JP3330447B2 - 基板位置決め方法および基板位置決め装置 - Google Patents
基板位置決め方法および基板位置決め装置Info
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Description
イ製造用ガラス基板等を搬送して、ステージ上の所定位
置に位置決め載置する基板位置決め方法および基板位置
決め装置に関する。
平3−83945号公報及び実開平4−65317号公
報等に開示された基板位置決め装置が知られている。実
開平3−83945号公報に開示された基板位置決め装
置は、2方向から与えられた圧力によって基板を固定ロ
ーラに押圧し、そこに位置決めする装置であって、ステ
ージに形成された貫通孔にステージ下部の光源から光を
照射し、貫通孔を通過した通過光を受光することにより
基板の位置を検出するカメラを備えている。このよう
に、光源から貫通孔を介して基板の角部に照射された光
をカメラで検出することにより、基板の適正位置を光学
的に検出することができる。
基板位置決め装置も、2方向から与えられた圧力によっ
て基板を固定突当部材に押圧し、そこに位置決めする装
置であって、平板アタッチメントを備えており、この平
板アタッチメント上で基板を位置決めした後、更に平板
アタッチメントを位置決めする構成を有する。このよう
に、2段階位置決め方式を採用することによって、種々
の大きさの基板を精度よく位置決めすることができる。
も知られている。なお、本装置の説明に際し、各構成の
移動方向は、図中XYZ軸方向に準じた方向とし、同一
符号を付してその詳細な説明は省略する。
ラス基板1を載置するステージ3と、複数枚のガラス基
板1を収納可能な基板収納カセット5と、この基板収納
カセット5からガラス基板1を取り出して、ステージ3
上に載置する搬送装置7とを備えている。
ない)の空気圧によって図中矢印Y,X方向に駆動する
基板押し付け機構9a,9bが埋設されていると共に、
ステージ3上に載置されたガラス基板1の隣接2辺が突
き当たることによって、ステージ3上にガラス基板1を
位置決めする第1ないし第3の固定ピン11a,11
b,11cが突設されている。
3から立ち上げられた一対の基板整列機構15a,15
bが配置されており、これら基板整列機構15a,15
bが夫々図中矢印X方向に移動することによって、基板
収納カセット5内に収納されたガラス基板1を一定の方
向に整列させるように構成されている。
動自在に延出した搬送軸7aと、この搬送軸7a上に設
けられ、基板収納カセット5から取り出したガラス基板
1をステージ3上に載置する搬送アーム7bとを備えて
いる。
て説明する。まず、搬送装置7が駆動し、搬送軸7aを
図中矢印S方向に回転させて搬送アーム7bを基板収納
カセット5方向に移動させる。そして、目的のガラス基
板1の下側に搬送アーム7bを挿入させる。
昇させることによって、搬送アーム7b上にガラス基板
1を載置させ、この状態で搬送アーム7bを基板収納カ
セット5から引き抜く。この結果、目的のガラス基板1
が基板収納カセット5から取り出される。
させ、搬送アーム7bの向きをステージ3方向に整合さ
せ、搬送アーム7bをステージ3上に延出させる。そし
て、搬送軸7aを図中Z方向に下降させることによっ
て、搬送アーム7b上に載置されたガラス基板1は、ス
テージ3上に受け渡され、搬送アーム7bをステージ3
から引き抜くことによって、ガラス基板1は、ステージ
3上に載置される。
付け機構9a,9bに作用させて、これら基板押し付け
機構9a,9bを図中Y,X方向に移動させることによ
って、ステージ3上のガラス基板1の隣接2辺を第1な
いし第3の固定ピン11a,11b,11cに突き当て
る。
ジ3上に位置決め載置されることになる。なお、このと
き、図示しない真空吸着部材によって、位置決め載置さ
れたガラス基板1に吸引力を作用して、ガラス基板1を
ステージ3上に位置決め固定させることも好ましい。
基板は大型化する傾向にあり、この結果、その重量も増
加する傾向にある。従って、上述したような基板側面を
2方向から押圧して位置決めする方法では、その押圧力
によって基板をステージ上で滑らせて位置決めすること
が困難となる。この場合、押圧力を上げることも考えら
れるが、押圧力を上げると装置の大型化につながり、結
果、装置の占有スペースをある程度確保しなければなら
ない。また、精度よく基板の位置決めを行うために、基
板に対する押し付け工程を2回行うことも考えられる
が、位置決め時間が余計にかかってしまう。更に、位置
決めされた基板をステージから取り出して搬送する際、
位置決め用の固定ピンと基板側面とがこすれることによ
り、粉塵等の異物が発生するため、例えばクリーンルー
ム内での使用が困難になってしまう。
になされており、その目的は、ステージ上に搬送された
基板を非接触にて位置決めすることで、高精度に基板の
位置決めすることができ、かつ基板からの粉塵等の異物
発生を抑制できる基板位置決め方法および基板位置決め
装置を提供することにある。
るために、本発明の基板位置決め方法は、矩形状基板を
基板保持ステージ上に搬送する搬送ステップと、前記基
板保持ステージから浮かせた状態で、該基板の隣接する
2辺の各端面に対する基準位置を非接触センサで検出す
る位置検出ステップと、前記位置検出工程により検知さ
れた位置情報に基づいて前記基板を基準位置に位置決め
する基板位置決めステップと、前記基板位置決めステッ
プにより位置決めされた該基板を前記基板保持ステージ
に載置させた状態で該基板保持ステージ上に吸着保持す
る基板保持ステップとを備える。また、本発明の基板位
置決め装置は、矩形状基板を吸着保持する基板保持ステ
ージと、 前記基板保持ステージ上に前記基板を搬送す
る搬送アームを備えた基板搬送装置と、前記基板搬送装
置の搬送アームにより搬送された前記基板を前記基板保
持ステージから浮かせた状態で、該基板の端面を非接触
にて検出する基板検出センサと、前記基板検出センサに
より検出された位置情報に基づいて前記基板を基準位置
に位置決めする基板位置決め手段と、前記基板位置決め
手段により位置決めされた前記基板を前記基板保持ステ
ージ上に受け渡した状態で、該基板を吸着保持する保持
手段とを備える。
ージより浮かせた状態で、非接触センサにて基板の端面
を検出し、この基板を基準位置に整合させた状態で基板
保持ステージ上に載置し吸着保持する。
決め装置について、図1及び図2を参照して説明する。
図1(A)には、本実施例に適用されたXYステージ1
7の構成が概略的に示されている。即ち、XYステージ
17は、中抜き四角形状を成しており、その上部面に任
意のガラス基板19を載置可能に構成されている。ま
た、XYステージ17の上部面には、ガラス基板19を
XYステージ17上に位置決め載置させるように、ガラ
ス基板19の端面を光学的に検出可能な第1及び第2の
基板検出センサ21a,21b(図1(B)参照)が埋
設されている。なお、XYステージ17の上部面には、
後述する搬送アームの引き抜き用の溝部23が形成され
ている。
Yステージ17上にガラス基板19を載置する際、例え
ば第2の基板検出センサ21bから出射された所定の検
出光Fの光路中にガラス基板19の端面が位置付けられ
たとき、第2の基板検出センサ21bは、ガラス基板1
9の端面からの反射光に起因した光学的特性の変化を検
出可能に構成されている。
ステージ17上に載置されるガラス基板19のX方向の
基準位置に配置されている。従って、第2の基板検出セ
ンサ21bによってガラス基板19の端面(以下、この
端面を仮にX方向基準端面19bとする)が光学的に検
出されたとき、このガラス基板19は、その端面即ちX
方向基準端面19bがX方向の基準位置に位置付けられ
たことになる。
同様の機能を有する第1の基板検出センサ21aは、X
Yステージ17上に載置されるガラス基板19のY方向
の基準位置に配置されている。従って、第1の基板検出
センサ21aによってガラス基板19の端面(以下、こ
の端面を仮にY方向基準端面19aとする)が光学的に
検出されたとき、このガラス基板19は、その端面即ち
Y方向基準端面19aがY方向の基準位置に位置付けら
れたことになる。
れた本実施例の基板位置決め装置の全体の構成が概略的
に示されている。なお、本装置の説明に際し、各構成の
移動方向は、互いに直交するように規定したXYZ方向
に準ずる。
位置決め装置は、上記XYステージ17と、複数枚のガ
ラス基板19を収納可能な基板収納カセット25と、こ
の基板収納カセット25からガラス基板19を取り出し
て、XYステージ17上に載置する搬送装置27とを備
えている。
基板整列機構29a,29bが配置されており、これら
基板整列機構29a,29bが夫々図中矢印方向に移動
することによって、基板収納カセット25内に収納され
たガラス基板19を一定の方向、即ちXYステージ17
上に位置決め載置するガラス基板19をXYステージ1
7の基板載置方向に整合する方向に整列させるように構
成されている。
ら回動且つ上下動自在に延出した搬送軸27bと、この
搬送軸27b上に設けられ、基板収納カセット25から
取り出したガラス基板19をXYステージ17上に載置
する搬送アーム27cとを備えている。
(A),(B)を参照して説明する。まず、一対の基板
整列機構29a,29bが夫々図中矢印方向に移動し
て、基板収納カセット25内に収納されている複数枚の
ガラス基板19を一定の方向、即ちXYステージ17上
に位置決め載置するガラス基板19をXYステージ17
の基板載置方向に整合する方向に整列させる。
bを図中矢印S方向に所定量だけ回転させて、搬送アー
ム27cを基板収納カセット25方向に移動させる。そ
して、目的のガラス基板19の下側に搬送アーム27c
を挿入させる。
上昇させることによって、搬送アーム27c上にガラス
基板19を載置させ、この状態で搬送アーム27cを基
板収納カセット25から引き抜く。この結果、目的のガ
ラス基板19が基板収納カセット25から取り出され
る。
転させ、搬送アーム27cの向きをXYステージ17方
向に整合させ、搬送アーム27cをXYステージ17上
に延出させる。
で示す位置に配置されている。そして、XYステージ1
7を図中X及びY方向に夫々少しずつ移動させ、所定位
置で停止させる。
中X方向に少しずつ移動させた結果、ガラス基板19の
端面即ちX方向基準端面19bが第2の基板検出センサ
21bによって光学的に検出されたとき、XYステージ
17の図中X方向への移動を停止させる。この結果、ガ
ラス基板19は、その端面即ちX方向基準端面19bが
XYステージ17上のX方向の基準位置に位置決めされ
ることになる。次に、XYステージ17を図中Y方向に
少しずつ移動させた結果、ガラス基板19の端面即ちY
方向基準端面19aが第1の基板検出センサ21aによ
って光学的に検出されたとき、XYステージ17の図中
Y方向への移動を停止させる。この結果、ガラス基板1
9は、その端面即ちY方向基準端面19aがXYステー
ジ17上のY方向の基準位置に位置決めされることにな
る。このとき、XYステージ17は、図中実線で示す位
置に配置されている。
だ、搬送アーム27aによってXYステージ17の上方
に支持された状態にある(図2(B)参照)が、その支
持位置において、ガラス基板19は、XYステージ17
に規定された例えば基板載置位置(即ち、X方向基準端
面19b及びY方向基準端面19aが、夫々、第2の基
板検出センサ21b及び第1の基板検出センサ21aに
よって光学的に検出され得る検出位置)に整合した状態
に位置付けられている。
させることによって、搬送アーム27c上に載置された
ガラス基板19は、XYステージ17上に受け渡され、
搬送アーム27cをXYステージ17の溝部23から引
き抜くことによって、ガラス基板19は、XYステージ
17上に載置される。
ステージ17上の基板載置位置に位置決め載置されるこ
とになる。なお、このとき、XYステージ17上に設け
られた真空吸着部材(図示しない)によって、位置決め
載置されたガラス基板19に吸引力を作用して、ガラス
基板19をXYステージ17上に位置決め固定させるこ
とも好ましい。
置されたガラス基板19に対する所定の検査が終了した
後、検査終了済みガラス基板19は、再び、溝部23か
ら挿入された搬送アーム27cよって基板収納カセット
25まで搬送され、ここに収納される。
よび基板位置決め装置によれば、従来のように基板押し
付け機構や位置決め用固定ピンを必要とせず、ガラス基
板19をステージ17から浮かせた非接触状態で位置決
めすることができるため、短時間に且つ高精度に基板を
位置決めすることができる。また、本実施例によれば、
ガラス基板19は、その搬送時及び位置決め時において
搬送アーム27c以外にどこにも接触することなく、従
来のように粉塵等の異物を発生させることもないため、
例えばクリーンルーム内での使用にも適している。更
に、本実施例によれば、ガラス基板19が大型で重量が
ある場合でも、又はガラス基板19の裏面が滑り難い材
料で形成されていても、このガラス基板19をステージ
17から浮かせた非接触状態で位置決めしてからステー
ジ17上に載置するため、従来のようにステージ17上
においてガラス基板19を位置決め用固定ピンに押しつ
ける基板押し付け機構を必要としない。このため、基板
の種類を問わず、短時間で且つ高精度に基板の位置決め
することができるとともに、基板からの粉塵等の異物発
生を抑制でき、更にコンパクトで低価格な基板位置決め
方法および基板位置決め装置を提供することが可能とな
る。
置決め装置について、図3を参照して説明する。なお、
本実施例の基板位置決め装置は、一対の基板整列機構2
9a,29bによって予め図中Y方向の位置決めをして
おき、図中X方向の位置決めをXYステージ17上に埋
設された1個の基板検出センサ31によって行う点に特
徴を有しており、他の構成は、第1の実施例と同一であ
るため、同一符号を付してその説明を省略する。
ージ17上に位置決め載置するガラス基板19をXYス
テージ17の基板載置方向に整合させるように、一対の
基板整列機構29a,29bが夫々図中矢印方向に移動
して、基板収納カセット25内に収納されている複数枚
のガラス基板19を一定の方向に整列させる。この結
果、XYステージ17に対するガラス基板19のY方向
の位置決めが行われる。このとき、XYステージ17
は、図3中破線で示す位置に配置されており、Y方向に
は、それ以上移動させない。
bを図中矢印S方向に所定量だけ回転させて、搬送アー
ム27cを基板収納カセット25方向に移動させる。そ
して、目的のガラス基板19の下側に搬送アーム27c
を挿入させる。
上昇させることによって、搬送アーム27c上にガラス
基板19を載置させ、この状態で搬送アーム27cを基
板収納カセット25から引き抜く。この結果、目的のガ
ラス基板19が基板収納カセット25から取り出され
る。
転させ、搬送アーム27cの向きをXYステージ17方
向に整合させ、搬送アーム27cをXYステージ17上
に延出させる。
ているXYステージ17を図中X方向に夫々少しずつ移
動させ、所定位置で停止させる。具体的には、XYステ
ージ17を図中X方向に少しずつ移動させた結果、ガラ
ス基板19の端面即ちX方向基準端面19bが基板検出
センサ31によって光学的に検出されたとき、XYステ
ージ17の図中X方向への移動を停止させる。この結
果、ガラス基板19は、その端面即ちX方向基準端面1
9bがXYステージ17上のX方向の基準位置に位置決
めされることになる。このとき、XYステージ17は、
図中実線で示す位置に配置されている。
だ、搬送アーム27aによってXYステージ17の上方
に支持された状態にある(図2(B)参照)が、その支
持位置において、ガラス基板19は、XYステージ17
に規定された例えば基板載置位置(即ち、X方向基準端
面19bが、基板検出センサ31によって光学的に検出
され得る検出位置)に整合した状態に位置付けられてい
る。なお、図中Y方向の位置決めは、上述したように既
に基板収納カセット25内において行われている。
させることによって、搬送アーム27c上に載置された
ガラス基板19は、XYステージ17上に受け渡され、
搬送アーム27cをXYステージ17の溝部23から引
き抜くことによって、ガラス基板19は、XYステージ
17上に載置される。
ステージ17上の基板載置位置に位置決め載置されるこ
とになる。なお、このとき、XYステージ17上に設け
られた真空吸着部材(図示しない)によって、位置決め
載置されたガラス基板19に吸引力を作用して、ガラス
基板19をXYステージ17上に位置決め固定させるこ
とも好ましい。
よれば、第1の実施例の装置よりも更に構成が簡略化さ
れ、位置決め時間も短縮化される。なお、他の効果は、
第1の実施例と同様であるため、その説明は省略する。
れた基板を基板保持ステージより浮かせた状態で、非接
触センサにて基板の端面を検出し、この基板を基準位置
に整合させた状態で基板保持ステージ上に載置し吸着保
持するようにしているため、基板の種類を問わず、短時
間に簡単且つ高精度に基板を位置決めすることができる
とともに、基板からの粉塵等の異物発生を抑制でき、更
にコンパクトで低価格な基板位置決め方法および基板位
置決め装置を提供することができる。
置決め装置に適用されたXYステージの構成を概略的に
示す斜視図、(B)は、(A)に示すB−B線に沿う断
面図。
置決め装置の全体の構成を概略的に示す図、(B)は、
ガラス基板がXYステージの上方に位置付けられた状態
を示す部分断面側面図。
の全体の構成を概略的に示す図。
に示す図。
の基板検出センサ、21b…第2の基板検出センサ、2
3…溝部、25…基板収納カセット、27…搬送装置。
Claims (7)
- 【請求項1】矩形状基板を基板保持ステージ上に搬送す
る搬送ステップと、 前記基板保持ステージから浮かせた状態で、該基板の端
面を非接触センサで検出する位置検出ステップと、 前記位置検出ステップにより検知された位置情報に基づ
いて前記基板を基準位置に位置決めする基板位置決めス
テップと、 前記基板位置決めステップにより位置決めされた該基板
を前記基板保持ステージに載置させた状態で該基板保持
ステージ上に吸着保持する基板保持ステップとを備えた
基板位置決め方法。 - 【請求項2】前記位置決めステップは、前記基板保持ス
テージ上に浮かせた状態で搬送された前記基板の隣接す
る2辺の各端面を2つの非接触センサで検出することを
特徴とする請求項1記載の基板位置決め方法。 - 【請求項3】前記搬送ステップは、前記基板を複数収納
する基板収納カセット内で一方向に整列させる基板整列
ステップを更に備え、前記基板位置決めステップは、前
記搬送ステップにより前記基板収納カセットから前記基
板保持ステージ上に供給された前記基板の他方向の端面
を1つの非接触センサで検出することを特徴とする請求
項1記載の基板位置決め方法。 - 【請求項4】矩形状基板を吸着保持する基板保持ステー
ジと、 前記基板保持ステージ上に前記基板を搬送する搬送アー
ムを備えた基板搬送装置と、 前記基板搬送装置の搬送アームにより搬送された前記基
板を前記基板保持ステージから浮かせた状態で、該基板
の端面を非接触にて検出する基板検出センサと、 前記基板検出センサにより検出された位置情報に基づい
て前記基板を基準位置に位置決めする基板位置決め手段
と、 前記基板位置決め手段により位置決めされた前記基板を
前記基板保持ステージ上に受け渡した状態で、該基板を
吸着保持する保持手段と、 を備えたことを特徴とする基板位置決め装置。 - 【請求項5】前記基板検出センサは、前記基板保持ステ
ージ上に浮かせた状態で搬送された前記基板の隣接する
2辺の一方端面に対する基準位置を検出する第1の基板
検出センサと、前記基板の隣接する2辺の他方端面に対
する基準位置を検出する第2の基板検出センサを備えた
ことを特徴とする請求項4記載の基板位置決め装置。 - 【請求項6】前記基板保持ステージは、前記基板の隣接
する2辺の各辺に対して直交するXY方向に移動可能
で、前記基板検出センサからの位置情報に基づいてXY
移動し前記基板を基準位置に合わせることを特徴とする
請求項5記載の基板位置決め装置。 - 【請求項7】前記基板を複数収納する基板収納カセット
及び、該基板収納カセットの両側から該基板を一方向に
整列させる基板整列機構とを備え、前記基板収納カセッ
トから前記基板搬送装置により前記基板保持ステージに
供給された前記基板の一方向(整列方向)と直交する端
面に対する基準位置を検出する一つの基板検出センサを
備えたことを特徴とする請求項4記載の基板位置決め装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP09980894A JP3330447B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 基板位置決め方法および基板位置決め装置 |
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JP09980894A JP3330447B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 基板位置決め方法および基板位置決め装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH07306391A JPH07306391A (ja) | 1995-11-21 |
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JP2007057813A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板の位置決め方法及びそれを用いた試料台、並びに、寸法測定装置または基板加工装置 |
-
1994
- 1994-05-13 JP JP09980894A patent/JP3330447B2/ja not_active Expired - Fee Related
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