JPS6190903A - ウエハ搬送用ハンドラ - Google Patents
ウエハ搬送用ハンドラInfo
- Publication number
- JPS6190903A JPS6190903A JP19414084A JP19414084A JPS6190903A JP S6190903 A JPS6190903 A JP S6190903A JP 19414084 A JP19414084 A JP 19414084A JP 19414084 A JP19414084 A JP 19414084A JP S6190903 A JPS6190903 A JP S6190903A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- handler
- arm
- finger
- pulley
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/904—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェハ搬送用ハンドラーに関し、特に複数枚の
ウェハを収納するキャリヤからウニ／％を ・出し入
れする際に都合良く使用されるウェハ搬送用ハンドラー
に関する。
ウェハを収納するキャリヤからウニ／％を ・出し入
れする際に都合良く使用されるウェハ搬送用ハンドラー
に関する。
一般にウェハに対して加工又は測定をおこなう装置本体
にはウェハを複数枚収納可能なキャリヤが設置されてい
る。ウェハはキャリヤから装置本体に供給され、ここで
加工又は測定を終了した後再びキャリヤに収納され、キ
ャリヤごと次の工程にまわされる。
にはウェハを複数枚収納可能なキャリヤが設置されてい
る。ウェハはキャリヤから装置本体に供給され、ここで
加工又は測定を終了した後再びキャリヤに収納され、キ
ャリヤごと次の工程にまわされる。
従来キャリヤからウェハを搬出又は搬入するためにベル
トコンベア式の搬送装置および／＼ンド式の搬送装置が
利用されている。第１図は今までに知られているパンタ
グラフ式のハンドラーを概略的に示した図である。この
ハンドラーは、一端に設けられた軸３を中心として回動
自在なハンドアームｌと、ハンドアーム１の他端に軸４
を介して同じく回動自在に一端を連結されたハンドアー
ム２と、ハンドアーム２の他端に同じく枢動自在に連結
されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されてい
る。なおハンドラーは、ハンドアーム１およびハンドア
ーム２をそれぞれ対をなすように２本ずつ有している。
トコンベア式の搬送装置および／＼ンド式の搬送装置が
利用されている。第１図は今までに知られているパンタ
グラフ式のハンドラーを概略的に示した図である。この
ハンドラーは、一端に設けられた軸３を中心として回動
自在なハンドアームｌと、ハンドアーム１の他端に軸４
を介して同じく回動自在に一端を連結されたハンドアー
ム２と、ハンドアーム２の他端に同じく枢動自在に連結
されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されてい
る。なおハンドラーは、ハンドアーム１およびハンドア
ーム２をそれぞれ対をなすように２本ずつ有している。
第１図は、ハンドアーム１およびハンドアーム２を一直
線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収納されたウェ
ハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示したも
のである。これに対し第２図は軸３の位置を固定点とし
て軸３に向ってフィンガー５を引込め、ウェハーカセッ
ト６からウェハー７を取り出した状態で示した図である
。ここでハンドアーム２は、軸３を中心としたアームｌ
の回転に従って軸４を中心として折れ曲がるように回転
し、一方このときハンドアーム２の他端も同じ＜１ｌＩ
８を中心としてフィンガー５に対して回転する。最終的
にハンドアームｌとハンドアーム２とが重なり合い、対
をなすアーム同士が直線状に向かい合うような位置まで
移動する。
線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収納されたウェ
ハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示したも
のである。これに対し第２図は軸３の位置を固定点とし
て軸３に向ってフィンガー５を引込め、ウェハーカセッ
ト６からウェハー７を取り出した状態で示した図である
。ここでハンドアーム２は、軸３を中心としたアームｌ
の回転に従って軸４を中心として折れ曲がるように回転
し、一方このときハンドアーム２の他端も同じ＜１ｌＩ
８を中心としてフィンガー５に対して回転する。最終的
にハンドアームｌとハンドアーム２とが重なり合い、対
をなすアーム同士が直線状に向かい合うような位置まで
移動する。
上述したハンドラーの構成に依れば、ハンドアームはウ
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを有する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを装置本体へ送
り込む等の理由によりウェハを回転させる場合、ハンド
アームｌとハンドアーム２とが重なり合い、対をなすア
ーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィン
ガー面上に載置されたウェハの位置を変える必要がある
。このためハンドラーの作動に必要とされる占有面積が
広くなってしまう。
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを有する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを装置本体へ送
り込む等の理由によりウェハを回転させる場合、ハンド
アームｌとハンドアーム２とが重なり合い、対をなすア
ーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィン
ガー面上に載置されたウェハの位置を変える必要がある
。このためハンドラーの作動に必要とされる占有面積が
広くなってしまう。
これに加えて従来のハンドラーにおいてはハンドアーム
１およびハンドアーム２がフィンガーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
１およびハンドアーム２がフィンガーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
それ数本発明の目的は、ハンドアームの長さを短くした
コンパクトなハンドラーを提供することにある。
コンパクトなハンドラーを提供することにある。
更に本発明の他の目的は、ハンドアームの折れ曲がり形
式を工夫することによってハンドラーの回転等の作動に
必要とされる占有面積を極めて減少させることができる
ハンドラーを提供することにある。
式を工夫することによってハンドラーの回転等の作動に
必要とされる占有面積を極めて減少させることができる
ハンドラーを提供することにある。
次に第３図を参照して本発明の好ましい実施例について
説明する０本発明のハンドラーは、一端に設けられた軸
９を中心として回動自在なハンドアーム１０と、ハンド
アーム１０の他端に軸１１を介して同じく回動自在に一
端を連結されたハンドアーム１２と、ハンドアーム１２
の他端に同じく枢動自在に連結されたウェハー支持用フ
ィンガー５とから構成されている。なおハンドラーは、
ハンドアーム１０およびハンドアーム１２をそれぞれ対
をなすように２本ずつ有している。
説明する０本発明のハンドラーは、一端に設けられた軸
９を中心として回動自在なハンドアーム１０と、ハンド
アーム１０の他端に軸１１を介して同じく回動自在に一
端を連結されたハンドアーム１２と、ハンドアーム１２
の他端に同じく枢動自在に連結されたウェハー支持用フ
ィンガー５とから構成されている。なおハンドラーは、
ハンドアーム１０およびハンドアーム１２をそれぞれ対
をなすように２本ずつ有している。
＄３図は、ハンドアーム１０およびハンドアーム１２を
一直線状に延ばし、ウェハー カセット６内に収容され
たウェハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示
したものである。これに対し第４図は軸９の位置を固定
点として軸９に向かってフィンガー５を引込め、ウェハ
ーカセット６からウェハー７を取り出した状態で示した
図である。ここでハンドアーム１２は、軸９を中心とし
たアーム１０の回転に従って軸１１を中心として折れ曲
がるように回転し、一方このときハンドアーム１２の他
端も同じく軸１３を中心としてフィンガー５に対して回
転する。途中アーム１０とアーム１２とが重なり合い、
対をなすアーム同士が直線状に向かい合うような位置（
第２図参照）まで移動する。
一直線状に延ばし、ウェハー カセット６内に収容され
たウェハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示
したものである。これに対し第４図は軸９の位置を固定
点として軸９に向かってフィンガー５を引込め、ウェハ
ーカセット６からウェハー７を取り出した状態で示した
図である。ここでハンドアーム１２は、軸９を中心とし
たアーム１０の回転に従って軸１１を中心として折れ曲
がるように回転し、一方このときハンドアーム１２の他
端も同じく軸１３を中心としてフィンガー５に対して回
転する。途中アーム１０とアーム１２とが重なり合い、
対をなすアーム同士が直線状に向かい合うような位置（
第２図参照）まで移動する。
本発明のハンドラーにおいては、ハンドアーム１２は第
２図に示されるような位置からウェハカセット６と離れ
る方向へ軸１１を中心として・回動する。最終的にハン
ドアームｌＯとハンドアーム１２は第３図の状態と逆の
方向に一直線状に延び、フィンガー５はハンドアーム１
０および１２の上方に重なり合うように位置する。従っ
て本発明のハンドラーの場合、第１図に示された従来の
ハンドラーと比べてハンドアームの長さはウニＩ゛の所
定の移動距離の４分の１で良く極めてコンパクトなもの
となる。又第４図に示されるようにアームｌＯおよび１
２はその大部分がフィンガー５面上に載置されたウェハ
７の真下に位置するため、ウェハ７を所望の方向に移動
させるためハンドラーを回転させるとき必要とされる占
有ｒｆＩ積は極めて少なくなる。
２図に示されるような位置からウェハカセット６と離れ
る方向へ軸１１を中心として・回動する。最終的にハン
ドアームｌＯとハンドアーム１２は第３図の状態と逆の
方向に一直線状に延び、フィンガー５はハンドアーム１
０および１２の上方に重なり合うように位置する。従っ
て本発明のハンドラーの場合、第１図に示された従来の
ハンドラーと比べてハンドアームの長さはウニＩ゛の所
定の移動距離の４分の１で良く極めてコンパクトなもの
となる。又第４図に示されるようにアームｌＯおよび１
２はその大部分がフィンガー５面上に載置されたウェハ
７の真下に位置するため、ウェハ７を所望の方向に移動
させるためハンドラーを回転させるとき必要とされる占
有ｒｆＩ積は極めて少なくなる。
ここで上述したようなハンドアー、４１０およびｌ２の
作動を可能とする機構について第５図を参照して説明す
る。アーム１０の軸９側には固定式のプーリー１４が配
置されており、このプーリー１４は、アーム１０が軸の
まわりに回動する場合にも不動である。一方軸１１はア
ーム１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー
１４とプーリー１１との間にはタイミングベル）１５が
掛け渡されている。アーム１０を軸９を中心として回動
させるとタイミングベルト１５とプーリー１１とは相対
的に移動し、これによってアーム１２は軸１１を中心と
して折れ曲がるように移動する。
作動を可能とする機構について第５図を参照して説明す
る。アーム１０の軸９側には固定式のプーリー１４が配
置されており、このプーリー１４は、アーム１０が軸の
まわりに回動する場合にも不動である。一方軸１１はア
ーム１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー
１４とプーリー１１との間にはタイミングベル）１５が
掛け渡されている。アーム１０を軸９を中心として回動
させるとタイミングベルト１５とプーリー１１とは相対
的に移動し、これによってアーム１２は軸１１を中心と
して折れ曲がるように移動する。
ここでフィンガー５を軸９に向かう方向へ引き寄せる際
直線的に移動させるためには、プーリー１４とプーリー
１１の直径の比が２＝１とならなければならない。
直線的に移動させるためには、プーリー１４とプーリー
１１の直径の比が２＝１とならなければならない。
第６図および第７図はそれぞれ１本発明のウェハハンド
ラーにウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図
および平面図である。＃述のとおりカセット６内には複
数枚のウェハ７が収納されているが、フィンガー５を搬
出すべき所望のウェハ７と隣接するウェハ７との間に挿
入するためには、ウェハの位置を正確に検知する必要が
ある。
ラーにウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図
および平面図である。＃述のとおりカセット６内には複
数枚のウェハ７が収納されているが、フィンガー５を搬
出すべき所望のウェハ７と隣接するウェハ７との間に挿
入するためには、ウェハの位置を正確に検知する必要が
ある。
そこでウェハハンドラーにウェハ位置検知機構を組み込
んで使用するのが好ましい、このウェハ位置検知機構の
基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６の裏側
に配置されたミラー１８と、レーザー源１６から出たレ
ーザー２０をミラー１８に向けて反射させ、一方ミラー
１８によって反射されたレーザーを透過させるハーフミ
ラ−１７と、ハーフミラ−１７を透過したレーザーを検
出するためのホトセンサ１９を有している。フィンガー
５とレーザー光路とのレベルの差による位置補正の必要
をなくすために、フィンガー５とレーザー光路とのレベ
ルを極めて近接させるのが好ましい、レーザーは直進性
がすぐれているため直線形状の物体の位置検知に適して
いるからである。光源としてレーザー以外の例えばＬＥ
Ｄ等を用いた場合には光源からの光はある程度の広がり
をもつため、この広がった光で位置を検知したい所望の
ウェハが光路を遮断することを検出することは極めて困
難である。
んで使用するのが好ましい、このウェハ位置検知機構の
基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６の裏側
に配置されたミラー１８と、レーザー源１６から出たレ
ーザー２０をミラー１８に向けて反射させ、一方ミラー
１８によって反射されたレーザーを透過させるハーフミ
ラ−１７と、ハーフミラ−１７を透過したレーザーを検
出するためのホトセンサ１９を有している。フィンガー
５とレーザー光路とのレベルの差による位置補正の必要
をなくすために、フィンガー５とレーザー光路とのレベ
ルを極めて近接させるのが好ましい、レーザーは直進性
がすぐれているため直線形状の物体の位置検知に適して
いるからである。光源としてレーザー以外の例えばＬＥ
Ｄ等を用いた場合には光源からの光はある程度の広がり
をもつため、この広がった光で位置を検知したい所望の
ウェハが光路を遮断することを検出することは極めて困
難である。
これ以外にＴＶカメラ等でウェハの断面をみる方法も考
えられるが、ＴＶカメラを用いる場合はカメラレンズの
焦点合わせが必要となる。ところがカセット内に収容さ
れたウェハはウェハの出し入れ方向においてかなり位置
のバラツキが大きいため正しい焦点合わせができず、精
密な位置検知には適さない、加うるにＴＶカメラは高価
で大きく複雑である。
えられるが、ＴＶカメラを用いる場合はカメラレンズの
焦点合わせが必要となる。ところがカセット内に収容さ
れたウェハはウェハの出し入れ方向においてかなり位置
のバラツキが大きいため正しい焦点合わせができず、精
密な位置検知には適さない、加うるにＴＶカメラは高価
で大きく複雑である。
要するにレーザーを用いたウェハの位置検知法は、光路
が直線的であるために上下の隣接するウェハによる影響
がないばかりか、焦点合わせも不要であるため収容され
たウェハの出し入れ方向に沿った位置のバラツキによる
検ＩＢ精度の低下もない。
が直線的であるために上下の隣接するウェハによる影響
がないばかりか、焦点合わせも不要であるため収容され
たウェハの出し入れ方向に沿った位置のバラツキによる
検ＩＢ精度の低下もない。
ここで参照番号２１は、フィンガー５をカセット６から
抜き出すためにハンドアーム１０および１２を折り曲げ
るためのハンドアーム伸縮用駆動部である。参照番号２
２はフィンガー５面上に載置されたウェハ７の向きを変
えるためにハンドラーを回転させるとき使用されるハン
ドラー回転用モータである。
抜き出すためにハンドアーム１０および１２を折り曲げ
るためのハンドアーム伸縮用駆動部である。参照番号２
２はフィンガー５面上に載置されたウェハ７の向きを変
えるためにハンドラーを回転させるとき使用されるハン
ドラー回転用モータである。
更に参照番号２３はハンドラー昇降機構であり、カセッ
ト６内に収容された任意の位置のウェハ７を取り出すた
めにフィンガー５の高さを所望のレベルに変えることが
できる。
ト６内に収容された任意の位置のウェハ７を取り出すた
めにフィンガー５の高さを所望のレベルに変えることが
できる。
第１図は従来のハンドラーを延ばした状態で示した図、
第２図は第１図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第３図は本発明のハンドラーを延ばした状態で示した図
、 ８４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図。
図、 第３図は本発明のハンドラーを延ばした状態で示した図
、 ８４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図。
第６図および第７図はそれぞれ１本発明のハンドラーに
ウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図および
平面図である。
ウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図および
平面図である。
５−−−フィンガー
９− 軸
１０．１２−−−ハンドアーム
１１．１４−−−プーリー
１５−ｍ−タイミングベルト
第 １品
第２図
手続補正書（自発）
特許庁長官 志 賀 学 殿
！、事件の表示
昭和５９年特許願第１９４１４０号
２、発明の名称
ウェハ搬送用ハンドラ
３、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住所 東京都大田区下丸子３−３０−２名称 （１００
）キャノン株式会社 代表者 賀 来 龍 三 部 （他１名）４、代
理人 居所 〒１４８東京都大田区下丸子３−３０−２５、補
正の対象 明 細 書 ６、補正の内容 （１）明細書の記載を以下の通り補正する。
）キャノン株式会社 代表者 賀 来 龍 三 部 （他１名）４、代
理人 居所 〒１４８東京都大田区下丸子３−３０−２５、補
正の対象 明 細 書 ６、補正の内容 （１）明細書の記載を以下の通り補正する。
（２）明細１１第７頁下から５行目の記載「ならない、
」を以下の通り補正する。
」を以下の通り補正する。
「ならない。
なお第５図に示された実施例においては。
タイミングベルトとタイミングベルト用歯車の組合わせ
としたが、アーム１２がアームｌＯと重なった後、前と
反対側の方向へ移動できるようにさせるものであれば、
チェーンとチェーン用歯車の組合わせでも良い、」（３
）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。
としたが、アーム１２がアームｌＯと重なった後、前と
反対側の方向へ移動できるようにさせるものであれば、
チェーンとチェーン用歯車の組合わせでも良い、」（３
）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。
特許請求の範囲
ウニ八を面上に載置させるように構成されたウェハ支持
部材と。
部材と。
前記ウェハ支持部材に枢動可能に連結された対をなす第
１のアーム部材と。
１のアーム部材と。
前記対をなす第１のアーム部材に対して一端を回動自在
に連結された対をなす第２のアーム部材と。
に連結された対をなす第２のアーム部材と。
前記対をなす第１のアーム部材の端に取り付けられた第
１のりと。
１のりと。
前記対をなす第２のアーム部材の端に取り付けられた第
２の歯車と。
２の歯車と。
前記第１のＩとｔｓ２のりのまわりに掛け渡された調時
部材とを有するウェハ搬送用ハンドラ。
部材とを有するウェハ搬送用ハンドラ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ウェハを面上に載置させるように構成されたウェハ支
持部材と、 前記ウェハ支持部材に枢動可能に連結された対をなす第
１のアーム部材と、 前記対をなす第１のアーム部材に対して一端を回動自在
に連結された対をなす第２のアーム部材と、 前記対をなす第１のアーム部材の端に取り付けられた第
１のプーリーと、 前記対をなす第２のアーム部材の端に取り付けられた第
２のプーリーと、 前記第１のプーリーと第２のプーリーのまわりに掛け渡
されたベルトとを有するウェハ搬送用ハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19414084A JPS6190903A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ搬送用ハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19414084A JPS6190903A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ搬送用ハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190903A true JPS6190903A (ja) | 1986-05-09 |
Family
ID=16319573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19414084A Pending JPS6190903A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | ウエハ搬送用ハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190903A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5049029A (en) * | 1987-09-10 | 1991-09-17 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring a semiconductor wafer or LCD |
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP19414084A patent/JPS6190903A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5049029A (en) * | 1987-09-10 | 1991-09-17 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring a semiconductor wafer or LCD |
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
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