KR101967372B1 - 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 기술적 사상은 제품의 외관, 특히 육면체 구조의 제품의 외관을 정밀하고 신속하게 검사할 수 있는 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법을 제공한다. 그 검사 장치는 물리적으로 분리되고 독립적으로 동작하는 투입 스테이지와 플립/배출 스테이지를 포함함으로써, 소정 단계에서 투입 스테이지와 플립/배출 스테이지에 서로 다른 검사 대상들이 배치되도록 할 수 있다. 그에 따라, 본 발명의 기술적 사상에 의한 검사 장치는 플립/배출 스테이지에서 하나의 검사 대상의 검사 후에 투입 스테이지에 대기하고 있는 다른 검사 대상을 바로 검사할 수 있다.

Description

검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법{Inspection apparatus, and inspection method using the same apparatus}

본 발명의 기술적 사상은 검사 장치에 관한 것으로, 특히 제품의 외관을 검사하는 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 휴대폰, 디지털 카메라, 전화기 등 각종 전자제품의 케이스에는, 다양한 문양이나 심볼이 각인 또는 인쇄를 통해 형성되며, 그 재질 또한 플라스틱재, 금속재, 세라믹 등 다양한 재질로 제작된다. 이러한 케이스의 표면에는 코팅이나 생산 및 운반과정 중에 스크래치나 찍힘을 포함하는 결함이 발생 될 수 있고, 이와 같이 결함이 발생한 케이스를 전자기기의 제작에 사용할 경우에는 제품의 신뢰도가 하락할 수 있다. 따라서, 케이스는 표면의 결함의 발생 여부를 검사하는 외관 검사과정이 요구되고, 일반적으로 육안을 통해 외관 검사가 수행될 수 있다. 그러나 육안에 의한 외관 검사는 작업성이 떨어지고, 또한, 실수에 의해 결함을 찾지 못하는 문제점이 발생할 수 있다.

한편, 이송 벨트에 케이스를 안치시켜 일 방향으로 이송시키면서, 이송 벨트의 외측에 설치된 복수의 카메라가 상기 케이스를 다각도로 촬영하여 케이스 각 면의 영상을 획득하고 그 영상을 분석함으로써, 케이스의 결함 발생 여부를 검사할 수 있다. 그러나 이러한 이송 벨트 및 카메라를 이용한 검사 장치는 많은 수의 카메라들을 포함하여 비용적으로 불리하고, 또한 이송 벨트의 정 위치에 케이스가 안착하지 않는 경우, 정밀한 영상 획득이 어렵고, 그에 따라 결함 여부 판독에도 에러가 발생할 수 있다.

본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 과제는 제품의 외관, 특히 육면체 구조의 제품의 외관을 정밀하고 신속하게 검사할 수 있는 검사 장치를 제공하는 데에 있다.

또한, 본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 과제는 상기 장비를 이용하여 제품의 외관 검사의 프로세스를 최적화하여 제품의 외관을 정밀하고 신속하게 검사할 수 있는 검사 방법을 제공하는 데에 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 기술적 사상은 투입된 제1 검사 대상을 검사 위치로 이송시키며, 상기 검사 위치에서 상기 제1 검사 대상의 앞면 또는 뒷면이 검사되도록 하는 제1 스테이지(stage); 및 상기 제1 스테이지에 인접하여 배치되고 상기 제1 스테이지로부터 상기 제1 검사 대상을 이송 받거나 상기 제1 스테이지로 상기 제1 검사 대상을 이송하며, 상기 제1 검사 대상을 회전시켜 상기 제1 검사 대상의 측면들이 검사되도록 하는 제2 스테이지;를 포함하고, 상기 제1 검사 대상은, 상기 제1 스테이지로부터 상기 제2 스테이지로의 제1 이송, 상기 제2 스테이지로부터 상기 제1 스테이지로의 제2 이송, 및 상기 제1 스테이지로부터 상기 제2 스테이지로의 제3 이송의 순서로 이송되고, 상기 제3 이송 후 상기 제1 검사 대상이 상기 제2 스테이지에 있을 때 제2 검사 대상이 상기 제1 스테이지에 투입되는, 검사 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 스테이지는, 제1 고정 레일과 제1 이동 레일을 구비한 제1 레일부를 포함하고, 상기 제2 스테이지는, 제2 고정 레일과 제2 이동 레일을 구비한 제2 레일부를 포함하며, 상기 제1 이동 레일의 동작에 의해 상기 제1 고정 레일과 제1 이동 레일의 사이의 폭이 조절되고, 상기 제2 이동 레일의 동작에 의해 상기 제2 고정 레일과 제2 이동 레일의 사이의 폭이 조절되며, 상기 제1 이동 레일과 상기 제2 이동 레일은 서로 독립적으로 동작할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 스테이지는, 상기 앞면 또는 뒷면이 상방을 향하는 자세에서, 상기 앞면 또는 뒷면에 평행하게 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 방향 전환부를 포함하고, 상기 제2 스테이지는, 상기 앞면 또는 뒷면이 상방을 향하는 자세에서 상기 제1 검사 대상의 측면이 상방을 향하도록 하거나, 또는 상기 측면이 상방을 향하는 자세에서 상기 측면의 반대되는 측면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 플리퍼(flipper)를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 검사 대상은, 상기 제1 이송에서 상기 제1 레일부에 의해 상기 검사 위치에서 상기 플리퍼로 이동하고, 상기 제2 이송 전에 상기 플리퍼에서 회전하며, 상기 제2 이송에서 상기 제1 레일부에 의해 상기 플리퍼로부터 상기 방향 전환부로 이동하고, 상기 제3 이송 전에 상기 방향 전환부에서 회전한 후 상기 제1 레일부에 의해 상기 방향 전환부로부터 상기 검사 위치로 이동하며, 상기 제3 이송에서 상기 제1 레일부에 의해 상기 검사 위치에서 상기 플리퍼로 이동하고, 상기 제3 이송 후 상기 플리퍼에서 회전하며, 상기 제1 검사 대상은 상기 플리퍼에 의한 회전 후 상기 제2 레일부에 의해 상기 제2 스테이지로부터 배출되며, 상기 제2 검사 대상은 상기 제1 검사 대상이 상기 제2 스테이지로부터 배출되기 전에 상기 제1 스테이지로 투입될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 플리퍼는 상기 제1 검사 대상을 상승 또는 하강하면서 회전시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 플리퍼는, 상기 측면이 상방을 향하는 자세에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 소정 각도 내에서 상기 제1 검사 대상을 회전시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 플리퍼는 무한 회전이 가능하도록 슬립 링(slip ring) 구조를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 플리퍼는 상기 제1 검사 대상에 밀착되어 상기 제1 검사 대상을 고정하기 위한 클램프 플레이트를 포함하되, 상기 클램프 플레이트는 2개로 분리된 구조를 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 검사 대상으로부터 반사된 광을 수광하여 상기 제1 검사 대상을 검사하는 적어도 하나의 검사부를 포함하고, 상기 검사부가 이동하면서 상기 제1 스테이지에서의 상기 제1 검사 대상의 앞면 또는 뒷면 검사와, 상기 제2 스테이지에서의 상기 제1 검사 대상의 측면들의 검사를 수행할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 검사 장치는 2개가 인접하여 배치되고, 상기 검사부가 2개의 상기 검사 장치들 사이를 이동하면서 검사를 수행할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 검사부는 패턴 조명을 이용하여 상기 제1 검사 대상을 검사할 수 있다.

또한, 본 발명의 기술적 사상은 상기 과제를 해결하기 위하여, 투입된 제1 검사 대상을 검사 위치로 이송시키며, 상기 검사 위치에서 상기 제1 검사 대상의 제1 면이 검사되도록 하는 제1 스테이지; 및 상기 제1 스테이지에 인접하여 배치되고 상기 제1 스테이지로부터 상기 제1 검사 대상을 이송 받거나 상기 제1 스테이지로 상기 제1 검사 대상을 이송하며, 상기 제1 검사 대상을 회전시켜 상기 제1 면과 다른 상기 제1 검사 대상의 제2 면이 검사되도록 하는 제2 스테이지;를 포함하고, 상기 제1 검사 대상이 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지의 사이를 왕복하되, 상기 제1 스테이지로부터 상기 제2 스테이지로 최종 이송되어 상기 제2 스테이지에 있을 때, 제2 검사 대상이 상기 제1 스테이지에 투입되는, 검사 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 스테이지는, 제1 고정 레일과 제1 이동 레일을 구비한 제1 레일부, 및 상기 제1 면의 법선을 축으로 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 방향 전환부를 포함하고, 상기 제2 스테이지는, 제2 고정 레일과 제2 이동 레일을 구비한 제2 레일부, 및 상기 제2 고정 레일이 연장하는 방향과 수직으로 교차하고 상기 제1 면에 평행한 직선을 축으로 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 플리퍼를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 검사 대상은, 상기 제1 레일부에 의해 상기 검사 위치에서 상기 플리퍼로 이동하고, 상기 플리퍼에서 회전하며, 상기 제1 레일부에 의해 상기 플리퍼로부터 상기 방향 전환부로 이동하여 상기 방향 전환부에서 회전하며, 상기 제1 레일부에 의해 검사 위치로 이동하고 상기 플리퍼로 이동하는 순서로 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지를 왕복하며, 상기 제1 검사 대상은 상기 최종 이송된 후에 상기 플리퍼에서 회전하고, 상기 제2 레일부에 의해 상기 제2 스테이지로부터 배출되며, 상기 제2 검사 대상은 상기 제1 검사 대상이 상기 제2 스테이지로부터 배출되기 전에 상기 제1 스테이지로 투입될 수 있다.

더 나아가, 본 발명의 기술적 사상은 상기 과제를 해결하기 위하여, 제1 스테이지와 제2 스테이지를 구비한 검사 장치의 상기 제1 스테이지에 앞면이 상방을 향하도록 제1 검사 대상을 투입하는 단계; 검사부를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 앞면을 검사하는 단계; 상기 제1 검사 대상을 상기 제2 스테이지로 이동시키고, 플리퍼를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 4개의 측면들 중 제1 측면과 상기 제1 측면에 반대되는 제3 측면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키며, 상기 검사부를 이용하여 상기 제1 측면과 제3 측면을 검사하는 단계; 상기 플리퍼를 이용하여 상기 앞면에 반대되는 뒷면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키고, 상기 제1 검사 대상을 상기 제1 스테이지의 방향 전환부로 이동시키며, 상기 방향 전환부를 이용하여 상기 제1 검사 대상을 상기 뒷면에 평행하게 회전시키는 단계; 상기 검사부를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 뒷면을 검사하는 단계; 및 상기 제1 검사 대상을 상기 제2 스테이지로 이동시키고, 플리퍼를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 4개의 측면들 중 제2 측면과 상기 제2 측면에 반대되는 제4 측면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키며, 상기 검사부를 이용하여 상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계;를 포함하고, 상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계에서, 제2 검사 대상을 상기 제1 스테이지에 투입하여 대기시키는, 검사 방법을 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 측면과 제3 측면을 검사하는 단계, 및 상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계에서, 상기 플리퍼는 상기 제1 검사 대상을 상승 또는 하강하면서 회전시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 플리퍼는, 상기 제1 측면 내지 제4 측면 중 어느 한 측면이 상방을 향하는 자세에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 소정 각도 내에서 상기 제1 검사 대상을 회전시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 스테이지는, 제1 고정 레일과 제1 이동 레일을 구비한 제1 레일부를 포함하고, 상기 제2 스테이지는, 제2 고정 레일과 제2 이동 레일을 구비한 제2 레일부를 포함하며, 상기 제1 이동 레일과 상기 제2 이동 레일이 서로 독립적으로 동작하여, 상기 제1 고정 레일과 제1 이동 레일 사이의 제1 폭과 상기 제2 고정 레일과 제2 이동 레일 사이의 제2 폭이 서로 다르게 될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계에서, 상기 제1 검사 대상의 상기 제2 측면과 제4 측면의 검사가 완료되면 상기 제1 검사 대상은 상기 제2 스테이지로부터 배출되고, 상기 제2 측면과 제4 측면의 검사가 완료되면 바로 상기 제2 검사 대상의 앞면 검사를 수행할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 검사 장치는 2개가 인접하여 배치되고, 상기 검사부는 2개의 상기 검사 장치들 사이를 이동하면서 검사를 수행하며, 2개의 상기 검사 장치들 중 어느 하나에서 상기 검사부에 의한 검사 동작이 수행될 때, 다른 하나에서 검사 대상의 이동 동작이 수행될 수 있다.

본 발명의 기술적 사상에 의한 검사 장치는 물리적으로 분리되고 독립적으로 동작하는 제1 스테이지와 제2 스테이지를 포함함으로써, 소정 단계에서 제1 스테이지와 제2 스테이지에 서로 다른 검사 대상이 배치되도록 할 수 있다. 그에 따라, 본 발명의 기술적 사상에 의한 검사 장치는 제2 스테이지에서 하나의 검사 대상의 검사 후에 제1 스테이지에 대기하고 있는 다른 검사 대상을 바로 검사할 수 있도록 함으로써, 검사 대상에 대한 신속하고 정확한 외관 검사를 수행할 수 있다.

또한, 본 발명의 기술적 사상에 의한 검사 방법은, 상기 검사 장치를 이용함으로써, 검사 대상에 대한 외관 검사를 보다 신속하고 정확하게 수행할 수 있다. 예컨대, 제1 스테이지에서 앞면 검사, 제2 스테이지의 플리퍼에서 첫 번째 측면 검사, 제1 스테이지에서 뒷면 검사, 그리고 다시 플리퍼에서 두 번째 측면 검사를 하는 순서로 검사 대상에 대한 외관 검사가 진행될 때, 제1 검사 대상에 대한 두 번째 측면 검사를 수행할 때, 이미 제2 검사 대상을 제1 스테이지의 표면 검사 위치에 대기시킴으로써, 제1 검사 대상의 두 번째 측면 검사가 완료되면 바로 제2 검사 대상에 대한 앞면 검사를 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상에 의한 검사 방법은 제1 검사 대상의 배출과, 제2 검사 대상의 투입 및 표면 검사 위치로의 이동 시간만큼 검사 시간을 단축할 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 보여주는 사시도 및 평면도이다.
도 3은 도 1의 검사 장치에 검사 대상이 실제로 배치된 구조를 보여주는 사시도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예들에 따른 검사부들의 작용과 검사 대상들의 위치 관계를 나타낸 측면도들이다.
도 5 및 도 6은 도 1의 검사 장치의 플리퍼 부분을 좀더 상세하게 보여주는 사시도들이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 방법을 개략적으로 보여주는 흐름도이다.
도 9a 내지 도 9h는 도 8의 검사 방법을 도 1의 검사 장치에 적용하여 보여주는 사시도들이다.
도 10은 도 1의 검사 장치에서, 검사 대상의 측면들의 경사면을 검사하는 원리를 설명하기 위한 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 12a 내지 도 12f는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 이용하여 검사 대상을 검사하는 방법을 나타낸 측면도들이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 2개의 검사 장치를 구비한 시스템에 대한 사시도이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 통상의 기술자에게 본 발명의 기술적 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.

이하의 설명에서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 연결된다고 기술될 때, 이는 다른 구성 요소와 바로 연결될 수도 있지만, 그 사이에 제3의 구성 요소가 개재될 수도 있다. 유사하게, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 상부에 존재한다고 기술될 때, 이는 다른 구성 요소의 바로 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 제3의 구성 요소가 개재될 수도 있다. 또한, 도면에서 각 구성 요소의 구조나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되었고, 설명과 관계없는 부분은 생략되었다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 한편, 사용되는 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(1000)를 개략적으로 보여주는 사시도 및 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 검사 장치(1000)는 크게 제1 스테이지(100) 부분과, 및 제2 스테이지(200) 부분을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 제1 스테이지(100)는 투입 스테이지(entry stage)일 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 제2 스테이지(200)는 플립/배출 스테이지(flip/exit stage)일 수 있다.

제1 스테이지(100)는 검사 대상(S)이 투입되고, 표면 검사 위치(132)에서 검사부(도 9a의 300 참조)에 의해 검사 대상(S)의 제1면(F1) 및/또는 제2면(F2)의 검사가 수행되는 부분일 수 있다. 여기서, 검사 대상(S)은 인라인(In-Line)방식으로 생산되는 중에 외관 검사가 요구되는 미완성품일 수도 있고 공정을 모두 거친 완성품일 수도 있다. 이에 따라, 검사 장치(1000)는 인라인 설비들 중에 검사 대상을 제조하기 위한 특정 공정 설비 다음에 구비될 수 있으며, 검사 장치(1000)는 검사 대상(S)이 상기 특정 공정 설비에서 배출된 직후에 검사 대상(S)의 외관을 정해진 다수의 방향에서 검사할 수 있다.

예컨대, 검사 대상(S)은 정밀 가공 공정(CNC)을 통해 제작된 메탈 제품일 수 있다. 또한, 검사 대상(S)은 임의의 3차원 형상을 가지며, 각 검사 대상(S)에 관하여 편의적이거나, 기능적이거나 또는 관념적으로 제1면(F1)이 정해지면, 이 제1면(F1)에 대해 대체로 반대 방향에 제2면(F2)이, 그리고 제1면(F1)과 제2면(F2)의 사이에 측면들이 각각 정의될 수 있다. 다시 말해, 본 명세서에서 검사 대상(S)의 제1면(F1), 제2면(F2) 또는 측면들은 각각 3차원 공간 상에서 편의적이거나, 기능적이거나 또는 관념적으로 결정된 다수의 방향들의 각각에서 바라본 검사 대상(S)의 부분적 외관을 의미할 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 중립적이고 안정적인 자세로 검사 대상(S)이 검사 장치(1000)에 투입될 때에, 상방에서 보이는 검사 대상(S)의 외관이 제1면으로 정의될 수 있으며, 그러한 제1면(F1)을 기준으로 제2면(F2)과 측면들이 각각 결정될 수 있다. 또한 측면들은 검사 대상(S)이 검사 장치(1000)에 투입될 때의 제1 스테이지(100)의 폭에 상응하는 제1 폭(W1)을 가지는 측면들과, 제1 폭(W1)의 방향과 상이한 방향의 폭인 제2 폭(W2)을 가지는 측면들로 각각 구분될 수 있다. 이러한 맥락에서, 검사 대상(S)이 검사 장치(1000)에 투입되는 방향을 검사 대상(S)의 길이 방향이라 하고, 그 길이 방향에 직교하는 방향을 검사 대상의 폭 방향이라 할 수 있다.상기 길이 방향과 상기 폭 방향은 반드시 직교하지 않을 수도 있다. 즉, 이러한 제1면(F1), 제2면(F2) 또는 측면들은 각각의 상응하는 방향들이 서로 직교할(orthogonal) 수 있어서 실질적으로 중첩되지 않을 수도 있지만, 경우에 따라서는 제1면(F1)과 측면들의 경계, 제2면(F2)과 측면들의 경계, 측면들 각각의 경계는 모호하며(blended) 중첩적일 수 있다.

일부 실시예들에 있어서, 검사 대상(S)은 육면체 구조, 또는 그에 근사될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 검사 대상(S)은 x-y 평면 상으로 장변과 단변을 갖는 직사각형 형태를 가지며, z 축 방향으로 소정 두께를 갖는 육면체 구조를 가질 수 있다. 검사 대상(S)이 육면체 구조, 또는 그에 근사될 수 있는 구조를 갖는 경우, 본 실시예의 검사 장치(1000)는 6면 검사 장치일 수 있다. 물론, 검사 대상(S)의 재질이 메탈에 한정되거나, 또는 검사 대상(S)의 구조가 육면체에 한정되는 것은 아니다.

제1 스테이지(100)는 제1 레일부(110), 방향 전환부(120), 및 클램프(130)를 포함할 수 있다.

제1 레일부(110)로 검사 대상(S)이 투입될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 제1 레일부(110)는 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114)을 구비할 수 있다. 제1 고정 레일(112)은 고정된 레일이고, 제1 이동 레일(114)은 이동 가능한 레일일 수 있다. 예컨대, 제1 이동 레일(114)이, 예컨대 제1 화살표(a1)로 표시된 방향(즉, +y 방향 또는 -y 방향)으로 이동하여, 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114) 사이의 간격이 검사 대상(S)의 폭에 맞도록 조절될 수 있다. 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114) 각각에는 이송 벨트(115)가 구비될 수 있다. 상기 이송 벨트(115)는 검사 대상(S)이 그 위에 안착되어 이송 벨트(115)의 이동에 따라 검사 대상(S)도 함께 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 상기 이송 벨트(115)는 제1 고정 레일(112), 제1 이동 레일(114), 제2 고정 레일(212), 및/또는 제2 이동 레일(214)의 각각을 따라 하나 이상의 궤도를 이루는 띠의 형태를 가질 수 있다. 하지만 본 발명이 이러한 이송 벨트(115)에 한정되는 것은 아니고 다른 이송 수단을 이용하여 검사 대상(S)이 이송될 수도 있다. 이러한 제1 레일부(110)는 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114) 사이에 검사 대상을 배치하여 이송 벨트(115)를 통해 검사 대상을 소정 위치로 이송할 수 있다. 예컨대, 제1 레일부(110)는 투입된 검사 대상을 표면 검사 위치(132)로 이송하여 제1면(F1) 또는 제2면(F2)에 대한 검사가 수행된 후에, 또는, 플리퍼(220, flipper)에서 검사 대상의 측면 검사가 수행된 후에, 검사 대상(S)을 다시 방향 전환부(120) 위치로 이송할 수 있다. 한편, 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114)에는 그루브(G)가 형성되어 있는데, 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114) 사이의 간격이 좁아질 때, 그루브(G)가 방향 전환부(120)의 파지용 핑거들(122)을 수용할 수 있다.

한편, 제1 레일부(110)에서, 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114)의 위치는 서로 바뀔 수 있다. 또한, 제1 레일부(110)는 고정된 레일과 이동 가능한 레일의 구조 대신에 2개의 레일이 동시에 이동할 수 있는 구조로 구성될 수도 있다.

방향 전환부(120)는 검사 대상을 수평으로 소정 각도, 예컨대 약 90° 회전시킬 수 있다. 여기서 수평으로 소정 각도 회전시킨다 함은 xy 평면 내에서 z 축을 회전축으로 하여 소정 각도만큼 방향 전환시킴을 의미할 수 있다. 예컨대, 방향 전환부(120)는 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114) 사이에 길이 방향으로 배치된 검사 대상을 수평으로 약 90° 회전시켜, 검사 대상이 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114) 사이에 폭 방향으로 배치되도록 할 수 있다. 이를 위하여 방향 전환부(120)는 상기 검사 대상(S)을 상승된 상태에서 소정 각도, 예컨대 약 90° 회전시킬 수 있다. 구체적으로, 방향 전환부(120)는 길이 방향으로 반입된 검사 대상(S)을 상승시킬 수 있다. 이어서, 상승된 상태에서 검사 대상(S)을 소정 각도 회전시켜 예를 들면 폭 방향을 갖도록 할 수 있다. 이 때 상기 제1 이동 레일(114)이 제1 고정 레일(112)에 대하여 상기 검사 대상(S)의 폭에 대응되는 거리를 갖도록 이동될 수 있다. 상기 검사 대상(S)의 회전과 상기 제1 이동 레일(114)의 이동이 완료되면, 상기 방향 전환부(120)는 검사 대상(S)을 하강하여 이송 벨트(115) 위에 상기 검사 대상(S)을 안착시킬 수 있다. 검사 대상(S)이 상승된 상태에서 소정 각도 회전되는 단계와 상기 제1 이동 레일(114)이 제1 고정 레일(112)에 대하여 이동되는 단계는 순차적으로 이루어질 수도 있고, 동시에 수행될 수도 있다.

일부 실시예들에 있어서, 상기 제1 이동 레일(114)이 제1 고정 레일(112)에 대하여 이동될 때 상기 방향 전환부(120)가 상기 제1 이동 레일(114)과 동일한 방향으로 이동하도록 구성될 수 있다. 다만 상기 방향 전환부(120)가 이동하는 거리는 상기 제1 이동 레일(114)이 이동하는 거리와 상이할 수 있다. 예를 들면, 상기 방향 전환부(120)가 이동하는 거리는 상기 제1 이동 레일(114)이 이동하는 거리의 절반일 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 방향 전환부(120)는 상기 제1 이동 레일(114)과 상기 제1 고정 레일(112) 사이의 중심에 위치하도록 이동하게 구성될 수 있다.

일부 실시예들에 있어서, 방향 전환부(120)는 검사 대상을 폭 방향에서 길이 방향으로 회전시킬 수도 있다. 여기서, 수평은 검사 대상의 제1면(F1) 또는 제2면(F2)이 상방을 향할 때, 제1면(F1) 또는 제2면(F2)에 평행한 면을 의미하며, 이하, 검사 대상(S)의 제1면(F1) 또는 제2면(F2)이 상방을 향하는 상태를 ‘수평 상태’라 한다. 검사 대상(S)의 수평 회전은 제1면(F1) 또는 제2면(F2)의 법선을 축으로 하는 회전을 포함할 수 있다. 길이 방향은 검사 대상(S)의 장변이 제1 고정 레일(112) 또는 제1 이동 레일(114)에 평행한 방향이며, 폭 방향은 검사 대상의 단변이 제1 고정 레일(112) 또는 제1 이동 레일(114)에 평행한 방향일 수 있다.

방향 전환부(120)는 도시된 바와 같이 검사 대상이 길이 방향으로 올려져 안착되도록 하는 파지용 핑거들(122)을 구비하며, 검사 대상의 상승, 회전 및 하강 과정을 통해 검사 대상을 수평으로 회전시킬 수 있다. 다시 말해서, 제1 레일부(110)에 배치된 검사 대상은 방향 전환부(120)를 통해 제1 레일부(110)로부터 분리되어 상승하고, 약 90° 회전 후 하강하여 다시 제1 레일부(110)에 배치될 수 있다. 한편, 방향 전환부(120)를 통한 검사 대상의 회전은 상승 또는 하강 과정에 동시에 수행될 수도 있다. 방향 전환부(120)를 통한 검사 대상의 약 90° 회전은 한 번의 회전을 통해 이루어질 수도 있고 여러 번의 회전을 통해 이루어질 수도 있다.

지금까지 방향 전환부(120)의 구조 및 동작에 대해 간단히 설명하였지만, 이는 예시적인 것에 불과하며 방향 전환부(120)의 구조나 동작이 그에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 검사 대상을 레일에 충돌하지 않도록 하면서 약 90° 회전시킬 수 있는 모든 방향 전환부의 구조 및 동작이 본 실시예의 검사 장치(1000)에 적용될 수 있음은 물론이다.

클램프(130)는 표면 검사 위치(132)에서 검사 대상을 고정하는 기능을 할 수 있다. 예컨대, 검사 대상이 제1 레일부(110)를 통해 표면 검사 위치(132)로 이동되면, 클램프(130)가 검사 대상의 측면을 압착하여 검사 대상을 견고하게 고정함으로써, 검사부에 의한 검사가 안정적이고 정밀하게 수행될 수 있도록 한다.

제2 스테이지(200)는 제2 레일부(210) 및 플리퍼(220)를 포함할 수 있다.

검사 대상의 검사가 완료되면, 제2 레일부(210)를 통해 검사 대상이 외부로 배출될 수 있다. 제2 레일부(210) 역시 고정된 제2 고정 레일(212)과 이동 가능한 제2 이동 레일(214)을 구비하며, 제2 이동 레일(214)은 검사 대상의 폭에 맞도록 제2 화살표(a2)로 표시된 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 제2 고정 레일(212)과 제2 이동 레일(214) 각각에 이송 벨트(215)가 구비될 수 있다. 제2 레일부(210)에서도 제2 고정 레일(212)과 제2 이동 레일(214)의 위치는 서로 바뀔 수 있다. 경우에 따라, 제2 레일부(210)는 제2 고정 레일(212)과 제2 이동 레일(214)이 동시에 이동할 수 있는 구조로 구성될 수도 있다.

플리퍼(220)는 검사 대상(S)의 일측이 상방을 향하도록 검사 대상(S)을 플리핑(flipping)시키는 장치일 수 있다. 여기서, 플리핑은 2개의 플리퍼(220)의 중심을 잇는 y 방향의 가상의 직선을 플리핑축(C)으로 한 소정 각도만큼의 회전 내지는 방향 전환을 의미할 수 있다. 한편, 상기 플리핑축(C)은 제2 고정 레일(212)이 연장하는 방향과 수직하고 검사 대상의 제1면 또는 제2면에 평행할 수 있다. 이하, 검사 대상(S)의 일측이 상방을 향하는 상태를 ‘수직 상태’라 한다.

좀더 구체적으로, 제1측면, 제2측면, 제3측면, 및 제4측면을 갖는 검사 대상(S)의 제1면(F1) 또는 제2면(F2)이 상방을 향하는 수평 상태에 있을 때, 플리퍼(220)는 검사 대상(S)을 소정 각도, 예컨대 약 90° 플리핑시켜 검사 대상의 4개 측면들 중 하나인 제1측면이 상방을 향하는 수직 상태가 되도록 할 수 있다. 또한, 플리퍼(220)는 검사 대상(S)이 수직 상태에 있을 때, 검사 대상(S)을 약 180° 플리핑시켜, 다시 수직 상태가 되도록 하되 제1측면과 제1측면의 반대쪽 측면인 제3측면의 위치가 바뀌도록 할 수 있다. 예컨대, 플리퍼(220)는 검사 대상(S)의 제1 측면이 상방을 향할 때, 검사 대상(S)을 대략 180° 플리핑시켜, 제1 측면에 반대되는 제3 측면이 상방을 향하도록 할 수 있다. 또한, 검사 대상(S)의 제2 측면이 상방을 향할 때, 플리퍼(220)는 검사 대상(S)을 대략 180° 플리핑시켜, 제2 측면에 반대되는 제4 측면이 상방을 향하도록 할 수 있다. 한편, 검사 대상(S)은 검사될 측면 부분이 플리퍼(220)의 한쪽 끝단에 정렬되도록 위치될 수도 있고, 또는 상기 끝단에서 약간 돌출되도록 위치될 수도 있다. 검사될 측면 부분이 플리퍼(220)의 한쪽 끝단으로부터 약간 돌출됨으로써 플리퍼(220)의 끝단이 검사부에 의한 검사를 위한 초점 범위로부터 제외될 수 있다. 따라서 검사될 측면 부분이 상기 끝단으로부터 돌출되는 정도는 이러한 점을 고려하여 결정될 수 있다.

상기 플리퍼(220)가 검사 대상(S)을 플리핑시킴에 따라 검사 대상(S)의 피검사 측면과 검사부 사이의 거리가 달라질 수 있다. 따라서, 적합한 검사를 위한 검사 대상(S)의 피검사 측면과 검사부 사이의 거리를 확보하기 위하여 검사 대상(S)을 플리핑시키는 단계와 동시에 또는 이시에 플리핑축(C)과 검사부의 상대적인 거리가 조정될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 검사 대상(S)을 약 90° 플리핑시키는 경우, 플리퍼(220)는 플리핑 후 또는 플리핑하면서 하방으로 하강할 수도 있고, 플리퍼(220)의 플리핑 후 또는 플리핑과 동시에 검사부가 상승할 수도 있다. 또한, 검사 대상(S)을 약 180° 플리핑시키는 경우, 플리퍼(220)는 상승하면서 약 90° 플리핑시킨 후 하강하면서 나머지 약 90° 플리핑시키며 전체 약 180° 플리핑을 달성할 수 있다. 또한, 플리퍼(220)는 상방으로 상승한 후 약 180°플리핑하고 다시 하강할 수도 있다. 이 때 통상의 기술자는 상기 플리퍼(220)를 상승 및/또는 하강시키는 대신 검사부를 하강 및/또는 상승시킬 수 있음을 이해할 것이다. 여기서, 플리퍼(220)와 검사부의 상대적인 거리를 조정하는 이유는, 정확한 검사를 위해 검사 대상(S)의 피검사 측면과 검사부 사이의 거리를 적정하게 확보하기 위함이다. 한편, 검사 대상(S)을 약 180° 플리핑시키는 경우에, 검사 대상(S)은 검사될 측면 부분이 플리퍼(220)의 끝단 부분에 정렬되도록 위치될 수도 있고 상기 끝단에서 약간 돌출되도록 위치될 수도 있다. 검사될 측면 부분이 플리퍼(220)의 한쪽 끝단으로부터 약간 돌출됨으로써 플리퍼(220)의 끝단이 검사부에 의한 검사를 위한 초점 범위로부터 제외될 수 있다. 따라서 검사될 측면 부분이 상기 끝단으로부터 돌출되는 정도는 이러한 점을 고려하여 결정될 수 있다. 플리퍼(220)의 구체적인 구조에 대해서는 도 5 및 도 6의 설명 부분에서 좀더 상세히 설명한다.

제2 레일부(210)와 플리퍼(220)는 동일한 프레임에 함께 연결되어 있다. 그에 따라, 제2 레일부(210)과 플리퍼(220)의 폭 조절은 함께 이루어질 수 있다. 다시 말해서, 제2 고정 레일(212)과 그에 x방향으로 이웃하는 플리퍼(220)의 y방향 위치는 고정될 수 있다. 또, 제2 이동 레일(214)과 그에 x방향으로 이웃하는 플리퍼(220)는 y방향으로 이동 가능하여 검사 대상(S)의 폭에 따라 함께 이동할 수 있다. 그러나 본 실시예의 검사 장치(1000)의 구조가 그에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 플리퍼(220)는 제2 레일부(210)와 독립적으로 이동하도록 구성될 수도 있다. 한편, 플리퍼(220)의 이동은 제2 화살표(a2) 방향으로의 이동을 의미하고, 플리퍼(220)의 플리핑은 제2 레일부(210)의 이동과 상관없이 독립적으로 수행될 수 있다.

본 실시예의 검사 장치(1000)에서, 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)는 컨트롤러의 제어 하에 각각 독립적으로 동작 가능하도록 구성될 수 있다. 좀더 구체적으로, 제1 스테이지(100)의 제1 레일부(110)와 제2 스테이지(200)의 제2 레일부(210)는 물리적으로 분리되어 있고, 그에 따라, 제1 레일부(110)의 폭 조절과 제2 레일부(210)의 폭 조절은 독립적으로 이루어지고, 그에 따라, 일부 검사 단계(들)에서 제1 레일부(110)와 제2 레일부(210)는 서로 다른 폭을 가질 수 있다. 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 레일부(110)는 제1 폭(W1)을 유지하고, 제2 레일부(210)는 제1 폭(W1)보다 작은 제2 폭(W2)을 유지할 수 있다.

또한 검사 대상이 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)의 사이를 오갈 수 있도록, 특히 검사 대상이 제1 레일부(110)와 플리퍼(220)의 사이를 원활하게 오갈 수 있도록 제1 레일부(110)의 간격, 플리퍼(220)의 간격은 적절히 제어되며, 제1레일부(110)와 플리퍼(220) 사이의 x 방향 간격도 적절히 결정될 수 있다.

이러한 구조적인 특징에 기인하여, 본 실시예의 검사 장치(1000)는, 소정의 일부 단계에서 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)에 서로 다른 검사 대상이 배치될 수 있다. 예컨대, 제2 스테이지(200)에 제1 검사 대상이 배치되어 측면 검사가 이루어지고, 제1 스테이지(100)에 제2 검사 대상이 배치되어 제1면(F1) 또는 제2면(F2) 검사를 위해 대기하거나, 또는 제1면(F1) 또는 제2면(F2) 검사가 수행될 수 있다. 좀더 구체적으로, 하나의 검사부를 이용하여 검사하는 경우, 제2 스테이지(200)에서 제1 검사 대상에 대한 측면 검사를 수행할 때에, 제1 스테이지(100)에 제2 검사 대상이 투입되어 제1면(F1) 또는 제2면(F2) 검사를 위해 대기할 수 있다. 또한, 제2 스테이지(200)에서 제1 검사 대상에 대한 측면 검사가 완료되면, 제1 스테이지(100)에 대기하고 있는 제2 검사 대상에 대한 제1면(F1) 또는 제2면(F2) 검사가 바로 수행될 수 있다.

본 실시예의 검사 장치(1000)는 물리적으로 분리되고 독립적으로 동작 가능한 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)를 포함함으로써, 소정 단계에서 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)에 서로 다른 검사 대상이 배치되도록 할 수 있다. 그에 따라, 본 실시예의 검사 장치(1000)는 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)에 배치된 2개의 검사 대상들을 두 개의 검사부들을 이용하여 동시적으로 검사하거나, 또는 하나의 검사부를 이용하여 연속적으로 검사함으로써, 검사 대상에 대한 외관 검사를 신속하고 정확하게 수행할 수 있다.

도 3은 도 1의 검사 장치에 검사 대상이 실제로 배치된 구조를 보여주는 사시도이다.

도 3을 참조하면, 본 실시예의 검사 장치에서, 제1 검사 대상(1500-1)이 제2 스테이지(200)에 배치되고, 제2 검사 대상(1500-2)은 제1 스테이지(100)에 배치될 수 있다. 또한, 제1 검사 대상(1500-1)은 제2 레일부(210)에 길이 방향으로 배치되어, 제2 레일부(210)의 제2 고정 레일(212)과 제2 이동 레일(214) 사이의 간격은 제1 검사 대상(1500-1)의 단변에 대응하는 제2 폭(W2)을 가질 수 있다. 그에 반해, 제2 검사 대상(1500-2)은 제1 레일부(110)에 폭 방향으로 배치되어, 제1 레일부(110)의 제1 고정 레일(112)과 제1 이동 레일(114) 사이의 간격은 제2 검사 대상(1500-2)의 장변에 대응하는 제1 폭(W1)을 가질 수 있다.

제1 검사 대상(1500-1)은 플리퍼(220)에 배치되어, 플리퍼(220)에 의한 플리핑을 통해 수직 상태로 자세가 변경된 후, 제1 검사 대상(1500-1)의 제2 폭(W2)의 측면이 검사부를 통해 검사될 수 있다. 제1 검사 대상(1500-1)이 제2 폭(W2)의 측면에 관하여 검사되는 동안에, 제2 검사 대상(1500-2)은 클램프(130)가 위치하는 표면 검사 위치(132)에 배치되어, 대기하거나 또는 별도의 검사부를 통해 검사될 수 있다.

본 실시예의 검사 장치(1000)에서 검사부는 한 개 구비될 수 있다. 그에 따라, 제2 스테이지(200)에서 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 측면 검사가 먼저 수행되고, 이후, 검사부가 이동하여 제1 스테이지(100)에서 제2 검사 대상(1500-2)에 대한 제1면 검사가 수행될 수 있다. 물론, 제2 검사 대상(1500-2)의 제1면 검사가 먼저 수행되고, 제1 검사 대상(1500-1)의 측면 검사가 수행될 수도 있다. 경우에 따라, 본 실시예의 검사 장치는 검사부를 2개 이상 구비할 수 있다. 검사부를 2개 이상 구비하는 경우에, 제2 스테이지(200)에서 제1 검사 대상(1500-1)의 측면 검사와 제1 스테이지(100)에서 제2 검사 대상(1500-2)의 제1면 검사 및/또는 제2면 검사가 동시에 수행될 수도 있다.

한편, 처음에 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)의 어느 면이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)에 투입되느냐에 따라, 및/또는 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)의 검사 시점에 따라 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)의 제1면과 제2면의 방향은 바뀔 수 있다.

보다 구체적으로, 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)은 제1 스테이지(100)로 반입될 때의 제1면(또는 제2면)이 향하는 방향에 따라 제1면과 제2면이 서로 상반될 수 있다. 예컨대, 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)의 앞면이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)로 투입되는 경우, 일련의 과정을 거쳐, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 검사 대상(1500-1)은 제2면(F2)이 상방을 향하도록 제2 스테이지(200)의 플리퍼(220)에 배치되고, 제2 검사 대상(1500-2)은 제1면(F1)이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)에 배치될 수 있다. 만약, 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)의 제2면(F2)이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)로 투입되는 경우, 일련의 과정을 거쳐 제1 검사 대상(1500-1)은 제1면이 상방을 향하도록 제2 스테이지(200)의 플리퍼(220)에 배치되고, 제2 검사 대상(1500-2)은 제2면이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)에 투입되어 배치될 수 있다.

또한 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)은 검사 시점에 따라 제1면과 제2면이 상반될 수 있다. 예컨대 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)은 검사되는 시점에 따라서 표면 검사 위치(132)에서 제1면 또는 제2면이 상방을 향할 수 있고, 플리퍼(220)에서 상방을 향하는 측면이 각 검사 대상(1500-1, 1500-2)의 임의의 측면이 될 수 있다. 본 발명은 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)이 표면 검사 위치(132)에서 상방을 향하는 방향과 플리퍼(220)에서 상방을 향하는 측면의 방향이 조합될 수 있는 모든 가능한 경우들을 모두 포함한다.

또한, 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)이 제1 스테이지(100)에 길이 방향으로 투입되느냐, 또는 폭 방향으로 투입되느냐에 따라, 제1 검사 대상(1500-1)과 제2 검사 대상(1500-2)의 배치 방향은 바뀔 수 있다. 예컨대, 검사 대상이 폭 방향으로 투입되는 경우에는 도 3과 같은 배치 방향을 가질 수 있다. 그러나 만약 검사 대상이 길이 방향으로 투입되는 경우에, 제2 스테이지(200)에는 제1 검사 대상(1500-1)이 폭 방향으로 배치되고, 제1 스테이지(100)에는 제2 검사 대상(1500-2)이 길이 방향으로 배치되는 배치 방향을 가질 수 있다.

전술한 검사 대상들의 제1 스테이지(100)로의 투입에서, 제1면 또는 제2면이 상방으로 향하느냐, 또는 길이 방향 또는 폭 방향으로 투입되느냐 등은 예시들에 불과할 수 있다. 예컨대, 본 실시예의 검사 장치(1000)에서, 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)는 독립적으로 동작할 수 있는바, 검사 대상들이 제1 스테이지(100)에 투입될 때, 앞면 또는 뒷면과, 길이 방향 또는 폭 방향이 다양하게 선택될 수 있다. 그에 따라, 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)에서 검사 대상들의 상방으로 향하는 면과 배치 방향이 다양하게 나타날 수 있다.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예들에 따른 검사부들(300, 300a, 300b, 300s, 300sb)의 작용과 검사 대상들(1500-1, 1500-2)의 위치 관계를 나타낸 측면도들이다.

도 4a를 참조하면, 플리퍼(220)에 제1 검사 대상(1500-1)이 플리핑된 상태로 배치되고, 제2 검사 대상(1500-2)은 표면 검사 위치(132)에 배치될 수 있다. 상기 표면 검사 위치(132)는 클램프(130)에 인접하는 위치일 수 있다. 또한 이 때 제 2 검사 대상(1500-2)이 상방을 향하는 방향은 제1면일 수도 있고 제2면일 수도 있다.

일부 다른 실시예들에 있어서, 플리퍼(220)에 제1 검사 대상(1500-1)이 플리핑된 상태로 배치되고, 제2 검사 대상(1500-2)은 투입되는 위치(도 1 참조)에 위치할 수 있다. 이 때 제2 검사 대상(1500-2)이 상방을 향하는 방향도 제1방향과 제2방향 중 임의로 선택될 수 있다. 이 때 제1 검사 대상(1500-1)이 검사부(300)에 의하여 검사되는 동안, 검사되기 직전, 또는 검사된 직후에 상기 제2 검사 대상(1500-2)은 클램프(130)에 인접하는 표면 검사 위치로 이송될 수 있다.

일부 실시예들에 있어서, 검사부(300)는 제1 검사 대상(1500-1)의 측면을 검사한 후 표면 검사 위치로 이동하여 제2 검사 대상(1500-2)이 위치하는 표면 검사 위치로 이동하여 상기 제2 검사 대상(1500-2)의 제1면 또는 제2면을 검사할 수 있다.

일부 실시예들에 있어서, 상기 제1 검사 대상(1500-1)을 플리핑하기 위하여 플리퍼(220)의 폭이 제1폭 또는 이보다 좁은 제2폭을 갖도록 조절될 수 있다. 본 발명의 실시예들은, 플리퍼(220)의 가능한 폭들 각각에 대하여 제1 레일부(110)가 제1폭 또는 이보다 좁은 제2폭을 갖는 경우가 조합되는 모든 가능한 실시예들을 포함한다.

도 4b는 2 개의 검사부, 즉 플리퍼(220)의 상부에 위치하는 제1 검사부(300a)와 표면 검사 위치에 위치하는 제2 검사부(300s)를 포함하는 점을 제외하면 도 4a를 참조하여 설명한 실시예와 동일하다. 따라서 이하에서 중복되는 설명을 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다.

도 4b의 실시예는 표면 검사 위치에 위치하는 제2 검사부(300s)를 더 포함하므로, 도 4a를 참조하여 설명한 실시예에서와 같이 검사부(300)가 플리퍼(220)와 표면 검사 위치 사이를 오갈 필요가 없으며, 그에 따라 검사 시간이 단축될 수 있다.

도 4c는 2 개의 검사부, 즉 플리퍼(220)의 상부에 위치하는 제1 검사부(300a)와 플리퍼(220)의 하부에 위치하는 제3 검사부(300b)를 포함하는 점을 제외하면 도 4a를 참조하여 설명한 실시예와 동일하다. 따라서 이하에서 중복되는 설명을 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다.

도 4c의 실시예는 플리핑된 검사 대상의 두 개의 반대 쪽에 위치하는 측면들을 제1 검사부(300a)와 제3 검사부(300b)가 동시에 검사할 수 있으므로 반대쪽 측면의 검사를 위해 검사 대상을 180° 플리핑할 필요가 없다. 따라서 플리퍼(220)에서의 검사 시간을 크게 단축할 수 있다.

또한 플리퍼(220)에 위치된 검사 대상을 검사한 후에 또는 그 이전에 표면 검사 위치의 검사 대상의 제1면 및 제2면을 동시에 검사할 수 있다. 그렇기 때문에 제1면과 제2면 중 다른 하나의 표면을 검사하기 위해 표면 검사 위치에서 추가적인 검사를 수행할 필요가 없고 그에 따라 검사 시간이 단축될 수 있다.

도 4d는 4 개의 검사부, 즉 플리퍼(220)의 상부와 하부에 각각 위치하는 제1 검사부(300a) 및 제3 검사부(300b), 그리고 표면 검사 위치의 상부와 하부에 각각 위치하는 제 2 검사부(300s) 및 제 4 검사부(300sb)를 포함하는 점을 제외하면 도 4a를 참조하여 설명한 실시예와 동일하다. 따라서 이하에서 중복되는 설명을 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다.

도 4d의 실시예는 표면 검사 위치에서 제1면과 제2면을 동시에 검사할 수 있고, 플리퍼(220)에서는 플리핑된 검사 대상의 두 개의 반대 쪽에 위치하는 측면들을 동시에 검사할 수 있다. 플리퍼(220)에서 플리핑된 검사 대상의 측면들(예컨대 단변측)을 검사한 후에는 방향 전환부에서의 방향 전환을 수행한 후 플리퍼(220)에서 검사 대상의 나머지 두 측면들(예컨대 장변측)을 검사함으로써 모든 검사가 종료될 수 있다. 따라서 검사 대상의 1회의 방향 전환에 의하여 모든 검사가 완료될 수 있기 때문에 검사 시간이 크게 단축될 수 있다.

도 5 및 도 6은 도 1의 검사 장치의 플리퍼 부분을 좀더 상세하게 보여주는 사시도들이다.

도 5를 참조하면, 전술한 바와 같이, 플리퍼(220)는 검사 대상의 일부 측면들을 고정한 상태에서 검사 대상의 나머지 측면들 중 검사될 하나의 측면이 상방을 향하도록 플리핑시키는 기능을 수행할 수 있다. 선택적으로, 플리퍼(220)는, 검사 대상의 검사될 측면이 검사부로부터 소정 거리에 놓이도록, 검사 대상을 플리퍼(220) 내에서 상승 또는 하강시키거나 또는 플리퍼(220) 자체를 상승 또는 하강시키는 기능도 수행할 수 있다.

플리퍼(220)의 이송 벨트(222)가 제1 스테이지(100)의 이송 벨트(115)에 연동될 수 있는 위치에 있을 때에, 검사 대상은 제1 레일부(110)를 통해 제1 스테이지(100)로부터 플리퍼(220) 부분으로 이동할 수 있다. 플리퍼(220)는 제1 레일부(110)의 이송 벨트(115)와 연계하여 검사 대상을 이송시킬 수 있는 이송 벨트(222)를 구비할 수 있다. 이송 벨트(222)는 검사 대상을 플리퍼(220)의 적정 위치로 이동시킬 수 있다. 플리퍼(220)에는 검사 대상이 적정 위치에 있는가를 판단하는 센서가 구비될 수 있다. 여기서, 적정 위치는 검사 대상의 검사될 측면이 플리퍼(220)의 한쪽 끝단에 일치된 위치, 또는 한쪽 끝단에서 약간 돌출된 위치에 해당할 수 있다.

한편, 플리퍼(220)의 플리핑을 위한 구동 신호로서, 전기 신호가 플리퍼(220)로 인가될 수 있는데, 본 실시예의 검사 장치에서는 플리퍼(220)로의 전기 신호의 인가를 위해 슬립 링(224, slip ring)의 구조가 채용될 수 있다. 슬립 링(224)의 구조는 이미 알려져 있으므로 그에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 이와 같이 슬립 링(224)의 구조가 플리퍼(220)에 채용됨으로써, 플리퍼(220)는 동일 방향으로의 무한 회전이 가능할 수 있다. 참고로, 슬립 링의 구조 대신에 일반적인 직결 구조의 배선을 통해 전기 신호가 인가되는 경우, 플리퍼(220)의 일방향 회전에 의해 배선의 꼬임이 발생할 수 있다. 따라서, 이 경우 플리퍼(220)는 어느 한 방향으로 회전 후 배선의 꼬임을 풀기 위하여 상기 플리퍼(220)를 다시 반대 방향으로 회전시켜야 하는 제한을 받을 수 있다. 그러나 본 실시예의 검사 장치에서는 플리퍼(220)에 슬립 링(224) 구조를 채용함으로써, 배선 꼬임의 문제없이 플리퍼(220)를 임의의 회전각 및 방향으로 자유롭게 회전시킬 수 있다.

도 6을 참조하면, 플리퍼(220)에는 구동 기어(272), 구동 풀리(246, 248), 플리퍼 벨트(240), 제1 아이들 기어(274), 제2 아이들 기어(276), 클램프 플레이트(226, clamp plate)가 배치될 수 있다.

플리퍼 벨트(240)는 플리퍼(220)의 안쪽 면 상에 위 아래로 이격되어 배치된 제1 벨트(222) 및 제2 벨트(224)로 구성될 수 있다. 제1 벨트(222) 및 제2 벨트(224)는 각각 구동 풀리(246, 248) 및 2 이상의 지지 롤러들(249)에 의하여 지지될 수 있으며, 상기 구동 풀리(246, 248)가 회전됨에 따라 주행될 수 있다.

좀 더 구체적으로, 제1 벨트(222) 및 제2 벨트(224)를 구동시키기 위하여, 플리퍼(220)에 회전 가능하도록 설치되는 구동 기어(272), 그리고 플리퍼(220)의 바깥쪽 면 상에 회전 가능하도록 설치된 제1 아이들 기어(274) 및 제2 아이들 기어(276)가 구비될 수 있다. 제1 아이들 기어(274)는 제1 벨트(222)를 지지하는 구동 풀리(246)와 회전축을 통하여 연결될 수 있으며, 제2 아이들 기어(276)는 제2 벨트(224)를 지지하는 구동 풀리(248)와 회전축을 통하여 연결될 수 있다.

검사 대상을 이송시키기 위하여, 구동 기어(272)는 제1 아이들 기어(274) 및 제2 아이들 기어(276) 중 어느 하나와 맞물려 회전될 수 있다. 예컨대, 제2 벨트(224)와 연결된 제2 아이들 기어(276)가 구동 기어(272)와 맞물리면, 구동 기어(272)의 회전에 따라 제2 아이들 기어(276)가 회전하면서 제2 벨트(224)가 구동될 수 있다. 반면, 이와 다르게 플리퍼(220)가 약 180° 회전된 경우, 제1 벨트(222)와 연결된 제1 아이들 기어(274)가 구동 기어(272)와 맞물리면, 구동 기어(272)의 회전에 따라 제1 아이들 기어(274)가 회전하면서 제1 벨트(222)가 구동될 수 있다. 즉, 제1 벨트(222)와 제2 벨트(224)는 독립적으로 구동되어, 검사 대상을 이송할 수 있다.

클램프 플레이트(226)는 검사 대상이 플리퍼(220)의 적정 위치에 왔을 때, 검사 대상을 압착하여 고정함으로써, 회전 및/또는 검사 중에 검사 대상이 플리퍼(220)에 견고하게 고정되도록 할 수 있다. 도시된 바와 같이, 클램프 플레이트(226)는 2개로 분리된 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 클램프 플레이트(226)는 중심 부분에서 서로 분리된 제1 플레이트 부분(226a)과 제2 플레이트 부분(226b)을 구비할 수 있다.

클램프 플레이트(226)는 클램프 실린더(228)에 의해 내부 쪽으로 이동하여 검사 대상을 압착하게 되는데, 클램프 실린더(228)가 외곽 양쪽으로 배치되고 클램프 플레이트가 길게 일체형으로 형성되는 경우, 중심 부분에서 힘 전달이 약화 될 수 있다. 또한, 플리퍼(220)의 한쪽 끝단 부분에서만 검사 대상을 압착 고정하는 경우가 있을 수 있다. 본 실시예의 검사 장치(1000)는, 중심 부분의 힘 전달의 향상 및/또는 위치별 압착 고정을 위해 제1 플레이트 부분(226a)과 제2 플레이트 부분(226b)으로 분리된 구조의 클램프 플레이트(226)를 채용할 수 있다. 물론, 본 실시예의 검사 장치(1000)에서, 클램프 플레이트(226)는 일체형의 구조로 형성될 수도 있다. 또한, 클램프 실린더(228)의 위치가 변경될 수도 있다. 여기서, 229는 가이드 샤프트(guide shaft)로서, 가이드 샤프트(229)에는 복귀 스프링이 배치되어 클램프 플레이트(226)의 복귀를 용이하도록 할 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.

도 7을 참조하면, 제1 스테이지(100)로 제1 검사 대상(1500-1)을 반입할 수 있다(S110). 상기 제1 검사 대상(1500-1)은 예를 들면 길이 방향으로 제1 레일부(110)에 의하여 일단 방향 전환부(120)의 상부로 반입될 수 있다.

계속하여 상기 제1 검사 대상(1500-1)은 방향 전환부(120)를 거쳐 표면 검사 위치(132)로 이송될 수 있다. 이어서 표면 검사 위치(132)에서 제1 검사 대상(1500-1)의 제1면이 검사부에 의하여 검사될 수 있다(S120).

상기 제1면을 검사한 후 상기 제1 검사 대상(1500-1)은 측면 검사를 위해 플리퍼(220)로 이송될 수 있다. 플리퍼(220)는 상기 제1 검사 대상(1500-1)을 플리핑하고, 상기 제1 검사 대상(1500-1)의 반대되는 두 측면들은 검사부에 의하여 검사될 수 있다(S130). 일부 실시예들에 있어서, 제1 검사 대상(1500-1)의 한 쪽 측면이 검사된 후 플리퍼(220)는 상기 제1 검사 대상(1500-1)을 약 180° 플리핑할 수 있고, 그에 의하여 반대쪽 측면이 검사부에 의하여 검사될 수 있다. 그러나 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 만일 플리퍼(220)의 상부와 하부에 각각 검사부가 배치되는 경우 제1 검사 대상(1500-1)의 약 180° 플리핑은 불필요할 수 있다.

이어서 상기 제1 검사 대상(1500-1)은 다시 방향 전환부(120)의 상부로 이송된 후 방향 전환될 수 있다(S142). 다시 말해, 길이 방향으로 반입된 제1 검사 대상(1500-1)이 폭 방향을 가질 수 있도록 제1 검사 대상(1500-1)을 수평 방향으로 약 90°만큼 방향을 전환할 수 있다. 이를 위하여 방향 전환부(120)는 제1 검사 대상(1500-1)을 이송 벨트(115)의 상부로 상승시키고 수평 방향으로 약 90°만큼 방향을 전환한 후 다시 제1 검사 대상(1500-1)을 이송 벨트(115) 위로 안착시킬 수 있다.

그런 다음 제1 검사 대상(1500-1)을 표면 검사 위치(132)로 이송한 후 제1 검사 대상(1500-1)의 제2면에 대하여 검사를 수행할 수 있다(S148). 일부 실시예들에 있어서 제1면을 검사할 때와 제2면을 검사할 때의 표면 검사 위치에서의 제1 레일부(110)(도 1 참조)의 폭은 상이할 수 있다.

이어서, 제1 검사 대상(1500-1)이 플리퍼(220)로 이송되고, 플리퍼(220)는 상기 제1 검사 대상(1500-1)을 플리핑하며, 상기 제1 검사 대상(1500-1)의 나머지 반대되는 두 측면들이 검사부에 의하여 검사될 수 있다(S160). 도 8은 도 7에 나타낸 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 방법을 보다 상세하게 보여주는 흐름도이고, 도 9a 내지 도 9e는 도 8의 검사 방법을 도 1의 검사 장치에 적용하여 보여주는 사시도들이다.

도 8 및 도 9a를 참조하면, 먼저, 제1 검사 대상(1500-1)이 제1 스테이지(100)에 투입된다(S110). 이후, 제1 검사 대상(1500-1)은 표면 검사 위치(132)로 이동하여 제1면 검사가 수행된다(S120). 좀더 구체적으로, 제1 스테이지(100)에 투입된 제1 검사 대상(1500-1)은 제1 레일부(110)를 통해 표면 검사 위치로 이동하고(S122), 이후 클램프(130)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)가 고정된다(S124). 제1 검사 대상(1500-1)이 고정되면 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 제1면 검사가 수행된다(S126).

도 9a에 도시된 바와 같이, 제1 검사 대상(1500-1)은 길이 방향으로 제1면이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)에 투입될 수 있다. 그러나 전술한 바와 같이 제1 검사 대상(1500-1)은 그에 한하지 않고, 제2면이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)에 투입될 수도 있고, 또한 폭 방향으로 제1 스테이지(100)에 투입될 수도 있다. 만약, 제2면이 상방을 향하도록 제1 스테이지(100)에 투입된 경우, 앞서 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 제1면 검사는 제2면 검사로 변경될 수 있다.

한편, 도 9a에서 플리퍼(220)의 폭은 제1 스테이지(100)의 폭과 같도록 조정되어 있는 상태이다. 만약 직전 시점에 직전의 검사 대상의 측면들이 검사되고 있었다면, 플리퍼(220)는 그 직전의 검사 대상의 길이 방향에 맞춰 넓혀져 있었을 수 있다. 플리퍼(220)의 폭은, 그러한 직전의 검사 대상이 검사가 완료되어 배출되면, 그에 따라 현재 검사 대상의 배치에 맞춰 좁혀지고, 도 9a와 같은 상태로 될 수 있다.

검사부(300)는 제3 화살표(a3)로 표시된 바와 같이 일 방향으로 이동하면서 제1 검사 대상(1500-1)의 앞면에 대한 이미지를 복수 개 촬상(capture)할 수 있다. 물론, 검사 대상의 크기가 작은 경우에는 한 번의 촬상을 통해 전체 이미지를 획득할 수도 있다. 검사부(300)는 예컨대, CCD 카메라일 수 있다. 물론, 검사부(300)가 CCD 카메라에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 검사부(300)는 sCMOS(Scientific CMOS) 카메라와 같은 고성능의 CMOS 카메라일 수도 있다. 더 나아가, 검사부(300)는 비접촉식으로 검사 대상의 결함을 검출할 수 있는 여하한 종류의 센서 또는 디텍터를 포함할 수 있다.

예컨대, 검사부(300)는 패턴 조명을 위상을 변경하면서 검사 대상에 조사하고, 검사 대상으로부터 반사된 광을 수광하고, 이로부터 얻어진 2차원 이미지를 분석함으로써, 검사 대상의 3차원 형상 정보 내지는 2차원 영상 정보를 획득하는 장치들을 포함할 수 있다. 패턴 조명을 이용하여 3차원 형상 또는 2차원 영상을 획득하는 원리는 통상의 기술자에게 이미 잘 알려져 있으므로 그에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

한편, 본 실시예의 검사 장치(1000)에서, 검사부(300)는 별도의 분석 장치(미도시)와 연결되어 이미지 처리 등을 통하여 검사를 완결할 수 있다. 분석 장치는 획득한 이미지를 처리 및 분석할 수 있는 프로그램이 탑재된 컴퓨터일 수 있으며, 예컨대 일반 PC(Personal Computer), 워크스테이션(workstation), 슈퍼컴퓨터 등일 수 있다.

도 8 및 도 9b를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 앞면 검사가 완료되면, 제1 검사 대상(1500-1)은 제2 스테이지(200)의 플리퍼(220)로 이동하여 단변 쪽의 측면들(S1, S3)의 검사가 수행된다(S130).

좀더 구체적으로, 제1 검사 대상(1500-1)은 제1 레일부(110) 및 플리퍼(220)의 이송 벨트(115, 222)를 통해 플리퍼(220)의 적정 위치로 이동한다(S131). 여기서, 적정 위치는 제1 검사 대상(1500-1)의 검사될 측면 부분, 예컨대 제1 검사 대상(1500-1)의 단변 쪽 제1 측면(S1)이 플리퍼(220)의 한쪽 끝단에 일치된 위치, 또는 한쪽 끝단에서 약간 돌출된 위치에 해당할 수 있다.

도 8 및 도 9c를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)은 클램프 플레이트(226)에 의하여 플리퍼(220)에 견고하게 고정되고, 플리퍼(220)가 하강하면서 약 90° 회전함으로써, 제1 검사 대상(1500-1)도 약 90° 회전되어 수직 상태가 된다(S132). 한편, 플리퍼(220)는 회전 후에 하강할 수도 있다. 플리퍼(220)는 시계 방향으로 회전할 수도 있고, 반시계 방향으로 회전할 수도 있다. 본 실시예의 경우, 플리퍼(220)가 반시계 방향으로 회전하여 제1 검사 대상(1500-1)의 뒷면이 제2 스테이지(200) 방향으로 향할 수 있다. 플리퍼(220)를 하강시키는 이유는 전술한 바와 같이, 정확한 검사를 위해 제1 검사 대상(1500-1)의 상부 쪽 측면과 검사부(300)를 적정한 거리로 유지시키기 위함이다. 하지만 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 플리퍼(220)를 하강시키는 대신 검사부(300)를 상승시킬 수도 있다.

플리퍼(220)의 약 90° 회전에 의해 제1 검사 대상(1500-1)의 제1 측면(S1)이 상방을 향하게 되고, 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)의 제1 측면(S1)의 검사가 수행된다(S133).

이후, 플리퍼(220)가 약 180° 회전함으로써, 제1 검사 대상(1500-1)도 약 180° 회전하여 다시 수직 상태가 된다(S134). 플리퍼(220)의 약 180°회전은 다음과 같은 여러 가지 방법들로 수행될 수 있다. 예컨대 플리퍼(220)가 상승하면서 약 90° 회전하고, 다시 하강하면서 약 90° 회전하여 전체 약 180° 회전할 수도 있고, 플리퍼(220)가 상승한 후에 약 180° 회전하고 다시 하강할 수도 있고, 플리퍼(220)의 상승 또는 하강 중에 약 180° 회전할 수도 있다. 하지만 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 플리퍼(220)의 약 180° 회전 역시 시계 방향 또는 반시계 방향으로 수행될 수 있다. 참고로, 플리퍼(220)의 약 180° 회전에서 플리퍼(220)가 상승 및 하강하는 이유는, 하강 상태에서는 공간이 한정되어 회전을 할 수 없기 때문이다. 물론, 하강 상태에서도 회전 가능하도록 공간이 제공되는 경우에는 플리퍼(220)는 상승 및 하강 없이 바로 회전할 수도 있다.

한편, 플리퍼(220)의 약 180° 회전 시에, 제1 검사 대상(1500-1)은 이송 벨트를 통해 검사될 측면 부분이 플리퍼(220)의 끝단 부분에 위치하도록 이동될 수 있다. 예컨대, 제1 검사 대상(1500-1)의 제3 측면(S3)이 플리퍼(220)의 끝단 부분에 위치하도록 제1 검사 대상(1500-1)가 이송 벨트를 통해 이동될 수 있다. 제1 검사 대상(1500-1)의 이동은 플리퍼(220)의 약 180° 회전 방법들에 따라 달라질 수 있다. 예컨대, 플리퍼(220)가 약 90°씩 나누어 회전하는 경우, 처음 약 90° 회전 후에 제1 검사 대상(1500-1)의 이동이 이루어질 수 있다.

플리퍼(220)의 약 180° 회전에 의해 제1 검사 대상(1500-1)의 단면 쪽 제3 측면(S3)이 상방을 향하게 되고, 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)의 제3 측면(S3)의 검사가 수행된다(S135). 도 9a에 도시된 바와 같이, 제3 측면(S3)은 제1 측면(S1)에 반대되는 측면일 수 있다.

제1 검사 대상(1500-1)의 제3 측면(S3)의 검사 후, 플리퍼(220)가 상승하면서 약 90° 회전함으로써, 제1 검사 대상(1500-1)도 약 90° 회전하여 수평 상태가 된다(S136). 물론, 플리퍼(220)는 상승 후에 회전할 수도 있다. 참고로, 본 단계에서 플리퍼(220)의 약 90° 회전은, 제1 스테이지(100)에서 이미 검사된 제1 검사 대상(1500-1)의 표면의 반대 면이 상방을 향하도록 수행될 수 있다. 예컨대, 제1 스테이지(100)에서 제1 검사 대상(1500-1)의 제1면이 검사된 경우, 플리퍼(220)의 약 90° 회전을 통해 제1 검사 대상(1500-1)의 제2면이 상방을 향할 수 있다.

도 8 및 도 9d를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)은 제1 스테이지(100)의 방향 전환부(120)로 이송될 수 있다(S137).

도 8, 도 9e 및 도 9f를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)은 방향 전환부(120)에서 수평으로 회전하고, 앞/뒷면 검사 위치로 이동하여 뒷제2면 검사가 수행된다(S140).

도 8 및 도 9e를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)은 제1 레일부(110)를 통해 방향 전환부(120)로 이동하고, 도 9e에 도시된 바와 같이, 방향 전환부(120)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)은 수평으로 약 90° 회전된다(S142). 방향 전환부(120)의 회전은, 레일과 충돌하지 않도록, 상승하면서 회전, 상승 후 회전, 또는 하강하면서 회전 등으로 수행될 수 있다. 한편, 방향 전환부(120)의 회전에 의해 제1 검사 대상(1500-1)은 길이 방향의 배치가 폭 방향의 배치로 변경될 수 있다. 따라서, 제1 레일부(110)의 간격은 제1 이동 레일(114)의 이동을 통해 제1 검사 대상(1500-1)의 장변에 대응하도록 변경될 수 있다. 물론, 처음에 제1 검사 대상(1500-1)이 폭 방향으로 제1 스테이지(100)에 투입된 경우, 방향 전환부(120)의 회전에 의해 제1 검사 대상(1500-1)은 폭 방향의 배치가 길이 방향의 배치로 변경되고, 제1 레일부(110)의 간격도 그에 따라 변경될 수 있다. 또한 플리퍼(220)의 간격도 마찬가지로 변경될 수 있다.

도 8 및 도 9f를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)은 제1 레일부(110)를 통해 표면 검사 위치로 이동하고(S144), 클램프(130)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)이 고정된다(S146). 제1 검사 대상(1500-1)이 고정되면 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 뒷면 검사가 수행된다(S148). 도 9f에 도시된 바와 같이, 제1 검사 대상(1500-1)의 뒷면 검사의 경우도, 검사부(300)가 제4 화살표(a4) 방향으로 이동하면서 수행될 수 있다. 물론, 제1 검사 대상(1500-1)의 사이즈가 작은 경우에는 한 번의 촬상을 통해 뒷면 검사가 수행될 수도 있다.

도 8, 도 9g 및 도 9h를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 뒷면 검사가 완료된 후, 제1 검사 대상(1500-1)이 제2 스테이지(200)로 이동되고 장변 쪽의 측면들(S2, S4)의 검사가 수행된다(S160). 또한, 제2 검사 대상(1500-2)이 제1 스테이지(100)에 투입되어 표면 검사 위치에 대기한다(S150). 제1 검사 대상(1500-1)의 장변 쪽의 측면들(S2, S4)의 검사와, 제2 검사 대상(1500-2)의 제1 스테이지(100)에서의 대기는 함께 이루어질 수 있다.

좀더 구체적으로, 도 8 및 도 9g를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 뒷면 검사가 완료된 후, 제1 검사 대상(1500-1)은 제2 스테이지(200)의 플리퍼(220)로 이동한다(S161). 상기 제1 검사 대상(1500-1)이 플리퍼(220)로 이동한 후 제1 레일부(110)의 폭은 추후 반입될 제2 검사 대상(1500-2)의 폭에 대응되도록 조정될 수 있다.

도 8 및 도 9h를 참조하면, 제1 스테이지(100)에 제2 검사 대상(1500-2)이 제1면이 상방을 향하도록 길이 방향으로 투입된다(S152). 제2 검사 대상(1500-2)은 제1 레일부(110)를 통해 표면 검사 위치로 이동하고(S154), 클램프(130)를 통해 고정된다(S156). 이후, 제2 검사 대상(1500-2)은 표면 검사 위치에서 대기한다(S158). 만약, 여유분의 검사부가 있는 경우, 제2 검사 대상(1500-2)은 대기하지 않고 제1면 검사가 수행될 수도 있다.

한편, 제2 스테이지(200)로 이동한 제1 검사 대상(1500-1)은 플리퍼(220)의 적정 위치로 이동하고(S161), 클램프 플레이트(226)를 통해 플리퍼(220)에 고정된 후, 플리퍼(220)가 하강하면서 약 90° 회전함으로써, 제1 검사 대상(1500-1)은 수직 상태가 된다(S162). 역시, 플리퍼(220)는 회전 후에 하강할 수도 있다. 플리퍼(220)는 반시계 방향으로 회전하여 제1 검사 대상(1500-1)의 제1면이 제2 스테이지(200) 방향으로 향할 수 있다. 물론, 플리퍼(220)는 시계 방향으로 회전할 수도 있다.

플리퍼(220)의 약 90° 회전에 의해 제1 검사 대상(1500-1)의 장변 쪽 제2 측면(S2)이 상방이 상방을 향하게 되고, 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)의 제2 측면(S2)의 검사가 수행된다(S163). 이후, 플리퍼(220)가 약 180° 회전함으로써, 제1 검사 대상(1500-1)도 약 180° 회전하여 다시 수직 상태가 된다(S164). 플리퍼(220)의 약 180° 회전은 상승하면서 약 90° 회전하고, 다시 하강하면서 약 90° 회전하는 식으로 진행될 수 있다. 물론, 플리퍼(220)의 약 180° 회전은 앞서 단변 쪽의 회전에서 언급한 바와 같이 다른 방법들을 통해 수행될 수도 있다. 또한, 약 180° 회전에는 제1 검사 대상(1500-1)의 이동이 포함될 수 있다.

플리퍼(220)의 약 180° 회전에 의해 제1 검사 대상(1500-1)의 장변 쪽 제4 측면(S4)이 상방을 향하게 되고, 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상(1500-1)의 제4 측면(S4)의 검사가 수행된다(S165). 도 9d에 도시된 바와 같이, 제4 측면(S4)은 제2 측면(S2)에 반대되는 측면일 수 있다.

제1 검사 대상(1500-1)의 제4 측면(S4)의 검사 후, 플리퍼(220)가 상승하면서 약 90° 회전함으로써, 제1 검사 대상(1500-1)도 약 90° 회전하여 수평 상태가 된다(S166). 물론, 플리퍼(220)는 상승 후에 회전할 수도 있다. 참고로, 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 앞면 및 뒷면의 검사가 모두 수행되었으므로, 플리퍼(220)의 약 90° 회전에 의한 제1 검사 대상(1500-1)의 상방으로 향하는 면에 대한 제한은 없을 수 있다.

이후, 제1 검사 대상(1500-1)은 제2 레일부(210)를 통해 제2 스테이지(200)의 출구로 출발한다(S167).

제2 스테이지(200)의 출구에 도착한 제1 검사 대상(1500-1)은 제2 스테이지(200)로부터 배출된다(S170). 즉, 본 실시예의 검사 장치(1000)에 서의 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 외관 검사가 완료된다. 한편, 제1 검사 대상(1500-1)의 배출 과정 중에 제2 검사 대상(1500-2)에 대한 앞면 검사가 바로 수행될 수 있다.

본 실시예의 검사 방법은, 제1 스테이지(100)와 제2 스테이지(200)가 물리적으로 분리되어 독립적으로 동작하는 도 1의 검사 장치(1000)를 이용함으로써, 검사 대상에 대한 외관 검사를 보다 신속하고 정확하게 수행할 수 있다. 예컨대, 제2 스테이지(200)의 플리퍼(220)에서 제1 검사 대상(1500-1)의 제2 측면(S2)과 제4 측면(S4)을 검사할 때, 이미 제2 검사 대상(1500-2)을 제1 스테이지(100)의 표면 검사 위치에 대기시킴으로써, 제1 검사 대상(1500-1)의 측면들(S2, S4)의 검사가 완료되면 바로 제2 검사 대상(1500-2)에 대한 앞면 검사를 수행할 수 있다. 따라서, 제1 검사 대상(1500-1)의 배출과, 제2 검사 대상(1500-2)의 투입 및 표면 검사 위치로의 이동 시간만큼 검사 시간을 단축할 수 있다. 한편, 2개의 검사부가 있는 경우에는 제2 검사 대상(1500-2)의 앞면 검사 시간까지도 단축시킬 수 있다.

도 10은 도 1의 검사 장치에서, 검사 대상의 측면들의 경사면을 검사하는 원리를 설명하기 위한 사시도이다.

도 10을 참조하면, 본 실시예의 검사 장치(1000)는 플리퍼(220)를 통해 검사 대상(1500)을 약 90° 또는 약 180° 회전시켜 검사 대상(1500)을 수직 상태로 되게 한 후, 수직 상태에서 제1 각도(θ)만큼 시계 방향과 반시계 방향으로 검사 대상(1500)을 더 회전시킬 수 있다. 이와 같이, 검사 대상(1500)을 수직 상태에서 제1 각도(θ)만큼 더 회전시킴으로써, 검사부(300)를 통해 검사 대상(1500)의 측면들의 경사면을 검사할 수 있다.

예컨대, 도 8의 검사 방법에서, 제1 측면 검사 단계(S133), 제3 측면 검사 단계(S135), 제2 측면 검사 단계(S163), 및 제4 측면 검사 단계(S165) 각각에서, 해당 측면의 검사를 수행한 후, 제1 검사 대상(1500-1)을 제1 각도(θ)만큼 더 회전시켜 검사부(300)로 촬상함으로써, 제1 측면 내지 제4 측면(S1, S2, S3, S4) 각각의 경사면을 검사할 수 있다. 한편, 검사 대상(1500)의 수직 상태에서 시계 방향과 반시계 방향으로 회전되는 각도는 제1 각도(θ)로서 동일할 수 있다. 그러나 경우에 따라, 검사 대상(1500)의 수직 상태에서 시계 방향과 반시계 방향으로 회전되는 각도는 서로 다를 수도 있다.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(1000a)를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 12a 내지 도 12f는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(1000a)를 이용하여 검사 대상을 검사하는 방법을 나타낸 측면도들이다. 도 11은 검사 대상(1500-1)이 다양한 위치, 예컨대 제2 스테이지(200)의 입구 부분과 플리퍼(220)에 위치하는 것을 가상선으로 도시하였으나, 검사 대상(1500-1)은 그 외의 위치에 다양한 방향과 자세로 위치할 수 있다.

도 1 내지 도 10에 나타낸 실시예들에서는 검사 대상(들)이 제1 스테이지로 투입되어 검사를 거친 후 제2 스테이지를 통해 배출된다. 도 11 및 도 12a 내지 도 12f의 실시예에서는 검사 대상이 제2 스테이지를 통해 투입되고 검사를 거친 후 제1 스테이지를 통해 배출된다.

도 11 및 도 12a를 참조하면, 제2 스테이지(210)로 제1 검사 대상(1500-1)이 반입된다. 제1 검사 대상(1500-1)이 반입될 때 상부를 향하는 면을 제1면으로 정의할 수 있다. 또한 제1 검사 대상(1500-1)이 반입될 때 그의 장변 방향으로 반입될 수도 있고, 그의 단변 방향으로 반입될 수도 있다.

도 11 및 도 12b를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)을 플리퍼(220)로 이송하여 플리핑한 후 반대되는 두 측면의 검사를 수행한다. 플리퍼(220)에서의 검사에 관한 상세한 설명은 도 9b, 도 9c 등을 참조하여 상세하게 설명하였으므로 여기서는 상세한 설명을 생략한다.

도 11 및 도 12c를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)을 수평으로 하여 표면 검사 위치(132)에서 클램프(130)에 인접하게 위치시킨다. 만일 제1 검사 대상(1500-1)을 제1 스테이지(100)로 이송하기 전 제1 스테이지(100)의 폭이 제1 검사 대상(1500-1)을 반입하기에 부적절하다면 제1 스테이지(100)의 폭을 조정하는 단계가 더 수행될 수 있다.

표면 검사 위치(132)에 제1 검사 대상(1500-1)을 위치시킨 다음, 상기 제1 검사 대상(1500-1)을 클램프(130)로 고정하여 상부를 향하는 표면에 대하여 검사를 수행할 수 있다. 이를 위하여 검사부(300)가 표면 검사 위치(132)의 상부로 이동할 수 있다. 이 때 검사되는 표면은 제1면일 수도 있고, 제2면일 수도 있다.

도 11 및 도 12d를 참조하면, 상부 표면의 검사가 완료된 제1 검사 대상(1500-1)을 방향 전환부(120)로 이송하여 상승시킨 후 수평으로 약 90° 방향 전환할 수 있다. 제2 스테이지(200)로 제1 검사 대상(1500-1)이 장변 방향으로 반입되었으면 상기 방향 전환에 의하여 단변 방향을 가질 수 있다. 제2 스테이지(200)로 제1 검사 대상(1500-1)이 단변 방향으로 반입되었으면 상기 방향 전환에 의하여 장변 방향을 가질 수 있다.

도 11 및 도 12e를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)을 다시 플리퍼(220)로 이송하여 플리핑한 후, 검사되지 않은 나머지 두 측면의 검사를 수행한다.

도 11 및 도 12f를 참조하면, 제1 검사 대상(1500-1)을 수평으로 하여 표면 검사 위치(132)에서 클램프(130)에 인접하게 위치시킨다. 이 때 제1 검사 대상(1500-1)의 상방을 향하는 면은 도 12c에서 상방을 향했던 면의 반대면이다. 제1 검사 대상(1500-1)이 표면 검사 위치(132)에 위치되면, 제2 스테이지(200)의 폭을 조정한 후 제2 검사 대상(1500-2)이 제2 스테이지(200)로 반입될 수 있다.

상기 표면 검사 위치(132)의 제1 검사 대상(1500-1)에 대한 검사가 완료되면, 제1 검사 대상(1500-1)은 제1 스테이지(100)를 통해 외부로 배출될 수 있다.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 2개의 검사 장치를 구비한 검사 시스템에 대한 사시도이다.

도 13을 참조하면, 본 실시예의 검사 시스템(2000)은 인접하여 배치된 2개의 검사 장치(1000-1, 1000-2)를 포함할 수 있다. 제1 검사 장치(1000-1)와 제2 검사 장치(1000-2) 각각은 도 1의 검사 장치와 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 제1 검사 장치(1000-1)와 제2 검사 장치(1000-2)는 하나의 검사부(300)를 공유할 수 있다. 다시 말해서, 본 실시예의 검사 시스템(2000)은 하나의 검사부(300)를 이용하여 제1 검사 장치(1000-1)와 제2 검사 장치(1000-2) 사이를 이동시키면서, 2개의 검사 대상에 대한 외관 검사를 동시에 수행할 수 있다. 일반적으로 검사부(300)가 고가이고, 또한, 검사부(300)에 의한 촬상은 매우 짧은 시간에 이루어지는 반면에 검사 대상의 이동이나 회전 등은 비교적 긴 시간이 소요될 수 있다. 따라서, 하나의 검사부(300)를 이용하여 2개의 검사 장치(1000-1, 1000-2) 사이를 이동시키면서, 2개의 검사 대상의 외관을 충분히 효과적으로 검사할 수 있다.

예컨대, 제1 검사 장치(1000-1)의 제1 스테이지(100-1)에서 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상에 대한 제1면 검사가 수행된다. 이후, 제1 검사 대상은 제2 스테이지(200-1)로 이동하여 제1 플리퍼(220-1)에 의해 플리핑이 진행되고, 이 과정 중에 제2 검사 장치(1000-2)의 제3 스테이지(100-2)에서 검사부(300)를 통해 제2 검사 대상에 대한 제1면 검사를 수행한다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 제3 스테이지(100-2)는 투입 스테이지일 수 있다.

제2 검사 대상은 제4 스테이지(200-2)로 이동하여 제2 플리퍼(220-2)에 의해 플리핑이 진행되고, 이 과정 중에 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상의 단변 쪽의 측면들의 검사가 진행된다. 이후, 제1 검사 대상은 제1 스테이지(100-1)로 이동하여 방향 전환부에서 수평 방향 전환하고 표면 검사 위치로 이동한다. 이 과정 중에, 검사부(300)를 통해 제2 검사 대상의 단변 쪽의 측면들의 검사가 진행된다.

제2 검사 대상은 제3 스테이지(100-2)로 이동하여 방향 전환부에서 수평 방향 전환하고 표면 검사 위치로 이동하며, 이 과정 중에 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상의 제2면이 검사된다. 이후, 제1 검사 대상은 제2 스테이지(200-1)로 이동하여 제1 플리퍼(220-1)에 의해 플리핑이 진행되고, 이 과정 중에 검사부(300)를 통해 제2 검사 대상의 제2면이 검사된다.

제2 검사 대상은 제4 스테이지(200-2)로 이동하여 제2 플리퍼(220-2)에 의해 플리핑이 진행되고, 이 과정 중에 검사부(300)를 통해 제1 검사 대상의 장변 쪽의 측면들의 검사가 진행된다. 이후, 제1 검사 대상은 제2 레일부를 통해 배출되고, 이 과정 중에, 검사부(300)를 통해 제2 검사 대상의 장변 쪽의 측면들의 검사가 진행된다.

정리하면, 하나의 검사부(300)를 이용하여, 제1 검사 대상의 제1면 검사, 제2 검사 대상의 제1면 검사, 제1 검사 대상의 단면 쪽 측면들 검사, 제2 검사 대상의 단면 쪽 측면들 검사, 제2 검사 대상의 제2면 검사, 제2 검사 대상의 제2면 검사, 제1 검사 대상의 장변 쪽 측면들 검사, 및 제2 검사 대상의 장변 쪽 측면들 검사 순으로 진행될 수 있다. 물론, 본 실시예의 검사 시스템(2000)에서, 검사부(300)의 이동 순서가 전술한 순서에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 본 실시예의 검사 시스템(2000)에서, 검사부(300)의 이동은 2개의 검사 장치(1000-1, 1000-2)가 최적 및 최단시간으로 검사를 수행할 수 있는 순서로 이동될 수 있다.

본 발명은 적절한 컴퓨팅 환경에서 구현되는 것으로 예시될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 다양한 방법들은, 이를 구현하는 컴퓨터 소프트웨어를 기록한 기록매체로 제공될 수 있다.

상기 기록매체는 통상적으로 다양한 컴퓨터 판독 가능 매체를 포함하고, 컴퓨터에 의해 액세스 될 수 있는 임의의 이용 가능한 매체로 제공될 수 있다. 또한, 상기 기록매체는 소멸성(volatile) 또는 비소멸성(non-volatile) 매체, 분리형(removable) 또는 비분리형(non-removable) 매체 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 기록매체는, 컴퓨터 판독 가능 명령, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 그 밖의 데이터와 같은 정보 저장을 위한 임의의 방법이나 기술로 구현되는 매체를 모두 포함할 수 있다. 상기 기록매체는, RAM, ROM, EEPROM, 플래시 메모리 또는 그 밖의 메모리 기술, CD-ROM, DVD 또는 그 밖의 광학 디스크 저장 장치, 자기 카세트, 자기 테이프, 자기 디스크 저장 장치 또는 그 밖의 자기 저장 장치, 또는 원하는 정보를 저장하는데 사용될 수 있는 컴퓨터에 의해 액세스 될 수 있는 임의의 다른 매체 등을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.

상기 기록매체는 컴퓨터로 판독 가능하다면, 널리 통신 매체를 포함할 수 있다. 상기 통신 매체는 통상적으로 반송파 또는 기타 전송 메커니즘과 같은 변조된 데이터 신호로 컴퓨터 판독 가능 명령, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 그 밖의 데이터를 구현하며, 임의의 정보 전달 매체를 포함한다.

지금까지, 본 발명을 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

1000, 1000-1, 1000-2: 검사 장치, 100, 100-1: 제1 스테이지, 110: 제1 레일부, 112: 제1 고정 레일, 114: 제1 이동 레일, 115, 215, 222: 이송 벨트, 120: 방향 전환부, 130: 클램프, 200: 제2 스테이지, 210: 제2 레일부, 212: 제2 고정 레일, 213: 제2 이동 레일, 220: 플리퍼, 224: 슬립 링, 226: 클램프 플레이트, 228: 클램프 실린더, 229: 가이드 샤프트, 1500, 1500-1, 1500-2: 검사 대상

Claims (20)

1. 투입된 제1 검사 대상을 검사 위치로 이송시키며, 상기 검사 위치에서 상기 제1 검사 대상의 앞면이 검사되도록 하는 제1 스테이지(stage); 및
   상기 제1 스테이지에 인접하여 배치되고 상기 제1 스테이지로부터 상기 제1 검사 대상을 이송 받거나 상기 제1 스테이지로 상기 제1 검사 대상을 이송하며, 상기 제1 검사 대상을 회전시켜 상기 제1 검사 대상의 측면들이 검사되도록 하는 제2 스테이지;를 포함하고,
   상기 제1 검사 대상은, 상기 제1 스테이지로부터 상기 제2 스테이지로의 제1 이송, 상기 제2 스테이지로부터 상기 제1 스테이지로의 제2 이송, 및 상기 제1 스테이지로부터 상기 제2 스테이지로의 제3 이송의 순서로 이송되고, 상기 제3 이송 중에 또는 후에 제2 검사 대상이 상기 제1 스테이지에 투입되고,
   상기 제1 스테이지는, 상기 앞면 또는 뒷면이 상방을 향하는 자세에서, 상기 앞면 또는 뒷면에 평행하게 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 방향 전환부를 포함하는, 검사 장치.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 스테이지는, 제1 고정 레일과 제1 이동 레일을 구비한 제1 레일부를 포함하고,
   상기 제2 스테이지는, 제2 고정 레일과 제2 이동 레일을 구비한 제2 레일부를 포함하며,
   상기 제1 이동 레일의 동작에 의해 상기 제1 고정 레일과 제1 이동 레일의 사이의 폭이 조절되고,
   상기 제2 이동 레일의 동작에 의해 상기 제2 고정 레일과 제2 이동 레일의 사이의 폭이 조절되며,
   상기 제1 이동 레일과 상기 제2 이동 레일은 서로 독립적으로 동작하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 제2 스테이지는, 상기 앞면 또는 뒷면이 상방을 향하는 자세에서 상기 제1 검사 대상의 측면이 상방을 향하도록 하거나, 또는 상기 측면이 상방을 향하는 자세에서 상기 측면의 반대되는 측면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 플리퍼(flipper)를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
4. 제3 항에 있어서,
   상기 제1 검사 대상은,
   상기 제1 이송에서 상기 제1 레일부에 의해 상기 검사 위치에서 상기 플리퍼로 이동하고, 상기 제2 이송 전에 상기 플리퍼에서 회전하며,
   상기 제2 이송에서 상기 제1 레일부에 의해 상기 플리퍼로부터 상기 방향 전환부로 이동하고, 상기 제3 이송 전에 상기 방향 전환부에서 회전한 후 상기 제1 레일부에 의해 상기 방향 전환부로부터 상기 검사 위치로 이동하며,
   상기 제3 이송에서 상기 제1 레일부에 의해 상기 검사 위치에서 상기 플리퍼로 이동하고, 상기 제3 이송 후 상기 플리퍼에서 회전하며,
   상기 제1 검사 대상은 상기 플리퍼에 의한 회전 후 상기 제2 레일부에 의해 상기 제2 스테이지로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 검사장치.
5. 제4 항에 있어서,
   상기 제2 검사 대상은 상기 제1 검사 대상이 상기 제2 스테이지로부터 배출되기 전에 상기 제1 스테이지로 투입되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
6. 제3 항에 있어서,
   상기 플리퍼는 상기 제1 검사 대상을 상승 또는 하강하면서 회전시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
7. 제3 항에 있어서,
   상기 플리퍼는, 상기 측면이 상방을 향하는 자세에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 소정 각도 내에서 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
8. 제3 항에 있어서,
   상기 플리퍼는 무한 회전이 가능하도록 슬립 링(slip ring) 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
9. 제3 항에 있어서,
   상기 플리퍼는 상기 제1 검사 대상에 밀착되어 상기 제1 검사 대상을 고정하기 위한 클램프 플레이트를 포함하되, 상기 클램프 플레이트는 2개로 분리된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 검사 대상으로부터 반사된 광을 수광하여 상기 제1 검사 대상을 검사하는 적어도 하나의 검사부를 포함하고,
    상기 검사부가 이동하면서 상기 제1 스테이지에서의 상기 제1 검사 대상의 앞면 또는 뒷면 검사와, 상기 제2 스테이지에서의 상기 제1 검사 대상의 측면들의 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
11. 제10 항에 있어서,
    상기 검사 장치는 2개가 인접하여 배치되고,
    상기 검사부가 2개의 상기 검사 장치들 사이를 이동하면서 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
12. 투입된 제1 검사 대상을 검사 위치로 이송시키며, 상기 검사 위치에서 상기 제1 검사 대상의 제1 면이 검사되도록 하는 제1 스테이지; 및
    상기 제1 스테이지에 인접하여 배치되고 상기 제1 스테이지로부터 상기 제1 검사 대상을 이송 받거나 상기 제1 스테이지로 상기 제1 검사 대상을 이송하며, 상기 제1 검사 대상을 회전시켜 상기 제1 면과 다른 상기 제1 검사 대상의 제2 면이 검사되도록 하는 제2 스테이지;를 포함하고,
    상기 제1 검사 대상이 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지의 사이를 왕복하되, 상기 제1 검사 대상이 상기 제1 스테이지로부터 상기 제2 스테이지로 두 번째 이송되는 중에 또는 이송된 후에, 제2 검사 대상이 상기 제1 스테이지에 투입되고,
    상기 제1 스테이지는 상기 제1 면의 법선을 축으로 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 방향 전환부를 포함하는, 검사 장치.
13. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 스테이지는 제1 고정 레일과 제1 이동 레일을 구비한 제1 레일부를 포함하고,
    상기 제2 스테이지는, 제2 고정 레일과 제2 이동 레일을 구비한 제2 레일부, 및 상기 제2 고정 레일이 연장하는 방향과 수직으로 교차하고 상기 제1 면에 평행한 직선을 축으로 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 플리퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 검사 대상은, 상기 제1 레일부에 의해 상기 검사 위치에서 상기 플리퍼로 이동하고, 상기 플리퍼에서 회전하며, 상기 제1 레일부에 의해 상기 플리퍼로부터 상기 방향 전환부로 이동하여 상기 방향 전환부에서 회전하며, 상기 제1 레일부에 의해 검사 위치로 이동하고 상기 플리퍼로 이동하는 순서로 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지를 왕복하며,
    상기 제1 검사 대상은 최종 이송된 후에 상기 플리퍼에서 회전하고, 상기 제2 레일부에 의해 상기 제2 스테이지로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
15. 제1 스테이지와 제2 스테이지를 구비한 검사 장치의 상기 제1 스테이지에 앞면이 상방을 향하도록 제1 검사 대상을 투입하는 단계;
    검사부를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 앞면을 검사하는 단계;
    상기 제1 검사 대상을 상기 제2 스테이지로 이동시키고, 플리퍼를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 4개의 측면들 중 제1 측면과 상기 제1 측면에 반대되는 제3 측면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키며, 상기 검사부를 이용하여 상기 제1 측면과 제3 측면을 검사하는 단계;
    상기 플리퍼를 이용하여 상기 앞면에 반대되는 뒷면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키고, 상기 제1 검사 대상을 상기 제1 스테이지의 방향 전환부로 이동시키며, 상기 방향 전환부를 이용하여 상기 제1 검사 대상을 상기 뒷면에 평행하게 회전시키는 단계;
    상기 검사부를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 뒷면을 검사하는 단계; 및
    상기 제1 검사 대상을 상기 제2 스테이지로 이동시키고, 플리퍼를 이용하여 상기 제1 검사 대상의 4개의 측면들 중 제2 측면과 상기 제2 측면에 반대되는 제4 측면이 상방을 향하도록 상기 제1 검사 대상을 회전시키며, 상기 검사부를 이용하여 상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계;를 포함하고,
    상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계 중에 또는 후에, 제2 검사 대상을 상기 제1 스테이지에 투입하여 대기시키는, 검사 방법.
16. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 측면과 제3 측면을 검사하는 단계, 및 상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계에서,
    상기 플리퍼는 상기 제1 검사 대상을 상승 또는 하강하면서 회전시키는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
17. 제16 항에 있어서,
    상기 플리퍼는, 상기 제1 측면 내지 제4 측면 중 어느 한 측면이 상방을 향하는 자세에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 소정 각도 내에서 상기 제1 검사 대상을 회전시키는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
18. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 스테이지는, 제1 고정 레일과 제1 이동 레일을 구비한 제1 레일부를 포함하고,
    상기 제2 스테이지는, 제2 고정 레일과 제2 이동 레일을 구비한 제2 레일부를 포함하며,
    상기 제1 이동 레일과 상기 제2 이동 레일이 서로 독립적으로 동작하여, 상기 제1 고정 레일과 제1 이동 레일 사이의 제1 폭과 상기 제2 고정 레일과 제2 이동 레일 사이의 제2 폭이 서로 다르게 되는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
19. 제15 항에 있어서,
    상기 제2 측면과 제4 측면을 검사하는 단계에서, 상기 제1 검사 대상의 상기 제2 측면과 제4 측면의 검사가 완료되면 상기 제1 검사 대상은 상기 제2 스테이지로부터 배출되고,
    상기 제2 측면과 제4 측면의 검사가 완료되면 바로 상기 제2 검사 대상의 앞면 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
20. 제15 항에 있어서,
    상기 검사 장치는 2개가 인접하여 배치되고,
    상기 검사부는 2개의 상기 검사 장치들 사이를 이동하면서 검사를 수행하며,
    2개의 상기 검사 장치들 중 어느 하나에서 상기 검사부에 의한 검사 동작이 수행될 때, 다른 하나에서 검사 대상의 이동 동작이 수행되는 것을 특징으로 하는 검사 방법.

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