JPS6190887A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS6190887A JPS6190887A JP19414284A JP19414284A JPS6190887A JP S6190887 A JPS6190887 A JP S6190887A JP 19414284 A JP19414284 A JP 19414284A JP 19414284 A JP19414284 A JP 19414284A JP S6190887 A JPS6190887 A JP S6190887A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- arm
- handler
- hunt
- arm member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ｊよウェハ搬送装置に１太し、竹に複数枚のウェ
ハを収納するキャリヤからウェハを出し入れする際に都
合良く使用されるウェハ搬送装置に関する。
ハを収納するキャリヤからウェハを出し入れする際に都
合良く使用されるウェハ搬送装置に関する。
一般にウェハに対して加工又は測定をおこなう装置本体
にはウェハを複数枚収納可能なキャリヤが設置されてい
る。ウェハはキャリヤから装置本体に供給され、ここで
加工又は測定を終了した後再びキャリヤに収納され、キ
ャリヤごと次の工程にまわされる。
にはウェハを複数枚収納可能なキャリヤが設置されてい
る。ウェハはキャリヤから装置本体に供給され、ここで
加工又は測定を終了した後再びキャリヤに収納され、キ
ャリヤごと次の工程にまわされる。
従来キャリヤからウェハを搬出又は搬入するた ・
めにベルトコンベア式の搬送装置およびハンド式の搬送
装置が利用されている。第１図は今までに知られている
パンタグラフ式のハンドラーを概略的に示した図である
。このハンドラーは、一端にｊ２けられた軸３を中心と
して回動自在なハンドアーム１と、ハンドアームｌの他
端に軸４を介して同じく回動自在に一端を連結されたハ
ントアーム２と、ハンドアーム２の他端に同じく枢動自
在にｆＪＬ結されたウェハー支Ｉ′ｆ用フィンガー５と
から構成されている。なおハンドラーは、ハントアーム
ｌおよびハントアーム２をそれぞれ対をなすように２木
ずつ有している。
めにベルトコンベア式の搬送装置およびハンド式の搬送
装置が利用されている。第１図は今までに知られている
パンタグラフ式のハンドラーを概略的に示した図である
。このハンドラーは、一端にｊ２けられた軸３を中心と
して回動自在なハンドアーム１と、ハンドアームｌの他
端に軸４を介して同じく回動自在に一端を連結されたハ
ントアーム２と、ハンドアーム２の他端に同じく枢動自
在にｆＪＬ結されたウェハー支Ｉ′ｆ用フィンガー５と
から構成されている。なおハンドラーは、ハントアーム
ｌおよびハントアーム２をそれぞれ対をなすように２木
ずつ有している。
第１図は、ハツトアーム１およびハントアーム２を一直
線状に延ばし、ウェハー力セント６内に収納されたウェ
ハ７の’Ａ ’ＪＩＵにフィンカー５を１ケ置させた状
ＩＥで示したものである。これに対し第２図は軸３の位
置を固定点として軸３に向ってフィンカー５を引込め、
ウェハーカセット６からウェハー７を取り出した状態で
示した図である。ここで７”／ト’７−ム２は、輔３を
中心としたアーム１の回転に従って軸４を中心として折
れ曲がるように回転し、一方このときハツトアーム２の
他端も同しく軸８を中心としてフィンガー５に対して回
転する。最終的にハンドアーム１とハンドアーム２とが
毛なり合い、対をなすアーム同士か直線状に向かい合う
ような（１“１１首まで移動する。
線状に延ばし、ウェハー力セント６内に収納されたウェ
ハ７の’Ａ ’ＪＩＵにフィンカー５を１ケ置させた状
ＩＥで示したものである。これに対し第２図は軸３の位
置を固定点として軸３に向ってフィンカー５を引込め、
ウェハーカセット６からウェハー７を取り出した状態で
示した図である。ここで７”／ト’７−ム２は、輔３を
中心としたアーム１の回転に従って軸４を中心として折
れ曲がるように回転し、一方このときハツトアーム２の
他端も同しく軸８を中心としてフィンガー５に対して回
転する。最終的にハンドアーム１とハンドアーム２とが
毛なり合い、対をなすアーム同士か直線状に向かい合う
ような（１“１１首まで移動する。
上述したハンドラーの構成に依れば、ハンドアームはウ
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを右する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを’Ａ五本体へ
送り込む等の理由にょリウエハを回転させる場合、ハン
トアーム１とハントアーム２とが毛なり合い、対をなす
アーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィ
ンカー面ヒに４＆、置されたウェハの位置を変える必要
がある。このためハンドラーの作動に必要とされる占イ
４面積か広くなってしまう。
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを右する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを’Ａ五本体へ
送り込む等の理由にょリウエハを回転させる場合、ハン
トアーム１とハントアーム２とが毛なり合い、対をなす
アーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィ
ンカー面ヒに４＆、置されたウェハの位置を変える必要
がある。このためハンドラーの作動に必要とされる占イ
４面積か広くなってしまう。
これに加えて従来のハンドラーにおいてはハントアーム
ｌおよびハントアーム２がフィンカーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
ｌおよびハントアーム２がフィンカーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
更に通常キャリヤ内には複数枚のウェハが収納されてい
るが、フィンガーを搬出すべき所望のウェハと隣接する
ウェハとの間に挿入するために、ウェハの位置を正確に
検知する必要がある。そこでウェハハンドラーにウェハ
位置検知機構を組み込んで使用するのが好ましい。
るが、フィンガーを搬出すべき所望のウェハと隣接する
ウェハとの間に挿入するために、ウェハの位置を正確に
検知する必要がある。そこでウェハハンドラーにウェハ
位置検知機構を組み込んで使用するのが好ましい。
それ数本発明の目的は、ウェハ位置検知機構？備えたウ
ェハ搬送装置を提供することにある。
ェハ搬送装置を提供することにある。
次に第３図を８１Ｋ（して未発明の々ｆましい実施例に
ついて説明する０本発明のウェハ搬送装置のハンドラー
は、一端に設けられた軸９を中心とじて回動自在なハン
トアーム１０と、ハントアーム１０の他端に軸１１を介
して同じく回動自在に−嬬を連結されたハンドアーム１
２と、ハンドアーム１２の他端に同じく枢動自在に連結
されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されてい
る。
ついて説明する０本発明のウェハ搬送装置のハンドラー
は、一端に設けられた軸９を中心とじて回動自在なハン
トアーム１０と、ハントアーム１０の他端に軸１１を介
して同じく回動自在に−嬬を連結されたハンドアーム１
２と、ハンドアーム１２の他端に同じく枢動自在に連結
されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されてい
る。
なおハンドラーは、ハンドアーム１０およびハントアー
ム１２をそれぞれ対をなすように２木ずつイ１している
。
ム１２をそれぞれ対をなすように２木ずつイ１している
。
第３図は、ハントアーム１０およびハンドアーム１２を
一直線状に延ばし、ウエハー力セント６内に収容された
ウェハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示し
たものである。これに対し第４図は軸９の位置を固定点
として軸９に向かってフィンガー５を引込め、ウェハー
カセット６からウェハー７を取り出した状態で示した図
である。ここでハントアーム１２は、輔９を中心とした
アーム１０の回転に従って軸１１を中心として折れ曲が
るように回転し、一方このときハントアーム１２の他端
も同じく軸１３を中心としてフィンガー５に対して回転
する。途中アーム１０とアーム１２とが重なり合い、対
をなすアーム同士が直線状に向かい合うような位置（第
２図参照）まで移動する。
一直線状に延ばし、ウエハー力セント６内に収容された
ウェハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示し
たものである。これに対し第４図は軸９の位置を固定点
として軸９に向かってフィンガー５を引込め、ウェハー
カセット６からウェハー７を取り出した状態で示した図
である。ここでハントアーム１２は、輔９を中心とした
アーム１０の回転に従って軸１１を中心として折れ曲が
るように回転し、一方このときハントアーム１２の他端
も同じく軸１３を中心としてフィンガー５に対して回転
する。途中アーム１０とアーム１２とが重なり合い、対
をなすアーム同士が直線状に向かい合うような位置（第
２図参照）まで移動する。
本発明のウェハ搬送−！Ａ置のハンドラーにおいては、
ハンドアーム１２は第２図に示されるような位置からウ
ニバカセントロと離れる方向へ軸１１を中心として回動
する。最終的にハントアーム１０とハンドアーム１２は
第３図の状態と逆の方向に一直線状に延び、フィ／ガ−
５はハツトアーム１０および１２の上方に重なり合うよ
うに位置する。従って本発明のハンドラーの場合、第１
図に示された従来のハンドラーと比べてハントアームの
長さはウェハの所定の移動距離の４分の１で良く極めて
コンパクトなものとなる。又第４図に示されるようにア
ーム１０および１２はその大部分がフィンガー５面上に
伎ｉｔされたウェハ７の真下に位置するため、ウェハ７
を所望の方向に移動させるため一＼ンドラーを回転させ
るとき必要とさ、れる占有面蹟は極めて少なくなる。
ハンドアーム１２は第２図に示されるような位置からウ
ニバカセントロと離れる方向へ軸１１を中心として回動
する。最終的にハントアーム１０とハンドアーム１２は
第３図の状態と逆の方向に一直線状に延び、フィ／ガ−
５はハツトアーム１０および１２の上方に重なり合うよ
うに位置する。従って本発明のハンドラーの場合、第１
図に示された従来のハンドラーと比べてハントアームの
長さはウェハの所定の移動距離の４分の１で良く極めて
コンパクトなものとなる。又第４図に示されるようにア
ーム１０および１２はその大部分がフィンガー５面上に
伎ｉｔされたウェハ７の真下に位置するため、ウェハ７
を所望の方向に移動させるため一＼ンドラーを回転させ
るとき必要とさ、れる占有面蹟は極めて少なくなる。
ここで」二連したようなハントアーム１０およＵ１２の
作動を可能とする機構について第５図を参Ｑ（］、 し
て説明する。
作動を可能とする機構について第５図を参Ｑ（］、 し
て説明する。
軸９はアーム１０と一体的に構成され、軸９の内部には
プーリー１４が組み込まれている。−刃軸１１はアーム
１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー１４
とプーリー１１との間にはタイミングベルト１５が掛は
渡されている。従ってプーリー１４を回転駆動させると
タイミングペル）１５を介してプーリー１１に駆動力が
伝達される。
プーリー１４が組み込まれている。−刃軸１１はアーム
１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー１４
とプーリー１１との間にはタイミングベルト１５が掛は
渡されている。従ってプーリー１４を回転駆動させると
タイミングペル）１５を介してプーリー１１に駆動力が
伝達される。
ここでフィンガー５を軸９に向かう方向へ引き寄せる際
直線的に移動させるためには、アーム１０の傾斜角度と
アーム１０とアーム１２とのなる開き角度とが１．２の
関係を常に維持するようにプーリー１４の駆動力を定め
なければならない。
直線的に移動させるためには、アーム１０の傾斜角度と
アーム１０とアーム１２とのなる開き角度とが１．２の
関係を常に維持するようにプーリー１４の駆動力を定め
なければならない。
第６図および第７図はそれぞれ、ウェハハンドラーにウ
ェハ位置検知機構を組み込んだ本発明の実施例の側面図
および平面図である。前述のとおりカセット６内には複
数枚のウェハ７が収納されているが、フィンカー５を搬
出すべき所望のウェハ７と隣接するウェハ７との間に挿
入するためには、ウェハの位置を正確に検知する必要が
ある。
ェハ位置検知機構を組み込んだ本発明の実施例の側面図
および平面図である。前述のとおりカセット６内には複
数枚のウェハ７が収納されているが、フィンカー５を搬
出すべき所望のウェハ７と隣接するウェハ７との間に挿
入するためには、ウェハの位置を正確に検知する必要が
ある。
そこでウェハハンドラーにウェハ位置検知機構をＭｌみ
込んで使用するのが好ましい、このウェハ位置検知機構
の基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６の裏
側に配置されたミラー１８と、レーザー源１６から出た
レーザー２０をミラー１８に向けて反射させ、一方ミラ
ー１８によって反射されたレーザーを透過させるハーフ
ミラ−１７と、・＼−フミラー１７を透過したレーザー
を検出するためのホトセンサエ９を有している。フィン
ガー５とレーザー光路とのレベルの差による位置補正の
必要をなくすために、フィンガー５とレーザー光路との
レベルを極めて近接させるのが好ましい、レーザーは直
進性がすぐれているためｉＩ！線形状の物体の位置検知
に適しているからである。光源としてレーザー以外の例
えばＬＥＤ等を用いた場合には光源からの光はある程度
の広がりをもつため、この広がった光で位置を検知した
い所望のウェハが光路を遮断することを検出することは
極めて困難である。
込んで使用するのが好ましい、このウェハ位置検知機構
の基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６の裏
側に配置されたミラー１８と、レーザー源１６から出た
レーザー２０をミラー１８に向けて反射させ、一方ミラ
ー１８によって反射されたレーザーを透過させるハーフ
ミラ−１７と、・＼−フミラー１７を透過したレーザー
を検出するためのホトセンサエ９を有している。フィン
ガー５とレーザー光路とのレベルの差による位置補正の
必要をなくすために、フィンガー５とレーザー光路との
レベルを極めて近接させるのが好ましい、レーザーは直
進性がすぐれているためｉＩ！線形状の物体の位置検知
に適しているからである。光源としてレーザー以外の例
えばＬＥＤ等を用いた場合には光源からの光はある程度
の広がりをもつため、この広がった光で位置を検知した
い所望のウェハが光路を遮断することを検出することは
極めて困難である。
これ以外にＴＶ左カメラでウニ／−の断面をみる方法も
考えられるが、ＴＶ左カメラ用いる場合はカメラレンズ
の焦点合わせが必要となる。ところがカセット内に収容
されたウェハはウニ／＼の出し入れ方向においてかなり
位置のバラツキが大きいため正しい焦点合わせができず
、精密な位置検知には適さない、加うるにＴＶ左カメラ
高価で大きく複雑である。
考えられるが、ＴＶ左カメラ用いる場合はカメラレンズ
の焦点合わせが必要となる。ところがカセット内に収容
されたウェハはウニ／＼の出し入れ方向においてかなり
位置のバラツキが大きいため正しい焦点合わせができず
、精密な位置検知には適さない、加うるにＴＶ左カメラ
高価で大きく複雑である。
要するにレーザーを用いたウェハの位置検知法は、光路
が直線的であるために上下の隣、接するウェハによる影
響がないばかりか、焦点合わせも不安であるため収容さ
れたウェハの出し入れ方向に沿った位置のバラツキによ
る検知精度の低下もない。
が直線的であるために上下の隣、接するウェハによる影
響がないばかりか、焦点合わせも不安であるため収容さ
れたウェハの出し入れ方向に沿った位置のバラツキによ
る検知精度の低下もない。
ここで参照番号２１は、フィンガー５をカセット６から
抜き出すためにハンドアーム１０および１２を折り曲げ
るためのハンドアーム伸縮用駆動部である。参照番号２
２はフィンガー５面上に載置されたウェハ７の向きを変
えるためにハンドラーを回転させるとき使用されるハン
ドラー回転用モータである。
抜き出すためにハンドアーム１０および１２を折り曲げ
るためのハンドアーム伸縮用駆動部である。参照番号２
２はフィンガー５面上に載置されたウェハ７の向きを変
えるためにハンドラーを回転させるとき使用されるハン
ドラー回転用モータである。
更に、参照番号２３はハンドラー昇降機構であり、カセ
ット６内に収容された任意の位置のウェハ７を取り出す
ためにフィンガー５の高さを所望のレベルに変えること
ができる。
ット６内に収容された任意の位置のウェハ７を取り出す
ためにフィンガー５の高さを所望のレベルに変えること
ができる。
第１図は従来のハンドラーを延ばした状態で示した図、
第２図は第１図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第３図は本発明の搬送装置のハンドラーを延ばした状態
で示した図。 第４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状ｙムで示し
た図。 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図。 第６図および第７図はそれぞれ、ハンドラーにウェハ位
置検知機構を組み込んだ本発明の実施例の側面図および
平面図である。 ５−ｍ−フインカー ９−一一軸 １０．１２−ｍ−ハントアーム １１．１４−−− プーリー １５−一一タイミノグヘルト 出肪人 キャノン株式会社 第 １０ 躬２図
図、 第３図は本発明の搬送装置のハンドラーを延ばした状態
で示した図。 第４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状ｙムで示し
た図。 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図。 第６図および第７図はそれぞれ、ハンドラーにウェハ位
置検知機構を組み込んだ本発明の実施例の側面図および
平面図である。 ５−ｍ−フインカー ９−一一軸 １０．１２−ｍ−ハントアーム １１．１４−−− プーリー １５−一一タイミノグヘルト 出肪人 キャノン株式会社 第 １０ 躬２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ウェハを面上に載置させるように構成されたウェハ支
持部材と、 前記ウェハ支持部材に枢動可能に連結された対をなす第
１のアーム部材と、 前記対をなす第１のアーム部材に一端を回動自在に連結
された対をなす第２のアーム部材と、ウェハの位置を検
知するためのウェハ位置検知機構とを有し、 前記第１のアーム部材は、前記第２のアーム部材の回動
に従って前記第２のアーム部材に対する連結点を中心と
して回動し、前記第２のアーム部材と重なった後、前と
反対側の方向へ移動可能であることを特徴とするウェハ
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19414284A JPS6190887A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19414284A JPS6190887A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190887A true JPS6190887A (ja) | 1986-05-09 |
Family
ID=16319608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19414284A Pending JPS6190887A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190887A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6324615A (ja) * | 1986-05-16 | 1988-02-02 | シリコン・バレイ・グル−プ・インコ−ポレイテッド | ウェーハ移送方法及び装置 |
| US5049029A (en) * | 1987-09-10 | 1991-09-17 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring a semiconductor wafer or LCD |
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP19414284A patent/JPS6190887A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6324615A (ja) * | 1986-05-16 | 1988-02-02 | シリコン・バレイ・グル−プ・インコ−ポレイテッド | ウェーハ移送方法及び装置 |
| US5049029A (en) * | 1987-09-10 | 1991-09-17 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring a semiconductor wafer or LCD |
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
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