JP5246550B2 - ロボット及びその制御方法 - Google Patents
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Description
T=(a+b+c+d)/4
A=c−a
B=d−b
(i)許容範囲内として何もしない(図7のステップ3)。
(ii)ずれ分を補正して動作させる(図7のステップ5)。
(iii)エラーとしてロボットの運転を中止する(図7のステップ6)。
20 ロボット本体
25 ハンド(エンドエフェクタ)
27 手首軸
28 ロボットアーム
29、30 アーム駆動手段
31 手首軸駆動手段
32 昇降駆動手段
33、35、37 サーボモータ
33A、35A、37A エンコーダ
40 ロボット制御手段
41 記憶部
50 半導体ウェハ(基板)
51 ウェハカセット(FOUP)
52、53 カセット内壁面(ターゲット)
54 追加設置された目標物(ターゲット)
60 センサユニット
61 垂直スルービームセンサ
62 水平スルービームセンサ
Claims (7)
- 先端部に手首軸が回転自在に設けられたロボットアームと、前記手首軸に取り付けられたエンドエフェクタと、前記ロボットアームを変位駆動するアーム駆動手段と、前記手首軸を回転駆動する手首軸駆動手段と、前記アーム駆動手段及び前記手首軸駆動手段を制御するロボット制御手段と、を備え、
前記ロボット制御手段は、前記アーム駆動手段及び前記手首軸駆動手段を駆動して前記エンドエフェクタを所定の実位置に移動させ、前記エンドエフェクタが前記所定の実位置に到達した時点での前記ロボットアームの姿勢及び前記手首軸の角度位置を検出し、その検出結果に基づいて前記所定の実位置に対応する計測位置を算出し、前記計測位置を記憶し、異なる時点において取得された複数の前記計測位置の時系列データに基づいて前記ロボットの状態を判定するように構成されており、
前記所定の実位置にはターゲットが配置されており、前記ロボット制御手段は、前記手首軸駆動手段が、前記ターゲットからの接触反力に対して実質的に抵抗することなく、その角度位置が実質的に自由に変位し得る状態となるように制御し、前記アーム駆動手段を制御して前記エンドエフェクタ又は前記エンドエフェクタに保持された基板を前記ターゲットに接触させ、前記エンドエフェクタ又は前記基板と前記ターゲットとの接触により前記手首軸が角変位を開始した時点での前記ロボットアームの姿勢及び前記手首軸の角度位置を検出し、その検出結果に基づいて前記計測位置を算出するように構成されていることを特徴とするロボット。 - 前記ターゲットは、前記ロボットにより搬送される基板を取り扱う装置の一部である請求項1記載のロボット。
- 前記手首軸駆動手段は、前記手首軸を回転駆動するモータと、前記モータに設けられたエンコーダと、を含み、
前記ロボット制御手段は、前記手首軸の角度位置を前記エンコーダの位置により検出するように構成されている請求項1又は2に記載のロボット。 - 前記ロボット制御手段は、複数の前記所定の実位置についての複数の前記計測位置を算出して記憶するように構成されている請求項1乃至3のいずれか一項に記載のロボット。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載のロボットを制御する方法であって、
前記ロボット制御手段により前記エンドエフェクタを前記所定の実位置に移動させる工程と、
前記エンドエフェクタが前記所定の実位置に到達した時点での前記ロボットアームの姿勢及び前記手首軸の角度位置を検出する工程と、
前記検出する工程により得られた前記検出結果に基づいて前記所定の実位置に対応する前記計測位置を算出する工程と、
前記計測位置を記憶する工程と、
異なる時点において取得された複数の前記計測位置の時系列データに基づいて前記ロボットの状態を判定する工程と、を備え、
前記所定の実位置にターゲットを配置し、前記ロボット制御手段は、前記手首軸駆動手段が、前記ターゲットからの接触反力に対して実質的に抵抗することなく、その角度位置が実質的に自由に変位し得る状態となるように制御し、前記アーム駆動手段を制御して前記エンドエフェクタ又は前記エンドエフェクタに保持された基板を前記ターゲットに接触させ、前記エンドエフェクタ又は前記基板と前記ターゲットとの接触により前記手首軸が角変位を開始した時点での前記ロボットアームの姿勢及び前記手首軸の角度位置を検出し、その検出結果に基づいて前記計測位置を算出することを特徴とするロボットの制御方法。 - 前記判定する工程において、前記計測位置を予め設定された標準値と比較してその偏差量を算出し、前記偏差量が予め設定された許容範囲を超えている場合にはエラー信号を発信する請求項5記載のロボットの制御方法。
- 前記判定する工程において、前記計測位置が前記標準値からずれているが、その偏差量が前記許容範囲を超えていない場合には、前記偏差量に基づいて前記ロボットの制御指令値を補正する請求項6記載のロボットの制御方法。
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