JPH11150172A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】簡単な構成で精度の高い相対位置を求め、高精
度の搬送を可能にするととも搬送作業の効率を向上させ
ることができる搬送装置を提供する。 【解決手段】駆動制御回路部４２は搬送アーム部２０の
各アーム２３，２５，２７を回動させて、ハンド部２８
を回転ステージ部３０のウェハ検出装置３５の検出範囲
まで案内する。その時のウェハ検出装置３５からの検出
信号ＳＧに基づいて演算制御回路部４１はハンド部内端
距離を演算する。ハンド部内端距離に基づいて駆動制御
回路部４２は、ハンド部２８の保持中心Ｐが回転テーブ
ル３３の回転中心と一致するための各アーム２３，２
５，２７を回動角を求めその回動角を補正回動角として
記憶する。回転テーブル３２にウェハＷを載置する場
合、各アーム２３，２５，２７を補正回動角にするとハ
ンド部２８の保持中心Ｐと回転テーブル３３の回転中心
を一致させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に係り、
詳しくは半導体ウェハを搬送するのに好適な搬送装置に
関するものである。

【０００２】近年、半導体製造装置は、生産量及び高品
質のさらなる向上が求められている。そのため、半導体
製造装置における搬送系においても高精度及び高処理量
が可能な搬送系が求められている。

【０００３】

【従来の技術】半導体製造装置において、搬送装置にて
キャリアユニットからウェハを取り出し他の回転ステー
ジ部に搬送する場合、搬送装置のハンド部をキャリアユ
ニット及び回転ステージ部の所定の位置に案内させるた
めに、位置合わせを行う必要がある。

【０００４】例えば、キャリア内に収納された複数のウ
ェハを取り出したり、反対にキャリア内にウェハを収納
する方法が種々提案されている。例えば、特開平４−１
０７８４１号公報においては、光透過式センサによりキ
ャリアに収納されたウェハの間隔及びウェハの厚みを検
出し、その中間位置に搬送装置のハンド部を挿入して取
り出すようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
４−１０７８４１号公報においては、キャリア内のウェ
ハと光透過式センサとの相対位置は認識できるが、搬送
装置のハンド部と光透過式センサとの相対位置は認識で
きない。従って、手作業で一義的に決めてやる必要があ
り、そのための作業は長時間を要していた。しかも、キ
ャリアユニットが新たなものに交換されると、そのたび
ごとにしなければならず作業効率が非常に悪かった。

【０００６】又、搬送装置側にウェハ有無検出センサを
取り付けることが考えられるが、キャリア内の多数のウ
ェハを取り出す場合、そのウェハ毎に相対位置を検出し
ながら行われるため１つの搬送に時間を要し搬送効率を
低下させる。

【０００７】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたものであって、その目的は簡単な構成で精度の高い
相対位置を求め、高精度の搬送を可能にするととも搬送
作業の効率を向上させることができる搬送装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、被搬送物のステージ部への載置及び前記ステージ部
から被搬送物の取り出しを搬送アーム部のハンド部を用
いて行う搬送装置において、前記ステージ部に設けられ
そのステージ部に載置される前記被搬送物の位置を検出
する第１のセンサと、前記ステージ部に設けられ前記搬
送アーム部のハンド部の位置を検出する第２のセンサ
と、前記第１センサからの前記ステージ部に対する前記
被搬送物の位置情報と、前記第２センサからの前記ステ
ージ部に対する前記ハンド部の位置情報とに基づいて前
記搬送アーム部と前記ステージ部との間の相対位置情報
を演算する演算制御部と、前記演算制御部からの相対位
置情報に基づいて前記搬送アーム部のハンド部を制御し
て該ハンド部の位置決めを行う駆動制御部とを備えた。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の搬送装置において、前記被搬送物はウェハであり、前
記ステージ部は回転テーブルを備え、その回転テーブル
にウェハを載置し回転させることにより向きを調整する
回転ステージであり、前記第１センサは前記回転テーブ
ルに載置されたウェハのオリフラを検知するウェハ検出
装置であり、そのウェハ検出装置は前記第２センサを兼
用するものである。

【００１０】請求項３に記載の発明は、ウェハのキャリ
アユニットに設置したキャリアへの収納及び前記キャリ
アからウェハの取り出しを搬送アーム部のハンド部を用
いて行う搬送装置において、前記キャリアユニットに設
けられ、前記キャリア内のウェハの位置を検出する第１
のセンサと、前記キャリアユニットに設けられ前記搬送
アーム部のハンド部の位置を検出する第２のセンサと、
前記第１センサからの前記キャリアユニットに対する前
記被搬送物の位置情報と、前記第２センサからの前記キ
ャリアユニットに対する前記ハンド部の位置情報とに基
づいて前記搬送アーム部と前記キャリアユニットとの間
の相対位置情報を演算する演算制御部と、前記演算制御
部からの相対位置情報に基づいて前記搬送アーム部のハ
ンド部を制御してハンド部の位置決めを行う駆動制御部
とを備えた。

【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の搬送装置において、前記第１センサは光透過式センサ
であって、上下動して前記キャリア内に上下方向に配設
されたウェハを検知するものであり、その光透過式セン
サは前記第２センサを兼用する。

【００１２】請求項５に記載の発明は、請求項３に記載
の搬送装置において、前記第１センサ及び第２センサは
３次元の相対位置情報を求めるために３個の光反射式測
長センサにて構成した。

【００１３】（作用）請求項１の発明によれば、演算制
御部は第１センサからのステージ部に対する被搬送物の
位置情報と、第２センサからのステージ部に対するハン
ド部の位置情報とに基づいて搬送アーム部とステージ部
との間の相対位置情報を演算する。駆動制御部は搬送ア
ーム部のハンド部を制御して載置又は取り出しを行う時
も前記演算制御部にて求めた相対位置情報に基づいてハ
ンド部の位置決めを行う。従って、ステージ部のユニッ
トが新たなものに交換されて、ステージ部と搬送アーム
部の相対位置が変更されても相対位置情報を事前に求め
るだけで、すぐに載置及び取り出しができる。相対位置
情報は演算制御部にて演算するだけなので短時間で求め
ることができる。

【００１４】請求項２の発明によれば、ウェハの向きを
調整する回転ステージとのあいだでのウェハの載置及び
取り出しについても相対位置情報を事前に求めるだけ
で、すぐに載置及び取り出しができる。相対位置情報は
演算制御部にて演算するだけなので短時間で求めること
ができる。しかも、第１及び第２センサはウェハのオリ
フラを検知する１つのウェハ検出装置で兼用したため、
検出装置の数が削減されるとともに実際に即した位置の
検出が可能となる。

【００１５】請求項３の発明によれば、演算制御部は第
１センサからのキャリアユニットに対するウェハの位置
情報と、第２センサからのキャリアユニットに対するハ
ンド部の位置情報とに基づいて搬送アーム部とキャリア
ユニットとの間の相対位置情報を演算する。駆動制御部
は搬送アーム部のハンド部を制御して載置又は取り出し
を行う時も演算制御部にて求めた相対位置情報に基づい
てハンド部の位置決めを行う。従って、キャリアユニッ
トが新たなものに交換されて、キャリアユニットと搬送
アーム部の相対位置が変更されても相対位置情報を事前
に求めるだけで、すぐに載置及び取り出しができる。相
対位置情報は演算制御部にて演算するだけなので短時間
で求めることができる。

【００１６】請求項４の発明によれば、第１及び第２セ
ンサは１つの光透過式センサで兼用したので検出装置の
数が削減されるとともに実際に即した位置の検出が可能
となる。

【００１７】請求項５の発明によれば、搬送アーム部と
キャリアユニットとの３次元の相対位置情報が求めるこ
とができることから、ハンド部の保持中心をウェハの中
心に合わせて取り出すことができる。その結果、より精
度の高い相対位置を求めることができ高精度の搬送を可
能にし、しかも、搬送作業の効率を向上させることがで
きる。

【００１８】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明を
具体化した第１実施形態を図面に従って説明する。

【００１９】図１はウェハ搬送装置の要部平面を示す。
図２は搬送装置の要部正面を示す。搬送装置１０は、搬
送アーム部２０と回転ステージ部３０を備えている。搬
送アーム部２０は、基台２１から上方に向かって第１駆
動軸２２が突出している。第１駆動軸２２は同基台２１
に対して回転可能にかつ軸線方向に移動可能に支持され
ている。第１駆動軸２２の先端部は、第１アーム部２３
が連結されている。従って、第１アーム２３は、第１駆
動軸２２が回転すると、同駆動軸２２を回動中心として
回動する。又、第１アーム２３は第１駆動軸２２が上下
動すると、同駆動軸２２とともに上下動する。

【００２０】第１アーム２３の先端部には、第２駆動軸
２４が回動可能に支持されている。第２駆動軸２４は第
２アーム２５の基端部と連結固定されている。従って、
第２駆動軸２４が回転すると、同駆動軸２４を回動中心
として第２アーム２５は回動する。

【００２１】第２アーム２５の先端部には、第３駆動軸
２６が回動可能に支持されている。第３駆動軸２６は、
第３アーム２７の基端部と連結固定されている。従っ
て、第３駆動軸２６が回転すると、同駆動軸２６を回動
中心として第３アーム２７は回動する。第３アーム２７
の先端部には、二股状のハンド部２８が連結固定されて
いる。ハンド部２８は、被搬送物としての半導体ウェハ
Ｗを載置する。二股状のハンド部２８は基端側が円弧状
に形成され、その円弧の内周面の半径中心を保持中心Ｐ
としている。

【００２２】前記回転ステージ部３０は、図２に示すよ
うに固設された基台３１の固定テーブル３１ａから上方
に向かって回転軸３２が突出している。回転軸３２は同
基台３１に対して回転可能に支持されている。回転軸３
２の先端部は、円盤状の回転テーブル３３が連結されて
いる。従って、回転テーブル３３は、回転軸３２が回転
すると、同回転軸３２を回動中心として回転する。回転
テーブル３３は、その上面にウェハＷが載置され、同ウ
ェハＷは回転テーブル３３の回転とともに回転する。そ
して、回転することによりウェハＷはその向きが調整さ
れる。向きが調整されたウェハＷは、前記した搬送アー
ム部２０のハンド部２８にすくい上げられてそのハンド
部２８の上面に保持され搬送される。

【００２３】尚、ハンド部２８にてウェハＷを回転テー
ブル３３に載置する場合、及び、ウェハＷをすくい上げ
る場合は、ハンド部２８の保持中心Ｐと回転テーブル３
３の回転中心が上方からみて一致した状態で行うように
なっている。

【００２４】前記基台３１の固定テーブル３１ａには、
スリット３４が形成され、そのスリット３４の形成方向
は前記回転軸３２の軸芯方向に向かっている。回転ステ
ージ部３０には、第１及び第２センサとしてのウェハ検
出装置３５が備えられている。ウェハ検出装置３５は光
透過式センサであって、発光部３５ａと受光部３５ｂを
有している。発光部３５ａは前記固定テーブル３１ａの
上方に配置され、前記固定テーブル３１ａに形成したス
リット３４を介してテーブル３１ａの下方に設置された
受光部３５ｂに光を照射する。前記発光部３５ａは前記
スリット３４の長さ方向に所定の幅を持った光（以下、
検出光という）を発するようになっていて、その幅を持
った検出光がスリット３４を通過して受光部３５ｂに照
射される。前記受光部３５ｂは、前記スリット３４と対
向するようにスリット３４の長さ方向に光検知部が形成
され、前記スリット３４を介して発光部３５ａからの検
出光を受光し、その受光量に相対したレベルを示す検出
信号ＳＧを出力する。

【００２５】即ち、検出光を遮るものが無いときには、
発光部３５ａから照射される光は全て受光部３５ｂにて
検知されその受光量は最大となる。その結果、受光部３
５ｂから出力される検出信号ＳＧのレベルは最大（＝Ｖ
max ）となる。反対に、検出光が完全に遮られると、ス
リット３４に向かって照射される光は全て受光部３５ｂ
にて検知されずその受光量は最低（ゼロ）となる。その
結果、受光部３５ｂから出力される検出信号ＳＧのレベ
ルは最小（＝Ｖmin ）となる。又、検出光が回転テーブ
ル３３側から半分のところまで遮られると、スリット３
４に向かって照射される光の１／２が受光部３５ｂにて
検知されその受光量は最大の時の半分となる。その結
果、受光部３５ｂから出力される検出信号ＳＧのレベル
は半分（＝（Ｖmax ＋Ｖmin ）／２）となる。

【００２６】つまり、受光部３５ｂは、検出光が回転テ
ーブル３３側から遮られる位置に相対したレベルの検出
信号ＳＧを出力する。従って、検出信号ＳＧのレベルに
よってスリット３４の回転テーブル３３側開口端３４ａ
からどの位置まで遮られているか演算することができ
る。

【００２７】次に、上記のように構成した搬送装置１０
の電気的構成について説明する。図１において、演算制
御回路部４１は前記ウェハ検出装置３５からの検出信号
ＳＧを入力する。演算制御回路部４１はその検出信号Ｓ
Ｇのレベルに基づいてスリット３４がその開口端３４ａ
からウェハＷにて遮られている位置までの距離（遮蔽距
離）を演算する。演算制御回路部４１は、回転軸３２の
軸芯（回転テーブル３３の回転中心）から前記スリット
３４の開口端３４ａまでの距離（スリット離間距離）の
データが予め記憶されている。そして、演算制御回路部
４１は、このスリット離間距離と前記遮蔽距離を加算す
ることにより、回転軸３２の軸芯からウェハＷがスリッ
ト３４を遮蔽している外端までの距離（ウェハ外端距
離）を演算する。演算制御回路部４１はこのウェハ外端
距離を次段の駆動制御回路部４２に出力する。

【００２８】又、演算制御回路部４１は、ハンド部内端
距離を演算する。つまり、搬送アーム部２０の各アーム
２３，２５，２７を回動させて、第３アーム２７に連結
したハンド部２８を前記スリット３４を遮るまで案内す
る。この時、本実施形態では第３アーム２７の長手方向
の中心軸線Ｌ１と前記スリット３４の長手方向の中心軸
線Ｌ２が一致するように案内し、そのアーム部２７の中
心軸線Ｌ１と交差するハンド部２８の内端２８ａがスリ
ット３４を遮るように同ハンド部２８を案内する。この
時、ウェハ検出装置３５の受光部３５ｂは、ハンド部２
８によってスリット３４が開口端３４ａから遮られる位
置に相対したレベルの検出信号ＳＧを出力する。尚、こ
の中心軸線Ｌ２は上方からみてハンド部２８の保持中心
Ｐと交差する。

【００２９】そして、演算制御回路部４１はその検出信
号ＳＧのレベルに基づいてスリット３４がその開口端３
４ａからハンド部２８にて遮られている位置までの距離
（遮蔽距離）を演算する。演算制御回路部４１は、この
遮蔽距離をハンド部内端距離として次段の駆動制御回路
部４２に出力する。

【００３０】駆動制御回路部４２は、前記搬送アーム部
２０と回転ステージ部３０を駆動制御する。駆動制御回
路部４２は、搬送アーム部２０の各アーム２３，２５，
２７を回動及び上下動させるための図示しない搬送アー
ム部２０に設けた各駆動モータを駆動制御する。又、駆
動制御回路部４２は、各アーム２３，２５，２７の回動
角及び高さ位置を検出するための図示しない搬送アーム
部２０に設けられた各検出器からの検出信号を入力して
いる。そして、駆動制御回路部４２は、前記回転ステー
ジ部３０の回転テーブル３３にウェハＷを載置する載置
モード、回転テーブル３３に載置されたウェハＷを取り
出す取り出しモードを実行する。又、駆動制御回路部４
２は、前記回転ステージ部３０に対する搬送アーム部２
０の相対位置を演算する相対位置情報算出モードを実行
する。

【００３１】さらに、駆動制御回路部４２は、回転ステ
ージ部３０の回転テーブル３３を回動させるための図示
しない回転ステージ部３０に設けられた駆動モータを回
動制御する。又、駆動制御回路部４２は、回転テーブル
３３の回動角を検出するための図示しない回転ステージ
部３０に設けられて検出器からの検出信号を入力してい
る。そして、駆動制御回路部４２は、回転テーブル３３
に載置されたウェハＷの向きを調整する位置合わせモー
ドを実行する。

【００３２】次に、駆動制御回路部４２の各モードにつ
いて説明する。 ［相対位置情報算出モード］相対位置情報算出モードに
おいて、駆動制御回路部４２は搬送アーム部２０の各ア
ーム２３，２５，２７を回動させて、第３アーム２７に
連結したハンド部２８が回転ステージ部３０に設けたウ
ェハ検出装置３５の検出光を遮る位置まで案内する。こ
の時、駆動制御回路部４２は、第３アーム２７と前記ス
リット３４の長手方向の中心軸線Ｌ１，Ｌ２が一致する
ように案内する。

【００３３】ハンド部２８の案内が終了すると、その時
のウェハ検出装置３５の受光部３５ｂからのレベルの検
出信号ＳＧに基づいて演算制御回路部４１は回転テーブ
ル３３の回動中心からハンド部２８の内端部２８ａにて
遮られている位置までの距離を演算する。演算制御回路
部４１は、この距離をハンド部内端距離として駆動制御
回路部４２に出力する。

【００３４】駆動制御回路部４２は、この時の第１駆動
軸２２の回動中心からハンド部２８の内端部２８ａまで
の距離を算出する。まず、駆動回路部４２は、予め記憶
した第１〜第３アーム２３，２５，２７の長さデータ及
び第３アーム２７の先端からハンド部２８の内端部２８
ａまでの長さデータを読み出すとともに、各アーム２
３，２５，２７を回動角及び高さ位置を検出する各検出
器からのその時の検出信号を入力する。そして、駆動制
御回路部４２は、前記ハンド部内端距離、各データ及び
検出信号に基づいて第１駆動軸２２の回動中心からハン
ド部２８の内端部２８ａまでの距離を特定する。

【００３５】次に、ハンド部２８の保持中心Ｐが前記回
転テーブル３３の回転中心と一致するための各アーム２
３，２５，２７を回動角を求める。前記保持中心Ｐは、
ハンド部２８の内周面の半径中心であってその半径は予
めデータとして記憶されている。従って、内端部２８ａ
から保持中心Ｐまでの回転ステージ部３０における位置
が特定できる。そして、回転テーブル３３の回転中心は
スリット３４の長手方向の線Ｌ２上、即ち保持中心Ｐと
内端部２８ａを結ぶ線Ｌ１上にあり、回転テーブル３３
の回転中心まで距離がわかっているため、各回動角は容
易に求めることができる。

【００３６】駆動制御回路部４２は、演算して求めた各
アーム２３，２５，２７を回動角を補正回動角として記
憶する。補正回動角を記憶した後、駆動制御回路部４２
は元の状態に各アーム２３，２５，２７を復帰させる。

【００３７】以後、載置モードで回転テーブル３３にウ
ェハＷを載置する載置モードや、テーブル３２に載置さ
れたウェハＷを取り出す取り出しモードにおいて、各ア
ーム２３，２５，２７を補正回動角にするように制御す
ることで確実にハンド部２８の保持中心Ｐを回転テーブ
ル３３の回転中心に一致させることができ、載置及び取
り出しが正確に行える。

【００３８】特に、搬送アーム部２０の各アーム２３，
２５，２７、ハンド部２８を取り替えた場合、搬送アー
ム部２０と回転ステージ部３０との相対位置を変更した
場合には、ハンド部２８をウェハ検出装置３５の検出光
を遮る位置まで案内するだけで、ハンド部２８の保持中
心Ｐを回転テーブル３３の回転中心に一致させるための
各アーム２３，２５，２７を補正回動角を簡単に求める
ことができる。

【００３９】［載置モード］載置モードにおいて、駆動
制御回路部４２はハンド部２８にウェハＷを載置した状
態で、ハンド部２８を上動させた後、前記求めた各アー
ム２３，２５，２７を補正回動角を読み出し、それぞれ
補正回動角になるように各アーム２３，２５，２７を回
動させる。従って、ハンド部２８は、回転テーブル３３
の上方位置に案内されるとともに、上方からみてハンド
部２８の保持中心Ｐと回転テーブル３３の回転中心が一
致した位置に配置される。この状態から、駆動制御回路
部４２はハンド部２８を下動させれば、ウェハＷは回転
テーブル３３に載置される。この時、ハンド部２８に保
持されていたウェハＷの中心が保持中心Ｐと一致してい
る時には、回転テーブル３３に載置されたウェハＷはそ
の中心は回転テーブルの回転中心と一致する。

【００４０】載置が終了すると、駆動制御回路部４２は
その下動した位置から各アーム２３，２５，２７を前記
とは逆の順序で逆方向に回動させて元の状態に各アーム
２３，２５，２７を復帰させる。

【００４１】［取り出しモード］取り出しモードにおい
は、駆動制御回路部４２は前記載置モードの動作と逆の
動作を各アーム２３，２５，２７が行うように制御す
る。従って、その詳細は載置モードから容易に理解でき
るためその説明は省略する。

【００４２】［位置合わせモード］位置合わせモードに
おいて、駆動制御回路部４２は回転テーブル３３を回転
させて同テーブル３３に載置されたウェハＷを回転させ
る。ウェハＷはテーブル３３の回転中心を中心に回転す
る。ウェハＷの外周はウェハ検出装置３５の検出光の一
部を遮る。ウェハ検出装置３５は検出光の一部を遮るウ
ェハＷの外周形状に応じたレベルの検出信号ＳＧを出力
する。そして、演算制御回路部４１はウェハ外端距離を
演算し駆動制御回路部４２に出力する。駆動演算回路部
４２は、このウェハ外端距離に基づいてウェハＷの外周
を直線状に切り欠いたオリフラ（オリエンテーションフ
ラット）の位置（角度）を割り出す。

【００４３】次に、駆動制御回路部４２はオリフラが所
定の向きに向くように、回転テーブル３３を回転させて
位置合わせを終了する。従って、回転テーブル３３に載
置されるウェハＷは所定の向きに位置合わせすることが
できるため、搬送アーム部２０で該ウェハＷを取り出す
時、オリフラが常に同じ向きとなる状態でウェハＷを取
り出し搬送することができる。

【００４４】以上記述したように、本実施形態は以下の
効果を奏する。 （１）搬送アーム部２０のハンド部２８を回転ステージ
部３０のスリット３４上に案内する。そして、その時の
回転ステージ部３０上のハンド部２８の内端部２８ａを
同ステージ部３０に設けたウェハ検出装置３５にて検出
し、その検出結果に基づいて演算制御回路部４１にてハ
ンド部２８の保持中心Ｐの位置を特定する。ハンド部２
８の保持中心Ｐの位置を特定した後、該保持中心Ｐが回
転テーブル３３の中心と一致するための第１〜第３アー
ム２３，２５，２７のそれぞれの回動角（補正回動角）
を求めた。そして、回転ステージ部３０の回転テーブル
３３にウェハＷを載置するとき、駆動制御回路部４２は
搬送アーム部２０の第１〜第３アーム２３，２５，２７
がそれぞれ前記補正回動角となるように制御する。従っ
て、ハンド部２８はその保持中心位置Ｐが回転テーブル
３３の中心と一致する位置に案内されるため、ウェハＷ
は正確にテーブル３３に載置される。

【００４５】（２）回転テーブル３３上のウェハＷを取
り出すとき、駆動制御回路部４２は搬送アーム部２０の
第１〜第３アーム２３，２５，２７がそれぞれ前記補正
回動角となるように制御する。従って、ハンド部２８は
その保持中心位置Ｐが回転テーブル３３の中心と一致す
る位置に案内されるため、ウェハＷを正確にテーブル３
３から取り出すことができる。その結果、例えば回転ス
テージ部３０のユニットが新たなものに交換されて、回
転ステージ部３０と搬送アーム部２０の相対位置が変更
されても前記相対位置情報算出モードを事前に実行する
だけで相対位置を容易に補正することができ、すぐに載
置モードや取り出しモードに移ることができる。

【００４６】（３）搬送アーム部２０と回転ステージ部
３０の相対位置を求め補正回動角を演算するのに、特別
な検出装置を用いずに回転ステージ部３０に設けられた
既存のウェハ検出装置３５を用いた。従って、実際に即
した検出に基づいて補正値が求められるため精度の高い
補正回動角を得ることができるとともに、コスト的にも
安価となる。

【００４７】（第２実施形態）次に、本発明を第２実施
形態を図面に従って説明する。本実施形態はキャリアと
の間でのウェハの搬送を行う搬送装置であって、図５は
ウェハ搬送装置の要部平面、図６は搬送装置の要部正面
を示す。尚、本実施形態の搬送装置は、前記第１実施形
態と同じ構成の搬送アーム部を備えている。従って、説
明の便宜上本実施形態の搬送アーム部について第１実施
形態と符号を同じにして詳細な説明は省略する。

【００４８】搬送装置５０は、搬送アーム部２０とキャ
リアユニット６０を備えている。キャリアユニット６０
は、図６に示すように固設された基台６１の固定テーブ
ル６１ａの上には補助テーブル６１ｂが設けられ、その
補助テーブル６１ｂには２点鎖線で示すようにキャリア
６２が載置される。キャリア６２はウェハＷを所定の間
隔で上下方向に並べて収容するケースであって、その両
側内側面にウェハＷの周縁を支持する棚６２ａが上下方
向に等間隔に併設されている。そして、両側内側面に形
成した棚６２ａ間にウェハＷを差し渡すことにより、該
ウェハＷはキャリア６２に収容される。キャリア６２は
そのウェハＷを出し入れする出し入れ口６２ｂと反対側
の側面も開口部６２ｃが形成され、該開口部６２ｃから
出し入れ口６２ｂが見通せるようになっている。

【００４９】基台６１内には昇降用モータ６３が設けら
れている。昇降用モータ６３は上下方向に配設支持され
たスクリュウネジ６４を回転させるようになっている。
又、基台６１内には図６において前後一対のガイドバー
６５が前記スクリュウネジ６４と平行に配設されてい
る。

【００５０】前記スクリュウネジ６４には、スクリュウ
ナット６６が螺合されている。そのスクリュウナット６
６は前記ガイドバー６５に沿って摺動可能に支持されて
いる昇降ブロック６７に固設されている。従って、スク
リュウネジ６４が正逆回転すると、スクリュウナット６
６、即ち昇降ブロック６７はガイドバー６５に沿って上
下動する。本実施形態では、昇降用モータ６３が正回転
するとき昇降ブロック６７は上動し、逆回転するとき昇
降ブロック６７は下動する。

【００５１】前記昇降ブロック６７は、ウェハ検出装置
６８を支持する。ウェハ検出装置６８の基板６９は、前
記昇降ブロック６７に固設され、同ブロック６７ととも
に上下動する。基板６９は前後方向にのび、その両端部
には上方に向かって支柱７０が立設している。そして、
基板６９が図６実線で示す最下位置に位置していると
き、支柱７０の先端部はテーブル６１ａより下側に位置
する。基板６９が図６に二点鎖線で示す最上位置に位置
しているとき、支柱７０の先端部は補助テーブル６１ｂ
に設置したキャリア６２の上部に位置する。

【００５２】前側の支柱７０の先端部には光透過式セン
サ７１を構成する発光部７１ａが設置されている。又、
後側の支柱７０の先端部には光透過式センサ７１を構成
する受光部７１ｂが設置されている。発光部７１ａは受
光部７１ｂに光を照射するようになっている。この時、
光透過式センサ７１の位置が補助テーブル６１ｂより上
方に位置するとき、発光部７１ａからの光はキャリア６
２の出し入れ口６２ｂ及び開口部６２ｃを介して受光部
７１ｂに受光される。尚、発光部７１ａから受光部７１
ｂに向かって照射される光の光軸は水平である。

【００５３】受光部７１ｂは、発光部７１ａからの光を
受光すると、Ｈレベル（高電位）の検出信号ＳＧ１を出
力し、発光部７１ａからの光を受光しないと、Ｌレベル
（低電位）の検出信号ＳＧ１を出力する。従って、ウェ
ハＷを収納したキャリア６２が補助テーブル６１ｂに設
置された状態で、光透過式センサ７１を上動させると、
その上動の時々でを発光部７１ａから照射さた光は、キ
ャリア６２内に所定の間隔で上下方向に収容されている
各ウェハＷにて遮られ、受光部７１ｂにて受光されな
い。そして、上動時において、収容されているウェハＷ
の下面を通過する時、検出信号ＳＧ１はＨレベルからＬ
レベルに変化し、ウェハＷの上面を通過する時、検出信
号ＳＧ１はＬレベルからＨレベルに変化する。反対に下
動時において、ウェハＷの上面を通過する時、検出信号
ＳＧ１はＨレベルからＬレベルに変化し、ウェハＷの下
面を通過する時、検出信号ＳＧ１はＬレベルからＨレベ
ルに変化する。尚、受光部７１ｂが出力する検出信号Ｓ
Ｇ１のレベルは、逆であってもよい。

【００５４】又、光透過式センサ７１は、搬送アーム部
２０のハンド部２８を検出する。即ち、搬送アーム部２
０の第１〜第３アーム２３，２５，２７を回動制御する
と共に上下方向に昇降制御してハンド部２８を図７に示
すように前記補助テーブル６１ｂの上方に案内する。こ
の時、発光部７１ａからの光が上からみて前記ハンド部
２８の内端部２８ａと交差するように案内する。この状
態から光透過式センサ７１を上動させるようにしてい
る。すると、発光部７１ａから照射される光は、ハンド
部２８にて遮られる。そして、ハンド部２８の下面を通
過する時、検出信号ＳＧ１はＨレベルからＬレベルに変
化し、ハンド部２８の上面を通過する時、検出信号ＳＧ
１はＬレベルからＨレベルに変化する。

【００５５】前記昇降用モータ６３に隣接した位置には
ロータリエンコーダよりなる昇降位置検出センサ７２が
設けられている。昇降位置検出センサ７２はモータ６３
と駆動連結されていて、その時の光透過式センサ７１の
高さ位置（正確には発光部７１ａが光を発光する高さ位
置）を算出するためのモータ６３の回転方向と回転量と
からなる検出信号ＳＧ２を出力する。

【００５６】次に、上記のように構成した搬送装置５０
の電気的構成について説明する。図５において、演算制
御回路部５１は前記光透過式センサ７１からの検出信号
ＳＧ１及び昇降位置検出センサ７２からの検出信号ＳＧ
２が入力さる。

【００５７】演算制御回路部５１は検出信号ＳＧ２に基
づいてその時の光透過式センサ７１の高さ位置（正確に
は発光部７１ａが発する光の光軸の水平高さ位置）を演
算する。そして、演算制御回路部５１は検出信号ＳＧ１
のレベルが変化した時の光透過式センサ７１の高さ（正
確には発光部７１ａが光を発光する高さ）を割り出し駆
動制御回路部５２に出力する。

【００５８】つまり、演算制御回路部５１は光透過式セ
ンサ７１がウェハＷを検出する目的で上動した場合、そ
の時々で同光透過式センサ７１から出力される検出信号
ＳＧ１に基づいてキャリア６２に収容されている各ウェ
ハＷの高さ割り出し駆動制御回路部５２に出力する。

【００５９】又、演算制御回路部５１は、搬送アーム部
２０に設けられたアーム２３の昇降位置を検出するため
の図示しない昇降位置センサからの検出信号ＳＧ３を入
力している。この昇降位置検出センサは図示しない昇降
用のモータと駆動連結されていて、その時のハンド部２
８の高さ位置に対応した検出信号ＳＧ３を出力する。そ
して、演算制御回路部５１は光透過式センサ７１がハン
ド部２８を検出する目的で上動した場合、その時の同光
透過式センサ７１から出力される検出信号ＳＧ１と搬送
アーム部２０の昇降位置センサからの検出信号ＳＧ３に
基づいてハンド部２８の高さ割り出し駆動制御回路部５
２に出力する。

【００６０】駆動制御回路部５２は、搬送アーム部２０
の各アーム２３，２５，２７を回動及び上下動させるた
めの図示しない搬送アーム部２０に設けた各モータを駆
動制御する。又、駆動制御回路部５２は、各アーム２
３，２５，２７の回動角及び高さ位置を検出するための
図示しない搬送アーム部２０に設けられた各検出センサ
からの検出信号を入力している。そして、駆動制御回路
部５２は、前記キャリア６２内のウェハＷを所定の棚６
２ａと取り出す取り出しモードを実行する。又、駆動制
御回路５２は、前記キャリアユニット６０に対する搬送
アーム部２０の相対高さ位置を演算する相対位置情報算
出モードを実行する。

【００６１】さらに、駆動制御回路部５２は、キャリア
ユニット６０のウェハ検出装置６８を昇降させるための
昇降用モータ６３を駆動制御する。つまり、駆動制御回
路部５２は、前記各モードを実行するために前記昇降位
置検出センサ７２からの検出信号ＳＧ２を入力し前記昇
降位置検出センサ７２からの検出信号ＳＧ２を入力し昇
降用モータ６３を駆動制御する。

【００６２】次に、駆動制御回路部５２の各モードにつ
いて説明する。 ［相対位置情報算出モード］相対位置情報算出モードに
おいて、駆動制御回路部５２は搬送アーム部２０の各ア
ーム２３，２５，２７を回動させて、第３アーム２７に
連結したハンド部２８をキャリアユニット６０の図７に
示す補助テーブル６１ｂ上に案内する。このとき、キャ
リアユニット６０にはキャリア６２は補助テーブル６１
ｂ上にはない。ハンド部２８の案内が終了すると、駆動
制御回路部５２は同アーム部２０の昇降位置検出センサ
からの検出信号ＳＧ３に基づき同アーム部２０に対する
ハンド部２８の上面の高さｈa を演算し記憶する。

【００６３】同アーム部２０に対するハンド部２８の上
面の高さの演算及び記憶が終了すると、駆動制御回路部
５２は図６実線で示す位置からウェハ検出装置６８（光
透過式センサ７１）を上動させる。やがて、発光部７１
ａから受光部７１ｂに照射していた光はハンド部２８に
遮られ、光透過式センサ７１からの検出信号ＳＧ１はＨ
レベルからＬレベルとなる。つまり、ＨレベルからＬレ
ベルに検出信号ＳＧ１が反転した時、光透過式センサ７
１はハンド２８の下面に到達したことになる。

【００６４】さらに上動が続いて、光透過式センサ７１
からの検出信号ＳＧ１はＬレベルからＨレベルとなる
と、光透過式センサ７１はハンド部２８の上面に到達し
たことになる。この時、演算制御回路部５２は昇降位置
検出センサ７２からの検出信号ＳＧ２に基づきキャリア
ユニット６０に対するハンド部２８の上面の高さｈu を
演算し駆動制御回路部５２に出力する。

【００６５】駆動制御回路部５２は前記搬送アーム部２
０に対するハンド部２８の上面の高さｈa とこのキャリ
アユニット６０に対するハンド部２８の上面の高さｈu
との偏差（＝ｈa −ｈu ）を求める。駆動制御回路部５
２はこの偏差を高さ補正値として記憶する。高さ補正値
を記憶した後、駆動制御回路部５２は元の状態に各アー
ム２３，２５，２７を復帰させるとともに、ウェハ検出
装置６８（光透過式センサ７１）を図６実線で示す位置
まで復帰させて相対位置情報算出モードの処理動作は終
了する。

【００６６】［取り出しモード］取り出しモードにおい
て、駆動制御回路部５２は、図６実線で示す位置からウ
ェハ検出装置６８（光透過式センサ７１）を上動させ
る。従って、補助テーブル６１ｂに設置されたキャリア
６２内のウェハＷの検出が開始される。

【００６７】そして、光透過式センサ７１からの検出信
号ＳＧ１はＬレベルからＨレベルとなると、光透過式セ
ンサ７１は最下段のウェハＷの下面に到達したことにな
る。この時、演算制御回路部５２は昇降位置検出センサ
７２からの検出信号ＳＧ２に基づきキャリアユニット６
０に対するウェハＷの下面の高さを演算し駆動制御回路
部５２に出力する。又、このとき、駆動制御回路部５２
はウェハ検出装置６８（光透過式センサ７１）を上動を
一旦停止させる。

【００６８】駆動制御回路５２は、ハンド部２８を駆動
させて前記下面を検出したウェハＷを棚６２ａからすく
い上げキャリア６２から引き抜く取り出し動作を行う。
まず、駆動制御回路部５２は演算制御回路部５２が求め
たウェハＷの下面の高さと前記相対位置情報算出モード
で求めた高さ補正値を加算する。つまり、このウェハＷ
の下面の高さは、キャリアユニット６０に対する高さで
あって、搬送アーム部２０を基準とした高さでない。そ
こで、ウェハＷの下面の高さを搬送アーム部２０を基準
とした高さに補正する必要がある。従って、搬送アーム
部２０の昇降センサに基づいて求めたハンド部２８高さ
がこの加算値に一致するまでハンド部２８を上動制御さ
せた時、該ハンド部２８の上面はウェハＷの下面と一致
した高さとなる。

【００６９】駆動制御回路部５２は、求めた加算値に対
して予め定めた若干低い高さに設定し、その設定した高
さまでハンド部２８を上動させる。続いて、駆動制御回
路部５２は、ハンド部２８をその設定された高さを維持
しつつキャリア６２内に案内する。この時、ハンド部２
８の上面は取り出すウェハＷの下面より若干低い位置に
あるため、ハンド部２８が該ウェハＷと衝突することは
ない。

【００７０】ハンド部２８がウェハＷの下方位置まで案
内されると、駆動制御回路部５２は前記加算値に対して
予め定めた若干高い高さに設定し、その設定した高さま
でハンド部２８を上動させる。従って、ウェハＷはハン
ド部２８の上面に載置され持ち上げられる。持ち上げら
れた状態で、駆動制御回路部５２は、ハンド部２８をそ
の設定された高さを維持しつつ元の位置まで復帰させて
１枚目のウェハＷの取り出しは終了する。

【００７１】以後、同様にウェハ検出装置６８（光透過
式センサ７１）を上動させてその時々のウェハＷの下面
の高さを求め、その高さを搬送アーム部２０を基準にし
た高さに補正してハンド部２８の高さ制御を行ことによ
り、キャリア６２内のウェハＷを確実に取り出すことが
できる。

【００７２】尚、駆動制御回路部５２は、相対位置情報
検出モードのときに予め設定した基準位置にハンド部２
８を移動させる。そして、駆動制御回路部５２は、相対
位置情報算出モードにて求めた補正値により駆動制御回
路部５２にて移動させるハンド部２８の位置を補正した
値をハンド部２８の新たな基準位置として記憶するよう
にしてもよい。この場合、駆動制御回路部５２は、ウェ
ハ検出装置２８にて検出下ウェハの高さに対して記憶し
た基準位置に基づく高さにハンド部２８を移動させる。
これにより、ハンド部２８を移動させるときの演算量が
少なくなる。

【００７３】以上記述したように、本実施形態は以下の
効果を奏する。 （１）搬送アーム部２０のハンド部２８をキャリアユニ
ット６０に案内する。そして、その時のハンド部２８の
高さについて、キャリアユニット６０に設けた昇降セン
サ７２にて求めるとともに、搬送アーム部の昇降センサ
にて求めた。このキャリアユニット６０に設けた昇降セ
ンサ７２にて求めた高さｈu と、搬送アーム部の昇降セ
ンサにて求めた高さｈa とから高さ補正値（＝ｈa −ｈ
u ）を求めた。そして、キャリアユニット６０に設けた
昇降センサ７２に基づいて支持される高さにハンド部２
８を案内するとき、前記高さ補正値を用いて搬送アーム
部２０の昇降センサに基づいてハンド部２８を高さ制御
できるようにした。従って、例えばキャリアユニット６
０が新たなものに交換されて、キャリアユニット６２と
搬送アーム部２０の相対高さが変更されても前記相対位
置情報算出モードを事前に実行するだけで、すぐに取り
出しモードに移ることができる。

【００７４】（２）搬送アーム部２０とキャリアユニッ
ト６０の相対位置、即ち相対高さを求め補正値を演算す
るのに、特別な検出装置を用いずにキャリアユニット６
０に設けられた既存のウェハ検出装置６８を用いた。従
って、実際に即した検出に基づいて補正値が求められる
ため精度の高い補正値を得ることができるとともに、コ
スト的にも安価となる。

【００７５】（３）ウェハ検出装置６８を上下動させて
ウェハＷ及びハンド部２８を検出するようにしたので、
ウェハ検出装置６８自体の重量は軽量であるため、上下
動作を高速に行えることから、相対位置情報算出モード
及び取り出しモードが短時間で行える。又、軽量なた
め、検出装置が例えば傾いて検出誤差を発生するといっ
た問題はない。

【００７６】（４）キャリア６２は補助テーブル６１ｂ
に固定しウェハ検出装置６８を上下動させるようにした
ため、キャリア６２内のウェハＷは静止状態が保持され
ている。従って、キャリア６２が上下動することによっ
てウェハＷを振動させてパーティクルを発生させるとい
った問題はない。

【００７７】尚、本発明は上記各実施形態の他、以下の
ように実施してもよい。 ○上記第１実施形態では、第１及び第２センサを光透過
式センサにて構成されたウェハ検出装置３５であった
が、こり光透過式センサに変えて図８に示すようにＣＣ
Ｄ（固体撮像素子；イメージセンサ）７５を用いて実施
してもよい。この場合、上方からウェハＷ及びハンド部
２８を撮像して画像認識処理することによって位置検出
が行われる。備えられいる。ウェハ検出装置３５は光透
過式センサであって、発光部３５ａと受光部３５ｂを有
している。

【００７８】○上記第１実施形態において、図２に破線
で示すように発光部３５ａの先端部中央位置に光反射式
の測長センサ７６を設け、下方を通過するハンド部２８
の上面に光を照射することによってハンド部２８までの
距離、即ち回転ステージ部３０に対する高さを検出す
る。そして、搬送アーム部２０と回転ステージ部３０と
の高さ方向の相対位置情報を合わせて、即ち３次元の相
対位置情報を求めるようにしてもよい。この場合、より
精度の高い相対位置を求めることができ高精度の搬送を
可能にし、しかも、搬送作業の効率を向上させることが
できる。尚、前記ＣＣＤ（固体撮像素子；イメージセン
サ）７５にフォーカス機能を持たせることにより、搬送
アーム部２０と回転ステージ部３０との高さ方向の相対
位置情報も合わせて求めることができ、ウェハ検出装置
３５が不要となる。

【００７９】○上記第１実施形態では、ユニット等の交
換がある毎に、搬送アーム部２０のハンド部２８を回転
ステージ部３０のスリット３４上に案内し、演算制御回
路部４１にてハンド部２８の保持中心Ｐの位置を特定す
る。そして、該保持中心Ｐが回転テーブル３３の中心と
一致するための第１〜第３アーム２３，２５，２７のそ
れぞれの回動角（補正回動角）を求めるようにした。こ
れを、以下のように変更してもよい。

【００８０】つまり、先の回動角（補正回動角）を保持
しておき、ユニット等の交換があった時、一旦先の回動
角（補正回動角）にて第１〜第３アーム２３，２５，２
７を回動制御する。そして、先の回動角（補正回動角）
にて制御された時のハンド部２８の保持中心Ｐの位置を
演算で求める。そして、その時の保持中心Ｐの位置と交
換後の回転テーブル３３の回転中心との偏差を求める。
この偏差に基づいて保持中心Ｐが回転テーブル３３の中
心と一致するための第１〜第３アーム２３，２５，２７
のそれぞれの新たな回動角（補正回動角）を求めるよう
にしてもよい。

【００８１】この場合、ハンド部２８をウェハ検出装置
３５の検出範囲に案内する再ティーチング作業は不要と
なるため、相対位置情報モードの作業時間がより簡略且
つ短時間で完了する。

【００８２】○上記第２実施形態では、第１及び第２セ
ンサを光透過式センサ７１にて構成したが、こり光透過
式センサ７１に代えて図９に示すように３個の光反射式
の測長センサ７７ａ，７７ｂ，７７ｃを設ける。そし
て、３個の光反射式の測長センサ７７ａ，７７ｂ，７７
ｃにてウェハＷの外周面の３箇所についてそれぞれ測長
センサ７７ａ，７７ｂ，７７ｃまでの距離を測長する。
そして、この測長にてウェハＷの位置及び高さ（上面及
び下面の高さ）を求める。

【００８３】又、３個の光反射式の測長センサ７７ａ，
７７ｂ，７７ｃにて第３アーム２７及びハンド部２８の
３箇所についてそれぞれ測長センサ７７ａ，７７ｂ，７
７ｃまでの距離を測長する。そして、この測長にてハン
ド部２８の保持中心Ｐの位置及び上面の高さを求める。

【００８４】このように構成することによって、搬送ア
ーム部２０とキャリアユニット６０との高さ方向の相対
位置情報の他に水平方向の相対位置情報が合わせて、即
ち３次元の相対位置情報が求めることができる。従っ
て、ウェハＷを取り出す時、ハンド部２８の保持中心Ｐ
をウェハＷの中心に合わせて取り出すことができる。そ
の結果、より精度の高い相対位置を求めることができ高
精度の搬送を可能にし、しかも、搬送作業の効率を向上
させることができる。尚、第３アーム２７の側面は光反
射式の測長センサ７７ｂ，７７ｃからの光が同センサに
向かっては反射するような形状にする必要がある。

【００８５】○上記第２実施形態では、１つのキャリア
ユニット６０に対して搬送アーム部２０がウェハＷの取
り出しを行うようにしたが、１つの搬送アーム部２０に
対して複数個のキャリアユニット６０を設置して実施し
てもよい。この場合、より効率のよい搬送作業が行うこ
とができる。

【００８６】○上記各実施形態では、半導体ウェハＷを
搬送する搬送ロボット１０に具体化したが、それ以外の
例えば半導体チップ等の被搬送物を搬送する搬送ロボッ
トに応用してもよい。

【００８７】○上記各実施形態では、２関節型の搬送ロ
ボット１０に具体化したが、例えは、３関節以上の多関
節型、フロッグレッグ型、リンク型等のロボットに応用
してもよい。

【００８８】

【発明の効果】請求項１〜５に記載の発明によれば、簡
単な構成で精度の高い相対位置を求め、高精度の搬送を
可能にするととも搬送作業の効率を向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態を説明するための搬送装置の要
部平面図。

【図２】 第１実施形態を説明するための搬送装置の要
部正面図。

【図３】 搬送アーム部の動きを説明するための要部平
面図。

【図４】 スリットとハンド部の関係を示す平面図。

【図５】 第２実施形態を説明するための搬送装置の要
部平面図。

【図６】 第２実施形態を説明するための搬送装置の要
部正面図。

【図７】 ハンド部と光透過式センサの位置関係を示す
要部平面図。

【図８】 ＣＣＤを用いた別例を説明するための要部平
面図。

【図９】 ３個の測長センサを用いた別例を説明するた
めの要部平面図。

【符号の説明】

１０，５０ 搬送装置 ２０ 搬送アーム部 ２８ ハンド部 ３０ ステージ部としての回転ステージ部 ３５ 第１，第２センサとしてのウェハ検出装置 ４１，５１ 演算制御回路部 ４２，５２ 駆動制御回路部 ６０ キャリアユニット ６２ キャリア ７１ 第１，第２センサとしての光透過式センサ Ｗ 非搬送物としてのウェハ

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｂ６５Ｈ 1/28 ３２０ Ｂ６５Ｈ 1/28 ３２０ (72)発明者 山本 穂高 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (72)発明者 中島 勝弘 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被搬送物のステージ部への載置及び前記
   ステージ部から被搬送物の取り出しを搬送アーム部のハ
   ンド部を用いて行う搬送装置において、 前記ステージ部に設けられそのステージ部に載置される
   前記被搬送物の位置を検出する第１のセンサと、 前記ステージ部に設けられ前記搬送アーム部のハンド部
   の位置を検出する第２のセンサと、 前記第１センサからの前記ステージ部に対する前記被搬
   送物の位置情報と、前記第２センサからの前記ステージ
   部に対する前記ハンド部の位置情報とに基づいて前記搬
   送アーム部と前記ステージ部との間の相対位置情報を演
   算する演算制御部と、 前記演算制御部からの相対位置情報に基づいて前記搬送
   アーム部のハンド部を制御して該ハンド部の位置決めを
   行う駆動制御部とを備えた搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の搬送装置において、 前記被搬送物はウェハであり、前記ステージ部は回転テ
   ーブルを備え、その回転テーブルにウェハを載置し回転
   させることにより向きを調整する回転ステージであり、 前記第１センサは前記回転テーブルに載置されたウェハ
   のオリフラを検知するウェハ検出装置であり、そのウェ
   ハ検出装置は前記第２センサを兼用するものである搬送
   装置。
3. 【請求項３】 ウェハのキャリアユニットに設置したキ
   ャリアへの収納及び前記キャリアからウェハの取り出し
   を搬送アーム部のハンド部を用いて行う搬送装置におい
   て、 前記キャリアユニットに設けられ、前記キャリア内のウ
   ェハの位置を検出する第１のセンサと、 前記キャリアユニットに設けられ前記搬送アーム部のハ
   ンド部の位置を検出する第２のセンサと、 前記第１センサからの前記キャリアユニットに対する前
   記被搬送物の位置情報と、前記第２センサからの前記キ
   ャリアユニットに対する前記ハンド部の位置情報とに基
   づいて前記搬送アーム部と前記キャリアユニットとの間
   の相対位置情報を演算する演算制御部と、 前記演算制御部からの相対位置情報に基づいて前記搬送
   アーム部のハンド部を制御してハンド部の位置決めを行
   う駆動制御部とを備えた搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の搬送装置において、 前記第１センサは光透過式センサであって、上下動して
   前記キャリア内に上下方向に配設されたウェハを検知す
   るものであり、その光透過式センサは前記第２センサを
   兼用するものである搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項３に記載の搬送装置において、 前記第１センサ及び第２センサは３次元の相対位置情報
   を求めるために３個の光反射式測長センサにて構成した
   搬送装置。