JP2001296254A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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Abstract
域内の基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制して基
板を搬送することにより、当該検査領域において精度良
く基板の欠陥を検査する。 【解決手段】 搬送手段11、13により基板15を搬
送し、ラインセンサ16、18による検査領域で、搬送
案内手段20により当該基板の幅方向に亘り肉厚方向の
変位を抑制する。これにより、検査領域25、27にお
いて、ラインセンサ16、18の被写界深度に差が生ず
ることはなく、ラインセンサにより基板の表面又は裏面
の状況を適正に検出することができ、精度良く基板の検
査を行うことができる。
Description
り、特に、配線などのパターンが形成された配線基板等
平板状基板の孔、基板の表面又は裏面のパターン欠け等
欠陥の有無を検査する基板検査装置に関する。
線パターン形成後に、配線に断線や欠け、基板の孔等欠
陥の有無を検査することが行われている。
板の表面欠陥検査には、ラインCCDセンサ等画像読取
装置を用いた自動検査装置が広く採用されている。近
年、液晶ディスプレイ装置等に適用される平板状基板
は、次第に大型化される傾向を有し、この種の大型化基
板に対するより厳しく且つ迅速な自動検査装置が望まれ
ている。
易に対応できること、高速搬送が可能であること等の理
由により、自動検査装置において、被検査基板を搬送ベ
ルト、ローラ等の搬送手段によって搬送し、所定の位置
でCCDセンサ等画像読取装置により当該被検査基板の
被検査部位を画像として読み取り、この読み取られた画
像に基づいて、欠陥の有無を検査する手法が、広く利用
されている。
ローラ対を搬送方向に沿って並列して所定間隔で配置
し、各組のローラ間に披検査基板の搬送方向の両側縁を
支持させ、当該基板の平面度を保ちつつ、被検査基板を
搬送し所定位置で欠陥を検査するものが広く利用されて
いる。
基板検査装置における搬送装置では、被検査基板の全面
を支持せずに搬送を行っているため、被検査基板の大型
化に伴い、当該披検査基板の自重により、被検査基板の
一部分が下方に沈み込んで、被検査基板が湾曲する。こ
のため、被検査基板の平面性を確保することが困難とな
り、CCDセンサで画像を読み取る領域内で被写界深度
に差が生じ、精度よく欠陥を検出することが出来ないと
いう問題がある。
もので、基板の湾曲、撓み、反り等を防止し、検査領域
内の基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制して基板
を搬送することにより、当該検査領域において精度良く
基板の欠陥を検査することができる基板検査装置の提供
を目的とする。
に請求項1の発明は、配線パターンが形成された基板を
少なくとも基板の幅方向両端部をそれぞれの細幅ベルト
で挟持して搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送
路中に設けられた少なくとも検査領域内において、前記
基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように搬送を
案内する搬送案内手段と、前記検査領域において、前記
搬送案内手段で案内されている基板の幅方向に沿って、
前記基板面を走査することで基板面を検出するラインセ
ンサと、を有することを特徴とする。
て、前記ラインセンサが、前記基板の搬送路において前
記基板の表裏両面側に設けられ、当該基板の表裏面のそ
れぞれに検査領域が設けられており、前記ラインセンサ
により前記基板の表裏両面が検出されることを特徴とす
る。
の発明において、予め基板上の適正な配線パターンが記
憶され、該適正な配線パターンと検出結果とを比較する
比較手段を更に備えたことを特徴とする。
基板を定速搬送し、ラインセンサによる検査領域で、搬
送案内手段により当該基板の幅方向に亘り肉厚方向の変
位がないように案内する。これにより、検査領域におい
て、基板の検査部位とラインセンサとの距離が基板の幅
方向のいずれの部位においても一定となり、基板の幅方
向に亘り被写界深度に差が生ずるのが防止される。これ
により、ラインセンサによって基板の面の状況を適正に
検出することができ、精度良く基板の欠陥検査を行うこ
とができる。
搬送中に基板の表面および裏面を順次検査することがで
き、作業性が向上する。
により予め記憶されたパターンと、検出結果とを比較す
ることで検査結果にムラが生じることはなく、また、作
業性が向上する。
のいずれか1項の発明において、前記搬送案内手段は、
少なくとも基板を円弧状に搬送させるための円弧面を有
するガイド部材で構成されていることを特徴とする。
求項3のいずれか1項の発明において基板を円弧状に搬
送させるための円弧面を有するガイド部材を設けること
により、搬送される基板が円弧状に搬送される。即ち、
基板が搬送方向に湾曲され、基板の幅方向に亘り肉厚方
向の変位が抑制される。なお、ガイド部材の円弧面で基
板を支持することにより、ローラ等を用いるよりも安定
性がある。
のいずれか1項の発明において、前記搬送案内手段は、
前記基板が直線的に搬送するときの軌跡に対して、軸線
が基板の肉厚方向に平行移動された複数の回転体で構成
され、この回転体に案内させることで基板を湾曲させ前
記検査領域が最も変位量が大きくなるように各回転体が
配設されていることを特徴とする。
において、前記回転体によって、波形の搬送路が形成さ
れ、肉厚方向のそれぞれの凸側に前記ラインセンサが配
置されていることを特徴とする。
求項3のいずれか1項の発明において、搬送案内手段と
して、基板が直線的に搬送するときの軌跡に対して、軸
線が基板の肉厚方向に平行移動された複数の回転体を、
前記検査領域が最も変位量が大きくなるように各回転体
を配設する。そして、この回転体の間に基板を通過させ
ることで、検査領域においてそれぞれの回転体が基板の
所定箇所を上側または下側から支持する。回転体はそれ
ぞれ、肉厚方向に変位して配置されており、例えば、各
回転体を搬送方向に亘り互い違いに肉厚方向にずらして
配置することで基板を搬送方向に湾曲させることがで
き、前記検査領域において、特に、基板の幅方向に亘り
肉厚方向の変位が抑制される。
のそれぞれの凸側にラインセンサを配置することで、基
板の両面を検査することができる。
を参照して本発明の第1の実施の形態を詳細に説明す
る。
は、エッチング処理等でプリント配線パターン15Aが
形成された合成樹脂製の基板15(図9参照)を図1お
よび図2の矢印A方向に搬送する搬送手段として、下側
搬送ベルト11、11と、上側搬送ベルト13、13と
を備えている。基板15には、配線パターン15Aの
他、部品の端子を半田付けするための複数の孔15Bが
設けられている。なお、基板15の寸法は図9に示す如
く、L=350mm、W=100mmである。
端ベルトであり、この下側搬送ベルト11、11は、基
板15の幅方向(図1の矢印B方向)両端部を載置させ
ながら搬送するものである。下側搬送ベルト11、11
は、ローラ軸12Aで連結された2つの円柱状の下側ベ
ルト用ローラ12、12に巻きかけられている。
ルト用ローラ12、12を介して図示しないモータによ
り回転力を受けて、その回転力により駆動され、図1お
よび図2の矢印C方向に共に一定速度で回転するように
なっている。
搬送ベルト11、11と同様に一対の細幅無端ベルトで
あり、この上側搬送ベルト13、13は、下側搬送ベル
ト11、11によりその幅方向両端部が下側から支持さ
れた基板15を、上側から押さえながら走行するもので
ある。上側搬送ベルト13、13は、下側搬送ベルト1
1、11と同様に、ローラ軸14Aで連結された2つの
円柱状の上側ベルト用ローラ14、14に巻きかけられ
ている。上側搬送ベルト13、13は、下側搬送ベルト
11、11の摩擦力により回転力を受け、図1および図
2の矢印D方向に共に一定速度で従動回転するようにな
っている。
上側搬送ベルト13、13と下側搬送ベルト11、11
とにより挟持されることで、図1および図2の矢印Aで
示す如く、左側から右側へ搬送されるようになってい
る。なお、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベ
ルト13、13の幅寸法は、3mm〜5mmである。
置は、基板15の表側面の検査領域としての上側画像読
取領域25(図2参照)となっている。上側画像読取領
域25の上方には、基板15の表側面の状況を検出する
ラインセンサとして、基板15の表側面の画像を読み取
る上側ラインCCDセンサ16が配置されている。この
上側ラインCCDセンサ16の下方には所定間隔を隔て
てレンズ17が配置されている。上側ラインCCDセン
サ16は、基板15の幅方向に沿って基板15の表側面
を走査することで、基板15の表側面の濃度を検出す
る。
方向(図2の矢印A方向)に進んだ位置の下方は、基板
15の裏側面の検査領域としての下側画像読取領域27
(図2参照)となっている。下側画像読取領域27の下
方には基板15の裏側面の状況を検出するライン状のラ
インセンサとしての下側ラインCCDセンサ18が配置
されている。下側ラインCCDセンサ18の上方には、
所定間隔を隔ててレンズ19が配置されている。下側ラ
インCCDセンサ18は、上側ラインCCDセンサ16
と同様に、基板15の幅方向に沿って基板15の裏側面
を走査することで、基板15の裏側面の濃度を検出す
る。また、上側ラインCCDセンサ16および下側ライ
ンCCDセンサ18近傍には、上側画像読取領域25お
よび下側画像読取領域27に図示しない光源からの光を
照射する照明装置(図示省略)が設けられている。な
お、この照明装置は、少なくとも上側画像読取領域25
および下側画像読取領域27において、基板15の幅方
向に亘る線状の領域に均一に光を照射するものである。
である上側画像読取領域25には、搬送される基板15
を湾曲させることにより基板の幅方向に亘り肉厚方向
(図1および図2の矢印E方向)の変位を抑制する円柱
状の案内用ローラ20が複数設けられている。
の搬送方向に対して各々が所定間隔づつ隔てて設けられ
ており、更に、基板15が直線的に搬送されるときの軌
跡L(図5参照)に対して、軸線が基板15の肉厚方向
上側に変位して配置されている。これにより、上側画像
読取領域25では、基板15は、図2の上に凸状の円弧
軌跡を描きながら搬送されるようになっている。また、
上側画像読取領域25における上側ラインCCDセンサ
16の読取位置には、2つの案内用ローラ20が接近し
て配置されており(この配置の詳細については後述す
る)、この2つの案内用ローラ20間は強固に肉厚方向
の変位が抑制されるようになっている。
用ローラ20が複数設けられており、この複数の案内用
ローラ20は基板15の搬送方向に対して各々が所定間
隔づつ隔てて設けられ、前記軌跡Lに対して軸線が基板
15の肉厚方向下側に変位して配置されている。これに
より、下側画像読取領域27では、基板15は、図2の
下側に凸状の円弧軌跡を描きながら搬送されるようにな
っている。そして、下側画像読取領域27における下側
ラインCCDセンサ18の読取位置には、2つの案内用
ローラ20が接近して配置され、この2つの案内用ロー
ラ間は強固に肉厚方向の変位が抑制されるようになって
いる。
置構成を示す。なお、各案内用ローラ20を図3および
図4においては、20の末尾にA、B、C、D、E、
F、G、H、I、Jを付して区別する。最左端の案内用
ローラ20Aは、上側搬送ベルト13、13の内側に設
けられ、前記軌跡L上にその下端が位置するようになっ
ている。次に、この案内用ローラ20Aの隣に位置する
案内用ローラ20Bは、案内用ローラ20Aと所定間隔
を隔てて下側搬送ベルト11、11の内側に設けられ、
案内用ローラ20Bの回転中心と周縁との中間部近傍の
部位が、軌跡L上に位置するようになっている。また、
案内用ローラ20Cは、案内用ローラ20Bと所定間隔
を隔てて下側搬送ベルト11、11の内側に設けられ、
案内用ローラ20Cの回転中心近傍の部位が軌跡L上に
位置するようになっている。更に、案内用ローラ20D
は、案内用ローラ20Cと所定間隔を隔てて下側搬送ベ
ルト11、11の内側に設けられ、前記案内用ローラ2
0Cと同じ高さに位置するようになっている。更にま
た、案内用ローラ20Eは、案内用ローラ20Dと所定
間隔を隔てて下側搬送ベルト15の内側に設けられ、前
記案内用ローラ20Bと同じ高さに位置するようになっ
ている。
ーラ20Eと所定間隔を隔てて上側搬送ベルト13、1
3の内側に設けられ、案内用ローラ20Fの回転中心と
周縁との中間部近傍の部位が、前記軌跡L上に位置する
ようになっている。案内用ローラ20G、20Hは、そ
れぞれ案内用ローラ20Fと所定間隔を隔てて上側搬送
ベルト13、13の内側に設けられ、案内用ローラ20
G、20Hの回転中心近傍の部位がそれぞれ前記軌跡L
上に位置するようになっている。案内用ローラ20Iは
案内用ローラ20Hと所定間隔を隔てて上側搬送ベルト
13、13の内側に設けられ、前記案内用ローラ20F
と同じ高さに位置するようになっている。そして、案内
用ローラ20Jは、案内用ローラ20Iと所定間隔を隔
てて下側搬送ベルト11の、11内側に設けられ、前記
軌跡L上にその上端が位置するようになっている。
側搬送ベルト13、13は、図4の左側から前記軌跡L
上で上側から案内用ローラ20Aに押さえられ、軌跡L
よりやや上方で下側から案内用ローラ20B、20C、
20D、20Eにより支持される。このとき、案内用ロ
ーラ20C、20Dの変位量は、案内用ローラ20B、
20Eの変位量よりも大きいため下側搬送ベルト11、
11および上側搬送ベルト13、13とは案内用ローラ
20C、20Dの中間を頂点Xとして上側に突出した円
弧状の搬送路を形成する。よって、基板15は上側画像
読取領域25において、図4の頂点Xを頂点とする円弧
軌跡で搬送されることになる。なお、この円弧は300
Rである。
側搬送ベルト13、13は、軌跡Lよりやや下方で上側
から案内用ローラ20F、20G、20H、20Iによ
り押さえられ、軌跡L上で下側から案内用ローラ20J
により支持される。このとき、案内用ローラ20G、2
0Hの変位量が案内用ローラ20F、20Hの変位量よ
りも大きいため、下側搬送ベルト11、11および上側
搬送ベルト13、13は案内用ローラ20G、20Hの
中間部を頂点Yとして下側に突出した円弧状の搬送路を
形成する。よって、基板15は下側画像読取領域27に
おいて、図4の頂点Yを頂点とする円弧軌跡で搬送され
ることになる。なお、この円弧は、前記した頂点Xを頂
点とする円弧と同様に、約300Rである。
び上側搬送ベルト13、13は、上側画像読取領域25
を通過して、更に下側画像読取領域27を通過すると
き、側面視でなだらかな波形の搬送路を形成する。そし
て、基板15はこの波形の搬送路に従って、波形の軌跡
で搬送されることとなる。
明する。
下側搬送ベルト11、11が駆動し、基板15は、上側
搬送ベルト13、13と下側搬送ベルト11、11とに
その幅方向両端部を挟持されることで、図1の左側から
右側まで搬送され、図1の右側に搬出される(図1の矢
印A参照)。下側搬送ベルト11、11と、上側搬送ベ
ルト13、13とは前記案内用ローラ20に案内されて
いることから、基板15は上側画像読取領域25を通過
するとき、案内用ローラ20Aの下側を通過し、案内用
ローラ20B、20C、20D、20Eの上側を通過し
て上側に突出した円弧軌跡を描く。続いて、基板15は
下側画像読取領域27を通過するとき、案内用ローラ2
0F、20G、20H、20Iの下側を通過し、更に、
案内用ローラ20Jの上側を通過して下側に突出した円
弧軌跡を描く。この結果、基板15は上側画像読取領域
25と下側画像読取領域27とを通過するとき、なだら
なかな波形の軌跡で搬送される。
先端部が案内用ローラ20C、20D間を通過すると
き、その通過部位が上側ラインCCDセンサ16による
検査の対象となる。即ち、基板15の先端部が案内用ロ
ーラ20C、20D間、即ち、上側画像読取領域25を
通過すると図示しないセンサの検出により判断されたと
き、上側画像読取領域25に図示しない照明装置によっ
て光が照射され、上側ラインCCDセンサ16が駆動さ
れる。そして、基板15の円弧の頂点X(図4参照)が
基板15の幅方向に沿って上側ラインCCDセンサ16
により画像として読み取られる。
20G、20H間を通過するとき、即ち、基板15の先
端部が下側画像読取領域27を通過すると図示しないセ
ンサの検出により判断されたとき、下側画像読取領域2
7に図示しない照明装置によって光が照射され、下側ラ
インCCDセンサ18が駆動される。そして、基板15
の円弧の頂点Y(図4参照)が基板15の幅方向に沿っ
て下側ラインCCDセンサ18により画像として読み取
られる。
域25を通過したとき、上側ラインCCDセンサ16に
よる画像の読み取りが終了し、続いて、基板15の後端
部が下側画像読取領域27を通過したとき、下側ライン
CCDセンサ18による画像の読み取りが終了する。そ
して、基板15の表裏面全面の画像が読み取られると、
この読み取られた画像に基づいて、基板15のパターン
の欠け、孔等欠陥の有無が検査される。
読取領域25、下側画像読取領域27において、基板1
5が案内用ローラ20により基板の搬送方向に湾曲さ
れ、円弧軌跡で搬送されていることから、基板の幅方向
に亘り肉厚方向の変位が抑制される。従って、上側画像
読取領域25および下側画像読取領域27において、上
側ラインCCDセンサ16および下側ラインCCDセン
サ18の被写界深度に差が生ずることはなく、基板の円
弧の頂点X、Yの画像を読み取ることにより、上側ライ
ンCCDセンサ16と下側ラインCCDセンサ18とに
より読み取られる画像に基板15が適正に反映される。
その結果、読み取られた画像に基づいて、精度良く基板
15の欠陥検査をすることができる。
2の実施の形態である基板検査装置について説明する。
本実施の形態において、第1の実施の形態と同一の構成
については同符号を付し、その説明を省略する。
置における基板15の搬送路の一部である上側画像読取
領域25には、第1ガイド31、第2ガイド32が設け
られている。
11の内側に設けられ、その形状は上端面(図7の上側
面)が側面視で円弧状の凸状となったかまぼこ形状とな
っている。第2ガイド32は上側搬送ベルト13、13
の内側に設けられ、その形状は直方体形状である。
における上側ラインCCDセンサ16による読取位置に
その円弧の頂点α(図7参照)が位置するように、且
つ、第1ガイド31の中央部近傍の部位が前記軌跡Lと
一致するように配置される。第2ガイド32は、第1ガ
イド31よりも搬送方向と反対方向に所定間隔を隔てて
設けられ、その下端面が前記軌跡L(図8参照)と一致
するように配置されている。
側搬送ベルト13、13とは、図6および図7の左側か
ら前記軌跡L上で上側から第2ガイド32に押さえら
れ、軌跡Lよりやや上方で第1ガイド31に下側から支
持される。このとき、第2ガイド32の下端面は軌跡L
上に位置するが、第1ガイド31の円弧面は軌跡Lより
も上側に変位しているため、下側搬送ベルト11、11
および上側搬送ベルト13、13とは、第1ガイド31
の円弧面の頂点αを頂点として上側に突出した円弧状の
搬送路を形成する。
2とは、搬送される基板15を湾曲させることにより基
板15の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制するように
なっている。
側画像読取領域27には、第1ガイド33、第2ガイド
34とが設けられている。
13の内側に設けられ、その形状は下端面(図7の下側
面)が側面視で円弧状の凸状となったかまぼこ形状とな
っている。第2ガイド34は上側搬送ベルト11、11
の内側に設けられ、その形状は直方体形状である。
における下側ラインCCDセンサ17による読取位置に
その円弧の頂点β(図7参照)が位置するように、且
つ、第1ガイド33の中央部近傍の部位が前記軌跡L
(図8参照)と一致するように配置される。第2ガイド
34は、第1ガイド33よりも搬送方向に進んだ所定間
隔を隔てて設けられ、その上端面が前記軌跡Lと一致す
るように配置されている。
側搬送ベルト13、13とは、図6および図7の左側か
ら前記軌跡Lよりやや下方で上側から第1ガイド33に
押さえられ、軌跡L上で第2ガイド34に下側から支持
される。このとき、第2ガイド34の上端面は軌跡L上
に位置するが、第1ガイド33の円弧面は軌跡Lよりも
下側に変位しているため、下側搬送ベルト11、11お
よび上側搬送ベルト13、13とは、第1ガイド31の
円弧面の頂点βを頂点として下側に突出した円弧状の搬
送路を形成する。
とは、搬送される基板15を湾曲させることにより基板
15の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制するようにな
っている。
側搬送ベルト13、13とは、上側画像読取領域25を
通過して、下側画像読取領域27を通過するとき、側面
視でなだらかな波形の搬送路を形成する。そして、基板
15はこの波形の搬送路に従って、波形の軌跡で搬送さ
れることになる(図8参照)。
明する。
されると、下側搬送ベルト11、11が駆動し、基板1
5は、上側搬送ベルト13、13と下側搬送ベルト1
1、11とにその幅方向両端部を挟持されることで、図
6および図7の左側から右側まで搬送され、図6および
図7の右側に搬出される(図6の矢印A参照)。下側搬
送ベルト11、11と、上側搬送ベルト13、13とは
第1ガイド31、33び第2ガイド32、34に案内さ
れていることから、基板15は上側画像読取領域25を
通過するとき、第2ガイド32の下側を通過し、第1ガ
イド31の上側を通過して上側に突出した円弧軌跡を描
く。続いて、基板15は下側画像読取領域27を通過す
るとき、第1ガイド33の下側を通過し、更に、第2ガ
イド34の上側を通過して下側に突出した円弧軌跡を描
く。この結果、基板15は上側画像読取領域25と下側
画像読取領域27とを通過するとき、なだらなかな波形
の軌跡で搬送される。
先端部が第1ガイド31の頂点αを通過するとき、その
通過部位が上側ラインCCDセンサ16による検査の対
象となる。即ち、基板15の先端部が上側画像読取領域
25を通過すると図示しないセンサの検出により判断さ
れたとき、上側画像読取領域25に図示しない照明装置
によって光が照射され、上側ラインCCDセンサ16が
駆動される。そして、基板15の円弧の頂点α(図7参
照)が基板15の幅方向に沿って上側ラインCCDセン
サ16により画像として読み取られる。
4の頂点β(図7参照)を通過するとき、即ち、基板1
5の先端部が下側画像読取領域27を通過すると図示し
ないセンサの検出により判断されたとき、下側画像読取
領域27に図示しない照明装置によって光が照射され、
下側ラインCCDセンサ18が駆動される。そして、基
板15の円弧の頂点βが基板15の幅方向に沿って下側
ラインCCDセンサ18により画像として読み取られ
る。
域25を通過したとき、上側ラインCCDセンサ16に
よる画像の読み取りが終了し、続いて、基板15の後端
部が下側画像読取領域27を通過したとき、下側ライン
CCDセンサ18による画像の読み取りが終了する。そ
して、基板15の表裏面全面の画像が読み取られると、
この読み取られた画像に基づいて、基板15のパターン
の欠け、孔等欠陥の有無が検査される。
画像読取領域25、下側画像読取領域27において、基
板15が第1ガイド31、33および第2ガイド32、
34により基板の搬送方向に湾曲され、円弧軌跡で搬送
されていることから、基板の幅方向に亘り肉厚方向の変
位が抑制される。従って、上側画像読取領域25および
下側画像読取領域27において、上側ラインCCDセン
サ16および下側ラインCCDセンサ18の被写界深度
に差が生ずることはなく、基板の円弧の頂点α、βの画
像を読み取ることにより、上側ラインCCDセンサ16
と下側ラインCCDセンサ18とにより読み取られる画
像に基板15が適正に反映される。その結果、読み取ら
れた画像に基づいて、精度良く基板15の欠陥検査をす
ることができる。
査装置おいては、上側および下側にラインCCDセンサ
16、18を設けたので、基板15の表裏両面の検査を
することができ、作業性が向上する。更にまた、搬送ベ
ルトが波形の搬送路を形成するように案内用ローラ2
0、ガイド31、32、33、34を配置することによ
り、基板15は波形軌跡で搬送される。即ち、基板15
は、一旦上側に突出するように湾曲されるが、続いて、
下方に突出するように湾曲されるため、検査終了後の基
板15は元の平板状に維持される。
装置に、さらに、コンピュータ等の予め基板15の正規
のパターンを記憶させ、この正規のパターンとラインC
CDセンサ16、18により検出した結果とを比較する
比較手段を備えることにより、人間による手作業より
も、より確実に精度良く、また、迅速に基板15の欠陥
等を検査することができる。
1と上側搬送ベルト13、13とによりその幅方向両端
部(図9の斜線部)を挟持されながら、基板15と下側
搬送ベルト11、11と上側搬送ベルト13、13とが
一体に搬送される。従って、基板15が直接案内用ロー
ラ20又はガイド31、32、33、34に接すること
は無く、基板15の幅方向両端部(図9の斜線部)の損
傷を防止することができるという効果もある。更に、基
板15の表面または裏面を検出するに際し、ラインCC
Dセンサ16、18を用いて基板の幅方向に沿って、基
板15を走査する。これにより、検出時、即ち画像読み
取り時に基板15を停止させる必要が無く、基板15の
全面を検査することができ作業性が向上する。更に又、
下側搬送ベルト11、11は、上側搬送ベルト13、1
3よりも長く形成されており、基板15を搬送するとき
に、搬入台、搬出台としての役割を果たすことができる
ため、これによっても作業性が向上する。加えて、基板
15が画像読取領域25又は画像読取領域27において
画像の読み取りが行われているときであり、その処理が
終わらない状態であっても、次の基板を搬送することが
できるため、これによっても作業性が向上する。
送案内手段として、ガイド、回転体であるローラにより
搬送ベルトを案内して基板を湾曲させるようにしたが、
球等他の回転体によって、又、ベアリング等によって搬
送ベルトを案内することにより基板を湾曲させることも
できる。
板の湾曲、撓み、反り等を防止し、検査領域内の基板の
幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制して基板を搬送する
ことにより、当該検査領域において精度良く基板の欠陥
を検査することができるという優れた効果がある。
の全体構成を示す斜視図である。
の全体構成を示す側面図である。
の検査領域の構成を示す斜視図である。
の検査領域の構成を示す側面図である。
の検査領域において、基板が直線的に搬送されるときの
軌跡と案内用ローラの配置を示す概略側面図である。
の検査領域の構成を示す斜視図である。
の検査領域の構成を示す側面図である。
の検査領域において、基板が直線的に搬送されるときの
軌跡と案内用ローラの配置を示す概略側面図である。
て、搬送される基板を示す平面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 配線パターンが形成された基板を少なく
とも基板の幅方向両端部をそれぞれの細幅ベルトで挟持
して搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送路中に
設けられた少なくとも検査領域内において、前記基板の
幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように搬送を案内す
る搬送案内手段と、 前記検査領域において、前記搬送案内手段で案内されて
いる基板の幅方向に沿って、前記基板面を走査すること
で基板面を検出するラインセンサと、 を有する基板検査装置。 - 【請求項2】 前記ラインセンサが、前記基板の搬送路
において前記基板の表裏両面側に設けられ、当該基板の
表裏面のそれぞれに検査領域が設けられており、前記ラ
インセンサにより前記基板の表裏両面が検出されること
を特徴とする請求項1記載の基板検査装置。 - 【請求項3】 予め基板上の適正な配線パターンが記憶
され、該適正な配線パターンと検出結果とを比較する比
較手段を更に備えたことを特徴とする請求項1又は請求
項2記載の基板検査装置。 - 【請求項4】 前記搬送案内手段は、少なくとも基板を
円弧状に搬送させるための円弧面を有するガイド部材で
構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3
のいずれか1項に記載の基板検査装置。 - 【請求項5】 前記搬送案内手段は、前記基板が直線的
に搬送するときの軌跡に対して、軸線が基板の肉厚方向
に平行移動された複数の回転体で構成され、この回転体
に案内させることで基板を湾曲させ、前記検査領域が最
も変位量が大きくなるように各回転体が配設されている
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項
に記載の基板検査装置。 - 【請求項6】 前記回転体によって、波形の搬送路が形
成され、肉厚方向のそれぞれの凸側に前記ラインセンサ
が配置されていることを特徴とする請求項5記載の基板
検査装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2000-04-12 JP JP2000111298A patent/JP4403229B2/ja not_active Expired - Lifetime
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