JPS6171383A - ウエハ位置検出装置 - Google Patents
ウエハ位置検出装置Info
- Publication number
- JPS6171383A JPS6171383A JP59194143A JP19414384A JPS6171383A JP S6171383 A JPS6171383 A JP S6171383A JP 59194143 A JP59194143 A JP 59194143A JP 19414384 A JP19414384 A JP 19414384A JP S6171383 A JPS6171383 A JP S6171383A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- wafer
- hand
- shaft
- handler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V8/00—Prospecting or detecting by optical means
- G01V8/10—Detecting, e.g. by using light barriers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Geophysics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェハ位置検出装置に関し、特にウェハ搬送装
置に都合良く使用されるウェハ位置検出袋δに関する。
置に都合良く使用されるウェハ位置検出袋δに関する。
一般にウェハに対して加工又は測定をおこなうＪＡ装置
本体はウェハを複数枚収納可能なキャリヤが設置されて
いる。ウェハはキャリヤから装置本体に供給され、ここ
で加−［又は測定を終了した後再びキャリヤに収納され
、キャリヤごと次の−［程にまわされる。
本体はウェハを複数枚収納可能なキャリヤが設置されて
いる。ウェハはキャリヤから装置本体に供給され、ここ
で加−［又は測定を終了した後再びキャリヤに収納され
、キャリヤごと次の−［程にまわされる。
従来キャリヤからウェハを搬出又は搬入するためにヘル
ドコンヘア式の搬送装ごおよび／ｈント式の搬送装置が
利用されている。第１図は今までに知られているパンタ
グラフ式のハンドラーを概略的に示した図である。この
ハンドラーは、一端に設けられた軸３を中心として回動
自在な／＼ンドアーム１と、ハントアーム１の他端に軸
４を介して回じ〈回動自在に一端を連結されたハントア
ーム２と、ハントアーム２の他端に同じく枢動自在に連
結されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されて
いる。なおハンドラーは、ハンドアーム１およびハント
アーム２をそれぞれ対をなすように２木ずつイアしてい
る。
ドコンヘア式の搬送装ごおよび／ｈント式の搬送装置が
利用されている。第１図は今までに知られているパンタ
グラフ式のハンドラーを概略的に示した図である。この
ハンドラーは、一端に設けられた軸３を中心として回動
自在な／＼ンドアーム１と、ハントアーム１の他端に軸
４を介して回じ〈回動自在に一端を連結されたハントア
ーム２と、ハントアーム２の他端に同じく枢動自在に連
結されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されて
いる。なおハンドラーは、ハンドアーム１およびハント
アーム２をそれぞれ対をなすように２木ずつイアしてい
る。
第１図は、ハントアームｌおよびハンドアーム２を一直
線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収納されたウェ
ハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示したも
のである。これに対し第２図は輛３の位置を固定点とし
て袖３に向ってフィンガー５を引込め、ウニへ−カセッ
ト６からウェハー７を取り出した状態で示した図である
。ここでハントアーム２は、輔３を中心としたアーム１
の回転に従って軸４を中心として折れ曲がるように回転
し、一方このときハントアーム２の他端も回じ〈軸８を
中心としてフィンガー５に対して回転する。最終的にハ
ントアームｌとハントアーム２とが改なり合い、対をな
すアーム同士が直線状に向かい合うような位置まで移動
する。
線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収納されたウェ
ハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示したも
のである。これに対し第２図は輛３の位置を固定点とし
て袖３に向ってフィンガー５を引込め、ウニへ−カセッ
ト６からウェハー７を取り出した状態で示した図である
。ここでハントアーム２は、輔３を中心としたアーム１
の回転に従って軸４を中心として折れ曲がるように回転
し、一方このときハントアーム２の他端も回じ〈軸８を
中心としてフィンガー５に対して回転する。最終的にハ
ントアームｌとハントアーム２とが改なり合い、対をな
すアーム同士が直線状に向かい合うような位置まで移動
する。
上述したハンドラーの構成に依れば、ハントアームはウ
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを有する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを装置本体へ送
り込む等の理由によりウェハを回転させる場合、ハント
アーム１とハントアーム２とが重なり合い、対をなすア
ーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィン
カー面上に載置されたウェハの位置を変える必要がある
。このためハンドラーの作動に必要とされる占イｉｔ？
ｉｉ Ｊｅｔが広くなってしまう。
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを有する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを装置本体へ送
り込む等の理由によりウェハを回転させる場合、ハント
アーム１とハントアーム２とが重なり合い、対をなすア
ーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィン
カー面上に載置されたウェハの位置を変える必要がある
。このためハンドラーの作動に必要とされる占イｉｔ？
ｉｉ Ｊｅｔが広くなってしまう。
これに加えて従来のハンドラーにおいてはハントアーム
１およびハントアーム２がフィンカーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
１およびハントアーム２がフィンカーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
更に通常キャリヤ内には複数枚のウニ／＼が収納されて
いるが、フィンカーを搬出すべき所望のウェハと隣接す
るウニ／＼との間に挿入するために、ウェハの位置を正
確に検知する必要がある。そこでウェハハンドラーにウ
ェハ位置検知機構を組み込んで使用するのが好ましい。
いるが、フィンカーを搬出すべき所望のウェハと隣接す
るウニ／＼との間に挿入するために、ウェハの位置を正
確に検知する必要がある。そこでウェハハンドラーにウ
ェハ位置検知機構を組み込んで使用するのが好ましい。
それ教本発明の目的は、ウェハ搬送装置に都合良く使用
されるウェハ位置検知機構を提供することにある。
されるウェハ位置検知機構を提供することにある。
本発明のウェハ位置検出装置が都合良く組み込まれるウ
ェハ搬送装置の／＼ンドラーは、一端に設けられた軸９
を中心として回動自在な／＼ンドアームｌｏと、ハント
アーム１０の他端に軸１１を介して同じく回動自在に一
端を連結された／＼ンドアーム１２と、ハンドアーム１
２の他端に同じく枢動自在に連結されたウェハー支持用
フィンガー５とから構成されている。なおハンドラーは
、／＼ントアーム１０およびハントアーム１２をそれぞ
れ対をなすように２木ずつ有している。
ェハ搬送装置の／＼ンドラーは、一端に設けられた軸９
を中心として回動自在な／＼ンドアームｌｏと、ハント
アーム１０の他端に軸１１を介して同じく回動自在に一
端を連結された／＼ンドアーム１２と、ハンドアーム１
２の他端に同じく枢動自在に連結されたウェハー支持用
フィンガー５とから構成されている。なおハンドラーは
、／＼ントアーム１０およびハントアーム１２をそれぞ
れ対をなすように２木ずつ有している。
第３図は、ハンドアーム１０およびノ＼ントアーム１２
を一直線状に延ばし、ウニ／＼−カセット６内に収容さ
れたウニ・＼７の裏側にフィンガー５を位置させた状態
で示したものである。これに対し第４図は軸９の位１′
Ｆ１を固定点として軸９に向かってフィンガー５を引込
め、ウニ／＼−カセット６からウェハー７を取り出した
状態で示した図である。ここでハンドアーム１２は、軸
９を中心としたアームｌＯの回転に従って軸１１を中心
として折れ曲がるように回転し、一方このとき／＼ンド
アーム１２の他端も同しく軸１３を中心としてフィンガ
ー５に対して回転する。途中アーム１０とアーム１２と
が川なり合い、対をなすアーム同士が直線状に向かい合
うような位置（：ＪＪ２図参照）まで移動する。
を一直線状に延ばし、ウニ／＼−カセット６内に収容さ
れたウニ・＼７の裏側にフィンガー５を位置させた状態
で示したものである。これに対し第４図は軸９の位１′
Ｆ１を固定点として軸９に向かってフィンガー５を引込
め、ウニ／＼−カセット６からウェハー７を取り出した
状態で示した図である。ここでハンドアーム１２は、軸
９を中心としたアームｌＯの回転に従って軸１１を中心
として折れ曲がるように回転し、一方このとき／＼ンド
アーム１２の他端も同しく軸１３を中心としてフィンガ
ー５に対して回転する。途中アーム１０とアーム１２と
が川なり合い、対をなすアーム同士が直線状に向かい合
うような位置（：ＪＪ２図参照）まで移動する。
このウェハ搬送装置のハンドラーにおいては、ハントア
ーム１２は第２図に示されるような位置からウェハカセ
ット６と離れる方向へ軸１１を中心として回動する。最
終的にハンドアーム１０とハンドアーム１２は第３図の
状態と逆の方向に一直線状に延び、フィンガー５はハン
トアームｌＯおよび１２の上方に重なり合うように位置
する。
ーム１２は第２図に示されるような位置からウェハカセ
ット６と離れる方向へ軸１１を中心として回動する。最
終的にハンドアーム１０とハンドアーム１２は第３図の
状態と逆の方向に一直線状に延び、フィンガー５はハン
トアームｌＯおよび１２の上方に重なり合うように位置
する。
従ってこのハンドラーの場合、第１図に示された従来の
ハンドラーと比へてハントアームの長さはウェハの所定
の移動距離の４分の１で良く極めてコンパクトなものと
なる。又第４図に示されるようにアームｌＯおよび１２
はその大部分がフィンガー５面上にａｉされたウェハ７
の真下に位置するため、ウェハ７を所望の方向に移動さ
せるためハンドラーを回転させるとき必要とされる占有
面積は極めて少なくなる。
ハンドラーと比へてハントアームの長さはウェハの所定
の移動距離の４分の１で良く極めてコンパクトなものと
なる。又第４図に示されるようにアームｌＯおよび１２
はその大部分がフィンガー５面上にａｉされたウェハ７
の真下に位置するため、ウェハ７を所望の方向に移動さ
せるためハンドラーを回転させるとき必要とされる占有
面積は極めて少なくなる。
ここで上述したようなハントアーム１０および１２の作
動を可能とする機構について第５図を参照して説明する
。
動を可能とする機構について第５図を参照して説明する
。
軸９は７−ムｌＯと一体的に構成され、軸９の内部には
プーリー１４が組み込まれている。一方軸ｔｉはアーム
１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー１４
とプーリー１１との間にはタイミングヘル）１５が掛は
渡されている。従ってプーリー１４を回転駆動させると
タイミングベルト１５を介してプーリー１１に駆動力が
伝達される。
プーリー１４が組み込まれている。一方軸ｔｉはアーム
１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー１４
とプーリー１１との間にはタイミングヘル）１５が掛は
渡されている。従ってプーリー１４を回転駆動させると
タイミングベルト１５を介してプーリー１１に駆動力が
伝達される。
ここでフィンガー５を軸９に向かう方向へ引き寄せる際
直線的に移動させるためには、アーム１０の傾斜角度と
アーム１０とアーム１２とのなる開き角度とがｌ：２の
関係を常に維持するようにプーリー１４の駆動力を定め
なければならない。
直線的に移動させるためには、アーム１０の傾斜角度と
アーム１０とアーム１２とのなる開き角度とがｌ：２の
関係を常に維持するようにプーリー１４の駆動力を定め
なければならない。
第６図および第７図はそれぞれ、本発明のウェハハンド
ラーにウニ／入位置検知機構を組み込んだ実施例の側面
図および平面図である。前述のとおりカセット６内には
複数枚のウニＩ＼７が収納されているが、フィンカー５
を搬出すべき所望のウェハ７と隣接するウニ／＼７との
間に挿入するためには、ウェハの位置を正確に検知する
必要がある。
ラーにウニ／入位置検知機構を組み込んだ実施例の側面
図および平面図である。前述のとおりカセット６内には
複数枚のウニＩ＼７が収納されているが、フィンカー５
を搬出すべき所望のウェハ７と隣接するウニ／＼７との
間に挿入するためには、ウェハの位置を正確に検知する
必要がある。
そこでウェハハンドラーにウニ／入位置検知機構を組み
込んで使用するのが好ましい０本発明のウェハ位置検知
機構の基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６
の裏側に配置されたミラー１８と、レーザー源１６から
出たレーザー２０をミラー１８に向けて反射させ、一方
ミラー１８によって反射されたレーザーを透過させるノ
＼−フミラー１７と、ハーフミラ−１７を透過したレー
ザーを検出するためのホトセンサ１９を有している。フ
ィンカー５とレーザー光路とのレベルの差による位置補
正の必要をなくすために、フィンカー５とレーザー光路
とのレベルを極めて近接させるのが好ましい、レーザー
は直進性がすぐれているため直線形状の物体の位置検知
に適しているからである。光源としてレーザー以、外の
例えばＬＥＤ等を用いた場合には光源からの光はある程
度の広がりをもつため、この広がった光で位置を検知し
たい所望のウェハが光路を遮断することを検出すること
は極めて困難である。
込んで使用するのが好ましい０本発明のウェハ位置検知
機構の基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６
の裏側に配置されたミラー１８と、レーザー源１６から
出たレーザー２０をミラー１８に向けて反射させ、一方
ミラー１８によって反射されたレーザーを透過させるノ
＼−フミラー１７と、ハーフミラ−１７を透過したレー
ザーを検出するためのホトセンサ１９を有している。フ
ィンカー５とレーザー光路とのレベルの差による位置補
正の必要をなくすために、フィンカー５とレーザー光路
とのレベルを極めて近接させるのが好ましい、レーザー
は直進性がすぐれているため直線形状の物体の位置検知
に適しているからである。光源としてレーザー以、外の
例えばＬＥＤ等を用いた場合には光源からの光はある程
度の広がりをもつため、この広がった光で位置を検知し
たい所望のウェハが光路を遮断することを検出すること
は極めて困難である。
これ以外にＴＶ右カメラでウェハの断面をみる方法も考
えられるが、ＴＶ右カメラ用いる場合はカメラレンズの
焦点合わせが必要となる。ところがカセット内に収容さ
れたウェハはウェハの出し入れ方向においてかなり位置
のバラツキが太さいため正しい焦点合わせができず、精
密な位置検知には適さない、加うるにＴＶ右カメラ高価
で大きく複雑である。
えられるが、ＴＶ右カメラ用いる場合はカメラレンズの
焦点合わせが必要となる。ところがカセット内に収容さ
れたウェハはウェハの出し入れ方向においてかなり位置
のバラツキが太さいため正しい焦点合わせができず、精
密な位置検知には適さない、加うるにＴＶ右カメラ高価
で大きく複雑である。
要するにレーザーを用いたウェハの位置検知法は、光路
が直線的であるために上下の隣接するウェハによる影響
がないばかりか、焦点合わせも不要であるため収容され
たウェハの出゛し入れ方向に沿った位置のバラツキによ
る検知精度の低下もない。
が直線的であるために上下の隣接するウェハによる影響
がないばかりか、焦点合わせも不要であるため収容され
たウェハの出゛し入れ方向に沿った位置のバラツキによ
る検知精度の低下もない。
ここで参照、％ｋ）２１は、フィンガー５をカセット６
から抜き出すためにハントアーム１０および１２を折り
曲げるためのハンドアーム伸縮用駆動部である。参照番
号２２はフィンガー５面上に載置されたウェハ７の向き
を変えるためにハンドラーを回転させるとき使用される
ハンドラー回転用モータである。
から抜き出すためにハントアーム１０および１２を折り
曲げるためのハンドアーム伸縮用駆動部である。参照番
号２２はフィンガー５面上に載置されたウェハ７の向き
を変えるためにハンドラーを回転させるとき使用される
ハンドラー回転用モータである。
更に参照番号２３はハンドラー昇降機構であり。
カセット６内に収容された任意の位置のウェハ７を取り
出すためにフィンガー５の高さを所望のレベルに変える
ことができる。
出すためにフィンガー５の高さを所望のレベルに変える
ことができる。
第１図は従来のハンドラーを延ばした状態で示した図、
第２図は第１図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第３図は搬送装置のハンドラーを延ばした状態で示した
図。 第４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図。 第６図および第７図はそれぞれ、ハンドラーに本発明の
ウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図および
平面図である。 ５−ｍ−フィンガー ９− 軸 １０．１２−ｍ−ハンドアーム １１．１４−−− プーリー １５−一一タイミングベルト
図、 第３図は搬送装置のハンドラーを延ばした状態で示した
図。 第４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図。 第６図および第７図はそれぞれ、ハンドラーに本発明の
ウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図および
平面図である。 ５−ｍ−フィンガー ９− 軸 １０．１２−ｍ−ハンドアーム １１．１４−−− プーリー １５−一一タイミングベルト
Claims (1)
- レーザー源と、レーザー源から出たレーザー光をミラ
ーに向けて反射させ且つミラーによって反射されたレー
ザー光を透過させるハーフミラーと、ハーフミラーを透
過したレーザーを検出するためのホトセンサとを有する
ウェハ位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59194143A JPS6171383A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59194143A JPS6171383A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6171383A true JPS6171383A (ja) | 1986-04-12 |
Family
ID=16319626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59194143A Pending JPS6171383A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6171383A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02142157A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-31 | Nippon M R C Kk | ウェハーの有無・傾き判別装置 |
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
| US5266812A (en) * | 1991-07-26 | 1993-11-30 | Tokyo Electron Limited | Substrate detector with light emitting and receiving elements arranged in a staggered fashion |
| CN109928195A (zh) * | 2017-12-18 | 2019-06-25 | 楚天科技股份有限公司 | 一种冻干机出料推杆异常运行检测方法 |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP59194143A patent/JPS6171383A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02142157A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-31 | Nippon M R C Kk | ウェハーの有無・傾き判別装置 |
| JPH0477465B2 (ja) * | 1988-11-22 | 1992-12-08 | Nippon Emu Aaru Shii Kk | |
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
| US5266812A (en) * | 1991-07-26 | 1993-11-30 | Tokyo Electron Limited | Substrate detector with light emitting and receiving elements arranged in a staggered fashion |
| CN109928195A (zh) * | 2017-12-18 | 2019-06-25 | 楚天科技股份有限公司 | 一种冻干机出料推杆异常运行检测方法 |
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