JPH0685038A - ウエハの位置合わせ方法及びその装置並びに透明ウエハの位置合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハの位置合わせを簡単に行うと共にセン
サ部の位置設定を容易にすること。また透明ウエハの位
置合わせを高精度に行うこと。 【構成】 発光用の光ファイバのまわりに受光用の光フ
ァイバを多数配列してなる発受光センサを５個（Ａ〜
Ｅ）直線状に並べて回転ステージ１の上に配置する。セ
ンサＡ、Ｄ、Ｅは８インチウエハ用、センサＢ、Ｃは６
インチウエハ用であり、例えばセンサＢ、Ｃはウエハの
中心位置合わせ用であって、Ｃはオリフラ合わせ用も兼
用している。センサＢ、Ｃを用いてこれらを結ぶ直線に
重なるウエハの弦の両端を求め、Ｙ方向のウエハ中心の
位置ずれ量を求め、その後ウエハを回転ステージ１上で
９０度回転させて同様の処理を行い、Ｘ方向の中心位置
ずれ量を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハの位置合わせ方
法及びその装置並びに透明ウエハの位置合わせ装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】一般にシリコンウエハを処理あるいは検
査する際に、ウエハには結晶の方向性があることからウ
エハの向きについて位置合わせをしなければならない。
このためウエハにはオリフラ（オリエンテーションフラ
ット）と呼ばれる直線状の切欠部が形成されており、こ
れを利用してオリフラ合わせが行われる。

【０００３】またウエハに対してイオン注入処理やプロ
ービングなどを行う場合には、イオン注入領域やプロー
ビング領域に対してウエハが正確に載置されなければな
らないのでウエハの中心位置についても位置合わせを行
う必要がある。

【０００４】このような位置合わせを行う方法として
は、従来特開平１−１０６４４０号公報に記載されてい
るように、ウエハの両面側に夫々位置する発光ダイオー
ド及びホトトランジスタよりなる透過型センサをウエハ
の円弧周縁に沿って４個並べ、この４個のセンサが全部
オフになるようにウエハを動かしてウエハの中心位置合
わせを行う方法や、特開平２−３１４４３号公報に記載
されているように、回転ステージ上でウエハを１回転さ
せて１個の透過型センサにより９０度毎の回転ステージ
中心からのウエハ周縁までの距離を求め、各距離データ
にもとずいて偏心量を求める方法などが知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前者の方
法はセンサが４個も必要である上、ウエハの円弧周縁に
沿って正確に配置しなければならないので、センサの位
置設定が面倒であり、しかも各センサのオン、オフの判
定ステップ数が非常に多いのでソフトウエアが繁雑にな
るという問題がある。また後者の方法は、計算式が複雑
であるためやはりソフトウエアが繁雑になるという問題
がある。

【０００６】ところで最近においてＬＣＤ基板を製造す
る為の透明な石英ウエハが製造されるようになってきた
が、この透明ウエハは発光ダイオードの光をほとんど透
過してしまうので透過型のセンサではウエハの周縁を検
知できない。何故なら透明ウエハのわずかな光の吸収に
より発光部から受光部への受光量はわずかに少なくなる
が、ウエハが有るときと無いときのいずれの状態におい
てもほぼ同じ光量を受光部が受光している。ところで各
受光状態に対応する電圧レベルには幅があり（ホトトラ
ンジスタの特性のばらつきや外乱光の影響など）、しか
もウエハが光路上を遮るときと遮らないときの各状態の
受光量の差が非常に小さいことから、この差を電気的に
区別することは極めて困難であり、実際上区別できな
い。従って透明ウエハについて高精度で位置合わせを行
うことのできる位置合わせ装置の開発が望まれている。

【０００７】本発明は、このような事情のもとになされ
たものであり、その目的は、ウエハの位置合わせを簡単
に行うことのできるウエハの位置合わせ方法を提供する
ことを目的とする。

【０００８】本発明の他の目的は、センサの配列が簡単
なウエハの位置合わせ装置を提供することにある。

【０００９】更に本発明の他の目的は、透明ウエハの位
置合わせを高精度で行うことのできる透明ウエハの位置
合わせ装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、発光
部及び受光部よりなるセンサによりウエハの周縁を検出
し、その検出結果にもとずいてウエハの中心位置を基準
位置に合わせる方法において、前記基準位置に対するＸ
方向の位置及びＹ方向の位置を夫々Ｘ位置、Ｙ位置と
し、センサを通り、Ｙ方向に伸びる直線をＬとすると、
ウエハをセンサに対して相対的にＹ方向に移動させて直
線Ｌ上のウエハの２ヶ所の周縁のＹ位置をセンサにより
検出し、次いでウエハを基準位置を中心として相対的に
９０度回転させた後、ウエハをセンサに対して相対的に
Ｙ方向に移動させて直線Ｌ上の２ヶ所の周縁のＹ位置を
センサにより検出し、これらの検出結果にもとずいてウ
エハ中心を基準位置に合わせることを特徴とする。

【００１１】請求項２の発明は、発光部及び受光部より
なるセンサによりウエハの周縁を検出し、その検出結果
にもとずいてウエハのオリエンテーションフラットを所
定の向きに合わせると共に、ウエハ中心位置を基準位置
に合わせるウエハの位置合わせ装置において、互に離れ
て配置された、ウエハ中心位置合わせ用の第１のセンサ
及び第２のセンサと、ウエハを基準位置のまわりに回転
させたときに当該ウエハの円弧周縁とオリエンテーショ
ンフラットとの間に位置される第３のセンサと、前記第
１のセンサ及び第２のセンサを結ぶ直線Ｌに沿ってウエ
ハをセンサに対して相対的に移動させて直線Ｌ上のウエ
ハの２ヶ所の周縁を検出し、次いでウエハを基準位置を
中心として相対的に９０度回転させた後直線Ｌに沿って
センサに対して相対的に移動させて直線上のウエハの２
ヶ所の周縁を検出し、これらの検出結果にもとずいてウ
エハ中心を基準位置に合わせる手段と、中心が位置合わ
せされたウエハを基準位置のまわりに回転させ、第３の
センサによるウエハの周縁位置の検出結果もとずいてオ
リエンテーションフラットの向きを所定の向きに合わせ
る手段と、を有してなることを特徴とする。

【００１２】請求項３の発明は、発光部及び受光部より
なるセンサによりウエハの周縁を検出し、その検出結果
にもとずいてウエハ中心位置を基準位置に合わせると共
に、ウエハのオリエンテーションフラットを所定の向き
に合わせるウエハの位置合わせ装置において、前記セン
サは、発光部よりの光が透明ウエハの表面にて反射した
ときの反射光路上に、当該反射光路の断面に沿って受光
部を複数配置してなるものであることを特徴とする。

【００１３】請求項４の発明は、発光部及び受光部より
なるセンサによりウエハの周縁を検出し、その検出結果
にもとずいてウエハ中心位置を基準位置に合わせると共
にウエハのオリエンテーションフラットを所定の向きに
合わせるウエハの位置合わせ装置において、前記センサ
は、一端側が発光源と対向し、他端側が発光面をなす第
１の光ファイバと、この第１の光ファイバのまわりに複
数配置されると共に、一端側が受光素子と対向し、他端
側が受光面をなす第２の光ファイバとを有してなり、前
記第２の光ファイバの受光面は、第１の光ファイバの発
光面よりの光の透明ウエハの表面における反射光を受光
するように位置設定されていることを特徴とする。

【００１４】

【作用】請求項１の発明では、直線Ｌによってウエハの
円弧周縁に作られる弦の両端のＹ位置が検出できるの
で、弦の中点のＹ位置、つまりウエハ中心のＹ位置が求
まる。次いで例えばウエハを回転ステージにより９０度
回転させた後同様の操作を行うことにより、９０度回転
前のウエハ中心のＸ位置が求まる。こうして求められた
Ｙ位置、Ｘ位置はウエハの偏心量であるからこれにもと
ずいてウエハ中心の位置合わせを行うことができる。

【００１５】そしてこのような方法を実行するにあたっ
て請求項２の発明のようにＹ方向に互に離れた第１のセ
ンサと第２のセンサを用いれば、前記弦の両端位置を求
める場合にウエハの移動量が少なくて済む。

【００１６】また位置合わせを行うウエハが透明ウエハ
である場合、請求項３の発明のように透明ウエハ表面に
おる発光部からの反射光を検出するようにしているが、
発光部のまわりに複数の受光部を設けているため、ウエ
ハ表面における光のスポット内の複数位置からの反射光
を受光でき、ウエハ周縁の検出位置精度が高く、高精度
な位置合わせを行うことができる。そして請求項４の発
明にように光ファイバに受光レンズを用いることにより
例えば透明ウエハ表面上の光のスポット径を極力小さく
できるので、検出位置精度が非常に高くなる。

【００１７】

【実施例】図１は本発明のウエハの位置合わせ方法を実
施する透明ウエハの位置合わせ装置の実施例を示す図で
ある。この実施例に係る透明ウエハの位置合わせ装置
は、透明ウエハを例えば真空吸着によって吸着固定し、
駆動部１０により昇降、回転する回転ステージ１と、搬
入ステージ１１上のキャリアＣ内のウエハＷを前記回転
ステージ１上に受け渡し、また回転ステージ１上のウエ
ハＷを受け取る搬送機構２と、前記回転ステージ１の上
方に配置されたセンサ部３と、このセンサ部３の検出信
号にもとずいて駆動部１０及び搬送機構２を制御する制
御部４とを備えている。

【００１８】前記搬送機構２は、例えばＸ方向（Ｙ方
向）のみ移動自在な多関節アーム２１を有してなる。

【００１９】前記センサ部３は、図２及び図３に示すよ
うに発光部及び受光部を備えたセンサＳ（Ａ〜Ｅ）を各
発光受光面が下側（回転ステージ１側）を向くように一
列に並べてセンサボード３１に取り付け、更にこのセン
サボード３１を、支面に固定されたベース体３２に設け
て構成される。

【００２０】前記センサ部Ｓは、図４（ａ）、（ｂ）に
示すように例えば素線径０．５ｍｍの第１の光ファイバ
４１の周囲に各々素線径０．２５ｍｍの８本の第２の光
ファイバ４２を配置してこれらを筒状のケース体４３に
収納し、更に第１の光ファイバ４１の一端側（ケース体
４３の内部側）に発光源例えば発光ダイオード４１ａを
対向して設けると共に、第２の光ファイバ４２の他端側
に受光素子例えばフォトダイオード４２ａを設け、第１
の光ファイバの他端側である発光面と第２の光ファイバ
４２の他端側である受光面との前面（ケース端４３の先
端部に相当する位置）に、集光レンズ４４を取り付けて
構成される。

【００２１】前記集光レンズ４４は、前記発光面よりの
光を、検出対象である透明ウエハの表面上に集光してそ
の光スポット径を小さくするために設けられており、前
記受光面は、発光面より集光レンズ４４を通って発光さ
れた光が透明ウエハの表面で反射されたときの反射光を
受光するように位置設定されている。

【００２２】このようなセンサＳによれば、発光ダイオ
ード４１ａよりの光が第１の光ファイバ４１を介して発
光面より発光され、検出対象である透明ウエハが光路上
に存在するときには集光レンズ４４の作用により透明ウ
エハの表面に集光され、この光が当該ウエハの表面によ
り反射されて前記受光面に入射され、第２の光ファイバ
４２を介してフォトトランジスタ４２ａに受光される。
この例では、発光ダイオード４１ａ、第１の光ファイバ
４１が発光部に相当し、フォトダイオード４２ａ、第２
の光ファイバ４２が受光部に相当する。

【００２３】そして前記センサＳ（Ａ〜Ｅ）の配列関係
について述べると、図３中センサボード３１上に示す点
Ｐは、回転ステージ１の中心に対応する位置であり、つ
まりセンサボード３１は、点Ｐが回転ステージ１の中心
軸上に位置するように位置設定されている。この点Ｐの
両側に位置するセンサＢ、Ｃは６インチウエハ用のセン
サであり、センサＢの外方側に位置するセンサＡと、セ
ンサＣの外方側に位置するセンサＤ、Ｅは８インチ用の
センサである。

【００２４】６インチウエハ用のセンサＢ、Ｃは夫々ウ
エハ中心位置合わせ用の第１のセンサ、第２のセンサに
相当し更にこの例では第２のセンサ（センサＣ）はオリ
フラ合わせに用いられる第３のセンサを兼用するもので
ある。また８インチウエハ用のセンサＡ、Ｅは夫々ウエ
ハ中心位置合わせ用の第１のセンサ、第２のセンサに相
当し、センサＤはオリフラ合わせ用に用いられる第３の
センサに相当する。

【００２５】前記６インチウエハ用のセンサＣ（第３の
センサ）と８インチウエハ用のセンサＤ（第３のセン
サ）とは、ウエハ中心の位置合わせが行われた後ウエハ
に対して、つまりウエハ中心が回転ステージ１の中心と
一致した状態で回転ステージ１に載置されているウエハ
に対して、ウエハの円弧周縁（オリフラ以外の周縁）と
オリフラとの間、例えばウエハの円弧周縁よりも約１ｍ
ｍ内方側に位置している。

【００２６】各センサＡ〜ＥとＰとの位置関係の具体例
について述べると、ＰＡ間が９０ｍｍ、ＰＢ間が６５ｍ
ｍ、ＰＣ間が７３ｍｍ、ＰＤ間が９８ｍｍ、ＰＥ間が１
１０ｍｍである。

【００２７】前記制御部４は、センサ部３からの検出信
号及び搬送機構２の搬送量にもとずいて、ウエハ中心の
位置ずれ量を演算し、搬送機構２を介してウエハ中心の
位置合わせ制御を行ったり、センサ部３からの検出信号
にもとずいてウエハのオリフラを検出し、回転ステージ
１の駆動機構１１を介してオリフラ合わせを行ったりす
るものであり、後述の実施例の作用で説明する位置合わ
せプロセス及び演算を記述したプログラムを格納したメ
モリやこのプログラムを実行するＣＰＵなどから構成さ
れる。

【００２８】次に上述実施例に係る装置の作用（本発明
のウエハの位置合わせ方法の一実施例）について説明す
る。先ずプロービングあるいは真空処理などを行うべき
透明ウエハ例えば透明石英ウエハを２５枚収納したキャ
リアＣを、例えば図示しないロボットにより搬入ステー
ジ１１上に搬入し、搬送機構２によりキャリアＣ内のウ
エハＷを１枚取り出してセンサ部３の下方側に搬送す
る。続いてウエハ中心の位置合わせ及びオリフラ合わせ
が順次行われるが、ここでこれらの概要について述べ
る。

【００２９】先ずウエハ中心の位置合わせについては、
図５（ａ）に示すようにウエハＷの円弧周縁のＹ方向に
沿った弦の両端Ｙ１、Ｙ２のＹ位置を求め、これらＹ位
置の中点を求めることにより、ウエハＷ中心の基準位置
からのＹ方向のずれ量Δｙを求めている。ただし基準位
置とは、この例では回転ステージ１の中心であり、Ｙ座
標とは、基準位置を中心としたＸ、Ｙ座標系のＹ座標の
値である。

【００３０】そしてこれらＹ１、Ｙ２の各Ｙ位置は、前
記第１のセンサ及び第２のセンサを用いて検出すること
ができる例えば６インチウエハの場合ウエハＷを図５
（ｂ）に示す位置からセンサＢ側にＹ方向に移動させる
ことにより、センサＢ、Ｃを結ぶ直線をＬとすると、ウ
エハＷの円弧周縁における直線Ｌに沿った弦の端部Ｙ２
からセンサＣまでの長さαと前記弦の端部Ｙ１からセン
サＢまでの長さβが、センサＢ、Ｃよりの検出信号及び
搬送機構２の移動量にもとずいて求まる。

【００３１】Ｙ１とＹ２との中点のＹ座標とセンサＢ、
Ｃの中点のＹ座標とのずれ量は（α＋β／２）であり、
センサＢ、Ｃの中点のＹ座標は予め判っているので、結
局Ｙ１とＹ２との中点、つまりウエハ中心のＹ座標が求
まる。なおセンサＢ、Ｃの検出信号を用いれば、この方
法に限らず、例えば前記円弧周縁をセンサＢ、Ｃの一方
の上に位置させ、そこからセンサＢ、Ｃの他方に向かっ
て移動させる方法などにより前記弦の中点のＹ座標を求
めることができる。

【００３２】更にウエハＷを基準位置を中心として９０
度回転させ、同様にして回転後のウエハ中心のＹ座標、
つまり９０度回転前のＸ座標が求まり、従ってこうして
求められたウエハ中心の位置ずれ量にもとずいて例えば
搬送機構２によりウエハ中心の位置合わせを行うことが
できる。なお位置合わせの方法は、ウエハ中心のＹ座標
を求めた後Ｙ方向のずれ分を修正し、その後ウエハ中心
のＸ座標を求め、Ｘ方向のずれ分を修正してもよい。

【００３３】またウエハのオリフラ合わせについて、図
６（ａ）に示すように、ウエハＷ中心が回転ステージ１
の中心に一致したとき、ウエハＷの円弧周縁の約１ｍｍ
内方側にセンサＣが位置しているので、ウエハＷを１回
転させればオリフラに対応する個所においては図６
（ｂ）に示すようにセンサＣがオフとなるので、例えば
そのオフとなる区間の中間位置に回転ステージ１を停止
させることによりオリフラ合わせを行うことができる。
なおこの方法に限らず他の方法によりオリフラ合わせを
行ってもよく、回転ステージ１をサブチャックであると
すれば、センサＣがオフとなる区間のデータにもとずい
て、メインチャック上でオリフラが所定の方向となるよ
うに搬送してもよい。

【００３４】以上において、８インチウエハの場合に
は、センサＡ、Ｅを用いて同様にして中心の位置合わせ
が行われ、センサＤによりオリフラ合わせが行われる。

【００３５】ここでウエハＷの位置合わせの具体例につ
いて、図７〜図１２を参照しながら説明すると、このフ
ローチヤートは、ウエハＷを搬送機構２から一旦回転ス
テージ１に受け渡した後から始まる。先ず図７のステッ
プ５１により回転ステージ１上のウエハを搬送機構２に
受け渡し、ステップ５２によりセンタリング（ウエハ中
心の位置合わせ）を行う。センタリングは、図８に示す
ように先ずステップ５３によりＹ軸（Ｙ方向）の補正が
行われ、このＹ軸の補正は、図９（ａ）に示すようにス
テップ５４、即ちウエハの位置のチェックからはじま
る。このチェックプロセスは、図１０に示すようにこの
例では、ウエハサイズが６インチか８インチかを判定し
（ステップ５５）、６インチであればセンサＣがオンか
つセンサＢがオフとなる位置までウエハを搬送機構２に
より動かし（ステップ５６、５７）、８インチであれば
センサＥがオン、センサＡがオフとなる位置まで動かす
（ステップ５７、５８）、そして図９（ａ）のステップ
５９にて搬送機構２を動かしてＹ軸（Ｙ方向）のずれを
求める。このＹ軸のずれの求め方については、既に述べ
たように今センサＣ上にウエハの周縁が位置しているの
で、ここからウエハをセンサＢに向けてＹ方向に動か
し、センサＢがオンになるつまりウエハの周縁がセンサ
Ｂ上に位置するまでの搬送機構２の移動量から、センサ
Ｂ、Ｃを結ぶ直線と重なるウエハの円弧周縁の弦の中点
のＹ位置が求まる。その後ステップ６０によりウエハ中
心のＹ軸のずれ分を修正するように搬送機構２を移動し
てＹ軸の補正が行われる。

【００３６】続いてウエハを搬送機構２から回転ステー
ジ１に受け渡した後回転ステージ１を９０度回転させ
（ステップ６１、６２）、しかる後ステップ６３にてウ
エハＷを搬送機構２に受け渡し、ステップ６４にてＸ軸
の補正が行われる。Ｘ軸の補正については、９０度回転
後のウエハに対してステップ６５〜６７にてＹ軸補正と
同様のプロセスを行い、これにより９０度回転前のＸ軸
の補正が行われる。

【００３７】その後ステップ６８にてオリフラのデータ
の読み取りが行われ、このプロセスは、図１１に示すよ
うにステップ６９にてウエハを搬送機構２から回転ステ
ージ１上に受け渡した後ステップ７０にて回転ステージ
１を３６０度回転させ、既述した図６（ｂ）に示すよう
にセンサＣの検出信号を取り込む。そしてこの結果にも
とずいてオリフラの数が１個でありかつオリフラの角度
が１０〜３５度であるか否かをステップ７１にて判断
し、「否」であればリトライするフラグを立て（ステッ
プ７２）、図７に戻ってステップ７３に進み、リトライ
する場合にはウエハを搬送機構２から回転ステージ１に
受け渡して回転ステージ１を４０度回転させ（ステップ
７４、７５）、ステップ５１に戻る。

【００３８】一方リトライしない場合にはステップ７６
に進んで４点データチェックを行う。この４点データチ
ェックでは、図１２（ａ）に示すように回転ステージ１
の９０度回転毎に、ウエハを搬送機構２に載せて移動さ
せ、センサＢあるいはＣを用いて図１２（ｂ）に示すよ
うに回転ステージ１の中心からＸ、Ｙ方向のウエハの周
縁（４ヶ所）までの長さ（Ｘ半径１、Ｘ半径２、Ｙ半径
１、Ｙ半径２）を検出し（ステップ７７〜８１）、４つ
の半径のデータを取った後、ステップ８２〜８４にてＹ
半径１＋Ｙ半径２の値とＸ半径１＋Ｘ半径２の値との差
をとり、その差が±１．２５ｍｍ以内であれば搬送機構
２によりこの位置ずれ分を補正し（ステップ８５、８
６）、±１．２５ｍｍから外れていればリトライするフ
ラグを立てる（ステップ８７）。

【００３９】次いで図７のフローに戻って、ステップ８
８にてステップ６８と同様にオリフラのデータを読み取
り、リトライするフラグが立っていればウエハを回転ス
テージ１に受け渡して４０度回転させ（ステップ８９〜
９１）、その後ステップ５１に戻り、前記フラグが立っ
ていなければステップ９２にて既述したようにオリフラ
のデータにもとずいて回転ステージ１の回転角を調整し
てオリフラ合わせが行われる。

【００４０】このような実施例によれば、センサ部の配
列が簡単なのでセンサ部の製作が容易になる上、位置合
わせのソフトウエアも簡単である。またウエハ中心の位
置合わせは１個のセンサ部であっても行うことができる
が、上述実施例のように２個用いればウエハの円弧周縁
の弦の両端位置を求めるにあたってウエハの移動量が少
なくて済む。なおウエハ中心位置合わせ用のセンサ部は
３個以上用いてもよい。

【００４１】そしてまたセンサ部については発光部のま
わりに複数個例えば８個の受光部を配置して発光部より
の光スポット内にウエハの周縁がかかっているか否かを
８個の受光部で監視しているためウエハの周縁を光スポ
ット内の重なり方にあまり左右されずに検出できるので
受光部全体の感度が高くなる。しかも発光部及び受光部
として細い光ファイバを用い、更に発光面及び受光面の
前に集光レンズを設けているため、発光部よりの光スポ
ット径を例えば０．４ｍｍ程度と非常に小さくできると
共に、この光スポット内の反射光を高感度で受光でき
る。従ってウエハの周縁を高い精度で検出でき、ウエハ
の位置合わせを高精度で行うことができる。

【００４２】ここでセンサは受光部の数が８個に限定さ
れるものではないし、また集光レンズを用いなくてもよ
く、更にはまた光ファイバを用いなくともよい。

【００４３】以上において本発明は透明ウエハの位置合
わせに限定されず、透過型あるいは反射型のセンサ部を
用いてシリコンウエハなどの不透明ウエハを位置合わせ
する場合に適用してもよい。また反射型のセンサを用い
て透明ウエハの位置合わせを行う場合の透明ウエハと
は、石英ガラスに限られるものではなく、例えばニオブ
サンリチウムなどの材質であってもよいが、照射された
光のほぼ全部あるいは大部分を透過してしまうウエハを
意味する。なおセンサ上にウエハの周縁があるとは、周
縁がセンサの発光部よりの光を反射あるいは遮る位置に
あるということである。

【００４４】以上の説明では位置合わせを行う場合に搬
送機構によりウエハを移動させているが、本発明では例
えばセンサ部を移動させてウエハ中心の位置ずれを検出
するなど種々変形することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１及び請求項
２の発明によれば、センサの位置設定が簡単であるし、
また位置合わせの演算が簡単である。

【００４６】請求項３の発明によれば、発光部のまわり
に複数個受光部を配置したセンサ部による透明ウエハの
周縁を検出して位置合わせを行っているため、発光部よ
りの光スポット内のウエハの周縁の重なり方にあまり左
右されずに検出できるので受光部全体の感度が高く、従
って透明ウエハの位置合わせを高精度に行うことができ
る。

【００４７】請求項４の発明によれば、発光部及び受光
部に光ファイバを用いているため、発光部よりの光スポ
ット径を小さくでき、また受光感度が高いので透明ウエ
ハの位置合わせをより一層高精度に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る装置の概観を示す斜視図
である。

【図２】本発明の実施例で用いられるセンサ部を示す側
面図である。

【図３】本発明の実施例で用いられるセンサ部の配列を
示す説明図である。

【図４】上記のセンサ部に用いられるセンサを示す斜視
図及び縦断側面図である。

【図５】ウエハ中心の位置合わせを説明する説明図であ
る。

【図６】オリフラ合わせを説明する説明図である。

【図７】本発明の実施例に係る位置合わせの全体フロー
を示すフローチャート図である。

【図８】ウエハ中心の位置合わせのフローを示すフロー
チャート図である。

【図９】ウエハ中心の位置合わせのフローを示すフロー
チャート図である。

【図１０】ウエハ中心の位置合わせのフローを示すフロ
ーチャート図である。

【図１１】オリフラデータの読み取りを示すフローチャ
ート図である。

【図１２】４点データチェックの一例を示すフローチャ
ート図である。

【符号の説明】

１ 回転ステージ ２ 搬送機構 ３ センサ部 Ａ〜Ｅ、Ｓ センサ ４１ 第１の光ファイバ ４２ 第２の光ファイバ ４１ａ 発光源 ４２ａ 受光素子 ４４ 集光レンズ Ｐ 回転ステージの中心（基準位置）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 発光部及び受光部よりなるセンサにより
   ウエハの周縁を検出し、その検出結果にもとずいてウエ
   ハの中心位置を基準位置に合わせる方法において、 前記基準位置に対するＸ方向の位置及びＹ方向の位置を
   夫々Ｘ位置、Ｙ位置とし、センサを通り、Ｙ方向に伸び
   る直線をＬとすると、 ウエハをセンサに対して相対的にＹ方向に移動させて直
   線Ｌ上のウエハの２ヶ所の周縁のＹ位置をセンサにより
   検出し、 次いでウエハを基準位置を中心として相対的に９０度回
   転させた後、ウエハをセンサに対して相対的にＹ方向に
   移動させて直線Ｌ上の２ヶ所の周縁のＹ位置をセンサに
   より検出し、 これらの検出結果にもとずいてウエハ中心を基準位置に
   合わせることを特徴とするウエハの位置合わせ方法。
2. 【請求項２】 発光部及び受光部よりなるセンサにより
   ウエハの周縁を検出し、その検出結果にもとずいてウエ
   ハのオリエンテーションフラットを所定の向きに合わせ
   ると共に、ウエハ中心位置を基準位置に合わせるウエハ
   の位置合わせ装置において、 互に離れて配置された、ウエハ中心位置合わせ用の第１
   のセンサ及び第２のセンサと、 ウエハを基準位置のまわりに回転させたときに当該ウエ
   ハの円弧周縁とオリエンテーションフラットとの間に位
   置される第３のセンサと、 前記第１のセンサ及び第２のセンサを結ぶ直線Ｌに沿っ
   てウエハをセンサに対して相対的に移動させて直線Ｌ上
   のウエハの２ヶ所の周縁を検出し、次いでウエハを基準
   位置を中心として相対的に９０度回転させた後直線Ｌに
   沿ってセンサに対して相対的に移動させて直線Ｌ上のウ
   エハの２ヶ所の周縁を検出し、これらの検出結果にもと
   ずいてウエハ中心を基準位置に合わせる手段と、 中心が位置合わせされたウエハを基準位置のまわりに回
   転させ、第３のセンサによるウエハの周縁位置の検出結
   果もとずいてオリエンテーションフラットの向きを所定
   の向きに合わせる手段と、 を有してなることを特徴とするウエハの位置合わせ装
   置。
3. 【請求項３】 発光部及び受光部よりなるセンサにより
   ウエハの周縁を検出し、その検出結果にもとずいてウエ
   ハ中心位置を基準位置に合わせると共に、ウエハのオリ
   エンテーションフラットを所定の向きに合わせるウエハ
   の位置合わせ装置において、 前記センサは、発光部よりの光が透明ウエハの表面にて
   反射したときの反射光路上に、当該反射光路の断面に沿
   って受光部を複数配置してなるものであることを特徴と
   する透明ウエハの位置合わせ装置。
4. 【請求項４】 発光部及び受光部よりなるセンサにより
   ウエハの周縁を検出し、その検出結果にもとずいてウエ
   ハ中心位置を基準位置に合わせると共にウエハのオリエ
   ンテーションフラットを所定の向きに合わせるウエハの
   位置合わせ装置において、 前記センサは、一端側が発光源と対向し、他端側が発光
   面をなす第１の光ファイバと、この第１の光ファイバの
   まわりに複数配置されると共に、一端側が受光素子と対
   向し、他端側が受光面をなす第２の光ファイバとを有し
   てなり、 前記第２の光ファイバの受光面は、第１の光ファイバの
   発光面よりの光が透明ウエハの表面で反射されたときに
   その反射光を受光するように位置設定されていることを
   特徴とする透明ウエハの位置合わせ装置。