JP3053104B2

JP3053104B2 - 薄板保持装置

Info

Publication number: JP3053104B2
Application number: JP2126677A
Authority: JP
Inventors: 峰生野本
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-05-18
Filing date: 1990-05-18
Publication date: 2000-06-19
Anticipated expiration: 2015-06-19
Also published as: JPH0422850A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は薄板部材の保持装置に係り、特に、ハイブリ
ッドICやセラミック基板の焼結前のグリーンシート等の
軟質の薄膜部材が外縁部分を硬質の部材に支持されてい
るような薄板の保持に好適な保持装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、グリーンシート等の薄板部材を保持する方法と
して、特開平１−121738号公報、特開平１−260350公報
で開示された方法がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術においては、上記金枠に貼り付けられた
グリーンシートを吸着保持する点について配慮がされて
おらず、吸着時にグリーンシートの一部に無理な応力が
作用する課題があった。

本発明の目的は、金枠に保持されたグリーンシート等
の軟質薄板部材を局部変形を生じることなく、表面、あ
るいは裏面を高精度に平坦に保持することができるよう
にした薄板保持装置を提供することにある。

又本発明の目的は、表面保持の時と、裏面保持の時で
は、金枠に設けられている位置決め用Ｖ溝あるいは穴等
の位置が180°異った位置に配される場合においてもこ
れに対応して、自動的に位置決めを可能にして、金枠に
保持されたグリーンシート等の軟質部材を平坦に保持す
ることができるようにした薄板保持装置を提供すること
にある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明では、剛性が小さ
い薄板部材と剛性が大きい板部材とを少なくとも一部分
を重ね合わせて構成した薄板状の試料を保持する薄板保
持装置を、剛性が小さい薄板部材を載置する載置面を有
する第１の載置手段と、剛性が大きい板部材を載置する
載置面を有する第２の載置手段と、剛性が大きい板部材
の外周部に当接して剛性が大きい板部材を位置決めして
保持する位置決め保持手段と、この位置決め保持手段を
駆動して剛性が大きい板部材の外周部への位置決め保持
手段の当接および当接の解除を行う駆動手段と、第１の
載置手段の載置面と第２の載置手段の載置面との段差を
試料の積層した厚さ分だけ変化させる方向に第１の載置
手段と第２の載置手段とを相対的に移動させる移動手段
とを備えて構成した。

〔作用〕

例えば多層セラミック基板は、上下層との電気的導通
をとる必要のため、クリーンシートにスルーホールを形
成して導体を充填する。またこのグリーンシートの表・
裏面に導体回路パターンを形成して、高密度化を図って
いる。このため、回路パターン印刷や、検査機等におい
ては、グリーンシートの両面に印刷、あるいは検査でき
ることが必須であり、これらに用いるグリーンシート保
持装置も表面および裏面が保持できる必要がある。

第３図（Ａ），（Ｂ）は、金枠に貼り付けられたグリ
ーンシートの裏面と表面の状態を示したものである。説
明を容易にするため、図（Ａ）の状態で吸着する場合を
裏面吸着、（Ｂ）の状態で吸着する場合を表面吸着とす
る。第３図からわかるように、裏面吸着の場合はグリー
ンシートは金枠の上にあり、表面吸着の場合は金枠の下
に配される。このような状態のグリーンシートを従来の
吸着テーブルで吸着した場合の状態を第４図に示す。第
４図（Ａ）は裏面吸着、（Ｂ）は表面吸着の例である。
（Ａ）の裏面吸着の場合は、金枠の厚さ分グリーンシー
トが変形して吸着される。このため、グリーンシートが
金枠に貼り付けられている付近の変形が大きくなり、グ
リーンシートに無理な応力が作用し、グリーンシートに
“しわ”ができたり、破れたりする恐れがある。（Ｂ）
の表面吸着の場合は、グリーンシートに金枠の荷重が作
用するため、吸着前の位置決めを行なうときに、グリー
ンシート表面が吸着部にこすりつけられながら位置決め
される。このため、グリーンシート表面に形成されてい
るパターン等に傷が付いたり、グリーンシート表面が汚
れる問題もある。

また、金枠を位置決めするための位置決めピンも表面
吸着と裏面吸着では、金枠のＶ溝の位置が異なってくる
ため、Ｖ溝に合せて位置決めピンを移動する必要があ
る。

また、上記グリーンシートの印刷機や検査機において
は、生産効率の向上とコスト低減のため、１台の装置で
グリーンシートの表面と裏面に印刷あるいは検査できる
ことが望ましい。すなわち、表面専用あるいは裏面専用
の装置になると、高価な装置が２倍必要になり、生産量
が少ない時など装置が遊ぶことになる。さらに自動化が
進むと、複数枚のグリーンシートをカートリッジに収納
して、１枚づつ自動ハンドリングして生産する。１ロッ
ト分の印刷や、検査を終了後、ロット毎次工程へ搬送す
ることがこのとき、１台の装置で表・裏の印刷や検査が
できない場合、片面の印刷や検査終了後、再度カートリ
ッジに収納し、もう一方の面を検査する必要があり、工
数の増加とともに、ハンドリング装置等も２倍必要にな
る。このためこの種の装置に用いられるグリーンシート
の保持装置に要求される性能として、保持装置１台で表
・裏、両面吸着が保持できることが必要である。特に自
動印刷機や自動検査機に用いる保持装置では、表・裏両
面を吸着保持できることが必須の要件となる。

次に本発明の作用を第５図（Ａ），（Ｂ）を用いて説
明する。即ち第５図（Ａ）は裏面吸着を示したもので
（Ｂ）は表面吸着の状態を示したものである。本図は金
枠ホルダ４が上下に移動する場合を示している。裏面吸
着時は、金枠２の厚み分だけ金枠ホルダ４が下がり、グ
リーンシート１の裏面が吸着保持面と同一高さになるた
め、吸着時にグリーンシート１を変形することはない。
第５図（Ｂ）の表面吸着時は、金枠ホルダ４が（Ａ）の
場合に比べグリーンシート１と金枠２の厚み量だけ上昇
する。それによって金枠２の荷重は金枠ホルダ４に作用
し、グリーンシート１には全く荷重をかけずに吸着保持
することができる。また、吸着前に行なう金枠Ｖ溝2aへ
の位置決めの際にも、金枠２の荷重がグリーンシート１
に作用しないため、グリーンシート１表面のパターンに
傷をつけたり、グリーンシート１を汚したりする恐れは
なくなる。また、金枠ホルダ４が下降した場合（Ａ）の
状態では、位置決めピン10は図中下へ、位置決めピン11
は図中上へ移動し、金枠ホルダ４が上昇した場合（Ｂ）
の状態では、位置決めピン10は図中上方へ、位置決めピ
ン11は図中下方へ移動し、表面吸着あるいは裏面吸着に
連動して位置決めピンが自動的に移動可能である。

以上説明したように本発明によれば、例えばグリーン
シートと枠の保持部を各々独立にし、どちらか一方の保
持部を移動させて、グリーンシートを吸着して金枠を保
持するため、グリーンシートに無理な応力を作用させず
に高精度な平坦性を保って保持できる。またグリーンシ
ート吸着部あるいは枠保持部の移動と連動して、金枠の
位置決め用ピンが移動するため、グリーンシートの表
面、裏面のいずれの面も容易に、且つ自動的に吸引保持
することができる。また本発明によれば、１台の保持装
置で、表・裏の両面を保持できるため、印刷機や検査機
に用いた場合、生産性を向上し、コスト低減を図ること
ができる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例について説明する。

近年セラミック基板は高密度実装を実現するため、20
0mm口以上の大きなものまで製作されている。この大形
多層セラミツク基板に用いる焼結前の生のシートである
グリーンシートは、0.5mm以下と薄く、しかも200mm以上
と大きいため、極めて剛性が小さい。このため、この種
の大形グリーンシートは、グリーンシート周囲を第２図
（ａ），（ｂ），（ｃ）で示したような金枠に貼り付け
て剛性を高め、搬送、製造、検査を行なっている。

多層セラミック基板は、上下層との電気的導通のた
め、グリーンシートにスルーホールを形成して導体を充
填する。また、このグリーンシートの表・裏面にパター
ンを形成して、高密度化を図っている。このため、パタ
ーン印刷や検査機等においては、グリーンシートの両面
に印刷あるいは検査できることが必須であり、これらに
用いるグリーンシート保持装置も表面および裏面が保持
できる必要がある。

次に、本発明に係る薄板保持装置の一実施例を第１図
（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。第１図（Ｂ）は第１
図（Ａ）の断面図である。グリーンシート１は金枠２に
貼りつけられており、金枠２にはＶ溝2aが設けられてい
る。グリーンシート１は多孔質のセラミックスと緻密セ
ラミックスで構成された吸着台３上に保持されている。
金枠２の下部には金枠ホルダ４が、吸着台３の周囲に配
されている。金枠ホルダ４の下部には、傾斜台を有する
上テーパブロック５と下テーパブロック６がローラ７を
介して、４ケ所に配されている。上テーパブロック５は
金枠ホルダ４に固定されており、下テーパブロック６は
リニアガイド8,9に上記４ケのうち２ケづつ固定されて
いる。又リニアガイド8,9上には位置決めピン10,11が固
定されており、ピン10,11には板カム12,13が接するよう
に配されている。尚ピン10,11にはバネ等により（図示
せず）板カム12,13に耐えず挿し付けられる力が作用す
るようにしてある。板カム12,13は、連結棒14で連給さ
れ、リニアガイド15に固定されている。このリニアガイ
ド15はリニアガイドレール15′に沿って移動自在にガイ
ドされる。連結棒の一端にはエアシリンダ16が取付られ
ている。位置決めピン10,11は金枠のＶ溝2aと金枠外周
に接する位置に配されている。上記位置決めピン10,11
と接する金枠２の反対側にはローラ17,18を取付けたプ
レート19がエアシリンダ20に固定され、エアシリンダ20
はアングル21に取付けられている。上記のうち吸着台
３、リニアガイドレール８′,9′、リニアガイド15,エ
アシリンダ16、アングル21はベース22に固定されてい
る。リニアガイド8,9はリニアガイドレール８′,9′に
沿って移動自在にガイドされる。

上記構成において、本発明の動作を説明する。第１図
は第５図に示した裏面吸着の状態である。金枠２に貼り
付いているグリーンシート１を吸着台３に載せる時に
は、エアシリンダ20は矢印Y₃方向に動作させ、ローラ1
7,18と金枠２の間にすき間を設ける。次にエアシリンダ
16を矢印X₁方向に動作させると、連結棒14に支持されて
いる板カム12,13も矢印X₁方向に移動する。板カム12,13
の位置決めピン10,11と接触する部分の形状は、金枠２
のＶ溝のへこみ量とエアシリンダの移動量から決まり、
板カム12,13の凹凸量だけ位置決めピン10は矢印Y₁方向
へ、位置決めピン11は矢印Y₂方向へ移動する。上記位置
決めピン10,11は、リニアガイド8,9に連結されているた
め、リニアガイド８は矢印Y₁方向へ、リニアガイド９は
矢印Y₂方向へ移動する。リニアガイド８上には下テーパ
ブロック６とローラ７、上テーパブロック５が、リニア
ガイド８が矢印Y₁方向へ移動すると、上テーパブロック
５が下がるように構成してある。一方リニアガイド９上
の下テーパブロック６とローラ７、上テーパブロック５
は、リニアガイド９が矢印Y₂方向へ移動すると、上テー
パブロック５が下がるように構成してある。このため板
カム12,13によって位置決めピン10が矢印Y₁方向に、位
置決めピン11が矢印Y₂方向に移動すると、上テーパブロ
ック５上の金枠ホルダ４はZ₁方向へ移動する。このとき
の移動量は、板カム12,13のストロークと上・下テーパ
ブロック5,6のテーパ角で決定され、金枠２の厚さと、
グリーンシート１の厚み量がわかればこの量だけ下方に
移動出来ることは明らかである。上記説明したように、
エアシリンダ16を矢印X₁方向へ移動すると、位置決めピ
ン10が矢印Y₁方向に、位置決めピン11が矢印Y₂方向に移
動し、金枠ホルダ４が矢印Z₁方向へ移動して、グリーン
シート１の裏面を吸着台３の表面と一致した高さにする
ことができる。この状態で金枠２に保持されたグリーン
シート１を吸着台３上に載せ、シリンダ20を矢印Y₄方向
へ動作させて、金枠２の端面にローラ17,18を挿し付け
て、Ｖ溝2aが位置決めピン10に、他方の金枠端面を位置
決めピン11に位置決めする。この後吸引穴23を介して真
空吸引するとグリーンシート１の裏面を無理な応力を作
用させずに平坦に吸着することができる。本説明では、
裏面吸着の場合について説明したが、表面吸着の場合
は、上記の説明と全く逆の動作となる。エアシリンダ16
を矢印X₂方向へ移動すると、位置決めピン10が矢印Y₂方
向に移動し、位置決めピン11が矢印Y₁方向に移動し、金
枠ホルダ４が矢印Z₂方向へ、金枠２と、グリーンシート
１の厚さの量だけ移動する。このため第５図（Ｂ）で示
したように、表面吸着時においても、金枠ホルダ４で金
枠２の荷重を支え、グリーンシート１に無理な力が作用
しない。エアシリンダ20によりローラ17,18で位置決め
ピン10,11に金枠を位置決めする時にもグリーンシート
１と吸着台との接触摩擦力が小さいため、グリーンシー
ト１のパターン部に傷を付けたりシートを汚したりする
恐れはなくなる。

第１図の実施例では駆動源としてエアシリンダ16を用
いて説明したが、直線運動する駆動源であれば同様な動
作が得られる。また本実施例は、位置決めピン10,11の
移動および金枠ホルダ４の移動が機械的に連結されて動
作するため、位置の再現性、信頼性も極めて高い特徴が
ある。さらに位置決めピン10,11移動には板カム12,13を
介し、金枠ホルダ４の移動にはテーパを利用しているた
め、薄板保持装置全体が薄く、コンパクトとなる利点も
ある。次に他の実施例について第６図，第７図，第８図
を用いて説明する。第１図では金枠ホルダ４が上下する
場合について説明したが、第６図は吸着台３が上下する
場合を示したものである。第１図と異なる点について説
明する。吸着ホルダ３の下部に傾斜台を有する上テーパ
ブロック５と下テーパブロック６がローラ７を介して４
ケ所に配されている。上テーパブロック５は吸着ホルダ
３の下部に取付られているプレート30に固定され、下テ
ーパブロック６はリニアガイド8,9に上下４ケのうち２
ケづつ固定されている。位置決めピン10,11は、アーム3
1,32を介して、リニアガイド8,9に固定されており、金
枠ホルダ401はベース22に固定されている。上記以外
は、第１図の実施例と同じ構成である。次に本実施例の
動作について、第１の実施例と異なる点について説明す
る。エアシリンダ16を矢印X₁方向に動作させると、位置
決めピン10が矢印Y₁方向に、位置決めピン11が矢印Y₂方
向に移動する。このときリニアガイド８は矢印Y₁方向へ
リニアガイド９は矢印Y₂方向へ移動する。第１図の説明
と同様の原理で４つのテーパブロック５がそれぞれ上方
に移動するように組立てておくと、吸着台３は板カム1
2,13のストロークと上下テーパブロック5,6のテーパ角
で決定される量、すなわちグリーンシート１と金枠の厚
み量だけ上方、Z₂方向へ移動する。一方、金枠ホルダ40
1は、ベース22に固定されており高さは変らない。本実
施例においても、第１図の実施例と同様に、グリーンシ
ート１の裏面を吸着台３の表面と一致した高さにするこ
とができ、グリーンシート１に無理な力を作用させずに
平坦に吸着することができる。上記説明では裏面吸着の
場合について説明したが、表面吸着時の第１図の説明と
同様に、逆動作を行なうことにより、吸着台が、グリー
ンシート１の金枠２の厚さの量だけ下降し、金枠２を金
枠ホルダ401表面に一致させることができ、第１図の実
施例と同様の効果が得られる。第７図は他の実施例を示
したもので、第２図（ｂ）に示すような金枠の一部に位
置決め用の穴があいている金枠201を保持する場合の例
である。

第７図は第１図の実施例と以下の点が異なる。

エアシリンダ16を矢印X₁方向に動作させると、板カム
412,413もX₁方向に移動し、位置決めピン410はY₂方向に
移動、位置決めピン411はY₁方向に移動する。又リニア
ガイド8,9上には、上テーパブロック405、下テーパブロ
ック406、ローラ407が取付られている。テーパブロック
405は、金枠ホルダ446に固定されているリニアガイド８
が矢印Y₂方向に移動したとき、リニアガイド８上の２ケ
の上テーパブロック406はZ₁方向に移動するように組立
てられている。一方リニアガイド９が矢印Y₁方向に移動
したとき、リニアガイド９上の２ケの上テーパブロック
406もZ₁方向に移動するように組立てられている。ま
た、リニアガイド8,9上には上テーパブロック441、下テ
ーパブロック442、ローラ443が取付けられており、上テ
ーパブロック441上には、ピン444,445が固定されてい
る。これらのピン444は、リニアガイド８が矢印Y₂方向
へ移動した時、Z₂方向へ移動し、ピン445はリニアガイ
ド９がY₁方向に移動したときZ₁方向に移動するよう取付
けられている。又これらのピン444,445は、金枠ホルダ4
46に設けられた穴447をガイドにしてZ₁，Z₂方向へ移動
する。

上記構成において、エアシリンダ16を矢印X₁方向へ移
動すると、リニアガイド８は板カム412によりZ₂方向に
移動する。一方リニアガイド９は板カム413によりY₁方
向に移動する。このリニアガイド8,9のY₂，Y₁方向の移
動により上テーパブロック405上の金枠ホルダ446は、グ
リーンシート１と金枠201の厚さの量だけZ₁方向へ移動
する。このときピン444はZ₂方向へ上昇し、ピン445は、
Z₁方向へ連動して移動する。上記のようにエアシリンダ
16を矢印X₁方向へ移動したとき、第５図（Ａ）のような
裏面吸着が可能な状態となり、エアシリンダを矢印X₂方
向へ移動したときには、表面吸着が可能な状態となる。
第７図の実施例では、第２図（ｂ）で示した、金枠の一
部に位置ピン用の穴があいている金枠201に貼り付けら
れているグリーンシート１も、第１図の説明と同様の効
果が得られる。

第８図は別な実施例を示した図で、第２図（ｃ）のよ
うな金枠の周囲で位置決めをする金枠202に貼り付けら
れたグリーンシートを保持する場合の例である。第１
図，第６図，第７図との相違点は、金枠202の位置決め
用のピンが固定されていることと、プッシャー用ローラ
518,519が金枠202の角部を挿して位置決めすることであ
る。

吸着台503はガイドベース523に固定され、ガイドベー
ス523は、ベース522に固定されている、エアシリンダ52
6によりZ₂，Z₁方向へ上下動する。ベース522にはロック
ベース525が固定され、ガイドベース523はロックベース
525によってガイドされる。金枠ホルダ504はロックベー
ス525に固定され、位置決めピン510,511,512を保持して
いる。又プッシャー用ローラ518,519を保持したＬプレ
ート519がエアシリンダ520に固定され、エアシリンダ52
0はベース522に保持されている、アングル521に保持さ
れている。

上記構成において、第５図（Ａ）で示したような裏面
吸着のときは、エアシリンダがZ₂方向へ、グリーンシー
ト１と金枠202の厚さの量だけ上昇し、グリーンシート
１の裏面と吸着台３の表面の高さを一致させる。次にエ
アシリンダ520をY₆方向に移動させてプッシャー用ロー
ラ517,518を金枠202の外周に挿し付けて金枠202の位置
決めを行なう。位置決め完了後吸引穴533から吸引し、
グリーンシート１を吸着する。又表面吸着の場合はエア
シリンダ526をZ₁方向へグリーンシート１と金枠202の厚
さの量だけ下降し、グリーンシート１の表面と吸着台３
の表面、金枠２の表面と金枠ホルダ504の表面を一致さ
せる。

上述したように、第８図の実施例においても、第１図
と同様の効果が得られる。

尚本実施例では吸着台が上昇あるいは下降する例につ
いて述べたが、第１図の実施例のように、金枠ホルダが
上昇あるいは下降するようにしても、同様の効果が得ら
れる。

第９図は第１図，第６図，第７図，第８図に用いてい
る吸着台３の一実施例を示す図である。吸着台３のの構
成は多孔質セラミックス601の周囲を緻密セラミックス6
02で囲い、同時焼結して、吸着面を研磨して仕上げる。
吸着面601aの反対側の面で多孔質セラミックス601と緻
密セラミックス602が接触する吸引面601bの、緻密セラ
ミックス側に溝604加工を施し、吸引穴603より吸引す
る。本実施例の吸着台はすべてセラミックスで構成され
ているため、吸着面の平面度、平行度も高精度仕上がで
き高い平坦性が保てる特徴がある。

第10図は吸着台の他の１実施例である。第９図と異な
る点は、多孔質セラミックスの吸着部を分割しているこ
とである。構成は多孔質セラミックスを611と612に分割
し、これを緻密セラミックス613で囲っている。本実施
例の利点は、吸着する場所の吸引力を変えることができ
る点にある。第10図（Ｂ）に示すようにグリーンシート
614の中心部の吸引力を弱め、外周部の吸引力を強くす
ること等が可能となる。例えばグリーンシート614の吸
着される面にパターン等の突起がある場合、周辺をP₁の
力で強力に吸引し、中心部をP₁とは異なる力P₂で吸引あ
るいは、P₃の力で流体を供給する。このようにすると、
吸着時にグリーンシート表面に生じる、パターンの突起
による局部的な凹凸を低減できる効果がある。この種の
凹凸はパターン検査、異物検査等を自動検査するとき
に、欠陥として誤検出する恐れがあり、この欠点を防止
できる効果がある。

上記の実施例では吸引部を２ケ所に分割した場合を説
明したが、２ケ以上に分割しても同様の効果が得られ
る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、グリーンシートと金枠の保持部を各
々独立にし、どちらか一方の保持部を移動させて、グリ
ーンシートを吸着して金枠を保持するため、グリーンシ
ートに無理な応力を作用させずに高精度な平坦性を保っ
て保持できる効果がある。

また、グリーンシート吸着部あるいは金枠保持部の移
動と連動して、金枠の位置決め用ピンが移動する為、グ
リーンシートの表面、裏面のいずれの面も容易に自動的
に吸引保持できる効果もある。

また上記グリーンシートの吸着台は、多孔質セラミッ
クを緻密セラミックで囲い、同時焼結、研磨しているた
め、高い平坦性の吸着面ができるので、グリーンシート
を高精度に保持できる効果もある。

さらに、本発明では１台の保持装置で表・裏の両面を
保持できるため、印刷機や検査機に用いた場合、生産性
が向上しコスト低減が図れる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄板保持装置の実施例を示す図、
第２図は薄板の種類を示す図、第３図は薄板が保持され
るときの薄板の状態を示す図、第４図は従来の薄板保持
装置による保持状態を示す図、第５図は本発明による薄
板保持装置による保持状態を示す図、第６図は本発明に
よる第２の実施例を示す図、第７図は本発明による第３
の実施例を示す図、第８図は本発明による第４の実施例
を示す図、第９図は本発明による吸着台の実施例を示す
図、第10図は本発明による第２の吸着台の実施例を示す
図である。１…グリーンシート、２…金枠、３…吸着台、４…金枠
ホルダ、５…上テーパブロック、６…下テーパブロッ
ク、７…ローラ、8,9…ガイドレール、10,11…位置決め
ピン、12,13…板カム、15…リニアガイド、16…エアシ
リンダ。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】剛性が小さい薄板部材と剛性が大きい板部
材とを少なくとも一部分を重ね合わせて構成した薄板状
の試料を保持する薄板保持装置であって、前記剛性が小さい薄板部材を載置する載置面を有する第
１の載置手段と、前記剛性が大きい板部材を載置する載置面を有する第２
の載置手段と、前記剛性が大きい板部材の外周部に当接して前記剛性が
大きい板部材を位置決めして保持する位置決め保持手段
と、該位置決め保持手段を駆動して前記剛性が大きい板部材
の外周部への該位置決め保持手段の当接および当接の解
除を行う駆動手段と、前記第１の載置手段の載置面と前記第２の載置手段の載
置面との段差を前記試料の積層した厚さ分だけ変化させ
る方向に前記第１の載置手段と前記第２の載置手段とを
相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする薄板保持装置。
【請求項２】前記第１の載置手段の前記載置面は多孔質
のセラミック部材で形成されており、前記載置面に載置
した前記剛性の小さい薄板部材を真空吸着して保持する
ことを特徴とする請求項１記載の薄板保持装置。
【請求項３】前記剛性の大きい板部材は前記剛性の小さ
い薄板部材の外縁部を支持するように形成されており、
前記第２の載置手段は前記第１の載置手段の外周部に設
けられていることを特徴とする請求項１記載の薄板保持
装置。
【請求項４】前記剛性の小さい薄板材料がセラミックグ
リーンシートであり、前記剛性が大きい板部材が額縁状
に形成した金属板であって、前記薄板状の試料は、前記
額縁状に形成した金属板に前記セラミックグリーンシー
トの外縁部を貼り付けて形成したことを特徴とする請求
項１記載の薄板保持装置。
【請求項５】前記位置決め保持手段は、前記剛性が大き
い板部材の外縁部に当接して前記剛性が大きい板部材を
位置決めする少なくとも２つの可動ピンを有することを
特徴とする請求項１記載の薄板保持装置。
【請求項６】前記駆動手段と前記移動手段とは、駆動源
を共有することを特徴とする請求項１記載の薄板保持装
置。