JP3330447B2 - 基板位置決め方法および基板位置決め装置 - Google Patents
基板位置決め方法および基板位置決め装置Info
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- JP3330447B2 JP3330447B2 JP09980894A JP9980894A JP3330447B2 JP 3330447 B2 JP3330447 B2 JP 3330447B2 JP 09980894 A JP09980894 A JP 09980894A JP 9980894 A JP9980894 A JP 9980894A JP 3330447 B2 JP3330447 B2 JP 3330447B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶ディスプレ
イ製造用ガラス基板等を搬送して、ステージ上の所定位
置に位置決め載置する基板位置決め方法および基板位置
決め装置に関する。
イ製造用ガラス基板等を搬送して、ステージ上の所定位
置に位置決め載置する基板位置決め方法および基板位置
決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置として、例えば実開
平３−８３９４５号公報及び実開平４−６５３１７号公
報等に開示された基板位置決め装置が知られている。実
開平３−８３９４５号公報に開示された基板位置決め装
置は、２方向から与えられた圧力によって基板を固定ロ
ーラに押圧し、そこに位置決めする装置であって、ステ
ージに形成された貫通孔にステージ下部の光源から光を
照射し、貫通孔を通過した通過光を受光することにより
基板の位置を検出するカメラを備えている。このよう
に、光源から貫通孔を介して基板の角部に照射された光
をカメラで検出することにより、基板の適正位置を光学
的に検出することができる。
平３−８３９４５号公報及び実開平４−６５３１７号公
報等に開示された基板位置決め装置が知られている。実
開平３−８３９４５号公報に開示された基板位置決め装
置は、２方向から与えられた圧力によって基板を固定ロ
ーラに押圧し、そこに位置決めする装置であって、ステ
ージに形成された貫通孔にステージ下部の光源から光を
照射し、貫通孔を通過した通過光を受光することにより
基板の位置を検出するカメラを備えている。このよう
に、光源から貫通孔を介して基板の角部に照射された光
をカメラで検出することにより、基板の適正位置を光学
的に検出することができる。
【０００３】実開平４−６５３１７号公報に開示された
基板位置決め装置も、２方向から与えられた圧力によっ
て基板を固定突当部材に押圧し、そこに位置決めする装
置であって、平板アタッチメントを備えており、この平
板アタッチメント上で基板を位置決めした後、更に平板
アタッチメントを位置決めする構成を有する。このよう
に、２段階位置決め方式を採用することによって、種々
の大きさの基板を精度よく位置決めすることができる。
基板位置決め装置も、２方向から与えられた圧力によっ
て基板を固定突当部材に押圧し、そこに位置決めする装
置であって、平板アタッチメントを備えており、この平
板アタッチメント上で基板を位置決めした後、更に平板
アタッチメントを位置決めする構成を有する。このよう
に、２段階位置決め方式を採用することによって、種々
の大きさの基板を精度よく位置決めすることができる。
【０００４】また、図４に示すような基板位置決め装置
も知られている。なお、本装置の説明に際し、各構成の
移動方向は、図中ＸＹＺ軸方向に準じた方向とし、同一
符号を付してその詳細な説明は省略する。
も知られている。なお、本装置の説明に際し、各構成の
移動方向は、図中ＸＹＺ軸方向に準じた方向とし、同一
符号を付してその詳細な説明は省略する。
【０００５】即ち、図４に示す基板位置決め装置は、ガ
ラス基板１を載置するステージ３と、複数枚のガラス基
板１を収納可能な基板収納カセット５と、この基板収納
カセット５からガラス基板１を取り出して、ステージ３
上に載置する搬送装置７とを備えている。
ラス基板１を載置するステージ３と、複数枚のガラス基
板１を収納可能な基板収納カセット５と、この基板収納
カセット５からガラス基板１を取り出して、ステージ３
上に載置する搬送装置７とを備えている。
【０００６】ステージ３上には、エアシリンダ（図示し
ない）の空気圧によって図中矢印Ｙ，Ｘ方向に駆動する
基板押し付け機構９ａ，９ｂが埋設されていると共に、
ステージ３上に載置されたガラス基板１の隣接２辺が突
き当たることによって、ステージ３上にガラス基板１を
位置決めする第１ないし第３の固定ピン１１ａ，１１
ｂ，１１ｃが突設されている。
ない）の空気圧によって図中矢印Ｙ，Ｘ方向に駆動する
基板押し付け機構９ａ，９ｂが埋設されていると共に、
ステージ３上に載置されたガラス基板１の隣接２辺が突
き当たることによって、ステージ３上にガラス基板１を
位置決めする第１ないし第３の固定ピン１１ａ，１１
ｂ，１１ｃが突設されている。
【０００７】基板収納カセット５の両側には、ベース１
３から立ち上げられた一対の基板整列機構１５ａ，１５
ｂが配置されており、これら基板整列機構１５ａ，１５
ｂが夫々図中矢印Ｘ方向に移動することによって、基板
収納カセット５内に収納されたガラス基板１を一定の方
向に整列させるように構成されている。
３から立ち上げられた一対の基板整列機構１５ａ，１５
ｂが配置されており、これら基板整列機構１５ａ，１５
ｂが夫々図中矢印Ｘ方向に移動することによって、基板
収納カセット５内に収納されたガラス基板１を一定の方
向に整列させるように構成されている。
【０００８】搬送装置７は、その上端から回動且つ上下
動自在に延出した搬送軸７ａと、この搬送軸７ａ上に設
けられ、基板収納カセット５から取り出したガラス基板
１をステージ３上に載置する搬送アーム７ｂとを備えて
いる。
動自在に延出した搬送軸７ａと、この搬送軸７ａ上に設
けられ、基板収納カセット５から取り出したガラス基板
１をステージ３上に載置する搬送アーム７ｂとを備えて
いる。
【０００９】次に、この基板位置決め装置の動作につい
て説明する。まず、搬送装置７が駆動し、搬送軸７ａを
図中矢印Ｓ方向に回転させて搬送アーム７ｂを基板収納
カセット５方向に移動させる。そして、目的のガラス基
板１の下側に搬送アーム７ｂを挿入させる。
て説明する。まず、搬送装置７が駆動し、搬送軸７ａを
図中矢印Ｓ方向に回転させて搬送アーム７ｂを基板収納
カセット５方向に移動させる。そして、目的のガラス基
板１の下側に搬送アーム７ｂを挿入させる。
【００１０】この後、搬送軸７ａを図中Ｚ方向に若干上
昇させることによって、搬送アーム７ｂ上にガラス基板
１を載置させ、この状態で搬送アーム７ｂを基板収納カ
セット５から引き抜く。この結果、目的のガラス基板１
が基板収納カセット５から取り出される。
昇させることによって、搬送アーム７ｂ上にガラス基板
１を載置させ、この状態で搬送アーム７ｂを基板収納カ
セット５から引き抜く。この結果、目的のガラス基板１
が基板収納カセット５から取り出される。
【００１１】次に、搬送軸７ａを図中矢印Ｓ方向に回転
させ、搬送アーム７ｂの向きをステージ３方向に整合さ
せ、搬送アーム７ｂをステージ３上に延出させる。そし
て、搬送軸７ａを図中Ｚ方向に下降させることによっ
て、搬送アーム７ｂ上に載置されたガラス基板１は、ス
テージ３上に受け渡され、搬送アーム７ｂをステージ３
から引き抜くことによって、ガラス基板１は、ステージ
３上に載置される。
させ、搬送アーム７ｂの向きをステージ３方向に整合さ
せ、搬送アーム７ｂをステージ３上に延出させる。そし
て、搬送軸７ａを図中Ｚ方向に下降させることによっ
て、搬送アーム７ｂ上に載置されたガラス基板１は、ス
テージ３上に受け渡され、搬送アーム７ｂをステージ３
から引き抜くことによって、ガラス基板１は、ステージ
３上に載置される。
【００１２】この後、エアシリンダの空気圧を基板押し
付け機構９ａ，９ｂに作用させて、これら基板押し付け
機構９ａ，９ｂを図中Ｙ，Ｘ方向に移動させることによ
って、ステージ３上のガラス基板１の隣接２辺を第１な
いし第３の固定ピン１１ａ，１１ｂ，１１ｃに突き当て
る。
付け機構９ａ，９ｂに作用させて、これら基板押し付け
機構９ａ，９ｂを図中Ｙ，Ｘ方向に移動させることによ
って、ステージ３上のガラス基板１の隣接２辺を第１な
いし第３の固定ピン１１ａ，１１ｂ，１１ｃに突き当て
る。
【００１３】この結果、目的のガラス基板１は、ステー
ジ３上に位置決め載置されることになる。なお、このと
き、図示しない真空吸着部材によって、位置決め載置さ
れたガラス基板１に吸引力を作用して、ガラス基板１を
ステージ３上に位置決め固定させることも好ましい。
ジ３上に位置決め載置されることになる。なお、このと
き、図示しない真空吸着部材によって、位置決め載置さ
れたガラス基板１に吸引力を作用して、ガラス基板１を
ステージ３上に位置決め固定させることも好ましい。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
基板は大型化する傾向にあり、この結果、その重量も増
加する傾向にある。従って、上述したような基板側面を
２方向から押圧して位置決めする方法では、その押圧力
によって基板をステージ上で滑らせて位置決めすること
が困難となる。この場合、押圧力を上げることも考えら
れるが、押圧力を上げると装置の大型化につながり、結
果、装置の占有スペースをある程度確保しなければなら
ない。また、精度よく基板の位置決めを行うために、基
板に対する押し付け工程を２回行うことも考えられる
が、位置決め時間が余計にかかってしまう。更に、位置
決めされた基板をステージから取り出して搬送する際、
位置決め用の固定ピンと基板側面とがこすれることによ
り、粉塵等の異物が発生するため、例えばクリーンルー
ム内での使用が困難になってしまう。
基板は大型化する傾向にあり、この結果、その重量も増
加する傾向にある。従って、上述したような基板側面を
２方向から押圧して位置決めする方法では、その押圧力
によって基板をステージ上で滑らせて位置決めすること
が困難となる。この場合、押圧力を上げることも考えら
れるが、押圧力を上げると装置の大型化につながり、結
果、装置の占有スペースをある程度確保しなければなら
ない。また、精度よく基板の位置決めを行うために、基
板に対する押し付け工程を２回行うことも考えられる
が、位置決め時間が余計にかかってしまう。更に、位置
決めされた基板をステージから取り出して搬送する際、
位置決め用の固定ピンと基板側面とがこすれることによ
り、粉塵等の異物が発生するため、例えばクリーンルー
ム内での使用が困難になってしまう。
【００１５】本発明は、このような課題を解決するため
になされており、その目的は、ステージ上に搬送された
基板を非接触にて位置決めすることで、高精度に基板の
位置決めすることができ、かつ基板からの粉塵等の異物
発生を抑制できる基板位置決め方法および基板位置決め
装置を提供することにある。
になされており、その目的は、ステージ上に搬送された
基板を非接触にて位置決めすることで、高精度に基板の
位置決めすることができ、かつ基板からの粉塵等の異物
発生を抑制できる基板位置決め方法および基板位置決め
装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の基板位置決め方法は、矩形状基板を
基板保持ステージ上に搬送する搬送ステップと、前記基
板保持ステージから浮かせた状態で、該基板の隣接する
２辺の各端面に対する基準位置を非接触センサで検出す
る位置検出ステップと、前記位置検出工程により検知さ
れた位置情報に基づいて前記基板を基準位置に位置決め
する基板位置決めステップと、前記基板位置決めステッ
プにより位置決めされた該基板を前記基板保持ステージ
に載置させた状態で該基板保持ステージ上に吸着保持す
る基板保持ステップとを備える。また、本発明の基板位
置決め装置は、矩形状基板を吸着保持する基板保持ステ
ージと、 前記基板保持ステージ上に前記基板を搬送す
る搬送アームを備えた基板搬送装置と、前記基板搬送装
置の搬送アームにより搬送された前記基板を前記基板保
持ステージから浮かせた状態で、該基板の端面を非接触
にて検出する基板検出センサと、前記基板検出センサに
より検出された位置情報に基づいて前記基板を基準位置
に位置決めする基板位置決め手段と、前記基板位置決め
手段により位置決めされた前記基板を前記基板保持ステ
ージ上に受け渡した状態で、該基板を吸着保持する保持
手段とを備える。
るために、本発明の基板位置決め方法は、矩形状基板を
基板保持ステージ上に搬送する搬送ステップと、前記基
板保持ステージから浮かせた状態で、該基板の隣接する
２辺の各端面に対する基準位置を非接触センサで検出す
る位置検出ステップと、前記位置検出工程により検知さ
れた位置情報に基づいて前記基板を基準位置に位置決め
する基板位置決めステップと、前記基板位置決めステッ
プにより位置決めされた該基板を前記基板保持ステージ
に載置させた状態で該基板保持ステージ上に吸着保持す
る基板保持ステップとを備える。また、本発明の基板位
置決め装置は、矩形状基板を吸着保持する基板保持ステ
ージと、 前記基板保持ステージ上に前記基板を搬送す
る搬送アームを備えた基板搬送装置と、前記基板搬送装
置の搬送アームにより搬送された前記基板を前記基板保
持ステージから浮かせた状態で、該基板の端面を非接触
にて検出する基板検出センサと、前記基板検出センサに
より検出された位置情報に基づいて前記基板を基準位置
に位置決めする基板位置決め手段と、前記基板位置決め
手段により位置決めされた前記基板を前記基板保持ステ
ージ上に受け渡した状態で、該基板を吸着保持する保持
手段とを備える。
【００１７】
【作用】搬送装置により搬送された基板を基板保持ステ
ージより浮かせた状態で、非接触センサにて基板の端面
を検出し、この基板を基準位置に整合させた状態で基板
保持ステージ上に載置し吸着保持する。
ージより浮かせた状態で、非接触センサにて基板の端面
を検出し、この基板を基準位置に整合させた状態で基板
保持ステージ上に載置し吸着保持する。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例に係る基板位置
決め装置について、図１及び図２を参照して説明する。
図１（Ａ）には、本実施例に適用されたＸＹステージ１
７の構成が概略的に示されている。即ち、ＸＹステージ
１７は、中抜き四角形状を成しており、その上部面に任
意のガラス基板１９を載置可能に構成されている。ま
た、ＸＹステージ１７の上部面には、ガラス基板１９を
ＸＹステージ１７上に位置決め載置させるように、ガラ
ス基板１９の端面を光学的に検出可能な第１及び第２の
基板検出センサ２１ａ，２１ｂ（図１（Ｂ）参照）が埋
設されている。なお、ＸＹステージ１７の上部面には、
後述する搬送アームの引き抜き用の溝部２３が形成され
ている。
決め装置について、図１及び図２を参照して説明する。
図１（Ａ）には、本実施例に適用されたＸＹステージ１
７の構成が概略的に示されている。即ち、ＸＹステージ
１７は、中抜き四角形状を成しており、その上部面に任
意のガラス基板１９を載置可能に構成されている。ま
た、ＸＹステージ１７の上部面には、ガラス基板１９を
ＸＹステージ１７上に位置決め載置させるように、ガラ
ス基板１９の端面を光学的に検出可能な第１及び第２の
基板検出センサ２１ａ，２１ｂ（図１（Ｂ）参照）が埋
設されている。なお、ＸＹステージ１７の上部面には、
後述する搬送アームの引き抜き用の溝部２３が形成され
ている。
【００１９】具体的には、図１（Ｂ）に示すように、Ｘ
Ｙステージ１７上にガラス基板１９を載置する際、例え
ば第２の基板検出センサ２１ｂから出射された所定の検
出光Ｆの光路中にガラス基板１９の端面が位置付けられ
たとき、第２の基板検出センサ２１ｂは、ガラス基板１
９の端面からの反射光に起因した光学的特性の変化を検
出可能に構成されている。
Ｙステージ１７上にガラス基板１９を載置する際、例え
ば第２の基板検出センサ２１ｂから出射された所定の検
出光Ｆの光路中にガラス基板１９の端面が位置付けられ
たとき、第２の基板検出センサ２１ｂは、ガラス基板１
９の端面からの反射光に起因した光学的特性の変化を検
出可能に構成されている。
【００２０】この第２の基板検出センサ２１ｂは、ＸＹ
ステージ１７上に載置されるガラス基板１９のＸ方向の
基準位置に配置されている。従って、第２の基板検出セ
ンサ２１ｂによってガラス基板１９の端面（以下、この
端面を仮にＸ方向基準端面１９ｂとする）が光学的に検
出されたとき、このガラス基板１９は、その端面即ちＸ
方向基準端面１９ｂがＸ方向の基準位置に位置付けられ
たことになる。
ステージ１７上に載置されるガラス基板１９のＸ方向の
基準位置に配置されている。従って、第２の基板検出セ
ンサ２１ｂによってガラス基板１９の端面（以下、この
端面を仮にＸ方向基準端面１９ｂとする）が光学的に検
出されたとき、このガラス基板１９は、その端面即ちＸ
方向基準端面１９ｂがＸ方向の基準位置に位置付けられ
たことになる。
【００２１】なお、上記第２の基板検出センサ２１ｂと
同様の機能を有する第１の基板検出センサ２１ａは、Ｘ
Ｙステージ１７上に載置されるガラス基板１９のＹ方向
の基準位置に配置されている。従って、第１の基板検出
センサ２１ａによってガラス基板１９の端面（以下、こ
の端面を仮にＹ方向基準端面１９ａとする）が光学的に
検出されたとき、このガラス基板１９は、その端面即ち
Ｙ方向基準端面１９ａがＹ方向の基準位置に位置付けら
れたことになる。
同様の機能を有する第１の基板検出センサ２１ａは、Ｘ
Ｙステージ１７上に載置されるガラス基板１９のＹ方向
の基準位置に配置されている。従って、第１の基板検出
センサ２１ａによってガラス基板１９の端面（以下、こ
の端面を仮にＹ方向基準端面１９ａとする）が光学的に
検出されたとき、このガラス基板１９は、その端面即ち
Ｙ方向基準端面１９ａがＹ方向の基準位置に位置付けら
れたことになる。
【００２２】図２には、上記ＸＹステージ１７が適用さ
れた本実施例の基板位置決め装置の全体の構成が概略的
に示されている。なお、本装置の説明に際し、各構成の
移動方向は、互いに直交するように規定したＸＹＺ方向
に準ずる。
れた本実施例の基板位置決め装置の全体の構成が概略的
に示されている。なお、本装置の説明に際し、各構成の
移動方向は、互いに直交するように規定したＸＹＺ方向
に準ずる。
【００２３】図２（Ａ）に示すように、本実施例の基板
位置決め装置は、上記ＸＹステージ１７と、複数枚のガ
ラス基板１９を収納可能な基板収納カセット２５と、こ
の基板収納カセット２５からガラス基板１９を取り出し
て、ＸＹステージ１７上に載置する搬送装置２７とを備
えている。
位置決め装置は、上記ＸＹステージ１７と、複数枚のガ
ラス基板１９を収納可能な基板収納カセット２５と、こ
の基板収納カセット２５からガラス基板１９を取り出し
て、ＸＹステージ１７上に載置する搬送装置２７とを備
えている。
【００２４】基板収納カセット２５の両側には、一対の
基板整列機構２９ａ，２９ｂが配置されており、これら
基板整列機構２９ａ，２９ｂが夫々図中矢印方向に移動
することによって、基板収納カセット２５内に収納され
たガラス基板１９を一定の方向、即ちＸＹステージ１７
上に位置決め載置するガラス基板１９をＸＹステージ１
７の基板載置方向に整合する方向に整列させるように構
成されている。
基板整列機構２９ａ，２９ｂが配置されており、これら
基板整列機構２９ａ，２９ｂが夫々図中矢印方向に移動
することによって、基板収納カセット２５内に収納され
たガラス基板１９を一定の方向、即ちＸＹステージ１７
上に位置決め載置するガラス基板１９をＸＹステージ１
７の基板載置方向に整合する方向に整列させるように構
成されている。
【００２５】搬送装置２７は、装置本体２７ａの上端か
ら回動且つ上下動自在に延出した搬送軸２７ｂと、この
搬送軸２７ｂ上に設けられ、基板収納カセット２５から
取り出したガラス基板１９をＸＹステージ１７上に載置
する搬送アーム２７ｃとを備えている。
ら回動且つ上下動自在に延出した搬送軸２７ｂと、この
搬送軸２７ｂ上に設けられ、基板収納カセット２５から
取り出したガラス基板１９をＸＹステージ１７上に載置
する搬送アーム２７ｃとを備えている。
【００２６】次に、本実施例の動作について、図２
（Ａ），（Ｂ）を参照して説明する。まず、一対の基板
整列機構２９ａ，２９ｂが夫々図中矢印方向に移動し
て、基板収納カセット２５内に収納されている複数枚の
ガラス基板１９を一定の方向、即ちＸＹステージ１７上
に位置決め載置するガラス基板１９をＸＹステージ１７
の基板載置方向に整合する方向に整列させる。
（Ａ），（Ｂ）を参照して説明する。まず、一対の基板
整列機構２９ａ，２９ｂが夫々図中矢印方向に移動し
て、基板収納カセット２５内に収納されている複数枚の
ガラス基板１９を一定の方向、即ちＸＹステージ１７上
に位置決め載置するガラス基板１９をＸＹステージ１７
の基板載置方向に整合する方向に整列させる。
【００２７】次に、搬送装置２７が駆動し，搬送軸２７
ｂを図中矢印Ｓ方向に所定量だけ回転させて、搬送アー
ム２７ｃを基板収納カセット２５方向に移動させる。そ
して、目的のガラス基板１９の下側に搬送アーム２７ｃ
を挿入させる。
ｂを図中矢印Ｓ方向に所定量だけ回転させて、搬送アー
ム２７ｃを基板収納カセット２５方向に移動させる。そ
して、目的のガラス基板１９の下側に搬送アーム２７ｃ
を挿入させる。
【００２８】この後、搬送軸２７ｂを図中Ｚ方向に若干
上昇させることによって、搬送アーム２７ｃ上にガラス
基板１９を載置させ、この状態で搬送アーム２７ｃを基
板収納カセット２５から引き抜く。この結果、目的のガ
ラス基板１９が基板収納カセット２５から取り出され
る。
上昇させることによって、搬送アーム２７ｃ上にガラス
基板１９を載置させ、この状態で搬送アーム２７ｃを基
板収納カセット２５から引き抜く。この結果、目的のガ
ラス基板１９が基板収納カセット２５から取り出され
る。
【００２９】次に、搬送軸２７ｂを図中矢印Ｓ方向に回
転させ、搬送アーム２７ｃの向きをＸＹステージ１７方
向に整合させ、搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７上
に延出させる。
転させ、搬送アーム２７ｃの向きをＸＹステージ１７方
向に整合させ、搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７上
に延出させる。
【００３０】このとき、ＸＹステージ１７は、図中破線
で示す位置に配置されている。そして、ＸＹステージ１
７を図中Ｘ及びＹ方向に夫々少しずつ移動させ、所定位
置で停止させる。
で示す位置に配置されている。そして、ＸＹステージ１
７を図中Ｘ及びＹ方向に夫々少しずつ移動させ、所定位
置で停止させる。
【００３１】具体的には、例えばＸＹステージ１７を図
中Ｘ方向に少しずつ移動させた結果、ガラス基板１９の
端面即ちＸ方向基準端面１９ｂが第２の基板検出センサ
２１ｂによって光学的に検出されたとき、ＸＹステージ
１７の図中Ｘ方向への移動を停止させる。この結果、ガ
ラス基板１９は、その端面即ちＸ方向基準端面１９ｂが
ＸＹステージ１７上のＸ方向の基準位置に位置決めされ
ることになる。次に、ＸＹステージ１７を図中Ｙ方向に
少しずつ移動させた結果、ガラス基板１９の端面即ちＹ
方向基準端面１９ａが第１の基板検出センサ２１ａによ
って光学的に検出されたとき、ＸＹステージ１７の図中
Ｙ方向への移動を停止させる。この結果、ガラス基板１
９は、その端面即ちＹ方向基準端面１９ａがＸＹステー
ジ１７上のＹ方向の基準位置に位置決めされることにな
る。このとき、ＸＹステージ１７は、図中実線で示す位
置に配置されている。
中Ｘ方向に少しずつ移動させた結果、ガラス基板１９の
端面即ちＸ方向基準端面１９ｂが第２の基板検出センサ
２１ｂによって光学的に検出されたとき、ＸＹステージ
１７の図中Ｘ方向への移動を停止させる。この結果、ガ
ラス基板１９は、その端面即ちＸ方向基準端面１９ｂが
ＸＹステージ１７上のＸ方向の基準位置に位置決めされ
ることになる。次に、ＸＹステージ１７を図中Ｙ方向に
少しずつ移動させた結果、ガラス基板１９の端面即ちＹ
方向基準端面１９ａが第１の基板検出センサ２１ａによ
って光学的に検出されたとき、ＸＹステージ１７の図中
Ｙ方向への移動を停止させる。この結果、ガラス基板１
９は、その端面即ちＹ方向基準端面１９ａがＸＹステー
ジ１７上のＹ方向の基準位置に位置決めされることにな
る。このとき、ＸＹステージ１７は、図中実線で示す位
置に配置されている。
【００３２】この状態において、ガラス基板１９は、ま
だ、搬送アーム２７ａによってＸＹステージ１７の上方
に支持された状態にある（図２（Ｂ）参照）が、その支
持位置において、ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７
に規定された例えば基板載置位置（即ち、Ｘ方向基準端
面１９ｂ及びＹ方向基準端面１９ａが、夫々、第２の基
板検出センサ２１ｂ及び第１の基板検出センサ２１ａに
よって光学的に検出され得る検出位置）に整合した状態
に位置付けられている。
だ、搬送アーム２７ａによってＸＹステージ１７の上方
に支持された状態にある（図２（Ｂ）参照）が、その支
持位置において、ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７
に規定された例えば基板載置位置（即ち、Ｘ方向基準端
面１９ｂ及びＹ方向基準端面１９ａが、夫々、第２の基
板検出センサ２１ｂ及び第１の基板検出センサ２１ａに
よって光学的に検出され得る検出位置）に整合した状態
に位置付けられている。
【００３３】この後、搬送軸２７ｂを図中Ｚ方向に下降
させることによって、搬送アーム２７ｃ上に載置された
ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７上に受け渡され、
搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７の溝部２３から引
き抜くことによって、ガラス基板１９は、ＸＹステージ
１７上に載置される。
させることによって、搬送アーム２７ｃ上に載置された
ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７上に受け渡され、
搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７の溝部２３から引
き抜くことによって、ガラス基板１９は、ＸＹステージ
１７上に載置される。
【００３４】この結果、目的のガラス基板１９は、ＸＹ
ステージ１７上の基板載置位置に位置決め載置されるこ
とになる。なお、このとき、ＸＹステージ１７上に設け
られた真空吸着部材（図示しない）によって、位置決め
載置されたガラス基板１９に吸引力を作用して、ガラス
基板１９をＸＹステージ１７上に位置決め固定させるこ
とも好ましい。
ステージ１７上の基板載置位置に位置決め載置されるこ
とになる。なお、このとき、ＸＹステージ１７上に設け
られた真空吸着部材（図示しない）によって、位置決め
載置されたガラス基板１９に吸引力を作用して、ガラス
基板１９をＸＹステージ１７上に位置決め固定させるこ
とも好ましい。
【００３５】そして、ＸＹステージ１７上に位置決め載
置されたガラス基板１９に対する所定の検査が終了した
後、検査終了済みガラス基板１９は、再び、溝部２３か
ら挿入された搬送アーム２７ｃよって基板収納カセット
２５まで搬送され、ここに収納される。
置されたガラス基板１９に対する所定の検査が終了した
後、検査終了済みガラス基板１９は、再び、溝部２３か
ら挿入された搬送アーム２７ｃよって基板収納カセット
２５まで搬送され、ここに収納される。
【００３６】このような本実施例の基板位置決め方法お
よび基板位置決め装置によれば、従来のように基板押し
付け機構や位置決め用固定ピンを必要とせず、ガラス基
板１９をステージ１７から浮かせた非接触状態で位置決
めすることができるため、短時間に且つ高精度に基板を
位置決めすることができる。また、本実施例によれば、
ガラス基板１９は、その搬送時及び位置決め時において
搬送アーム２７ｃ以外にどこにも接触することなく、従
来のように粉塵等の異物を発生させることもないため、
例えばクリーンルーム内での使用にも適している。更
に、本実施例によれば、ガラス基板１９が大型で重量が
ある場合でも、又はガラス基板１９の裏面が滑り難い材
料で形成されていても、このガラス基板１９をステージ
１７から浮かせた非接触状態で位置決めしてからステー
ジ１７上に載置するため、従来のようにステージ１７上
においてガラス基板１９を位置決め用固定ピンに押しつ
ける基板押し付け機構を必要としない。このため、基板
の種類を問わず、短時間で且つ高精度に基板の位置決め
することができるとともに、基板からの粉塵等の異物発
生を抑制でき、更にコンパクトで低価格な基板位置決め
方法および基板位置決め装置を提供することが可能とな
る。
よび基板位置決め装置によれば、従来のように基板押し
付け機構や位置決め用固定ピンを必要とせず、ガラス基
板１９をステージ１７から浮かせた非接触状態で位置決
めすることができるため、短時間に且つ高精度に基板を
位置決めすることができる。また、本実施例によれば、
ガラス基板１９は、その搬送時及び位置決め時において
搬送アーム２７ｃ以外にどこにも接触することなく、従
来のように粉塵等の異物を発生させることもないため、
例えばクリーンルーム内での使用にも適している。更
に、本実施例によれば、ガラス基板１９が大型で重量が
ある場合でも、又はガラス基板１９の裏面が滑り難い材
料で形成されていても、このガラス基板１９をステージ
１７から浮かせた非接触状態で位置決めしてからステー
ジ１７上に載置するため、従来のようにステージ１７上
においてガラス基板１９を位置決め用固定ピンに押しつ
ける基板押し付け機構を必要としない。このため、基板
の種類を問わず、短時間で且つ高精度に基板の位置決め
することができるとともに、基板からの粉塵等の異物発
生を抑制でき、更にコンパクトで低価格な基板位置決め
方法および基板位置決め装置を提供することが可能とな
る。
【００３７】次に、本発明の第２の実施例に係る基板位
置決め装置について、図３を参照して説明する。なお、
本実施例の基板位置決め装置は、一対の基板整列機構２
９ａ，２９ｂによって予め図中Ｙ方向の位置決めをして
おき、図中Ｘ方向の位置決めをＸＹステージ１７上に埋
設された１個の基板検出センサ３１によって行う点に特
徴を有しており、他の構成は、第１の実施例と同一であ
るため、同一符号を付してその説明を省略する。
置決め装置について、図３を参照して説明する。なお、
本実施例の基板位置決め装置は、一対の基板整列機構２
９ａ，２９ｂによって予め図中Ｙ方向の位置決めをして
おき、図中Ｘ方向の位置決めをＸＹステージ１７上に埋
設された１個の基板検出センサ３１によって行う点に特
徴を有しており、他の構成は、第１の実施例と同一であ
るため、同一符号を付してその説明を省略する。
【００３８】このような構成によれば、まず、ＸＹステ
ージ１７上に位置決め載置するガラス基板１９をＸＹス
テージ１７の基板載置方向に整合させるように、一対の
基板整列機構２９ａ，２９ｂが夫々図中矢印方向に移動
して、基板収納カセット２５内に収納されている複数枚
のガラス基板１９を一定の方向に整列させる。この結
果、ＸＹステージ１７に対するガラス基板１９のＹ方向
の位置決めが行われる。このとき、ＸＹステージ１７
は、図３中破線で示す位置に配置されており、Ｙ方向に
は、それ以上移動させない。
ージ１７上に位置決め載置するガラス基板１９をＸＹス
テージ１７の基板載置方向に整合させるように、一対の
基板整列機構２９ａ，２９ｂが夫々図中矢印方向に移動
して、基板収納カセット２５内に収納されている複数枚
のガラス基板１９を一定の方向に整列させる。この結
果、ＸＹステージ１７に対するガラス基板１９のＹ方向
の位置決めが行われる。このとき、ＸＹステージ１７
は、図３中破線で示す位置に配置されており、Ｙ方向に
は、それ以上移動させない。
【００３９】次に、搬送装置２７が駆動し，搬送軸２７
ｂを図中矢印Ｓ方向に所定量だけ回転させて、搬送アー
ム２７ｃを基板収納カセット２５方向に移動させる。そ
して、目的のガラス基板１９の下側に搬送アーム２７ｃ
を挿入させる。
ｂを図中矢印Ｓ方向に所定量だけ回転させて、搬送アー
ム２７ｃを基板収納カセット２５方向に移動させる。そ
して、目的のガラス基板１９の下側に搬送アーム２７ｃ
を挿入させる。
【００４０】この後、搬送軸２７ｂを図中Ｚ方向に若干
上昇させることによって、搬送アーム２７ｃ上にガラス
基板１９を載置させ、この状態で搬送アーム２７ｃを基
板収納カセット２５から引き抜く。この結果、目的のガ
ラス基板１９が基板収納カセット２５から取り出され
る。
上昇させることによって、搬送アーム２７ｃ上にガラス
基板１９を載置させ、この状態で搬送アーム２７ｃを基
板収納カセット２５から引き抜く。この結果、目的のガ
ラス基板１９が基板収納カセット２５から取り出され
る。
【００４１】次に、搬送軸２７ｂを図中矢印Ｓ方向に回
転させ、搬送アーム２７ｃの向きをＸＹステージ１７方
向に整合させ、搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７上
に延出させる。
転させ、搬送アーム２７ｃの向きをＸＹステージ１７方
向に整合させ、搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７上
に延出させる。
【００４２】このとき、図中破線で示す位置に配置され
ているＸＹステージ１７を図中Ｘ方向に夫々少しずつ移
動させ、所定位置で停止させる。具体的には、ＸＹステ
ージ１７を図中Ｘ方向に少しずつ移動させた結果、ガラ
ス基板１９の端面即ちＸ方向基準端面１９ｂが基板検出
センサ３１によって光学的に検出されたとき、ＸＹステ
ージ１７の図中Ｘ方向への移動を停止させる。この結
果、ガラス基板１９は、その端面即ちＸ方向基準端面１
９ｂがＸＹステージ１７上のＸ方向の基準位置に位置決
めされることになる。このとき、ＸＹステージ１７は、
図中実線で示す位置に配置されている。
ているＸＹステージ１７を図中Ｘ方向に夫々少しずつ移
動させ、所定位置で停止させる。具体的には、ＸＹステ
ージ１７を図中Ｘ方向に少しずつ移動させた結果、ガラ
ス基板１９の端面即ちＸ方向基準端面１９ｂが基板検出
センサ３１によって光学的に検出されたとき、ＸＹステ
ージ１７の図中Ｘ方向への移動を停止させる。この結
果、ガラス基板１９は、その端面即ちＸ方向基準端面１
９ｂがＸＹステージ１７上のＸ方向の基準位置に位置決
めされることになる。このとき、ＸＹステージ１７は、
図中実線で示す位置に配置されている。
【００４３】この状態において、ガラス基板１９は、ま
だ、搬送アーム２７ａによってＸＹステージ１７の上方
に支持された状態にある（図２（Ｂ）参照）が、その支
持位置において、ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７
に規定された例えば基板載置位置（即ち、Ｘ方向基準端
面１９ｂが、基板検出センサ３１によって光学的に検出
され得る検出位置）に整合した状態に位置付けられてい
る。なお、図中Ｙ方向の位置決めは、上述したように既
に基板収納カセット２５内において行われている。
だ、搬送アーム２７ａによってＸＹステージ１７の上方
に支持された状態にある（図２（Ｂ）参照）が、その支
持位置において、ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７
に規定された例えば基板載置位置（即ち、Ｘ方向基準端
面１９ｂが、基板検出センサ３１によって光学的に検出
され得る検出位置）に整合した状態に位置付けられてい
る。なお、図中Ｙ方向の位置決めは、上述したように既
に基板収納カセット２５内において行われている。
【００４４】この後、搬送軸２７ｂを図中Ｚ方向に下降
させることによって、搬送アーム２７ｃ上に載置された
ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７上に受け渡され、
搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７の溝部２３から引
き抜くことによって、ガラス基板１９は、ＸＹステージ
１７上に載置される。
させることによって、搬送アーム２７ｃ上に載置された
ガラス基板１９は、ＸＹステージ１７上に受け渡され、
搬送アーム２７ｃをＸＹステージ１７の溝部２３から引
き抜くことによって、ガラス基板１９は、ＸＹステージ
１７上に載置される。
【００４５】この結果、目的のガラス基板１９は、ＸＹ
ステージ１７上の基板載置位置に位置決め載置されるこ
とになる。なお、このとき、ＸＹステージ１７上に設け
られた真空吸着部材（図示しない）によって、位置決め
載置されたガラス基板１９に吸引力を作用して、ガラス
基板１９をＸＹステージ１７上に位置決め固定させるこ
とも好ましい。
ステージ１７上の基板載置位置に位置決め載置されるこ
とになる。なお、このとき、ＸＹステージ１７上に設け
られた真空吸着部材（図示しない）によって、位置決め
載置されたガラス基板１９に吸引力を作用して、ガラス
基板１９をＸＹステージ１７上に位置決め固定させるこ
とも好ましい。
【００４６】このように本実施例の基板位置決め装置に
よれば、第１の実施例の装置よりも更に構成が簡略化さ
れ、位置決め時間も短縮化される。なお、他の効果は、
第１の実施例と同様であるため、その説明は省略する。
よれば、第１の実施例の装置よりも更に構成が簡略化さ
れ、位置決め時間も短縮化される。なお、他の効果は、
第１の実施例と同様であるため、その説明は省略する。
【００４７】
【発明の効果】本発明によれば、搬送装置により搬送さ
れた基板を基板保持ステージより浮かせた状態で、非接
触センサにて基板の端面を検出し、この基板を基準位置
に整合させた状態で基板保持ステージ上に載置し吸着保
持するようにしているため、基板の種類を問わず、短時
間に簡単且つ高精度に基板を位置決めすることができる
とともに、基板からの粉塵等の異物発生を抑制でき、更
にコンパクトで低価格な基板位置決め方法および基板位
置決め装置を提供することができる。
れた基板を基板保持ステージより浮かせた状態で、非接
触センサにて基板の端面を検出し、この基板を基準位置
に整合させた状態で基板保持ステージ上に載置し吸着保
持するようにしているため、基板の種類を問わず、短時
間に簡単且つ高精度に基板を位置決めすることができる
とともに、基板からの粉塵等の異物発生を抑制でき、更
にコンパクトで低価格な基板位置決め方法および基板位
置決め装置を提供することができる。
【図１】（Ａ）は、本発明の第１の実施例に係る基板位
置決め装置に適用されたＸＹステージの構成を概略的に
示す斜視図、（Ｂ）は、（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う断
面図。
置決め装置に適用されたＸＹステージの構成を概略的に
示す斜視図、（Ｂ）は、（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う断
面図。
【図２】（Ａ）は、本発明の第１の実施例に係る基板位
置決め装置の全体の構成を概略的に示す図、（Ｂ）は、
ガラス基板がＸＹステージの上方に位置付けられた状態
を示す部分断面側面図。
置決め装置の全体の構成を概略的に示す図、（Ｂ）は、
ガラス基板がＸＹステージの上方に位置付けられた状態
を示す部分断面側面図。
【図３】本発明の第２の実施例に係る基板位置決め装置
の全体の構成を概略的に示す図。
の全体の構成を概略的に示す図。
【図４】従来の基板位置決め装置の全体の構成を概略的
に示す図。
に示す図。
１７…ＸＹステージ、１９…ガラス基板、２１ａ…第１
の基板検出センサ、２１ｂ…第２の基板検出センサ、２
３…溝部、２５…基板収納カセット、２７…搬送装置。
の基板検出センサ、２１ｂ…第２の基板検出センサ、２
３…溝部、２５…基板収納カセット、２７…搬送装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/13 101 G02F 1/1333
Claims (7)
- 【請求項１】矩形状基板を基板保持ステージ上に搬送す
る搬送ステップと、 前記基板保持ステージから浮かせた状態で、該基板の端
面を非接触センサで検出する位置検出ステップと、 前記位置検出ステップにより検知された位置情報に基づ
いて前記基板を基準位置に位置決めする基板位置決めス
テップと、 前記基板位置決めステップにより位置決めされた該基板
を前記基板保持ステージに載置させた状態で該基板保持
ステージ上に吸着保持する基板保持ステップとを備えた
基板位置決め方法。 - 【請求項２】前記位置決めステップは、前記基板保持ス
テージ上に浮かせた状態で搬送された前記基板の隣接す
る２辺の各端面を２つの非接触センサで検出することを
特徴とする請求項１記載の基板位置決め方法。 - 【請求項３】前記搬送ステップは、前記基板を複数収納
する基板収納カセット内で一方向に整列させる基板整列
ステップを更に備え、前記基板位置決めステップは、前
記搬送ステップにより前記基板収納カセットから前記基
板保持ステージ上に供給された前記基板の他方向の端面
を１つの非接触センサで検出することを特徴とする請求
項１記載の基板位置決め方法。 - 【請求項４】矩形状基板を吸着保持する基板保持ステー
ジと、 前記基板保持ステージ上に前記基板を搬送する搬送アー
ムを備えた基板搬送装置と、 前記基板搬送装置の搬送アームにより搬送された前記基
板を前記基板保持ステージから浮かせた状態で、該基板
の端面を非接触にて検出する基板検出センサと、 前記基板検出センサにより検出された位置情報に基づい
て前記基板を基準位置に位置決めする基板位置決め手段
と、 前記基板位置決め手段により位置決めされた前記基板を
前記基板保持ステージ上に受け渡した状態で、該基板を
吸着保持する保持手段と、 を備えたことを特徴とする基板位置決め装置。 - 【請求項５】前記基板検出センサは、前記基板保持ステ
ージ上に浮かせた状態で搬送された前記基板の隣接する
２辺の一方端面に対する基準位置を検出する第１の基板
検出センサと、前記基板の隣接する２辺の他方端面に対
する基準位置を検出する第２の基板検出センサを備えた
ことを特徴とする請求項４記載の基板位置決め装置。 - 【請求項６】前記基板保持ステージは、前記基板の隣接
する２辺の各辺に対して直交するＸＹ方向に移動可能
で、前記基板検出センサからの位置情報に基づいてＸＹ
移動し前記基板を基準位置に合わせることを特徴とする
請求項５記載の基板位置決め装置。 - 【請求項７】前記基板を複数収納する基板収納カセット
及び、該基板収納カセットの両側から該基板を一方向に
整列させる基板整列機構とを備え、前記基板収納カセッ
トから前記基板搬送装置により前記基板保持ステージに
供給された前記基板の一方向（整列方向）と直交する端
面に対する基準位置を検出する一つの基板検出センサを
備えたことを特徴とする請求項４記載の基板位置決め装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09980894A JP3330447B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 基板位置決め方法および基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09980894A JP3330447B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 基板位置決め方法および基板位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306391A JPH07306391A (ja) | 1995-11-21 |
| JP3330447B2 true JP3330447B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=14257167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09980894A Expired - Fee Related JP3330447B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 基板位置決め方法および基板位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3330447B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100309920B1 (ko) * | 1998-12-16 | 2002-10-25 | 삼성전자 주식회사 | 기판의언로딩장치및언로딩방법 |
| JP2007057813A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板の位置決め方法及びそれを用いた試料台、並びに、寸法測定装置または基板加工装置 |
-
1994
- 1994-05-13 JP JP09980894A patent/JP3330447B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07306391A (ja) | 1995-11-21 |
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