動と、互いに連結された他の１つの前記第１アームと他の１つの前記第２アームの運動とは互いに独立していることを特徴とする請求項３記載の基板移送装置。
  5. 前記固定部材および前記スライディング部材には互いに挿入結合され、前記スライディング部材の運動を案内する案内レールおよび案内溝がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項２記載の基板移送装置。
  6. 前記第１アームは、
    内部に空間が形成され、前記アーム駆動部が設けられ、上面および下面のうちの少なくとも一面が開放された本体と、
    前記本体の開放された上面または下面に結合されたカバーとを有し、かつ、ケース状に形成されたことを特徴とする請求項１記載の基板移送装置。
  7. 前記本体と前記カバーとの間には、シーリング部材がそれぞれ介在したことを特徴とする請求項６記載の基板移送装置。
  8. 前記昇降／回転部材と前記移送手段との間には離隔部材が介在し、
    前記支柱部材の内部には前記昇降／回転部材を昇降および回転させる駆動軸が設けられ、
    前記駆動軸と前記昇降／回転部材と前記離隔部材および前記本体には通路が形成され、
    外部の電源を前記アーム駆動部に供給するためのケーブルは前記通路を通過することを特徴とする請求項６記載の基板移送装置。
  9. 支柱部材と、
    前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、
    前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送ユニットと、
    一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、
    一端部側は前記移送ユニットに回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持されるものの、ベンディングされた第２アームと、
    前記第１アームに設けられ、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動するように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームの両端部側を結ぶ仮想の直線と、前記第２アームの両端部側を
    結ぶ仮想の直線とが互いに重なって平行に配列された際、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部とを含む基板移送装置であって、
    前記移送ユニットは、前記第１アームに設けられた前記アーム駆動部を用いて前記第１アームに対して前記第２アームを相対回転させることによって、前記基板の直線運動を案内するように構成されていることを特徴とする基板移送装置。
  10. 前記第２アームは、第１本体部と第２本体部とを含む、ベンディングされた形状に形成され、
    前記第１本体部の端部側は、前記移送ユニットに回転可能に支持され、前記第２本体部の端部側は、前記第１アームの他端部側に回転可能に支持されると同時に、前記アーム駆動部によって回転し、
    前記第１本体部の長さは、前記第２本体部の長さより長く形成されたことを特徴とする請求項９記載の基板移送装置。
  11. 前記第２アームは、第１本体部と第２本体部とを含む、ベンディングされた形状に形成され、
    前記第１本体部の端部側は、前記移送ユニットに回転可能に支持され、前記第２本体部の端部側は、前記第１アームの他端部側に回転可能に支持されると同時に、前記アーム駆動部によって回転し、
    前記第１本体部の長さは、前記第２本体部の長さより短いか等しく形成されたことを特徴とする請求項９記載の基板移送装置。
  12. 前記第１本体部と前記第２本体部は、それぞれ直線状または弧状のうちの１つの形状に形成されたことを特徴とする請求項１０または１１記載の基板移送装置。
  13. 支柱部材と、
    前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、
    前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送ユニットと、
    一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、
    一対で構成され、それぞれベンディングされて形成されるものの、一端部側は前記移送ユニットに回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持される第２アームと、
    前記第１アームに設けられ、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動するように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームの両端部側を結ぶ仮想の直線と、前記第２アームの両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なって平行に配列された際、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部とを含む基板移送装置であって、
    前記移送ユニットは、前記第１アームに設けられた前記アーム駆動部を用いて前記第１アームに対して前記第２アームを相対回転させることによって、前記基板の直線運動を案内するように構成されていることを特徴とする基板移送装置。
  14. 一対で構成された前記第２アームは、それぞれ第１本体部と第２本体部とを含む、ベンディングされた形状にそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項１３記載の基板移送装
    置。
  15. 前記第１本体部と前記第２本体部は、一体に形成されたことを特徴とする請求項１４記載の基板移送装置。
  16. 一対の前記第２アームは、互いに対向しながら対称をなすことを特徴とする請求項１４記載の基板移送装置。
  17. 前記第１本体部の長さは、前記第２本体部の長さより長く形成されたことを特徴とする請求項１４記載の基板移送装置。
  18. 前記第１本体部の長さは、前記第２本体部の長さより短いか等しく形成されたことを特徴とする請求項１４記載の基板移送装置。
  19. 一対の前記第２アームのうち、いずれか１つおよび他の１つの前記第２アームの第１本体部の端部側は、前記移送ユニットにそれぞれ回転可能に支持され、いずれか１つおよび他の１つの前記第２アームの第２本体部の端部側は、前記第１アームの他端部側にそれぞれ回転可能に支持されると同時に、前記アーム駆動部によってそれぞれ回転し、
    前記移送ユニットにそれぞれ回転可能に支持されたいずれか１つの前記第２アームの第１本体部の端部側と他の１つの前記第２アームの第１本体部の端部側とは、前記移送ユニットに支持された回転中心を基準として同心をなし、
    前記第１アームにそれぞれ回転可能に支持されたいずれか１つの前記第２アームの第２本体部の端部側と他の１つの前記第２アームの第２本体部の端部側とは、前記第１アームに支持された回転中心を基準として同心をなすことを特徴とする請求項１４記載の基板移送装置。
  20. 前記第２アームは、前記第１アームより熱膨脹係数の小さい材質で形成されたことを特徴とする請求項９または１３記載の基板移送装置。
  21. 前記第１アームはアルミニウム材で形成され、前記第２アームはスチール材で形成されたことを特徴とする請求項２０記載の基板移送装置。
  22. 前記第１アームには、冷却装置が設けられたことを特徴とする請求項９または１３記載の基板移送装置。
  23. 前記第１アームは、
    内部に空間が形成され、前記アーム駆動部が設けられ、上面および下面のうちの少なくとも一面が開放された本体と、
    前記本体の開放された上面または下面に結合されたカバーとを有し、かつ、ケース状に形成されたことを特徴とする請求項９または１３記載の基板移送装置。
  24. 前記昇降／回転部材と前記移送ユニットとの間には離隔部材が介在し、
    前記支柱部材の内部には前記昇降／回転部材を昇降および回転させる駆動軸が設けられ、
    前記駆動軸と前記昇降／回転部材と前記離隔部材および前記本体には通路が形成され、
    外部の電源を前記アーム駆動部に供給するためのケーブルは前記通路を通過することを特徴とする請求項２３記載の基板移送装置。
  25. 支柱部材と、
    前記支柱部材の上面に昇降および回転可能に設けられた昇降／回転部材と、
    前記昇降／回転部材に設けられ、基板が搭載支持され、前記昇降／回転部材と共に運動すると同時に、前記昇降／回転部材に対して直線運動可能に設けられ、前記基板を移送する移送ユニットと、
    一端部側が前記昇降／回転部材に回転可能に支持された第１アームと、
    一端部側は前記移送ユニットに回転可能に支持され、他端部側は前記第１アームの他端部側に回転可能に支持された第２アームと、
    前記第１アームに設けられ、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第１アームと前記第２アームとが互いに折り畳まれたり展開されたりする状態で運動するように駆動するものの、前記第１アームと前記第２アームが運動する間、前記第１アームの両端部側を結ぶ仮想の直線と、前記第２アームの両端部側を結ぶ仮想の直線とが互いに重なって平行に配列された際、前記第２アームの他端部側を前記第１アームの他端部側を基準として回転させ、前記第２アームが前記第１アームから展開されるようにして死点（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ）を除去するアーム駆動部とを含み、
    前記第２アームは、前記第１アームより熱膨脹係数の小さい材質で形成された基板移送装置であって、
    前記移送ユニットは、前記第１アームに設けられた前記アーム駆動部を用いて前記第１アームに対して前記第２アームを相対回転させることによって、前記基板の直線運動を案内するように構成されていることを特徴とする基板移送装置。
  26. 前記第１アームはアルミニウム材で形成され、前記第２アームはスチール材で形成されたことを特徴とする請求項２５記載の基板移送装置。
  27. 前記第１アームには、冷却装置が設けられたことを特徴とする請求項２５記載の基板移送装置。
  28. 前記第１アームは、
    内部に空間が形成され、前記アーム駆動部が設けられ、上面および下面のうちの少なくとも一面が開放された本体と、
    前記本体の開放された上面または下面に結合されたカバーとを有し、かつ、ケース状に形成されたことを特徴とする請求項２５記載の基板移送装置。
  29. 前記昇降／回転部材と前記移送ユニットとの間には離隔部材が介在し、
    前記支柱部材の内部には前記昇降／回転部材を昇降および回転させる駆動軸が設けられ、
    前記駆動軸と前記昇降／回転部材と前記離隔部材および前記本体には通路が形成され、
    外部の電源を前記アーム駆動部に供給するためのケーブルは前記通路を通過することを特徴とする請求項２８記載の基板移送装置。
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